JP3923283B2 - 弾性表面波デバイス - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、弾性表面波デバイスに関し、特にフィルタとして用いた際に好ましい通過帯域外の減衰特性及び狭帯域特性を実現できる弾性表面波デバイスに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、携帯電話やコードレス電話、無線機等の無線装置の小型かつ軽量化が進み、急速に普及してきている。一方、これらの無線装置の高周波回路にはフィルタが使用され重要なキーデバイスとされている。
【0003】
かかる無線装置に対する小型かつ軽量化の要求に対応して、フィルタ素子も小型・軽量化の実現が要求されている。フィルタ素子の小型・軽量化の実現のために弾性表面波デバイスが使用されている。
【0004】
弾性表面波デバイスをフィルタとして用いる場合、必要な信号を通過させ、不必要な信号を除外するという特徴から、挿入損失を少なくすること、および通過帯域外の減衰量を大きくすることは重要な課題である。また、本体の小型化のための部品点数の削減に伴い、弾性表面波デバイスに要求される特性が厳しくなってきた。
【0005】
弾性表面波デバイスは、一構成例として図1に示すように圧電基板100上に形成された電極指パターンによりインターデジタルトランスデューサ(IDT)1と反射器2,3を形成している。
【0006】
図1の例ではインターデジタルトランスデューサ(IDT)1は、3つの個別のIDT(これらを以降、駆動電極1−1,1−2,1−3という)を含み、駆動電極1−1,1−2は、入力端子INに並列接続されている。また、駆動電極1−3は、出力端子OUTに接続されている。駆動電極1−1,1−2,1−3と、それぞれ入力端子IN及び出力端子OUTとの接続は、電極パッド4に繋がる引出し線により接続されている。
【0007】
さらに、図1の例では、インターデジタルトランスデューサ1の両側に配置される反射器2,3は、従来のグレーティング電極を構成している。
【0008】
かかる構成において、狭帯域化の一方法としてインターデジタルトランスデューサ1の電極指の数を増やす方法が可能である。しかし、かかる場合は挿入損失が大きくなるという問題がある。また、反射電極2,3の反射係数を小さくしてストップバンド幅を狭くすることで、狭帯域を実現する方法もあるが、この場合も挿入損失が同時に悪化する傾向が見られるものであった。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
かかる点から本発明者は、良好な狭帯域化を実現し、挿入損失を大きくしない弾性表面波デバイスの構成について研究開発を続け、反射電極2及び反射電極3を反射係数の異なるブロックで形成することで、挿入損失を悪化させずに通過帯域外の減衰量を大きくし、良好な狭帯域のフィルタ特性を実現出来るという発見に至った。
【0010】
したがって、本発明の目的は、かかる発見に基づき通過帯域における挿入損失の低減及び良好な狭帯域特性を得ることのできる弾性表面波デバイスを提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記の本発明の課題を達成する弾性表面波デバイスは、第一の態様として、圧電基板と、前記圧電基板上に形成された、弾性表面波を駆動する少なくとも一つの駆動電極を含むインターデジタルトランスデューサと、前記インターデジタルトランスデューサの両側に配置された反射器を有し、前記反射器は、電気的に独立した複数の電極指の開放電極ブロックと、両端を共通に電気的に短絡された複数の電極指の短絡電極ブロックで構成されたことを特徴とする。
【0012】
さらに、上記の本発明の課題を達成する弾性表面波デバイスは、第二の態様として、第一の態様において、前記反射器の開放電極ブロックの複数の電極指が、前記反射器の端から1乃至11本目の位置に配置されていることを特徴とする。
【0013】
また、上記の本発明の課題を達成する弾性表面波デバイスは、第三の態様として、第二の態様において、前記反射器の開放電極ブロックの複数の電極指の数が8本以下であることを特徴とする。
【0014】
さらにまた、上記の本発明の課題を達成する弾性表面波デバイスは、第四の態様として、第一の態様において、前記反射器の開放電極ブロックと短絡電極ブロックは、対称に配置され、2つの開放電極ブロックのそれぞれが、前記反射器の両端から1乃至11本目の位置に配置されていることを特徴とする。
【0015】
さらに、上記の本発明の課題を達成する弾性表面波デバイスは、第五の態様として、第四の態様において、前記反射器の開放電極ブロックの複数の電極指の数が8本以下であることを特徴とする。
【0016】
また、上記の本発明の課題を達成する弾性表面波デバイスは、第六の態様として、前記第一乃至第五の態様のいずれかにおいて、前記開放電極ブロックの複数の電極指及び短絡電極ブロックの複数の電極指は、駆動される弾性表面波の半波長間隔で配置されていることを特徴とする。
【0017】
本発明の特徴は、更に以下の図面に従い説明される実施の形態から明らかになる。
【0018】
【発明の実施の形態】
以下に、図面に従い本発明の実施の形態を説明する。但し、図面に示される実施の形態例は、本発明の説明のためのものであり、本発明の適用がこれらに限定されるものではない。
【0019】
図2は、本発明の実施の形態例であり、図1に示したと同様にLiTaO3あるいは、LiNbO3の圧電基板100上にAlを主成分とする電極指を形成し、2個の反射器の間に3個の駆動電極1−1、1−2及び1−3を有するインターデジタルトランスデューサ(IDT)1をカスケード接続した構成である。
【0020】
さらに本発明の特徴として、図1の構成と異なる点は、反射器2,3が、複数の異なる反射係数のブロックで構成されている点にある。すなわち、反射器2,3の各々は、反射係数の異なる3つのブロックを有し、反射係数の異なるブロックとして、電極指が電極パッド4により短絡された短絡(ショート)電極とされているブロック及び、電極パッド4に接続されない開放(オープン)電極とされているブロックにより構成されている。
【0021】
すなわち、ショート電極を有するブロックは、複数の電極指の両端が電極パッド4に接続され、短絡された領域であり、オープン電極を有するブロックは、電極パッド4から分離し、それぞれ独立した電極指で構成される領域である。
【0022】
なお、前記開放電極ブロックの複数の電極指及び短絡電極ブロックの複数の電極は、駆動される弾性表面波の半波長間隔で配置されている。
【0023】
図2に示す例では、反射器2が、それぞれオープン電極2−1、2−2を有する2つのオープン電極ブロックと、それらに隣接し、ショート電極を有する3つのショート電極ブロックを有している。反射器3は、同様にそれぞれオープン電極3−1、3−2を有する2つのオープン電極ブロックと、それらに隣接し、ショート電極を有する3つのショート電極ブロックを有している。
【0024】
本発明に従い、かかるオープン電極ブロック及びショート電極ブロックを有する反射器を備えた弾性表面波デバイスは、その通過帯域外の減衰量及び狭帯域特性に関し、反射器のオープン電極ブロックを構成するオープン電極指の数及びその位置により特徴づけられる。
【0025】
図3に実施例として、200本の電極指で反射器を構成する場合を考察する。
【0026】
図3Aは、従来例の反射器の構成であり、反射器に含まれる200本全ての電極指の両端が電極パッド40,41により共通に短絡された構成であり、一つのショート電極ブロックのみで構成されている。この場合は、単一の反射係数のみを有している。
【0027】
かかる反射器の構成は、反射器の左端を基準として、(200−0−0−0−0)により表される。すなわち、図3Aに示す反射器は、その左端を基準として、左端電極指がショート電極であり、更に残りの電極指もショート電極であり、従って200本(100対)全てがショート電極であることを意味している。
【0028】
図3Bに示す反射器の構成は、反射器の左端を基準として、2本の電極指がオープン電極であり、これに続き196本の電極指がショート電極であり、ついで右端の2本の電極指がオープン電極とされる構成である。この構成は、(0−2−196−2−0)で表される。
【0029】
次に、図3Cに示す構成では、同様に反射器の左端を基準として、4本の電極指がショート電極であり、次いで2本の電極指がオープン電極であり、更に、188本の電極指がショート電極がある。さらに、続いて2本の電極指がオープン電極があり、これに続いて4本の電極指がショート電極である。この構成は、(4−2−188−2−4)で表される。
