JP3922868B2 - 太陽電池の製造方法および太陽電池 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、太陽電池の製造方法および太陽電池に係り、特に球体セルを用いた太陽電池の製造方法および太陽電池に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体のｐｎ接合部分には内部電界が生じており、これに光を当て、電子正孔対を生成させると、生成した電子と正孔は内部電界により分離されて、電子はｎ側に、正孔はｐ側に集められ、外部に負荷を接続するとｐ側からｎ側に向けて電流が流れる。この効果を利用し、光エネルギーを電気エネルギーに変換する素子として太陽電池の実用化が進められている。
【０００３】
近年、単結晶、多結晶シリコンなどの直径１ｍｍ以下の球状の半導体（Ball Semiconductor）上に回路パターンを形成して半導体素子を製造する技術が開発されている。
【０００４】
その１つとして、アルミ箔を用いて多数個の半導体粒子を接続したソーラーアレーの製造方法が提案されている（特開平６-１３６３３号）。この方法では、図１０に示すように、ｎ型表皮部とｐ型内部を有する半導体粒子２０７をアルミ箔の開口にアルミ箔２０１の両側から突出するように配置し、片側の表皮部２０９を除去し、絶縁層２２１を形成する。次にｐ型内部２１１の一部およびその上の絶縁層２２１を除去し、その除去された領域２１７に第2アルミ箔２１９を結合する。その平坦な領域２１７が導電部としての第2アルミ箔２１９に対し良好なオーミック接触を提供するようにしたものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来の太陽電池（ソーラーアレー）の製造方法では、球体セル（半導体粒子）の内部コアがｐ型半導体層の場合には、表面に形成されているｎ型半導体層の電極を取るために、アルミ箔をパンチ等で打ち抜き、球体セルを打ち抜いた開口に埋め込むことで、アルミ箔をｎ型電極として用いている。
しかしながら、実際には打ち抜いた開口に球体セルを埋め込んだ状態で固定するのは非常に困難である。
また、球体セルが真球でない（球形状や直径が一定でない）場合、同一径の開口にこのような球体セルを埋め込み固定することは非常に困難であり、開口のエッジと球体セル間に隙間ができてしまう。
このため、埋め込み後のｐ型拡散層領域露出のためのエッチングの際、開口の縁部と球体セル間の隙間があるとエッチング剤がｐ型半導体層露出面の反対側に漏れだしてしまい、本来エッチングすべきでない反対側の球体セル表面もエッチングされてしまい、太陽電池の信頼性が損なわれてしまう。
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑みて成されたものであり、球体セルが真球でない（球形状や直径が一定でない）場合でも固定が確実にでき、エッチング時にエッチング剤が漏れずにエッチングでき、高密度実装においての内側電極と外側電極との導通の問題を解決し、信頼性の向上をはかり、作業性が良く、高出力の太陽電池の製造方法および太陽電池を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の太陽電池の製造方法は、第１導電型半導体層を有する球体基板表面に、前記第１導電型半導体層の一部が露出したように第２導電型半導体層を形成してなる球体セルを用意する工程と、表面に突起部を有する導電性基板を形成する工程と、該突起部上に絶縁性樹脂部材を形成する工程と、前記球体セルの前記第１導電型半導体層の露出した部分が前記絶縁性樹脂部材に当接するように球体セルを載置して、加圧することにより、前記第１導電型半導体層の露出した部分と、前記導電性基板とを電気的に接続させる工程と、前記球体セルの配置に合わせた開口部を具備し、該開口部の縁部が鋸歯状に形成されてなる電極板を用意し、該開口部を球体セルに嵌合して固定し、前記第２導電型半導体層と電気的に接続させる工程と、を含むことを特徴とする。
かかる方法によれば、開口部の縁部が鋸歯状に形成されているので、真球でない（球形状や直径が一定でない）球体セルであっても電極板に確実に固定することができる。
また、導電性基板と球体セルとの固定を、絶縁性樹脂部材の加圧により接着することにより確実に固定でき、同時に外部電極と内部電極との絶縁分離のための絶縁層形成もできる。
【０００８】
本発明の第２の太陽電池の製造方法は、第１導電型半導体層を有する球体基板表面に、第２導電型半導体層を形成してなる球体セルを用意する工程と、前記球体セルの配置に合わせた開口部を具備し、該開口部の縁部が鋸歯状に形成されてなる電極板を用意し、球体セルを前記開口部に嵌合して固定する工程と、前記球体セルの一部をエッチング防止膜で覆い、エッチングを施すことにより、前記第１導電型半導体層の一部を露出させる工程と、表面に突起部を有する導電性基板を形成する工程と、該突起部上に絶縁性樹脂部材を形成する工程と、前記球体セルの前記第１導電型半導体層の露出した部分が前記絶縁性樹脂部材に当接するように球体セルを載置して、加圧することにより、前記第１導電型半導体層の露出した部分と、前記導電性基板とを電気的に接続させる工程と、を含むことを特徴とする。
かかる方法によれば、電極板の開口部の縁部が鋸歯状に形成されているので、真球でない（球形状や直径が一定でない）球体セルであっても電極板に確実に固定することができる。
また、球体セルの一部をエッチング防止膜で覆い、エッチングを施すことにより、球体セル反対面へのエッチング剤の漏れを防ぐことができる。
また、導電性基板と球体セルとの固定を、絶縁性樹脂部材の加圧により接着することにより確実に固定でき、同時に外部電極と内部電極との絶縁分離のための絶縁層形成もできる。
さらに、前記鋸歯状の開口部の縁部が絶縁性樹脂部材内部に浸入して（食い込んで）固定されるので、電極板、球体セル、導電性基板の強固な固定が実現できる。
【０００９】
本発明の第３の太陽電池の製造方法は、請求項１または２に記載の太陽電池の製造方法において、前記導電性基板を形成する工程は、導電性基板表面に絶縁膜を形成する工程と、打ち抜き加工により突起部を形成する工程とを含むことを特徴とする。
