JP3832467B2 - ネガ型感放射線性樹脂組成物 - Google Patents
ネガ型感放射線性樹脂組成物 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3832467B2 JP3832467B2 JP2003386917A JP2003386917A JP3832467B2 JP 3832467 B2 JP3832467 B2 JP 3832467B2 JP 2003386917 A JP2003386917 A JP 2003386917A JP 2003386917 A JP2003386917 A JP 2003386917A JP 3832467 B2 JP3832467 B2 JP 3832467B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- resist
- hydroxystyrene
- group
- weight
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- WGFFKVBHRMFZKS-UHFFFAOYSA-N CC(C)(C)CC(C(C)(C)C)c1ccccc1 Chemical compound CC(C)(C)CC(C(C)(C)C)c1ccccc1 WGFFKVBHRMFZKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FKJFZHBGMIPBCB-UHFFFAOYSA-N N=C(S(C1CCCCC1)(=O)=O)S(C1CCCCC1)(=O)=O Chemical compound N=C(S(C1CCCCC1)(=O)=O)S(C1CCCCC1)(=O)=O FKJFZHBGMIPBCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Description
このような短波長の放射線としては、i線(波長365nm)に代表される紫外線、KrFエキシマレーザー(波長248nm)に代表される遠紫外線、シンクロトロン放射線に代表されるX線、電子線に代表される荷電粒子線等が用いられており、近年、これらの放射線に対応できる種々のレジストが検討されている。
そのようなレジストのうち特に注目されているものに、放射線の照射によって生成する酸の触媒作用により、現像液に対する溶解性を変化させる反応を起こすレジストがあり、この種のレジストは、通常、「化学増幅型レジスト」と称されている。
従来の化学増幅型ネガ型レジストは、放射線照射部で架橋反応を進行させることにより、現像液への溶解速度を低下させて、パターンを形成させるが、当該レジストの現像液に対する放射線の照射部と非照射部との間の溶解速度のコントラストが充分でないため、解像度が低く、またパターンの頭部形状が矩形にならず丸くなるという欠点があり、さらに放射線照射部における現像液に対する溶解速度の低下も十分でなく、パターンが現像液により膨潤したり、蛇行したりする不都合もあった。
(イ)下記式(1)で表される繰返し単位と下記式(2)で表される繰返し単位とを有し、かつ下記式(1)で表される繰返し単位の数をn、下記式(2)で表される繰返し単位の数をmとしたとき、n/m=35/65〜95/5の条件を満たす樹脂(B)からなるアルカリ可溶性樹脂、
(ロ)感放射線性酸発生剤、
(ハ)アルコキシメチル化グリコールウリル化合物およびアルコキシメチル化メラミン化合物から選ばれる少なくとも1種の架橋剤、並びに
(ニ)塩基性化合物
を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物
により解決される。
(イ)アルカリ可溶性樹脂
本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、下記する樹脂(B)からなる。
本発明における樹脂(B)は、下記式(1)で表される繰返し単位と下記式(2)で表される繰返し単位とを有し、かつ下記式(1)で表される繰返し単位の数をn、下記式(2)で表される繰返し単位の数をmとしたとき、n/m=35/65〜95/5、好ましくはn/m=45/55〜90/10の条件を満たす共重合体である。
また、樹脂(B)は、本発明の効果を損なわない範囲で、他の繰返し単位を含んでいてもよい。
本発明において、樹脂(B)は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
前記付加重合は、例えばラジカル重合、アニオン重合、カチオン重合、熱重合等の適宜の方法により実施することができるが、アニオン重合またはカチオン重合による方法が、得られる樹脂の分散度を小さくできる点で好ましい。ここで、前記アルカリ触媒としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等を挙げることができる。
さらに、本発明においては、前記樹脂(B)とともに、本発明の効果を損なわない範囲で、ヒドロキシスチレン単位の含有率が100〜50モル%、好ましくは100〜70モル%である、前記樹脂(B)以外の(共)重合体からなる樹脂(C)(但し、ヒドロキシスチレン単位の含有率が100〜50モル%、ポリスチレン換算重量平均分子量が5,000を超え100,000以下、分散度が1.3以下である樹脂を除く。)を、樹脂(B)と樹脂(C)の合計量に対して80重量%以下、好ましくは60重量%以下の割合で併用することができる。この場合、樹脂(C)の割合が80重量%を超えると、製膜性、レジストとしての解像度等が低下する。
感放射線性酸発生剤(以下、「酸発生剤」と略記する。)としては、例えばオニウム塩化合物、ハロゲン含有化合物、スルホン化合物、スルホン酸エステル化合物等を挙げることができ、具体的には、下記に示すものを挙げることができる。
オニウム塩化合物:
例えばヨードニウム塩、スルホニウム塩、ホスホニウム塩、ジアゾニウム塩、ピリジニウム塩等。
好ましいオニウム塩は、ジフェニルヨードニウムトリフルオロメタンスルホネート、ジフェニルヨードニウムピレンスルホネート、ジフェニルヨードニウムドデシルベンゼンスルホネート、トリフェニルスルホニウムトリフレート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムナフタレンスルホネート、(ヒドロキシフェニル)ベンジルメチルスルホニウムトルエンスルホネート等である。
例えばハロアルキル基含有炭化水素化合物、ハロアルキル基含有複素環式化合物等。
好ましいハロゲン含有化合物は、フェニル−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、メトキシフェニル−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、ナフチル−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等の(トリクロロメチル)−s−トリアジン誘導体や、1,1−ビス(4−クロロフェニル)−2,2,2−トリクロロエタン等である。
スルホン化合物:
例えばβ−ケトスルホン、β−スルホニルスルホン、これらのα−ジアゾ化合物等。
好ましいスルホン化合物は、フェナシルフェニルスルホン、メシチルフェナシルスルホン、ビス(フェニルスルホニル)メタン、ビス(フェニルスルホニル)ジアゾメタン、4−トリスフェナシルスルホン等である。
例えばアルキルスルホン酸エステル、ハロアルキルスルホン酸エステル、アリールスルホン酸エステル、イミノスルホネート、イミドスルホネート等。
好ましいスルホン酸化合物は、ベンゾイントシレート、ピロガロールのトリストリフレート、ニトロベンジル−9,10−ジエトキシアントラセン−2−スルホネート、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)マレイミド、N−(トリフルオロメチルスルホニルオキシ)フタルイミド等である。
酸発生剤の配合量は、アルカリ可溶性樹脂100重量部当たり、通常、0.01〜20重量部、好ましくは0.1〜10重量部、さらに好ましくは1〜10重量部である。この場合、酸発生剤の配合量が前記範囲外である場合、パターン形状が劣化する傾向がある。
架橋剤は、アルコキシメチル化グリコールウリル化合物およびアルコキシメチル化メラミン化合物から選ばれる少なくとも1種からなり、酸、例えば放射線の照射により生じた酸の存在下で、アルカリ可溶性樹脂を架橋しうる化合物である。
前記アルコキシメチル化グリコールウリル化合物としては、例えばメトキシメチル化グリコールウリル、エトキシメチル化グリコールウリル、n−プロポキシメチル化グリコールウリル、n−ブトキシメチル化グリコールウリル等を挙げることができ、特にメトキシメチル化グリコールウリルが好ましい。これらのアルコキシメチル化グリコールウリル化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
塩基性化合物は、放射線の照射により酸発生剤から生じた酸のレジスト被膜中における拡散現象を制御し、放射線の未照射領域で好ましくない化学反応が起こるのを抑制する作用を有する化合物である。本発明においては、このような塩基性化合物を使用することにより、レジストとしてのパターン形状、マスクに対する寸法忠実度等を著しく改善することができる。
本発明のネガ型感放射線性樹脂組成物には、溶解制御剤、溶解促進剤、増感剤、界面活性剤等の各種添加剤を配合することができる。
前記溶解制御剤は、アルカリ可溶性樹脂のアルカリ現像液に対する溶解性が高すぎる場合に、その溶解性を制御し、アルカリ現像時のアルカリ可溶性樹脂の溶解速度を適度に減少させる作用を有する化合物である。このような溶解制御剤としては、レジスト被膜の焼成、放射線照射、現像等の工程において化学変化しないものが好ましい。
このような溶解制御剤としては、例えばナフタレン、フェナントレン、アントラセン等の芳香族化合物;アセトフェノン、ベンゾフェノン、フェニルナフチルケトン等のケトン類;メチルフェニルスルホン、ジフェニルスルホン、ジナフチルスルホン等のスルホン類等を挙げることができる。これらの溶解制御剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
溶解制御剤の配合量は、使用されるアルカリ可溶性樹脂の種類に応じて適宜調節されるが、アルカリ可溶性樹脂100重量部当たり、通常、50重量部以下、好ましくは30重量部以下である。
このような溶解促進剤としては、例えばベンゼン環数が2〜6個程度の低分子量のフェノール性化合物を挙げることができ、具体的には、例えばビスフェノール類、トリス(ヒドロキシフェニル)メタン等を挙げることができる。これらの溶解促進剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
溶解促進剤の配合量は、使用されるアルカリ可溶性樹脂の種類に応じて適宜調節されるが、アルカリ可溶性樹脂100重量部当たり、通常、50重量部以下、好ましくは30重量部以下である。
このような増感剤としては、例えばケトン類、ベンゼン類、アセトフェノン類、ベンゾフェノン類、ナフタレン類、ビアセチル類、ピレン類、アントラセン類、フェノチアジン類、エオシン、ローズベンガラ等を挙げることができる。これらの増感剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
増感剤の配合量は、アルカリ可溶性樹脂100重量部当たり、通常、50重量部以下、好ましくは30重量部以下である。
このような界面活性剤としては、例えばポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレートのほか、以下商品名で、KP341(信越化学工業製)、ポリフローNO.75 、No.95(共栄社油脂化学工業製)、エフトップEF301 、EF303 、EF352(トーケムプロダクツ製)、メガファックF171、F172、F173(大日本インキ化学工業製)、フロラードFC430 、FC431(住友スリーエム製)、アサヒガードAG710 、サーフロンS-382 、SC-101、SC-102、SC-103、SC-104、SC-105、SC-106(旭硝子製)等を挙げることができる。これらの界面活性剤は、単独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
界面活性剤の配合量は、アルカリ可溶性樹脂100重量部当たり、界面活性剤の有効成分として、通常、2重量部以下である。
さらに、他の添加剤として、アントラセン系化合物等のハレーション防止剤や、保存安定剤、消泡剤等を配合することもできる。
本発明のネガ型感放射線性樹脂組成物は、その使用に際して、固形分濃度が、通常、5〜50重量%となるように溶剤に溶解したのち、例えば孔径0.2μm程度のフィルターでろ過することによって、レジスト溶液として調製される。
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル等のエチレングリコールモノアルキルエーテル類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル等のジエチレングリコールジアルキルエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート等のエチレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;
を挙げることができる。
溶剤の配合量は、アルカリ可溶性樹脂100重量部当たり、通常、20〜3,000重量部、好ましくは50〜3,000重量部、さらに好ましくは100〜2,000重量部である。
本発明のネガ型感放射線性樹脂組成物からレジストパターンを形成する際には、前記レジスト溶液を、回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の適宜の塗布手段によって、例えばシリコンウエハー、アルミニウムで被覆されたウエハー等の基板上に塗布することにより、レジスト被膜を形成したのち、所定のマスクパターンを介して該レジスト被膜に放射線を照射する。
その際に使用することのできる放射線としては、酸発生剤の種類に応じて、例えばi線等の紫外線、エキシマレーザー等の遠紫外線、シンクロトロン放射線等のX線、電子線等の荷電粒子線の如き放射線を適宜選択する。また、放射線量等の照射条件は、ネガ型感放射線性樹脂組成物の配合組成、各添加剤の種類等に応じて、適宜選定される。
本発明においては、放射線照射部における架橋反応をより効率的に進行させるために、放射線の照射後に焼成(以下、「露光後ベーク」という。)を行うことが好ましい。その加熱条件は、ネガ型感放射線性樹脂組成物の配合組成、各添加剤の種類等により変わるが、通常、30〜200℃、好ましくは50〜150℃である。
また、前記アルカリ現像液には、メタノール、エタノール等のアルコール類や界面活性剤を適量添加することもできる。
なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を用いた場合は、一般に、現像後、水で洗浄する。
実施例および比較例中の各測定・評価は、下記の方法により実施した。
Mwおよび分散度
東ソー(株)製GPCカラム(G2000HXL:2本、G3000HXL:1本、G4000HXL:1本)を用い、流量1.0ミリリットル/分、溶出溶媒テトラヒドロフラン、カラム温度40°Cの分析条件で、単分散ポリスチレンを標準とするゲルパーミエーションクロマトグラフ法により測定した。
最適露光量(J /m 2 )
各レジスト溶液からレジスト被膜を形成したのち、(株)ニコン製エキシマステッパー(商品名NSR2005EX8A)を用い、パターンマスクを介して放射線を照射したのち、100℃で90秒間露光後ベークを行った。次いで、0.14Nのテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液からなる現像液により現像したのち、水で洗浄し、乾燥して、レジストパターンを形成した。
このとき、線幅0.5μmのライン・アンド・スペースパターン(1L1S)を設計通りに形成できる放射線照射量を、最適露光量とした。
最適露光量で放射線を照射したときに解像されている最小のレジストパターンの寸法を測定して、解像度とした。
現像性
シリコンウエハー上に形成した線幅0.5μmの1L1Sの方形状断面を、走査型電子顕微鏡を用いて観察し、下記基準で評価した。
○: パターン間に現像残りが認められない。
