JP3875147B2 - 複合半導体装置の接続試験方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、単一のパッケージ内に複数の半導体装置(半導体チップ)をアッセンブリするようにした複合半導体装置において、各チップのパッドと、パッケージ外へ延びる対応する外部端子との接続試験の方法に関し、特に電源、GND、アドレス入力、データ入出力などの共通端子の接続試験の方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
マルチメディア時代を迎えて、携帯機器のデジタル化・高性能化・高機能化が急速に進展するとともに、機器システムは大規模になる反面、小型・軽量化への動きが激化している。これに対して、LSIのプロセス微細化による高集積化だけでは限界があり、スタックドパッケージや、マルチチップモジュール(マルチチップ実装)といった高密度実装技術が導入されるようになってきている。前記スタックドパッケージやマルチチップモジュールは、上記のように、単一のパッケージ内に複数の半導体装置(半導体チップ)をアッセンブリすることで、複合機能の半導体デバイスを構成し、付加価値を創造するようにした複合半導体装置である。
【0003】
図1は、上述のような複合半導体装置のパッケージ構造の一つである前記スタックドパッケージの概念図である。このスタックドパッケージでは、上部LSIチップ1と下部LSIチップ2とを上下に配置している。具体的には、図示しないリードフレームのダイパッド部の上面および下面に、前記LSIチップ1,2をそれぞれダイボンディングする構造、あるいはダイパッド部にダイボンディングされたLSIチップ2の上部に、さらにLSIチップ1を積層載置する構造等がある。
【0004】
前記上部LSIチップ1および下部LSIチップ2は、それぞれのパッドP1;P2(後述のパッドP11〜P14;P21〜P24を総称する)からワイヤーボンディングによって、スタックドパッケージの外部端子(デバイスピン)P3(後述の外部端子P31〜P34を総称する)に接続されている。そして、この構造の全体は、エポキシ樹脂等のモールディングコンパウンドで気密に封止されている。この図1の例では、外部端子P32,P33がLSIチップ1,2で共用であり、上部LSIチップ1のパッドP12,P14および下部LSIチップ2のパッドP22,P23がそれぞれ接続されている。これに対して、外部端子P31は上部LSIチップ1の専用であり、該上部LSIチップ1のパッドP11が接続されている。同様に、外部端子P34は下部LSIチップ2の専用であり、該下部LSIチップ2のパッドP24が接続されている。上部LSIチップ1のパッドP13および下部LSIチップ2のパッドP21は、何れの外部端子にも接続されていない。
【0005】
このような構造のスタックドパッケージの場合、上述のように外部端子P32,P33が共通化されているために、一般に、個々のLSIチップ1,2について個別に試験を行うことは非常に困難である。このため、従来技術としては、個々のLSIチップの内部に、個別の試験用に複雑な分離回路を設ける方法や、個々のLSIチップの端子を、総て一対一対応の外部端子に接続する方法等が提案されている。しかしながら、試験用に前記分離回路などの特別の付加回路を設ける必要があったり、外部端子数が著しく増大してしまうので、好ましくない。
【0006】
そこで、他の従来技術として、各LSIチップの端子と外部端子との間のオープン/ショートの試験を、LSIチップの内部に形成される保護ダイオードを利用して行う手法も考案されている。この手法で利用する保護ダイオードは、入力端子または入出力端子のパッドと、入力バッファまたは入出力バッファとの間に設けられ、過電圧に対して、バッファを含む内部回路を保護するものであり、前記入力端子または入出力端子と、電源および接地ラインとの間に、それぞれ挿入されている。
【0007】
電源側の保護ダイオードは、ソース−ゲート間がダイオード接続されたPチャンネルMOSトランジスタであり、前記入力端子または入出力端子の電圧が、(VDD+|Vthp|)より大きくなったときに該保護ダイオードがオンとなって、前記入力端子または入出力端子の電圧が高電圧になるのを防止する。これに対して、接地(GND)側の保護ダイオードは、ソース−ゲート間がダイオード接続されたNチャンネルMOSトランジスタであり、前記入力端子または入出力端子の電圧が、(−Vthn)より低くなったときに該保護ダイオードがオンとなって、前記入力端子または入出力端子が低電圧になるのを防止する。なお、前記式において、VDDは電源電圧であり、VthpはPチャンネルMOSトランジスタの閾値電圧であり、VthnはNチャンネルMONトランジスタの閾値電圧である。また、出力端子と、CMOS構造の出力バッファとの間にも、同様の保護ダイオードが等価的に存在することは、よく知られていることである。