かかる方法によれば、ポリイミドテープ等を導電性基板上に貼るなどして絶縁膜を形成することにより、内側電極（導電性基板）と外側電極（電極板）とを電気的に絶縁することができる。
【００１０】
本発明の第４の太陽電池の製造方法は、請求項３に記載の太陽電池の製造方法において、前記絶縁膜は、前記導電性基板の全表面に形成することを特徴とする。
かかる方法によれば、より確実に内側電極（導電性基板）と外側電極（電極板）とを電気的に絶縁することができる。
【００１１】
本発明の第５の太陽電池の製造方法は、請求項３に記載の太陽電池の製造方法において、前記絶縁膜は、前記導電性基板の突起部以外の表面に形成することを特徴とする。
かかる方法によれば、より効率よく内側電極（導電性基板）と外側電極（電極板）とを電気的に絶縁することができる。
【００１２】
本発明の第６の太陽電池は、シート状の導電性基板上に、内部が第１導電型半導体層、表面が第２導電型半導体層からなる球体セルが敷き詰められた太陽電池であって、前記球体セル内部の第１導電型半導体層の一部が露出し、露出部分と前記導電性基板とが電気的に接続されてなる内側電極と、前記第２導電型半導体層と、前記球体セルの配置に合わせた開口部を具備し該開口部の縁部が鋸歯状に形成された電極板とが、電気的に接続されてなる外側電極と、を具備したことを特徴とする。
かかる構成によれば、開口部の縁部が鋸歯状に形成されているので、真球でない（球形状や直径が一定でない）球体セルであっても電極板に確実に固定された太陽電池を実現できる。
【００１３】
本発明の第７の太陽電池は、請求項６に記載の太陽電池であって、前記導電性基板と前記球体セルと前記電極板とが絶縁性樹脂部材によって接着されてなることを特徴とする。
かかる構成によれば、導電性基板と球体セルとが、絶縁性樹脂部材により確実に接着固定され、また、この絶縁性樹脂部材が外部電極と内部電極との絶縁分離のための絶縁層とも機能する太陽電池を実現できる。
【００１４】
本発明の第８の太陽電池は、請求項６または７に記載の太陽電池であって、前記開口部の縁部の鋸歯状部が上向きに形成されてなることを特徴とする。
かかる構成によれば、開口部の縁部が鋸歯状に形成されているので、真球でない（球形状や直径が一定でない）球体セルであっても電極板に確実に固定された太陽電池を実現できる。
【００１５】
本発明の第９の太陽電池は、請求項６または７に記載の太陽電池であって、前記開口部の縁部の鋸歯状部が下向きに形成され、かつ、該鋸歯状部が絶縁性樹脂部材内部に浸入して固定されてなることを特徴とする。
かかる構成によれば、開口部の縁部が鋸歯状に形成されているので、真球でない（球形状や直径が一定でない）球体セルであっても電極板に確実に固定され、かつ、電極板、球体セル、導電性基板の強固な固定が実現できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る太陽電池および太陽電池の製造方法について実施の形態を挙げ、図面を参照して詳細に説明する。
【００１７】
（第１の実施の形態）
図１は本発明の第１の実施の形態に係る太陽電池の要部斜視図であり、図４はその一部の断面概要図であり、図３は外部電極となる電極板の要部斜視図およびＡ−Ａ断面を模式的に示す図である。
本発明の第１の実施形態に係る太陽電池は、図１および図４に示すように、シート状の導電性基板１７上に、太陽電池のセルとなる球体セル１０が敷き詰められ、球体セルの配置に合わせた開口部１８を具備し、その開口部１８の縁部１８ａが鋸歯状に形成された電極板１６が、この鋸歯状の縁部１８ａが上向きになるように球体セル１０に嵌合して固定されている。
【００１８】
また、球体セル１０内部のｐ型半導体層１１（第１導電型半導体層）とｐｎ接合を形成するｎ型半導体層１２（第２導電型半導体層）を有する球体セル１０が、導電性基板１７に圧着され、内部のｐ型半導体層１１と導電性基板１７とが電気的に接続されている。これにより、導電性基板１７は、太陽電池の内側電極となっている。
【００１９】
また、開口部１８の縁部１８ａが鋸歯状に形成された電極板１６（図３参照）は、ｎ型半導体層１２と電気的に接続され、太陽電池の外側電極となっている。
また、導電性基板１７と球体セル１０とが絶縁性樹脂部材１４によって接着され、固定されている。
【００２０】
さらに、球体セル１０の周囲にある絶縁性樹脂部材１４と球体セル１０の間の導電性基板１７上に貼られたポリイミドテープなどからなる絶縁膜１５とにより、導電性基板１７（内側電極）と、開口部の縁部１８ａが鋸歯状に形成された電極板１６（外側電極）とは電気的に絶縁されている。
【００２１】
次に、本発明の実施形態に係る太陽電池の具体的な製造方法の一例を以下、説明する。
まず、本実施の形態で用いる球体セル１０の形成方法の一例について説明する。
直径１ｍｍのｐ型多結晶シリコン粒を真空中で加熱しつつ落下させ、結晶性の良好なｐ型多結晶シリコン球（ｐ型半導体層）１１を形成し、この表面に、フォスフィンを含むシランなどの混合ガスを用いたＣＶＤ法により、ｎ型多結晶シリコン層（ｎ型半導体層）１２を形成する。ここでＣＶＤ工程は細いチューブ内でシリコン球を搬送しながら、所望の反応温度に加熱されたガスを供給排出することにより、薄膜形成を行うものである。
【００２２】
なお、この工程は、ｐ型多結晶シリコン粒を真空中で加熱しつつ落下させながら球状化し、ｐ型多結晶シリコン球（ｐ型半導体層）１１を形成するとともに、落下途上で所望のガスと接触させることにより、ｎ型多結晶シリコン層（ｎ型半導体層）１２を形成する様にすることも可能である。
【００２３】
次に、上述の球体セル１０を用いた太陽電池の製造方法を図６〜図８を用いて説明する。図６は球体セルを加工する工程の概略断面図であり、図７は導電性基板を加工する工程の概略断面図であり、図８は加工した球体セルを加工した導電性基板に搭載し、太陽電池を形成する工程の概略断面図である。
【００２４】
球体セルを加工する工程を図６を用いて説明する。
まず、一定間隔を空けて縦横等間隔に球体セルを並べるために設けられた窪みを有するトレイＴを用意する。
図６の（ａ）にこのトレイＴの概略断面図を示す。
【００２５】
次に、図６の（ｂ）に示すように、球体セル１０をトレイＴの窪みに載置する。
【００２６】
次に、図６の（ｃ）に示すように、球体セル１０が埋まるように、ろう剤（例えば、パラフィン等のエレクトロンワックス）からなる固定部材１３を溶融温度（パラフィンの場合は１００℃〜２００℃）に熱して溶融させて流し込み、温度を下げて硬化させる。
【００２７】
次に、図６の（ｄ）に示すように、トレイＴから固定部材１３により固定された球体セル１０を取り出し、逆向きにする。
【００２８】
次に、図６の（ｅ）に示すように、球体セル１０が固定部材１３に覆われていない部分に対し、エッチング等を施すことにより表面のｎ型半導体層１２を除去し、内部のｐ型半導体層１１を露出させる。あるいは、上記固定部材１３に覆われていない部分をグラインディング等により研削することで、内部のｐ型半導体層１１を露出させても良い。
【００２９】
次に、基板を加工する工程を図７を用いて説明する。
まず、図７の（ａ）に示すように、アルミニウムシート等からなる導電性基板１７を用意する。
【００３０】
次に、図７の（ｂ）に示すように、導電性基板１７の上に絶縁膜１５を形成する（例えば、ポリイミドテープを貼る）。絶縁膜１５は、図に示すように後の工程で貫通孔を設ける部分を予めパンチ等で孔をあけているが、孔をあけずに導電性基板１７上の全面を覆うように貼り付けても良い。
【００３１】
次に、図７の（ｃ）に示すように、導電性基板１７に対し、パンチ等を用いて、スパイク状の突起部１７ｂを有する貫通孔１７ａを形成する。
【００３２】
次に、図７の（ｄ）に示すように、スパイク状の突起部１７ｂ上に絶縁性樹脂部材１４（例えば、エポキシ樹脂）を適量塗布する。
【００３３】
また、上記図７の（ｃ）の工程において、必ずしも貫通孔１７ａが開かなくても良く、この場合は突起部１７ｃはスパイク状ではなく、図７の（ｅ）に示すような凸状になっても良い。そして、次にこの凸状の突起部１７ｃ上に絶縁性樹脂部材１４（例えば、エポキシ樹脂）を適量塗布し（図７の（ｆ））、貫通孔１７ａがある場合と同様に、以降の工程により製造できるものである。
【００３４】
次に、加工した球体セルを加工した導電性基板に搭載する工程を図８を用いて説明する。
まず、図８の（ａ）に示すように、前記のように加工した導電性基板（図７の（ｄ））の上に、前記のように加工した球体セル（図６の（ｃ））を露出したｐ型半導体層１１が絶縁性樹脂部材１４に接し、球体セル１０の中心が貫通孔中心に合致するように位置合わせをして載置する。
【００３５】
次に、図８の（ａ）の状態で約１５０℃に加熱し、プレス装置等を用いて約１時間上部より加圧し、図８の（ｂ）の状態とする。そして、加圧した状態のまま、絶縁性樹脂部材１４の硬化を行う。このとき焼結（シンタリング）の工程を併用して行うこともでき、この場合の加熱温度は２００℃〜３００℃、加圧時間は３０分〜１時間で行うことが好ましい。
【００３６】
次に、加圧を解除し、固定部材１３を熱または薬品（例えば、アセトン）を用いて除去し、図８の（ｃ）の状態となる。
【００３７】
次に、図３の（ａ）に示すような、球体セル１０の配置に合わせて開口部１８が設けられた電極板（例えば、アルミニウムなどの金属シート）１６を用意する。この電極板１６は、開口部１８をその縁部１８ａが鋸歯状となるようにパンチ等で打ち抜いて形成されたものである。図３の（ｂ）にそのＡ−Ａ断面を模式的に示す。この電極板１６の開口部１８が球体セル１０の上に位置合わせをした後、電極板１６の開口部１８を球体セル１０の上方より嵌め込み固定する。このとき、鋸歯状の縁部１８ａの突起が上向きになる。
このようにして、図８の（ｄ）に示す状態となる。
【００３８】
（第２の実施の形態）
図２は本発明の第２の実施の形態に係る太陽電池の要部斜視図であり、図５はその一部の断面概要図であり、図３は外部電極となる電極板の要部斜視図およびＡ−Ａ断面を模式的に示す図である。
本発明の第２の実施形態に係る太陽電池は、図２および図５に示すように、シート状の導電性基板１７上に、太陽電池のセルとなる球体セル１０が敷き詰められ、開口部１８の縁部１８ａが鋸歯状に形成された電極板１６が、この鋸歯状の縁部１８ａが下向きになるように球体セル１０に嵌合して固定されている。
【００３９】
また、球体セル１０内部のｐ型半導体層１１（第１導電型半導体層）とｐｎ接合を形成するｎ型半導体層１２（第２導電型半導体層）を有する球体セル１０が、導電性基板１７に圧着され、内部のｐ型半導体層１１と導電性基板１７とが電気的に接続されている。これにより、導電性基板１７は、太陽電池の内側電極となっている。
【００４０】
また、開口部１８の縁部１８ａが鋸歯状に形成された電極板１６（図３参照）が、ｎ型半導体層１２と電気的に接続され、太陽電池の外側電極となっている。
また、導電性基板１７と球体セル１０と電極板１６とが絶縁性樹脂部材１４によって接着され、固定されている。さらに、電極板１６の鋸歯状の縁部１８ａが絶縁性樹脂部材１４内部に浸入して（食い込んで）固定されている。
【００４１】
さらに、球体セル１０の周囲にある絶縁性樹脂部材１４と球体セル１０の間の導電性基板１７上に貼られたポリイミドテープなどからなる絶縁膜１５とにより、導電性基板１７（内側電極）と、開口部１８の縁部１８ａが鋸歯状に形成された電極板１６（外側電極）とは電気的に絶縁されている。
【００４２】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る太陽電池の具体的な製造方法を以下、説明する。
まず、本実施の形態で用いる球体セル１０を第１の実施の形態と同様にして形成する。
【００４３】
次に、上述の球体セル１０を用いた太陽電池の製造方法を図９を用いて説明する。図９は、本発明の第２の実施の形態に係る太陽電池の製造方法の工程を説明する断面概要図である。
【００４４】
次に、前記第１の実施の形態と同様に図３の（ａ）に示すような、球体セルの配置に合わせて開口部が設けられた電極板（例えば、アルミニウムなどの金属シート）１６を用意する。この電極板は、開口部１８をその縁部１８ａが鋸歯状となるようにパンチ等で打ち抜いて形成されたものである。図３の（ｂ）にそのＡ−Ａ断面を模式的に示す。
この電極板１６の開口部１８が球体セル１０の上に位置合わせをした後、球体セル１０を電極板１６の開口部１８上方より嵌め込み固定する。または、電極板１の開口部１８の配置と合うように球体セル１０を予め配置して、その上方より電極板１を嵌め込み球体セル１０を固定しこれを反転させ上下を逆にする。このようにして、図９の（ａ）に示すように、鋸歯状の縁部１８ａの突起が、下向きに突出した状態となる。
【００４５】
次に、図９の（ｂ）に示すように、嵌め込んだ電極板の上面の球体セル表面に例えば、熱可塑性のバックコートレジン等のエッチング防止膜１９を塗布する。
【００４６】
次に、図９の（ｃ）に示すように、エッチングを施して、エッチング防止膜１９に覆われていない部分のｎ型半導体層１２を除去し、内部のｐ型半導体層１１を露出させる。
【００４７】
次に、図９の（ｄ）に示すように、熱および溶液等によりエッチング防止膜１９を除去する。
【００４８】
次に、図９の（ｅ）に示すように、第１の実施の形態と同様にして加工した（図４の導電性基板を加工する工程）導電性基板１７の上に、前記のように加工した球体セルを露出したｐ型半導体層１１が絶縁性樹脂部材１４に接し、球体セル１０の中心が貫通孔中心に合致するように位置合わせをして載置する。
【００４９】
次に、図９の（ｅ）の状態で約１５０℃に加熱し、プレス装置等を用いて約１時間上部より加圧し、図９の（ｆ）の状態とする。そして、加圧した状態のまま、絶縁性樹脂部材１４の硬化を行う。このとき焼結（シンタリング）の工程を併用して行うこともでき、この場合の加熱温度は２００℃〜３００℃、加圧時間は３０分〜１時間で行うことが好ましい。
【００５０】
上述の各実施の形態において、第１導電型をｐ型、第２導電型をｎ型として、説明を行ったが、第１導電型をｎ型、第２導電型をｐ型としても同様に製造できるものである。
また、ｐ型多結晶を球状基板とする球体セルを用いたが、ｐ型単結晶またはｐ型アモルファスシリコンなどを用いても良い。
【００５１】
さらに、上述の各実施の形態において、電極板１６の外側に、透明導電膜（例えば、ＩＴＯ）をスパッタリング法などにより、薄膜堆積しても良い。
さらに、透明導電膜の外側にスパッタリング法などにより、反射防止膜を形成しても良い。
【００５２】
【発明の効果】
以上詳記したように、本発明に係る太陽電池の製造方法および太陽電池によれば、開口部の縁部が鋸歯状に形成されているので、真球でない（球形状や直径が一定でない）球体セルであっても電極板に確実に固定することができ、接合部の低抵抗化および安定化が実現でき、高出力の太陽電池が製造できる。
また、球体セルの一部をエッチング防止膜で覆い、エッチングを施すことにより、球体セル反対面へのエッチング剤の漏れを防ぐことができる。
また、導電性基板と球体セルとの固定を、絶縁性樹脂部材の加圧により接着することにより確実に固定でき、同時に外部電極と内部電極との絶縁分離のための絶縁層形成もできるため、球体セルの確実な高密度実装を実現でき、太陽電池の信頼性の向上をはかることができる。
また、球体セル部分を除いて全て薄い部材で形成可能であるため、加工性の自由度が高いシート状の太陽電池を製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る太陽電池の要部斜視図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態に係る太陽電池の要部斜視図である。
【図３】本発明の外部電極となる電極板の要部斜視図およびＡ−Ａ断面を模式的に示す図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る太陽電池を説明する断面概要図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る太陽電池を説明する断面概要図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る太陽電池の製造方法の球体セルの加工工程を説明する断面概要図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係る太陽電池の製造方法の導電性基板を加工する工程の概略断面図である。
【図８】本発明の第１の実施の形態に係る太陽電池の製造方法の加工した球体セルを加工した導電性基板に搭載し、太陽電池を形成する工程の概略断面図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係る太陽電池の製造方法の工程を説明する断面概要図である。
【図１０】従来の太陽電池を説明する断面概要図である。
【符号の説明】
１０ 球体セル
１１ 第１導電型（ｐ型）半導体層
１２ 第２導電型（ｎ型）半導体層
１３ 固定部材
１４ 絶縁性樹脂部材
１５ 絶縁膜
１６ 電極板
１７ 導電性基板
１７ａ 貫通孔
１７ｂ スパイク部
１８ 開口部
１８ａ 縁部
１９ エッチング防止膜
【発明の属する技術分野】
本発明は、太陽電池の製造方法および太陽電池に係り、特に球体セルを用いた太陽電池の製造方法および太陽電池に関する。
【０００２】
【従来の技術】
半導体のｐｎ接合部分には内部電界が生じており、これに光を当て、電子正孔対を生成させると、生成した電子と正孔は内部電界により分離されて、電子はｎ側に、正孔はｐ側に集められ、外部に負荷を接続するとｐ側からｎ側に向けて電流が流れる。この効果を利用し、光エネルギーを電気エネルギーに変換する素子として太陽電池の実用化が進められている。
【０００３】
近年、単結晶、多結晶シリコンなどの直径１ｍｍ以下の球状の半導体（Ball Semiconductor）上に回路パターンを形成して半導体素子を製造する技術が開発されている。
【０００４】
その１つとして、アルミ箔を用いて多数個の半導体粒子を接続したソーラーアレーの製造方法が提案されている（特開平６-１３６３３号）。この方法では、図１０に示すように、ｎ型表皮部とｐ型内部を有する半導体粒子２０７をアルミ箔の開口にアルミ箔２０１の両側から突出するように配置し、片側の表皮部２０９を除去し、絶縁層２２１を形成する。次にｐ型内部２１１の一部およびその上の絶縁層２２１を除去し、その除去された領域２１７に第2アルミ箔２１９を結合する。その平坦な領域２１７が導電部としての第2アルミ箔２１９に対し良好なオーミック接触を提供するようにしたものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上記のような従来の太陽電池（ソーラーアレー）の製造方法では、球体セル（半導体粒子）の内部コアがｐ型半導体層の場合には、表面に形成されているｎ型半導体層の電極を取るために、アルミ箔をパンチ等で打ち抜き、球体セルを打ち抜いた開口に埋め込むことで、アルミ箔をｎ型電極として用いている。
しかしながら、実際には打ち抜いた開口に球体セルを埋め込んだ状態で固定するのは非常に困難である。
また、球体セルが真球でない（球形状や直径が一定でない）場合、同一径の開口にこのような球体セルを埋め込み固定することは非常に困難であり、開口のエッジと球体セル間に隙間ができてしまう。
このため、埋め込み後のｐ型拡散層領域露出のためのエッチングの際、開口の縁部と球体セル間の隙間があるとエッチング剤がｐ型半導体層露出面の反対側に漏れだしてしまい、本来エッチングすべきでない反対側の球体セル表面もエッチングされてしまい、太陽電池の信頼性が損なわれてしまう。
【０００６】
本発明は、上記問題点に鑑みて成されたものであり、球体セルが真球でない（球形状や直径が一定でない）場合でも固定が確実にでき、エッチング時にエッチング剤が漏れずにエッチングでき、高密度実装においての内側電極と外側電極との導通の問題を解決し、信頼性の向上をはかり、作業性が良く、高出力の太陽電池の製造方法および太陽電池を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の太陽電池の製造方法は、第１導電型半導体層を有する球体基板表面に、前記第１導電型半導体層の一部が露出したように第２導電型半導体層を形成してなる球体セルを用意する工程と、表面に突起部を有する導電性基板を形成する工程と、該突起部上に絶縁性樹脂部材を形成する工程と、前記球体セルの前記第１導電型半導体層の露出した部分が前記絶縁性樹脂部材に当接するように球体セルを載置して、加圧することにより、前記第１導電型半導体層の露出した部分と、前記導電性基板とを電気的に接続させる工程と、前記球体セルの配置に合わせた開口部を具備し、該開口部の縁部が鋸歯状に形成されてなる電極板を用意し、該開口部を球体セルに嵌合して固定し、前記第２導電型半導体層と電気的に接続させる工程と、を含むことを特徴とする。
かかる方法によれば、開口部の縁部が鋸歯状に形成されているので、真球でない（球形状や直径が一定でない）球体セルであっても電極板に確実に固定することができる。
また、導電性基板と球体セルとの固定を、絶縁性樹脂部材の加圧により接着することにより確実に固定でき、同時に外部電極と内部電極との絶縁分離のための絶縁層形成もできる。
【０００８】
本発明の第２の太陽電池の製造方法は、第１導電型半導体層を有する球体基板表面に、第２導電型半導体層を形成してなる球体セルを用意する工程と、前記球体セルの配置に合わせた開口部を具備し、該開口部の縁部が鋸歯状に形成されてなる電極板を用意し、球体セルを前記開口部に嵌合して固定する工程と、前記球体セルの一部をエッチング防止膜で覆い、エッチングを施すことにより、前記第１導電型半導体層の一部を露出させる工程と、表面に突起部を有する導電性基板を形成する工程と、該突起部上に絶縁性樹脂部材を形成する工程と、前記球体セルの前記第１導電型半導体層の露出した部分が前記絶縁性樹脂部材に当接するように球体セルを載置して、加圧することにより、前記第１導電型半導体層の露出した部分と、前記導電性基板とを電気的に接続させる工程と、を含むことを特徴とする。
かかる方法によれば、電極板の開口部の縁部が鋸歯状に形成されているので、真球でない（球形状や直径が一定でない）球体セルであっても電極板に確実に固定することができる。
また、球体セルの一部をエッチング防止膜で覆い、エッチングを施すことにより、球体セル反対面へのエッチング剤の漏れを防ぐことができる。
また、導電性基板と球体セルとの固定を、絶縁性樹脂部材の加圧により接着することにより確実に固定でき、同時に外部電極と内部電極との絶縁分離のための絶縁層形成もできる。
さらに、前記鋸歯状の開口部の縁部が絶縁性樹脂部材内部に浸入して（食い込んで）固定されるので、電極板、球体セル、導電性基板の強固な固定が実現できる。
【０００９】
本発明の第３の太陽電池の製造方法は、請求項１または２に記載の太陽電池の製造方法において、前記導電性基板を形成する工程は、導電性基板表面に絶縁膜を形成する工程と、打ち抜き加工により突起部を形成する工程とを含むことを特徴とする。
かかる方法によれば、ポリイミドテープ等を導電性基板上に貼るなどして絶縁膜を形成することにより、内側電極（導電性基板）と外側電極（電極板）とを電気的に絶縁することができる。
【００１０】
本発明の第４の太陽電池の製造方法は、請求項３に記載の太陽電池の製造方法において、前記絶縁膜は、前記導電性基板の全表面に形成することを特徴とする。
かかる方法によれば、より確実に内側電極（導電性基板）と外側電極（電極板）とを電気的に絶縁することができる。
【００１１】
本発明の第５の太陽電池の製造方法は、請求項３に記載の太陽電池の製造方法において、前記絶縁膜は、前記導電性基板の突起部以外の表面に形成することを特徴とする。
かかる方法によれば、より効率よく内側電極（導電性基板）と外側電極（電極板）とを電気的に絶縁することができる。
【００１２】
本発明の第６の太陽電池は、シート状の導電性基板上に、内部が第１導電型半導体層、表面が第２導電型半導体層からなる球体セルが敷き詰められた太陽電池であって、前記球体セル内部の第１導電型半導体層の一部が露出し、露出部分と前記導電性基板とが電気的に接続されてなる内側電極と、前記第２導電型半導体層と、前記球体セルの配置に合わせた開口部を具備し該開口部の縁部が鋸歯状に形成された電極板とが、電気的に接続されてなる外側電極と、を具備したことを特徴とする。
かかる構成によれば、開口部の縁部が鋸歯状に形成されているので、真球でない（球形状や直径が一定でない）球体セルであっても電極板に確実に固定された太陽電池を実現できる。
【００１３】
本発明の第７の太陽電池は、請求項６に記載の太陽電池であって、前記導電性基板と前記球体セルと前記電極板とが絶縁性樹脂部材によって接着されてなることを特徴とする。
