JP2000209839A - 可動巻線型リニアモ―タ - Google Patents
可動巻線型リニアモ―タInfo
- Publication number
- JP2000209839A JP2000209839A JP11006390A JP639099A JP2000209839A JP 2000209839 A JP2000209839 A JP 2000209839A JP 11006390 A JP11006390 A JP 11006390A JP 639099 A JP639099 A JP 639099A JP 2000209839 A JP2000209839 A JP 2000209839A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- linear motor
- stroke direction
- movable
- winding
- permanent magnets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 １台のリニアモータで、搬送物支持体のスト
ローク方向への移動と、搬送物支持体のストローク方向
に対する垂直方向の振動の防止と、搬送物支持体のスト
ローク方向に対する垂直方向の位置の微調整を行うこと
ができる可動巻線型リニアモータを提供する。 【解決手段】 固定部１の両ヨーク２ａ、２ｂに固定さ
れた永久磁石４ａ、４ｂを、隣り合う永久磁石４ａ、４
ｂごとに交互に上下に長くして千鳥足状に並設するとと
もに、可動部の３相巻線の外周に単相巻線を配置する。
これにより、搬送物支持体に対して、ストローク方向に
対する垂直方向に力が作用するので、搬送物支持体のス
トローク方向に対する垂直方向の振動を防止することが
できる。また、搬送物支持体の可動時の位置をストロー
ク方向に対して垂直方向に微調整して、適切な位置にす
ることができる。
ローク方向への移動と、搬送物支持体のストローク方向
に対する垂直方向の振動の防止と、搬送物支持体のスト
ローク方向に対する垂直方向の位置の微調整を行うこと
ができる可動巻線型リニアモータを提供する。 【解決手段】 固定部１の両ヨーク２ａ、２ｂに固定さ
れた永久磁石４ａ、４ｂを、隣り合う永久磁石４ａ、４
ｂごとに交互に上下に長くして千鳥足状に並設するとと
もに、可動部の３相巻線の外周に単相巻線を配置する。
これにより、搬送物支持体に対して、ストローク方向に
対する垂直方向に力が作用するので、搬送物支持体のス
トローク方向に対する垂直方向の振動を防止することが
できる。また、搬送物支持体の可動時の位置をストロー
ク方向に対して垂直方向に微調整して、適切な位置にす
ることができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、可動巻線型のリニ
アモータの構造に関するものである。
アモータの構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の可動巻線型のリニアモータは、図
５および図６に示すように構成されている。図５は可動
巻線型リニアモータの固定部を示しており、固定部１
は、平板状のヨーク２ａ、２ｂを空隙を介して対向する
ように、ヨークベース３に固定するとともに、それぞれ
のヨーク２ａ、２ｂの対向する面に、永久磁石４ａ、４
ｂを、矢印で示すストローク方向に同じピッチ寸法でＮ
Ｓ極が交互になるように、かつ、対向するそれぞれの極
が異なるように固定して構成している。図６は可動巻線
型リニアモータの可動部を示しており、可動部５は、平
板状の芯金６の両面に、電気角１２０°の位相差を持つ
３相巻線７ａ、７ｂを等間隔に並べて取付けるととも
に、前記芯金６ごと樹脂８でモールドし、さらに、図示
しない搬送物を支持する搬送物支持体９と一体に固定し
ている。このような構成の可動巻線型リニアモータにお
いて、前記３相巻線５に、所定の位相に同期した３相平
衡電流を流すと、３相巻線５に磁束が発生し、この磁束
と固定部のヨーク２ａ、２ｂに固定されている永久磁石
４ａ、４ｂとの電磁作用により、可動部５とともに搬送
物支持体９がストローク方向へ移動する。
５および図６に示すように構成されている。図５は可動
巻線型リニアモータの固定部を示しており、固定部１
は、平板状のヨーク２ａ、２ｂを空隙を介して対向する
ように、ヨークベース３に固定するとともに、それぞれ
のヨーク２ａ、２ｂの対向する面に、永久磁石４ａ、４
ｂを、矢印で示すストローク方向に同じピッチ寸法でＮ
Ｓ極が交互になるように、かつ、対向するそれぞれの極
が異なるように固定して構成している。図６は可動巻線
型リニアモータの可動部を示しており、可動部５は、平
板状の芯金６の両面に、電気角１２０°の位相差を持つ
３相巻線７ａ、７ｂを等間隔に並べて取付けるととも
に、前記芯金６ごと樹脂８でモールドし、さらに、図示
しない搬送物を支持する搬送物支持体９と一体に固定し
ている。このような構成の可動巻線型リニアモータにお
いて、前記３相巻線５に、所定の位相に同期した３相平
衡電流を流すと、３相巻線５に磁束が発生し、この磁束
と固定部のヨーク２ａ、２ｂに固定されている永久磁石
４ａ、４ｂとの電磁作用により、可動部５とともに搬送
物支持体９がストローク方向へ移動する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の可動
巻線型リニアモータは、可動部５が、固定部１内におい
てストローク方向への移動だけしかできず、搬送物支持
体９をストローク方向に対して垂直方向に振動しないよ
うに移動させることができなかった。また、搬送物支持
体９の位置をストローク方向に対して垂直方向に微調整
させることができなかった。そのため、これらの動作を
付加させる場合は、ストローク方向に対して垂直方向に
動作するようにした別のリニアモータを可動部５に取り
付ける必要があった。本発明は、これらの問題を解消す
るためになされたもので、１台のリニアモータで、搬送
物支持体のストローク方向への移動と、搬送物支持体の
ストローク方向に対する垂直方向の振動の防止と、搬送
物支持体のストローク方向に対する垂直方向の位置の微
調整を行うことができる可動巻線型リニアモータを提供
することを目的とするものである。
巻線型リニアモータは、可動部５が、固定部１内におい
てストローク方向への移動だけしかできず、搬送物支持
体９をストローク方向に対して垂直方向に振動しないよ
うに移動させることができなかった。また、搬送物支持
体９の位置をストローク方向に対して垂直方向に微調整
させることができなかった。そのため、これらの動作を
付加させる場合は、ストローク方向に対して垂直方向に
動作するようにした別のリニアモータを可動部５に取り
付ける必要があった。本発明は、これらの問題を解消す
るためになされたもので、１台のリニアモータで、搬送
物支持体のストローク方向への移動と、搬送物支持体の
ストローク方向に対する垂直方向の振動の防止と、搬送
物支持体のストローク方向に対する垂直方向の位置の微
調整を行うことができる可動巻線型リニアモータを提供
することを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明は、２つの平板状のヨークを空隙を介して
対向するように、ヨークベースに固定するとともに、そ
れぞれのヨークの対向する面に、永久磁石を、ストロー
ク方向に同じピッチ寸法でＮＳ極が交互になるように、
かつ、対向するそれぞれの極が異なるように固定して構
成した固定部と、平板状の芯金の両面に、電気角１２０
°の位相差を持つ３相巻線を等間隔に並べて取付けると
ともに、前記芯金ごと樹脂でモールドし、さらに、搬送
物支持体と一体に固定して構成した可動部とからなる可
動巻線型リニアモータにおいて、前記両ヨークに固定さ
れた永久磁石を、隣り合う永久磁石ごとに交互に上下に
長くして千鳥足状に並設するとともに、前記可動部５の
３相巻線の外周に単相巻線を配置するようにしたもので
ある。
めに、本発明は、２つの平板状のヨークを空隙を介して
対向するように、ヨークベースに固定するとともに、そ
れぞれのヨークの対向する面に、永久磁石を、ストロー
ク方向に同じピッチ寸法でＮＳ極が交互になるように、
かつ、対向するそれぞれの極が異なるように固定して構
成した固定部と、平板状の芯金の両面に、電気角１２０
°の位相差を持つ３相巻線を等間隔に並べて取付けると
ともに、前記芯金ごと樹脂でモールドし、さらに、搬送
物支持体と一体に固定して構成した可動部とからなる可
動巻線型リニアモータにおいて、前記両ヨークに固定さ
れた永久磁石を、隣り合う永久磁石ごとに交互に上下に
長くして千鳥足状に並設するとともに、前記可動部５の
３相巻線の外周に単相巻線を配置するようにしたもので
ある。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施例に
基づいて説明する。図１から図４は、本発明の実施例を
示す可動巻線型リニアモータの構造図で、図１は固定部
の斜視図、図２はヨークの内側からみた側面図、、図３
は可動部の斜視図、図４は可動部における３相巻線と単
相巻線の関係を示す側面図である。図５および図６と同
一のものは、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
