JP3887351B2 - 可撓性基板の貼合せ方法および貼合せ装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、可撓性基板の貼合せ方法および貼合せ装置に係り、特に（固定磁気記録装置用の）磁気ヘッドを構成するヘッド保持体に対し可撓性基板を貼合わせるのに好適な可撓性基板の貼合せ方法および貼合せ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
固定磁気記録装置に用いられる磁気ヘッドは、従来、ＭＲ素子等が組み込まれたスライダ側より電極パッドを介してリード線を引き出し、このリード線を可撓性基板（Flexible Print Circuit）に半田付けすることで、スライダ側に信号の入出力を行うようにしていた。
【０００３】
しかし昨今の磁気ヘッドでは、スライダの小型化や、負圧スライダの採用等によって記録媒体を押しつける力（いわゆるロード圧）が非常に小さくなっている。このため上記構成ではリード線の剛性によって前記記録媒体を押しつける力がばらついてしまうというおそれがあった。
【０００４】
この問題を解決するため、リード線を廃止し、スライダと可撓性基板とを直に電気的に接続する方法が知られている。
【０００５】
図６は、可撓性基板をヘッド保持体貼り合わせる様子を示した斜視図である。
【０００６】
同図に示すように、磁気ヘッドを構成するヘッド保持体１は、ロードビーム２と前記スライダとの間に介在し当該スライダの自由度を確保するためのバネ性を備えた可撓体（フレキシャ）３とを有している。そしてこのような構成からなるヘッド保持体１に対し、矢印４に示す方向に沿って可撓性基板５を貼り合わせる。
【０００７】
前記可撓性基板５のヘッド保持体１への貼合せは、まずトレーに並べられた可撓性基板５の図中におけるＡ領域を吸着ヘッドにて吸着し、この吸着状態を保持したまま前記吸着ヘッドを貼合せ用の台座に設置されたヘッド保持体１の上方に移動させる。そして可撓性基板５をヘッド保持体１の上方に移動させた後は、前記吸着ヘッドを降下させ、あらかじめ接着剤がボンディングされたヘッド保持体１の片側表面に可撓性基板５を貼り合わせる。なおヘッド保持体１に対する可撓性基板５の位置合わせは画像処理を用いて行うことが一般的である。すなわち吸着状態を保持したまま可撓性基板５を移動させる際、例えば当該可撓性基板５の穴の中心をＣＣＤ等によって検出するとともに台座に設置されたヘッド保持体１との相対差を演算し、前記吸着ヘッドの姿勢をヘッド保持体１の姿勢に倣わせた後、貼合せを行うようにしている。
【０００８】
また前記可撓性基板の貼合せに係るものとして図７に示すような吸着ヘッドも知られている（特許文献１を参照）。
【０００９】
吸着ヘッドの断面構造を示した同図に示すように、吸着ヘッド６は、可撓性基板７の全体を吸着によって持ち上げられるように、可撓性基板７の両端部に対応する位置に吸着口が設けられている。そして同吸着ヘッド６におけるスライダ側端部には、主ヘッド８と副ヘッド９とが独立して設けられており、ロードビーム１０と可撓体１１に対し、可撓性基板７をそれぞれの条件に合った荷重や範囲で押付可能にしている。なおロードビーム１０と可撓体１１との段差程度は、本構成では吸収可能としている。
【００１０】
【特許文献１】
特開２００２−２８８８１２号公報（図１、図２）
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかし上述した方法では、以下に示すような問題点があった。
【００１２】
すなわち、図６に示すように可撓性基板５のＡ領域だけを吸着して、ヘッド保持体1に貼合わせる方法では、前記可撓性基板５のＡ領域以外が引きずられる形態となり、ヘッド保持体１まで移動する間に可撓性基板５にズレ、或いは、折れなどの変形が生じるおそれがあった。また前記Ａ領域以外に引きずりが生じなくとも、可撓性基板５の重量がＡ領域近傍に集中し、この応力集中により前記変形が生じるおそれがあった。さらに昨今の磁気ヘッドでは、組立性向上の見地から単にスライダ側のみならず、他方端部側も厳しい貼合せ精度が要求される。このため単にＡ領域だけを吸着するだけでは、前記他方端部の位置合わせが困難になり、市場が要求する仕様を達成することができなかった。
【００１３】
一方、可撓性基板７の全体を持ち上げ可能とした吸着ヘッド６は、可撓性基板における両端部貼合せ精度は確保できるものの、吸着はヘッド保持体１２の形状に依存するという問題があった。
【００１４】
すなわち前記吸着ヘッド６は、図６に示すような平板状のロードビーム２であれば押し付けが可能であるが、図８に示すように曲げ加工１４が施され、貼合せ面が平面でないロードビーム１３に対しては押し付けを行うことができなかった。
【００１５】
またヘッド保持体の段差を避けるように、あらかじめ可撓性基板をトレー内で屈曲させておき、この状態を保ったまま、ヘッド保持体への貼合せを行うことも考えられたが、前記屈曲によって可撓性基板に変形が生じるおそれがあり、現実的ではなかった。
【００１６】
本発明は、上記従来の問題点に着目し、貼合せ面から突出する突起部を備えた貼合せ対象部材やヘッド保持体に対しても高精度に可撓性基板を貼合わせることが可能である可撓性基板の貼合せ方法および貼合せ装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、可撓性基板の長手方向を吸着する吸着ヘッドの移動軌跡を異ならせれば、貼合せ対象となるヘッド保持体に段差があっても、当該段差を回避して貼合せを行うことができるという知見に基づいてなされたものである。
【００１８】
すなわち本発明に係る可撓性基板の貼合せ方法は、貼合せ面から突出する突起部を備えた貼合せ対象部材に対し、可撓性基板を貼合わせる可撓性基板の貼合せ方法であって、前記可撓性基板上に位置する主吸着ヘッドと副吸着ヘッドとで前記可撓性基板を吸着した後、前記主吸着ヘッドを略回転中心とし、前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を略回転半径とする領域内に収まるよう前記副吸着ヘッドを移動させ、前記突起部を前記可撓性基板の屈曲により回避しつつ、前記主吸着ヘッド側にて前記ヘッド保持体に対する前記可撓性基板の貼合せを行う手順とした。
【００１９】
また具体的には、ロードビームと可撓体とを備え、曲げ突起を有するヘッド保持体に可撓性基板を貼合わせる可撓性基板の貼合せ方法であって、前記可撓性基板上に位置する主吸着ヘッドと副吸着ヘッドとで前記可撓性基板を吸着した後、前記主吸着ヘッドを略回転中心とし、前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を略回転半径とする領域内に収まるよう前記副吸着ヘッドを移動させ、前記曲げ突起を前記可撓性基板の屈曲により回避しつつ、前記主吸着ヘッド側にて前記ヘッド保持体に対する前記可撓性基板の貼合せを行う手順とした。
【００２０】
そして前記副吸着ヘッドの移動軌跡は、前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を回転半径とした円弧軌跡上にあることが望ましく、また前記円弧軌跡を前記領域内に収まる直線にしてもよい。
【００２１】
また前記副吸着ヘッドの移動後まで、前記副吸着ヘッドの吸着力を前記主吸着ヘッド側より小さく設定するとともに、ヘッド保持体に可撓性基板を貼合わせる際は、前記副吸着ヘッドの吸着力を解放することが望ましい。
【００２２】
そして本発明に係る可撓性基板の貼合せ装置は、ロードビームと可撓体とを備え、曲げ突起を有するヘッド保持体の可撓性基板を貼合わせる可撓性基板の貼合せ装置であって、
前記可撓性基板上を吸着可能とする主吸着ヘッドと、
前記可撓性基板上のもう一方を吸着可能とするとともに、前記主吸着ヘッドを略回転中心とし前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を略回転半径とする領域内に収まるよう移動可能な前記副吸着ヘッドと、
前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとを保持し、前記ヘッド保持体側への接離を可能とする昇降手段とを備え、
前記副吸着ヘッドを移動させ前記曲げ突起を前記可撓性基板の屈曲により回避しつつ前記昇降手段を稼働させ、前記主吸着ヘッド側にて前記ヘッド保持体に対する前記可撓性基板の貼合せを行うこととした。
【００２３】
ここで前記副吸着ヘッドの移動は、前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を回転半径とした円弧軌跡上に配置された移動手段に沿って行われることが望ましく、また前記移動手段をリニアガイドとし、前記円弧軌跡を前記領域内に収まる直線にしてもよい。
【００２４】
そして前記主吸着ヘッド側と前記副吸着ヘッド側には、吸着力の調整と解放とを独立して行う圧力調整手段と、開閉手段とをそれぞれ備えていることとした。
【００２５】
上記構成によれば、水平状態にある可撓性基板を、主吸着ヘッドと副吸着ヘッドとで吸着した後、この水平状態を保ったままヘッド保持体の上方まで移動させる。そして可撓性基板をヘッド保持体の上方まで移動させた後は、前記ヘッド保持体が有する曲げ突起に可撓性基板が干渉しないように、副吸着ヘッドを駆動させる。このように副吸着ヘッドを移動させれば、当該副吸着ヘッドに吸着される可撓性基板は、主吸着ヘッドを略中心として前記曲げ突起を避ける分だけ屈曲する。そしてこの状態を保ちつつ主吸着ヘッドと副吸着ヘッドをヘッド保持体まで降下させれば、副吸着ヘッド側の可撓性基板が曲げ突起に干渉することなく、主吸着ヘッド側で可撓性基板をヘッド保持体に押圧することができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下に本発明に係る可撓性基板の貼合せ方法および貼合せ装置に好適な具体的実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００２７】
図１は、本実施の形態に係る可撓性基板の貼合せ装置を磁気ヘッドの製造工程に適用した場合を示す平面図である。
【００２８】
同図に示すように、本実施の形態に係る可撓性基板の貼合せ装置２０は、当該貼合せ装置２０の上方に備えられたガイドレール２２に吊り下げられるとともに前記ガイドレール２２に沿って往復移動を可能にしている。なお前記貼合せ装置２０を往復移動させるための手段は、サーボモータやリニアモータなどの周知のものを用いるようにすればよい。
【００２９】
前記ガイドレール２２の片側端部側には、貼合せ前の可撓性基板２４を収容するためのトレー２６が設置されている。一方、前記ガイドレール２２の他方端部側には、ヘッド保持体２８を設置可能にするとともに、前記可撓性基板２４の貼合せをなすための台座３０が設けられている。
【００３０】
図２は、水平状態にある可撓性基板の吸着状態を示した貼合せ装置の平面図であり、図３は、図２の状態における同装置の斜視図である。
【００３１】
これらの図に示すように、ガイドレール２２（図１を参照）に吊り下げられる貼合せ装置２０は、前記ガイドレール２２の延長方向に沿って摺動可能とする図示しない背面プレートと、この背面プレートと摺動可能に組み合わされ、図中、矢印３６の方向に往復可能な昇降部３４とを備えている。なお背面プレートに対する昇降部３４の稼働は、図示しないがステッピングモータやＤＣサーボモータにボールネジなどを組み合わせた既存の昇降手段を用いるようにすればよい。
【００３２】
そして前記昇降部３４の正面側には、主吸着ヘッド３８と副吸着ヘッド４０とからなる一対の吸着ヘッドが設けられている。そしてこれら２つのヘッドは、吸着対象となる可撓性基板２４の両側を吸着できるだけの距離に対応して配置されている。なお本実施の形態では、可撓性基板２４の両側に吸着ヘッドを配置することとしたがこの形態に限定されることもなく、例えば、可撓性基板の形状や貼合せ位置に応じて、当該可撓性基板の長手方向に沿って前記吸着ヘッドを配置すればよい。
【００３３】
主吸着ヘッド３８は、可撓性基板２４におけるスライダ側の端部を吸着可能にしている。このため前記主吸着ヘッド３８の先端には、少なくとも前記可撓性基板２４と密着するだけの平坦な主側押圧部４２が形成されており、当該主側押圧部４２の内側には、図示しない吸引口が形成され、前記主吸着ヘッド３８に接続されるエア配管によって前記吸引口よりエアを吸込可能にしている。
【００３４】
一方、主吸着ヘッド３８に隣接する副吸着ヘッド４０も前記主吸着ヘッド３８と同様、可撓性基板２４への吸着が可能なように、その先端には少なくとも前記可撓性基板２４と密着するだけの平坦な副側押圧部４６が形成されており、当該副側押圧部４６の内側には図示しない吸引口が形成され、前記副吸着ヘッド４０に接続される副側エア配管によって前記吸引口よりエアを吸込可能にしている。なお上述した主側エア配管４４および副側エア配管の根元側には、図示しない圧力調整手段となるレギュレータと、これら配管経路を遮断する開閉手段となるソレノイドバルブが個別に設けられており、主側エア配管と副側エア配管とに対して異なる設定を行えるようにしている。
【００３５】
また副吸着ヘッド４０は、外部からのエア供給によって往復移動を可能とする架台５０上に搭載されており、この架台５０を斜め上方に移動させることで水平状態で保持した可撓性基板２４を屈曲させるようにしている。なお前記架台５０の移動量は、後述するヘッド保持体２８に形成された曲げ突起６２を避けるだけの距離に設定すればよい。
【００３６】
この副吸着ヘッド４０の移動軌跡を設定する架台５０の取り付け方向について以下に説明を行う。
【００３７】
図２および図３に対し、図４は、屈曲状態にある可撓性基板の吸着状態を示した貼合せ装置の平面図であり、図５は、図４の状態における同装置の斜視図である。
【００３８】
これらの図に示すように貼合せ装置２０では、架台５０が垂直方向に対し斜めに設置されている。このため磁気ヘッドを構成するヘッド保持体２８においてロードビーム５２に曲げ加工が施され、ロードビーム５２や可撓体５４への可撓性基板２４の貼合せ面から突出する曲げ突起６２が存在しても、副吸着ヘッド４０が可撓性基板２４を吸着したまま上昇するので、前記可撓性基板２４がロードビーム５２に干渉することなく、当該ロードビーム５２や可撓体５４に可撓性基板２４を貼り合わせることができるのである。
【００３９】
ここで副吸着ヘッド４０の移動軌跡を設定する架台５０の移動方向は、図４に示すように、略主吸着ヘッド３８、すなわち前記主吸着ヘッド３８の縁部付近を屈曲中心５６とし、主吸着ヘッド３８と副吸着ヘッド４０との間を回転半径とした領域５８の内側に収まるように設定される。このように架台５０の移動方向を前記半径内領域に設定すれば、架台５０の移動によって、可撓性基板２４に引張応力が発生することがなく、主吸着ヘッド３８と副吸着ヘッド４０とに対し前記可撓性基板２４がずれたり、あるいは基板自体に変形が生じるのを防止することが可能になる。また架台５０の移動によって可撓性基板２４に発生する応力を一層低減させるためには、前記領域５８の外縁に倣う軌跡６０に沿って架台５０を移動させればよい。このように架台５０の移動軌跡を設定すれば、架台５０が移動しても回転半径となる主吸着ヘッド３８と副吸着ヘッド４０との距離が変動しないので可撓性基板２４に引張応力ばかりでなく、基板自体にたわみが生じるのを防止することができる。そして架台５０の移動軌跡は、上述したように前記領域５８の外縁に倣うように設定することが理想であり、これらは例えばカム機構等によって達成することが可能である。
【００４０】
ところで上述した円弧軌跡に倣う構造が理想型であるとしたが、この形態に限定されることもなく他の軌跡を用いるようにしてもよい。
【００４１】
すなわち本実施の形態に係る架台５０の移動軌跡は、上記円弧軌跡を直線にしたものである。架台５０の移動量は、貼合せ対象となるヘッド保持体２８の曲げ突起６２を避けるだけの距離に設定すればよいので、この距離が少なければ屈曲半径の変動も僅かになり、可撓性基板２４に生じる応力を抑えることができるので、可撓性基板２４に位置ずれや、変形といった障害が発生するのを防止することができる。また架台５０の移動軌跡を直線近似とすれば、円弧軌跡に倣わせるためのカム機構等の構造が不要になり、昇降部３４を小型にすることができるなどといった利点が生じる。
【００４２】
このように構成された貼合せ装置２０を用い、磁気ヘッドに使用されるヘッド保持体２８に可撓性基板２８を貼り合わせる手順を図１を用いて説明する。
【００４３】
ヘッド保持体２８に可撓性基板２４を貼り合わせるためには、まずガイドレールに沿って貼合せ装置２０を図中右側に移動させ、貼合せ前の可撓性基板２４が並べられたトレー２６の上方で停止させる。
【００４４】
そして前記貼合せ装置２０をトレー２６の上方で停止させた後は、昇降手段によって昇降部３４を降下させ、主吸着ヘッド３８における主側押圧部４２と、副吸着ヘッド４０における副側押圧部４６を可撓性基板２４に押し当てるとともに、主側エア配管および副側エア配管を介して吸引力を発生させ、前記可撓性基板２４を吸着する。なお可撓性基板２４はこれら吸着ヘッドによって両端が独立して吸着されているが、この際、主吸着ヘッド３８側の吸着力（負圧）を副吸着ヘッド４０側よりも大きく設定することが望ましい。このように双方のヘッドの吸着力に差を持たせれば、可撓性基板２４自体に外力が加わった場合、吸着力の大きい側にずれが発生するのを防止することができるので、貼合せ直前までこの吸着力の差を保つようにすれば高精度な貼合せを確実に行うことができる。
【００４５】
こうしてトレー２６から可撓性基板２４を吸着した後は、昇降部３４を上昇させるとともに、貼合せ装置２０をガイドレール２２に沿って図中左側へと移動させる。なお前記貼合せ装置２０がガイドレール２２を移動途中に貼合せ装置２０の下方に設置されたＣＣＤカメラ（図示せず）等によって、可撓性基板２４の穴部や縁辺などを検出し、台座３０上に設置されたヘッド保持体２８との位置ずれ（Ｘ，Ｙ、θ方向）を算出する。そしてこの位置ずれを算出した後は、貼合せ装置２０の姿勢を図示しない位置決め機構によって補正調整し、これら相対誤差を無くすようにすればよい。そしてこの補正調整は、生産効率向上の見地から、貼合せ装置２０の移動中に行うようにすることが好ましい。
【００４６】
このように可撓性基板２４と台座３０に設置されたヘッド保持体２８との相対位置合わせが完了し、貼合せ装置２０が台座３０の上方に達した後は、前記貼合せ装置２０のガイドレール２２に沿った移動を停止させるとともに、昇降部３４をヘッド保持体２８に向かって降下させる。なお台座３０に設置されたヘッド保持体２８は、あらかじめボンディング工程を通過しており、可撓性基板２４との貼合せに必要な接着剤が塗布されている。
【００４７】
そして前記昇降部３４の降下とともに、架台５０を斜め上方に移動させ、水平状態にある可撓性基板２４を、ヘッド保持体２８の曲げ突起６２を避けるように屈曲させる。ここで架台５０の移動軌跡は、すでに述べたように可撓性基板２４の屈曲半径領域５８において、その外縁に倣う軌跡６０に対し直線近似させたものであるので、可撓性基板２４には前記架台５０の移動に伴う応力の発生を抑えることができ、前記可撓性基板２４に変形等の不具合が生じるのを防止することができる。また架台５０の移動時は、主吸着ヘッド３８側の吸着力を副吸着ヘッド４０側よりも高めているので、たとえ可撓性基板２４に外力が加わっても、当該外力は副吸着ヘッド４０側で吸収することができるので、主吸着ヘッド３８側の位置精度が悪化するのを防止することが可能になる。なお主吸着ヘッド３８側の位置精度に比べ、副吸着ヘッド４０側の位置精度は許容範囲が大きいため、可撓性基板２４のずれを吸収しても許容範囲内であることはいうまでもない。
【００４８】
このように副吸着ヘッド４０を架台５０によって上方に移動させれば、ヘッド保持体２８の曲げ突起６２に可撓性基板２４が干渉するのを防止することができる。そして主吸着ヘッド３８における主側押圧部４２をヘッド保持体２８に押圧する直前に、副側押圧部４６の吸着力を停止させれば、可撓性基板２４は副吸着ヘッド４０より離反するので主吸着ヘッド３８における貼合せを高精度で行うことができる。
【００４９】
そしてヘッド保持体２８に対し可撓性基板２４の貼合せが完了した後は、主吸着ヘッド３８の吸着力を停止させ、前記主吸着ヘッド３８を可撓性基板２４から離反させるとともに昇降部３４を上昇させ、貼合せ装置２０を再びトレー上方に移動させればよい。
【００５０】
ゆえに可撓性基板２４の端部を吸着し、ヘッド保持体２８における曲げ突起６２を避けるように可撓性基板２４を屈曲させるとともに貼り付けを行うようにすれば、高い位置精度で双方の貼合せを行うことができる。
【００５１】
なお本実施の形態では、磁気ヘッドの構成部材となるヘッド保持体２８に可撓性基板２４を貼り合わせることとしたが、この組み合わせに限定されることもなく、他の製品、例えばＤＶＤ／ＣＤ再生機器や光磁気記録装置における光ピックアップの製造などに幅広く適用することが可能である。
【００５２】
さらに本実施の形態では、貼合せ面から突出する突起部を、曲げ突起として説明を行ったが、前記突起部はロードビームの曲げ突起に限定されることもなく、貼合せ面の厚み方向に延在する他の突起であってもよい。
【００５３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、ロードビームと可撓体とを備え、曲げ突起を有するヘッド保持体に可撓性基板を貼合わせる可撓性基板の貼合せ方法であって、前記可撓性基板の端部側に位置する主吸着ヘッドと副吸着ヘッドとで前記可撓性基板を吸着した後、前記主吸着ヘッドを略回転中心とし、前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を回転半径とする領域内に収まるよう前記副吸着ヘッドを移動させ、前記曲げ突起を前記可撓性基板の屈曲により回避しつつ、前記主吸着ヘッド側にて前記ヘッド保持体に対する前記可撓性基板の貼合せを行うこととしたので、貼合せ面から突出する突起部を備えた貼合せ対象部材やヘッド保持体に対しても高精度に可撓性基板を貼合わせることができるとともに、可撓性基板のズレ、破損、折り目等を防止することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態に係る可撓性基板の貼合せ装置を磁気ヘッドの製造工程に適用した場合を示す平面図である。
【図２】水平状態にある可撓性基板の吸着状態を示した貼合せ装置の平面図である。
【図３】図２の状態における同装置の斜視図である。
【図４】屈曲状態にある可撓性基板の吸着状態を示した貼合せ装置の平面図である。
【図５】図４の状態における同装置の斜視図である。
【図６】可撓性基板をヘッド保持体貼り合わせる様子を示した斜視図である。
【図７】吸着ヘッドの断面構造を示す説明図である。
【図８】曲げ加工が施されたヘッド保持体の斜視図である。
【符号の説明】
１………ヘッド保持体
２………ロードビーム
３………可撓体
４………矢印
５………可撓性基板
６………吸着ヘッド
７………可撓性基板
８………主ヘッド
９………副ヘッド
１０………ロードビーム
１１………可撓体
１２………ヘッド保持体
１３………ロードビーム
１４………曲げ加工
２０………貼合せ装置
２２………ガイドレール
２４………可撓性基板
２６………トレー
２８………ヘッド保持体
３０………台座
３４………昇降部
３６………矢印
３８………主吸着ヘッド
４０………副吸着ヘッド
４２………主側押圧部
４６………副側押圧部
５０………架台
５２………ロードビーム
５４………可撓体
５６………屈曲中心
５８………領域
６０………外縁に倣う軌跡
６２………曲げ突起
【発明の属する技術分野】
本発明は、可撓性基板の貼合せ方法および貼合せ装置に係り、特に（固定磁気記録装置用の）磁気ヘッドを構成するヘッド保持体に対し可撓性基板を貼合わせるのに好適な可撓性基板の貼合せ方法および貼合せ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
固定磁気記録装置に用いられる磁気ヘッドは、従来、ＭＲ素子等が組み込まれたスライダ側より電極パッドを介してリード線を引き出し、このリード線を可撓性基板（Flexible Print Circuit）に半田付けすることで、スライダ側に信号の入出力を行うようにしていた。
【０００３】
しかし昨今の磁気ヘッドでは、スライダの小型化や、負圧スライダの採用等によって記録媒体を押しつける力（いわゆるロード圧）が非常に小さくなっている。このため上記構成ではリード線の剛性によって前記記録媒体を押しつける力がばらついてしまうというおそれがあった。
【０００４】
この問題を解決するため、リード線を廃止し、スライダと可撓性基板とを直に電気的に接続する方法が知られている。
【０００５】
図６は、可撓性基板をヘッド保持体貼り合わせる様子を示した斜視図である。
【０００６】
同図に示すように、磁気ヘッドを構成するヘッド保持体１は、ロードビーム２と前記スライダとの間に介在し当該スライダの自由度を確保するためのバネ性を備えた可撓体（フレキシャ）３とを有している。そしてこのような構成からなるヘッド保持体１に対し、矢印４に示す方向に沿って可撓性基板５を貼り合わせる。
【０００７】
前記可撓性基板５のヘッド保持体１への貼合せは、まずトレーに並べられた可撓性基板５の図中におけるＡ領域を吸着ヘッドにて吸着し、この吸着状態を保持したまま前記吸着ヘッドを貼合せ用の台座に設置されたヘッド保持体１の上方に移動させる。そして可撓性基板５をヘッド保持体１の上方に移動させた後は、前記吸着ヘッドを降下させ、あらかじめ接着剤がボンディングされたヘッド保持体１の片側表面に可撓性基板５を貼り合わせる。なおヘッド保持体１に対する可撓性基板５の位置合わせは画像処理を用いて行うことが一般的である。すなわち吸着状態を保持したまま可撓性基板５を移動させる際、例えば当該可撓性基板５の穴の中心をＣＣＤ等によって検出するとともに台座に設置されたヘッド保持体１との相対差を演算し、前記吸着ヘッドの姿勢をヘッド保持体１の姿勢に倣わせた後、貼合せを行うようにしている。
【０００８】
また前記可撓性基板の貼合せに係るものとして図７に示すような吸着ヘッドも知られている（特許文献１を参照）。
【０００９】
吸着ヘッドの断面構造を示した同図に示すように、吸着ヘッド６は、可撓性基板７の全体を吸着によって持ち上げられるように、可撓性基板７の両端部に対応する位置に吸着口が設けられている。そして同吸着ヘッド６におけるスライダ側端部には、主ヘッド８と副ヘッド９とが独立して設けられており、ロードビーム１０と可撓体１１に対し、可撓性基板７をそれぞれの条件に合った荷重や範囲で押付可能にしている。なおロードビーム１０と可撓体１１との段差程度は、本構成では吸収可能としている。
【００１０】
【特許文献１】
特開２００２−２８８８１２号公報（図１、図２）
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかし上述した方法では、以下に示すような問題点があった。
【００１２】
すなわち、図６に示すように可撓性基板５のＡ領域だけを吸着して、ヘッド保持体1に貼合わせる方法では、前記可撓性基板５のＡ領域以外が引きずられる形態となり、ヘッド保持体１まで移動する間に可撓性基板５にズレ、或いは、折れなどの変形が生じるおそれがあった。また前記Ａ領域以外に引きずりが生じなくとも、可撓性基板５の重量がＡ領域近傍に集中し、この応力集中により前記変形が生じるおそれがあった。さらに昨今の磁気ヘッドでは、組立性向上の見地から単にスライダ側のみならず、他方端部側も厳しい貼合せ精度が要求される。このため単にＡ領域だけを吸着するだけでは、前記他方端部の位置合わせが困難になり、市場が要求する仕様を達成することができなかった。
【００１３】
一方、可撓性基板７の全体を持ち上げ可能とした吸着ヘッド６は、可撓性基板における両端部貼合せ精度は確保できるものの、吸着はヘッド保持体１２の形状に依存するという問題があった。
【００１４】
すなわち前記吸着ヘッド６は、図６に示すような平板状のロードビーム２であれば押し付けが可能であるが、図８に示すように曲げ加工１４が施され、貼合せ面が平面でないロードビーム１３に対しては押し付けを行うことができなかった。
【００１５】
またヘッド保持体の段差を避けるように、あらかじめ可撓性基板をトレー内で屈曲させておき、この状態を保ったまま、ヘッド保持体への貼合せを行うことも考えられたが、前記屈曲によって可撓性基板に変形が生じるおそれがあり、現実的ではなかった。
【００１６】
本発明は、上記従来の問題点に着目し、貼合せ面から突出する突起部を備えた貼合せ対象部材やヘッド保持体に対しても高精度に可撓性基板を貼合わせることが可能である可撓性基板の貼合せ方法および貼合せ装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、可撓性基板の長手方向を吸着する吸着ヘッドの移動軌跡を異ならせれば、貼合せ対象となるヘッド保持体に段差があっても、当該段差を回避して貼合せを行うことができるという知見に基づいてなされたものである。
【００１８】
すなわち本発明に係る可撓性基板の貼合せ方法は、貼合せ面から突出する突起部を備えた貼合せ対象部材に対し、可撓性基板を貼合わせる可撓性基板の貼合せ方法であって、前記可撓性基板上に位置する主吸着ヘッドと副吸着ヘッドとで前記可撓性基板を吸着した後、前記主吸着ヘッドを略回転中心とし、前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を略回転半径とする領域内に収まるよう前記副吸着ヘッドを移動させ、前記突起部を前記可撓性基板の屈曲により回避しつつ、前記主吸着ヘッド側にて前記ヘッド保持体に対する前記可撓性基板の貼合せを行う手順とした。
【００１９】
また具体的には、ロードビームと可撓体とを備え、曲げ突起を有するヘッド保持体に可撓性基板を貼合わせる可撓性基板の貼合せ方法であって、前記可撓性基板上に位置する主吸着ヘッドと副吸着ヘッドとで前記可撓性基板を吸着した後、前記主吸着ヘッドを略回転中心とし、前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を略回転半径とする領域内に収まるよう前記副吸着ヘッドを移動させ、前記曲げ突起を前記可撓性基板の屈曲により回避しつつ、前記主吸着ヘッド側にて前記ヘッド保持体に対する前記可撓性基板の貼合せを行う手順とした。
【００２０】
そして前記副吸着ヘッドの移動軌跡は、前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を回転半径とした円弧軌跡上にあることが望ましく、また前記円弧軌跡を前記領域内に収まる直線にしてもよい。
【００２１】
また前記副吸着ヘッドの移動後まで、前記副吸着ヘッドの吸着力を前記主吸着ヘッド側より小さく設定するとともに、ヘッド保持体に可撓性基板を貼合わせる際は、前記副吸着ヘッドの吸着力を解放することが望ましい。
【００２２】
そして本発明に係る可撓性基板の貼合せ装置は、ロードビームと可撓体とを備え、曲げ突起を有するヘッド保持体の可撓性基板を貼合わせる可撓性基板の貼合せ装置であって、
前記可撓性基板上を吸着可能とする主吸着ヘッドと、
前記可撓性基板上のもう一方を吸着可能とするとともに、前記主吸着ヘッドを略回転中心とし前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を略回転半径とする領域内に収まるよう移動可能な前記副吸着ヘッドと、
前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとを保持し、前記ヘッド保持体側への接離を可能とする昇降手段とを備え、
前記副吸着ヘッドを移動させ前記曲げ突起を前記可撓性基板の屈曲により回避しつつ前記昇降手段を稼働させ、前記主吸着ヘッド側にて前記ヘッド保持体に対する前記可撓性基板の貼合せを行うこととした。
【００２３】
ここで前記副吸着ヘッドの移動は、前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を回転半径とした円弧軌跡上に配置された移動手段に沿って行われることが望ましく、また前記移動手段をリニアガイドとし、前記円弧軌跡を前記領域内に収まる直線にしてもよい。
【００２４】
そして前記主吸着ヘッド側と前記副吸着ヘッド側には、吸着力の調整と解放とを独立して行う圧力調整手段と、開閉手段とをそれぞれ備えていることとした。
【００２５】
上記構成によれば、水平状態にある可撓性基板を、主吸着ヘッドと副吸着ヘッドとで吸着した後、この水平状態を保ったままヘッド保持体の上方まで移動させる。そして可撓性基板をヘッド保持体の上方まで移動させた後は、前記ヘッド保持体が有する曲げ突起に可撓性基板が干渉しないように、副吸着ヘッドを駆動させる。このように副吸着ヘッドを移動させれば、当該副吸着ヘッドに吸着される可撓性基板は、主吸着ヘッドを略中心として前記曲げ突起を避ける分だけ屈曲する。そしてこの状態を保ちつつ主吸着ヘッドと副吸着ヘッドをヘッド保持体まで降下させれば、副吸着ヘッド側の可撓性基板が曲げ突起に干渉することなく、主吸着ヘッド側で可撓性基板をヘッド保持体に押圧することができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下に本発明に係る可撓性基板の貼合せ方法および貼合せ装置に好適な具体的実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００２７】
図１は、本実施の形態に係る可撓性基板の貼合せ装置を磁気ヘッドの製造工程に適用した場合を示す平面図である。
【００２８】
同図に示すように、本実施の形態に係る可撓性基板の貼合せ装置２０は、当該貼合せ装置２０の上方に備えられたガイドレール２２に吊り下げられるとともに前記ガイドレール２２に沿って往復移動を可能にしている。なお前記貼合せ装置２０を往復移動させるための手段は、サーボモータやリニアモータなどの周知のものを用いるようにすればよい。
【００２９】
前記ガイドレール２２の片側端部側には、貼合せ前の可撓性基板２４を収容するためのトレー２６が設置されている。一方、前記ガイドレール２２の他方端部側には、ヘッド保持体２８を設置可能にするとともに、前記可撓性基板２４の貼合せをなすための台座３０が設けられている。
【００３０】
図２は、水平状態にある可撓性基板の吸着状態を示した貼合せ装置の平面図であり、図３は、図２の状態における同装置の斜視図である。
【００３１】
これらの図に示すように、ガイドレール２２（図１を参照）に吊り下げられる貼合せ装置２０は、前記ガイドレール２２の延長方向に沿って摺動可能とする図示しない背面プレートと、この背面プレートと摺動可能に組み合わされ、図中、矢印３６の方向に往復可能な昇降部３４とを備えている。なお背面プレートに対する昇降部３４の稼働は、図示しないがステッピングモータやＤＣサーボモータにボールネジなどを組み合わせた既存の昇降手段を用いるようにすればよい。
【００３２】
そして前記昇降部３４の正面側には、主吸着ヘッド３８と副吸着ヘッド４０とからなる一対の吸着ヘッドが設けられている。そしてこれら２つのヘッドは、吸着対象となる可撓性基板２４の両側を吸着できるだけの距離に対応して配置されている。なお本実施の形態では、可撓性基板２４の両側に吸着ヘッドを配置することとしたがこの形態に限定されることもなく、例えば、可撓性基板の形状や貼合せ位置に応じて、当該可撓性基板の長手方向に沿って前記吸着ヘッドを配置すればよい。
【００３３】
主吸着ヘッド３８は、可撓性基板２４におけるスライダ側の端部を吸着可能にしている。このため前記主吸着ヘッド３８の先端には、少なくとも前記可撓性基板２４と密着するだけの平坦な主側押圧部４２が形成されており、当該主側押圧部４２の内側には、図示しない吸引口が形成され、前記主吸着ヘッド３８に接続されるエア配管によって前記吸引口よりエアを吸込可能にしている。
【００３４】
一方、主吸着ヘッド３８に隣接する副吸着ヘッド４０も前記主吸着ヘッド３８と同様、可撓性基板２４への吸着が可能なように、その先端には少なくとも前記可撓性基板２４と密着するだけの平坦な副側押圧部４６が形成されており、当該副側押圧部４６の内側には図示しない吸引口が形成され、前記副吸着ヘッド４０に接続される副側エア配管によって前記吸引口よりエアを吸込可能にしている。なお上述した主側エア配管４４および副側エア配管の根元側には、図示しない圧力調整手段となるレギュレータと、これら配管経路を遮断する開閉手段となるソレノイドバルブが個別に設けられており、主側エア配管と副側エア配管とに対して異なる設定を行えるようにしている。
【００３５】
また副吸着ヘッド４０は、外部からのエア供給によって往復移動を可能とする架台５０上に搭載されており、この架台５０を斜め上方に移動させることで水平状態で保持した可撓性基板２４を屈曲させるようにしている。なお前記架台５０の移動量は、後述するヘッド保持体２８に形成された曲げ突起６２を避けるだけの距離に設定すればよい。
【００３６】
この副吸着ヘッド４０の移動軌跡を設定する架台５０の取り付け方向について以下に説明を行う。
【００３７】
図２および図３に対し、図４は、屈曲状態にある可撓性基板の吸着状態を示した貼合せ装置の平面図であり、図５は、図４の状態における同装置の斜視図である。
【００３８】
これらの図に示すように貼合せ装置２０では、架台５０が垂直方向に対し斜めに設置されている。このため磁気ヘッドを構成するヘッド保持体２８においてロードビーム５２に曲げ加工が施され、ロードビーム５２や可撓体５４への可撓性基板２４の貼合せ面から突出する曲げ突起６２が存在しても、副吸着ヘッド４０が可撓性基板２４を吸着したまま上昇するので、前記可撓性基板２４がロードビーム５２に干渉することなく、当該ロードビーム５２や可撓体５４に可撓性基板２４を貼り合わせることができるのである。
【００３９】
ここで副吸着ヘッド４０の移動軌跡を設定する架台５０の移動方向は、図４に示すように、略主吸着ヘッド３８、すなわち前記主吸着ヘッド３８の縁部付近を屈曲中心５６とし、主吸着ヘッド３８と副吸着ヘッド４０との間を回転半径とした領域５８の内側に収まるように設定される。このように架台５０の移動方向を前記半径内領域に設定すれば、架台５０の移動によって、可撓性基板２４に引張応力が発生することがなく、主吸着ヘッド３８と副吸着ヘッド４０とに対し前記可撓性基板２４がずれたり、あるいは基板自体に変形が生じるのを防止することが可能になる。また架台５０の移動によって可撓性基板２４に発生する応力を一層低減させるためには、前記領域５８の外縁に倣う軌跡６０に沿って架台５０を移動させればよい。このように架台５０の移動軌跡を設定すれば、架台５０が移動しても回転半径となる主吸着ヘッド３８と副吸着ヘッド４０との距離が変動しないので可撓性基板２４に引張応力ばかりでなく、基板自体にたわみが生じるのを防止することができる。そして架台５０の移動軌跡は、上述したように前記領域５８の外縁に倣うように設定することが理想であり、これらは例えばカム機構等によって達成することが可能である。
【００４０】
ところで上述した円弧軌跡に倣う構造が理想型であるとしたが、この形態に限定されることもなく他の軌跡を用いるようにしてもよい。
【００４１】
すなわち本実施の形態に係る架台５０の移動軌跡は、上記円弧軌跡を直線にしたものである。架台５０の移動量は、貼合せ対象となるヘッド保持体２８の曲げ突起６２を避けるだけの距離に設定すればよいので、この距離が少なければ屈曲半径の変動も僅かになり、可撓性基板２４に生じる応力を抑えることができるので、可撓性基板２４に位置ずれや、変形といった障害が発生するのを防止することができる。また架台５０の移動軌跡を直線近似とすれば、円弧軌跡に倣わせるためのカム機構等の構造が不要になり、昇降部３４を小型にすることができるなどといった利点が生じる。
【００４２】
このように構成された貼合せ装置２０を用い、磁気ヘッドに使用されるヘッド保持体２８に可撓性基板２８を貼り合わせる手順を図１を用いて説明する。
【００４３】
ヘッド保持体２８に可撓性基板２４を貼り合わせるためには、まずガイドレールに沿って貼合せ装置２０を図中右側に移動させ、貼合せ前の可撓性基板２４が並べられたトレー２６の上方で停止させる。
【００４４】
そして前記貼合せ装置２０をトレー２６の上方で停止させた後は、昇降手段によって昇降部３４を降下させ、主吸着ヘッド３８における主側押圧部４２と、副吸着ヘッド４０における副側押圧部４６を可撓性基板２４に押し当てるとともに、主側エア配管および副側エア配管を介して吸引力を発生させ、前記可撓性基板２４を吸着する。なお可撓性基板２４はこれら吸着ヘッドによって両端が独立して吸着されているが、この際、主吸着ヘッド３８側の吸着力（負圧）を副吸着ヘッド４０側よりも大きく設定することが望ましい。このように双方のヘッドの吸着力に差を持たせれば、可撓性基板２４自体に外力が加わった場合、吸着力の大きい側にずれが発生するのを防止することができるので、貼合せ直前までこの吸着力の差を保つようにすれば高精度な貼合せを確実に行うことができる。
【００４５】
こうしてトレー２６から可撓性基板２４を吸着した後は、昇降部３４を上昇させるとともに、貼合せ装置２０をガイドレール２２に沿って図中左側へと移動させる。なお前記貼合せ装置２０がガイドレール２２を移動途中に貼合せ装置２０の下方に設置されたＣＣＤカメラ（図示せず）等によって、可撓性基板２４の穴部や縁辺などを検出し、台座３０上に設置されたヘッド保持体２８との位置ずれ（Ｘ，Ｙ、θ方向）を算出する。そしてこの位置ずれを算出した後は、貼合せ装置２０の姿勢を図示しない位置決め機構によって補正調整し、これら相対誤差を無くすようにすればよい。そしてこの補正調整は、生産効率向上の見地から、貼合せ装置２０の移動中に行うようにすることが好ましい。
【００４６】
このように可撓性基板２４と台座３０に設置されたヘッド保持体２８との相対位置合わせが完了し、貼合せ装置２０が台座３０の上方に達した後は、前記貼合せ装置２０のガイドレール２２に沿った移動を停止させるとともに、昇降部３４をヘッド保持体２８に向かって降下させる。なお台座３０に設置されたヘッド保持体２８は、あらかじめボンディング工程を通過しており、可撓性基板２４との貼合せに必要な接着剤が塗布されている。
【００４７】
そして前記昇降部３４の降下とともに、架台５０を斜め上方に移動させ、水平状態にある可撓性基板２４を、ヘッド保持体２８の曲げ突起６２を避けるように屈曲させる。ここで架台５０の移動軌跡は、すでに述べたように可撓性基板２４の屈曲半径領域５８において、その外縁に倣う軌跡６０に対し直線近似させたものであるので、可撓性基板２４には前記架台５０の移動に伴う応力の発生を抑えることができ、前記可撓性基板２４に変形等の不具合が生じるのを防止することができる。また架台５０の移動時は、主吸着ヘッド３８側の吸着力を副吸着ヘッド４０側よりも高めているので、たとえ可撓性基板２４に外力が加わっても、当該外力は副吸着ヘッド４０側で吸収することができるので、主吸着ヘッド３８側の位置精度が悪化するのを防止することが可能になる。なお主吸着ヘッド３８側の位置精度に比べ、副吸着ヘッド４０側の位置精度は許容範囲が大きいため、可撓性基板２４のずれを吸収しても許容範囲内であることはいうまでもない。
【００４８】
このように副吸着ヘッド４０を架台５０によって上方に移動させれば、ヘッド保持体２８の曲げ突起６２に可撓性基板２４が干渉するのを防止することができる。そして主吸着ヘッド３８における主側押圧部４２をヘッド保持体２８に押圧する直前に、副側押圧部４６の吸着力を停止させれば、可撓性基板２４は副吸着ヘッド４０より離反するので主吸着ヘッド３８における貼合せを高精度で行うことができる。
【００４９】
そしてヘッド保持体２８に対し可撓性基板２４の貼合せが完了した後は、主吸着ヘッド３８の吸着力を停止させ、前記主吸着ヘッド３８を可撓性基板２４から離反させるとともに昇降部３４を上昇させ、貼合せ装置２０を再びトレー上方に移動させればよい。
【００５０】
ゆえに可撓性基板２４の端部を吸着し、ヘッド保持体２８における曲げ突起６２を避けるように可撓性基板２４を屈曲させるとともに貼り付けを行うようにすれば、高い位置精度で双方の貼合せを行うことができる。
【００５１】
なお本実施の形態では、磁気ヘッドの構成部材となるヘッド保持体２８に可撓性基板２４を貼り合わせることとしたが、この組み合わせに限定されることもなく、他の製品、例えばＤＶＤ／ＣＤ再生機器や光磁気記録装置における光ピックアップの製造などに幅広く適用することが可能である。
【００５２】
さらに本実施の形態では、貼合せ面から突出する突起部を、曲げ突起として説明を行ったが、前記突起部はロードビームの曲げ突起に限定されることもなく、貼合せ面の厚み方向に延在する他の突起であってもよい。
【００５３】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、ロードビームと可撓体とを備え、曲げ突起を有するヘッド保持体に可撓性基板を貼合わせる可撓性基板の貼合せ方法であって、前記可撓性基板の端部側に位置する主吸着ヘッドと副吸着ヘッドとで前記可撓性基板を吸着した後、前記主吸着ヘッドを略回転中心とし、前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を回転半径とする領域内に収まるよう前記副吸着ヘッドを移動させ、前記曲げ突起を前記可撓性基板の屈曲により回避しつつ、前記主吸着ヘッド側にて前記ヘッド保持体に対する前記可撓性基板の貼合せを行うこととしたので、貼合せ面から突出する突起部を備えた貼合せ対象部材やヘッド保持体に対しても高精度に可撓性基板を貼合わせることができるとともに、可撓性基板のズレ、破損、折り目等を防止することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態に係る可撓性基板の貼合せ装置を磁気ヘッドの製造工程に適用した場合を示す平面図である。
【図２】水平状態にある可撓性基板の吸着状態を示した貼合せ装置の平面図である。
【図３】図２の状態における同装置の斜視図である。
【図４】屈曲状態にある可撓性基板の吸着状態を示した貼合せ装置の平面図である。
【図５】図４の状態における同装置の斜視図である。
【図６】可撓性基板をヘッド保持体貼り合わせる様子を示した斜視図である。
【図７】吸着ヘッドの断面構造を示す説明図である。
【図８】曲げ加工が施されたヘッド保持体の斜視図である。
【符号の説明】
１………ヘッド保持体
２………ロードビーム
３………可撓体
４………矢印
５………可撓性基板
６………吸着ヘッド
７………可撓性基板
８………主ヘッド
９………副ヘッド
１０………ロードビーム
１１………可撓体
１２………ヘッド保持体
１３………ロードビーム
１４………曲げ加工
２０………貼合せ装置
２２………ガイドレール
２４………可撓性基板
２６………トレー
２８………ヘッド保持体
３０………台座
３４………昇降部
３６………矢印
３８………主吸着ヘッド
４０………副吸着ヘッド
４２………主側押圧部
４６………副側押圧部
５０………架台
５２………ロードビーム
５４………可撓体
５６………屈曲中心
５８………領域
６０………外縁に倣う軌跡
６２………曲げ突起
Claims (10)
- 貼合せ面から突出する突起部を備えた貼合せ対象部材に対し、可撓性基板を貼合わせる可撓性基板の貼合せ方法であって、前記可撓性基板上に位置する主吸着ヘッドと副吸着ヘッドとで前記可撓性基板を吸着した後、前記主吸着ヘッドを略回転中心とし、前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を略回転半径とする領域内に収まるよう前記副吸着ヘッドを移動させ、前記突起部を前記可撓性基板の屈曲により回避しつつ、前記主吸着ヘッド側にて前記貼合せ対象部材に対する前記可撓性基板の貼合せを行うことを特徴とする可撓性基板の貼合せ方法。
- ロードビームと可撓体とを備え、曲げ突起を有するヘッド保持体に可撓性基板を貼合わせる可撓性基板の貼合せ方法であって、前記可撓性基板上に位置する主吸着ヘッドと副吸着ヘッドとで前記可撓性基板を吸着した後、前記主吸着ヘッドを略回転中心とし、前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を略回転半径とする領域内に収まるよう前記副吸着ヘッドを移動させ、前記曲げ突起を前記可撓性基板の屈曲により回避しつつ、前記主吸着ヘッド側にて前記ヘッド保持体に対する前記可撓性基板の貼合せを行うことを特徴とする可撓性基板の貼合せ方法。
- 前記副吸着ヘッドの移動軌跡は、前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を回転半径とした円弧軌跡上にあることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の可撓性基板の貼合せ方法。
- 前記円弧軌跡を前記領域内に収まる直線にしたことを特徴とする請求項３に記載の可撓性基板の貼合せ方法。
- 前記副吸着ヘッドの移動後まで、前記副吸着ヘッドの吸着力を前記主吸着ヘッド側より小さく設定するとともに、ヘッド保持体に可撓性基板を貼合わせる際は、前記副吸着ヘッドの吸着力を解放するようにしたことを特徴とする請求項２に記載の可撓性基板の貼合せ方法。
- ロードビームと可撓体とを備え、曲げ突起を有するヘッド保持体の可撓性基板を貼合わせる可撓性基板の貼合せ装置であって、
前記可撓性基板上を吸着可能とする主吸着ヘッドと、
前記可撓性基板上のもう一方を吸着可能とするとともに、前記主吸着ヘッドを略回転中心とし前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を略回転半径とする領域内に収まるよう移動可能な前記副吸着ヘッドと、
前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとを保持し、前記ヘッド保持体側への接離を可能とする昇降手段とを備え、
前記副吸着ヘッドを移動させ前記曲げ突起を前記可撓性基板の屈曲により回避しつつ前記昇降手段を稼働させ、前記主吸着ヘッド側にて前記ヘッド保持体に対する前記可撓性基板の貼合せを行うことを特徴とする可撓性基板の貼合せ装置。 - 前記副吸着ヘッドの移動は、前記主吸着ヘッドと前記副吸着ヘッドとの間を回転半径とした円弧軌跡上に配置された移動手段に沿って行われることを特徴とする請求項６に記載の可撓性基板の貼合せ装置。
- 前記移動手段をリニアガイドとし、前記円弧軌跡を前記領域内に収まる直線にしたことを特徴とする請求項７に記載の可撓性基板の貼合せ装置。
- 前記主吸着ヘッド側と前記副吸着ヘッド側には、吸着力の調整と解放とを独立して行う圧力調整手段と、開閉手段とがそれぞれ備えていることを特徴とする請求項６に記載の可撓性基板の貼合せ装置。
- 前記副吸着ヘッドの移動後まで、前記副吸着ヘッドの吸着力を前記主吸着ヘッド側より小さく設定するとともに、貼合せ対象部材に可撓性基板を貼合わせる際は、前記副吸着ヘッドの吸着力を解放するようにしたことを特徴とする請求項１に記載の可撓性基板の貼合せ方法。
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