かかる構成によれば、導電性基板と球体セルとが、絶縁性樹脂部材により確実に接着固定され、また、この絶縁性樹脂部材が外部電極と内部電極との絶縁分離のための絶縁層とも機能する太陽電池を実現できる。
【００１４】
本発明の第８の太陽電池は、請求項６または７に記載の太陽電池であって、前記開口部の縁部の鋸歯状部が上向きに形成されてなることを特徴とする。
かかる構成によれば、開口部の縁部が鋸歯状に形成されているので、真球でない（球形状や直径が一定でない）球体セルであっても電極板に確実に固定された太陽電池を実現できる。
【００１５】
本発明の第９の太陽電池は、請求項６または７に記載の太陽電池であって、前記開口部の縁部の鋸歯状部が下向きに形成され、かつ、該鋸歯状部が絶縁性樹脂部材内部に浸入して固定されてなることを特徴とする。
かかる構成によれば、開口部の縁部が鋸歯状に形成されているので、真球でない（球形状や直径が一定でない）球体セルであっても電極板に確実に固定され、かつ、電極板、球体セル、導電性基板の強固な固定が実現できる。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る太陽電池および太陽電池の製造方法について実施の形態を挙げ、図面を参照して詳細に説明する。
【００１７】
（第１の実施の形態）
図１は本発明の第１の実施の形態に係る太陽電池の要部斜視図であり、図４はその一部の断面概要図であり、図３は外部電極となる電極板の要部斜視図およびＡ−Ａ断面を模式的に示す図である。
本発明の第１の実施形態に係る太陽電池は、図１および図４に示すように、シート状の導電性基板１７上に、太陽電池のセルとなる球体セル１０が敷き詰められ、球体セルの配置に合わせた開口部１８を具備し、その開口部１８の縁部１８ａが鋸歯状に形成された電極板１６が、この鋸歯状の縁部１８ａが上向きになるように球体セル１０に嵌合して固定されている。
【００１８】
また、球体セル１０内部のｐ型半導体層１１（第１導電型半導体層）とｐｎ接合を形成するｎ型半導体層１２（第２導電型半導体層）を有する球体セル１０が、導電性基板１７に圧着され、内部のｐ型半導体層１１と導電性基板１７とが電気的に接続されている。これにより、導電性基板１７は、太陽電池の内側電極となっている。
【００１９】
また、開口部１８の縁部１８ａが鋸歯状に形成された電極板１６（図３参照）は、ｎ型半導体層１２と電気的に接続され、太陽電池の外側電極となっている。
また、導電性基板１７と球体セル１０とが絶縁性樹脂部材１４によって接着され、固定されている。
【００２０】
さらに、球体セル１０の周囲にある絶縁性樹脂部材１４と球体セル１０の間の導電性基板１７上に貼られたポリイミドテープなどからなる絶縁膜１５とにより、導電性基板１７（内側電極）と、開口部の縁部１８ａが鋸歯状に形成された電極板１６（外側電極）とは電気的に絶縁されている。
【００２１】
次に、本発明の実施形態に係る太陽電池の具体的な製造方法の一例を以下、説明する。
まず、本実施の形態で用いる球体セル１０の形成方法の一例について説明する。
直径１ｍｍのｐ型多結晶シリコン粒を真空中で加熱しつつ落下させ、結晶性の良好なｐ型多結晶シリコン球（ｐ型半導体層）１１を形成し、この表面に、フォスフィンを含むシランなどの混合ガスを用いたＣＶＤ法により、ｎ型多結晶シリコン層（ｎ型半導体層）１２を形成する。ここでＣＶＤ工程は細いチューブ内でシリコン球を搬送しながら、所望の反応温度に加熱されたガスを供給排出することにより、薄膜形成を行うものである。
【００２２】
なお、この工程は、ｐ型多結晶シリコン粒を真空中で加熱しつつ落下させながら球状化し、ｐ型多結晶シリコン球（ｐ型半導体層）１１を形成するとともに、落下途上で所望のガスと接触させることにより、ｎ型多結晶シリコン層（ｎ型半導体層）１２を形成する様にすることも可能である。
【００２３】
次に、上述の球体セル１０を用いた太陽電池の製造方法を図６〜図８を用いて説明する。図６は球体セルを加工する工程の概略断面図であり、図７は導電性基板を加工する工程の概略断面図であり、図８は加工した球体セルを加工した導電性基板に搭載し、太陽電池を形成する工程の概略断面図である。
【００２４】
球体セルを加工する工程を図６を用いて説明する。
まず、一定間隔を空けて縦横等間隔に球体セルを並べるために設けられた窪みを有するトレイＴを用意する。
図６の（ａ）にこのトレイＴの概略断面図を示す。
【００２５】
次に、図６の（ｂ）に示すように、球体セル１０をトレイＴの窪みに載置する。
【００２６】
次に、図６の（ｃ）に示すように、球体セル１０が埋まるように、ろう剤（例えば、パラフィン等のエレクトロンワックス）からなる固定部材１３を溶融温度（パラフィンの場合は１００℃〜２００℃）に熱して溶融させて流し込み、温度を下げて硬化させる。
【００２７】
次に、図６の（ｄ）に示すように、トレイＴから固定部材１３により固定された球体セル１０を取り出し、逆向きにする。
【００２８】
次に、図６の（ｅ）に示すように、球体セル１０が固定部材１３に覆われていない部分に対し、エッチング等を施すことにより表面のｎ型半導体層１２を除去し、内部のｐ型半導体層１１を露出させる。あるいは、上記固定部材１３に覆われていない部分をグラインディング等により研削することで、内部のｐ型半導体層１１を露出させても良い。
【００２９】
次に、基板を加工する工程を図７を用いて説明する。
まず、図７の（ａ）に示すように、アルミニウムシート等からなる導電性基板１７を用意する。
【００３０】
次に、図７の（ｂ）に示すように、導電性基板１７の上に絶縁膜１５を形成する（例えば、ポリイミドテープを貼る）。絶縁膜１５は、図に示すように後の工程で貫通孔を設ける部分を予めパンチ等で孔をあけているが、孔をあけずに導電性基板１７上の全面を覆うように貼り付けても良い。
【００３１】
次に、図７の（ｃ）に示すように、導電性基板１７に対し、パンチ等を用いて、スパイク状の突起部１７ｂを有する貫通孔１７ａを形成する。
【００３２】
次に、図７の（ｄ）に示すように、スパイク状の突起部１７ｂ上に絶縁性樹脂部材１４（例えば、エポキシ樹脂）を適量塗布する。
【００３３】
また、上記図７の（ｃ）の工程において、必ずしも貫通孔１７ａが開かなくても良く、この場合は突起部１７ｃはスパイク状ではなく、図７の（ｅ）に示すような凸状になっても良い。そして、次にこの凸状の突起部１７ｃ上に絶縁性樹脂部材１４（例えば、エポキシ樹脂）を適量塗布し（図７の（ｆ））、貫通孔１７ａがある場合と同様に、以降の工程により製造できるものである。
【００３４】
次に、加工した球体セルを加工した導電性基板に搭載する工程を図８を用いて説明する。
まず、図８の（ａ）に示すように、前記のように加工した導電性基板（図７の（ｄ））の上に、前記のように加工した球体セル（図６の（ｃ））を露出したｐ型半導体層１１が絶縁性樹脂部材１４に接し、球体セル１０の中心が貫通孔中心に合致するように位置合わせをして載置する。
【００３５】
次に、図８の（ａ）の状態で約１５０℃に加熱し、プレス装置等を用いて約１時間上部より加圧し、図８の（ｂ）の状態とする。そして、加圧した状態のまま、絶縁性樹脂部材１４の硬化を行う。このとき焼結（シンタリング）の工程を併用して行うこともでき、この場合の加熱温度は２００℃〜３００℃、加圧時間は３０分〜１時間で行うことが好ましい。
【００３６】
次に、加圧を解除し、固定部材１３を熱または薬品（例えば、アセトン）を用いて除去し、図８の（ｃ）の状態となる。
【００３７】
次に、図３の（ａ）に示すような、球体セル１０の配置に合わせて開口部１８が設けられた電極板（例えば、アルミニウムなどの金属シート）１６を用意する。この電極板１６は、開口部１８をその縁部１８ａが鋸歯状となるようにパンチ等で打ち抜いて形成されたものである。図３の（ｂ）にそのＡ−Ａ断面を模式的に示す。この電極板１６の開口部１８が球体セル１０の上に位置合わせをした後、電極板１６の開口部１８を球体セル１０の上方より嵌め込み固定する。このとき、鋸歯状の縁部１８ａの突起が上向きになる。
このようにして、図８の（ｄ）に示す状態となる。
【００３８】
（第２の実施の形態）
図２は本発明の第２の実施の形態に係る太陽電池の要部斜視図であり、図５はその一部の断面概要図であり、図３は外部電極となる電極板の要部斜視図およびＡ−Ａ断面を模式的に示す図である。
本発明の第２の実施形態に係る太陽電池は、図２および図５に示すように、シート状の導電性基板１７上に、太陽電池のセルとなる球体セル１０が敷き詰められ、開口部１８の縁部１８ａが鋸歯状に形成された電極板１６が、この鋸歯状の縁部１８ａが下向きになるように球体セル１０に嵌合して固定されている。
【００３９】
また、球体セル１０内部のｐ型半導体層１１（第１導電型半導体層）とｐｎ接合を形成するｎ型半導体層１２（第２導電型半導体層）を有する球体セル１０が、導電性基板１７に圧着され、内部のｐ型半導体層１１と導電性基板１７とが電気的に接続されている。これにより、導電性基板１７は、太陽電池の内側電極となっている。
【００４０】
また、開口部１８の縁部１８ａが鋸歯状に形成された電極板１６（図３参照）が、ｎ型半導体層１２と電気的に接続され、太陽電池の外側電極となっている。
また、導電性基板１７と球体セル１０と電極板１６とが絶縁性樹脂部材１４によって接着され、固定されている。さらに、電極板１６の鋸歯状の縁部１８ａが絶縁性樹脂部材１４内部に浸入して（食い込んで）固定されている。
【００４１】
さらに、球体セル１０の周囲にある絶縁性樹脂部材１４と球体セル１０の間の導電性基板１７上に貼られたポリイミドテープなどからなる絶縁膜１５とにより、導電性基板１７（内側電極）と、開口部１８の縁部１８ａが鋸歯状に形成された電極板１６（外側電極）とは電気的に絶縁されている。
【００４２】
次に、本発明の第２の実施の形態に係る太陽電池の具体的な製造方法を以下、説明する。
まず、本実施の形態で用いる球体セル１０を第１の実施の形態と同様にして形成する。
【００４３】
次に、上述の球体セル１０を用いた太陽電池の製造方法を図９を用いて説明する。図９は、本発明の第２の実施の形態に係る太陽電池の製造方法の工程を説明する断面概要図である。
【００４４】
次に、前記第１の実施の形態と同様に図３の（ａ）に示すような、球体セルの配置に合わせて開口部が設けられた電極板（例えば、アルミニウムなどの金属シート）１６を用意する。この電極板は、開口部１８をその縁部１８ａが鋸歯状となるようにパンチ等で打ち抜いて形成されたものである。図３の（ｂ）にそのＡ−Ａ断面を模式的に示す。
この電極板１６の開口部１８が球体セル１０の上に位置合わせをした後、球体セル１０を電極板１６の開口部１８上方より嵌め込み固定する。または、電極板１の開口部１８の配置と合うように球体セル１０を予め配置して、その上方より電極板１を嵌め込み球体セル１０を固定しこれを反転させ上下を逆にする。このようにして、図９の（ａ）に示すように、鋸歯状の縁部１８ａの突起が、下向きに突出した状態となる。
【００４５】
次に、図９の（ｂ）に示すように、嵌め込んだ電極板の上面の球体セル表面に例えば、熱可塑性のバックコートレジン等のエッチング防止膜１９を塗布する。
【００４６】
次に、図９の（ｃ）に示すように、エッチングを施して、エッチング防止膜１９に覆われていない部分のｎ型半導体層１２を除去し、内部のｐ型半導体層１１を露出させる。
【００４７】
次に、図９の（ｄ）に示すように、熱および溶液等によりエッチング防止膜１９を除去する。
【００４８】
次に、図９の（ｅ）に示すように、第１の実施の形態と同様にして加工した（図４の導電性基板を加工する工程）導電性基板１７の上に、前記のように加工した球体セルを露出したｐ型半導体層１１が絶縁性樹脂部材１４に接し、球体セル１０の中心が貫通孔中心に合致するように位置合わせをして載置する。
【００４９】
次に、図９の（ｅ）の状態で約１５０℃に加熱し、プレス装置等を用いて約１時間上部より加圧し、図９の（ｆ）の状態とする。そして、加圧した状態のまま、絶縁性樹脂部材１４の硬化を行う。このとき焼結（シンタリング）の工程を併用して行うこともでき、この場合の加熱温度は２００℃〜３００℃、加圧時間は３０分〜１時間で行うことが好ましい。
【００５０】
上述の各実施の形態において、第１導電型をｐ型、第２導電型をｎ型として、説明を行ったが、第１導電型をｎ型、第２導電型をｐ型としても同様に製造できるものである。
また、ｐ型多結晶を球状基板とする球体セルを用いたが、ｐ型単結晶またはｐ型アモルファスシリコンなどを用いても良い。
【００５１】
さらに、上述の各実施の形態において、電極板１６の外側に、透明導電膜（例えば、ＩＴＯ）をスパッタリング法などにより、薄膜堆積しても良い。
さらに、透明導電膜の外側にスパッタリング法などにより、反射防止膜を形成しても良い。
【００５２】
【発明の効果】
以上詳記したように、本発明に係る太陽電池の製造方法および太陽電池によれば、開口部の縁部が鋸歯状に形成されているので、真球でない（球形状や直径が一定でない）球体セルであっても電極板に確実に固定することができ、接合部の低抵抗化および安定化が実現でき、高出力の太陽電池が製造できる。
また、球体セルの一部をエッチング防止膜で覆い、エッチングを施すことにより、球体セル反対面へのエッチング剤の漏れを防ぐことができる。
また、導電性基板と球体セルとの固定を、絶縁性樹脂部材の加圧により接着することにより確実に固定でき、同時に外部電極と内部電極との絶縁分離のための絶縁層形成もできるため、球体セルの確実な高密度実装を実現でき、太陽電池の信頼性の向上をはかることができる。
また、球体セル部分を除いて全て薄い部材で形成可能であるため、加工性の自由度が高いシート状の太陽電池を製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る太陽電池の要部斜視図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態に係る太陽電池の要部斜視図である。
【図３】本発明の外部電極となる電極板の要部斜視図およびＡ−Ａ断面を模式的に示す図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る太陽電池を説明する断面概要図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係る太陽電池を説明する断面概要図である。
【図６】本発明の第１の実施の形態に係る太陽電池の製造方法の球体セルの加工工程を説明する断面概要図である。
【図７】本発明の第１の実施の形態に係る太陽電池の製造方法の導電性基板を加工する工程の概略断面図である。
【図８】本発明の第１の実施の形態に係る太陽電池の製造方法の加工した球体セルを加工した導電性基板に搭載し、太陽電池を形成する工程の概略断面図である。
【図９】本発明の第２の実施の形態に係る太陽電池の製造方法の工程を説明する断面概要図である。
【図１０】従来の太陽電池を説明する断面概要図である。
【符号の説明】
１０ 球体セル
１１ 第１導電型（ｐ型）半導体層
１２ 第２導電型（ｎ型）半導体層
１３ 固定部材
１４ 絶縁性樹脂部材
１５ 絶縁膜
１６ 電極板
１７ 導電性基板
１７ａ 貫通孔
１７ｂ スパイク部
１８ 開口部
１８ａ 縁部
１９ エッチング防止膜
Claims (9)
- 第１導電型半導体層を有する球体基板表面に、前記第１導電型半導体層の一部が露出したように第２導電型半導体層を形成してなる球体セルを用意する工程と、
表面に突起部を有する導電性基板を形成する工程と、
該突起部上に絶縁性樹脂部材を形成する工程と、
前記球体セルの前記第１導電型半導体層の露出した部分が前記絶縁性樹脂部材に当接するように球体セルを載置して、加圧することにより、前記第１導電型半導体層の露出した部分と、前記導電性基板とを電気的に接続させる工程と、
前記球体セルの配置に合わせた開口部を具備し、該開口部の縁部が鋸歯状に形成されてなる電極板を用意し、該開口部を球体セルに嵌合して固定し、前記第２導電型半導体層と電気的に接続させる工程と、を含むことを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 第１導電型半導体層を有する球体基板表面に、第２導電型半導体層を形成してなる球体セルを用意する工程と、
前記球体セルの配置に合わせた開口部を具備し、該開口部の縁部が鋸歯状に形成されてなる電極板を用意し、球体セルを前記開口部に嵌合して固定する工程と、
前記球体セルの一部をエッチング防止膜で覆い、エッチングを施すことにより、前記第１導電型半導体層の一部を露出させる工程と、
表面に突起部を有する導電性基板を形成する工程と、
該突起部上に絶縁性樹脂部材を形成する工程と、
前記球体セルの前記第１導電型半導体層の露出した部分が前記絶縁性樹脂部材に当接するように球体セルを載置して、加圧することにより、前記第１導電型半導体層の露出した部分と、前記導電性基板とを電気的に接続させる工程と、を含むことを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 請求項１または２に記載の太陽電池の製造方法において、
前記導電性基板を形成する工程は、導電性基板表面に絶縁膜を形成する工程と、打ち抜き加工により突起部を形成する工程とを含むことを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 請求項３に記載の太陽電池の製造方法において、
前記絶縁膜は、前記導電性基板の全表面に形成することを特徴とする太陽電池の製造方法。 - 請求項３に記載の太陽電池の製造方法において、
前記絶縁膜は、前記導電性基板の突起部以外の表面に形成することを特徴とする太陽電池の製造方法。 - シート状の導電性基板上に、内部が第１導電型半導体層、表面が第２導電型半導体層からなる球体セルが敷き詰められた太陽電池であって、
前記球体セル内部の第１導電型半導体層の一部が露出し、露出部分と前記導電性基板とが電気的に接続されてなる内側電極と、
前記第２導電型半導体層と、前記球体セルの配置に合わせた開口部を具備し該開口部の縁部が鋸歯状に形成された電極板とが、電気的に接続されてなる外側電極と、を具備したことを特徴とする太陽電池。 - 請求項６に記載の太陽電池であって、前記導電性基板と前記球体セルと前記電極板とが絶縁性樹脂部材によって接着されてなることを特徴とする太陽電池。
- 請求項６または７に記載の太陽電池であって、前記開口部の縁部の鋸歯状部が上向きに形成されてなることを特徴とする太陽電池。
- 請求項６または７に記載の太陽電池であって、前記開口部の縁部の鋸歯状部が下向きに形成され、かつ、該鋸歯状部が絶縁性樹脂部材内部に浸入して固定されてなることを特徴とする太陽電池。
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