JP3817724B2 - Ｘｙテーブル装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＸＹテーブルをリニアモータで駆動するＸＹテーブル装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のＸＹテーブル装置は、図３ないし図５に示すように構成している。
図において、２０はＸＹテーブルで、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動できるように固定部２１に支持されている。前記ＸＹテーブル２０の四辺の側部にそれぞれに可動子２２、２３、２４、２５が取付けられている。この可動子２２、２３、２４、２５は、図４に示すようにコ字状のヨーク２６の内側に永久磁石２７、２７を取付けている。２８は固定部２１に取付けた固定子で、この固定子２８は基板２９の上面にコイル３０を２個並べて取付け、前記コイル３０の端部を基板２９のプリント配線に接続している。前記コイル３０を挟んで配置した永久磁石２７、２７は図５に示すようにコイル３０に対向する面を平面にしてある。
つぎに、このように構成したＸＹテーブル装置の動作について説明をする。
まず、基板２９に取付けたコイル３０に直流定電流を通電すると、コイル３０に磁束が発生し、この磁束とＸＹテーブル２０に取付けた可動子２３、２５の永久磁石２７、２７との電磁作用によりＸＹテーブル２０をＸ軸方向に移動して、ＸＹテーブル２０を所定の位置に停止する。つぎに、基板２９に取付けたコイル３０に直流定電流を通電すると、コイル３０に磁束が発生し、この磁束とＸＹテーブル２０に取付けた可動子２２、２４の永久磁石２７、２７の磁束との電磁作用によりＸＹテーブル２０をＹ軸方向に移動して、ＸＹテーブル２０を所定の位置に停止する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のＸＹテーブル２０の動作は、可動子２３、２５の永久磁石２７、２７の電磁作用によりＸＹテーブルをＸ軸方向に移動するが、可動子２２、２４は非推力発生方向に移動されることになる。この状態で、Ｙ軸方向に移動するには可動子２２、２４が対向するコイル３０に通電するが、電気的中心にあったときに比べ可動子２２、２４のコイル３０に鎖交する磁束が低下しており、発生推力が低下するという問題があった。
そこで、本発明は、ＸＹテーブルを移動する推力が可動子の位置により変化しないようにすることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、本発明は、固定部に対してＸ軸およびＹ軸方向に移動しうるように支持されたＸＹテーブルと、前記ＸＹテーブルの可動方向の四辺部にそれぞれ取付けられた永久磁石からなる可動子と、前記各可動子と対向する位置の固定部に取付けられたコイルからなる固定子とからなるＸＹテーブル装置において、前記可動子の永久磁石の前記固定子と対向する面の中央部を、該永久磁石の周囲部よりも前記ＸＹテーブルが移動する際の推力が可動子の位置により変化しないような薄肉に形成するようにしたことを特徴としている。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施例に基づいて説明する。
図１は本発明の実施例を示すＸＹテーブル装置の構成図で、（ａ）はＸＹテーブル装置の斜視図、（ｂ）は要部拡大図、（ｃ）は永久磁石の斜視図、（ｄ）は図（ｃ）のＸ−Ｘ線に沿う断面図、（ｅ）は図（ｃ）のＹ−Ｙ線に沿う断面図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。図３、４、５と同一のものは同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図において、１はヨーク２６に取付けた永久磁石で、図１の（ｃ）（ｄ）（ｅ）に示すように中央部２を周囲部３より薄肉に形成して、３個並べて取付けている。したがって、ＸＹテーブル２０がＸ軸方向に移動しても可動子２２、２４の磁束がコイル３０に鎖交する磁束と変化することなくＸＹテーブル２０を移動する推力は低下しない。また、ＸＹテーブル２０がＹ軸方向に移動しても可動子２３、２５のコイル３０に鎖交する磁束が変化することなくＸＹテーブル２０を移動する推力は低下しない。したがって、ＸＹテーブルの位置による制御性が変わることがない。
なお、図１の実施例では可動子をＸＹテーブルの四辺の側部に取付けたが、ＸＹテーブルの上部あるいは下部に取付けてもよい。
【０００６】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば永久磁石の中央部を周囲部より薄肉にしたので、ＸＹテーブルを駆動する可動子の位置によらず駆動する推力が変化せず、制御性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示すＸＹテーブル装置の構成図で、（ａ）はＸＹテーブル装置の斜視図、（ｂ）は要部拡大図、（ｃ）は永久磁石の斜視図、（ｄ）は図（ｃ）のＸ−Ｘ線に沿う断面図、（ｅ）は図（ｃ）のＹ−Ｙ線に沿う断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】従来のＸＹテーブル装置の平面図である。
【図４】従来のＸＹテーブル装置の側面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ線に沿う断面拡大図である。
【符号の説明】
１ 永久磁石、 ２ 中央部、 ３ 周囲部、２０ ＸＹテーブル、
２１ 固定部、 ２２、２３、２４、２５ 可動子、 ２６ ヨーク、
２７ 永久磁石、 ２８ 固定子、 ２９ 基板、 ３０ コイル
本発明は、ＸＹテーブルをリニアモータで駆動するＸＹテーブル装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のＸＹテーブル装置は、図３ないし図５に示すように構成している。
図において、２０はＸＹテーブルで、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動できるように固定部２１に支持されている。前記ＸＹテーブル２０の四辺の側部にそれぞれに可動子２２、２３、２４、２５が取付けられている。この可動子２２、２３、２４、２５は、図４に示すようにコ字状のヨーク２６の内側に永久磁石２７、２７を取付けている。２８は固定部２１に取付けた固定子で、この固定子２８は基板２９の上面にコイル３０を２個並べて取付け、前記コイル３０の端部を基板２９のプリント配線に接続している。前記コイル３０を挟んで配置した永久磁石２７、２７は図５に示すようにコイル３０に対向する面を平面にしてある。
つぎに、このように構成したＸＹテーブル装置の動作について説明をする。
まず、基板２９に取付けたコイル３０に直流定電流を通電すると、コイル３０に磁束が発生し、この磁束とＸＹテーブル２０に取付けた可動子２３、２５の永久磁石２７、２７との電磁作用によりＸＹテーブル２０をＸ軸方向に移動して、ＸＹテーブル２０を所定の位置に停止する。つぎに、基板２９に取付けたコイル３０に直流定電流を通電すると、コイル３０に磁束が発生し、この磁束とＸＹテーブル２０に取付けた可動子２２、２４の永久磁石２７、２７の磁束との電磁作用によりＸＹテーブル２０をＹ軸方向に移動して、ＸＹテーブル２０を所定の位置に停止する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来のＸＹテーブル２０の動作は、可動子２３、２５の永久磁石２７、２７の電磁作用によりＸＹテーブルをＸ軸方向に移動するが、可動子２２、２４は非推力発生方向に移動されることになる。この状態で、Ｙ軸方向に移動するには可動子２２、２４が対向するコイル３０に通電するが、電気的中心にあったときに比べ可動子２２、２４のコイル３０に鎖交する磁束が低下しており、発生推力が低下するという問題があった。
そこで、本発明は、ＸＹテーブルを移動する推力が可動子の位置により変化しないようにすることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、本発明は、固定部に対してＸ軸およびＹ軸方向に移動しうるように支持されたＸＹテーブルと、前記ＸＹテーブルの可動方向の四辺部にそれぞれ取付けられた永久磁石からなる可動子と、前記各可動子と対向する位置の固定部に取付けられたコイルからなる固定子とからなるＸＹテーブル装置において、前記可動子の永久磁石の前記固定子と対向する面の中央部を、該永久磁石の周囲部よりも前記ＸＹテーブルが移動する際の推力が可動子の位置により変化しないような薄肉に形成するようにしたことを特徴としている。
【０００５】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図に示す実施例に基づいて説明する。
図１は本発明の実施例を示すＸＹテーブル装置の構成図で、（ａ）はＸＹテーブル装置の斜視図、（ｂ）は要部拡大図、（ｃ）は永久磁石の斜視図、（ｄ）は図（ｃ）のＸ−Ｘ線に沿う断面図、（ｅ）は図（ｃ）のＹ−Ｙ線に沿う断面図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。図３、４、５と同一のものは同一符号を付して詳細な説明を省略する。
図において、１はヨーク２６に取付けた永久磁石で、図１の（ｃ）（ｄ）（ｅ）に示すように中央部２を周囲部３より薄肉に形成して、３個並べて取付けている。したがって、ＸＹテーブル２０がＸ軸方向に移動しても可動子２２、２４の磁束がコイル３０に鎖交する磁束と変化することなくＸＹテーブル２０を移動する推力は低下しない。また、ＸＹテーブル２０がＹ軸方向に移動しても可動子２３、２５のコイル３０に鎖交する磁束が変化することなくＸＹテーブル２０を移動する推力は低下しない。したがって、ＸＹテーブルの位置による制御性が変わることがない。
なお、図１の実施例では可動子をＸＹテーブルの四辺の側部に取付けたが、ＸＹテーブルの上部あるいは下部に取付けてもよい。
【０００６】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば永久磁石の中央部を周囲部より薄肉にしたので、ＸＹテーブルを駆動する可動子の位置によらず駆動する推力が変化せず、制御性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例を示すＸＹテーブル装置の構成図で、（ａ）はＸＹテーブル装置の斜視図、（ｂ）は要部拡大図、（ｃ）は永久磁石の斜視図、（ｄ）は図（ｃ）のＸ−Ｘ線に沿う断面図、（ｅ）は図（ｃ）のＹ−Ｙ線に沿う断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】従来のＸＹテーブル装置の平面図である。
【図４】従来のＸＹテーブル装置の側面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ線に沿う断面拡大図である。
【符号の説明】
１ 永久磁石、 ２ 中央部、 ３ 周囲部、２０ ＸＹテーブル、
２１ 固定部、 ２２、２３、２４、２５ 可動子、 ２６ ヨーク、
２７ 永久磁石、 ２８ 固定子、 ２９ 基板、 ３０ コイル
Claims (1)
- 固定部に対してＸ軸およびＹ軸方向に移動しうるように支持されたＸＹテーブルと、前記ＸＹテーブルの可動方向の四辺部にそれぞれ取付けられた永久磁石からなる可動子と、前記各可動子と対向する位置の固定部に取付けられたコイルからなる固定子とを有するＸＹテーブル装置において、
前記可動子の永久磁石の前記固定子と対向する面の中央部を、該永久磁石の周囲部よりも前記ＸＹテーブルが移動する際の推力が可動子の位置により変化しないような薄肉に形成したことを特徴とするＸＹテーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24202597A JP3817724B2 (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | Ｘｙテーブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24202597A JP3817724B2 (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | Ｘｙテーブル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1169753A JPH1169753A (ja) | 1999-03-09 |
| JP3817724B2 true JP3817724B2 (ja) | 2006-09-06 |
Family
ID=17083157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24202597A Expired - Fee Related JP3817724B2 (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | Ｘｙテーブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3817724B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4756438B2 (ja) * | 2001-09-07 | 2011-08-24 | 株式会社安川電機 | リニアモータ |
| JP4796674B2 (ja) * | 2005-06-24 | 2011-10-19 | 日立ビアメカニクス株式会社 | スキャナ |
-
1997
- 1997-08-22 JP JP24202597A patent/JP3817724B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1169753A (ja) | 1999-03-09 |
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