JP6975596B2 - パーティクル除去方法および熱処理装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明に係る熱処理装置1の構成を示す縦断面図である。図1の熱処理装置1は、基板として円板形状の半導体ウェハーWに対してフラッシュ光照射を行うことによってその半導体ウェハーWを加熱するフラッシュランプアニール装置である。処理対象となる半導体ウェハーWのサイズは特に限定されるものではないが、例えばφ300mmやφ450mmである(本実施形態ではφ300mm)。なお、図1および以降の各図においては、理解容易のため、必要に応じて各部の寸法や数を誇張または簡略化して描いている。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。第2実施形態の熱処理装置1の構成は第1実施形態と全く同じである。また、第2実施形態の熱処理装置1における半導体ウェハーWの処理手順も第1実施形態と概ね同様である。第2実施形態が第1実施形態と相違するのは、パーティクル除去処理時における処理動作である。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、第1実施形態では複数枚のダミーウェハーを使用していたが、ダミーウェハーを使用することなく熱処理装置1が第1実施形態と同様の動作を行ってパーティクル除去処理を実行するようにしても良い。すなわち、実際にはダミーウェハーを使用しないのであるが、あたかも仮想のダミーウェハーを使用しているかの如くゲートバルブ185や移載機構10が駆動するとともに、図9のようにチャンバー6内の圧力を変化させて減圧状態のチャンバー6内にフラッシュランプFLからフラッシュ光を複数回照射する。このようにしてもチャンバー6内にパーティクルを飛散させ、そのパーティクルを排出して除去することができる。この場合、第2実施形態と同様に、パーティクル除去処理中にダミーウェハーが割れて新たなパーティクルが発生する懸念は無くなるものの、パーティクルの排出効率は第1実施形態よりも低下せざるを得ない。
3 制御部
4 ハロゲン加熱部
5 フラッシュ加熱部
6 チャンバー
7 保持部
10 移載機構
65 熱処理空間
74 サセプタ
75 保持プレート
77 基板支持ピン
84 供給バルブ
85 処理ガス供給源
88 ガス排気管
89 排気バルブ
180 圧力計
190 排気部
191 排気ポンプ
192,193,194 排気バルブ
197,198,199 バイパスライン
FL フラッシュランプ
HL ハロゲンランプ
W 半導体ウェハー
Claims (14)
- 基板にフラッシュ光を照射することによって該基板を加熱する熱処理装置からパーティクルを除去するパーティクル除去方法であって、
前記熱処理装置のチャンバー内を排気して減圧雰囲気とした状態にて、前記チャンバー内にフラッシュランプからフラッシュ光を複数回照射することによって前記チャンバー内に飛散したパーティクルを排出することを特徴とするパーティクル除去方法。 - 請求項1記載のパーティクル除去方法において、
前記チャンバー内に気体を供給しつつ排気を行って前記チャンバー内を前記減圧雰囲気とすることを特徴とするパーティクル除去方法。 - 請求項1または請求項2記載のパーティクル除去方法において、
前記チャンバー内への基板の搬入を禁止した状態にて前記チャンバー内に前記フラッシュ光を照射することを特徴とするパーティクル除去方法。 - 請求項1または請求項2記載のパーティクル除去方法において、
前記チャンバー内に基板を保持した状態にて前記チャンバー内に前記フラッシュ光を照射することを特徴とするパーティクル除去方法。 - 請求項1から請求項4のいずれかに記載のパーティクル除去方法において、
少なくとも前記フラッシュ光を照射する前に、前記チャンバー内にハロゲンランプから光を照射して前記チャンバー内を加熱することを特徴とするパーティクル除去方法。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載のパーティクル除去方法において、
前記フラッシュ光のエネルギーは、処理対象となる基板に前記フラッシュランプから照射するフラッシュ光のエネルギー以上であることを特徴とするパーティクル除去方法。 - 請求項1から請求項6のいずれかに記載のパーティクル除去方法において、
前記減圧雰囲気は前記チャンバー内が0.5Pa以上90000Pa以下であることを特徴とするパーティクル除去方法。 - 基板にフラッシュ光を照射することによって該基板を加熱する熱処理装置であって、
基板を収容するためのチャンバーと、
前記チャンバー内を排気する排気部と、
前記チャンバー内にフラッシュ光を照射するフラッシュランプと、
を備え、
前記排気部が前記チャンバー内を排気して減圧雰囲気とした状態にて、前記チャンバー内に前記フラッシュランプからフラッシュ光を複数回照射することによって前記チャンバー内に飛散したパーティクルを排出することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項8記載の熱処理装置において、
前記チャンバー内に気体を供給する気体供給部をさらに備え、
前記気体供給部から前記チャンバー内に気体を供給しつつ、前記排気部が排気を行って前記チャンバー内を前記減圧雰囲気とすることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項8または請求項9記載の熱処理装置において、
前記チャンバー内への基板の搬入を禁止した状態にて、前記フラッシュランプが前記チャンバー内に前記フラッシュ光を照射することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項8または請求項9記載の熱処理装置において、
前記チャンバー内にて基板を保持する保持部をさらに備え、
前記保持部に基板を保持した状態にて前記フラッシュランプが前記チャンバー内に前記フラッシュ光を照射することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項8から請求項11のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記チャンバー内に光を照射するハロゲンランプをさらに備え、
