JP3852226B2

JP3852226B2 - インクジェットヘッド装置の製造方法

Info

Publication number: JP3852226B2
Application number: JP29956998A
Authority: JP
Inventors: 恭裕関口
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 1998-10-21
Filing date: 1998-10-21
Publication date: 2006-11-29
Anticipated expiration: 2018-10-21
Also published as: JP2000127413A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、インクジェットプリンタ等に用いられるインクジェットヘッド装置の製造方法の技術分野に属する。
【０００２】
【従来の技術】
従来のインクジェットプリンタに用いられるインクジェットヘッドは、複数の区画壁により区画されたインク圧力室を備えたセラミック製のキャビティプレートと、該キャビティプレートに接合した圧電素子とにより構成されており、該圧電素子によりインク圧力室内に圧力変動を生じさせ、インク圧力室内のインクをキャビティプレートに形成したノズルから吐出させている。
【０００３】
圧電素子には様々な種類のものが用いられるが、一例として、積層型の圧電素子が挙げられる。この積層型の圧電素子は、シート状に形成した圧電部材上に、互いに所定の間隔を有して交互に配置される正負の電極パターンをスクリーン印刷し、更にこの電極上に圧電部材を重ね、以下同様にして圧電部材と電極とを積層した後、脱バインダ・焼成処理を施し、更にその後圧電素子の変形部をそれぞれ独立させるように複数の切欠凹部を設けるという工程を経て製造される。
【０００４】
このような構成により、複数のインク圧力室のそれぞれに圧電素子の複数の変位部を対応させることができ、各インク圧力室毎に良好なインク吐出を行わせることができる。
【０００５】
一方、キャビティプレートを製造するには様々な種類の方法が用いられるが、例えば、セラミックや樹脂の射出成形で圧力室やインク溜りを一体成形する方法、あるいは感光性ガラスにエッチング処理を施すことにより圧力室やインク溜りを成形する方法が挙げられる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記圧電素子は焼成処理によって収縮し、その収縮率が一定ではなく圧電素子毎にばらつきを有している。一方、キャビティプレートはショットブラスト加工やエッチング加工を用いることにより、寸法精度の良いものを作ることができる。従って、寸法精度の揃えられたキャビティプレートと、前記圧電素子の接合を行うと、キャビティプレートのインク圧力室及び区画壁の位置と、圧電素子の電極の位置との間のずれ量が、圧電素子毎に異なってしまう。その結果、１つのインクジェットヘッドにおける各ノズル毎、あるいは各インクジェットヘッド毎にインクの吐出性能にばらつきを生じるという問題があった。
【０００７】
従来は、この問題を解決するために、各インクジェットヘッド毎、あるいは各ノズル毎に圧電素子に印加する駆動信号の電圧や波形を調整したり、規定の寸法で出来上がった圧電素子のみを選択して使用していた。従って、制御が複雑化し、コストが増加するという問題があった。
【０００８】
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、複雑な制御を必要とせず、安価なコストで全てのインクジェットヘッドの印字品質を一定にすることのできるインクジェットヘッド装置の製造方法を提供することを課題としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法は、前記課題を解決するために、キャビティプレートに所定間隔で設けられたインク圧力室にインクを貯留し、該インクに圧電素子により圧力変動を与えてノズルから当該インクを吐出させるインクジェットヘッド装置の製造方法であって、少なくとも焼成工程を経て圧電素子を製造する工程と、前記焼成工程における前記圧電素子の寸法のばらつきに対応させて、前記インク圧力室の間隔が異なり、前記ノズルの間隔が全て同一であり、前記インク圧力室と前記ノズルを連通せしめるインク流路を滑らかに屈曲させた複数種類の前記キャビティプレートを製造する工程と、前記複数種類のキャビティプレートの中から前記圧電素子の寸法に応じたキャビティプレートを選択する工程と、選択されたキャビティプレートと前記圧電素子を接合する工程とを有することを特徴とするインクジェットヘッド装置の製造方法。
【００１０】
請求項１に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、焼成工程を経て圧電素子を製造するので、収縮率の誤差により圧電素子の電極の間隔にばらつきを生じるが、このばらつきに対応させてインク圧力室の間隔が異なる複数種類のキャビティプレートを予め製造しておき、複数種類のキャビティプレートの中から前記圧電素子のばらつきに応じたキャビティプレートを選択して、前記圧電素子を接合するので、キャビティプレートのインク圧力室及び区画壁と、圧電素子の電極との位置を適切に合わせることができ、一つのインクジェットヘッド装置内における各ノズルのインク吐出性能、及び各インクジェットヘッド装置におけインク吐出性能が均一なものとなる。
【００１１】
【００１２】
また、請求項１に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、前記キャビティプレートを製造する際には、ノズル間隔を全てのキャビティプレートにおいて同一とするので、各インクジェットヘッド装置におけるインク吐出性能が均一なものとなる。また、ノズルプレートを複数種類用意する必要がなくなる。
【００１３】
【００１４】
更に、請求項１に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、前記キャビティプレートを製造する際には、前記インク圧力室と前記ノズルを連通せしめるインク流路を滑らかに屈曲させるので、インク圧力室の間隔を変える場合でも、良好なインク吐出性能を維持しつつ、ノズルピッチを全てのキャビティプレートで均一にすることができる。
【００１５】
請求項２に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法は、前記課題を解決するために、請求項１に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法において、前記キャビティプレートを製造する工程は、前記インク圧力室と前記ノズルを連通せしめるインク流路の屈曲領域を前記圧電素子の変形領域に対応する領域外に設けたキャビティプレートを製造する工程であることを特徴とする。
【００１６】
請求項２に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、前記キャビティプレートを製造する際には、前記インク圧力室と前記ノズルを連通せしめるインク流路の屈曲領域を前記圧電素子の変形領域に対応する領域外に設けたので、屈曲領域にて圧電素子の変形を阻害することがない。
【００１７】
請求項３に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法は、前記課題を解決するために、請求項１又は請求項２に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法において、前記キャビティプレートを製造する工程は、複数の前記インク圧力室と複数の前記ノズルを連通せしめる複数のインク流路の各流路抵抗が全て等しいキャビティプレートを製造する工程であることを特徴とする。
【００１８】
請求項３に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、前記キャビティプレートを製造する際には、複数の前記インク圧力室と複数の前記ノズルを連通せしめる複数のインク流路の各流路抵抗を、一つのキャビティプレート内または全てのキャビティプレート内において、全て等しくするので、各インクジェットヘッド装置におけインク吐出性能が均一なものとなる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を添付図面の図１乃至図４に基づいて説明する。
【００２０】
まず、本実施形態のインクジェットヘッド装置の概略について図２に基づいて説明する。
【００２１】
図２はライン型インクジェットプリンタ用ヘッド１の概略構成を示すの要部を示す斜視図である。図２に示すように、本実施形態のライン型インクジェットプリンタ用ヘッド１は、複数の圧電式インクジェットヘッド２が第１インク流路プレート３の表面に並設されている。
【００２２】
第１インク流路プレート３は、アルミニウムまたはマグネシウムで形成された板状部材であり、表面にはステンレス鋼のパターンをポリイミドフィルムに挟持したヒータ４が取り付けられ、裏面には図示しないインクタンクから供給されるインクの往路５が形成されている。また、第１インク流路プレート３には、表面から裏面までを貫き前記往路５と連通した貫通孔７が形成されており、前記往路５に供給されたインクは該貫通孔７により表面側に供給される。更に、第１インク流路プレート３は、第２インク流路プレート９と貼り合わされる。
【００２３】
第２インク流路プレート９は、前記第１インク流路プレート３と同様にアルミニウムまたはマグネシウムで形成された板状部材であり、裏面には前記インクタンクに対してインクを排出する復路８が形成されている。
【００２４】
一方、圧電式インクジェットヘッド２は、ベースプレート１０、キャビティプレート１２、ノズルプレート１６、及び圧電素子１７から構成される。
【００２５】
ベースプレート１０は、アルミニウムまたはマグネシウムで形成された板状部材であり、該ベースプレート１０には前記第１インク流路プレート３の貫通孔７と連通する貫通孔１１が形成されている。該ベースプレート１０は裏面が接着剤により第１インク流路プレート３に接着され、表面にはキャビティプレート１２が同じく接着剤により接着される。
【００２６】
キャビティプレート１２は、セラミックの焼結体であり、上面が開放された複数個のインク圧力室１３と、各インク圧力室１３を区画する区画壁１４と、各インク圧力室１３と連通すると共に裏面では前記貫通孔１１と連通するインク溜まり１５が形成されている。
【００２７】
ノズルプレート１６は、ポリイミドで形成されたシート状部材であり、表面から裏面までを貫くノズル１６ａが複数個形成されている。前記インク圧力室１３の前記インク溜まり１５側とは反対の先端側は、徐々に幅が狭くなり、先端面には開口が形成されている。前記ノズルプレート１６は、この先端面において、前記開口と前記ノズル１６ａの位置を一致させるように接着剤により接着されている。
【００２８】
圧電素子１７は、各インク圧力室１３の上面（開放面）が閉塞するように取り付けられる積層型の圧電素子であり、圧電・電歪効果を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミック材料からなる複数の圧電セラミック層を積層すると共に、各圧電セラミック層間にはスクリーン印刷により銀パラジウム等の陽電極及び陰電極のパターン１８が形成されている。
【００２９】
前記電極パターン１８は、図示しない電源供給端部と接続されており、該電源供給端部は、フレキシブルプリント基板２０を介してドライブＩＣ２１と接続されている。更に、該ドライブＩＣ２１はフレキシブルプリント基板２０を介して図示しないＣＰＵ等が備えられたメイン基板と接続されている。従って、メイン基板から出力される駆動信号に応じてドライブＩＣ２１が駆動され、更にドライブＩＣ２１から駆動電圧が電極パターン１８に供給されることにより、前記圧電セラミック層が変位し、前記圧力室シート１２とベースプレート１０により形成されるキャビティプレートのインク圧力室１３内の圧力を変動させ、ノズルプレート１６に形成されたノズル１６ａからインクを吐出させる。
【００３０】
このインク吐出動作は、それぞれの圧電式インクジェットヘッド２によって同時に行われ、かつ、以上のように構成されるライン型インクジェットプリンタ用ヘッドの全体は、図示しない揺動機構によって矢印Ａ方向に揺動するので、記録紙Ｐ上にはライン単位で高速な印字が行われる。
【００３１】
次に、前記圧電素子１７の製造方法について詳しく説明する。まず、セラミック粉体に樹脂またはバインダを混合してシート状のセラミック層を形成し、このセラミック層の表面に、キャビティプレート１２のインク圧力室１３に一対一で対応するように複数に分割されたプラス電極と、キャビティプレート１２の区画壁１４に一対一に対応するように複数に分割されたマイナス電極とをスクリーン印刷によって形成する。また同様に、セラミック層の裏面に対しても、前記表面のプラス電極及びマイナス電極に対応する位置に、プラス電極とマイナス電極をスクリーン印刷によって形成する。そして、このようにセラミック層上に電極が形成されたシート体に対して脱バインダ及び焼成工程を施す。
【００３２】
次に、前記シート体を１３０℃程度のシリコンオイル等の絶縁オイルが満たされた図示しないオイルバス中に浸し、分極用の電極により２．５ｋＶ／ｍｍ程度の電界を印加し、分極処理を施す。分極方向は、圧電素子１７のキャビティプレート１２との接合側の表面から裏面に向かう方向とする。以上の方法により圧電素子１７が得られる。
【００３３】
次に、本実施形態の圧電式インクジェットヘッド２の製造方法について詳しく説明する。
【００３４】
本実施形態においては、まず、図１に示すようにインク圧力室１３間のピッチが異なる複数種類のキャビティプレート１２を製造しておく。なお、キャビティプレート１２は、セラミックの粉体等の硬質微粒子を用いたショットブラスト加工により形成する。まず、セラミックシートの表面上に、区画壁１４として残す部分に図示しないレジストマスクを形成する。その表面上に硬質微粒子を高速で投射することにより、インク室１３及びインク溜まり１５を形成する。
【００３５】
キャビティプレート１２は、図１（Ａ）に示すように規定の寸法通りに製造された圧電素子１７に対応したもの、（Ｂ）に示すように、圧電素子１７の収縮率が＋０．２％で、規定の寸法よりも各電極間ピッチが狭くなる方向に収縮した場合に対応したもの、（Ｃ）に示すように圧電素子１７の収縮率が−０．２％で、規定の寸法よりも各電極間ピッチが広がった場合に対応したもののそれぞれ３種類を用意する。
【００３６】
但し、何れのキャビティプレート１２においても、ノズルピッチは一定に保たれおり、そのためインク圧力室間のピッチが規定値と異なる図１（Ｂ），（Ｃ）に示すキャビティプレート１２においては、ノズルプレート１６と接合される先端部側に、各インク圧力室１３及び区画壁１４が屈曲した屈曲領域Ｙ１が設けられている。
【００３７】
この屈曲領域Ｙ１は、図１（Ｂ）に示す丸印Ｂの拡大図である図３に示すように、内側の屈曲開始位置Ｐ１と外側の屈曲開始位置Ｐ２との間、並びに内側の屈曲終了位置Ｐ３と外側の屈曲終了位置Ｐ４との間に所定間隔ｗ１が設けられている。このように構成することにより、図３に矢印Ｃで示すインクの移動方向に対して垂直なインク流路の幅ｗ２は、屈曲領域Ｙ１とそれ以外の領域とに拘わらず常に一定に保たれる。つまり、インク流路の断面積はインク流路の全ての領域で一定であり、インク流路の流路抵抗は一定に揃えられている。従って、図１に示すようにインク圧力室間ピッチの異なる複数種類のキャビティプレート１２を用意する場合でも、何れのキャビティプレート１２においてもインク吐出性能は均一に保たれている。
【００３８】
また、キャビティプレート１２の短手方向における前記屈曲領域Ｙ１の間隔は、当該短手方向におけるインク流路の間隔Ｙ３に対して十分に大きくなるように設定されている。従って、前記屈曲領域Ｙ１におけるインク流路の屈曲角度は小さくなり、直進領域のインク流路と滑らかに連続している。従って、前記屈曲領域Ｙ１を設けた場合でも、流路抵抗を増大させることがなく、図１（Ａ）に示す屈曲領域の形成されていないキャビティプレート１２と、図１（Ｂ），（Ｃ）に示す屈曲領域Ｙ１が形成されたキャビティプレート１２との間でインク吐出性能に差を生じさせることがない。
【００３９】
更に、図２に示すように、圧電素子１７においてプラス電極とマイナス電極が交互に配列される変形領域Ｙ２は、図１に示すように、屈曲領域Ｙ１と重ならない位置に設けられている。従って、前記屈曲領域Ｙ１によって、圧電素子１７の変形を妨げることがなく、図１（Ａ）に示す屈曲領域の形成されていないキャビティプレート１２と、図１（Ｂ），（Ｃ）に示す屈曲領域Ｙ１が形成されたキャビティプレート１２との双方で良好なインク吐出性能を発揮させることができる。
【００４０】
本実施形態では、以上のように構成された複数種類のキャビティプレート１２を用意して、焼成工程による圧電素子１７の収縮の程度に合わせて、何れかのキャビティプレート２を選択し、両者を接合させる。圧電素子１７の収縮の程度は、例えば顕微鏡により、圧電素子１７の電極間ピッチを計測することにより行われる。
【００４１】
圧電素子１７は、焼成工程を経ることによって、±０．２％程度の収縮による寸法誤差が生ずる。そこで、前記計測により、圧電素子１７の電極間ピッチがほぼ規定値通りに製造された場合には、図１（Ａ）に示す屈曲領域Ｙ１が設けられていないキャビティプレート１２を選択する。また、圧電素子１７の電極間ピッチが規定値よりも＋０．２％程度収縮していた場合には、図１（Ｂ）に示す屈曲領域Ｙ１が設けられ、インク圧力室１３のピッチが規定値よりも短いキャビティプレート１２を選択する。また、圧電素子１７の電極間ピッチが規定値よりも＋０．２％程度広がっている場合には、図１（Ｃ）に示す屈曲領域Ｙ１が設けられ、インク圧力室１３のピッチが規定値よりも長いキャビティプレート１２を選択する。そして、選択したキャビティプレート１２と圧電素子１７とを接着剤により接着し、更に接着剤によりノズルプレート１６をキャビティプレート１２と圧電素子１７に接着し、キャビティプレート１２とベースプレート１０とを接着剤で接着することにより、圧電式インクジェットヘッド２が完成することになる。
【００４２】
以上のように本実施形態によれば、圧電素子１７の焼成による収縮率の誤差に関係無く、全てのノズル及びインクジェットヘッド間の吐出性能を均一にすることができる。また、一つのキャビティプレート１２内における各インク流路の流路抵抗は均一に保たれているため、全てのノズルの吐出性能を均一にすることができる。更に、屈曲領域Ｙ１を設けて、何れのキャビティプレート１２についても、ノズルピッチが等しくなるように構成したので、ノズルプレート１６を、圧電素子１７の焼成による収縮率の誤差に基づいて複数種類用意する必要がない。
【００４３】
これに対し、従来のインクジェットヘッドにおいては、図４（Ａ）に示すように、圧電素子１７の電極間ピッチが規定値通りであった場合には問題は生じないが、圧電素子１７が規定値よりも収縮した場合には、図４（Ｂ）にＤで示す領域のように、プラス電極１８ａとマイナス電極１８ｂがインク圧力室１３と区画壁１４の境界位置に来てしまい、所定のインク吐出性能を発揮することができない。
【００４４】
また、圧電素子１７の電極間ピッチが規定値よりも広がってしまう場合にも、図４（Ｃ）にＥで示す領域のようにプラス電極１８ａとマイナス電極１８ｂがインク圧力室１３と区画壁１４の境界位置に来てしまい、所定のインク吐出性能を発揮することができない。このように、従来においては、一つのインクジェットヘッド内において、ノズル間でのインク吐出性能のばらつきを生じていたため、各ノズル毎に圧電素子の複雑な駆動制御を行う必要があった。また、従来は、規定値の寸法で製造した圧電素子のみを用いていたので、無駄が生じ、コストが増大するという問題があった。
【００４５】
しかしながら、本実施形態によれば、複数種類のキャビティプレートの中から適切なキャビティプレートを選択して接合するという簡単な手法により、圧電素子の焼成による収縮率の誤差に関係無く、インク吐出性能を均一化することができるので、従来のような複雑な制御は不要である。また、圧電素子を無駄にすることがないので、コストを増大させることがない。
【００４６】
また、本実施形態によれば、インクジェットヘッド間におけるインク吐出性能のばらつきも無いため、特に図２に示すように複数のインクジェットヘッドを用いて印字を行う場合には、複雑な制御を行うことなく極めて高品質の印字を行うことが可能である。
【００４７】
なお、本実施形態では、３種類のキャビティプレートを用いた例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、より多くの種類のキャビティプレートを用意するようにしても良い。例えば、ノズルの数が多くなり、インク圧力室の数が多くなる程、前記焼成による収縮率の誤差の影響が大きくなるので、当該収縮率に応じて細かく分類した多くの種類のキャビティプレートを用意するようにすれば良い。
【００４８】
また、本実施形態では、キャビティプレートにセラミック焼成体を用いた場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えばガラスやシリコン等を用いてキャビティプレートを形成しても良い。また、本発明では、インク圧力室、インク溜まりを形成するのにショットブラスト加工を用いているが、エッチング加工や高精度のセラミック射出成形でも良く、また、インク圧力室、インク溜まりを精度良く形成できる加工方法であれば、他の加工方法でも良い。
【００４９】
更に、本実施形態では、単層の圧電素子を用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、積層型の圧電素子を用いた場合にも適用可能である。
【００５０】
【発明の効果】
請求項１に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、焼成工程における圧電素子の寸法のばらつきに対応させて、インク圧力室の間隔が異なる複数種類のキャビティプレートを製造し、前記複数種類のキャビティプレートの中から圧電素子の寸法のばらつきに応じたキャビティプレートを選択し、選択されたキャビティプレートと前記圧電素子を接合するので、キャビティプレートのインク圧力室及び区画壁と、圧電素子の電極との位置を適切に合わせることができ、一つのインクジェットヘッド装置内における各ノズルのインク吐出性能、及び各インクジェットヘッド装置におけインク吐出性能を均一にすることができる。また、圧電素子が規定値外の寸法を有していても、無駄にすることがないので、コストの低減を図ることができる。
【００５１】
また、請求項１に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、前記キャビティプレートを製造する際には、ノズル間隔が全て同一なキャビティプレートを製造するので、各インクジェットヘッド装置におけインク吐出性能を均一にすることができる。
【００５２】
更に、請求項１に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、前記キャビティプレートを製造する際には、前記インク圧力室と前記ノズルを連通せしめるインク流路を滑らかに屈曲させたキャビティプレートを製造するので、インク圧力室の間隔を変える場合でも、良好なインク吐出性能を維持しつつ、ノズルピッチを全てのキャビティプレートで均一にすることができる。
【００５３】
請求項２に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、前記キャビティプレートを製造する際には、前記インク圧力室と前記ノズルを連通せしめるインク流路の屈曲領域を前記圧電素子の変形領域に対応する領域外に設けたので、屈曲領域にて圧電素子の変形を阻害することがない。
【００５４】
請求項３に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法によれば、前記キャビティプレートを製造する際には、複数の前記インク圧力室と複数の前記ノズルを連通せしめる複数のインク流路の各流路抵抗が全て等しいキャビティプレートを製造するので、各インクジェットヘッド装置におけインク吐出性能を均一にすることができる。また、ノズルプレートを複数種類用意する必要がなくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態におけるキャビティプレートの構成を示す図であり、（Ａ）は規定値通りに製造された圧電素子に用いるキャビティプレート、（Ｂ）は規定値よりも収縮した圧電素子に対して用いるキャビティプレート、（Ｃ）は規定値よりも収縮の程度が少ない圧電素子に用いるキャビティプレートをそれぞれ示す平面図である。
【図２】本発明の一実施形態におけるライン型インクジェットプリンター用ヘッドの構成を示す斜視図である。
【図３】図１のキャビティプレートにおける屈曲領域を示す拡大図である。
【図４】従来のインクジェットヘッド装置を示す断面図であり、（Ａ）は規定値通りに製造された圧電素子を用いたもの、（Ｂ）は規定値よりも収縮した圧電素子を用いたもの、（Ｃ）は規定値よりも収縮の程度が少ない圧電素子を用いたものをそれぞれ示す断面図である。
【符号の説明】
２…圧電式インクジェットヘッド
１０…ベースプレート
１２…キャビティプレート
１３…インク圧力室
１４…区画壁
１５…インク溜まり
１６…ノズルプレート
１６ａ…ノズル
Ｙ１…屈曲領域

Claims

キャビティプレートに所定間隔で設けられたインク圧力室にインクを貯留し、該インクに圧電素子により圧力変動を与えてノズルから当該インクを吐出させるインクジェットヘッド装置の製造方法であって、
少なくとも焼成工程を経て圧電素子を製造する工程と、
前記焼成工程における前記圧電素子の寸法のばらつきに対応させて、前記インク圧力室の間隔が異なり、前記ノズルの間隔が全て同一であり、前記インク圧力室と前記ノズルを連通せしめるインク流路を滑らかに屈曲させた複数種類の前記キャビティプレートを製造する工程と、
前記複数種類のキャビティプレートの中から前記圧電素子の寸法に応じたキャビティプレートを選択する工程と、
選択されたキャビティプレートと前記圧電素子を接合する工程と、
を有することを特徴とするインクジェットヘッド装置の製造方法。
前記キャビティプレートを製造する工程は、前記インク圧力室と前記ノズルを連通せしめるインク流路の屈曲領域を前記圧電素子の変形領域に対応する領域外に設けたキャビティプレートを製造する工程であることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法。
前記キャビティプレートを製造する工程は、複数の前記インク圧力室と複数の前記ノズルを連通せしめる複数のインク流路の各流路抵抗が全て等しいキャビティプレートを製造する工程であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のインクジェットヘッド装置の製造方法。