【0030】
図4は、図2の構成において、2つの反射器2,3のそれぞれを156本、200本の電極指で構成した時の、一対(2本)のオープン電極の位置を反射器の左端を基準として内側に変化させた時の、弾性表面波デバイスの通過特性の変化の様子を示す図である。図4Aは、通過特性の全体を示し、図4Bは各特性の区別を明らかにするために、図4Aの一部を拡大して示す図である。
【0031】
先の図3における説明から明らかなように,図4において,(0−2−196−2−0)で定義される反射器3及び(0−2−152−2−0)で定義される反射器2を有する弾性表面波デバイスbは,それぞれの反射器の両端側に2本のオープン電極が配置される構成である。
【0032】
同様に,(2−2−192−2−2)で定義される反射器3及び(2−2−148−2−2)で定義される反射器2を有する弾性表面波デバイスcは,反射器両端側に2本のショート電極があり,その内側に2本のオープン電極が位置づけられる構成である。
【0033】
さらに,(4−2−188−2−4)で定義される反射器3及び(4−2−144−2−4)で定義される反射器2を有する弾性表面波デバイスdは,反射器両端側に4本のショート電極があり,その内側に2本のオープン電極が位置づけられる構成である。
【0034】
(6−2−184−2−6)で定義される反射器3及び(6−2−140−2−6)で定義される反射器2を有する弾性表面波デバイスeは,反射器両端に6本のショート電極があり,その内側に2本のオープン電極が位置づけられる構成である。
【0035】
(8−2−180−2−8)で定義される反射器3及び(8−2−136−2−8)で定義される反射器2を有する弾性表面波デバイスfは,反射器両端側に8本のショート電極があり,その内側に2本のオープン電極が位置づけられる構成である。
【0036】
さらに,(10−2−176−2−10)で定義される反射器3及び(10−2−132−2−10)で定義される反射器2を有する弾性表面波デバイスgは,反射器両端側に10本のショート電極があり,その内側に2本のオープン電極が位置づけられる構成である。
【0037】
図4の特性図において、全てショート電極とした時の弾性表面波デバイスaの特性に対して、オープン電極の位置を両端から内側に置くことにより、通過特性が変化することが理解できる。
【0038】
この通過特性の変化により、通過帯域外の減衰量及び角形比が変化する。図4に示されるように、全てショート電極とする図1に示す従来の弾性表面波デバイスaの通過特性において、中心周波数で正規化した周波数値(f/f0)=0.975の時の通過帯域外の減衰量は、−25dBである。
【0039】
ここで、最小減衰量(−3dB)の時の帯域幅(3dBBW)と、通過帯域外の減衰量(−25dB)の時の帯域幅(25dBBW)との比を角形比と定義すると、全てショート電極とした時の弾性表面波デバイスaの特性に対する角形比は、0.537である。
【0040】
角形比は1に近いほど通過帯域幅近傍の通過帯域外の減衰特性が急峻になるので良好な狭帯域特性であるといえる。
【0041】
図5は、全てショート電極とした時の弾性表面波デバイスaの特性に対して、オープン電極がそれぞれ異なる位置にある反射器を有する弾性表面波デバイスb〜gにおける通過帯域外の減衰量及び角形比を比較して示すグラフである。
【0042】
図5において、オープン電極位置を1本とする場合は、反射器bが対応し、図3Bに示すように、反射器の両端側の1本目及び2本目の電極指がオープン電極である構成である。
【0043】
また、オープン電極位置を3本とする場合は、反射器の両端側から1本目及び2本目の電極指がショート電極であり、3本目及び4本目がオープン電極である反射器構成である。これは、図4に示す弾性表面波デバイスcの反射器構成に対応する。
【0044】
同様に、図5において、オープン電極位置を5本とする場合は、反射器の両端側から1本目乃至4本目の電極指がショート電極であり、5本目及び6本目がオープン電極である構成である。これは、図4に示す弾性表面波デバイスdの反射器構成に対応する。
【0045】
オープン電極位置を7本とする場合は、反射器の両端側から1本目乃至6本目の電極指がショート電極であり、7本目及び8本目がオープン電極である反射器構成である。これは、図4に示す弾性表面波デバイスeの反射器構成に対応する。