【0008】
このような保護ダイオードの特性を測定することで、従来のスタックドパッケージにおいても、接続試験を行うことができる。以下に、この保護ダイオードの特性を測定することで行うオープン/ショート試験の手法について、図2を参照して説明する。ここで、オープン試験とは、各LSIチップのパッドと、対応する外部端子との間が非接触(オープン)となっていないかどうかを調べる試験のことであり、またショート試験とは、各外部端子間で短絡が生じてないかどうかを調べる試験のことである。
【0009】
たとえば、LSIチップ1に専用の外部入出力端子P314のオープン/ショート試験を行う場合は、図示しない試験装置によって、該端子P314に−100μA程度の定電流(クランプ電位:−3V)を流して、該端子P314以外の外部入出力端子P32,P33,P324,P36には0Vを与える。なお、LSIチップ1に専用の外部電源端子P311には所定の電源電圧VDDを、またLSIチップ2に専用の外部電源端子P321には接地電位GNDを与える。このとき、オープン/ショートの異常が無ければ、保護ダイオードとしてNチャンネルMOSトランジスタQNがオンとなり、この結果、外部入力端子P314の電位は、該NチャンネルMOSトランジスタQNの閾値電圧を前記Vthnとすると、−Vthn、たとえば−0.6Vにクランプされる。
【0010】
これに対して、前記外部入出力端子P314が他の外部入出力端子、たとえばP22等とショートしていれば、該端子P314の電位は0Vとなる。また、該外部入出力端子P314に、対応するパッドP14との間が非接触となるオープン異常が生じていれば、該端子P314の電位は、クランプ電位、すなわち−3Vとなる。
【0011】
したがって、被テスト入力端子または入出力端子に、試験装置から−100μA程度の定電流(クランプ電位:−3V)を流し、他の端子を0Vとして、被テスト端子の電位を測定することによって接続試験を行うことができる。そして、そのときの測定電位が、−0.6Vであれば正常、0Vであればショート、−3Vであればオープンであると判定することができる。このようにして、各外部端子毎に、オープン/ショートの試験を行うことができる。
【0012】
一方、スタックドパッケージ等の複合半導体装置の場合、複数のLSIチップを単一のパッケージに実装するので、図1および図2の外部端子P32,P33や図2の外部端子P35で示すように、1つの外部端子に複数のLSIチップのパッドが接続されている箇所が存在する。このとき、図2における外部端子P36のように、どちらのLSIチップ1,2にも接続されてない端子の場合、および外部端子P311,P314;P321,P324のように、どちらかの一方のLSIチップのみに接続されている端子の場合は、上述のような保護ダイオード特性を利用した接続試験が可能で、それぞれの端子のオープン/ショート状態の検出は可能である。
【0013】
しかしながら、前記外部端子P32,P33,P35のように、両方のLSIチップ1,2に接続されている端子の場合は、ショート状態の検出は可能であるが、どちらか一方のみしか接続されていない場合は、接続されている側のLSIの保護ダイオードの特性のみが測定可能であり、接続されていない側がオープンとなっている状態の検出が不可能である。これを詳しく説明すると、たとえば外部端子P32の場合、LSIチップ1側が接続されてない場合、該端子P32に電流印加(−100μA)しても、LSIチップ2側が接続されているので、該LSIチップ2側のGNDからダイオードを経由して該端子P32に約−0.6Vが出力されるので、結果的に良品と判断してしまうことになる。
【0014】
そこで、特開平6−331705号公報に示される先行技術では、この問題点を解決するために、各LSIチップの内部にスイッチングトランジスタを設けて、個々のLSIを分離することで、オープン/ショート試験を可能としている。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
上述のような従来技術では、依然として、LSI内部に何らかの試験用回路の追加が必要であり、チップサイズが大きくなってしまうという問題がある。また、既存のLSIチップを組合わせてマルチチップアッセンブリすることで新しい機能のデバイスを創出できるという複合半導体装置において、テスト機能を飛躍的に改善した新規機能デバイスの創出は困難であった。
【0016】
本発明の目的は、試験のために特別の付加回路を設けることなく、また外部端子数の増加を招くことのない複合半導体装置の接続試験方法を提供することである。
【0017】
【課題を解決するための手段】
本発明の複合半導体装置の接続試験方法は、チップ選択信号によって個別に動作可能になり、かつ動作可能状態で、予め定める一定時間に亘って入力が無い場合に待機状態に切換わり、前記入力があった場合に動作状態に切換わる半導体装置を単一のパッケージ内に複数設けて成る複合半導体装置の接続試験方法において、何れかの半導体装置を前記チップ選択信号によって動作可能に選択し、選択した半導体装置を前記予め定める一定時間に亘って無入力として前記待機状態とし、前記入力を与えて前記動作状態に切換え、前記待機状態から動作状態に切換わることによる消費電流の変化から、前記複数の半導体装置の共通端子の接続試験を行うことを特徴とする。
【0018】
上記の構成によれば、いわゆるスタックドパッケージやマルチチップモジュール等のように単一のパッケージ内に複数の半導体装置が設けられて構成される複合半導体装置において、各複合半導体装置の入出力端子のパッドと、パッケージ外へ延びる対応する外部端子との接続試験を行うにあたって、複数の半導体装置で共用されている共通端子に対しては、APD(Auto Power Down )回路で実現される電源遮断回路およびATD(Address Transition Detector )回路やDTD(Data Transition Detector)回路で実現される起動回路を用いて行う。前記電源遮断回路は、予め定める一定時間に亘って入力が無い場合に、内部回路を待機状態に切換える。また、前記ATD回路およびDTD回路は、それぞれアドレス入力およびデータ入力を検知して、内部回路を動作状態に切換える。
【0019】
したがって、試験しようとする半導体装置以外の残余の半導体装置のチップ選択信号をディスエーブルにし、前記試験しようとする半導体装置の電源遮断回路が動作し、低消費電力となっている状態から、前記起動回路が動作し、消費電力が増加するか否かから、前記共通端子に前記試験しようとする半導体装置の対応するパッドが接続されているか否かの試験を行うことができる。これによって、試験のために特別の付加回路を設けることなく、また外部端子数の増加を招くことなく、前記チップ選択信号以外の、電源、GND、アドレス入力、データ入出力などの共通端子の接続試験を実現することができる。一方、前記チップ選択信号のための入力端子などの各半導体装置に個別の外部端子と対応するパッドとの間は、たとえば従来からの保護ダイオードを利用したオープン/ショート試験で接続試験を実現することができる。
【0020】
また、本発明の複合半導体装置の接続試験方法は、単一のパッケージ内に複数の半導体装置が設けられて成り、前記半導体装置は、チップ選択信号によって個別に動作可能になり、かつ動作可能状態で、予め定める一定時間に亘って入力が無い場合に内部回路を待機状態に切換える電源遮断回路および前記入力があった場合に前記内部回路を動作状態に切換える起動回路を備えて構成される複合半導体装置の接続試験方法において、前記内部回路が、前記電源遮断回路によって待機状態に維持されている状態から、前記起動回路によって動作状態に切換えられることによる消費電流の変化から、前記複数の半導体装置の共通端子の接続試験を行うことを特徴とする。
【0021】
上記の構成によれば、複合半導体装置の入出力端子のパッドと、パッケージ外へ延びる対応する外部端子との接続試験を行うにあたって、複数の半導体装置で共用されている共通端子に対しては、APD回路で実現される電源遮断回路およびATD回路やDTD回路で実現される起動回路を用いて行う。
【0022】
したがって、試験しようとする半導体装置以外の残余の半導体装置のチップ選択信号をディスエーブルにし、前記試験しようとする半導体装置の電源遮断回路が動作し、低消費電力となっている状態から、前記起動回路が動作し、消費電力が増加するか否かから、前記共通端子に前記試験しようとする半導体装置の対応するパッドが接続されているか否かの試験を行うことができる。これによって、試験のために特別の付加回路を設けることなく、また外部端子数の増加を招くことなく、前記チップ選択信号以外の、電源、GND、アドレス入力、データ入出力などの共通端子の接続試験を実現することができる。一方、前記チップ選択信号のための入力端子などの各半導体装置に個別の外部端子と対応するパッドとの間は、たとえば従来からの保護ダイオードを利用したオープン/ショート試験で接続試験を実現することができる。
【0023】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の一形態について、図3に基づいて説明すれば、以下のとおりである。
【0024】
図3は、本発明の実施の一形態の接続試験方法が適用される複合半導体記憶装置の概略図である。この複合半導体記憶装置は、2つのLSIチップ11,12を備えて構成されている。LSIチップ11,12は、共にメモリチップであり、このためアドレスA11,A12を入力するアドレス入力端子T32,T33およびデータD11,D12を入出力するデータ入出力端子T34,T35ならびにGNDに接続される電源入力端子T36が、これらの2つのLSIチップ11,12で共用されている。前記各端子T32〜T36は、LSIチップ11の対応するパッドT12〜T16およびLSIチップ12の対応するパッドT22〜T26にそれぞれ共通に接続されている。
【0025】
一方、LSIチップ11には、電源電圧VDDが入力されるパッドT11およびチップ選択信号が入力されるパッドT17,T18,T19が設けられており、これらのパッドT11,T17,T18,T19は、専用の外部入力端子T311,T317,T318,T319とそれぞれ接続される。同様に、LSIチップ12には、電源電圧VDDが入力されるパッドT21およびチップ選択信号が入力されるパッドT27,T28,T29が設けられており、これらのパッドT21,T27,T28,T29は、専用の外部入力端子T321,T327,T328,T329とそれぞれ接続される。
【0026】
そして、前記LSIチップ11,12は、共に、図示しないコントロール回路によって、前記パッドT17〜T19;T27〜T29から入力されるチップ選択信号によって個別に動作可能になり、かつ電源遮断回路であるAPD回路によって、動作可能状態で、予め定める一定時間に亘って入力が無い場合に内部回路を待機状態にして省電力化を図り、その待機状態で、起動回路であるATD回路およびDTD回路によって、それぞれアドレス信号およびデータ信号の入力が検出されると、前記内部回路を動作状態に切換えるようになっている。
【0027】
前記APD回路は、印加される信号が一定の期間変化しない場合、内部回路を待機状態にして電源電流を抑える機能を持った回路である。通常、SRAM等は電源が投入されている時はチップ選択信号(/CE)をディスエーブルにしない限り読出し可能状態(アクティブ状態)、すなわち動作状態であり、電力消費を生じる。特に、電池等を使用して駆動している場合、電池の寿命に影響を与えることから、前記APD回路は、或る一定期間入力がない場合は、前述のように内部回路を待機状態とし、電力消費を低減する。
【0028】
また、前記ATD回路は、外部入力端子T32,T33に付加されている回路で、アドレスA11,A12の入力を感知して前記内部回路を動作状態とする回路である。同様に、前記DTD回路は、外部入力端子T34,T35に付加されている回路で、データD11,D12の入力を感知して前記内部回路を動作状態とする回路である。これらのAPD回路、ATD回路、DTD回路は、半導体記憶装置の電源電流を抑えるための回路であり、一般的に使用されている。
【0029】
注目すべきは、本発明の接続試験方法では、前記共通の端子T32〜T36のオープン/ショート試験が、前述の保護ダイオードを利用したオープン/ショート試験とともに、以下の試験も合わせて行われることである。なお、個別の外部端子T311,T317,T318,T319およびT321,T327,T328,T329は、前述の保護ダイオードを利用したオープン/ショート試験で接続試験が行われる。
【0030】
具体的には、たとえばLSIチップ11を試験する場合、先ずLSIチップ12の外部入力端子T327〜T329に入力されるチップ選択信号をディスエーブルにして該LSIチップ12を動作停止状態にし、前記外部入力端子T317〜T319に入力されるチップ選択信号をイネーブルにしてLSIチップ11を動作可能状態にする。前記チップ選択信号をディスエーブルにすると、前記APD、ATD、DTDの各回路は動作しない。次に、端子T32〜T36の状態遷移を予め定める時間に亘って休止し、前記APD回路を動作させ、内部回路を待機状態とする。続いて、接続試験を行うべき端子、たとえばアドレス入力端子T32の状態が、ローレベルであればハイレベルへ、ハイレベルであればローレベルへと遷移させる。最後に、この状態遷移によって、ATD回路が前記内部回路を起動し、LSIチップ11の消費電力が増加すると前記アドレス入力端子T32と対応するパッドT12とは良好に接続されていると判定し、前記消費電力に変化がなければ、アドレス入力端子T32にパッドT12が接続されていないオープン故障であると判定する。
【0031】
同様に、たとえばLSIチップ11のデータ入出力端子T14を試験する場合、先ずLSIチップ12の外部入力端子T327〜T329に入力されるチップ選択信号をディスエーブルにして該LSIチップ12を動作停止状態にし、前記外部入力端子T317〜T319に入力されるチップ選択信号をイネーブルにしてLSIチップ11を動作可能状態にする。次に、端子T32〜T36の状態遷移を予め定める時間に亘って休止し、前記APD回路を動作させ、内部回路を待機状態とする。続いて、接続試験を行うべき前記データ入出力端子T14の状態が、ローレベルであればハイレベルへ、ハイレベルであればローレベルへと遷移させる。最後に、この状態遷移によって、DTD回路が前記内部回路を起動し、LSIチップ11の消費電力が増加すると前記パッドT14とデータ入出力端子T34とは良好に接続されていると判定し、前記消費電力に変化がなければ、パッドT14がデータ入出力端子T34に接続されていないオープン故障であると判定する。このような試験が、共通の端子T32〜T36を使用するパッドT12〜T16,T22〜T26について順次行われる。
【0032】
これによって、前記保護ダイオードを利用した従来のオープン/ショート試験では不良と判定できなかったオープン故障を判定できるようになり、該保護ダイオードを利用した従来のオープン/ショート試験によるショート検出と合わせて、前記共通の端子T32〜T36に対するオープン故障およびショート故障の両方を検出可能とすることができる。
【0033】
また、本発明の接続試験方法では、試験のために特別の付加回路を設けることなく、また外部端子数の増加を招くことなく、試験を行うことができる。
【0034】
【発明の効果】
本発明の複合半導体装置の接続試験方法は、以上のように、いわゆるスタックドパッケージやマルチチップモジュール等のように単一のパッケージ内に複数の半導体装置が設けられて構成される複合半導体装置において、各複合半導体装置の入出力端子のパッドと、パッケージ外へ延びる対応する外部端子との接続試験を行うにあたって、複数の半導体装置で共用されている共通端子に対しては、試験しようとする半導体装置以外の残余の半導体装置のチップ選択信号をディスエーブルにし、APD回路で実現される電源遮断回路が動作し、低消費電力となっている状態から、ATD回路やDTD回路で実現される起動回路が動作し、消費電力が増加するか否かから、前記共通端子に前記試験しようとする半導体装置の対応するパッドが接続されているか否かの試験を行う。
【0035】
それゆえ、試験のために特別の付加回路を設けることなく、また外部端子数の増加を招くことなく、前記チップ選択信号以外の、電源、GND、アドレス入力、データ入出力などの共通端子の接続試験を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】複合半導体装置のパッケージ構造の一つであるスタックドパッケージの概念図である。
【図2】保護ダイオードを利用した従来のオープン/ショート試験の手法を説明するための図である。
【図3】本発明の実施の一形態の接続試験方法が適用される複合半導体記憶装置の概略図である。
【符号の説明】
1,2;11,12 LSIチップ
P11〜P15;P21〜P25 パッド
P31〜P35 外部端子
P311,P321 外部電源端子
P314,P324 外部入出力端子
T11〜T19;T21〜T29 パッド
T32,T33 アドレス入力端子
T34,T35 データ入出力端子
T311,T321,T36 電源入力端子
T317〜T319,T327〜T329 外部入力端子
Claims (2)
- チップ選択信号によって個別に動作可能になり、かつ動作可能状態で、予め定める一定時間に亘って入力が無い場合に待機状態に切換わり、前記入力があった場合に動作状態に切換わる半導体装置を単一のパッケージ内に複数設けて成る複合半導体装置の接続試験方法において、
何れかの半導体装置を前記チップ選択信号によって動作可能に選択し、
選択した半導体装置を前記予め定める一定時間に亘って無入力として前記待機状態とし、
前記入力を与えて前記動作状態に切換え、
前記待機状態から動作状態に切換わることによる消費電流の変化から、前記複数の半導体装置の共通端子の接続試験を行うことを特徴とする複合半導体装置の接続試験方法。 - 単一のパッケージ内に複数の半導体装置が設けられて成り、前記半導体装置は、チップ選択信号によって個別に動作可能になり、かつ動作可能状態で、予め定める一定時間に亘って入力が無い場合に内部回路を待機状態に切換える電源遮断回路および前記入力があった場合に前記内部回路を動作状態に切換える起動回路を備えて構成される複合半導体装置の接続試験方法において、
前記内部回路が、前記電源遮断回路によって待機状態に維持されている状態から、前記起動回路によって動作状態に切換えられることによる消費電流の変化から、前記複数の半導体装置の共通端子の接続試験を行うことを特徴とする複合半導体装置の接続試験方法。
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JP2004012297A (ja) | 2004-01-15 |
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