JP3858739B2 - 電子ビーム管ユニットおよび電子ビーム照射装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の電子ビーム管が、所定の配列で水平方向に並ぶよう配置されてなる電子ビーム管ユニットおよび電子ビーム管ユニットを具えてなる電子ビーム照射装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体ウエハ等に塗布されたレジストの硬化処理や、基板等に塗布された塗料、インキ、接着剤、保護用硬化樹脂の乾燥処理または硬化処理において、短時間に処理を行うために、紫外線に変わって電子ビームが利用され始めており、かかる電子ビームを照射する器具としては、電子ビーム管が開発されている。この電子ビーム管は、真空容器内に電子ビーム発生器を具えてなり、先端に電子ビームを照射する窓部材を有すると共に基端に当該基端面から突出する給電端子を有するものである。
このような電子ビーム管は、大型の真空装置を用いることなしに電子ビームを照射することができるという利点を有すると共に、それ自体が複雑な構造を有さず、小型で取扱が容易であるという利点を有する。
【０００３】
而して、電子ビームを照射する被照射体が大面積のもの、例えば８インチまたは１２インチの半導体ウエハ上に塗布されたレジストなどである場合には、当該被処理体全体に高い効率で電子ビームを照射するために、複数の電子ビーム管を水平方向に並ぶよう配置することが必要である。そして、複数の電子ビーム管を有する電子ビーム照射装置として、複数の電子ビーム管が直線状に並ぶよう配置されてなり、隣接する電子ビーム管から放射される電子ビームの重なり度を調節する調節手段を具えてなるもの（特開２００１−１９４５００号公報参照）、複数の電子ビーム管が、被処理物の処理領域全体の吸収線量が所定の分布状態になるように配置されてなるもの（特願２０００−３７９６７９号明細書参照）などが提案されている。
【０００４】
しかしながら、このような電子ビーム照射装置においては、電子ビーム管を新たなものに交換する場合に、電子ビーム管が配置された照射部を分解して電子ビーム管を取外し、新たな電子ビーム管を取り付けた後、照射部を組み立てなければならないため、電子ビーム管の交換作業が煩雑で長い時間を要し、また、電子ビーム管の交換作業中に、電子ビーム管の破損等の事故が生じるおそれがある、という問題がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、電子ビーム管の交換作業を短い時間で容易に行うことができ、しかも、交換作業中に電子ビーム管が損傷することがない電子ビーム管ユニットおよび電子ビーム照射装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
本発明の電子ビーム管ユニットは、先端に電子ビームを照射する窓部材を有すると共に基端に当該基端面から突出する給電端子を有する複数の電子ビーム管が、所定の配列で水平方向に並ぶよう配置されてなる電子ビーム管ユニットであって、
水平に支持された保持板と、
この保持板に前記所定の配列で設けられた、前記電子ビーム管の給電端子が嵌入されて当該電子ビーム管を吊下保持する複数のソケットと、
前記保持板の下方において、前記所定の配列で水平方向に並ぶよう配置された状態で当該保持板に一体的に固定され、前記電子ビーム管の各々における少なくとも先端部が挿入された複数の保護用筒体と
よりなることを特徴とする。
【０００７】
本発明の電子ビームユニットにおいては、保持板の下方に、当該保持板に水平に支持された状態で連結された固定板が設けられ、当該固定板に複数の保護用筒体の各々が固定されていてもよい。
【０００８】
また、本発明の電子ビーム管ユニットにおいては、各保護用筒体は、その下端面と電子ビーム管の先端面とが一致または略一致したレベルに位置されるよう配置されていることが好ましい。
【０００９】
また、本発明の電子ビーム管ユニットにおいては、各保護用筒体には、各々その下端縁から上方に伸びる一対の電子ビーム管把持用切り欠き部が略対向位置に形成されていることが好ましい。
【００１０】
本発明の電子ビーム照射装置は、電子ビーム管ユニットが搬入若しくは搬出されるユニット搬入出用開口を有すると共に、内部に電子ビーム管ユニットが装着されるユニット装着部を有する電子ビーム照射源筐体、およびこの電子ビーム照射源筐体の下方に設けられた、電子ビーム照射処理室を形成する処理室形成体を有してなる照射装置本体と、
先端に電子ビームを照射する窓部材を有すると共に基端に当該基端面から突出する給電端子を有する複数の電子ビーム管が、所定の配列で水平方向に並ぶよう配置されてなり、前記照射装置本体における電子ビーム照射源筐体内に着脱自在に収納される電子ビーム管ユニットと、
前記照射装置本体における電子ビーム照射源筐体に対して着脱自在に構成され、前記電子ビーム照射源筐体に配置されて固定された状態で、前記電子ビーム管ユニットを移動可能に保持すると共に、当該電子ビーム管ユニットを移動させて当該電子ビーム照射源筐体におけるユニット装着部に装着しまたは当該ユニット装着部から取り外すためのユニット装着機構と
を具えてなり、電子ビーム管ユニットが上記の電子ビーム管ユニットであることを特徴とする。
【００１１】
本発明の電子ビーム照射装置においては、照射装置本体における電子ビーム照射源筐体には、異なる方向を向く複数のユニット搬入出用開口が形成されていてもよい。
【００１３】
また、本発明の電子ビーム照射装置においては、ユニット装着機構は、照射装置本体における電子ビーム照射源筐体内にユニット搬入出用開口から挿入される基板と、この基板に回動自在に連結されたレバーと、このレバーに連結され、当該レバーの昇降操作により、全体が昇降されるスライドレール板部材とよりなる昇降レール機構を具えてなり、
前記電子ビーム照射源筐体に配置されて固定された前記昇降レール機構におけるスライドレール板部材に電子ビーム管ユニットを載置して移動させることにより、当該電子ビーム管ユニットを当該電子ビーム照射源筐体内に搬入する搬入工程と、この搬入工程により搬入された電子ビーム管ユニットを、前記レバーの下降操作により下降させて当該電子ビーム照射源筐体におけるユニット装着部に装着する装着工程とよりなる装着作業に供されるものであることが好ましい。
【００１４】
【作用】
本発明の電子ビーム管ユニットによれば、所定の配列で配置された複数の電子ビーム管が保持板を介して一体的に連結されているため、全ての電子ビーム管をソケットに接続された状態で移動させることが可能であり、また、電子ビーム管の各々は、その給電端子が保持板に設けられたソケットに嵌入されて保持されているため、当該電子ビーム管の着脱を容易に行うことができる。しかも、電子ビーム管の各々は、少なくとも先端部が保護用筒体に挿入されることによって保護されているため、当該電子ビーム管ユニットを移動する際に電子ビーム管が損傷することが防止される。
【００１５】
本発明の電子ビーム照射装置によれば、上記の電子ビーム管ユニットと、この電子ビーム管ユニットを照射装置本体におけるユニット装着部に装着しまたは当該ユニット装着部から取り外すためのユニット装着機構とを具えてなるため、電子ビーム管の交換作業を短い時間で容易に行うことができ、しかも、電子ビーム管ユニットを照射装置本体から取外しおよび照射装置本体に装着する際に、電子ビーム管が損傷することがない。
【００１６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
〈電子ビーム管ユニット〉
図１は、本発明に係る電子ビーム管ユニットの一例における構成を示す説明図であり、（イ）は平面図、（ロ）は正面図、（ハ）は底面図、（ニ）は側面図である。
【００１７】
この電子ビーム管ユニット１においては、複数（図示の例では１９本）の電子ビーム管１０が、所定の配列に従って水平方向に並ぶよう配置されている。
電子ビーム管１０の各々は、図２に示すように、有底筒状の真空容器１１を有し、この真空容器１１の先端には、その開口を気密に塞ぐよう、当該真空容器１１の外径より大きい径を有する円板状の蓋部材１２が設けられ、当該真空容器１１の基端には、円板状のベース部材１５が設けられている。蓋部材１２における中央部分には、電子ビームを通過させる電子ビーム通過孔１３が形成されており、当該蓋部材１２の表面には、電子ビームを照射する窓部材１４が当該電子ビーム通過孔１３を気密に塞ぐよう設けられている。
【００１８】
真空容器１１内には、フィラメント１７を有する電子ビーム発生器１６が設けられ、この電子ビーム発生器１６には、複数の給電リード１８が接続されている。給電リード１８の各々は、それぞれ真空容器１１の軸方向に沿って伸び、当該真空容器１１の基端における底壁部およびベース部材１５を貫通して当該ベース部材１５から突出するよう配置されており、この給電リード１８におけるベース部材１５から突出した部分によって、給電端子１９が形成されている。
【００１９】
複数の電子ビーム管１０の上方には、水平方向に支持された保持板２０が設けられている。この保持板２０には、図３にも拡大して示すように、段部を有する複数の貫通孔２１が、電子ビーム管１０の配列に対応する所定の配列に従って形成され、この貫通孔２１の各々には、割りピン式のソケット２２が上下方向に変移可能に遊嵌保持されており、ソケット２２の各々には、電子ビーム管１０の給電端子１９が嵌入され、これにより、当該電子ビーム管１０が吊下保持されている。
【００２０】
保持板２０の下方には、複数の保護用筒体２３が、電子ビーム管１０の配列に対応する所定の配列に従って水平方向に並ぶよう配置されている。具体的には、保持板２０の下方に、当該保持板２０に支柱２４を介して連結されて水平に支持された固定板２５が設けられており、この固定板２５に、保護用筒体２３の各々が一体に連結されて固定されている。
【００２１】
図４に拡大して示すように、この保護用筒体２３の各々には、電子ビーム管１０の先端部が挿入され、保護用筒体２３の下端面と電子ビーム管１０の先端面とが一致または略一致したレベルに位置されている。
また、図５にも拡大して示すように、各保護用筒体２３には、各々その下端縁から上方に伸びる一対の電子ビーム管把持用切り欠き部２３Ｋが互いに略対向する位置に形成されている。
【００２２】
保持板２０の上面には、その一縁に平行な方向に伸びる２本の棒状のハンドル２６が設けられている。また、保持板２０の上面における一縁部およびこれに対向する他縁部の各々には、後述する電子ビーム照射装置におけるスライドレール板部材上をスライドする一対の断面Ｌ字型のスライドライダー２７が設けられている。２８は、ソケット２２に接続された接続線２９をカバーする板材であって、スライドライダー２７および保護板２０に固定されている。なお、図１（ロ）には、板材２８の適宜の個所から接続線２９が導き出されていることが示されている。
【００２３】
このような電子ビーム管ユニット１によれば、所定の配列で配置された複数の電子ビーム管１０が保持板２０を介して一体的に連結されているため、全ての電子ビーム管１０をソケット２２に接続された状態で移動させることが可能であり、また、電子ビーム管１０の各々は、その給電端子１９が保持板２０に設けられたソケット２２に嵌入されて保持されているため、当該電子ビーム管１０の着脱を容易に行うことができる。しかも、電子ビーム管１０の各々における先端部が保護用筒体２３に挿入されているため、当該電子ビーム管ユニット１を移動する際に電子ビーム管１０が損傷することを防止することができる。
【００２４】
〈電子ビーム照射装置〉
図６および図７は、本発明に係る電子ビーム照射装置の一例における構成を示す説明図であり、図６は、ユニット装着機構によって照射装置本体内に電子ビーム管ユニットが収納された状態を示す説明図、図７は、電子ビーム管ユニットが照射装置本体内に装着された状態を示す説明図である。
この電子ビーム照射装置は、照射装置本体３０と、この照射装置本体３０内に装着された図１に示す構成の電子ビーム管ユニット１と、電子ビーム管ユニット１を照射装置本体３０内に装着しまたは照射装置本体３０内から取り外すためのユニット装着機構５０とにより構成されている。
【００２５】
照射装置本体３０は、内部に電子ビーム管ユニット１が装着されるユニット装着部３２を有する電子ビーム照射源筐体３１を有し、この電子ビーム照射源筐体３１の下方には、電子ビーム管１０から照射された電子ビームを通過させる電子ビーム通過窓（図示省略）を有するセンサープレート４１を介して、電子ビーム照射処理室Ｒを形成する処理室形成体４０が設けられている。
【００２６】
電子ビーム照射源筐体３１内における上部側位置には、高電圧供給電線の接続部、複数の電子ビーム管１０への電気分配回路、センサーのフィードバックアップなどを有する制御機構３５が設けられ、この制御機構３５の下方には、電子ビーム管ユニット１が収納されるユニット収納用空間Ｓを介して、当該電子ビーム管ユニット１が載置されるユニット載置板３３が設けられ、ユニット収納用空間Ｓおよびユニット載置板３３によりユニット装着部３２が構成されている。
【００２７】
ユニット載置板３３には、図８に示すように、電子ビーム管ユニット１における保護用筒体２３の外径に適合する内径を有する複数の凹所３３Ｈが、電子ビーム管１０の配列に対応する所定の配列に従って形成され、当該凹所３３Ｈの底面には、電子ビーム管１０から照射される電子ビームを通過させる開口３３Ｋが形成されている。そして、ユニット載置板３３の凹所３３Ｈには、電子ビーム管ユニット１における保護用筒体２３が挿入されている。また、載置板３３の凹所３３Ｈにおける底部には、電子ビーム管１０の蓋材１２によって開口３３Ｋが密閉されるよう、Ｏ−リング３４が設けられている。
【００２８】
電子ビーム照射源筐体３１の前面には、電子ビーム管ユニット１をユニット収納用空間Ｓに搬入し若しくはユニット収納用空間Ｓから搬出するためのユニット搬入出用開口３６が形成され、図９に示すように、ユニット搬入出用開口３６を開閉する開閉扉３７が設けられている。なお、図６および図７において、開閉扉３７は省略されている。
また、図６および図７に示すように、電子ビーム照射源筐体３１内には、後述するユニット装着機構５０における昇降レール機構４１を挿入するための上部側ガイドレール部材３８および下部側ガイドレール部材３９が設けられている。
【００２９】
図１０および図１１は、ユニット装着機構の構成を示す説明図であり、図１０は側面図、図１１は平面図である。このユニット装着機構５０は、電子ビーム照射源筐体３１内における両側位置に挿入されて配置される一対の昇降レール機構５１とを具えてなる。
【００３０】
図６、図７、図１０、図１１および図１２を参照しながら昇降レール機構５１について説明すると、５２は基板であって、電子ビーム照射源筐体３１におけるユニット搬入出用開口３６から、上部側ガイドレール部材３８および下部側ガイドレール部材３９に案内されて当該電子ビーム照射源筐体３１内に挿入されている。
５５はレバーであって、基板５２に設けられたピン５３を回動軸として当該基板５２に回動自在に連結されている。５６は、レバー５５の位置を固定する固定部材であって、基板５２に設けられている。
【００３１】
６０は、レバー５５の昇降操作により、上昇位置と下降位置との間で昇降可能なスライドレール板部材であり、６１は、スライドレール板部材６０に設けられたピンであり、ピン６１が、レバー５５に形成されたスライド孔５７内に摺動自在に挿入されることにより、スライドレール板部材６０がレバー５５に連結されている。図１０においては、スライドレール板部材６０が上昇位置にある状態が示され、二点鎖線によって、スライドレール板部材６０が下降位置にある状態が示されている。そして、図１２および図１３に示すように、電子ビーム管ユニット１におけるスライドライダー２７が、スライドレール板部材６０に係合されることにより、当該電子ビーム管ユニット１が当該スライドレール板部材６０にその長手方向に移動可能に乗せられている。
【００３２】
５４は、２本のガイドポールであって、基板５２に上下方向に伸びるよう設けられている。６２は、ガイドポール５４に沿ってスライドするスライダであって、スライドレール板部材６０に固定されており、このスライダ６２がガイドポール５４に沿ってスライドすることによって、レバー５５を回動させたときに、スライドレール板部材６０の移動方向が上下方向にのみ規制される。
６３は、スライドレール部材を下降させたときに生ずる衝撃を緩和するクッション機構であって、上下方向に伸びる２本のロッド６４と、ロッド６４の各々の直下に設けられたバネ部材６５により構成されており、バネ部材６５は基板５２に固定されている。
そして、一方の昇降レール機構５１におけるレバー５５および他方の昇降機構５１におけるレバー５５には、両者を連結する棒状のグリップ６６が着脱自在に設けられている。
【００３３】
このような電子ビーム照射装置においては、以下のようにして、電子ビーム管ユニット１が照射装置本体３０における電子ビーム照射源筐体３１内に装着される。
先ず、図１２に示すように、スライドレール板部材６０が上昇位置にあるユニット装着機構５０が、その昇降レール機構５１の各々における基板５２が電子ビーム照射源筐体３１におけるユニット搬入出用開口３６から上部側ガイドレール部材３８および下部側ガイドレール部材３９によって案内されることにより、当該電子ビーム照射源筐体３１内に挿入され、当該ユニット装着機構５０におけるスライドレール板部材６０に電子ビーム管ユニット１におけるスライドライダー２７が係合されることにより、当該電子ビーム管ユニット１が当該スライドレール板部材６０に乗せられる。
【００３４】
次いで、図１３に示すように、電子ビーム管ユニット１におけるスライドライダー２７がスライドレール板部材６０上をスライドすることにより、当該電子ビーム管ユニット１が移動してユニット搬入出用開口３６から電子ビーム照射源筐体３１内に搬入され、更にユニット収納用空間Ｓにおける所定の位置に収納される。
そして、図１４に示すように、ユニット装着機構５０におけるレバー５５を下方に回動させて当該レバー５５の下降操作を行うことにより、スライドレール板部材６０が下降し、これにより、電子ビーム管ユニット１が下方に移動し、保護用筒体２３の各々が、ユニット載置板３３における凹所３３Ｋに挿入され、以て、電子ビーム管ユニット１が装着される。
その後、ユニット装着機構５０が、電子ビーム照射源筐体３１内から取り外されることにより、電子ビーム管ユニット１の装着操作が完了し、当該電子ビーム照射装置が被処理体の電子ビーム照射処理に供される。
【００３５】
一方、電子ビーム管ユニット１を照射装置本体３０における電子ビーム照射源筐体３１内から取り外す場合には、上記の電子ビーム管ユニット１の装着操作の逆の操作を行えばよい。
具体的に説明すると、先ず、スライドレール板部材６０が下降位置にあるユニット装着機構５０が、その昇降レール機構５１の各々における基板５２が電子ビーム照射源筐体３１におけるユニット搬入出用開口３６から上部側ガイドレール部材３８および下部側ガイドレール部材３９によって案内されることにより、当該電子ビーム照射源筐体３１内に挿入される（図１４参照）。
次いで、ユニット装着機構５０におけるレバー５５を上方に回動させて当該レバー５５の上昇操作を行うことにより、スライドレール板部材６０が上昇し、これにより、電子ビーム管ユニット１が上方に移動し、保護用筒体２３の各々が、ユニット載置板３３における凹所３３Ｋから離脱される（図１３参照）。
そして、電子ビーム管ユニット１におけるスライドライダー２７がスライドレール板部材６０上をスライドすることにより、当該電子ビーム管ユニット１が移動してユニット搬入出用開口３６から電子ビーム照射源筐体３１の外部に搬出される（図１２参照）。
その後、ユニット装着機構５０におけるスライドレール板部材６０から電子ビーム管ユニット１を取り外すことにより、電子ビーム管ユニット１の取外し操作が完了し、当該電子ビーム管ユニット１が所要のメンテナンス作業に供される。
【００３６】
上記の電子ビーム照射装置においては、照射装置本体３０における電子ビーム照射処理室Ｒに、例えばレジストが塗布された半導体ウエハ等の被処理体が配置され、その後、電子ビーム照射処理室Ｒが、例えば１３３３Ｐａ程度に減圧される。そして、この状態で、電子ビーム管ユニット１における電子ビーム管１０を作動させることにより、当該電子ビーム管１０の窓部材から電子ビームが放出され、更にセンサープレート４１の電子ビーム通過窓を介して被処理体に照射されることにより、被処理体について所要の照射処理が行われる。
【００３７】
本発明の電子ビーム照射装置によれば、図１に示す構成の電子ビーム管ユニット１と、この電子ビーム管ユニット１を照射装置本体３０におけるユニット装着部３２に装着しまたは当該ユニット装着部３２から取り外すためのユニット装着機構５０とを具えてなるため、電子ビーム管１０を新たなものに交換する場合には、先ず、ユニット装着機構５０によって、電子ビーム管ユニット１を照射装置本体３０から取外して電子ビーム管１０を交換した後、ユニット装着機構５０によって、電子ビーム管ユニット１を照射装置本体３０に装着すればよい。従って、電子ビーム管１０の交換作業を短い時間で容易に行うことができ、しかも、電子ビーム管ユニット１を照射装置本体３０から取外しおよび照射装置本体３０に装着する際に、電子ビーム管１０が損傷することがない。
【００３８】
以上、本発明に係る電子ビーム管ユニットおよび電子ビーム照射装置の一例について説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されず、種々の変更を加えることが可能である。
例えば、電子ビーム管ユニットにおいては、図１５に示すように、保護用筒体２３が、保持板２０の下面から突出するよう一体に設けられ、電子ビーム管１０全体が保護用筒体２３に挿入されていてもよい。
また、電子ビーム照射装置においては、照射装置本体における電子ビーム照射源筐体に異なる方向を向く複数のユニット搬入出用開口を形成することができる。具体的には、図１６に示すように、照射装置本体３０における電子ビーム照射源筐体３１の前面および後面の各々に、ユニット搬入出用開口３６が形成され、ユニット搬入出用開口３６を開閉する開閉扉３７が設けられていてもよい。このような構成によれば、電子ビーム照射装置が設置される個所における周辺環境に応じて、適宜のユニット搬入出用開口３６を選択し、当該ユニット搬入出用開口３６から電子ビーム管ユニットの取外しまたは装着を行うことができるので、電子ビーム照射装置の設置個所の選択の自由度が大きくなる。
【００３９】
【発明の効果】
本発明の電子ビーム管ユニットによれば、所定の配列で配置された複数の電子ビーム管が保持板を介して一体的に連結されているため、全ての電子ビーム管をソケットに接続された状態で移動させることが可能であり、また、電子ビーム管の各々は、その給電端子が保持板に設けられたソケットに嵌入されて保持されているため、当該電子ビーム管の着脱を容易に行うことができる。しかも、電子ビーム管の各々における少なくとも先端部が保護用筒体に挿入されているため、当該電子ビーム管ユニットを移動する際に電子ビーム管が損傷することを防止することができる。
【００４０】
本発明の電子ビーム照射装置によれば、上記の電子ビーム管ユニットと、この電子ビーム管ユニットを照射装置本体におけるユニット装着部に装着しまたは当該ユニット装着部から取り外すためのユニット装着機構とを具えてなるため、電子ビーム管の交換作業を短い時間で容易に行うことができ、しかも、電子ビーム管ユニットを照射装置本体から取外しまたは照射装置本体に装着する際に、電子ビーム管が損傷することがない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る電子ビーム管ユニットの一例における構成を示す説明図であり、（イ）は平面図、（ロ）は正面図、（ハ）底面図、（ニ）は側面図である。
【図２】電子ビーム管の一例における構成を示す説明用断面図である。
【図３】ソケットおよびその周辺を拡大して示す説明用断面図である。
【図４】保護用筒体および電子ビーム管の先端部を拡大して示す説明用断面図である。
【図５】保護用筒体の斜視図である。
【図６】本発明に係る電子ビーム照射装置の一例における構成を示す説明図であって、電子ビーム管ユニットが照射装置本体内に収納された状態を示すものである。
【図７】本発明に係る電子ビーム照射装置の一例における構成を示す説明図であって、電子ビーム管ユニットが照射装置本体内に装着された状態を示すものである。
【図８】ユニット載置板の凹所に保護用筒体が挿入された状態を示す説明用断面図である。
【図９】照射装置本体における電子ビーム照射源筐体の側面図である。
【図１０】ユニット装着機構の側面図である。
【図１１】ユニット装着機構の平面図である。
【図１２】ユニット装着機構に電子ビーム管ユニットが配置された状態を示す説明図であり、（イ）は平面図、（ロ）は側面図である。
【図１３】電子ビーム管ユニットが電子ビーム照射源筐体に収納された状態を示す説明図であり、（イ）は平面図、（ロ）は側面図である。
【図１４】電子ビーム管ユニットが電子ビーム照射源筐体に装着された状態を示す説明図であり、（イ）は平面図、（ロ）は側面図である。
【図１５】本発明に係る電子ビーム照射装置の他の例における構成を示す説明図である。
【図１６】本発明に係る電子ビーム照射装置の他の例における電子ビーム照射源筐体を示す側面図である。
【符号の説明】
１ 電子ビーム管ユニット
１０ 電子ビーム管
１１ 真空容器
１２ 蓋部材
１３ 電子ビーム通過孔
１４ 窓部材
１５ ベース部材
１６ 電子ビーム発生器
１７ フィラメント
１８ 給電リード
１９ 給電端子
２０ 保持板
２１ 貫通孔
２２ ソケット
２３ 保護用筒体
２３Ｋ 電子ビーム管把持用切り欠き部
２４ 支柱
２５ 固定板
２６ ハンドル
２７ スライドライダー
２８ 板材
２９ 接続線
３０ 照射装置本体
３１ 電子ビーム照射源筐体
３２ ユニット装着部
３３ ユニット載置板
３３Ｋ 開口
３３Ｈ 凹所
３４ Ｏ−リング
３５ 制御機構
３６ ユニット搬入出用開口
３７ 開閉扉
３８ 上部側ガイドレール部材
３９ 下部側ガイドレール部材
４０ 処理室形成材
４１ センサープレート
５０ ユニット装着機構
５１ 昇降レール機構
５２ 基板
５３ ピン
５４ ガイドポール
５５ レバー
５６ 固定部材
５７ スライド孔
６０ スライドレール板部材
６１ ピン
６２ スライダ
６３ クッション機構
６４ ロッド
６５ バネ部材
６６ グリップ
Ｓ ユニット収納用空間
Ｒ 電子ビーム照射処理室

Claims (7)

1. 先端に電子ビームを照射する窓部材を有すると共に基端に当該基端面から突出する給電端子を有する複数の電子ビーム管が、所定の配列で水平方向に並ぶよう配置されてなる電子ビーム管ユニットであって、
   水平に支持された保持板と、
   この保持板に前記所定の配列で配置された、前記電子ビーム管の給電端子が嵌入されて当該電子ビーム管を吊下保持する複数のソケットと、
   前記保持板の下方において、前記所定の配列で水平方向に並ぶよう配置された状態で当該保持板に一体的に固定され、前記電子ビーム管の各々における少なくとも先端部が挿入された複数の保護用筒体と
   よりなることを特徴とする電子ビーム管ユニット。
2. 保持板の下方に、当該保持板に水平に支持された状態で連結された固定板が設けられ、当該固定板に複数の保護用筒体の各々が固定されていることを特徴とする請求項１に記載の電子ビーム管ユニット。
3. 各保護用筒体は、その下端面と電子ビーム管の先端面とが一致または略一致したレベルに位置されるよう配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電子ビーム管ユニット。
4. 各保護用筒体には、各々その下端縁から上方に伸びる一対の電子ビーム管把持用切り欠き部が略対向位置に形成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の電子ビーム管ユニット。
5. 電子ビーム管ユニットが搬入若しくは搬出されるユニット搬入出用開口を有すると共に、内部に電子ビーム管ユニットが装着されるユニット装着部を有する電子ビーム照射源筐体、およびこの電子ビーム照射源筐体の下方に設けられた、電子ビーム照射処理室を形成する処理室形成体を有してなる照射装置本体と、
   先端に電子ビームを照射する窓部材を有すると共に基端に当該基端面から突出する給電端子を有する複数の電子ビーム管が、所定の配列で水平方向に並ぶよう配置されてなり、前記照射装置本体における電子ビーム照射源筐体内に着脱自在に収納される電子ビーム管ユニットと、
   前記照射装置本体における電子ビーム照射源筐体に対して着脱自在に構成され、前記電子ビーム照射源筐体に配置されて固定された状態で、前記電子ビーム管ユニットを移動可能に保持すると共に、当該電子ビーム管ユニットを移動させて当該電子ビーム照射源筐体におけるユニット装着部に装着しまたは当該ユニット装着部から取り外すためのユニット装着機構と
   を具えてなり、電子ビーム管ユニットが請求項１〜請求項４のいずれかに記載の電子ビーム管ユニットであることを特徴とする電子ビーム照射装置。
6. 照射装置本体における電子ビーム照射源筐体には、異なる方向を向く複数のユニット搬入出用開口が形成されていることを特徴とする請求項５に記載の電子ビーム照射装置。
7. ユニット装着機構は、照射装置本体における電子ビーム照射源筐体内にユニット搬入出用開口から挿入される基板と、この基板に回動自在に連結されたレバーと、このレバーに連結され、当該レバーの昇降操作により、全体が昇降されるスライドレール板部材とよりなる昇降レール機構を具えてなり、
   前記電子ビーム照射源筐体に配置されて固定された前記昇降レール機構におけるスライドレール板部材に電子ビーム管ユニットを載置して移動させることにより、当該電子ビーム管ユニットを当該電子ビーム管照射源筐体内に搬入する搬入工程と、この搬入工程により搬入された電子ビーム管ユニットを、前記レバーの下降操作により下降させて当該電子ビーム照射源筐体におけるユニット装着部に装着する装着工程とよりなる装着作業に供されるものであることを特徴とする請求項５または請求項６に記載の電子ビーム照射装置。

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