【0046】
また、オープン電極位置を9本とする場合は、反射器の両端側から1本目乃至8本目の電極指がショート電極であり、9本目及び10本目がオープン電極である反射器構成である。これは、図4に示す弾性表面波デバイスfの反射器構成に対応する。
【0047】
さらに、オープン電極位置を11本とする場合は、反射器の両端側から1本目乃至10本目の電極指がショート電極であり、11本目及び12本目がオープン電極である反射器の構成である。これは、図4に示す弾性表面波デバイスgの反射器構成に対応する。
【0048】
図5において、上記の様に反射器のオープン電極位置を両端側から1乃至11本の範囲の位置に置く場合、全てショート電極とする反射器を有する弾性表面波デバイスaの特性と比較して、通過帯域外の減衰量及び角形比ともに改善されることが理解できる。
【0049】
ここで、更にオープン電極の対数を多くすることによっても角形比及び通過帯域外の減衰量に関し、全てオープン電極とする反射器を有する場合に較べ改善出来ることが本発明者の研究により発見出来た。
【0050】
すなわち、図6は、オープン電極を反射器の両端側から5本目即ち、両端側に4本のショート電極を置き、その内側にオープン電極を配置した場合であって、更に反射器のオープン電極の本数を1から7本に変えた場合の弾性表面波デバイスの通過帯域特性を示す図である。
【0051】
図6において,弾性表面波デバイスhは,反射器の両端にある4本のショート電極の内側に1本のオープン電極を配置した構成である。
【0052】
弾性表面波デバイスiは,反射器の両端側にある4本のショート電極の内側に2本のオープン電極を配置した構成である。この構成は,図4,図5における弾性表面波デバイスdの反射器構成に対応する。
【0053】
弾性表面波デバイスjは,反射器の両端側にある4本のショート電極の内側に4本のオープン電極を配置した構成である。
【0054】
弾性表面波デバイスkは,反射器の両端側にある4本のショート電極の内側に6本のオープン電極を配置した構成である。
【0055】
弾性表面波デバイスlは,反射器の両端側にある4本のショート電極の内側に7本のオープン電極を配置した構成である。
【0056】
図6を観察すると、オープン電極の本数を増加した場合も、全てショート電極とした時の反射器を有する弾性表面波aの特性に対して、オープン電極の本数を増加することにより、通過特性が変化することが理解できる。
【0057】
図7は、全てショート電極とした反射器を有する弾性表面波デバイスaの特性に対して、各々オープン電極の本数を増やした反射器を有する弾性表面波デバイスh〜lにおける通過帯域外の減衰量及び角形比の変化のシミュレーション結果を比較して示すグラフである。
【0058】
全てショート電極とする反射器を有する弾性表面波デバイスにおける角形比は0.54であり、これに対し、オープン電極の本数を増加すると角形比が改善されることが判る。反対にオープン電極の本数を増加すると帯域外の減衰量は低減していくが、オープン電極を4乃至8本の場合は、全てショート電極とする反射器を有する弾性表面波デバイスにおける角形比は0.54より改善され、減衰量も25dB以上にすることが出来る。
【0059】
ここで、先の実施例では、反射器におけるオープン電極指の配置を左右対称にする場合のみを示した。しかし、本発明の適用はオープン電極指の配置を左右対称にする場合に限られない。
【0060】
図8は、かかる反射器におけるオープン電極指の配置を説明する図であり、図8Aは、反射器におけるオープン電極指の配置を左右対称にする場合であって、図4の実施例における弾性表面波デバイスdの反射器(あるいは、図6の実施例における弾性表面波デバイスiの反射器)に対応する。
【0061】
図8Aに示す反射器構成は、両端側にショート電極指が4本配置され、その内側に2本のオープン電極指が配置される構成であって、左右対称である。
【0062】
これに対し、図8Bに示す反射器構成は、左端側にショート電極指が4本配置され、その内側に2本のオープン電極指が配置される構成である。2本のオープン電極指の内側から右側端までショート電極指が配置され、電極指の配置は、左右非対称である。
【0063】
