JP3907476B2 - テープ送り装置およびそれを備えたボンディング装置 - Google Patents
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Description
本発明は、キャリアテープを搬送するテープ送り装置に係り、とりわけ、幅方向の側縁に沿ってパーフォレーションが設けられたキャリアテープを搬送するテープ送り装置およびそれを備えたボンディング装置に関する。
背 景 技 術
従来から、テープキャリアパッケージ(TCP)等を精度良く搬送するため、幅方向の両側縁に沿ってパーフォレーションが設けられたキャリアテープを一対のスプロケットにより搬送するテープ送り装置が知られている。
図7はこのような従来のテープ送り装置を示す図である。図7に示すように、従来のテープ送り装置40は、キャリアテープ20を案内する一対のガイドレール34,34の経路中に設けられており、キャリアテープ20のパーフォレーション20aに噛み合う複数の歯11aを有する一対のスプロケット11,11と、スプロケット11,11との間でキャリアテープ20を挟持する一対のピンチローラ12,12とを備えている。なお、スプロケット11,11はスプライン駆動軸22を介してその軸線回りに回転するようになっている。
しかしながら、上述した従来のテープ送り装置40では、キャリアテープの厚さが非常に薄くなる(例えば厚さが50μm以下となる)と、パーフォレーション20aの変形等に起因してキャリアテープ20がスプロケット11の歯11aに喰いついてしまい、図7の二点鎖線で示すように、スプロケット11,11とガイドレール34,34との間の隙間にキャリアテープ20が巻き込まれてしまうという問題がある。
発 明 の 開 示
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、厚さの薄いキャリアテープを搬送する場合でもスプロケットでのキャリアテープの巻き込みを効果的に防止してキャリアテープを円滑に搬送することができるテープ送り装置およびそれを備えたボンディング装置を提供することを目的とする。
本発明は、キャリアテープの幅方向の側縁に沿って設けられたパーフォレーションに噛み合う複数の歯を有するスプロケットと、前記キャリアテープに対して前記スプロケット側に配置され、前記スプロケットの前記各歯に噛み合った状態で送られる前記キャリアテープが前記スプロケットから所定の搬送経路を保って送り出されるよう前記キャリアテープのパーフォレーションを前記各歯から抜き出す抜出し部材とを備えたことを特徴とするテープ送り装置を提供する。
なお、本発明においては、前記抜出し部材は前記スプロケットの前記各歯に対して前記キャリアテープの幅方向中央側に配置されていることが好ましい。また、前記スプロケットは、前記各歯に対して前記キャリアテープの幅方向中央側にその外周縁に沿って設けられた溝を有し、前記抜出し部材は前記溝の一部に挿入された状態で配置されていることが好ましい。さらに、前記抜出し部材は前記キャリアテープに沿って延びるワイヤであることが好ましい。
また、本発明は、キャリアテープに半導体素子をボンディングするボンディング装置において、キャリアテープをボンディング位置に移送するテープ送り装置と、前記ボンディング位置に移送されたキャリアテープに対して半導体素子をボンディングするボンディングツールとを備え、前記テープ送り装置は、前記キャリアテープの幅方向の側縁に沿って設けられたパーフォレーションに噛み合う複数の歯を有するスプロケットと、前記キャリアテープに対して前記スプロケット側に配置され、前記スプロケットの前記各歯に噛み合った状態で送られる前記キャリアテープが前記スプロケットから所定の搬送経路を保って送り出されるよう前記キャリアテープのパーフォレーションを前記各歯から抜き出す抜出し部材とを有することを特徴とするテープ送り装置を提供する。
本発明によれば、スプロケットにより送り駆動されるキャリアテープのスプロケット側に、キャリアテープのパーフォレーションを各歯から抜き出す抜出し部材が設けられているので、キャリアテープがスプロケットの歯に喰いついてしまう場合でも、キャリアテープを各スプロケットから所定の搬送経路を保って送り出すことができ、このため、スプロケットでのキャリアテープの巻き込みを効果的に防止してキャリアテープを円滑に搬送することができる。
発明を実施するための最良の形態
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1乃至図5は本発明によるテープ送り装置の一実施の形態を説明するための図である。
まず、図4および図5により、本実施の形態に係るテープ送り装置を備えたインナーリードボンディング装置について説明する。なお、図4はインナーリードボンディング装置の全体構成を示す概略図、図5は図4のV部分を示す拡大斜視図である。
図4および図5に示すインナーリードボンディング装置30は、繰り出しリール31を備え、あらかじめ表面にインナーリード20b(図5参照)が形成されたキャリアテープ20が巻き付けられている。繰り出しリール31に巻き付けられたキャリアテープ20は、テンションローラ33,33を介してガイドレール34,34に導かれ、ガイドレール34,34に沿う所定の搬送経路に沿って搬送された後、テンションローラ35,35を介して巻き取りリール32により巻き取られるようになっている。
ここで、ガイドレール34,34の中間位置にはボンディング部39が設けられている。ボンディング部39は、半導体素子20c(図5参照)が載置される載置台37と、載置台37上に載置された半導体素子20cとキャリアテープ20のインナーリード20bとをボンディングするボンディングツール38とを有している。なお、ボンディングツール38の下方には開口36aが設けられたテープガイド36が設けられている。
また、ガイドレール34,34の搬送方向下流側位置および搬送方向上流側位置にはそれぞれキャリアテープ20を送り駆動するためのテープ送り装置10,10が設けられている。テープ送り装置10,10は、キャリアテープ20の両側縁に沿って設けられたパーフォレーション20a(図5参照)に噛み合う複数の歯11aを有する一対のスプロケット11,11と、スプロケット11,11との間でキャリアテープ20を挟持してキャリアテープ20の浮き上がりを防止する一対のピンチローラ12,12を備えている。
次に、図1乃至図3により、図4および図5に示すテープ送り装置10,10の詳細について説明する。なお、図1は図4および図5に示すテープ送り装置10,10の要部を示す図であり、図4および図5に示す一対のスプロケット11,11のうち奥側のスプロケット11をガイドレール34,34の内側から見た図である。また、図2は図1のII−II線に沿った断面図であり、図4および図5に示す手前側および奥側の両方のスプロケット11,11を示している。なお、図3は図2のIII部分を示す拡大断面図である。
図1および図2に示すように、テープ送り装置10,10は、一対のスプロケット11を備えている。このうち、一方のスプロケット11(図2の右側のスプロケット)は、側板21に取り付けられたベアリング組立体23を介してその軸線回りに回転可能に支持されたスプライン駆動軸22に固着されている。また、他方のスプロケット11(図2の左側のスプロケット)は、側板21に取り付けられたベアリング組立体25を介して、前記一方のスプロケット11と同軸でかつその軸線回りに回転可能に支持されている。さらに、前記他方のスプロケット11にはスプライン駆動軸22の自由端部が挿通されるスプライン係合体24が取り付けられており、これにより前記他方のスプロケット11がスプライン駆動軸22に対して軸方向に摺動可能であるとともに回転方向に係合するようになっている。なお、スプライン駆動軸22の一側端部(図2の右側端部)にはベルト27が巻き回されたプーリ26が取り付けられており、モータ(図示せず)によりスプライン駆動軸22を駆動することができるようになっている。
また、テープ送り装置10,10は、スプロケット11,11との間でキャリアテープ20を挟持する一対のピンチローラ12,12を備えている。なお、ピンチローラ12,12は、支持アーム29,29にそれぞれ取り付けられたシャフト28,28を介して回転可能に支持されている。また、ピンチローラ12,12の外周縁には、スプロケット11,11の歯11a,11aを受け入れる凹溝12a,12aが設けられている。
ここで、スプロケット11,11により送り駆動されるキャリアテープ20の下面側には、キャリアテープ20に沿って延びるワイヤ(抜出し部材)14(図1および図3参照)が設けられており、各スプロケット11の各歯11aに噛み合った状態で送られるキャリアテープ20が各スプロケット11から所定の高さを保った状態で送り出されるようキャリアテープ20のパーフォレーション20aを各歯11aから抜き出すようになっている。ここで、ワイヤ14は、ローラ13,15のV溝13a,15aに掛け回されるとともに、その両端がワイヤ固定部材16,17に固着されている。なお、ローラ13,15および一方のワイヤ固定部材16は側板21,21(図2参照)上に固定されている。また、他方のワイヤ固定部材17は、側板21,21(図2参照)上に固定されたばね固定部材19に対してばね18を介して連結されており、ばね18によりワイヤ14の張力が調整されるようになっている。なお、ワイヤ14はキャリアテープ20の幅方向に関して各スプロケット11の各歯11aよりも内側に配置されている。具体的には、図1および図3に示すように、各スプロケット11の各歯11aの内側にはその外周縁に沿って溝11bが設けられ、ワイヤ14は溝11bの一部に挿入された状態で配置されている。
次に、このような構成からなるテープ送り装置10,10の作用について説明する。
図1において、テープ送り装置10,10のスプロケット11,11はスプライン駆動軸22の軸線回りに時計回りに回転している。ガイドレール34,34に沿って左側からキャリアテープ20が送られてくると、キャリアテープ20の両側縁に沿って設けられたパーフォレーション20a(図5参照)にスプロケット11,11の複数の歯11aが順次噛み合い、キャリアテープ20が順次右側に搬送される。
ここで、スプロケット11,11により送り駆動されるキャリアテープ20の下面側には、キャリアテープ20に沿って延びるワイヤ14が設けられているので、各スプロケット11の各歯11aに噛み合った状態で送られるキャリアテープ20は、各スプロケット11の各歯11aから離間する時点でワイヤ14の支持を受けることから、キャリアテープ20のパーフォレーション20aが各スプロケット11の各歯11aから確実に抜き出される。
このように本実施の形態によれば、スプロケット11,11により送り駆動されるキャリアテープ20の下面側に、キャリアテープ20に沿って延びるワイヤ14が設けられているので、キャリアテープ20がスプロケット11の歯11aに喰いついてしまう場合でも、キャリアテープ20を各スプロケット11から所定の高さを保った状態で送り出すことができ、このため、スプロケット11,11でのキャリアテープ20の巻き込みを効果的に防止してキャリアテープ20を円滑に搬送することができる。
他の実施の形態
次に、図6により、本発明によるテープ送り装置の他の実施の形態について説明する。本発明の他の実施の形態は、抜出し部材としてワイヤに代えてピンを用いるようにした点を除いて、他は図1乃至図5に示す実施の形態と略同一である。本発明の他の実施の形態において、図1乃至図5に示す実施の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。
図6は本発明の他の実施の形態に係るテープ送り装置10,10の要部を示す図1と同様の図である。図6に示すように、テープ送り装置10,10のスプロケット11,11により送り駆動されるキャリアテープ20の下面側には、キャリアテープ20に沿って延びるピン(抜出し部材)42,42が設けられており、各スプロケット11の各歯11aに噛み合った状態で送られるキャリアテープ20が各スプロケット11から所定の高さを保った状態で送り出されるようキャリアテープ20のパーフォレーション20aを各歯11aから抜き出すようになっている。ここで、ピン42,42はそれぞれ、円柱状支持部材41,41中にてねじ43,43により固定されている。なお、円柱状支持部材41,41は側板21,21(図2参照)上に固定されている。なお、ピン42,42はキャリアテープ20の幅方向に関して各スプロケット11の各歯11aよりも内側に配置されている。具体的には、図6に示すように、各スプロケット11の各歯11aの内側にはその外周縁に沿って溝11bが設けられ、ピン42,42はその先端部が溝11bの一部に挿入された状態で配置されている。
なお、ピン42,42は必ずしもスプロケット11,11の搬送方向下流側および搬送方向上流側の両方に設ける必要はなく、搬送方向上流側のピン42は省略することができる。
なお、図1および図6において、ワイヤ14あるいはピン42にてキャリアテープ20のパーフォレーション20aがスプロケット11の歯11aから抜き出される付近に、キャリアテープ20に対して下方から圧縮気体(空気やイオン化空気等)を吹き付ける送風手段45を設けるようにしてもよい。この場合、圧縮気体の吹き付け作用によってキャリアテープ20が持ち上げられることから、ワイヤ14あるいはピン42のみによる場合に比べて容易にキャリアテープ20のパーフォレーション20aをスプロケット11の歯11aから抜き出すことができる。また、吹き付ける圧縮気体としてイオン化空気を用いた場合には、パーフォレーション20aを歯11aから抜き出すときに静電気が生じたとしても、この静電気を除去することができ、発生した静電気によりキャリアテープ20や、キャリアテープ20のインナーリード20bにボンディングされる半導体素子20cに静電破壊が生じる等の不具合を防止することができる。
また、図1および図6においては、スプロケット11をキャリアテープ12の下側に配置しているが、必ずしも下側に配置する必要はなく、例えば、キャリアテープ20の上側に配置してもよい。このような配置は、図1および図6に示すテープ送り装置10を天地逆向きに配置することにより実現することができる。このとき、図1および図6に示すテープ送り装置10を天地逆向きに配置する場合には、ピンチローラ12をばね等によりスプロケット11側に付勢する機構を設けることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
図1は本発明によるテープ送り装置の一実施の形態の要部を示す図、
図2は図1のII−II線に沿った断面図、
図3は図2のIII部分を示す拡大断面図、
図4は図1に示すテープ送り装置を備えたインナーリードボンディング装置の全体構成を示す概略図、
図5は図4のV部分を示す拡大斜視図、
図6は図1に示すテープ送り装置の他の実施の形態の要部を示す図、
図7は従来のテープ送り装置を示す図である。
Claims (5)
- キャリアテープの幅方向の側縁に沿って設けられたパーフォレーションに噛み合う複数の歯を有するスプロケットと、
前記キャリアテープに対して前記スプロケット側であって、前記スプロケットを挟んでスプロケットの上流側および下流側に各々配置された一対のローラと、
前記キャリアテープに対して前記スプロケット側であって、前記一対のローラに架け回されて、当該一対のローラ間で延在するワイヤとを備え、
前記ワイヤは、その一端がばねを介して固定され、ワイヤの張力が調整可能となり、
前記ワイヤは、前記スプロケットの前記各歯に噛み合った状態で送られる前記キャリアテープが前記スプロケットから所定の搬送経路を保って送り出されるよう前記キャリアテープのパーフォレーションを前記各歯から抜き出すことを特徴とするテープ送り装置。 - 前記ワイヤは、前記スプロケットの前記各歯に対して前記キャリアテープの幅方向中央側に配置されていることを特徴とする請求項1記載のテープ送り装置。
- 前記スプロケットは、前記各歯に対して前記キャリアテープの幅方向中央側にその外周縁に沿って設けられた溝を有し、前記ワイヤは前記溝の一部に挿入された状態で配置されていることを特徴とする請求項2記載のテープ送り装置。
- 前記ワイヤによって、前記キャリアテープが前記スプロケットから抜き出される付近に、前記キャリアテープに対して前記スプロケット側から圧縮気体を吹き付ける送風手段を設けたことを特徴とする請求項1記載のテープ送り装置。
- キャリアテープに半導体素子をボンディングするボンディング装置において、
キャリアテープをボンディング位置に移送するテープ送り装置と、
前記ボンディング位置に移送されたキャリアテープに対して半導体素子をボンディングするボンディングツールとを備え、
前記テープ送り装置は、前記キャリアテープの幅方向の側縁に沿って設けられたパーフォレーションに噛み合う複数の歯を有するスプロケットと、
前記キャリアテープに対して前記スプロケット側であって、前記スプロケットを挟んでスプロケットの上流側および下流側に各々配置された一対のローラと、
前記キャリアテープに対して前記スプロケット側であって、前記一対のローラに架け回されて、当該一対のローラ間で延在するワイヤとを備え、
前記ワイヤは、その一端がばねを介して固定され、ワイヤの張力が調整可能となり、
前記ワイヤは、前記スプロケットの前記各歯に噛み合った状態で送られる前記キャリアテープが前記スプロケットから所定の搬送経路を保って送り出されるよう前記キャリアテープのパーフォレーションを前記各歯から抜き出すことを特徴とするテープ送り装置。
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