JP3847204B2 - 加工方法と加工装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、フリップフロップなどを基板へ熱圧着する場合に使用される保護シートの送り制御に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
フリップチップを基板に実装する場合には、基板の実装部位にＡＣＦシートを介してフリップチップを載置し、熱圧着して基板の実装部位とフリップチップの電極とをＡＣＦシートに混入されている導電粒子を介して接続している。
【０００３】
この実装工程は図８（ａ）〜（ｄ）に示すように実行される。
図８（ａ）では、図９（ａ）に示すように基板１の実装部位に仮圧着されたＡＣＦシート２の上に、フリップチップ３をこのフリップチップのバンプ４を基板パターン５に位置合わせして載置する。
【０００４】
図８（ｂ）（ｃ）では、保護シート６を介してフリップチップ３にヒーターツールのヘッド７を押圧してＡＣＦシート２を軟化させて、図９（ｂ）に示すようにフリップチップ３と基板パターン５とを導通させ、ＡＣＦシート２が硬化して図８（ｄ）のように実装が完了する。
【０００５】
この際の保護シート６は、図９（ｂ）に示すように軟化してフリップチップ３の周囲からはみ出したＡＣＦ樹脂２がヘッド７へ付着することを防止している。この保護シート６は、上記のように実装に使用してＡＣＦ樹脂が付着した部分を再使用しないように、ヘッド７が昇降の度にシート送りされる。
【０００６】
生産ラインでは、図１０に示すように多数の実装部位８を有するマザーボード１０に対して図１１に示すように帯状の保護シート６をヘッド７の配列方向に間欠移送するように架張し、加工装置は、並列配置されたヒーターツール１１ａ，１１ｂを有するマルチヘッド装置１２を使用して、ヘッド７の昇降の度に複数の実装処理が完了させることが、生産性の点で好ましい。
【０００７】
この場合の保護シート６は、ヘッド７Ａ，７Ｂが昇降の度に矢印１３方向に所定ピッチだけ間欠移送して交換される。この場合の保護シート６の移送と使用済みエリアの関係の一例を図１２で説明する。
【０００８】
図１２では、ヘッド７Ａ，７Ｂが２つの場合を示している。
マザーボード１０にＡＣＦシート２を介して仮圧着された加工対象物であるフリップチップ３を、降下したヘッド７Ａ，７Ｂが保護テープ６を介して押圧すると、図１２（ａ）に示すようにヘッド７Ａが当接したＡ１個所とヘッド７Ｂが当接したＢ１個所とが保護シート６の使用済み個所となる。
【０００９】
ヘッド７Ａ，７Ｂが上昇して再び降下するまでの間には、マザーボード１０の加工対象物の別のフリップチップ３がヘッド７Ａ，７Ｂの下方位置に到着するようにワーク搬送装置１４がマザーボード１０を移動させ、また、保護シート６のシート送りを１ピッチ実施する。ここで従来のシート送りの１ピッチとは、ツール長さである前記ヘッド７Ａ，７Ｂのシート送り方向の長さより僅かに長い程度の長さである。
【００１０】
降下したヘッド７Ａ，７Ｂが保護テープ６を介して押圧すると、図１２（ｂ）に示すようにヘッド７Ａが当接したＡ２個所とヘッド７Ｂが当接したＢ２個所とが保護シート６の使用済み個所となる。
【００１１】
このようにして加工処理を繰り返していくと、図１２の場合には、図１２（ｄ）に示すように保護シート６の使用済みであるＡ１個所がヘッド７Ｂの下方位置に到来する。そのため、保護シート６の使用済みのＡ１個所を使用しないように、図１２（ｃ）に次いでは、保護シート６をシート送りを１ピッチとするのではなくて、図１２（ｅ）に示すように、この例では４ピッチ分だけシート送りして、保護シート６のＡ３個所の上手側のポジションをヘッド７Ｂの下方位置に到着させる事が必要である。
【００１２】
保護シート６のシート送りが変則的になる状態とワーク搬送装置１４がマザーボード１０を毎回移動する基板位置決め時間とを、ヘッド７Ａ，７Ｂによる加圧動作と共に併記したタイムチャートの例が図１３である。
【００１３】
図１３では１ピッチのシート送り時間が０．５秒、ワーク搬送装置１４がマザーボード１０を移動させるのに必要とする基板位置決め時間が２秒、ヘッド７Ａ，７Ｂによる加圧時間を１０秒とすると、加圧４回の所要時間は、５０．５秒である。ここでは４回中３回は位置決め、１回はシート送りを待って加圧する。この場合のシート送り時間合計は６秒である。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
図１３を見て分かるように、４ピッチ分だけシート送りしている変量期間１５には、２秒の基板位置決め時間が完了してから２．５秒の待ち時間が発生し、次いでヘッド７Ａ，７Ｂが加圧動作を実行するまでに２．５秒の遅れが発生する。
【００１５】
本発明は、繰り返しの加工処理の場合にシート送りに伴う作業待ち時間を短縮して、生産性の向上を期待できる加工方法を提供することを目的とする。
また、保護シートの使用長を低減して保護シートの掛け替え作業の低減を実現して連続運転を可能にし、生産性の向上を期待できる加工方法を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明の加工方法は、基板位置決め動作などの準備期間が完了するまでは保護シートの送りが完了しても、次の加工処理を開始することができない待ち時間となることに着目し、繰り返しの加工処理の場合のシート送りを従来のような１ピッチの数回の移送の後に多ピッチの移送をすることによる待ち時間を減少させることを特徴とする。
【００１７】
本発明の請求項１記載の加工方法は、列状に並べられた加工対象物に対し、保護シートを介して前記列方向に一定間隔で配置された複数のヘッドで押圧する工程と、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、かつ前記ヘッドは、列方向の長さがＬで、前記列方向に一定間隔ｐでｎ個が配置され、 ｎ・Ｌ 以上でｐ・（ｎ−１）＋Ｌ より小さい長さ分だけ前記保護シートを前記列方向に毎回送ることを特徴とする。
【００１９】
本発明の請求項２記載の加工方法は、請求項１において、ｐ／Ｌ ≧ ｃ を満足する最大の整数 ｃ と前記 ｎ とが互いに素の関係であり、ｐ・（ｎ ／ ｃ）の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送ることを特徴とする。
【００２０】
本発明の請求項３記載の加工方法は、請求項１において、ｐ／Ｌ ≧ ｃ を満足する最大の整数 ｃ と前記 ｎ とが互いに素の関係でなく、 ｎ と互いに素の関係でかつ ２ ≦ ｃ2 ＜ ｃ を満足する最大の整数をｃ２とし、ｐ・（ｎ／ｃ２） の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送ることを特徴とする。
【００２１】
本発明の請求項４記載の加工方法は、請求項１において、ｐ／Ｌ ≧ ｃ を満足する最大の整数 ｃ と前記 ｎ とが互いに素の関係でなく、c と互いに素の関係でかつ ｎ ＜ ｎ２ を満足する最小の整数を ｎ２とし、ｐ・ｎ２／ｃ の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送ることを特徴とする。
【００２２】
本発明の請求項５記載の加工方法は、請求項１において、ｐ／Ｌ ≧ ｃ を満足する最大の整数 ｃ と前記 ｎ とが互いに素の関係でなく、ｎ と互いに素の関係でかつ ２ ≦ ｃ２＜ ｃ を満足する最大の整数をｃ２、ｃと互いに素の関係であり、かつ ｎ ＜ ｎ２ を満足する最小の整数を ｎ２ とし、ｐ・（ｎ／ｃ２）とｐ・（ｎ２／ｃ） のうち小である方の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送ることを特徴とする。
【００２３】
本発明の請求項６記載の加工方法は、列状に並べられた加工対象物に対し、保護シートを介して前記列方向に一定間隔ｐで配置されたｎ個（ｎは２以上）のヘッドで押圧する工程と、前記ヘッドの前記列方向と直交する方向の長さをｋとしたときに、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、前記保護シートを前記列方向からtan−１（ｋ／ｐ）以上傾けて送る工程とを有することを特徴とする。
【００２４】
本発明の請求項７記載の加工装置は、シート送り機構と、この保護シートを介して加工対象物に対して押圧する一定間隔ｐで配置されたｎ個（ｎは２以上）のヘッドと、シート送りを制御する制御手段とを有し、この制御手段が、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、かつ前記ヘッドは列方向の長さがＬで、前記列方向に一定間隔ｐでｎ個が配置され、制御手段が ｎ・Ｌ以上で ｐ・（ｎ−１）＋Ｌ より小さい長さ分だけ前記保護シートを前記列方向に毎回送ることを特徴とする。
【００２６】
本発明の請求項８記載の加工装置は、シート送り機構と、この保護シートを介して加工対象物に対し押圧する一定間隔ｐで配置されたｎ個（ｎは２以上）のヘッドと、シート送りを制御する制御手段とを有し、この制御手段が、前記ヘッドの配列された方向と直交する方向の長さをｋとしたときに、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、前記保護シートを前記ヘッドの配列方向からtan−１（ｋ／ｐ）以上傾けて送ることを特徴とする。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の加工方法を具体的な実施の形態を示す図１〜図７に基づいて説明する。
【００２８】
なお、先の従来例と同様の作用を成すものには同一の符号を付けて説明する。
（実施の形態１）
先の従来例で示したような繰り返しの加工処理の場合に、シート送り時間を短縮して生産性の向上を期待できる第１の発明の加工方法を実現する（実施の形態１）の加工装置は、保護シート６の移送制御とマザーボード１０の位置決め制御を実行する制御装置の構成だけが先の従来例とは異なっている。
【００２９】
（実施例１）
図１と図７は（実施の形態１）のヘッドの数：ｎ＝２の場合を示している。
列状に並べられた加工対象物であるフリップチップ３に対し、保護シート６を介して前記列方向に一定間隔のピッチ：ｐで配置されたヘッド７Ａ，７Ｂで押圧するこの加工装置の制御手段は、次のように構成されている。
【００３０】
ヘッド７Ａ，７Ｂの列方向の長さ：Ｌ、ピッチ：ｐの長さの保護シート６で使用可能回数：ｃとし、ｃ＝３の場合を示している。なお、ｃ＝３とは、
Ｌ・３ ≦ ｐ ＜ Ｌ・４
である。
【００３１】
この場合には、毎回のシート送り量：ｆを次のように実行するように制御手段が構成されている。
図１（ａ）に示すように第１回目の加工処理では、ヘッド７Ａが当接した保護シート６のＡ１個所とヘッド７Ｂが当接したＢ１個所とが使用済み個所となる。
【００３２】
ヘッド７Ａ，７Ｂが上昇して再び降下するまでの間には、マザーボード１０の加工対象物の別のフリップチップ３がヘッド７Ａ，７Ｂの下方位置に到着するようにワーク搬送装置１４がマザーボード１０を移動させ、また、保護シート６のシート送りとしてシート送り量：ｆだけ矢印１３方向に送る。この場合のシート送り量：ｆは、
ｆ ＝ ｐ・（ ｎ ／ ｃ ）＝ ｐ・（２／３）
である。
【００３３】
第２回目の加工処理で降下したヘッド７Ａ，７Ｂが保護テープ６を介して押圧すると、図１（ｂ）に示すようにヘッド７Ａが当接したＡ２個所とヘッド７Ｂが当接したＢ２個所とが保護シート６の使用済み個所となる。
【００３４】
同様に、マザーボード１０の加工対象物の別のフリップチップ３がヘッド７Ａ，７Ｂの下方位置に到着するようにワーク搬送装置１４がマザーボード１０を移動させ、また、保護シート６を矢印１３方向にシート送り量：ｆ＝ｐ・（２／３）だけ送る。
【００３５】
第３回目の加工処理で降下したヘッド７Ａ，７Ｂが保護テープ６を介して押圧すると、図１（ｃ）に示すようにヘッド７Ａが当接したＡ３個所とヘッド７Ｂが当接したＢ３個所とが保護シート６の使用済み個所となる。
【００３６】
同様に、マザーボード１０の加工対象物の別のフリップチップ３がヘッド７Ａ，７Ｂの下方位置に到着するようにワーク搬送装置１４がマザーボード１０を移動させ、また、保護シート６を矢印１３方向にシート送り量：ｆ＝ｐ・（２／３）だけ送る。
【００３７】
第４回目の加工処理で降下したヘッド７Ａ，７Ｂが保護テープ６を介して押圧すると、図１（ｄ）に示すようにヘッド７Ａが当接したＡ４個所とヘッド７Ｂが当接したＢ４個所とが保護シート６の使用済み個所となる。
【００３８】
このようにヘッド７Ａ，７Ｂの間のピッチ：ｐの長さの保護シート６で使用可能回数：ｃ＝３の作業が完了し、第５回目以降の作業に際しても同様にシート送り量：ｆ＝ｐ・（２／３）の一定長さの移送を実行することによって、保護シート６の他のヘッドで押圧された保護シートの使用済み部分を避けて繰り返しの加工処理を実行できる。
【００３９】
図７は、シート送りが定ピッチ送りで変則的でないこの場合の具体例を示す。
図７では従来よりも長いｆ＝ｐ・（２／３）の一定長さの移送のシート送り時間が１．５秒、ワーク搬送装置１４がマザーボード１０を移動させるのに必要とする基板位置決め時間が２秒、ヘッド７Ａ，７Ｂによる加圧時間を１０秒とすると、加圧４回の所要時間は、４８．０秒である。ここでは４回中４回とも位置決めを待って加圧する。この場合のシート送り時間合計は６秒である。
【００４０】
このように、１回のシート送り時間は図１３の０．５秒に比べて１．５秒とシート送り長さが長くなった分だけ長くなっているが、シート送りの終了時期が基板位置決め動作などの準備期間の終了時期の前になっているので、生産性の悪化もない。
【００４１】
（実施例２）
図２は（実施の形態１）のヘッドの数：ｎ＝３の場合を示している。
ヘッド７Ａ，７Ｂ，７Ｃのピッチ：ｐ、ヘッド７Ａ，７Ｂ，７Ｃの列方向の長さ：Ｌ、ピッチ：ｐの長さの保護シート６で使用可能回数：ｃとし、ｃ＝４の場合を示している。
【００４２】
この場合には、毎回のシート送り量：ｆは、
ｆ ＝ ｐ・（ ｎ ／ ｃ ）＝ ｐ・（３／４）
で図２（ａ）〜（ｄ）に示すように保護シート６を移送する。ここでＣ１個所，Ｃ２個所，Ｃ３個所，Ｃ４個所は、ヘッド７Ｃが第１回目，第２回目，第３回目，第４回目で当接した保護シート６の使用済み個所である。
【００４３】
これによって（実施例１）と同様の効果を期待できる。
（実施例３）
図３は（実施の形態１）のヘッドの数：ｎ＝４の場合を示している。
【００４４】
ヘッド７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄのピッチ：ｐ、ヘッド７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄの列方向の長さ：Ｌ、ピッチ：ｐの長さの保護シート６で使用可能回数：ｃとし、ｃ＝３の場合を示している。
【００４５】
この場合には、毎回のシート送り量：ｆは、
ｆ ＝ ｐ・（ ｎ ／ ｃ ）＝ ｐ・（４／３）
で図３（ａ）〜（ｄ）に示すように保護シート６を移送する。ここでＤ１個所，Ｄ２個所，Ｄ３個所，Ｄ４個所は、ヘッド７Ｄが第１回目，第２回目，第３回目，第４回目で当接した保護シート６の使用済み個所である。
【００４６】
これによって（実施例１）と同様の効果を期待できる。
（実施例４）
図４は（実施の形態１）のヘッドの数：ｎ＝５の場合を示している。
【００４７】
ヘッド７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ，７Ｅのピッチ：ｐ、ヘッド７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ，７Ｅの列方向の長さ：Ｌ、ピッチ：ｐの長さの保護シート６で使用可能回数：ｃとし、ｃ＝２の場合を示している。
【００４８】
この場合には、毎回のシート送り量：ｆは、
ｆ ＝ ｐ・（ ｎ ／ ｃ ）＝ ｐ・（５／２）
で図４（ａ）〜（ｄ）に示すように保護シート６を移送する。ここでＥ１個所，Ｅ２個所，Ｅ３個所，Ｅ４個所は、ヘッド７Ｅが第１回目，第２回目，第３回目，第４回目で当接した保護シート６の使用済み個所である。
【００４９】
これによって（実施例１）と同様の効果を期待できる。
以上のように、ヘッドの列方向の長さがＬで、前記列方向に一定間隔ｐでｎ個が配置されている場合には、
ｎ・Ｌ 以上で ｐ・（ｎ−１）＋Ｌ より小さい長さ分
だけ前記保護シート６を前記列方向に毎回送るように制御しており、（実施例１）〜（実施例４）の場合には、ｐ／Ｌ ≧ ｃ を満足する最大の整数 ｃ と前記ｎ とが互いに素の関係であり、ｐ・ｎ ／ ｃ の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送る。（実施例１）〜（実施例４）ではヘッドの数：ｎが２〜５の一例を説明したが、本発明の加工方法はこの他の組み合わせの場合でも適用することができ、図５にその組み合わせとそれぞれの場合のシート送り量：ｆの決定の仕方を説明する。図５において、
“ｎ＝２” で “ｃ＝３” の場合が先の（実施例１）の場合
“ｎ＝３” で “ｃ＝４” の場合が先の（実施例２）の場合
“ｎ＝４” で “ｃ＝３” の場合が先の（実施例３）の場合
“ｎ＝５” で “ｃ＝２” の場合が先の（実施例４）の場合
である。この他のヘッド数：ｎと使用可能回数：ｃとの組み合わせで、（実施例１）〜（実施例４）と同じように ◎ 印が付けられた使用形態では、
ｆ ＝ ｐ・（ ｎ ／ ｃ ）
によって適正な毎回のシート送り量：ｆを決定できる。
【００５０】
図５において、“ｎ＝４” で “ｃ＝２” の場合のように → 印が付けられた使用形態では、
ｆ ＝ ｐ・（（ｎ＋１） ／ ｃ ）
によって適正な毎回のシート送り量：ｆを決定できる。
【００５１】
図５において、“ｎ＝３” で “ｃ＝３” の場合のように △ 印が付けられた使用形態では、同じヘッド数の欄の上段の ◎ 印である “ｎ＝３” で “ｃ＝２” の場合、または同じｃの欄でヘッド数が多い右側の欄の ◎ 印の
“ｎ＝４” で “ｃ＝３” の場合と同様にして適正な毎回のシート送り量：ｆを決定できる。
【００５２】
ここで言う「同じヘッド数の欄の上段の ◎ 印」の場合とは、ｐ／Ｌ ≧ ｃを満足する最大の整数 ｃ と前記 ｎ とが互いに素の関係でなく、 ｎ と互いに素の関係でかつ ２ ≦ ｃ2 ＜ ｃ を満足する最大の整数をｃ2とし、ｐ・（ｎ／ｃ2 ）の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送る場合である。
【００５３】
また、「同じｃの欄でヘッド数が多い右側の欄の ◎ 印」の場合とは、ｐ／Ｌ ≧ ｃ を満足する最大の整数 ｃ と前記 ｎ とが互いに素の関係でなく、c と互いに素の関係でかつ ｎ ＜ ｎ2 を満足する最小の整数を ｎ2 とし、ｐ・（ｎ2／ｃ） の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送る場合である。
【００５４】
“ｎ＝２” で “ｃ＝６” の場合には、“ｎ＝２” で “ｃ＝５” の場合のシート送り量：ｆを採用するか、または同じｃの欄でヘッド数が多い右側の欄の ◎ 印の場合、このケースの場合には、図５の横欄に △ 印が続いているので、更に右欄を参照して“ｎ＝５” で “ｃ＝６” の場合のシート送り量：ｆを採用する。図５の縦欄に △ 印が続いている場合の見方も同様であって、更に上欄を参照して“ｎ＝１０” で “ｃ＝６” の場合には“ｎ＝１０” で “ｃ＝３” の場合のシート送り量：ｆを採用する。
【００５５】
この △ 印が付されたケースの場合は、次のようにも表現できる。実際のｃの数よりも少ない利用可能回数ｃのケースである
ｆ ＝ ｐ・（ｎ／（ｃ−１））
ｆ ＝ ｐ・（ｎ／（ｃ−２））など
でシート送り量：ｆを計算するか、実際のヘッド数ｎよりも多いヘッド数：ｎのケースである
ｆ ＝ ｐ・（（ｎ＋１）／ｃ）
ｆ ＝ ｐ・（（ｎ＋２）／ｃ）など
でシート送り量：ｆを計算する。
【００５６】
なお、△ 印が付けられた使用形態では、「同じヘッド数の欄の上段の◎印」または「同じｃの欄でヘッド数が多い右側の欄の◎印」の何れかの場合と同様にして適正な毎回のシート送り量：ｆを決定できるとして説明したが、保護シート６の掛け替え作業の低減を実現して連続運転を可能にし、生産性の向上を実現するためには、保護シートの使用長を低減することが有効であって、上記の何れかの場合の小である方の長さ分だけ保護シート６を列方向に毎回送るように制御手段を構成することが好ましい。
【００５７】
このようにして各種パラメータの組み合わせの場合であっても、生産性の向上を期待できる適正な毎回のシート送り量：ｆを決定できる。なお、図５に示す“ｎ＝２” で “ｃ＝２” の場合は本発明の加工方法の適用外である。
【００５８】
（実施の形態２）
図６は保護シートの使用長を低減して保護シートの掛け替え作業の低減を実現して連続運転を可能にし、生産性の向上を期待できる（実施の形態２）の加工方法を実現する加工装置を示す。
【００５９】
従来では図１２に示したように、保護シート６はヘッド７Ａ，７Ｂの配列方向に長手方向が一致するように角度を付けずに架張されていたが、この（実施の形態２）の加工装置を示す図６では、ヘッド７Ａ，７Ｂに対して傾けて架張し、図６（ａ）〜（ｅ）に示すように、ヘッド７Ａが保護シート６に当接して使用済みとなるＡ１個所，Ａ２個所，〜，Ａ５個所，・・・と、ヘッド７Ｂが保護シート６に当接して使用済みとなるＢ１個所，Ｂ２個所，〜，Ｂ５個所，・・・とが重ならないように構成されており、ヘッド７Ａ，７Ｂの上下動に伴う毎回のシート送り量を、従来に比べて低減できる。
【００６０】
詳しくは、ヘッド７Ａ，７Ｂの前記列方向と直交する方向の長さをｋとしたときに、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、前記保護シートを前記列方向からtan-1（ｋ／ｐ）以上傾けて送るように制御手段を構成する。
【００６１】
なお、ここではヘッドの数が２つの場合を例に挙げて説明したが、２以上であっても同様に構成できる。
（実施の形態３）
（実施の形態１）では保護シート６がヘッド７Ａ，７Ｂの配列方向に長手方向が一致するように角度を付けずに架張されていたが、（実施の形態２）に示したように傾けて架張して実施することもできる。
【００６２】
【発明の効果】
以上のように本発明の加工方法によれば、列状に並べられた加工対象物に対し、保護シートを介して前記列方向に一定間隔で配置された複数のヘッドで押圧する工程と、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、かつ前記ヘッドは、列方向の長さがＬで、前記列方向に一定間隔ｐでｎ個が配置され、 ｎ・Ｌ 以上でｐ・（ｎ−１）＋Ｌ より小さい長さ分だけ前記保護シートを前記列方向に毎回送る工程とを有するため、シート送りの終了時期が基板位置決め動作などの準備期間の終了時期の近傍になるように、毎回のシート送りを従来の１ピッチよりも多く移送することによって、作業待ち時間を短縮して、生産性の向上を期待できる。
【００６３】
また、列状に並べられた加工対象物に対し、保護シートを介して前記列方向に一定間隔ｐで配置されたｎ個（ｎは２以上）のヘッドで押圧する工程と、前記ヘッドの前記列方向と直交する方向の長さをｋとしたときに、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、前記保護シートを前記列方向からtan-1（ｋ／ｐ）以上傾けて送る工程とを有するため、保護シートの使用長を低減して保護シートの掛け替え作業の低減を実現して連続運転を可能にし、生産性の向上を期待できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の（実施の形態１）の２ヘッドの場合のシート送りの説明図
【図２】同実施の形態の３ヘッドの場合のシート送りの説明図
【図３】同実施の形態の４ヘッドの場合のシート送りの説明図
【図４】同実施の形態の５ヘッドの場合のシート送りの説明図
【図５】同実施の形態の具体的な実施例のマトリクス図
【図６】本発明の（実施の形態２）の加工装置の説明図
【図７】本発明の（実施の形態１）の加工方法の説明図
【図８】加工作業例の工程図
【図９】同作業例のフリップチップ実装状態の断面図
【図１０】同作業例のワークと複数のヘッドの斜視図
【図１１】従来の加工装置の構成図
【図１２】従来のシート送り過程の説明図
【図１３】従来の加工方法の説明図と本発明の（実施の形態１）の加工方法の説明図
【符号の説明】
２ ＡＣＦシート
３ フリップチップ
４ バンプ
５ 基板パターン
６ 保護シート
７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ，７Ｅ ヘッド
８ 実装部位
１０ マザーボード
１１ａ，１１ｂ ヒーターツール
１２ マルチヘッド装置
１３ 移送方向
１４ ワーク搬送装置
ｎ ヘッドの数
Ｌ ヘッドの列方向の長さ
ｐ ヘッドのピッチ
ｃ ヘッドのピッチｐの長さの保護シート６での使用可能回数
ｆ 毎回のシート送り量
ｋ ヘッドの列方向と直交する方向の長さ
【発明の属する技術分野】
本発明は、フリップフロップなどを基板へ熱圧着する場合に使用される保護シートの送り制御に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
フリップチップを基板に実装する場合には、基板の実装部位にＡＣＦシートを介してフリップチップを載置し、熱圧着して基板の実装部位とフリップチップの電極とをＡＣＦシートに混入されている導電粒子を介して接続している。
【０００３】
この実装工程は図８（ａ）〜（ｄ）に示すように実行される。
図８（ａ）では、図９（ａ）に示すように基板１の実装部位に仮圧着されたＡＣＦシート２の上に、フリップチップ３をこのフリップチップのバンプ４を基板パターン５に位置合わせして載置する。
【０００４】
図８（ｂ）（ｃ）では、保護シート６を介してフリップチップ３にヒーターツールのヘッド７を押圧してＡＣＦシート２を軟化させて、図９（ｂ）に示すようにフリップチップ３と基板パターン５とを導通させ、ＡＣＦシート２が硬化して図８（ｄ）のように実装が完了する。
【０００５】
この際の保護シート６は、図９（ｂ）に示すように軟化してフリップチップ３の周囲からはみ出したＡＣＦ樹脂２がヘッド７へ付着することを防止している。この保護シート６は、上記のように実装に使用してＡＣＦ樹脂が付着した部分を再使用しないように、ヘッド７が昇降の度にシート送りされる。
【０００６】
生産ラインでは、図１０に示すように多数の実装部位８を有するマザーボード１０に対して図１１に示すように帯状の保護シート６をヘッド７の配列方向に間欠移送するように架張し、加工装置は、並列配置されたヒーターツール１１ａ，１１ｂを有するマルチヘッド装置１２を使用して、ヘッド７の昇降の度に複数の実装処理が完了させることが、生産性の点で好ましい。
【０００７】
この場合の保護シート６は、ヘッド７Ａ，７Ｂが昇降の度に矢印１３方向に所定ピッチだけ間欠移送して交換される。この場合の保護シート６の移送と使用済みエリアの関係の一例を図１２で説明する。
【０００８】
図１２では、ヘッド７Ａ，７Ｂが２つの場合を示している。
マザーボード１０にＡＣＦシート２を介して仮圧着された加工対象物であるフリップチップ３を、降下したヘッド７Ａ，７Ｂが保護テープ６を介して押圧すると、図１２（ａ）に示すようにヘッド７Ａが当接したＡ１個所とヘッド７Ｂが当接したＢ１個所とが保護シート６の使用済み個所となる。
【０００９】
ヘッド７Ａ，７Ｂが上昇して再び降下するまでの間には、マザーボード１０の加工対象物の別のフリップチップ３がヘッド７Ａ，７Ｂの下方位置に到着するようにワーク搬送装置１４がマザーボード１０を移動させ、また、保護シート６のシート送りを１ピッチ実施する。ここで従来のシート送りの１ピッチとは、ツール長さである前記ヘッド７Ａ，７Ｂのシート送り方向の長さより僅かに長い程度の長さである。
【００１０】
降下したヘッド７Ａ，７Ｂが保護テープ６を介して押圧すると、図１２（ｂ）に示すようにヘッド７Ａが当接したＡ２個所とヘッド７Ｂが当接したＢ２個所とが保護シート６の使用済み個所となる。
【００１１】
このようにして加工処理を繰り返していくと、図１２の場合には、図１２（ｄ）に示すように保護シート６の使用済みであるＡ１個所がヘッド７Ｂの下方位置に到来する。そのため、保護シート６の使用済みのＡ１個所を使用しないように、図１２（ｃ）に次いでは、保護シート６をシート送りを１ピッチとするのではなくて、図１２（ｅ）に示すように、この例では４ピッチ分だけシート送りして、保護シート６のＡ３個所の上手側のポジションをヘッド７Ｂの下方位置に到着させる事が必要である。
【００１２】
保護シート６のシート送りが変則的になる状態とワーク搬送装置１４がマザーボード１０を毎回移動する基板位置決め時間とを、ヘッド７Ａ，７Ｂによる加圧動作と共に併記したタイムチャートの例が図１３である。
【００１３】
図１３では１ピッチのシート送り時間が０．５秒、ワーク搬送装置１４がマザーボード１０を移動させるのに必要とする基板位置決め時間が２秒、ヘッド７Ａ，７Ｂによる加圧時間を１０秒とすると、加圧４回の所要時間は、５０．５秒である。ここでは４回中３回は位置決め、１回はシート送りを待って加圧する。この場合のシート送り時間合計は６秒である。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
図１３を見て分かるように、４ピッチ分だけシート送りしている変量期間１５には、２秒の基板位置決め時間が完了してから２．５秒の待ち時間が発生し、次いでヘッド７Ａ，７Ｂが加圧動作を実行するまでに２．５秒の遅れが発生する。
【００１５】
本発明は、繰り返しの加工処理の場合にシート送りに伴う作業待ち時間を短縮して、生産性の向上を期待できる加工方法を提供することを目的とする。
また、保護シートの使用長を低減して保護シートの掛け替え作業の低減を実現して連続運転を可能にし、生産性の向上を期待できる加工方法を提供することを目的とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明の加工方法は、基板位置決め動作などの準備期間が完了するまでは保護シートの送りが完了しても、次の加工処理を開始することができない待ち時間となることに着目し、繰り返しの加工処理の場合のシート送りを従来のような１ピッチの数回の移送の後に多ピッチの移送をすることによる待ち時間を減少させることを特徴とする。
【００１７】
本発明の請求項１記載の加工方法は、列状に並べられた加工対象物に対し、保護シートを介して前記列方向に一定間隔で配置された複数のヘッドで押圧する工程と、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、かつ前記ヘッドは、列方向の長さがＬで、前記列方向に一定間隔ｐでｎ個が配置され、 ｎ・Ｌ 以上でｐ・（ｎ−１）＋Ｌ より小さい長さ分だけ前記保護シートを前記列方向に毎回送ることを特徴とする。
【００１９】
本発明の請求項２記載の加工方法は、請求項１において、ｐ／Ｌ ≧ ｃ を満足する最大の整数 ｃ と前記 ｎ とが互いに素の関係であり、ｐ・（ｎ ／ ｃ）の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送ることを特徴とする。
【００２０】
本発明の請求項３記載の加工方法は、請求項１において、ｐ／Ｌ ≧ ｃ を満足する最大の整数 ｃ と前記 ｎ とが互いに素の関係でなく、 ｎ と互いに素の関係でかつ ２ ≦ ｃ2 ＜ ｃ を満足する最大の整数をｃ２とし、ｐ・（ｎ／ｃ２） の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送ることを特徴とする。
【００２１】
本発明の請求項４記載の加工方法は、請求項１において、ｐ／Ｌ ≧ ｃ を満足する最大の整数 ｃ と前記 ｎ とが互いに素の関係でなく、c と互いに素の関係でかつ ｎ ＜ ｎ２ を満足する最小の整数を ｎ２とし、ｐ・ｎ２／ｃ の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送ることを特徴とする。
【００２２】
本発明の請求項５記載の加工方法は、請求項１において、ｐ／Ｌ ≧ ｃ を満足する最大の整数 ｃ と前記 ｎ とが互いに素の関係でなく、ｎ と互いに素の関係でかつ ２ ≦ ｃ２＜ ｃ を満足する最大の整数をｃ２、ｃと互いに素の関係であり、かつ ｎ ＜ ｎ２ を満足する最小の整数を ｎ２ とし、ｐ・（ｎ／ｃ２）とｐ・（ｎ２／ｃ） のうち小である方の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送ることを特徴とする。
【００２３】
本発明の請求項６記載の加工方法は、列状に並べられた加工対象物に対し、保護シートを介して前記列方向に一定間隔ｐで配置されたｎ個（ｎは２以上）のヘッドで押圧する工程と、前記ヘッドの前記列方向と直交する方向の長さをｋとしたときに、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、前記保護シートを前記列方向からtan−１（ｋ／ｐ）以上傾けて送る工程とを有することを特徴とする。
【００２４】
本発明の請求項７記載の加工装置は、シート送り機構と、この保護シートを介して加工対象物に対して押圧する一定間隔ｐで配置されたｎ個（ｎは２以上）のヘッドと、シート送りを制御する制御手段とを有し、この制御手段が、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、かつ前記ヘッドは列方向の長さがＬで、前記列方向に一定間隔ｐでｎ個が配置され、制御手段が ｎ・Ｌ以上で ｐ・（ｎ−１）＋Ｌ より小さい長さ分だけ前記保護シートを前記列方向に毎回送ることを特徴とする。
【００２６】
本発明の請求項８記載の加工装置は、シート送り機構と、この保護シートを介して加工対象物に対し押圧する一定間隔ｐで配置されたｎ個（ｎは２以上）のヘッドと、シート送りを制御する制御手段とを有し、この制御手段が、前記ヘッドの配列された方向と直交する方向の長さをｋとしたときに、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、前記保護シートを前記ヘッドの配列方向からtan−１（ｋ／ｐ）以上傾けて送ることを特徴とする。
【００２７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の加工方法を具体的な実施の形態を示す図１〜図７に基づいて説明する。
【００２８】
なお、先の従来例と同様の作用を成すものには同一の符号を付けて説明する。
（実施の形態１）
先の従来例で示したような繰り返しの加工処理の場合に、シート送り時間を短縮して生産性の向上を期待できる第１の発明の加工方法を実現する（実施の形態１）の加工装置は、保護シート６の移送制御とマザーボード１０の位置決め制御を実行する制御装置の構成だけが先の従来例とは異なっている。
【００２９】
（実施例１）
図１と図７は（実施の形態１）のヘッドの数：ｎ＝２の場合を示している。
列状に並べられた加工対象物であるフリップチップ３に対し、保護シート６を介して前記列方向に一定間隔のピッチ：ｐで配置されたヘッド７Ａ，７Ｂで押圧するこの加工装置の制御手段は、次のように構成されている。
【００３０】
ヘッド７Ａ，７Ｂの列方向の長さ：Ｌ、ピッチ：ｐの長さの保護シート６で使用可能回数：ｃとし、ｃ＝３の場合を示している。なお、ｃ＝３とは、
Ｌ・３ ≦ ｐ ＜ Ｌ・４
である。
【００３１】
この場合には、毎回のシート送り量：ｆを次のように実行するように制御手段が構成されている。
図１（ａ）に示すように第１回目の加工処理では、ヘッド７Ａが当接した保護シート６のＡ１個所とヘッド７Ｂが当接したＢ１個所とが使用済み個所となる。
【００３２】
ヘッド７Ａ，７Ｂが上昇して再び降下するまでの間には、マザーボード１０の加工対象物の別のフリップチップ３がヘッド７Ａ，７Ｂの下方位置に到着するようにワーク搬送装置１４がマザーボード１０を移動させ、また、保護シート６のシート送りとしてシート送り量：ｆだけ矢印１３方向に送る。この場合のシート送り量：ｆは、
ｆ ＝ ｐ・（ ｎ ／ ｃ ）＝ ｐ・（２／３）
である。
【００３３】
第２回目の加工処理で降下したヘッド７Ａ，７Ｂが保護テープ６を介して押圧すると、図１（ｂ）に示すようにヘッド７Ａが当接したＡ２個所とヘッド７Ｂが当接したＢ２個所とが保護シート６の使用済み個所となる。
【００３４】
同様に、マザーボード１０の加工対象物の別のフリップチップ３がヘッド７Ａ，７Ｂの下方位置に到着するようにワーク搬送装置１４がマザーボード１０を移動させ、また、保護シート６を矢印１３方向にシート送り量：ｆ＝ｐ・（２／３）だけ送る。
【００３５】
第３回目の加工処理で降下したヘッド７Ａ，７Ｂが保護テープ６を介して押圧すると、図１（ｃ）に示すようにヘッド７Ａが当接したＡ３個所とヘッド７Ｂが当接したＢ３個所とが保護シート６の使用済み個所となる。
【００３６】
同様に、マザーボード１０の加工対象物の別のフリップチップ３がヘッド７Ａ，７Ｂの下方位置に到着するようにワーク搬送装置１４がマザーボード１０を移動させ、また、保護シート６を矢印１３方向にシート送り量：ｆ＝ｐ・（２／３）だけ送る。
【００３７】
第４回目の加工処理で降下したヘッド７Ａ，７Ｂが保護テープ６を介して押圧すると、図１（ｄ）に示すようにヘッド７Ａが当接したＡ４個所とヘッド７Ｂが当接したＢ４個所とが保護シート６の使用済み個所となる。
【００３８】
このようにヘッド７Ａ，７Ｂの間のピッチ：ｐの長さの保護シート６で使用可能回数：ｃ＝３の作業が完了し、第５回目以降の作業に際しても同様にシート送り量：ｆ＝ｐ・（２／３）の一定長さの移送を実行することによって、保護シート６の他のヘッドで押圧された保護シートの使用済み部分を避けて繰り返しの加工処理を実行できる。
【００３９】
図７は、シート送りが定ピッチ送りで変則的でないこの場合の具体例を示す。
図７では従来よりも長いｆ＝ｐ・（２／３）の一定長さの移送のシート送り時間が１．５秒、ワーク搬送装置１４がマザーボード１０を移動させるのに必要とする基板位置決め時間が２秒、ヘッド７Ａ，７Ｂによる加圧時間を１０秒とすると、加圧４回の所要時間は、４８．０秒である。ここでは４回中４回とも位置決めを待って加圧する。この場合のシート送り時間合計は６秒である。
【００４０】
このように、１回のシート送り時間は図１３の０．５秒に比べて１．５秒とシート送り長さが長くなった分だけ長くなっているが、シート送りの終了時期が基板位置決め動作などの準備期間の終了時期の前になっているので、生産性の悪化もない。
【００４１】
（実施例２）
図２は（実施の形態１）のヘッドの数：ｎ＝３の場合を示している。
ヘッド７Ａ，７Ｂ，７Ｃのピッチ：ｐ、ヘッド７Ａ，７Ｂ，７Ｃの列方向の長さ：Ｌ、ピッチ：ｐの長さの保護シート６で使用可能回数：ｃとし、ｃ＝４の場合を示している。
【００４２】
この場合には、毎回のシート送り量：ｆは、
ｆ ＝ ｐ・（ ｎ ／ ｃ ）＝ ｐ・（３／４）
で図２（ａ）〜（ｄ）に示すように保護シート６を移送する。ここでＣ１個所，Ｃ２個所，Ｃ３個所，Ｃ４個所は、ヘッド７Ｃが第１回目，第２回目，第３回目，第４回目で当接した保護シート６の使用済み個所である。
【００４３】
これによって（実施例１）と同様の効果を期待できる。
（実施例３）
図３は（実施の形態１）のヘッドの数：ｎ＝４の場合を示している。
【００４４】
ヘッド７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄのピッチ：ｐ、ヘッド７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄの列方向の長さ：Ｌ、ピッチ：ｐの長さの保護シート６で使用可能回数：ｃとし、ｃ＝３の場合を示している。
【００４５】
この場合には、毎回のシート送り量：ｆは、
ｆ ＝ ｐ・（ ｎ ／ ｃ ）＝ ｐ・（４／３）
で図３（ａ）〜（ｄ）に示すように保護シート６を移送する。ここでＤ１個所，Ｄ２個所，Ｄ３個所，Ｄ４個所は、ヘッド７Ｄが第１回目，第２回目，第３回目，第４回目で当接した保護シート６の使用済み個所である。
【００４６】
これによって（実施例１）と同様の効果を期待できる。
（実施例４）
図４は（実施の形態１）のヘッドの数：ｎ＝５の場合を示している。
【００４７】
ヘッド７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ，７Ｅのピッチ：ｐ、ヘッド７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ，７Ｅの列方向の長さ：Ｌ、ピッチ：ｐの長さの保護シート６で使用可能回数：ｃとし、ｃ＝２の場合を示している。
【００４８】
この場合には、毎回のシート送り量：ｆは、
ｆ ＝ ｐ・（ ｎ ／ ｃ ）＝ ｐ・（５／２）
で図４（ａ）〜（ｄ）に示すように保護シート６を移送する。ここでＥ１個所，Ｅ２個所，Ｅ３個所，Ｅ４個所は、ヘッド７Ｅが第１回目，第２回目，第３回目，第４回目で当接した保護シート６の使用済み個所である。
【００４９】
これによって（実施例１）と同様の効果を期待できる。
以上のように、ヘッドの列方向の長さがＬで、前記列方向に一定間隔ｐでｎ個が配置されている場合には、
ｎ・Ｌ 以上で ｐ・（ｎ−１）＋Ｌ より小さい長さ分
だけ前記保護シート６を前記列方向に毎回送るように制御しており、（実施例１）〜（実施例４）の場合には、ｐ／Ｌ ≧ ｃ を満足する最大の整数 ｃ と前記ｎ とが互いに素の関係であり、ｐ・ｎ ／ ｃ の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送る。（実施例１）〜（実施例４）ではヘッドの数：ｎが２〜５の一例を説明したが、本発明の加工方法はこの他の組み合わせの場合でも適用することができ、図５にその組み合わせとそれぞれの場合のシート送り量：ｆの決定の仕方を説明する。図５において、
“ｎ＝２” で “ｃ＝３” の場合が先の（実施例１）の場合
“ｎ＝３” で “ｃ＝４” の場合が先の（実施例２）の場合
“ｎ＝４” で “ｃ＝３” の場合が先の（実施例３）の場合
“ｎ＝５” で “ｃ＝２” の場合が先の（実施例４）の場合
である。この他のヘッド数：ｎと使用可能回数：ｃとの組み合わせで、（実施例１）〜（実施例４）と同じように ◎ 印が付けられた使用形態では、
ｆ ＝ ｐ・（ ｎ ／ ｃ ）
によって適正な毎回のシート送り量：ｆを決定できる。
【００５０】
図５において、“ｎ＝４” で “ｃ＝２” の場合のように → 印が付けられた使用形態では、
ｆ ＝ ｐ・（（ｎ＋１） ／ ｃ ）
によって適正な毎回のシート送り量：ｆを決定できる。
【００５１】
図５において、“ｎ＝３” で “ｃ＝３” の場合のように △ 印が付けられた使用形態では、同じヘッド数の欄の上段の ◎ 印である “ｎ＝３” で “ｃ＝２” の場合、または同じｃの欄でヘッド数が多い右側の欄の ◎ 印の
“ｎ＝４” で “ｃ＝３” の場合と同様にして適正な毎回のシート送り量：ｆを決定できる。
【００５２】
ここで言う「同じヘッド数の欄の上段の ◎ 印」の場合とは、ｐ／Ｌ ≧ ｃを満足する最大の整数 ｃ と前記 ｎ とが互いに素の関係でなく、 ｎ と互いに素の関係でかつ ２ ≦ ｃ2 ＜ ｃ を満足する最大の整数をｃ2とし、ｐ・（ｎ／ｃ2 ）の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送る場合である。
【００５３】
また、「同じｃの欄でヘッド数が多い右側の欄の ◎ 印」の場合とは、ｐ／Ｌ ≧ ｃ を満足する最大の整数 ｃ と前記 ｎ とが互いに素の関係でなく、c と互いに素の関係でかつ ｎ ＜ ｎ2 を満足する最小の整数を ｎ2 とし、ｐ・（ｎ2／ｃ） の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送る場合である。
【００５４】
“ｎ＝２” で “ｃ＝６” の場合には、“ｎ＝２” で “ｃ＝５” の場合のシート送り量：ｆを採用するか、または同じｃの欄でヘッド数が多い右側の欄の ◎ 印の場合、このケースの場合には、図５の横欄に △ 印が続いているので、更に右欄を参照して“ｎ＝５” で “ｃ＝６” の場合のシート送り量：ｆを採用する。図５の縦欄に △ 印が続いている場合の見方も同様であって、更に上欄を参照して“ｎ＝１０” で “ｃ＝６” の場合には“ｎ＝１０” で “ｃ＝３” の場合のシート送り量：ｆを採用する。
【００５５】
この △ 印が付されたケースの場合は、次のようにも表現できる。実際のｃの数よりも少ない利用可能回数ｃのケースである
ｆ ＝ ｐ・（ｎ／（ｃ−１））
ｆ ＝ ｐ・（ｎ／（ｃ−２））など
でシート送り量：ｆを計算するか、実際のヘッド数ｎよりも多いヘッド数：ｎのケースである
ｆ ＝ ｐ・（（ｎ＋１）／ｃ）
ｆ ＝ ｐ・（（ｎ＋２）／ｃ）など
でシート送り量：ｆを計算する。
【００５６】
なお、△ 印が付けられた使用形態では、「同じヘッド数の欄の上段の◎印」または「同じｃの欄でヘッド数が多い右側の欄の◎印」の何れかの場合と同様にして適正な毎回のシート送り量：ｆを決定できるとして説明したが、保護シート６の掛け替え作業の低減を実現して連続運転を可能にし、生産性の向上を実現するためには、保護シートの使用長を低減することが有効であって、上記の何れかの場合の小である方の長さ分だけ保護シート６を列方向に毎回送るように制御手段を構成することが好ましい。
【００５７】
このようにして各種パラメータの組み合わせの場合であっても、生産性の向上を期待できる適正な毎回のシート送り量：ｆを決定できる。なお、図５に示す“ｎ＝２” で “ｃ＝２” の場合は本発明の加工方法の適用外である。
【００５８】
（実施の形態２）
図６は保護シートの使用長を低減して保護シートの掛け替え作業の低減を実現して連続運転を可能にし、生産性の向上を期待できる（実施の形態２）の加工方法を実現する加工装置を示す。
【００５９】
従来では図１２に示したように、保護シート６はヘッド７Ａ，７Ｂの配列方向に長手方向が一致するように角度を付けずに架張されていたが、この（実施の形態２）の加工装置を示す図６では、ヘッド７Ａ，７Ｂに対して傾けて架張し、図６（ａ）〜（ｅ）に示すように、ヘッド７Ａが保護シート６に当接して使用済みとなるＡ１個所，Ａ２個所，〜，Ａ５個所，・・・と、ヘッド７Ｂが保護シート６に当接して使用済みとなるＢ１個所，Ｂ２個所，〜，Ｂ５個所，・・・とが重ならないように構成されており、ヘッド７Ａ，７Ｂの上下動に伴う毎回のシート送り量を、従来に比べて低減できる。
【００６０】
詳しくは、ヘッド７Ａ，７Ｂの前記列方向と直交する方向の長さをｋとしたときに、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、前記保護シートを前記列方向からtan-1（ｋ／ｐ）以上傾けて送るように制御手段を構成する。
【００６１】
なお、ここではヘッドの数が２つの場合を例に挙げて説明したが、２以上であっても同様に構成できる。
（実施の形態３）
（実施の形態１）では保護シート６がヘッド７Ａ，７Ｂの配列方向に長手方向が一致するように角度を付けずに架張されていたが、（実施の形態２）に示したように傾けて架張して実施することもできる。
【００６２】
【発明の効果】
以上のように本発明の加工方法によれば、列状に並べられた加工対象物に対し、保護シートを介して前記列方向に一定間隔で配置された複数のヘッドで押圧する工程と、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、かつ前記ヘッドは、列方向の長さがＬで、前記列方向に一定間隔ｐでｎ個が配置され、 ｎ・Ｌ 以上でｐ・（ｎ−１）＋Ｌ より小さい長さ分だけ前記保護シートを前記列方向に毎回送る工程とを有するため、シート送りの終了時期が基板位置決め動作などの準備期間の終了時期の近傍になるように、毎回のシート送りを従来の１ピッチよりも多く移送することによって、作業待ち時間を短縮して、生産性の向上を期待できる。
【００６３】
また、列状に並べられた加工対象物に対し、保護シートを介して前記列方向に一定間隔ｐで配置されたｎ個（ｎは２以上）のヘッドで押圧する工程と、前記ヘッドの前記列方向と直交する方向の長さをｋとしたときに、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、前記保護シートを前記列方向からtan-1（ｋ／ｐ）以上傾けて送る工程とを有するため、保護シートの使用長を低減して保護シートの掛け替え作業の低減を実現して連続運転を可能にし、生産性の向上を期待できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の（実施の形態１）の２ヘッドの場合のシート送りの説明図
【図２】同実施の形態の３ヘッドの場合のシート送りの説明図
【図３】同実施の形態の４ヘッドの場合のシート送りの説明図
【図４】同実施の形態の５ヘッドの場合のシート送りの説明図
【図５】同実施の形態の具体的な実施例のマトリクス図
【図６】本発明の（実施の形態２）の加工装置の説明図
【図７】本発明の（実施の形態１）の加工方法の説明図
【図８】加工作業例の工程図
【図９】同作業例のフリップチップ実装状態の断面図
【図１０】同作業例のワークと複数のヘッドの斜視図
【図１１】従来の加工装置の構成図
【図１２】従来のシート送り過程の説明図
【図１３】従来の加工方法の説明図と本発明の（実施の形態１）の加工方法の説明図
【符号の説明】
２ ＡＣＦシート
３ フリップチップ
４ バンプ
５ 基板パターン
６ 保護シート
７Ａ，７Ｂ，７Ｃ，７Ｄ，７Ｅ ヘッド
８ 実装部位
１０ マザーボード
１１ａ，１１ｂ ヒーターツール
１２ マルチヘッド装置
１３ 移送方向
１４ ワーク搬送装置
ｎ ヘッドの数
Ｌ ヘッドの列方向の長さ
ｐ ヘッドのピッチ
ｃ ヘッドのピッチｐの長さの保護シート６での使用可能回数
ｆ 毎回のシート送り量
ｋ ヘッドの列方向と直交する方向の長さ
Claims (8)
- 列状に並べられた加工対象物に対し、保護シートを介して前記列方向に一定間隔で配置された複数のヘッドで押圧する工程と、
他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、かつ前記ヘッドは、列方向の長さがＬで、前記列方向に一定間隔ｐでｎ個が配置され、 ｎ・Ｌ 以上で ｐ・（ｎ−１）＋Ｌより小さい長さ分だけ前記保護シートを前記列方向に毎回送る工程と
を有する加工方法。 - ｐ／Ｌ ≧ ｃ を満足する最大の整数 ｃ と前記 ｎ とが互いに素の関係であり、ｐ・（ｎ ／ ｃ） の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送る
請求項１に記載の加工方法。 - ｐ／Ｌ ≧ ｃ を満足する最大の整数 ｃ と前記 ｎ とが互いに素の関係でなく、ｎ と互いに素の関係でかつ ２ ≦ ｃ２ ＜ ｃ を満足する最大の整数をｃ２とし、ｐ・（ｎ／ｃ２）の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送る
請求項１に記載の加工方法。 - ｐ／Ｌ ≧ ｃ を満足する最大の整数 ｃ と前記 ｎ とが互いに素の関係でなく、c と互いに素の関係でかつ ｎ ＜ ｎ２を満足する最小の整数を ｎ２とし、ｐ・（ｎ２／ｃ） の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送る
請求項１に記載の加工方法。 - ｐ／Ｌ ≧ ｃ を満足する最大の整数 ｃ と前記 ｎ とが互いに素の関係でなく、ｎ と互いに素の関係でかつ ２ ≦ ｃ２ ＜ ｃ を満足する最大の整数をｃ２、ｃと互いに素の関係であり、かつ ｎ ＜ ｎ２を満足する最小の整数を ｎ２とし、ｐ・（ｎ／ｃ２ ）とｐ・（ｎ２／ｃ） のうち小である方の長さ分だけ保護シートを列方向に毎回送る
請求項１に記載の加工方法。 - 列状に並べられた加工対象物に対し、保護シートを介して前記列方向に一定間隔ｐで配置されたｎ個（ｎは２以上）のヘッドで押圧する工程と、前記ヘッドの前記列方向と直交する方向の長さをｋとしたときに、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、前記保護シートを前記列方向からtan−１（ｋ／ｐ）以上傾けて送る工程と
を有することを特徴とする加工方法。 - シート送り機構と、この保護シートを介して加工対象物に対して押圧する一定間隔ｐで配置されたｎ個（ｎは２以上）のヘッドと、シート送りを制御する制御手段とを有し、この制御手段が、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、かつ前記ヘッドは列方向の長さがＬで、前記列方向に一定間隔ｐでｎ個が配置され、制御手段が ｎ・Ｌ 以上で ｐ・（ｎ−１）＋Ｌ より小さい長さ分だけ前記保護シートを前記列方向に毎回送る
加工装置。 - シート送り機構と、この保護シートを介して加工対象物に対し押圧する一定間隔ｐで配置されたｎ個（ｎは２以上）のヘッドと、シート送りを制御する制御手段とを有し、この制御手段が、前記ヘッドの配列された方向と直交する方向の長さをｋとしたときに、他のヘッドで押圧された前記保護シート部分を避け、前記保護シートを前記ヘッドの配列方向からtan−１（ｋ／ｐ）以上傾けて送ることを特徴とする
加工装置。
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