JP3848604B2 - 半導体装置とその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は低電圧電源と高耐圧電圧とから動作するCMOS型の半導体装置に関する。この発明は、CPUなどを形成する半導体集積回路に関し、特に、高電圧駆動に適した論理回路または駆動回路用の半導体装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のCMOS構造の高耐圧インバータ回路の断面図を図2に示す。P型シリコン基板1の表面にNウェル2が設けられている。Nウェルの表面に高耐圧P型絶縁ゲート電界効果型トランジスタ(以下HVPMOSFETとする)が設けられている。P型基板1の表面には高耐圧N型絶縁ゲート電界効果型トランジスタ(HVNMOSFET)が設けられている。HVPMOSFETのドレイン領域は、高耐圧にするために低濃度ドレイン領域21Cとその内部に設けた高濃度ドレイン領域21Dとから構成されている。必要に応じて、ソース領域も低濃度ソース領域21と高濃度ソース領域21Aとから構成されている。また、HVNMOSFETのソース・ドレイン領域は、同様に低濃度ソース領域22B・高濃度ソース領域22Aと低濃度ドレイン領域22C・高濃度ドレイン領域22Dとから構成されている。ゲート絶縁膜21E、22Eを介してそれぞれゲート電極21F、22Fが設けられている。図示しないが同じ基板の表面に低耐圧P型絶縁ゲート電界効果型トランジスタ(LVPMOSFET)と低耐圧N型絶縁ゲート電界効果型トランジスタ(LVNMOSFET)とが形成されている。LVNMOSFET及びLVPMOSFETのドレイン領域は高耐圧にする必要がないために高濃度ドレイン領域のみから形成されている。
【0003】
図3は、従来の一般的な絶縁ゲート電界効果型トランジスタ(以下MISFETと略す)の断面図である。例えば、N型MISFETの場合は、P型シリコン基板101の表面に互いに離れてN型ソース領域102とドレイン領域103が設けられ、ソース領域102とドレイン領域103との間の基板表面であるチャネル形成領域の上にゲート酸化膜121を介してゲート電極122が設けられている。ゲート電極122に、ソース領域102に対して正の電圧を印加すると、チャネル形成領域がP型からN型へ反転してソース領域102とドレイン領域103との間にドレイン電流が流れる。即ち、ゲート電極122によって、ソース領域102とドレイン領域103との間のインピーダンスを制御できる。ゲート電極122に電源電圧以上の高電圧が印加される場合は、ゲート酸化膜121に高電圧が印加される。従って、図3に示すように、高電圧が印加されるMISFETにおいては低電圧ゲート電圧動作のMISFETより厚い膜厚のゲート絶縁膜が設けられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来の半導体装置においては、ゲート電圧として印加した電圧のほとんどがゲート絶縁膜に印加されてしまうために、次のような課題がある。
(1)ゲート電圧に対してゲート絶縁膜の薄膜化が困難である。
【0005】
(2)同一基板上に高電圧MISFETと低電圧MISFETとを形成する場合、各々のMISFETに対して別々のゲート絶縁膜を設ける必要がある。
また、従来の半導体装置においては、HVPMOSFET及びHVNMOSFETの低濃度ドレイン領域を別途設けているために製造コストが高いという課題があった。
【0006】
そこで、この発明の目的は、低濃度のドレイン領域の製造工程を新規に追加の必要のない、ゲート絶縁膜の薄膜化の可能な、複数のゲート絶縁膜を必要としない簡単な構造の安価な半導体装置を得ることにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段をとった。
(1)第1の電源電圧の間に直列接続した低圧圧第1導電型絶縁ゲート電界効果型トランジスタ(MISFET)と低圧圧第2導電型MISFETとから成る低電圧インバータ回路と、低電圧インバータ回路の出力に接続し、第1の電源電圧より大きな第2の電源電圧で動作するレベルシフタ回路とレベルシフタ回路の出力に接続し、第2の電源電圧に直列接続した高耐圧第1導電型MISFETと高耐圧第2導電型MISFETとから成る高電圧インバータ回路と、高電圧インバータ回路の出力が出力端子である半導体装置において、高耐圧第1導電型MISFETのドレイン領域の不純物分布が低耐圧第2導電型MISFETの間の分離領域の不純物分布と同じであるとともに、低耐圧第1導電型MISFETが第1導電型の半導体基板の表面に設けられた第2導電型拡散層の表面に形成され、高耐圧第2導電型MISFETのドレイン領域の不純物分布が第2導電型拡散層と同じであることを特徴とする半導体装置とした。
【0008】
(2)複数の第1導電型低耐圧MISFETと複数の第2導電型低耐圧MISFETと、第1導電型の高耐圧MISFETと、第2導電型の高耐圧MISFETとが第1導電型の半導体基板の表面に設けられた半導体装置の製造方法において、第1導電型低耐圧MISFETと第2導電型の高耐圧MISFETのドレイン領域に対応する基板の表面に第2導電型のウェルを形成する工程と、基板の表面に耐酸化膜を形成する工程と、各々のMISFETを電気的に分離する領域と第1導電型と第2導電型の高耐圧MISFETのドレイン領域に対応する領域の耐酸化膜を除去する工程と、第2導電型の低耐圧MISFETの間の分離領域と第1導電型の高耐圧MISFETのドレイン領域に対応する基板の表面に第1導電型の不純物元素をドーピングする工程と、耐酸化膜をマスクとして基板の表面を選択酸化してフィールド酸化膜を形成する工程と、耐酸化膜を除去する工程と、フィールド酸化膜のない前記基板の表面にゲート絶縁膜を形成する工程と、ゲート絶縁膜の上に各々のMISFETのゲート電極をパターニングする工程と、第1導電型の低耐圧MISFETのソース・ドレイン領域を形成する工程と、第2導電型の低耐圧MISFETのソース・ドレイン領域を形成する工程とから成る半導体装置の製造方法とした。