少なくとも前記フラッシュランプが前記フラッシュ光を照射する前に、前記チャンバー内に前記ハロゲンランプから光を照射して前記チャンバー内を加熱することを特徴とする熱処理装置。 - 請求項8から請求項12のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記フラッシュ光のエネルギーは、処理対象となる基板に前記フラッシュランプから照射するフラッシュ光のエネルギー以上であることを特徴とする熱処理装置。 - 請求項8から請求項13のいずれかに記載の熱処理装置において、
前記減圧雰囲気は前記チャンバー内が0.5Pa以上90000Pa以下であることを特徴とする熱処理装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017180195A JP6975596B2 (ja) | 2017-09-20 | 2017-09-20 | パーティクル除去方法および熱処理装置 |
TW107124624A TWI676208B (zh) | 2017-09-20 | 2018-07-17 | 顆粒去除方法及熱處理裝置 |
US16/040,603 US10807128B2 (en) | 2017-09-20 | 2018-07-20 | Particle removal method and heat treatment apparatus |
KR1020180102815A KR102052276B1 (ko) | 2017-09-20 | 2018-08-30 | 파티클 제거 방법 및 열처리 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017180195A JP6975596B2 (ja) | 2017-09-20 | 2017-09-20 | パーティクル除去方法および熱処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019057566A JP2019057566A (ja) | 2019-04-11 |
JP6975596B2 true JP6975596B2 (ja) | 2021-12-01 |
Family
ID=65719721
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017180195A Active JP6975596B2 (ja) | 2017-09-20 | 2017-09-20 | パーティクル除去方法および熱処理装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10807128B2 (ja) |
JP (1) | JP6975596B2 (ja) |
KR (1) | KR102052276B1 (ja) |
TW (1) | TWI676208B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6847610B2 (ja) * | 2016-09-14 | 2021-03-24 | 株式会社Screenホールディングス | 熱処理装置 |
JP7372066B2 (ja) * | 2019-07-17 | 2023-10-31 | 株式会社Screenホールディングス | 熱処理方法および熱処理装置 |
JP7304768B2 (ja) * | 2019-08-16 | 2023-07-07 | 株式会社Screenホールディングス | 熱処理装置および熱処理装置の洗浄方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3798674B2 (ja) | 2001-10-29 | 2006-07-19 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 熱処理装置および熱処理方法 |
CN101320677B (zh) * | 2003-08-25 | 2012-02-01 | 东京毅力科创株式会社 | 减压处理室内的部件清洁方法和基板处理装置 |
JP4421238B2 (ja) | 2003-08-26 | 2010-02-24 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 熱処理装置および熱処理装置の洗浄方法 |
JP5955604B2 (ja) * | 2012-03-28 | 2016-07-20 | 株式会社Screenホールディングス | 熱処理装置および熱処理方法 |
JP6665032B2 (ja) * | 2015-08-26 | 2020-03-13 | 株式会社Screenホールディングス | 熱処理方法および熱処理装置 |
JP6652886B2 (ja) * | 2015-08-26 | 2020-02-26 | 株式会社Screenホールディングス | 熱処理方法および熱処理装置 |
US9741576B2 (en) * | 2015-08-26 | 2017-08-22 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Light irradiation type heat treatment method and heat treatment apparatus |
-
2017
- 2017-09-20 JP JP2017180195A patent/JP6975596B2/ja active Active
-
2018
- 2018-07-17 TW TW107124624A patent/TWI676208B/zh active
- 2018-07-20 US US16/040,603 patent/US10807128B2/en active Active
- 2018-08-30 KR KR1020180102815A patent/KR102052276B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10807128B2 (en) | 2020-10-20 |
US20190084014A1 (en) | 2019-03-21 |
TWI676208B (zh) | 2019-11-01 |
TW201916108A (zh) | 2019-04-16 |
KR20190033003A (ko) | 2019-03-28 |
KR102052276B1 (ko) | 2019-12-04 |
JP2019057566A (ja) | 2019-04-11 |
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