本発明の可動巻線型リニアモータは、基本的な構成は従
来の可動巻線型リニアモータと同一であるが、固定部１
と可動部５が次の点で異なっている。すなわち、固定部
１は、ヨーク２ａ、２ｂをストローク方向に対して垂直
方向に長くするとともに、両ヨーク２ａ、２ｂに固定さ
れた永久磁石４ａ、４ｂを、隣り合う永久磁石４ａ、４
ｂごとに交互に上下に長く延ばして千鳥足状に並設した
点で異なっている。また、可動部５は、前記芯金６をス
トローク方向に対して垂直方向に長くするとともに、前
記芯金６に固定した３相巻線７ａ、７ｂの外周に単相巻
線１０ａ、１０ｂを配置した点で異なっている。前記可
動部５においては、３相巻線７ａ、７ｂは、前記永久磁
石４ａ、４ｂの高さのずれのない範囲の磁束と鎖交する
ように、等間隔で並べられており、また、前記単相巻線
１０ａ、１０ｂは、前記永久磁石４ａ、４ｂの高さのず
れた範囲の磁束と鎖交し、かつ磁極ピッチの偶数倍の寸
法で折り返すように前記３相巻線７ａ、７ｂを囲んで配
設されている。なお、３相巻線７ａ７ｂと単相巻線１０
ａ、１０ｂは、前記芯金６ごと樹脂８でモールドされて
いる。このような構成において、固定部１の永久磁石４
ａ、４ｂによる磁束分布は、永久磁石４ａ、４ｂの高さ
のずれのない範囲では、従来の可動巻線型リニアモータ
と同様であり、可動部５の３相巻線７ａ、７ｂに、所定
の位相に同期した３相平衡電流を流すと、３相巻線７
ａ、７ｂに磁束が発生し、この磁束と前記永久磁石４
ａ、４ｂの高さのずれのない範囲の磁束による電磁作用
により、可動部５が搬送物支持体９とともにストローク
方向へ移動する。固定部１の永久磁石４ａ、４ｂの高さ
のずれた範囲の磁束分布は、図２の磁極配列をみればわ
かるように、ストローク方向に対して垂直方向に、上が
Ｎ極、下がＳ極となる。可動部５に３相巻線７ａ、７ｂ
を囲むように配置された単相巻線１０ａ、１０ｂに直流
電流を流すと、単相巻線１０ａ、１０ｂに磁束が発生
し、固定部１の永久磁石４ａ、４ｂの高さのずれた範囲
の磁束との電磁作用により、ストローク方向に対して垂
直方向に力を発生する。これにより、搬送物支持体９に
対して、ストローク方向に対する垂直方向に力が作用す
るので、搬送物支持体のストローク方向に対する垂直方
向の振動を防止することができる。また、搬送物支持体
９の可動時の位置をストローク方向に対して垂直方向に
微調整して、適切な位置にすることができる。なお、こ
の場合、単相巻線１０ａ、１０ｂが永久磁石４ａ、４ｂ
の高さ寸法のずれのない範囲の磁束と鎖交して発生する
ストローク方向の力は、単相巻線１０ａ、１０ｂが磁極
ピッチの偶数倍で折り返しているので、左右で打ち消し
合い零となり、搬送物支持体９のストローク方向への動
作に悪影響を与えることはない。
基づいて説明する。図１から図４は、本発明の実施例を
示す可動巻線型リニアモータの構造図で、図１は固定部
の斜視図、図２はヨークの内側からみた側面図、、図３
は可動部の斜視図、図４は可動部における３相巻線と単
相巻線の関係を示す側面図である。図５および図６と同
一のものは、同一符号を付して詳細な説明を省略する。
本発明の可動巻線型リニアモータは、基本的な構成は従
来の可動巻線型リニアモータと同一であるが、固定部１
と可動部５が次の点で異なっている。すなわち、固定部
１は、ヨーク２ａ、２ｂをストローク方向に対して垂直
方向に長くするとともに、両ヨーク２ａ、２ｂに固定さ
れた永久磁石４ａ、４ｂを、隣り合う永久磁石４ａ、４
ｂごとに交互に上下に長く延ばして千鳥足状に並設した
点で異なっている。また、可動部５は、前記芯金６をス
トローク方向に対して垂直方向に長くするとともに、前
記芯金６に固定した３相巻線７ａ、７ｂの外周に単相巻
線１０ａ、１０ｂを配置した点で異なっている。前記可
動部５においては、３相巻線７ａ、７ｂは、前記永久磁
石４ａ、４ｂの高さのずれのない範囲の磁束と鎖交する
ように、等間隔で並べられており、また、前記単相巻線
１０ａ、１０ｂは、前記永久磁石４ａ、４ｂの高さのず
れた範囲の磁束と鎖交し、かつ磁極ピッチの偶数倍の寸
法で折り返すように前記３相巻線７ａ、７ｂを囲んで配
設されている。なお、３相巻線７ａ７ｂと単相巻線１０
ａ、１０ｂは、前記芯金６ごと樹脂８でモールドされて
いる。このような構成において、固定部１の永久磁石４
ａ、４ｂによる磁束分布は、永久磁石４ａ、４ｂの高さ
のずれのない範囲では、従来の可動巻線型リニアモータ
と同様であり、可動部５の３相巻線７ａ、７ｂに、所定
の位相に同期した３相平衡電流を流すと、３相巻線７
ａ、７ｂに磁束が発生し、この磁束と前記永久磁石４
ａ、４ｂの高さのずれのない範囲の磁束による電磁作用
により、可動部５が搬送物支持体９とともにストローク