△: パターン間に一部現像残りが認められる。
×: パターン間の現像残りが多い。
シリコンウエハー上に形成した線幅0.5μmの1L1Sの方形状断面の下辺の寸法Laと上辺の寸法Lbとを、走査型電子顕微鏡を用いて測定して、
0.85≦Lb/La≦1
を満足し、かつパターン上層部が丸くないパターン形状を“矩形”であるとして、下記基準で評価した。
○: パターン形状が矩形。
△: パターンの頭部が丸く、一部に膨潤が認められる。
×: パターンが著しく膨潤し、蛇行しているか、またはパターンが形成できない。
各レジスト溶液からレジスト被膜を形成したのち、(株)ニコン製エキシマステッパー(商品名NSR2005EX8A)を用い、パターンマスクを介して放射線を照射したのち、100℃で90秒間露光後ベークを行った。次いで、0.14Nのテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液からなる現像液により現像したのち、水で洗浄し、乾燥して、レジストパターンを形成した。その際、1L1Sのマスク寸法を0.02μm間隔で小さくしながら、最適露光量で照射したときのレジストパターン寸法とマスク寸法との差を、走査型電子顕微鏡を用いて測定し、この差が±10%以内であるときのマスクの最小設計寸法を、寸法忠実度とした。
表2〜表5に示すアルカリ可溶性樹脂、酸発生剤、架橋剤、塩基性化合物および溶剤を混合し、孔径0.2μmのフィルターで精密ろ過して異物を除去し、レジスト溶液を調製した。
得られた各レジスト溶液を、直径4インチのシリコンウエハー上に回転塗布したのち、120℃で焼成して、膜厚0.7μmのレジスト被膜を形成し、該レジスト被膜にパターンマスクを介して、KrFエキシマレーザー(波長248μm)を照射したのち、110℃で1分間露光後ベークを行った。次いで、パドル法により、23℃で60秒間アルカリ現像を行ったのち、水で30秒間洗浄し、乾燥して、ネガ型のレジストパターンを形成した。
得られた各レジストパターンの評価結果を、表2〜表5に示す。
アルカリ可溶性樹脂
B2:p−ヒドロキシスチレン/n-ブチルアクリレート共重合体(共重合モル比=85/1 5) Mw=11,000 分散度=1.20、
B3:p−ヒドロキシスチレン/t-ブチルアクリレート共重合体(共重合モル比=85/1 5) Mw= 8,000 分散度=1.20、
B4:p−ヒドロキシスチレン/t-ブチルメタクリレート共重合体(共重合モル比=80 /20) Mw=15,000 分散度=1.80、
B5:p−ヒドロキシスチレン/メチルメタクリレート共重合体(共重合モル比=65/3 5) Mw=10,000 分散度=2.00、
B6:p−ヒドロキシスチレン/メチルメタクリレート共重合体(共重合モル比=70/3 0) Mw= 6,000 分散度=1.20、
B7:p−ヒドロキシスチレン/t-ブチルアクリレート共重合体(共重合モル比=50/5 0) Mw= 4,000 分散度=2.30、
B8:p−ヒドロキシスチレン/メチルメタクリレート共重合体(共重合モル比=50/5 0) Mw= 8,000 分散度=3.13、
C2:ポリ(p−ヒドロキシスチレン) Mw=11,000 分散度=2.30、
C3:ポリ(p−ヒドロキシスチレン) Mw=150,000 分散度=1.10、
C4:p−ヒドロキシスチレン/メチルメタクリレート共重合体(共重合モル比=20/8 0) Mw=10,000 分散度=1.80。
ロ-1:下記式(4)、
ロ-2:下記式(5)、
ロ-3:下記式(6)、
ロ-4:下記式(7)。
ハ-1:テトラメトキシメチルグリコールウリル、
ハ-2:ヘキサメトキシメチルメラミン。
塩基性化合物
ニ-1:トリ−n−ブチルアミン、
ニ-2:ニコチン酸アミド、
ニ-3:4,4’−ジアミノジフェニルメタン。
溶剤
ホ-1:乳酸エチル(2−ヒドロキシプロピオン酸エチル)、
ホ-2:3−エトキシプロピオン酸エチル、
ホ-3:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート。
Claims (1)
- (イ)下記式(1)で表される繰返し単位と下記式(2)で表される繰返し単位とを有し、かつ下記式(1)で表される繰返し単位の数をn、下記式(2)で表される繰返し単位の数をmとしたとき、n/m=35/65〜95/5の条件を満たす樹脂(B)からなるアルカリ可溶性樹脂、
(ロ)感放射線性酸発生剤、
(ハ)アルコキシメチル化グリコールウリル化合物およびアルコキシメチル化メラミン化合物から選ばれる少なくとも1種の架橋剤、並びに
(ニ)塩基性化合物
を含有することを特徴とするネガ型感放射線性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003386917A JP3832467B2 (ja) | 2003-11-17 | 2003-11-17 | ネガ型感放射線性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003386917A JP3832467B2 (ja) | 2003-11-17 | 2003-11-17 | ネガ型感放射線性樹脂組成物 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34701995A Division JP3520643B2 (ja) | 1995-12-14 | 1995-12-14 | ネガ型感放射線性樹脂組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004102309A JP2004102309A (ja) | 2004-04-02 |
JP3832467B2 true JP3832467B2 (ja) | 2006-10-11 |
Family
ID=32291060
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003386917A Expired - Fee Related JP3832467B2 (ja) | 2003-11-17 | 2003-11-17 | ネガ型感放射線性樹脂組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3832467B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100574496B1 (ko) * | 2004-12-15 | 2006-04-27 | 주식회사 하이닉스반도체 | 상부반사방지막 중합체, 그 제조방법 및 이를 함유하는상부반사방지막 조성물 |
WO2011139073A2 (ko) * | 2010-05-04 | 2011-11-10 | 주식회사 엘지화학 | 네가티브 포토레지스트 조성물 및 소자의 패터닝 방법 |
CN113960881A (zh) * | 2021-11-26 | 2022-01-21 | 潍坊星泰克微电子材料有限公司 | KrF负性光刻胶及其制备方法、应用 |
-
2003
- 2003-11-17 JP JP2003386917A patent/JP3832467B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2004102309A (ja) | 2004-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3579946B2 (ja) | 化学増幅型感放射線性樹脂組成物 | |
JP3014350B2 (ja) | マイクロリトグラフィックレジスト組成物 | |
JP5708938B2 (ja) | 感光性レジスト下層膜形成組成物及びレジストパターンの形成方法 | |
CN104781731A (zh) | 正性工作光敏材料 | |
JP4161497B2 (ja) | ネガ型感放射線性樹脂組成物 | |
JP3780569B2 (ja) | KrFエキシマレーザー照射用化学増幅型ネガ型レジスト | |
JP3637723B2 (ja) | ネガ型感放射線性樹脂組成物 | |
JP3520643B2 (ja) | ネガ型感放射線性樹脂組成物 | |
JP3849486B2 (ja) | 化学増幅型ポジ型レジスト組成物 | |
EP1035436B1 (en) | Resist pattern formation method | |
JPH08179508A (ja) | 感放射線性樹脂組成物 | |
JP3832467B2 (ja) | ネガ型感放射線性樹脂組成物 | |
JPH1130865A (ja) | 感放射線性樹脂組成物 | |
JP3918542B2 (ja) | 化学増幅型ポジ型レジスト組成物 | |
JP3448790B2 (ja) | 感放射線性樹脂組成物 | |
JP3735945B2 (ja) | 感放射線性樹脂組成物 | |
JP3650981B2 (ja) | 感放射線性樹脂組成物 | |
JP4190834B2 (ja) | レジスト組成物 | |
JP2000298349A (ja) | ポジ型感放射線性樹脂組成物 | |
JP3615273B2 (ja) | ポジ型レジスト組成物 | |
JP3226270B2 (ja) | ポジ型レジスト用基材樹脂 | |
JP3852460B2 (ja) | 化学増幅型感放射線性樹脂組成物 | |
JPH1195434A (ja) | ポジ型フォトレジスト組成物 | |
JP3694976B2 (ja) | 感放射線性樹脂組成物 | |
JP2001272781A (ja) | ポジ型感放射線性樹脂組成物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060228 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060427 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060627 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060710 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090728 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090728 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110728 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110728 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130728 Year of fee payment: 7 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |