JP3914478B2 - Lsiチップ実装可撓配線板 - Google Patents

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  • Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、LSIチップを搭載したLSIチップ実装可撓配線板に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、可撓配線板上に、LSIチップを搭載したCOF(Chip On Film)方式のLSIチップ実装可撓配線板が知られている。このような従来のLSIチップ実装可撓配線板として、液晶表示装置における液晶表示パネルとの電気的な接続に用いられるものを例示して説明する。
【0003】
図5および図6は、従来の液晶表示パネルとの接続に用いられているLSIチップ実装可撓配線板の要部の構成を示すものであり、従来のLSIチップ実装可撓配線板1は、可撓配線板2上にLSIチップ3を図示しない樹脂製接合材を介して搭載すること等により形成されている。このLSIチップ実装可撓配線板1は、図5の上側がLSIチップ3が搭載される搭載側OSとされており、図5の下側がLSIチップ3の搭載側OSとは反対側の背面側RSとされている。
【0004】
前記可撓配線板2は、ポリイミドなどの絶縁性を有する素材により厚さが例えば25μm程度に形成された可撓性フィルムからなる絶縁性基板4を備えている。この絶縁性基板4の一面たる搭載側OSに位置する図5の上面には、配線パターン5が形成されている。この配線パターン5のLSIチップ3が搭載される搭載領域には、LSIチップ3の図5の下方に示す回路面側たる下面に形成されている電極であるバンプ3aが電気的に接続されるLSI用端子6が形成されている。そして、配線パターン5およびLSI用端子6は、絶縁性基板4の一面上に、厚さ12μm程度に成膜された銅などの金属箔を貼り付ける等して形成した導電膜をエッチングによって所定パターンにパターニングすることにより同時に形成されている。
【0005】
前記絶縁性基板4の上面において、LSIチップ3が搭載される搭載領域、および図示しない入力端子の形成領域ならびに図示しない出力端子の形成領域を除く部位は、ポリイミド樹脂などの絶縁性を有する素材により厚さが例えば12.5μm程度に形成された絶縁膜7により被覆されている。すなわち、絶縁膜7は、配線パターン5を部分的に被覆するように形成されている。また、絶縁膜7の搭載領域に形成される開口8のサイズは、図6において想像線(二点線で示す)にて囲んで示すLSIチップ3の外形サイズより大きく形成されており、可撓配線板2にLSIチップ3を搭載する前の非搭載状態において、LSI用端子6の接続面6a(図5)が外部に露出するように形成されている。なお、配線パターン5のLSI用端子6の表面を含む絶縁膜7により覆われていない部分の表面には、腐蝕を防止するための表面処理、たとえば、錫メッキあるいは貴金属メッキなどがそれぞれ施されている。さらに、LSIチップ3のバンプ3aとLSI用端子6の接続面6aとは、異方性導電フィルムなどからなる樹脂製接合材によって電気的に接続されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前述した従来のLSIチップ実装可撓配線板1においては、LSIチップ3とLSI用端子6との絶縁性を維持する間隔を保持することができないことに起因して、安定した機能を確実に保持することができないという問題点があった。
【0007】
すなわち、LSIチップ3のバンプ3aとLSI用端子6の接続面6aとを電気的に接続する際には両者を熱圧着させており、この熱圧着時の圧着力(加圧力)によってLSI用端子6に局所的に力が加わり、図7に示すように、LSI用端子6は、搭載側OS側に変形し、可撓配線板2が反りあがることがある。そして、可撓配線板2が反りあがると、LSIチップ3とLSI用端子6、詳しくはLSIチップ3の回路面が形成されている下面の外周部とLSI用端子6の接続面6aとが接触し、接触部CPにおいて隣位する2つのLSI用端子6の間で短絡が生じる場合があり、安定した機能を確実に保持することができないという問題点があった。
【0008】
このような問題点は、LSIチップ3の下面に形成されているバンプ3aと外周縁との距離Lが200μm以上となった場合に特に顕著である。
【0009】
本発明はこの点に鑑みてなされたものであり、安定した機能を確実に保持することのできるLSIチップ実装可撓配線板を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
前述した目的を達成するため特許請求の範囲の請求項1に係る本発明のLSIチップ実装可撓配線板の特徴は、可撓性を具備する絶縁性基板と、この絶縁性基板の一面に形成されている配線パターンと、この配線パターンのうちの少なくとも後にLSIチップが搭載される搭載領域を開口とするように前記配線パターンを部分的に被覆するように形成されている絶縁膜とを備え、前記開口内で配線パターンのLSI用端子にLSIチップのバンプが異方性導電フィルムを介して電気的に接続されているLSIチップ実装可撓配線板において、前記開口内に、開口端縁から延出されてなり、LSIチップ搭載時における前記LSI用端子と前記LSIチップとの最小間隔を保持するための間隔保持手段が設けられ、該間隔保持手段は、前記絶縁膜を前記開口の端面から延出させてなる凸部であって、該凸部の形成位置を高電位差のかかる端子のどちらか一方としている点にある。そして、このような構成を採用したことにより、間隔保持手段は、LSIチップを搭載した際に、LSIチップとLSI用端子とが接触したり、LSIチップとLSI用端子とが必要以上に接近するのを確実かつ容易に防止することができる。また、凸部の形成位置を高電位差のかかる端子のどちらか一方とすることで、凸部によって覆われていない他方の端子で水分の浸入により腐食が発生しても、マイグレーションを起こす導電性物質により遮られ、一方の端子に到達するのを遅らせることができる。
【0012】
また、請求項に係る本発明のLSIチップ実装可撓配線板の特徴は、請求項において、前記凸部の高さが、LSIチップのバンプの高さより低く形成されている点にある。そして、このような構成を採用したことにより、LSIチップのバンプとLSI用端子との電気的な接続を確実に行うことができる。
【0014】
また、請求項に係る本発明のLSIチップ実装可撓配線板の特徴は、請求項1または2において、前記LSIチップが、そのバンプと外周面との距離が200μm以上である点にある。そして、このような構成を採用したことにより、間隔保持手段がより有効に機能する。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に示す実施形態により説明する。
【0016】
図1および図2は本発明に係るLSIチップ実装可撓配線板の実施形態を示すものであり、図1は要部の拡大縦断面図、図2はLSIチップの搭載部分をLSIチップを除いて示す概略平面図である。
【0017】
本実施形態のLSIチップ実装可撓配線板は、液晶表示装置における液晶表示パネルとの電気的な接続に用いられているものを例示している。
【0018】
図1および図2に示すように、本実施形態のLSIチップ実装可撓配線板11は、可撓配線板12上にLSIチップ13をフィルム状またはペースト状の異方性導電樹脂を介して搭載すること等により形成されている。このLSIチップ実装可撓配線板11は、図1の上側がLSIチップ13が搭載される搭載側OSとされており、図1の下側がLSIチップ13の搭載側OSとは反対側の背面側RSとされている。
【0019】
図1に示すように、本実施形態の可撓配線板12は、絶縁性基板14を備えている。この絶縁性基板14の一面たる搭載側OSに位置する図1の上面には、所定パターンにパターニングされた配線パターン15が形成されている。この配線パターン15には、LSIチップ13の図1の下方に示す回路面側たる下面に形成されている電極であるバンプ13aと電気的に接続されるLSI用端子16が形成されている。また、絶縁性基板14の上面において、LSIチップ3が搭載される搭載領域、および図示しない入力端子の形成領域ならびに図示しない出力端子の形成領域を除く部位は、絶縁膜17により被覆されている。すなわち、絶縁膜17は、配線パターン15を部分的に被覆するように形成されている。また、絶縁膜17の搭載領域に形成される開口18のサイズは、図2において想像線にて示すLSIチップ13の外形サイズより大きく形成されており、可撓配線板12にLSIチップ13を搭載する前の非搭載状態において、LSI用端子16の接続面16a(図1)が外部に露出するように形成されている。なお、配線パターン15のLSI用端子16の表面を含む絶縁膜17により覆われていない部分の表面には、腐蝕を防止するための表面処理、たとえば、錫メッキあるいは貴金属メッキなどがそれぞれ施されている。
【0020】
前記絶縁膜17の開口18は、図2に詳示するように、図2において想像線にて示すLSIチップ13の外形サイズより一回り大きいサイズの平面横長の長方形に形成されている。そして、開口18内において、LSIチップ13と対向する対向部には、凸部19が形成されている。
【0021】
本実施形態の凸部19は、絶縁膜17を開口18の各辺に対して直交するように内側に直線状に延出することにより形成されている。すなわち、本実施形態の凸部19は、図2に詳示するように、基端部が開口18の端面に接続されて一体化されており、先端部がLSIチップ13を搭載した際のLSIチップ13の外形位置を少し内側に入った位置に配置されており、全体として平面矩形に形成されている。また、本実施形態の凸部19は、開口18の内面の左辺および右辺の中央部にそれぞれ1箇所、上辺および下辺の中央部に間隔をおいてそれぞれ3箇所の総計8箇所に形成されている。これらの凸部19の厚さ(高さ)としては、LSIチップ13のバンプ13aとLSI用端子16の接続面16aとの電気的な接続を確実に行うことができるという意味で、LSIチップ13のバンプ13aの高さより低く形成することが肝要である。さらに、絶縁性を確保することができるという意味で、厚さを5μm以上とすることが肝要である。例えば、LSIチップ13のバンプ13aの高さを17μmとした場合、凸部19の厚さとしては、5〜15μmの範囲に形成することが好ましい。また、凸部19の形成位置としては、LSIチップ13のバンプ13aと外周縁との距離Lが200μm以上の場合、凸部19とLSIチップ13のバンプ13aとの距離Laが100μm以上となるように形成することが、LSIチップ13のバンプ13aとLSI用端子16とを電気的に接続する際に用いる後述する樹脂製接合材21の接合時の流動を阻害しないとともにボイドの発生を防止することができるという意味で好ましい。
【0022】
前記凸部19により、本実施形態のLSIチップ搭載時におけるLSI用端子16とLSIチップ13との最小間隔を保持するための間隔保持手段20が構成されている。
【0023】
なお、間隔保持手段20としては、LSIチップ13の下面と対向する位置で、かつLSIチップ13のバンプ13aと干渉しない位置、例えば図2において想像線にて示すLSIチップ13の上辺および下辺の中央部に凸部を独立させて1箇所配置する構成や、開口18内のLSIチップ13の4隅部に対向する部位に凸部をそれぞれ独立させて4箇所配置する構成としてもよい。この凸部を開口18内に独立させて配置する構成の場合、凸部の厚さと絶縁膜17の厚さとを異ならせてもよいし、凸部を絶縁膜17とは異なる素材により形成してもよい。さらに、凸部の形状としては、円形、楕円形、三角形、四角形、多角形などの各種の形状から選択することができる。勿論、LSIチップ13のバンプ13aとLSI用端子16とを電気的に接続する際に用いる樹脂製接合材21の接合時の流動を阻害しないとともにボイドの発生を防止するように配置することが肝要である。
【0024】
前記LSI用端子16の接続面16aとLSIチップ13のバンプ13aとは、異方性導電フィルム、異方性導電ペースト、熱硬化性樹脂、熱硬化性樹脂ペーストよりなる群から選ばれた樹脂製接合材21の一つ、本実施形態においては異方性導電フィルムによって電気的に接続されている。
【0025】
なお、LSI用端子16の接続面16aとLSIチップ13のバンプ13aとをリフロー式のハンダ付けによって電気的に接続してもよい。この場合、Sn−Pb、Sn−Ag−Pbなどの鉛ハンダ、および、Sn−Ag−Cuなどの無鉛ハンダを用いることができるが、環境汚染の観点から無鉛ハンダを用いることが好ましい。
【0026】
前記絶縁性基板14の素材としては、ポリイミドあるいはポリエチレンテレフタレートなどの絶縁性を有する樹脂フィルムにより形成された可撓性フィルム基板が一般的に用いられている。この絶縁性基板14は、厚さが例えば25μm程度に形成されており、これにより配線板12に可撓性が付与されている。
【0027】
前記配線パターン15およびLSI用端子16の素材としては、薄膜を容易に形成することのできる金属の導体、例えば銅が一般的であり、アルミニウムなども必要に応じて用いられる。前記配線パターン15およびLSI用端子16は、例えば絶縁性基板14の一面上に、無電解メッキあるいはスパッタなどにより厚さ12μm程度に成膜された金属の導体からなる導電膜をエッチングによって所定パターンにパターニングすることにより同時に形成されている。
【0028】
前記絶縁膜17および凸部19の素材としては絶縁性を有する素材であるポリイミド樹脂、エポキシ樹脂、アクリル樹脂が一般的に用いられている。また、本実施形態の絶縁膜17および延出部19は、印刷法(レジスト塗布→熱または光硬化)、露光現像法(感光性レジスト塗布→露光→現像→エッチング)、貼り付け法(所定形状のフィルムを熱を加えながら貼り付ける)などにより、配線パターン15の表面に開口18を具備する絶縁膜17を形成する際に同時に、同一厚さに形成されている。したがって、間隔保持手段20を容易に設けることができる。
【0029】
なお、絶縁性基板14と配線パターン15との間、および、配線パターン15と絶縁膜17との間を接着剤により接着する構成としてもよい。この場合の接着剤の素材としては、アクリル樹脂、エポキシ樹脂などが一般的に用いられる。
【0030】
つぎに、前述した構成からなる本実施形態の作用について説明する。
【0031】
本実施形態のLSIチップ実装可撓配線板11の可撓配線板12によれば、開口18内にLSIチップ搭載時におけるLSI用端子16とLSIチップ13との最小間隔を保持するための間隔保持手段20が設けられているから、LSIチップ13を搭載した際に、LSIチップ13とLSI用端子16とが接触したり、LSIチップ13とLSI用端子16とが必要以上に接近するのを確実かつ容易に防止することができる。すなわち、LSIチップ13のバンプ13aとLSI用端子16の接続面16aとを熱圧着させる時の圧着力によってLSI用端子16が接続面OS側に変形して配線板12が反りあがった場合でも、LSIチップ13とLSI用端子16との間隔を、少なくとも間隔保持手段20の厚さと同一に保持することができる。これにより、LSIチップ13とLSI用端子16との絶縁性を維持する間隔を確実かつ容易に得ることができる。
【0032】
したがって、本実施形態のLSIチップ実装可撓配線板11によれば、LSI用端子16にLSIチップ13を搭載した際に、LSIチップ13とLSI用端子16とが接触したり、LSIチップ13とLSI用端子16とが必要以上に接近するのを確実かつ容易に防止することができるので、安定した機能を確実に保持することができる。
【0033】
本実施形態のLSIチップ実装可撓配線板11の可撓配線板12によれば、凸部19の高さが、LSIチップ13のバンプ13aの高さより低く形成されているから、接合後においてLSIチップ13のバンプ13aとLSI用端子16の接続面16aとの間に両者を離間させようとする力が生じないので、接合の信頼性が損なわれることがない。言い換えると、LSIチップ13のバンプ13aとLSI用端子16との電気的な接続を確実に行うことができる。
【0034】
本実施形態のLSIチップ実装可撓配線板11によれば、LSIチップ13のバンプ13aと外周面との距離が200μm以上である場合、間隔保持手段20がより有効に機能する。
【0035】
すなわち、本実施形態のLSIチップ実装可撓配線板11によれば、LSIチップ13のバンプ13aと外周面との距離を200μm、350μmとした場合においてLSI用端子6間の短絡が生じないのに対し、間隔保持手段20が設けられていない従来のLSIチップ実装可撓配線板1においては、LSIチップ13のバンプ13aと外周面との距離が50μm、100μm、150μmの場合にはLSI用端子6間の短絡が生じないものの、距離が200μm、350μmの場合にはLSI用端子6間の短絡が生じるという実験結果により確認することができた。なお、サンプル数は11個で、従来品における距離200μmにおける短絡の発生数は1/11個、距離350μmにおける短絡の発生は5/11個であった。
【0036】
したがって、従来のLSIチップ実装可撓配線板11においては、LSIチップ13のバンプ13aと外周面との距離を少なくとも200μm未満とする設計上の制約があるのに対して、本実施形態においてはこのような制約が無く、設計上の自由度を向上することができる。このことは、従来不可能であった、近年のより多くの回路を配置したサイズの大きなLSIチップの実装を容易に行うことができることになる。
【0037】
なお、本実施形態のLSIチップ実装可撓配線板11において、LSI用端子16の入力側端子には、図3に示すように、両端に高い電位差が印可される端子がある場合、この高電位差間では水分の浸入により電蝕が発生しやすい。水分の浸入は、図4に示すように、樹脂製接合材21と絶縁膜17との界面、または樹脂製接合材21とLSIチップ13との界面からが主であり、絶縁膜17の際は水分が最も蓄積される個所となる。したがって、図3に示すように、絶縁膜17の開口18から延出される凸部19の形成位置を、高電位差のかかる端子のどちらか一方とすることで、凸部19によって覆われていない図3右側の他方の端子で水分の浸入により腐食が発生しても、マイグレーションを起こす導電性物質、例えば銅イオンが凸部19により遮られ、図3左側のもう片側の端子に到達するのを遅らせることができるという副次的効果を奏する。すなわち、リーク不良に関して遅延効果がある。なお、両方の端子に凸部19を設けた場合、水分の浸入に対して効果があるため、この場合は、腐食および電蝕の両者をともに防止するという副次的効果を奏する。
【0038】
また、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々変更することができる。
【0039】
【発明の効果】
以上説明したように請求項1に係る本発明のLSIチップ実装可撓配線板によれば、間隔保持手段は、LSIチップを搭載した際に、LSIチップとLSI用端子とが接触したり、LSIチップとLSI用端子とが必要以上に接近するのを確実かつ容易に防止することができるなどの極めて優れた効果を奏する。さらに、間隔保持手段を、絶縁膜を開口の端面から延出させてなる凸部とすることで、間隔保持手段を容易に設けることができるなどの極めて優れた効果を奏する。また、凸部の形成位置を、高電位差のかかる端子のどちらか一方とすることで、凸部によって覆われていない他方の端子で水分の浸入により腐食が発生しても、マイグレーションを起こす導電性物質により遮られ、一方の端子に到達するのを遅らせることができる。したがって、安定した機能を確実に保持することができるなどの極めて優れた効果を奏する。
【0041】
また、請求項に係る本発明のLSIチップ実装可撓配線板によれば、LSIチップのバンプとLSI用端子との電気的な接続を確実に行うことができるなどの極めて優れた効果を奏する。
【0043】
また、請求項に係る本発明のLSIチップ実装可撓配線板によれば、間隔保持手段がより有効に機能するなどの極めて優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係るLSIチップ実装可撓配線板の実施形態の要部を示す拡大縦断面図
【図2】 図1のLSIチップ実装可撓配線板のLSIチップの搭載部分をLSIチップを除いて示す概略平面図
【図3】 図1のLSIチップ実装可撓配線板のLSI用端子の入力側端子における高電位差のかかる2つの端子を示す拡大概略平面図
【図4】 図1のLSIチップ実装可撓配線板における水分の浸入を示す概略断面図
【図5】 従来のLSIチップ実装可撓配線板の要部の構成を示す拡大縦断面図
【図6】 図6のLSIチップ実装可撓配線板のLSIチップの搭載部分をLSIチップを除いて示す概略平面図
【図7】 従来のLSIチップ実装可撓配線板における可撓配線板の反りによるLSIチップの外周部とLSI用端子との接触状況を示す拡大縦断面図
【符号の説明】
11 LSIチップ実装可撓配線板
12 可撓配線板
13 LSIチップ
13a バンプ
14 絶縁性基板
15 配線パターン
16 LSI用端子
16a 接続面
17 絶縁膜
18 開口
19 凸部
20 間隔保持手段
21 樹脂製接合材
OS 搭載側
RS 背面側

Claims (3)

  1. 可撓性を具備する絶縁性基板と、この絶縁性基板の一面に形成されている配線パターンと、この配線パターンのうちの少なくとも後にLSIチップが搭載される搭載領域を開口とするように前記配線パターンを部分的に被覆するように形成されている絶縁膜とを備え、前記開口内で配線パターンのLSI用端子にLSIチップのバンプが異方性導電フィルムを介して電気的に接続されているLSIチップ実装可撓配線板において、
    前記開口内に、開口端縁から延出されてなり、LSIチップ搭載時における前記LSI用端子と前記LSIチップとの最小間隔を保持するための間隔保持手段が設けられ、該間隔保持手段は、前記絶縁膜を前記開口の端面から延出させてなる凸部であって、該凸部の形成位置を高電位差のかかる端子のどちらか一方としていることを特徴とするLSIチップ実装可撓配線板。
  2. 前記凸部の高さが、前記LSIチップのバンプの高さより低く形成されていることを特徴とする請求項1に記載のLSIチップ実装可撓配線板。
  3. 前記LSIチップが、そのバンプと外周面との距離が200μm以上であることを特徴とする請求項1または2に記載のLSIチップ実装可撓配線板。
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