【0009】
(3)第1導電型の半導体基板の表面に互いに離れて設けられた第2導電型のソース・ドレイン領域と、ソース領域とドレイン領域との間の半導体基板の表面であるチャネル形成領域と、ソース・ドレイン領域から離れて半導体基板の表面に形成されたゲート領域と、ゲート領域及びチャネル形成領域の上にゲート絶縁膜を介して設けられた中間ゲート電極とから成るとともに、チャネル形成領域を反転するためのゲート領域の閾値電圧が一定値であることを特徴とする半導体装置とした。
【0010】
(4)ゲート領域と中間ゲート領域との間の容量であるCG と、中間ゲート電極に関する全容量CT とが、CG /CT <0.55の関係を満たす(3)の半導体装置とした。
(5)中間ゲート電極に電圧リセット手段が接続した(3)の半導体装置とした。
【0011】
(6)チャネル形成領域に閾値制御用不純物領域を複数設けることにより、不純物領域の面積により閾値電圧を制御した(3)の半導体装置とした。
(7)閾値制御用不純物領域のチャネル幅方向またはチャネル長方向の少なくともいずれか一方の長さが2μm以下の小さい平面パターンにすることにより閾値電圧をアナログ的に微調節して制御する(3)の半導体装置とした。
【0012】
(8)ドレイン領域と中間ゲート電極との間のキャパシタンス容量CD がソース領域と中間ゲート電極との間のキャパシタンス容量CS より小さくすることにより、ドレイン電圧による中間ゲート電極の電位の変化を小さくして短チャネル効果を改善した(3)の半導体装置とした。
【0013】
(9)ドレイン領域を高濃度の第1のドレイン領域と、第1のドレイン領域とチャネル形成領域との間に設けた低濃度領域から成る第2のドレイン領域とから構成した。第1のドレイン領域にドレイン電圧を印加した場合に、第2のドレイン領域の表面は空乏化する。中間ゲート電極と第2のドレイン領域との間の絶縁膜をゲート絶縁膜と空乏層との和にして実効的に厚くしてCD を減少することにより、ドレイン電圧による中間ゲート電極の電位変化を小さくした。
【0014】
(10)ドレイン領域と中間ゲート電極との間の絶縁膜をゲート絶縁膜より厚い絶縁膜で構成することによりCD を減少させた。CD の減少により、ドレイン電圧による中間ゲート電極の電位変化を小さくした。
(11)ゲート領域の周辺に、ゲート領域を包むように、より低濃度の第2導電型の不純物領域を設けることにより、ゲート領域への高電圧印加を可能にした。
【0015】
(12)第1導電型の半導体領域の表面に互いに離れて設けられた第2導電型のソース・ドレイン領域と、ソース領域とドレイン領域との間の半導体領域の表面であるチャネル形成領域と、チャネル形成領域の表面に形成された第1のゲート絶縁膜と、第1のゲート絶縁膜を介してチャネル形成領域の上に設けられた中間ゲート電極と、中間ゲート電極と第2のゲート絶縁膜を介して容量的に結合して設けられたゲート領域と、中間ゲート電極にキャリア供給のために接続して設けられた電圧セット手段とから成る半導体装置とした。
【0016】
(13)ゲート領域は中間ゲート電極の上に設けられていることを特徴とする(12)記載の半導体装置とした。
(14)ゲート領域が複数設けられていることを特徴とする(12)記載の半導体装置とした。
【0017】
(15)ゲート領域が複数設けられているとともに、各々のゲート領域と中間ゲート電極との間の各々の容量が異なる値であることを特徴とする(14)記載の半導体装置とした。
(16)第1導電型の半導体領域の表面に互いに離れて設けられた第2導電型のソース・ドレイン領域と、ソース領域とドレイン領域との間の半導体領域の表面であるチャネル形成領域と、チャネル形成領域の表面に形成された第1のゲート領域と、第1のゲート絶縁膜を介して前記チャネル形成領域の上に設けられた中間ゲート電極と、記中間ゲート電極と第2のゲート絶縁膜を介して容量的に結合して設けられたゲート領域と、中間ゲート電極にキャリア供給のために接続して設けられた電圧セット手段である薄膜トランジスタから成る半導体装置である。
【0018】
図1において、HVNMOSFETのドレイン領域4CをPMOSFETのNウェル2と同時に、同じ不純物分布の拡散領域で形成した。また、HVPMOSFETのドレイン領域3Cは、NMOSFETの分離領域の下のフィールドドープ領域6と同時に同じ不純物分布の拡散領域で形成した。従って、LVPMOSFET及びLVNMOSFETを形成するのに必要な工程だけでHVPMOSFET及びHVNMOSFETも製造できるようにした。
【0019】
駆動電圧が印加されるゲート領域(ゲート電極)とチャネル領域との間に中間ゲート電極(中間ゲート領域)を設けたことにより、ゲート絶縁膜への印加電圧がゲート電圧の分割された低電圧となる。従って、ゲート絶縁膜の薄膜化及び高電圧駆動MISFETと低電圧駆動MISFETとのゲート絶縁膜の共有化が可能になる。
【0020】
【実施例】
図1は、本発明の高電圧インバータ回路を構成するHVPMOSFETとHVNMOSFETの断面図である。
P型シリコン基板1の表面にHVNMOSFETが形成されている。基板1の表面にはNウェル2が形成され、Nウェル2の表面にHVPMOSFETが形成されている。HVNMOSFETのドレイン領域は、Nウェル2と同じ不純物濃度の低濃度ドレイン領域4Cとその内部表面に設けられた高濃度ドレイン領域4Dから構成されている。高濃度とは配線とオーミックコンタクトを得るために必要な濃度であり、少なくともP型とN型にかかわらず1019atoms /cm3 以上の値である。低濃度とは、高濃度より低い濃度であり、本発明においては1016〜1018atoms /cm3 の範囲の濃度が適している。また、ソース領域もドレイン領域と同じ構成になっている。
【0021】
低濃度ドレイン領域4Cとゲート電極4Fとの間には3000〜15000Åの厚いフィールド酸化膜5が設けられている。ゲート絶縁膜4Eはフィールド酸化膜5に比べ薄く、200〜2000Åの範囲である。HVMOSFETのドレイン領域は、LVNMOSFETの間の分離領域であるフィールドドープ領域6と同時に、同じ不純物分布で形成した低濃度ドレイン領域3Cと低濃度ドレイン領域3Cに接続して基板の表面に設けた高濃度ドレイン領域3Dとから構成されている。HVPMOSFETのソース領域もドレイン領域と同じ構造で形成されており、低濃度ソース領域3Bと高濃度ソース領域3Aとから構成される。低濃度ドレイン領域3C及び低濃度ソース領域3Bの上にはフィールド酸化膜が自己整合的に設けられている。濃いソース領域3A及びドレイン領域3Dはフィールド酸化膜5をマスクとして形成されるので、同様に、フィールド酸化膜5に対して自己整合的に配置される。HVNMOSFETの濃いソース領域4A及びドレイン領域4Dも同様にフィールド酸化膜5に対して自己整合的に配置されている。HVNMOSFET間の電気的分離は必要に応じて、各々のトランジスタの間にPMOSFETの濃いソース領域3Aと同じ領域を設けることによって形成される。
【0022】
図4は本発明の低電圧インバータ回路を構成するLVPMOSFETとLVNMOSFETの断面図である。
LVPMOSFET及びLVNMOSFETもHVPMOSFET及びHVNMOSFETと同じ基板1の表面に形成されている。LVPMOSFETは基板1の表面に形成されたNウェル2の表面に形成されているLVNMOSFETは基板1の表面に形成されている。高耐圧インバータ回路の動作電圧が10V以上の高耐電源であったのに対し、低電圧インバータ回路は5V以下の低い電源電圧で動作する。一般的には5Vである。
【0023】
LVPMOSFETは、濃いソース領域31A及び濃いドレイン領域31Bと、それらの間のNウェル2の表面であるチャネル形成領域の表面に設けられたゲート絶縁膜31Cを介したゲート電極31Cから構成されている。また、LVNMOSは互いに離れた濃いソース領域32Aとドレイン領域32Bと、それらの基板1の表面であるチャネル形成領域の表面に設けられたゲート絶縁膜32Cを介したゲート電極32Dから構成されている。各々のLVNMOSFETの間の電気的分離は、フィールド酸化膜5の下のP型拡散層であるフィールドトープ領域6でなされている。
【0024】
LVPMOSFETのNウェル2は、図1に示したHVNMOSFETの低濃度ドレイン領域4Cと同じ工程で形成する。従って、それらの領域の不純物分布は同じである。また、LVNMOSFETの間の分離領域を構成するフィールドドープ領域6は、図1のHVPMOSFETの低濃度ドレイン領域3Cと同じ工程で形成する。従って、それらの領域の不純物分布も同じになっている。低電圧インバータ回路のゲート絶縁膜31C、32Cは高電圧インバータ回路のゲート絶縁膜3E、4Eに比べ薄く形成されている。また、低電圧インバータ回路のトランジスタは高耐圧特性の必要がないので通常の濃いドレイン領域31B、32Bで形成されている。この濃いドレイン領域31B、32Bは、高電圧インバータ回路の濃いドレイン領域3D、4Dとそれぞれ同じ工程で形成される。
【0025】
図5は高電圧インバータ回路の製造方法を示す工程順断面図である。
まず図5(A)に示すように通常のフォトリソクラフィーによりNウェル形成すべきP型基板1の表面のマスク膜を部分的に除去する。そのマスク膜をマスクとしてN型の不純物であるリン元素をイオン注入する。1150℃15時間の熱拡散をしてNウェル領域2を形成する。Nウェル領域2はLVPMOSFET、HVPMOSFETだけでなくHVNMOSFETの低濃度ドレイン領域に対応する領域に形成される。
【0026】
次に、マスク膜40を除去する。さらに、酸化膜500Å41と耐熱化膜のシリコンチッ化膜42をさらに、レジスト膜43を順次形成する。フィールド酸化膜を形成すべき基板1の表面のレジスト膜43を通常のフォトリソグラフィー技術によりパターニングする。さらに、レジスト膜43をマスクとしてシリコンチッ化膜42を選択エッチングして図5(B)の形成にする。フィールド酸化膜を形成する領域は、各々のトランジスタ間の分離領域だけでなく、HVPMOSFET及びHVNMOSFETの各々の低濃度ドレイン領域に対応する基板表面も含む。
【0027】
次に、図5(C)に示すように、別のレジスト膜44をパターニングしてP型不純物であボロン元素をイオン注入する。レジスト膜44及びシリコンチッ化膜42をマスクとしてイオン注入する。このイオン注入する領域は、LVNMOSFETの間の分離領域とHVMOSFETの間の分離領域でNウェル2以外の基板1の表面にする。さらに、Nウェル2においては、HVPMOSFETの低濃度ドレイン領域を形成するためのイオン注入工程でもある。ボロン元素の注入量は1012〜1013atoms /cm2 である。
【0028】
次に、シリコンチッ化膜42をマスクとして1000℃で基板1を選択酸化して図5(D)のようにフィールド酸化膜5を形成する。この時に、図5(C)にてドーピングしたボロン元素が熱拡散する。フィールド酸化膜5の直下にHVNMOSFET及びLVNMOSFETの間のフィールドドープ領域6が形成される。また、HVPMOSFETの低濃度ドレイン領域3Cがフィールド酸化膜5の下に自己整合的に形成される。また、HVNMOSFETの低濃度ドレイン領域の上にもフィールド酸化膜が形成される。フィールド酸化膜5は後で形成するゲート絶縁膜に比べ数倍厚く形成されている。一般には、3000〜15000Åの膜厚である。
【0029】
次に、シリコンチッ化膜42及び酸化膜42を順次除去してフィールド酸化膜5以外の領域を基板1の表面を露出する。図5(E)に示すように、露出した基板1の表面にゲート絶縁膜3E、4Eを形成する。低電圧インバータ回路のゲート絶縁膜もこの工程にて形成する。低電圧インバータ回路のゲート絶縁膜を薄く形成する場合には、再度低電圧インバータ回路のゲート絶縁膜3E、4Eを除去後、再度ゲート絶縁膜を形成する。高電圧インバータ回路のゲート絶縁膜は200〜2000Å、低電圧インバータ回路のゲート絶縁膜は100〜400Åの膜厚である。
【0030】
次に、基板1の表面にゲート電極となるポリシリコン膜を形成する。通常のフォトリソグラフィー技術でポリシリコン膜をパターニングしてゲート絶縁膜の上にゲート電極3F、4Fを形成する。この時に、低電圧インバータ回路のゲート電極も同時に形成する。
【0031】
次に、図示しないが、フィールド酸化膜ゲート電極及びレジスト膜をマスクとしてN型不純物であるヒ素元素をイオン注入してLVNMOSFET及びHVNMOSFETの濃いソース・ドレイン領域を形成する。さらに、図示しないが、フィールド酸化膜、ゲート電極及びレジスト膜をマスクとしてP型不純物であるボロン元素を1015atoms /cm2 以上の量でイオン注入してLVPMOSFET及びHVPMOSFETの濃いソース・ドレイン領域を形成する。次に、中間絶縁膜として5000Åの酸化膜を形成後、配線とコンタクトすべき中間絶縁膜の領域にレジスト膜をマスクとしてコンタクトホールを形成する。コンタクトホール上に配線としてのアルミ膜をパターンニングする。保護膜であるプラズマシリコンチッ化膜を形成して図1のような半導体装置ができる。
【0032】
図6は、本発明の半導体装置の電気回路図である。
低電圧インバータ回路を含む出力高電圧インバータ回路の制御回路51と、制御回路51の出力電圧である低電源電圧を高電源電圧に変換するレベルシフト回路52と、レベルシフト回路52の出力によって制御される高電圧インバータ回路54と、高電圧インバータ回路54の出力に接続した出力パッド端子53から構成されている。制御回路は5Vの低電圧電源よにり駆動されている。レベルシフト回路52及び高電圧インバータ回路54は40Vの高電圧電源VDDH により駆動されている。出力パッド端子53からは0〜40Vの電圧が供給されて液晶に印加される。高電圧インバータ回路54は、電源VDDH とVSSラインとの間にHVPMOSFETのTPとHVNMOSFETのTNとが直列に接続されている。
【0033】
つぎに、本発明の別の実施例を図面に基づいて説明する。
図7は、本発明の半導体装置子の断面図である。
この実施例は、P型シリコン基板101の表面に設けられN型MOSFETである。原理的に、シリコン基板101は別の基板上に設けられた薄膜でもよい。
【0034】
P型基板101の表面に互いに離れてN型ソース領域102とドレイン領域103が設けられている。ソース領域102とドレイン領域103との間の基板101の表面がチャネル形成領域となる。さらに、ソース領域とドレイン領域103とから離れて基板表面にN型ゲート領域107が設けられている。ゲート領域107及びチャネル形成領域の上にはゲート酸化膜104を介して中間ゲート電極105が設けられている。ゲート領域107に電圧を印加することにより、ソース領域102とドレイン領域103との間に流れるチャネル電流を制御する。ゲート領域107と中間ゲート電極105との間の容量をCG 、中間ゲート電極105の周囲の全容量をCT とすると、中間ゲート電極105の電圧VMGは次式のようになる。
【0035】
VMG=CG /CT ・VG +CD /CT ・VD ・・・(1)
VG はゲート領域107への印加電圧であり、VD はドレイン領域103への印加電圧である。CD は中間ゲート電極105とドレイン領域103との間の容量である。また、CT は次式のようになる。
【0036】
CT =CG +CS +CD +CCH+α・・・(2)
CS 及びCCHはそれぞれ中間ゲート電極105に対するソース領域102とチャネル形成領域との間の容量である。αは、中間ゲート電極と他の領域(例えば基板との間の寄生容量、後の実施例に述べる電圧リセット手段との間の容量)との間の容量てある。
【0037】
(1)式より、中間ゲート電極105の電圧VMGは印加電圧VG に対して容量結合比により分割減少される。例えば、CG/CT=0.5、CG=CDとすれば、VMG=1/2VGとなる。この場合、ゲート酸化膜104への電圧は印加電圧の半分になる。従って、CG/CT<0.55に設計することにより、ゲート酸化膜の膜厚を従来の50%まで薄膜化できる。CG/CTの値を0.5から1または0に近づけるにつれ、ゲート領域107と中間ゲート電極との間のゲート絶縁膜、または、チャネル形成領域と中間ゲート電極105との間のゲート絶縁膜のいづれか一方に.電圧が集中して印加される。従って、CG/CT=0.5±0.1の範囲に設計することが薄膜化のために適している。
【0038】
図8は、同一基板上に形成した低電圧駆動MISFETの断面図である。図7が高電圧駆動MOSFETであったのに対して、図8の低電圧駆動MOSFETは、ゲート電極131への印加により直接チャネル形成領域を制御している。ゲート絶縁膜104は、高電圧駆動MOSFETのゲート絶縁膜と同じ工程で形成している。従って、膜厚は同じである。例えば、図8の低電圧駆動MOSFETは、ゲート電極131に電源電圧3Vが印加される場合、ゲート酸化膜104は100Aに形成している。同一基板101の上に図8の高電圧駆動MOSFETとして、ゲート酸化膜100Aで駆動電圧5V以上の印加が可能になる。
【0039】
図9は、本発明の半導体装置を、安定動作行うために電圧セット手段を設けた実施例を施す電気回路図である。破線141が図7のMOSFETを示し、破線142が電圧セット手段であり、通常のMOSFETを用いた場合が示されている。図7の半導体装置においては、容量結合により、ゲート領域107への印加電圧により、中間ゲート電極105を介して間接的にチャネル形成領域のインピータンスを制御する。従って、中間ゲート電極105に周囲の領域から電荷が注入されるとチャージアップ現象により動作が不安定になる。そこで、図9に示すように、中間ゲート電極に電圧セット手段を接続して設けることによりチャージアップ現象による不安定動作を防止することができる。即ち、OFF時には、中間ゲート電極の電圧を電圧セット手段により接地状態にする。ON時に電圧セット手段のMOSFETをOFFすることにより、ゲート領域の印加電圧により安定動作することができる。
【0040】
ところで、本発明の高電圧駆動MISFET(HVMISFETと略す)と低電圧駆動MISFET(LVMISFETと略す)とは実効的な単位面積当りの電気容量が異なるためにゲート領域に対する閾値電圧が異なってしまう。
従って、閾値電圧を制御するためには、各々に対して別々のチャネル形成領域への不純物領域導入により制御する。しかし、次の方法により、一回の不純物導入工程により、同時に各々のMISFETの閾値電圧を制御することができる。
【0041】
図10(A)及び図10(B)は本発明のHVMISFETの中間ゲート電極部の平面図と断面図である。図10(B)は図10(A)のA−A’線に沿った断面図である。中間ゲート電極105は図示しないが図7のようにゲート領域と容量結合して設けられている。中間ゲート電極105の下の基板101の表面のソース領域102とドレイン領域103との間のチャネル形成領域には、複数のP型の不純物が導入された閾値制御用不純物領域151が複数設けられている。不純物領域151は幅W、間隔Lでチャネル幅方向に平行に複数設けられている。パターン152は不純物領域をイオン注入によりチャネルドープにより形成する場合のレジストマスクパターンに対応している。一方、LVMISFETに対する不純物領域151のパターンは図11(A)、図11(B)のようになっている。図11(B)は図11(A)のB−B’線に沿った断面図である。ゲート電極131の下の基板101の表面であるチャネル形成領域には全面にわたって不純物領域151が設けられて閾値電圧をエンハンス側に制御している。HVMISFETとLVMISFETの不純物領域151は同一工程で同時に形成される。HVMISFETの不純物領域151はチャネル形成領域の一定割合しか形成されていないために全面形成の場合に比べ閾値制御幅が小さくなる。即ち、チャネル形成領域の全面積に対する不純物領域151の面積を変化することにより閾値電圧を制御することができる。不純物領域151の面積比を適当に選択することにより一回の不純物導入工程だけでHVMISFETとLVMISFET両方の閾値制御を行うことができる。不純物領域151の幅W、間隔Lは少なくとも一方が4μm以下の小さいパターンが望ましい。一般的には2μm以下が望ましく、微細化技術があれば1μm以下がトランジスタの電気特性から最も望ましい。
【0042】
図10は、不純物形成領域151をチャネル幅方向に平行に複数設けた場合の実施例である。図12は、HVMISFETの別の実施例である。不純物領域151をチャネル長方向に平行に複数設けてある。図13、図14は本発明のHVMISFETの別の実施例の平面図である。不純物領域151をドット状に複数設けてある。
【0043】
図10、図12、図13及び図14いづれのHVMISFETの実施例においても、不純物領域の幅W、間隔Lの少なくともいづれかは最大4μm、一般的には2μm以下、望ましくは1μm以下の微小パタ−ンである。HVMISFETのチャネル形成領域を不純物領域の面積比で制御することにより一回の不純物導入工程によりHVMISFETとLVMISFETの各々の閾値電圧を同時に制御できる。
【0044】
制御した閾値電圧は、ほぼ等しく制御することもできる。または、HVMISFETの閾値電圧をLVMISFETより約0.1〜0.3V程度エンハンス側に制御することも容易である。また、閾値電圧は、(1)式よりCG/CTの関数になる。従って、2種類以上のCG/CT、即ち、2種類以上のHVMISFETが同一基板上に設けられている場合においても、各々のHVMISFETの不純物領域の面積比を制御することによりほぼ同じ値の閾値電圧に制御することができる。
【0045】
本発明の半導体装置においては、(1)式から理解できるように中間ゲート電極105の電位VMGはドレイン電圧VDの関数である。一般的なMISFETの場合、ドレイン電流はドレイン電圧に対して飽和特性を示す。しかし、本発明の半導体装置においては、ドレイン電圧VDの増加とともにVMGも増加す
るために飽和特性が悪くなる。また、ゲート領域107への印加電圧VGがゼロバイアスにおいても、ドレイン電圧VDに高電圧を印加すると、VMGが閾値電圧より大きくなりOFFリーク電流が流れてしまう問題がある。図15は、ドレイン電圧VDによりVMGが影響されにくくした本発明の半導体装置の実施例の断面図である。P型基板101の表面の高濃度のN型ドレイン領域103とチャネル形成領域との間にN型の低濃度ドレイン領域161が設けられている。中間ゲート電極105とゲート絶縁膜104を介してオーバーラップして基板101の表面に設けられたドレイン領域を低濃度不純物領域で形成することにより、(1)式のCDを小さくすることができる。即ち、ドレイン領域103にドレイン電圧VDを印加した場合、中間ゲート電極105の真下の低濃度ドレイン領域161の表面は空乏化する。従って、中間ゲート電極105と低濃度ドレイン領域161との間の絶縁膜はゲート絶縁膜と空乏層とから構成されるためにCDがより小さくなる。通常、低濃度ドレイン領域161の表面濃度は、空乏化するための値として1016atoms/cm3 〜1018atoms/cm3 に設定される。図15のように、高濃度ドレイン領域103を包むようにして別の低濃度ドレイン領域162を設けることにより、ドレイン耐圧もより増加することができる。図15に示すようにCD<CSとよりCDを小さくすることにより、中間ゲート電極105の電圧VMGドレイン電圧VDにより影響される量を小さくすることができる。即ち、中間ゲート電極105がドレイン領域の容量結合により低耐圧化、OFFリークの増大さらに短チャネル効果の増大を防ぐことができる。また、図15の実施例においては、中間ゲート電極105とドレイン領域との間の絶縁膜をフィールド絶縁膜106で形成している。フィールド絶縁膜106はゲート絶縁膜104に比べ10倍以上厚く形成されているために、CDは1/10以下に減少できる。図15の実施例のようにドレイン領域を低濃度にするとともに、ドレイン領域161の上の絶縁膜をゲート絶縁膜104より厚く形成することにより一桁以上CDを小さく容易にできる。図15の実施例の場合、ソース領域102は一般的な構造であるが、チャネル長制御のために、ソース領域102をドレイン領域と対象構造に形成してもよい。(1)式から理解できるようにCDが減少することが効果をもたらす。ソース領域もドレイン領域と同じ構造にすることによりCSが減少する。CSを減少することにより、CG/Gをより制御性高く形成できる効果がある。
【0046】
図16は本発明の半導体装置の別の実施例の断面図である。高濃度N型不純物領域から成るゲート領域107を包むようにして低濃度N型不純物領域から成る高耐圧用ゲート領域163が設けられている。高濃度N型ゲート領域107と基板101との間に低濃度N型ゲート領域をはさむことにより、ゲート領域107と基板101との間の低耐圧特性を改善することができる。ゲート領域107の耐圧は、低濃度ゲート領域163とP型基板101との間の耐圧により決まる。その耐圧は容易に100V以上の高耐圧を得ることができる。
【0047】
図17は、ゲート領域を中間ゲート電極の上に絶縁膜を介して設けた本発明の半導体装置の別の実施例の断面図である。即ち、P型シリコン基板101の表面に互いに離れてN+ 型のソース領域102とドレイン領域103が設けられている。ソース領域102とドレイン領域103との間の基板101の表面であるチャネル形成領域の上に第1のゲート絶縁膜104を介して中間ゲート電極105が設けられている。さらに、中間ゲート電極105の上に第2のゲート絶縁膜104Aを介してゲート領域(電極)107Aが設けられている。ゲート領域107Aは第2のゲート絶縁膜104Aにより形成される容量により、中間ゲート電極と容量結合している。従って、ゲート領域107Aに電圧を印加することにより、中間ゲート電極の電位を制御してソース領域102とドレイン領域103との間のチャネルインピーダンスを変化することができる。即ち、通常の電界効果トランジスタとして動作することができる。図17の半導体装置の断面図は、一般的に良く知られた浮遊ゲート型不揮発性メモリと似ているが、中間ゲート電極105が電圧セット手段と接続(図17には.図示されていない)している点が大きく異なっている。本発明の半導体装置は不揮発性メモリとして動作することは困難であり、通常の駆動用トランジスタ、論理回路用のトランジスタ、または、アナログ回路用のトランジスタに適している。ゲート領域107Aを図17のように中間ゲート電極105の上に設けた場合には、ゲート領域107Aの寄生容量を図7の実施例に比べ小さくできる。ゲート領域を基板101の表面に形成した場合には、ゲート領域と基板との間に接合容量が形成されるために高速動作には適さない。また、図17の実施例においては、中間ゲート電極105の面積を小さくできるために、高集積化に適している。また、中間ゲート電極105の寄生容量も小さくできるために電気的特性を精度高く制御できる。
【0048】
図18は、ゲート領域を複数設けた場合の本発明の半導体装置の実施例の断面図てある。ゲート領域107C、107Dの2つのゲート領域が中間ゲート電極105の上に設けられている。各々のゲート領域は中間ゲート電極105に対して並列に容量統合して設けられている。従って、中間ゲート電極105の電位は各々のゲート領域107C、107Dの両方のゲート領域によって制御される。一方のゲート領域の電圧を変化することにより、他のゲート領域に対する電気特性(ゲート電圧に対するチャネルインピーダンスの変化)を変えることができる。即ち、一方のゲート領域への印加電圧値により、他のゲート領域に対するトランジスタの閾値電圧を変化することができる。言いかたを変えれば、トランジスタの閾値電圧を複数のゲート領域を有することにより調整する(一定値に合せ込むこと及び複数種の閾値電圧を有するトランジスタを設けることを含む)ことができる。従って、高精度の閾値電圧が必要なアナログ回路、または、複数種の閾値電圧を有するアナログ回路のトランジスタに適している。