図9は、オープン電極指が左右対称に配置される場合と非対称に配置される場合の弾性表面波デバイスの通過帯域特性を比較した図である。
【0064】
弾性表面波デバイスmの反射器は、両端から4本のショート電極指を有し、その内側に2本のオープン電極指を有する構成であり、図8Aに示す構成である。これに対し、弾性表面波デバイスnの反射器は、左端側に4本のショート電極指、その内側に2本のオープン電極指を有し、更にその内側から右端側までショート電極指が配置される非対称の構成である。
【0065】
さらに、弾性表面波デバイスoの反射器は、両端から4本のショート電極指を有し、その内側に7本のオープン電極指を有する構成である。これに対し、弾性表面波デバイスpの反射器は、左端側に4本のショート電極指、その内側に7本のオープン電極指を有し、更にその内側から右端側までショート電極指が配置される非対称の構成である。
【0066】
弾性表面波デバイスmとnとの比較及び、弾性表面波デバイスoとpとの比較において、いずれも反射器のオープン電極指が対称に配置されている方が、通過帯域外の減衰量が大きくなっている。
【0067】
しかし、本発明に従い反射器がオープン電極指を有する構成によって、反射器の全ての電極指がショート電極である場合に較べ、帯域外減衰量が改善され、狭帯域化が可能である。したがって、本発明の適用は、弾性表面波デバイスの反射器において、オープン電極指を対称に配置する場合に限定されない。
【0068】
【発明の効果】
以上図面に従い、実施の形態例を説明したように、本発明により通過帯域外減衰量の大きな特性を有し、通過帯域における挿入損失の低減及び良好な狭帯域特性を得ることのできる弾性表面波デバイスが提供可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】弾性表面波デバイスの一構成例を示す図である。
【図2】本発明の実施の形態例を示す図である。
【図3】200本の電極指で反射器を構成する場合の実施の形態例を示す図である。
【図4】図2の実施の形態例構成において、オープン電極の位置を反射器の左端を基準としてから内側に変化させた時の通過特性の変化の様子を示す図である。
【図5】オープン電極の位置を変えて測定したフィルタの減衰量及び角形比の変化の様子を示すグラフである。
【図6】オープン電極の本数を変えた場合のフィルタの周波数特性を示す図である。
【図7】オープン電極の本数を変えた時のフィルタの減衰量及び角形比の変化のシミュレーション結果を比較して示すグラフである。
【図8】反射器におけるオープン電極指の配置を説明する図である。
【図9】オープン電極指が左右対称に配置される場合と非対称に配置される場合とを比較した通過特性図である。
【符号の説明】
1 インターデジタルトランスデューサ
2、3 反射器
4 電極パッド
1−1,1−2 入力側駆動電極
1−3 出力側駆動電極
2−1,2−2,3−1,3−2 オープン電極
100 圧電基板
Claims (3)
- 圧電基板と,
前記圧電基板上に形成された,弾性表面波を駆動する少なくとも一つの駆動電極を含むインターデジタルトランスデューサと,
前記インターデジタルトランスデューサの両側に配置された第1及び第2の反射器を有し,
前記第1及び第2の反射器のそれぞれは,電気的に独立した複数の電極指の開放電極ブロックと,両端を共通に電気的に短絡された複数の電極指の短絡電極ブロックを有して構成され,
前記第1及び第2の反射器のそれぞれにおいて,2つの開放電極ブロックが,前記短絡電極ブロックの中心位置を対称軸として左右に対称に配置され,前記2つの開放電極ブロックのそれぞれが,前記反射器の両端から1乃至11本目の位置に配置されていることを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項1において,
前記反射器の開放電極ブロックの複数の電極指の数が8本以下であることを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 請求項1又は2において,
前記開放電極ブロックの複数の電極指及び短絡電極ブロックの複数の電極は,駆動される弾性表面波の半波長間隔で配置されていることを特徴とする弾性表面波デバイス。
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