方向へ移動する。固定部１の永久磁石４ａ、４ｂの高さ
のずれた範囲の磁束分布は、図２の磁極配列をみればわ
かるように、ストローク方向に対して垂直方向に、上が
Ｎ極、下がＳ極となる。可動部５に３相巻線７ａ、７ｂ
を囲むように配置された単相巻線１０ａ、１０ｂに直流
電流を流すと、単相巻線１０ａ、１０ｂに磁束が発生
し、固定部１の永久磁石４ａ、４ｂの高さのずれた範囲
の磁束との電磁作用により、ストローク方向に対して垂
直方向に力を発生する。これにより、搬送物支持体９に
対して、ストローク方向に対する垂直方向に力が作用す
るので、搬送物支持体のストローク方向に対する垂直方
向の振動を防止することができる。また、搬送物支持体
９の可動時の位置をストローク方向に対して垂直方向に
微調整して、適切な位置にすることができる。なお、こ
の場合、単相巻線１０ａ、１０ｂが永久磁石４ａ、４ｂ
の高さ寸法のずれのない範囲の磁束と鎖交して発生する
ストローク方向の力は、単相巻線１０ａ、１０ｂが磁極
ピッチの偶数倍で折り返しているので、左右で打ち消し
合い零となり、搬送物支持体９のストローク方向への動
作に悪影響を与えることはない。
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、前
記両ヨークにストローク方向に異なる磁極で交互に固定
された永久磁石を、隣り合う永久磁石ごとに交互に上下
に長く延ばして千鳥足状に並設するとともに、前記可動
部の３相巻線の外周に単相巻線を配置したので、 搬送物支持体のストローク方向への移動、 搬送物支持体のストローク方向に対する垂直方向の振
動防止、 搬送物支持体のストローク方向に対する垂直方向への
位置の微調整 を１台の可動巻線型リニアモータで行うことができる大
きな効果がある。
記両ヨークにストローク方向に異なる磁極で交互に固定
された永久磁石を、隣り合う永久磁石ごとに交互に上下
に長く延ばして千鳥足状に並設するとともに、前記可動
部の３相巻線の外周に単相巻線を配置したので、 搬送物支持体のストローク方向への移動、 搬送物支持体のストローク方向に対する垂直方向の振
動防止、 搬送物支持体のストローク方向に対する垂直方向への
位置の微調整 を１台の可動巻線型リニアモータで行うことができる大
きな効果がある。
【図１】 本発明の実施例における可動巻線型リニアモ
ータの固定部を示す斜視図である。
ータの固定部を示す斜視図である。
【図２】 図１の固定部におけるヨークと永久磁石の関
係を示す側面図である。
係を示す側面図である。
【図３】 本発明の実施例における可動巻線型リニアモ
ータの可動部を示す斜視図である。
ータの可動部を示す斜視図である。
【図４】 図３の可動部における３相巻線と単相巻線の
関係を示す側面図である。
関係を示す側面図である。
【図５】 従来の可動巻線型リニアモータの固定部を示
す斜視図である。
す斜視図である。
【図６】 従来の可動巻線型リニアモータの可動部を示
す斜視図である。
す斜視図である。
１ 固定部、 ２ａ，２ｂ ヨーク、 ３ ヨークベース、 ４ａ、４ｂ 永久磁石、 ５ 可動部、 ６ 芯金、 ７ａ、７ｂ ３相巻線、 ８ 樹脂、 ９ 搬送物支持体、 １０ａ、１０ｂ 単相巻線
Claims (1)
- 【請求項１】 ２つの平板状のヨークを空隙を介して対
向するように、ヨークベースに固定するとともに、それ
ぞれのヨークの対向する面に、永久磁石を、ストローク
方向に同じピッチ寸法でＮＳ極が交互になるように、か
つ、対向するそれぞれの極が異なるように固定して構成
した固定部と、平板状の芯金の両面に、電気角１２０°
の位相差を持つ３相巻線を等間隔に並べて取付けるとと
もに、前記芯金ごと樹脂でモールドし、さらに、搬送物
支持体と一体に固定して構成した可動部とからなる可動
巻線型リニアモータにおいて、 前記両ヨークに固定された永久磁石を、隣り合う永久磁
石ごとに交互に上下に長くして千鳥足状に並設するとと
もに、前記可動部の３相巻線の外周に単相巻線を配置し
たことを特徴とする可動巻線型リニアモータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00639099A JP4304709B2 (ja) | 1999-01-13 | 1999-01-13 | 可動巻線型リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00639099A JP4304709B2 (ja) | 1999-01-13 | 1999-01-13 | 可動巻線型リニアモータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000209839A true JP2000209839A (ja) | 2000-07-28 |
| JP4304709B2 JP4304709B2 (ja) | 2009-07-29 |
Family
ID=11637050
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00639099A Expired - Fee Related JP4304709B2 (ja) | 1999-01-13 | 1999-01-13 | 可動巻線型リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4304709B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002165434A (ja) * | 2000-11-21 | 2002-06-07 | Yaskawa Electric Corp | コアレスリニアモータ |
| JP2010074976A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Yaskawa Electric Corp | Ｘｙ軸コアレスリニアモータ及びそれを用いたステージ装置 |
| WO2010140534A1 (ja) * | 2009-06-04 | 2010-12-09 | 三菱電機株式会社 | リニアモータ |
| CN114530962A (zh) * | 2022-02-18 | 2022-05-24 | 南京航空航天大学 | 一种永磁直线电机的侧向受力自复位结构 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01110042A (ja) * | 1987-10-22 | 1989-04-26 | Shicoh Eng Co Ltd | ２つの可動子を持つ可動マグネット型リニアｄｃブラシレスモータ |
| JPH08107665A (ja) * | 1994-08-09 | 1996-04-23 | Hitachi Metals Ltd | リニアモータ |
| JPH1118406A (ja) * | 1997-06-26 | 1999-01-22 | Canon Inc | リニアモータとステージ装置及びこれを用いた走査型露光装置やデバイス製造方法 |
| JP2000078830A (ja) * | 1998-09-01 | 2000-03-14 | Nikon Corp | リニアモータ及びステージ装置並びに露光装置 |
-
1999
- 1999-01-13 JP JP00639099A patent/JP4304709B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01110042A (ja) * | 1987-10-22 | 1989-04-26 | Shicoh Eng Co Ltd | ２つの可動子を持つ可動マグネット型リニアｄｃブラシレスモータ |
| JPH08107665A (ja) * | 1994-08-09 | 1996-04-23 | Hitachi Metals Ltd | リニアモータ |
| JPH1118406A (ja) * | 1997-06-26 | 1999-01-22 | Canon Inc | リニアモータとステージ装置及びこれを用いた走査型露光装置やデバイス製造方法 |
| JP2000078830A (ja) * | 1998-09-01 | 2000-03-14 | Nikon Corp | リニアモータ及びステージ装置並びに露光装置 |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002165434A (ja) * | 2000-11-21 | 2002-06-07 | Yaskawa Electric Corp | コアレスリニアモータ |
| JP2010074976A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Yaskawa Electric Corp | Ｘｙ軸コアレスリニアモータ及びそれを用いたステージ装置 |
| WO2010140534A1 (ja) * | 2009-06-04 | 2010-12-09 | 三菱電機株式会社 | リニアモータ |
| CN102804567A (zh) * | 2009-06-04 | 2012-11-28 | 三菱电机株式会社 | 直线电动机 |
| KR101258790B1 (ko) * | 2009-06-04 | 2013-04-29 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 리니어 모터 |
| JP5398830B2 (ja) * | 2009-06-04 | 2014-01-29 | 三菱電機株式会社 | リニアモータ |
| CN102804567B (zh) * | 2009-06-04 | 2015-11-25 | 三菱电机株式会社 | 直线电动机 |
| CN114530962A (zh) * | 2022-02-18 | 2022-05-24 | 南京航空航天大学 | 一种永磁直线电机的侧向受力自复位结构 |
| CN114530962B (zh) * | 2022-02-18 | 2023-09-08 | 南京航空航天大学 | 一种永磁直线电机的侧向受力自复位结构 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4304709B2 (ja) | 2009-07-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0734646B2 (ja) | リニアモータ | |
| US7138734B2 (en) | Linear drive unit reducing stress generated in movable part in horizontal direction | |
| EP2333942B1 (en) | Magnet movable linear motor | |
| US20090218893A1 (en) | Linear motor mounting structure | |
| US6548919B2 (en) | Linear motor | |
| JP2006304438A (ja) | リニアモータ | |
| JP2000209839A (ja) | 可動巻線型リニアモ―タ | |
| US9178406B2 (en) | Linear motor and stage device | |
| CN108886317B (zh) | 同步线性电动机 | |
| TW201325030A (zh) | 致動器 | |
| KR101798548B1 (ko) | 선형 전동기 | |
| JP3409223B2 (ja) | リニアモータ | |
| JPH11313475A (ja) | リニアモータ | |
| JP3817967B2 (ja) | リニアモータ | |
| JP3646518B2 (ja) | リニアモータ | |
| JP3824061B2 (ja) | リニアモータ | |
| JP3700883B2 (ja) | リニアモータの固定子 | |
| JP3793874B2 (ja) | 永久磁石形リニアモータ | |
| JP2549815Y2 (ja) | リニア誘導モータ | |
| CN108292883B (zh) | 直线电机 | |
| JPH1169753A (ja) | Ｘｙテーブル装置 | |
| JPH03222670A (ja) | リニアモータ | |
| JPH0638503A (ja) | リニアモータ | |
| JP3458922B2 (ja) | ボイスコイル形リニアモータ | |
| JP2024006779A (ja) | 永久磁石界磁、リニアモータ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051206 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090106 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090305 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090406 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090419 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120515 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130515 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140515 Year of fee payment: 5 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |