JP3875973B2 - 保護コーティング - Google Patents

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Description

本発明は保護コーティングに関する。
ニッケル、クロム、コバルト、アルミニウムおよび希土類の反応性元素を主として含む合金の保護コーティングのために多くの組成物が開発され、試験されてきた。そのようなコーティングはこれ迄にも、例えば特許文献1又は特許文献2から公知になっている。
特許文献3から、追加の成分のケイ素によって、そのような保護コーティングの性質を更に改良することが可能であることも知られている。
それらの文献では実際のところ、比較的広い範囲の各種元素が、高温耐腐食性の保護コーティングを作るための方法となることを定性的に示唆してはいるが、開示されたそれらの組成物が、全ての目的に対して定量的に充分に特異的に効果がある訳ではない。
特許文献4は、保護コーティングのための更なる組成物を開示するが、それらも、高い入口温度を持つ定置ガスタービンで発生する種類の使用又は用途に好適とは言えない。
米国特許第4005989号明細書 米国特許第5401307号明細書 米国特許第4034142号明細書 独国特許第2355674号明細書
それらの保護コーティングは、かなりの程度の内部酸化、そしてそれによるクラックの発生があり、そのためにその上層のコーティングにアブレーションをもたらす。
本発明の目的は、成分の上に塗布する、保護コーティング用途を提供し、機械的性質および他の上層のコーティングへの接着性を低下させるクラックの発達を少なくとも減少させることにある。
前述およびその他の目的を考慮に入れて、本発明に従えば、ニッケル系又はコバルト系合金から形成される成分の上への、中温および高温における耐腐食性の保護コーティングが提供され、その成分は実質的には以下の元素からなる(重量%)。
26〜30%のニッケル、
20〜28%のクロム、
8〜12%のアルミニウム、
0.1%〜3%のレニウム、
0.1〜3%の少なくとも1種の希土類の反応性元素、
残部のコバルトおよび不純物。
更にレニウム、白金、パラジウム、ジルコニウム、マンガン、タングステン、チタン、モリブデン、ニオブ、鉄およびハフニウムからなる群の少なくとも1種の元素を選択的に0〜15%を含有してもよい。
好適な範囲は、重量%で述べて、モリブデンは1.5〜2%、タングステンは2.5〜4%、チタンは1%迄、ジルコニウムはO.1%迄、ハフニウムは1%迄、そしてホウ素は0.5%迄である。
更に0.08重量%〜0.1重量%の炭素を加えることもできる。
この保護コーティングは、コーティング内およびベース金属とコーティングの界面に脆い相を形成することはない。更に耐酸化性が改善される。アルミニウムリッチな相の量と構造が良好なアンカー層を発達させるのに十分なので、MCrAlY上およびMCrAlYとセラミックスとの界面に、各々TGO(熱により成長する酸化物層)が生成する。
この点に関して、最後に述べた元素群内の特定の元素を選択的に加えることで、その元素が保護コーティングの特性を劣化させることがなく、逆に、少なくともある種の環境においては実際に改良するという知見に基づいている。
以下の如き性質や意義を、保護コーティングの各種の構成成分に帰すことができる。
1つの成分としてのコバルトは、高温における良好な耐腐食性を与える。
ニッケルは、コーティングの延性を改良し、かつニッケル系ベース金属に関して相互拡散を抑制する。ニッケルの好適な範囲は26〜30、好ましくは約28重量%である。
クロムは、約900℃迄の中温での耐腐食性を改良すると共に、酸化アルミニウムの保護層の形成を促す。クロムの好適な範囲は20〜28重量%、特に約24重量%である。
アルミニウムは、約1150℃迄の高温における耐腐食性を改良する。アルミニウムの量は、8〜12重量%の範囲内、具体的には約10重量%とすべきである。
反応性元素、特にイットリウムの効果はそれ自体公知である。その好適な範囲は0.1〜3重量%、具体的には約0.6重量%である。
上記の好ましい範囲において試験すると、入口温度が1200℃を超えるガスタービンに応用するための保護コーティングで特に良好な耐腐食性を示すことが判った。
従来技術の文献から、保護コーティングを損なわない各種の元素が知られていたが、それどころか場合によっては、全部で15%重量未満の範囲、具体的には僅か数重量%の量でそれらを混合すると保護コーティングを事実上改良する。ここで出願する本発明は、そのような添加物を加えた保護コーティングをも包含する。
保護コーティング用途では殆ど顧みられることのなかった元素、即ちレニウムを0.1〜3重量%、好ましくは0.1〜2重量%又は0.1〜1重量%の量で混合すると、著しく耐腐食性を向上させる。
レニウムは大抵の貴金属程に高価ではないが、保護コーティングの成分とすると、例えば白金と同程度に良好な性質を与えることができ、また、保護コーティング内にほんの少し加えるだけで効果を発揮させることが可能である。従って、レニウム含有量が1〜2重量%、好ましくは1.2〜1.7重量%で、良好な結果が得られる。
本発明によるコーティングは、プラズマ溶射や蒸着(PVD)で塗布でき、ニッケル系又はコバルト系超合金で作ったガスタービンのブレードに特に適する。ガスタービン、特に、例えば入口温度が高く1200℃を超えるようなガスタービンのその他の部分にも、同様にそのような保護コーティングを設けられる。本発明によるコーティングの特定の組成物は、高い入口温度を有する定置ガスタービンのために特に好適に選択できることが、試験的に証明された。そのような試験について、以下に説明する。
これ迄説明したコーティングを塗布する部品は、ニッケル系又はコバルト系超合金から製造したものであれば好都合である。部品は以下のものから形成してもよい。
1.重量%で表して実質的に以下の元素からなる鍛造合金
0.03〜0.05%の炭素、18〜19%のクロム、12〜15%のコバルト、3 〜6%のモリブデン、1〜1.5%のタングステン、2〜2.5%のアルミニウム、3 〜5%のチタン、任意の少量添加物(タンタル、ニオブ、ホウ素および/又はジルコニ ウム)および残部のニッケル。かかる合金としてユーディメット520およびユーディ メット720が公知である。
2.重量%で表して実質的に以下の元素からなる鋳造合金
0.1〜0.15%の炭素、18〜22%のクロム、18〜9%のコバルト、0〜2%のタングステン、0〜4%のモリブデン、0〜1.5%のタンタル、0〜1%のニオブ、1〜3%のアルミニウム、2〜4%のチタン、0〜0.75%のハフニウム、任意の少量添加物のホウ素および/又はジルコニウム、残部のニッケル。この種合金として、GTD222、IN939、IN6203およびユーディメット500が公知である。
3.重量%で表して実質的に以下の元素からなる鋳造合金
0.07〜0.1%の炭素、12〜16%のクロム、8〜10%のコバルト、1.5〜
2%のモリブデン、2.5〜4%のタングステン、1.5〜5%、特に1.5〜4.5%のタンタル、0〜1%のニオブ、3〜4%のアルミニウム、3.5〜5%のチタン、0〜0.1%のジルコニウム、0〜1%のハフニウム、任意の少量添加物(ホウ素)および残部のニッケル。この種合金としてPWA1483SX、IN738LC、GTD111、IN792CCおよびIN792DS等が公知である。本発明においてはIN738LCが特に有用である。

4.重量%で表して実質的に以下の元素からなる鋳造合金
約0.25%の炭素、24〜30%のクロム、10〜11%のニッケル、7〜8%のタングステン、0〜4%のタンタル、0〜0.3%のアルミニウム、0〜0.3%のチタン、0〜0.6%のジルコニウム、任意の少量添加物のホウ素および残部のコバルト。
200〜300μmの範囲の厚みを持つコーティングを塗布すると特に有用である。
上記部品の繰り返し酸化試験を行った。試験サイクルは1000℃で2時間、圧縮空気での冷却15分とした。この試験で、本コーティング組成物は優れた繰り返し酸化挙動を示した。破壊迄の時間は、同じ条件で試験した他のコーティングの約2.5倍であった。
試験結果を図1に示す。試料1は広く使用されている従来技術のコーティングであり、それに対し試料2は本発明によるものである。
試料1も2も、前述の分類ではPWA1483SXから製造したベース材料を用いた。
従来技術の試料1(11〜13重量%のCo、20〜22重量%のCr、10.5〜11.5重量%のAl、0.3〜0.5重量%のY、1.5〜2.5重量%のReおよび残部のNiからなり、米国特許第5154885号、同第5273712号および同第5268238号明細書で公知)と比較して、本発明による試料2(本発明品、28重量%のNi、24重量%のCr、0.6重量%のY、10重量%のAl、残部のCo)は明らかに、その繰り返し酸化挙動において特に優れている。
この図から解る如く、従来技術の試料1は破損に至る迄の回数が約1200回である。本発明により製造した試料では、破損に至る迄の回数は約3200回である。
試料1のものが、特にその耐繰り返し酸化性の面では、最良のコーティングであると当業者に認められてきた。本発明によるコーティングにより、耐酸化性と延性(引き裂き抵抗および接着性において重要)との間で妥協を図る必要はなくなった。これら性質は、各々に関して最適化が可能であるだけではなく、従来技術よりも大幅に改良される。
各種コーティングの比較試験の結果を示す棒グラフである。

Claims (1)

  1. ニッケル系又はコバルト系超合金から形成される部品の上に塗布される耐酸化性の保護コーティングであって、重量%で表して以下の元素からなるコーティング。
    28%のニッケル、
    24%のクロム、
    0.1%〜3%の希土類元素
    10%のアルミニウムおよび
    残部のコバルト。
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Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ES2305920T3 (es) * 2005-02-18 2008-11-01 Siemens Aktiengesellschaft Aleacion de mcralx, capa protectora de aleacion de mcralx, y procedimiento para su obtencion.
EP1783236A1 (de) * 2005-11-04 2007-05-09 Siemens Aktiengesellschaft Legierung, Schutzschicht zum Schutz eines Bauteils gegen Korrosion und/oder Oxidation bei hohen Temperaturen und Bauteil
EP1854899A1 (de) * 2006-01-17 2007-11-14 Siemens Aktiengesellschaft Legierung, Schutzschicht und Bauteil
US20070231589A1 (en) * 2006-04-04 2007-10-04 United Technologies Corporation Thermal barrier coatings and processes for applying same
EP1845171B1 (de) * 2006-04-10 2016-12-14 Siemens Aktiengesellschaft Verwendung metallischer Pulver mit unterschiedlichen Korngrössen zum Herstellen eines Schichtsystems
US8748008B2 (en) * 2008-06-12 2014-06-10 Exxonmobil Research And Engineering Company High performance coatings and surfaces to mitigate corrosion and fouling in fired heater tubes
CN102115864A (zh) * 2010-12-21 2011-07-06 苏州雅典娜科技有限公司 一种耐高温的防护涂层
EP2474414A1 (de) * 2011-01-06 2012-07-11 Siemens Aktiengesellschaft Legierung, Schutzschicht und Bauteil
US9441114B2 (en) 2011-09-09 2016-09-13 Siemens Aktiengesellschaft High temperature bond coating with increased oxidation resistance
USH2292H1 (en) * 2012-04-16 2014-06-03 Invista North America S.A.R.L. Materials of construction for a gas turbine
CN103966539B (zh) * 2014-04-11 2016-08-17 北京航空航天大学 一种等离子蒸发沉积长寿命、高隔热具有复合结构的镧系热障涂层陶瓷层及其制备方法
CN107201492A (zh) * 2017-05-09 2017-09-26 中国科学院兰州化学物理研究所 一种等离子喷涂制备Mo‑Re涂层的方法
CN109423067B (zh) * 2017-06-21 2020-10-27 宝山钢铁股份有限公司 一种取向硅钢绝缘涂层溶液、其制备方法及应用
CN108251781A (zh) * 2018-02-08 2018-07-06 湖北鸿地重工股份有限公司 一种钢结构表面防腐工艺
US11180847B2 (en) 2018-12-06 2021-11-23 Applied Materials, Inc. Atomic layer deposition coatings for high temperature ceramic components
CN109321785B (zh) * 2018-12-12 2021-03-23 常州大学 一种在钴基合金表面制备钴基涂层的方法
CN113846283B (zh) * 2021-11-25 2022-04-05 潍柴动力股份有限公司 一种耐高温egr阀片及其制备方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1426438A (en) * 1972-11-08 1976-02-25 Rolls Royce Nickel or cobalt based alloy composition
US4034142A (en) * 1975-12-31 1977-07-05 United Technologies Corporation Superalloy base having a coating containing silicon for corrosion/oxidation protection
US4005989A (en) * 1976-01-13 1977-02-01 United Technologies Corporation Coated superalloy article
US5273712A (en) * 1989-08-10 1993-12-28 Siemens Aktiengesellschaft Highly corrosion and/or oxidation-resistant protective coating containing rhenium
DE3926479A1 (de) 1989-08-10 1991-02-14 Siemens Ag Rheniumhaltige schutzbeschichtung, mit grosser korrosions- und/oder oxidationsbestaendigkeit
US5268238A (en) 1989-08-10 1993-12-07 Siemens Aktiengesellschaft Highly corrosion and/or oxidation-resistant protective coating containing rhenium applied to gas turbine component surface and method thereof
US5582635A (en) * 1990-08-10 1996-12-10 Siemens Aktiengesellschaft High temperature-resistant corrosion protection coating for a component in particular a gas turbine component
US5401307A (en) * 1990-08-10 1995-03-28 Siemens Aktiengesellschaft High temperature-resistant corrosion protection coating on a component, in particular a gas turbine component
EP0688885B1 (en) * 1994-06-24 1999-12-29 Praxair S.T. Technology, Inc. A process for producing an oxide dispersed MCrAIY-based coating
JP3370676B2 (ja) * 1994-10-14 2003-01-27 シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト 腐食・酸化及び熱的過負荷に対して部材を保護するための保護層並びにその製造方法
US6343134B1 (en) * 1998-01-28 2002-01-29 Euguene J. Czerwinski Loudspeaker and horn with an additional transducer
EP1306454B1 (de) * 2001-10-24 2004-10-06 Siemens Aktiengesellschaft Rhenium enthaltende Schutzschicht zum Schutz eines Bauteils gegen Korrosion und Oxidation bei hohen Temperaturen
US6346134B1 (en) * 2000-03-27 2002-02-12 Sulzer Metco (Us) Inc. Superalloy HVOF powders with improved high temperature oxidation, corrosion and creep resistance
JP4166978B2 (ja) * 2001-12-17 2008-10-15 三菱重工業株式会社 耐高温腐食合金材、遮熱コーティング材、タービン部材、及びガスタービン

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Publication number Publication date
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DE60311686D1 (de) 2007-03-22
US6974638B2 (en) 2005-12-13

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