JP3927940B2 - 半導体光変調器及びその製造方法 - Google Patents
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- 主面を有する基板と、
前記基板の前記主面上に設けられ、導波路構造を有する変調素子部と、
前記基板の前記主面上に設けられ、前記変調素子部の前記導波路構造に含まれる半導体層構造と同じ半導体層構造を有する第1の部分、及び、前記第1の部分上に設けられ、金属層構造を有する第2の部分を有する保護ポスト部と、
前記変調素子部と前記保護ポスト部との間の前記基板の前記主面上に設けられ、前記変調素子部と電気的に接続され、且つ前記第2の部分とは電気的に分離されており、前記第2の部分の前記金属層構造と同一の金属層構造を有する金属配線と、
を備え、
前記基板の前記主面からの前記保護ポスト部の高さが、前記基板の前記主面からの前記変調素子部の高さよりも高いことを特徴とする半導体光変調器。 - 前記変調素子部と前記金属配線との間に懸架されたエアブリッジ配線をさらに備え、
前記基板の前記主面からの前記金属配線の高さが、前記基板の前記主面からの前記変調素子部の高さと略等しく、
前記基板の前記主面からの前記保護ポスト部の高さが、前記基板の前記主面からの前記エアブリッジ配線の高さよりも高いことを特徴とする請求項1に記載の半導体光変調器。 - 前記変調素子部の前記導波路構造が、前記基板の前記主面上に順に設けられたn型AlGaAs層、i型GaAs層、及びi型AlGaAs層を含むメサ状の導波部と、前記導波部上に順に設けられたp型AlGaAs層及びp型GaAs層を含むリッジ部とを備えることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体光変調器。
- 複数の半導体層が積層され導波路構造を有する変調素子部と、該変調素子部の近傍に形成され、前記複数の半導体層と同一の層構造を有する第1の部分、及び前記第1の部分上に形成された金属層構造を有する第2の部分を有する保護ポスト部と、前記変調素子部と前記保護ポスト部との間に形成され、前記第2の部分の前記金属層構造と同一の金属層構造を有する金属配線と、を備える半導体光変調器を製造する方法であって、
前記複数の半導体層として少なくともn型AlGaAs層、i型GaAs層、i型AlGaAs層、p型AlGaAs層、及びp型GaAs層が積層されたウェハを用い、所定のパターンを有するレジストマスクを用いて前記複数の半導体層をエッチングすることにより、前記変調素子部と前記第1の部分とを形成する工程と、
前記変調素子部と前記第1の部分との間、及び前記第1の部分上に開口を有するレジストマスクを用い、該開口内に金属材料を堆積させ、前記金属配線と前記第2の部分とを形成する工程と、
前記ウェハの表面がウェハ支持基板と対向するように前記ウェハを前記ウェハ支持基板上に載置し、前記ウェハの裏面を研削する工程と、
を備えることを特徴とする半導体光変調器の製造方法。
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