【0049】
図19は、複数のゲート領域を設けた実施例において、さらに、閾値電圧等の電気特性を広範囲で高精度に調整できるようにした本発明の半導体装置の断面図である。中間ゲート電極105に接続した電圧セット手段は図示されていないが同様に設けられている。
【0050】
図19のゲート領域107E、107F及び107Gは互いに異なる面積で中間ゲート電極105の上に設けられている。各々のゲート領域と中間ゲート電極105との容量は例えば1:2:4のように指数関数的に重みづけされて並列に設けられている。指数関数的に重みづけして複数設けることにより特定ゲート領域に対する電気特性を広範囲に高精度で調整できる。
【0051】
図20は、電圧セット手段を薄膜トランジスタで形成した場合の本発明の半導体装置の断面図である。中間ゲート電極105は薄膜トランジスタと同一薄膜で形成するために多結晶シリコン膜で形成されている。中間ゲート電極105はフィールド絶縁膜106の上まで延長されている。中間ゲート電極105はN+ 型にドーピングされている。中間ゲート電極105と同一薄膜にチャネル形成領域151及びN+ 型ドレイン領域152が設けられている。チャネル形成領域151の上にはゲート絶縁膜153を介して薄膜トランジスタのゲート電極154が設けられている。チャネル形成領域151はゲート電極154への印加電圧により反転できるように低濃度領域に形成されている。図20の実施例においては、薄膜トランジスタのゲート絶縁膜153およびゲート電極154をチャネル形成領域151の上に設けたが、下側に設けてもよい。図20に示すように、中間ゲート電極105を薄膜トランジスタのソース領域として接続することにより、中間ゲート電極105の電位をゲート電極154とドレイン領域152への電圧によりセットすることができる。通常、ドレイン領域152へ0Vを印加して中間ゲート電極105の電位を0Vにセットした後に、ゲート領域107へ電圧を印加してソース領域102とドレイン領域103との間のチャネルインピーダンスを制御する。
【0052】
図21は、ゲート領域を中間ゲート電極105の上に第2のゲート絶縁膜104Aを介した場合の本発明の半導体装置の実施例の断面図である。中間ゲート電極105を形成した薄膜を延在して薄膜トランジスタから成る電圧セット手段が設けられている。電圧セット手段として薄膜トランジスタを用いることにより、中間ゲート電極105と電圧セット手段との間に形成される寄生容量を小さくできる結果、ゲート領域107の電位によって効果的に中間ゲート電極105の電位を制御することが可能になる。
【0053】
【発明の効果】
本発明の半導体装置及びその製造方法は以下の効果を有する。
(1)製造が簡単である。
(2)製造が期間が短い。
(3)製造コストが低い。
(4)ゲート絶縁膜の薄膜化
(5)高耐圧MISFETと低耐圧MISFETとのゲート絶縁膜の統一化による製造コストの減少と製造TATの改善。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体装置の断面図である。
【図2】従来の半導体装置の断面図である。
【図3】従来の半導体装置の断面図である。
【図4】本発明の半導体装置の断面図である。
【図5】本発明の半導体装置の各製造工程に沿った断面図である。
【図6】本発明の半導体装置の電気回路図である。
【図7】本発明の半導体装置の断面図である。
【図8】本発明の半導体装置の断面図である。
【図9】本発明の半導体装置の電気回路図である。
【図10】(A)図は、本発明の高電圧駆動MISFETの中間ゲート電極まわりの平面図であり、(B)図は、(A)図のA−A’線に沿った断面図である。
【図11】(A)図は、本発明の低電圧駆動MISFETの平面図であり、(B)図は、(A)図のB−B’線に沿った断面図である。
【図12】本発明の高電圧駆動MISFETの別の実施例の平面図である。
【図13】本発明の高電圧駆動MISFETの別の実施例の平面図である。
【図14】本発明の高電圧駆動MISFETの別の実施例の平面図である。
【図15】本発明の半導体装置の別の実施例の断面図である。
【図16】本発明の半導体装置の別の実施例の断面図である。
【図17】本発明の半導体装置の別の実施例の断面図である。
【図18】本発明の半導体装置の別の実施例の断面図である。
【図19】本発明の半導体装置の別の実施例の断面図である。
【図20】本発明の半導体装置の別の実施例の断面図である。
【図21】本発明の半導体装置の別の実施例の断面図である。
【符号の説明】
1 P型シリコン基板
2 Nウェル
5 フィールド酸化膜
6 フィールドドープ領域
52 レベルシフト回路
54 高電圧インバータ回路
Claims (9)
- 第1導電型の半導体基板の表面に互いに離れて設けられた第2導電型のソース・ドレイン領域と、前記ソース領域と前記ドレイン領域との間の前記半導体基板の表面であるチャネル形成領域と、前記ソース・ドレイン領域および前記チャネル形成領域とはフィールド絶縁膜を介して分離された前記半導体基板の表面に形成された第2導電型のゲート領域と、前記ゲート領域及び前記チャネル形成領域の上にゲート絶縁膜を介して設けられた中間ゲート電極と、前記中間ゲート電極をフィールド絶縁膜上に延伸した領域に設けられた低濃度領域である第2のチャネル形成領域と、前記第2のチャネル形成領域に接して配置された第2導電型の第2のドレイン領域と、前記第2のチャネル形成領域の上に第2のゲート絶縁膜を介して設けられたゲート電極とからなる半導体装置。
- 第1導電型の半導体基板の表面に互いに離れて設けられた第2導電型のソース・ドレイン領域と、前記ソース領域と前記ドレイン領域との間の前記半導体基板の表面であるチャネル形成領域と、前記チャネル形成領域の上にゲート絶縁膜を介して設けられた中間ゲート電極と、前記中間ゲート電極と第2のゲート絶縁膜を介して容量的に結合するように設けられたゲート領域と、前記中間ゲート電極をフィールド絶縁膜上に延伸した領域に設けられた低濃度領域である第2のチャネル形成領域と、前記第2のチャネル形成領域に接して配置された第2導電型の第2のドレイン領域と、前記第2のチャネル形成領域の上に第2のゲート絶縁膜を介して設けられたゲート電極とからなる半導体装置。
- 前記チャネル形成領域に閾値制御用不純物領域が複数設けられている請求項1あるいは2に記載の半導体装置。
- 前記チャネル形成領域に閾値制御用不純物領域が複数設けられているとともに、前記閾値制御用不純物領域のチャネル幅方向またはチャネル長方向いずれかの長さが2μm以下である請求項1あるいは2に記載の半導体装置。
- 前記ドレイン領域と前記中間ゲート電極との間のキャパシタンス容量CD が前記ソース領域と前記中間ゲート電極との間のキャパシタンス容量CS より小さい値である請求項1あるいは2に記載の半導体装置。
- 第2導電型の高濃度領域から成る第1のドレイン領域と、前記第1のドレイン領域と前記チャネル形成領域との間に設けられた第2導電型の低濃度領域から成る第2のドレイン領域とから前記ドレイン領域が構成されている請求項1あるいは2に記載の半導体装置。
- 前記ドレイン領域と前記中間ゲート電極との間の絶縁膜が前記ゲート絶縁膜より厚く形成されていることを特徴とする請求項1あるいは2に記載の半導体装置。
- 前記ゲート領域を包むように前記ゲート領域と同じ導電型の低濃度領域から成る高耐圧用ゲート領域を設けた請求項1記載の半導体装置。
- 前記ゲート領域が複数設けられているとともに、各々の前記ゲート領域と前記中間ゲート電極との間の各々の容量が異なる値である請求項2記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002239397A JP3848604B2 (ja) | 1995-07-24 | 2002-08-20 | 半導体装置とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (13)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18754395 | 1995-07-24 | ||
JP22507595 | 1995-09-01 | ||
JP23978895 | 1995-09-19 | ||
JP23978795 | 1995-09-19 | ||
JP7-187543 | 1995-10-20 | ||
JP7-273130 | 1995-10-20 | ||
JP27313095 | 1995-10-20 | ||
JP27312995 | 1995-10-20 | ||
JP7-225075 | 1995-10-20 | ||
JP7-239788 | 1995-10-20 | ||
JP7-273129 | 1995-10-20 | ||
JP7-239787 | 1995-10-20 | ||
JP2002239397A JP3848604B2 (ja) | 1995-07-24 | 2002-08-20 | 半導体装置とその製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17689496A Division JP3380117B2 (ja) | 1995-07-24 | 1996-07-05 | 半導体装置とその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003142600A JP2003142600A (ja) | 2003-05-16 |
JP3848604B2 true JP3848604B2 (ja) | 2006-11-22 |
Family
ID=27566415
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002239397A Expired - Fee Related JP3848604B2 (ja) | 1995-07-24 | 2002-08-20 | 半導体装置とその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3848604B2 (ja) |
-
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- 2002-08-20 JP JP2002239397A patent/JP3848604B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003142600A (ja) | 2003-05-16 |
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RD01 | Notification of change of attorney |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060224 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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|
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