JP3896828B2 - ワークの搬送装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は被加工物および加工物(以下、ワークと呼ぶ)を製造装置に搬送するワークの搬送装置に関し、特に回路基板を加工装置に搬送する搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
ワークの搬送装置としては、加工装置で加工する被加工物および加工物(以下、被加工物および加工物を、ワークと呼ぶ)を搬送するのに、ロボットハンドの往復移動等によって、加工装置へのワークの供給と、加工装置からのワークの取出しとをそれぞれ行なうものが知られている。
【0003】
この種の搬送装置では、ロボットハンドによるワークの供給のための往復移動時間、およびワークの取出しのための往復移動時間が搬送時間として費やされ、その間、加工装置の加工待ち時間が生じる。このため、上記の運搬時間が、加工物の総加工時間に影響を与える場合がある。
【0004】
この対策として、ロボットハンドの先端部に設けられたワーク把持装置の両端面にそれぞれ、ワークを供給するための把持手段、ワークを取出すための把持手段が設けられているものがある(特開平7−314277号公報)。
【0005】
特開平7−314277号公報によれば、一方の端面の把持手段によって供給するためのワークを把持しているとき、他方の端面の把持手段にて加工装置で加工されたワークを取出した後に、ワーク把持装置を反転させ、そして、一方の端面の把持手段によって、加工装置へワークが供給される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上述の搬送装置では、供給するワークを把持する把持手段と加工済みのワークを取出す把持手段とを1つのワーク把持装置の両端面に備えることで、ワークの供給と取出しとに要するロボットハンドの総往復移動時間を、並行に行なって半減させることは可能である。しかしながら、ワークの脱着を行なう加工装置側が固定されている場合には、ワーク把持装置の反転等による供給作業から取出し作業に移行するための準備時間が必要となる。
【0007】
この準備時間中は、加工装置の待機時間となるため、加工装置の総加工時間を増加させる問題がある。
【0008】
本発明は、このような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、ロボットハンドによりワークを搬送する搬送装置において、加工装置へのワークの供給と、加工済みのワークの取出しとが同時に行なえるワークの搬送装置を提供することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1によると、ロボットハンドを用いて、製造装置へのワークの供給、取出しを行なうワークの搬送装置において、ロボットハンドには、中央に配置された第1ヘッド部(20b)とその両側に第1ヘッド部(20b)と所定の間隔(W)をもって配置された第2ヘッド部(20a)および第3ヘッド部(20c)からなる3つの独立可動可能な把持手段を備えるとともに、製造装置のワーク受け治具には、製造装置による処理前のワークと、製造装置の処理が終わったワークとを独立して保持、解除可能な構成を有している。3つのヘッド部の各々は、ワークの供給もしくは取り出しを行なうものであり、3つのヘッド部のうち、ワークの供給を行なう第1ヘッド部(20b)の把持手段によって処理前のワークを把持している待機中において、製造装置の処理が終わった際に、3つのヘッド部のうちのワークの取り出しを行なう第2ヘッド部(20a)もしくは第3ヘッド部(20c)の把持手段で、処理が終わったワークを取出し、かつ同時に第1ヘッド部(20b)の把持手段で把持した処理前ワークを、ワーク受け治具へ供給する。
【0010】
これにより、ワークを把持する把持手段の反転等による供給作業から取出し作業に移行するための準備時間が生じることなく、処理が終わったワークの取出しと前記処理前のワークのワーク受け治具へ供給とを同時に行なうことが可能である。
【0011】
本発明の請求項2によれば、製造装置の処理が終わった際に、ワーク受け治具に保持されている処理が終わったワークの位置を検出する検出手段と、検出手段によって検出された処理が終わったワークの位置に応じて、第2ヘッド部、第3ヘッド部のいずれの把持手段で取出すかを判定する判定手段とを備えている。
【0012】
これにより、上記の2個のワークを独立して保持、解除可能な構成を有するワーク受け治具によって、保持されている処理が終わったワークの位置を検出し、かつ第2ヘッド部、第3ヘッド部のいずれの把持手段で取出すかを判定することができるので、ワークの取出しと供給が同時並行して確実に実施できる。
【0013】
本発明の請求項3によれば、ロボットハンドには、第1ヘッド部を挟んで、第2ヘッド部および第3ヘッド部とが対向して配置されており、第2ヘッド部の把持手段の中心と第3ヘッド部の前記把持手段の中心とを結ぶ仮想交線に対して、第1ヘッド部の前記把持手段の中心がオフセットされて配置されている。
【0014】
これにより、中央に配置された第1ヘッド部は、ワークの供給のみを行なうとともに、2個のワークを独立して保持、解除可能な構成を有するワーク受け治具に対して、ワークの供給時に、ワーク自身が保持、解除可能な構成部分に干渉しないように、ワークを供給することが可能である。
【0015】
本発明の請求項4によれば、把持手段は、ワークの両端を挟み込んで保持するチャックを備えているので、ワーク受け治具からの取出しと供給とが容易にできる。
【0016】
上記チャックを備えた把持手段において、本発明の請求項5に記載のように、ワークを挟み込むチャックの先端部の内側には、緩衝材が設けられている。
【0017】
これにより、把持動作によるワークの損傷等を防止できる。
【0018】
本発明の請求項6によれば、第1ヘッド部(20b)は、第1の所定位置(ST1)にて、処理前のワークを把持し、加工装置(8)のワーク受け部(8b)に対応する第2の所定位置(ST2)において、第1ヘッド部(20b)は処理前のワークをワーク受け部(8b)に供給するとともに、第2または第3ヘッド部(20a、20c)は、処理後のワークを把持してワーク受け部(8b)から取出し、そして、処理後のワークを把持した第2または第3ヘッド部(20a、20c)は、第3の所定位置(ST3)にて、その把持状態を解除する構成となっている。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のワークの搬送装置を、回路基板の回路配線の抵抗を調節する回路基板の加工システムに適用して、具体化した実施形態を図面に従って説明する。
【0021】
(第1の実施形態)
図1は、本発明のワークの搬送装置の実施形態に係わる回路基板の回路配線の抵抗を調節する回路基板の加工システムの概略構成を表わす模式図である。図2は、図1中のロボットの構造を表わすII方向からみた外観図である。図3は、図2中の本発明の要部であるロボットハンドに設けられた3つのヘッド部を表わす外観図であって、図3(a)は、正面図、図3(b)は、下方向からみた平面図である。図4は、図3中のヘッド部の一つをIV方向からみた側面図である。図5は、図1中の製造装置としての回路抵抗調節装置に備えられたワーク受け治具を表わす模式的平面図である。図6は、図1中のワークとしての回路基板の一実施例を示す模式的斜視図である。図7は、3つのヘッド部を備えたロボットハンドとワーク受け治具とのワークの取出しおよび供給をするときの配置関係を表わす模式図である。図8は、図7に示すロボットハンドとワーク受け治具との配置関係において、中央の第1ヘッド部をワーク供給のための専用ヘッドとし、判定手段を用いて選択的に第2ヘッド部、第3ヘッドを使い分けることで、ワークの取出しと供給とを同時並行して行なうことを説明する模式図であって、図8(a)は、右側の位置にある治具にワークを供給する場合、図8(b)は、左側の位置にある治具にワークを供給する場合を示す模式図である。
【0022】
(ワークの搬送装置の概略説明)
図1に示すように、ワークの搬送装置を適用する製造装置としての回路基板の加工システム1は、ワークとしての回路基板9に形成された回路配線92(図6参照)の回路抵抗が所定値となるように、回路配線92の除去加工を行なうものであって、回路配線92の一部をトリミングするレーザトリミング装置8と、このレーザトリミング装置8で処理するワーク9の供給と、処理が終わったワーク9の取出しを行なうロボット2と、ロボット2が動作する所定の位置(以下、第1の所定位置ST1と呼ぶ)へ処理前のワーク9を逐次準備する前段装置3と、ロボット2が動作する他の所定の位置(以下、第3の所定位置ST3と呼ぶ)から処理済みのワーク9を次工程等へ搬送等するまで一時保管する次段装置4とを含んで構成されている。
【0023】
レーザトリミング装置8は、レーザトリミング本体装置8aと、この本体装置で加工処理を行なうワークの入れ替えを行なうワーク受け部8bとから構成されている。なお、レーザトリミング本体装置8aは、金属材料で形成される回路配線92を、高密度なエネルギーを放射して回路配線の一部だけを除去できるものであればよく、周知のレーザ加工装置であるので、詳細説明は省略する。
【0024】
ワーク受け部8bには、ワーク受け治具としての加工テーブル5が備えれれており、加工処理前のワーク9と、レーザトリミング本体装置8aによるレーザ加工によって加工処理が終わったワーク9とを独立して保持、解除が可能に構成されている(図5参照)。
【0025】
なお、このワーク受け治具5については、後述する。
【0026】
ロボット2は、図1に示すように、支柱2aと、ロボットハンドとしてのアーム部2bと、アーム部2bの先端部2cに設けれれた把持手段21,22,23によってワーク9が把持可能であるとともに、ワーク9を所定位置へ搬送するようアーム部2bを制御する制御部2sとを備えている。
【0027】
アーム部2bは、図2に示すように、第1アーム部2b1と、第2アーム部2b2とから構成されており、それぞれ支柱2a、第1アーム部2b1の連結部2b1jに回転自在に連結されている。
【0028】
第2アーム部2b2には、図2中の上下方向に前後移動が可能な先端部2cが設けられ、先端部2cが回転可能である。
【0029】
なお、回転自在な第1アーム部2b1、第2アーム部2b2、先端部2cは、それぞれロボット2に内蔵される駆動モータ(図示せず)によって図2中の矢印のように回転自在に駆動される。また、同様に駆動モータによって先端部2cの上下移動が可能である。
【0030】
先端部2cには、ワークを把持する把持手段21、22,23が3つのヘッド部20にそれぞれ設けれれており、それぞれの把持手段21、22,23が独立可動してワーク9を把持することができる。
【0031】
なお、この3つの独立可動可能な把持手段21,22,23を有するヘッド部20の詳細については、後述する。
【0032】
前段装置3および次段装置4は、レーザトリミング本体装置8aへ処理前のワーク9の供給およびレーザトリミング本体装置8aからの処理済みのワーク9の取出す工程が、順送りで行なえるようにするものである。詳しくは、前段装置3は、ロボット2の先端部2cが、制御部2sによって、図1に示すように、第1の所定位置ST1に動作されたとき、次に投入する処理前のワーク9が予め配置されるように、補給部3aから、等ピッチ移送等によってワーク9を順送りする装置である。また、次段装置4は、ロボット2の先端部2cが、制御部2sによって、図1に示すように、第3の所定位置ST3に動作されたとき、後述する第2ヘッド20a把持手段21のもしくは第3ヘッド20c把持手段23に把持された処理済みのワーク9を、順送りして、保管部4aにて所定数量になるまで処理済のワークを保管する。
【0033】
これにより、ロボット2の先端部2cに設けられた把持手段21,22,23によって把持する処理前のワーク9および処理後のワーク9の加工装置8への搬入、送出の効率化が図れる。
【0034】
上述の構成を有する加工装置の動作、特にロボット2の動作を以下説明する。
【0035】
被加工物である回路配線92の抵抗値が未調整の回路基板9をワークとして、前段装置3の補給部3aに投入すると、ワーク9が等ピッチ順送りされて1個ずつ第1所定位置ST1へ送られる。ロボット2は、制御部2sによって、アーム部2b(詳しくは、一点鎖線で示す第2アーム部2b2)を第1所定位置ST1へ動作され、第1所定位置ST1に予め配置されている処理前のワークを、先端部2cの把持手段22で把持する。次に、アーム部2b(詳しくは、二点鎖線で示す第2アーム部2b2)を加工装置8の前で、つまり加工装置8のワーク受け部8b上の第2所定位置ST2へ動作させ、待機状態とする。そして、加工装置8による前回のワーク9の処理が終わったとき、先端部2cの把持手段22で把持している処理前のワーク9をワーク受け部8bのワーク受け治具5へ供給するとともに、同時並行して、ワーク受け治具5に保持されている処理後のワーク9を、先端部2cに設けられた他の把持手段(21もしくは23)を用いて取出す。
【0036】
これにより、ワーク9を把持する把持手段の反転等による供給作業から取出し作業に移行するための準備時間が生じることなく、処理が終わったワーク9の取出しと処理前のワークのワーク受け治具へ供給とを同時に行なうことができる。
【0037】
なお、ロボット2の先端部2cに設けられた把持手段21,22,23の動作の詳細については、後述する。
【0038】
さらにまた、処理後のワーク9を、先端部2cに設けられた他の把持手段(21もしくは23)によって処理後のワーク9を取出し後に、アーム部2b(詳しくは、点線で示す第2アーム部2b2)を第3所定位置ST3へ動作させる。そして、先端部2cの他の把持手段(21もしくは23)で把持している処理後のワーク9を把持している先端部2cの他の把持手段(21もしくは23)の把持状態を解除させ、次段装置4へ送出する。なお、この次段装置4では、保管部4aにて所定数量になるまで処理済のワークが保管される。
【0039】
なお、ワーク9の供給、取出しが行なわれる加工装置としては、、レーザトリミング装置8で説明したが、加工装置8のワーク受け部8aに、加工処理前のワーク9と、処理が終わったワーク9とを独立して保持、解除が可能に構成されるワーク受け治具5が設けられているものであればよい。また、加工装置に限らず、検査装置であってよい。検査装置であても、検査前のワーク9と検査後のワーク9とで、ロボット2による検査装置への供給、取出しが行なえる。
【0040】
(ワークの搬送装置の発明の要部の詳細説明)
まず、ロボット2のロボットハンドとしてのアーム部2b、特に先端部2cに備えられ、3つの独立可動可能な把持手段21,22,23を有するヘッド部20について、以下図3および図4に従って説明する。
【0041】
図3に示すように、先端部2cは、3つのヘッド部20を有しており、それぞれのヘッド部20a、20b、20cには、スライド部25(図4参照)を介して、それぞれ把持手段としてのワークチャック部21、22、23が備えられている。
【0042】
このワークチャック部21、22、23は、ワーク9の両端を挟み込んで保持するチャック26を有している。これにより、ワーク9の両端を保持することで、ワーク受け治具5からのワーク9の取出しとワーク受け治具5へのワーク9の供給とが容易にできる。
【0043】
なお、ワーク9を挟み込むチャック26の先端部の内側には、ゴム材等で形成された緩衝材27が設けられていることが望ましい。これにより、チャック26による把持開始動作によるワークへの衝撃力を緩衝材27が吸収することで、緩和させることができる。したがって、把持動作によるワーク9の損傷等の防止ができる。
【0044】
スライド部25は、図4に示すように、ヘッド部20a、20b、20cごとに、それぞれのワークチャック部21、22、23を、図4中の上下方向に移動自在に連結している。これにより、把持手段としてのワークチャック部21、22、23はそれぞれ独立して可動ができ、従って、各ヘッド部20a、20b、20cが独立してワーク9の供給、取出しが可能である。
【0045】
ここで、3つのヘッド部20a、20b、20cのうち、中央のヘッド部20bは、図3に示すように、他のヘッド部20a、20cに対してオフセットして配置されている。
【0046】
詳しくは、ヘッド部20a、ヘッド部20b、ヘッド部20cをそれぞれ第2ヘッド部、第1ヘッド部、第3ヘッド部とすると、図3(b)に示すように、第2ヘッド部20aのワークチャック部21の中心21jと第3ヘッド部20cのワークチャック部23の中心23jとを結ぶ仮想交線L13に対して、第1ヘッド部20bのワークチャック部22の中心22j(詳しくは、仮想交線L13に並行で、中心22j上の交線L2)が所定間隔ΔCvだけオフセットして配置されている。同様に、中心21j、23jの中心間距離Wに対して、中心22jが、所定間隔ΔChだけオフセットして配置されている。
【0047】
一方、ワーク受け治具5は、図5に示すように、2つのワーク9を独立して保持、解除が可能な構成を備えており、固定されたワーク固定用治具51と可動可能なワーク固定用治具52が2対設けられている。
【0048】
これにより、上記のヘット部群20a〜20cすなわちロボット2の先端部2cのワークの把持手段21、22、23は、2対の固定されたワーク固定用治具51間の離間距離Wに対して、供給するワーク9がワーク固定用治具51に対して、距離ΔCv、ΔChだけオフセットして供給できる(図5参照)。
【0049】
これにより、中央に配置された第1ヘッド部20bは、ワーク9の供給のみを行なうとともに、2個のワーク9を独立して保持、解除可能な構成を有するワーク受け治具5に対して、処理前のワーク9の供給する際に、そのワーク9自身が保持、解除可能な構成部分、すなわちワーク固定用治具51に干渉しないように、ワーク9を供給することができる。
【0050】
次に、ロボット2の先端部2cに設けられた把持手段21,22,23の動作、特に上記ワーク受け治具5に保持される処理が終ったワーク9の位置応じて、第2ヘッド部20aの把持手段21、第3ヘッド部20cの把持手段23を選択する方法について、以下図1、図7、および図8に従って説明する。
【0051】
まず、ワークの搬送装置の構成として、ロボット2のロボットハンド(詳しくは、アーム部2b、特に先端部2cの把持手段)を制御する制御部2sには、判定手段(以下、判定回路と呼ぶ)2sjが内蔵されている。この判定回路2sjは、ワーク受け治具5に保持される処理が終ったワーク9の位置応じて、第2ヘッド部20aの把持手段21、第3ヘッド部20cの把持手段23のうちいずれのもので、ワーク9を取出すかを判定する。
【0052】
なお、ワーク受け治具5の2対のワーク固定用治具51,52には、それぞれ保持されているワーク9の存在を検出する検出手段S1、S2が設けられており、検出手段S1、S2の検出信号が、それぞれ制御部2sに入力されるように制御部2sに送信される構成となっている。
【0053】
これにより、制御部2sでは、上記の2個のワークを独立して保持、解除可能な構成51,52を有するワーク受け治具5によって保持されている処理が終わったワーク9の位置を、検出手段S1、S2で検出することができる。さらに、第2ヘッド部20a、第3ヘッド部20cのいずれの把持手段21、23で取出すかを判定することができるので、ワーク9の取出しと供給が同時並行して確実に実施できる。
【0054】
詳しくは、ワーク受け治具5に保持されている処理が終わったワーク9の位置によって、ロボット2の先端部2cを図7中の矢印方向に移動させる必要がある。図7において、便宜的に、先端部2c側を固定し、ワーク受け治具5の相対位置を変えて、先端部2cとワーク受け治具5との位置関係を表わすと、ワーク受け治具5の配置状態は、二点鎖線で示す状態と、点線で示す状態との2種類となる。このとき、図7中のAからみた配置状態にあるワーク受け治具5を、図8(a)に示し、図7中のBからみた配置状態にあるワーク受け治具5を、図8(b)に示す。
【0055】
ここで、制御部2cの判定手段2sjが、図8(a)の場合には、第2ヘッド部21を、もしくは図8(b)の場合には、第3ヘッド部23を選択するように設定すれば、ワーク受け治具5に保持されている処理が終わったワーク9の位置によって、ワーク9の取出しと供給が同時並行して確実に実施できる。
【0056】
(変形例)
変形例として、第1実施形態で説明した把持手段21、22、23を、ワーク9の両端を挟み込んで保持するチャック26に代えて、ワーク9を吸着する吸着装置(図示せず)にしてもよい。
【0057】
ワーク9すなわち回路基板9の形状は、図6に示すように、略平板に形成されている。
【0058】
回路基板9は、一般に、基板91と、基板91の表面に形成される回路配線としての銅合金等からなる回路電極92と、半導体素子95と、例えば回路配線92に流れる電力を検出するセンサ等の素子96とを含んで構成されている。
【0059】
そこで、ワーク9を把持する把持手段として、例えば、回路基板9のうち、回路電極92が配設されていない基板91の外周部91aに当接して吸着する吸着装置を備えている構成とする。これにより、ワーク受け治具5にセットできるまで、吸着装置による吸着によりワーク9の保持ができるので、ワーク受け治具5を簡素にすることが可能である。吸着装置として、基板91の外周部91aの全周にわたって当接可能な吸盤状のもので吸着させるもの、あるいは、回路基板と吸盤状のものとで形成される内部空間を、工場エア等を利用した負圧源によって強制吸着させてもよい。
【0060】
なお、変形例で説明した回路基板に限らず、ワーク9の形状が略平板状に形成されているものであれば、変形例で説明した効果を同様に得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のワークの搬送装置の実施形態を適用する回路基板の回路配線の抵抗を調節する回路基板の加工システムの概略構成を表わす模式図である。
【図2】図1中のロボットの構造を表わすII方向からみた外観図である。
【図3】図2中の本発明の要部であるロボットハンドに設けられた3つのヘッド部を表わす外観図であって、図3(a)は、正面図、図3(b)は、下方向からみた平面図である。
【図4】図3中のヘッド部の一つをIV方向からみた側面図である。
【図5】図1中の製造装置としての回路抵抗調節装置に備えられたワーク受け治具を表わす模式的平面図である。
【図6】図1中のワークとしての回路基板の一実施例を示す模式的斜視図である。
【図7】3つのヘッド部を備えたロボットハンドとワーク受け治具とのワークの取出しおよび供給をするときの配置関係を表わす模式図である。
【図8】図7に示すロボットハンドとワーク受け治具との配置関係において、中央の第1ヘッド部をワーク供給のための専用ヘッドとし、判定手段を用いて選択的に第2ヘッド部、第3ヘッドを使い分けることで、ワークの取出しと供給とを同時並行して行なうことを説明する模式図であって、図8(a)は、右側の位置にある治具にワークを供給する場合、図8(b)は、左側の位置にある治具にワークを供給する場合を示す模式図である。
【符号の説明】
1 加工システム(製造装置システム)
2 ロボット
2a 支柱
2b アーム部(ロボットハンド)
2b1、2b2 第1アーム部、第2アーム部
2c 先端部
2s 制御部(制御回路)
2sj 判定手段(判定回路)
20(20a、20b、20c) ヘッド部(第2ヘッド部、第1ヘッド部、第3ヘッド部)
22、23 ワークチャック部(把持手段)
25 スライド部
26 チャック
27 緩衝材
3 前段装置
3a 補給部
4 次段装置
4a 保管部
5 ワーク受け治具
51、52 固定されたワーク固定用治具、可動可能なワーク固定用治具
8 レーザトリミング装置(製造装置)
8b ワーク受け部
9 ワーク(回路基板)
91a 外周部(平板面の一部)
92 回路配線(回路電極)
S1、S2 ワーク受け治具5の検出手段の検出信号(検出手段)
ST1、ST2、ST3 第1の所定位置、第2の所定位置、第3の所定位置
21j、22j、23j 把持手段21の中心、把持手段22の中心、把持手段23の中心
L13 仮想交線
ΔCv、ΔCh オフセットする離間距離

Claims (6)

  1. ロボットハンドを用いて、製造装置へのワークの供給、取出しを行なうワークの搬送装置において、
    前記ロボットハンドには、中央に配置された第1ヘッド部(20b)とその両側に前記第1ヘッド部(20b)と所定の間隔(W)をもって配置された第2ヘッド部(20a)および第3ヘッド部(20c)からなる3つの独立可動可能な把持手段を備えるとともに、
    前記製造装置のワーク受け治具には、前記製造装置による処理前のワークと、前記製造装置の処理が終わったワークとを独立して保持、解除可能な構成を有しており、
    前記3つのヘッド部(20a、20b、20c)の各々は、ワークの供給もしくは取り出しのいずれかを行なうものであって、
    前記3つのヘッド部のうち、ワークの供給を行なう第1ヘッド部(20b)の前記把持手段によって前記処理前のワークを把持している待機中において、前記製造装置の処理が終わった際に、前記3つのヘッド部のうちのワークの取り出しを行なう第2ヘッド部(20a)もしくは第3ヘッド部(20c)の前記把持手段で、前記処理が終わったワークを取出し、かつ同時に前記第1ヘッド部(20b)の前記把持手段で把持した前記処理前ワークを、前記ワーク受け治具へ供給することを特徴とするワークの搬送装置。
  2. 前記製造装置の処理が終わった際に、前記ワーク受け治具に保持されている前記処理が終わったワークの位置を検出する検出手段と、
    前記検出手段によって検出された前記処理が終わったワークの位置に応じて、前記第2ヘッド部、第3ヘッド部のいずれの前記把持手段で取出すかを判定する判定手段とを備えていることを特徴とする請求項1に記載のワークの搬送装置。
  3. 前記ロボットハンドには、前記第1ヘッド部を挟んで、前記第2ヘッド部および前記第3ヘッド部とが対向して配置されており、
    前記第2ヘッド部の前記把持手段の中心と前記第3ヘッド部の前記把持手段の中心とを結ぶ仮想交線に対して、前記第1ヘッド部の前記把持手段の中心がオフセットされて配置されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のワークの搬送装置。
  4. 前記把持手段は、前記ワークの両端を挟み込んで保持するチャックを備えていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のワークの搬送装置。
  5. 前記ワークを挟み込む前記チャックの先端部の内側には、緩衝材が設けられていることを特徴とする請求項4に記載のワークの搬送装置。
  6. 前記第1ヘッド部(20b)は、第1の所定位置(ST1)にて、処理前のワークを把持し、
    加工装置(8)のワーク受け部(8b)に対応する第2の所定位置(ST2)において、前記第1ヘッド部(20b)は処理前のワークをワーク受け部(8b)に供給するとともに、前記第2または第3ヘッド部(20a、20c)は、処理後のワークを把持してワーク受け部(8b)から取出し、
    処理後のワークを把持した前記第2または第3ヘッド部(20a、20c)は、第3の所定位置(ST3)にて、その把持状態を解除することを特徴とする請求項1に記載のワークの搬送装置。
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