JPH1169753A - Ｘｙテーブル装置 - Google Patents
Ｘｙテーブル装置Info
- Publication number
- JPH1169753A JPH1169753A JP24202597A JP24202597A JPH1169753A JP H1169753 A JPH1169753 A JP H1169753A JP 24202597 A JP24202597 A JP 24202597A JP 24202597 A JP24202597 A JP 24202597A JP H1169753 A JPH1169753 A JP H1169753A
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- JP
- Japan
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- permanent magnet
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- coil
- thrust
- stator
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- Granted
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- Reciprocating, Oscillating Or Vibrating Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 テーブルを駆動する発生推力を変化しないよ
うにする。 【解決手段】 固定部２１に対してＸ軸およびＹ軸方向
に移動しうるように支持されたＸＹテーブル２０と、前
記ＸＹテーブル２０の可動方向の四辺部にそれぞれ取付
けられた永久磁石１からなる可動子２２、２３、２４、
２５と、前記各可動子２２、２３、２４、２５と対向す
る位置の固定部２１に取付けられたコイル３０からなる
固定子２８とからなるＸＹテーブル装置において、前記
可動子２２、２３、２４、２５の永久磁石１の前記固定
子２８と対向する面の中央部２を周囲部３よりも薄肉に
形成するようにしている。したがって、ＸＹテーブルの
位置によらず駆動する発生推力が変化しない。
うにする。 【解決手段】 固定部２１に対してＸ軸およびＹ軸方向
に移動しうるように支持されたＸＹテーブル２０と、前
記ＸＹテーブル２０の可動方向の四辺部にそれぞれ取付
けられた永久磁石１からなる可動子２２、２３、２４、
２５と、前記各可動子２２、２３、２４、２５と対向す
る位置の固定部２１に取付けられたコイル３０からなる
固定子２８とからなるＸＹテーブル装置において、前記
可動子２２、２３、２４、２５の永久磁石１の前記固定
子２８と対向する面の中央部２を周囲部３よりも薄肉に
形成するようにしている。したがって、ＸＹテーブルの
位置によらず駆動する発生推力が変化しない。
Description
【発明の属する技術分野】本発明は、ＸＹテーブルをリ
ニアモータで駆動するＸＹテーブル装置に関するもので
ある。
ニアモータで駆動するＸＹテーブル装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来のＸＹテーブル装置は、図３ないし
図５に示すように構成している。図において、２０はＸ
Ｙテーブルで、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動できるよ
うに固定部２１に支持されている。前記ＸＹテーブル２
０の四辺の側部にそれぞれに可動子２２、２３、２４、
２５が取付けられている。この可動子２２、２３、２
４、２５は、図４に示すようにコ字状のヨーク２６の内
側に永久磁石２７、２７を取付けている。２８は固定部
２１に取付けた固定子で、この固定子２８は基板２９の
上面にコイル３０を２個並べて取付け、前記コイル３０
の端部を基板２９のプリント配線に接続している。前記
コイル３０を挟んで配置した永久磁石２７、２７は図５
に示すようにコイル３０に対向する面を平面にしてあ
る。つぎに、このように構成したＸＹテーブル装置の動
作について説明をする。まず、基板２９に取付けたコイ
ル３０に直流定電流を通電すると、コイル３０に磁束が
発生し、この磁束とＸＹテーブル２０に取付けた可動子
２３、２５の永久磁石２７、２７との電磁作用によりＸ
Ｙテーブル２０をＸ軸方向に移動して、ＸＹテーブル２
０を所定の位置に停止する。つぎに、基板２９に取付け
たコイル３０に直流定電流を通電すると、コイル３０に
磁束が発生し、この磁束とＸＹテーブル２０に取付けた
可動子２２、２４の永久磁石２７、２７の磁束との電磁
作用によりＸＹテーブル２０をＹ軸方向に移動して、Ｘ
Ｙテーブル２０を所定の位置に停止する。
図５に示すように構成している。図において、２０はＸ
Ｙテーブルで、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に移動できるよ
うに固定部２１に支持されている。前記ＸＹテーブル２
０の四辺の側部にそれぞれに可動子２２、２３、２４、
２５が取付けられている。この可動子２２、２３、２
４、２５は、図４に示すようにコ字状のヨーク２６の内
側に永久磁石２７、２７を取付けている。２８は固定部
２１に取付けた固定子で、この固定子２８は基板２９の
上面にコイル３０を２個並べて取付け、前記コイル３０
の端部を基板２９のプリント配線に接続している。前記
コイル３０を挟んで配置した永久磁石２７、２７は図５
に示すようにコイル３０に対向する面を平面にしてあ
る。つぎに、このように構成したＸＹテーブル装置の動
作について説明をする。まず、基板２９に取付けたコイ
ル３０に直流定電流を通電すると、コイル３０に磁束が
発生し、この磁束とＸＹテーブル２０に取付けた可動子
２３、２５の永久磁石２７、２７との電磁作用によりＸ
Ｙテーブル２０をＸ軸方向に移動して、ＸＹテーブル２
０を所定の位置に停止する。つぎに、基板２９に取付け
たコイル３０に直流定電流を通電すると、コイル３０に
磁束が発生し、この磁束とＸＹテーブル２０に取付けた
可動子２２、２４の永久磁石２７、２７の磁束との電磁
作用によりＸＹテーブル２０をＹ軸方向に移動して、Ｘ
Ｙテーブル２０を所定の位置に停止する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のＸＹ
テーブル２０の動作は、可動子２３、２５の永久磁石２
７、２７の電磁作用によりＸＹテーブルをＸ軸方向に移
動するが、可動子２２、２４は非推力発生方向に移動さ
れることになる。この状態で、Ｙ軸方向に移動するには
可動子２２、２４が対向するコイル３０に通電するが、
電気的中心にあったときに比べ可動子２２、２４のコイ
ル３０に鎖交する磁束が低下しており、発生推力が低下
するという問題があった。そこで、本発明は、ＸＹテー
ブルを移動する推力が可動子の位置により変化しないよ
うにすることを目的とする。
テーブル２０の動作は、可動子２３、２５の永久磁石２
７、２７の電磁作用によりＸＹテーブルをＸ軸方向に移
動するが、可動子２２、２４は非推力発生方向に移動さ
れることになる。この状態で、Ｙ軸方向に移動するには
可動子２２、２４が対向するコイル３０に通電するが、
電気的中心にあったときに比べ可動子２２、２４のコイ
ル３０に鎖交する磁束が低下しており、発生推力が低下
するという問題があった。そこで、本発明は、ＸＹテー
ブルを移動する推力が可動子の位置により変化しないよ
うにすることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明は、固定部に対してＸ軸およびＹ軸方向に
移動しうるように支持されたＸＹテーブルと、前記ＸＹ
テーブルの可動方向の四辺部にそれぞれ取付けられた永
久磁石からなる可動子と、前記各可動子と対向する位置
の固定部に取付けられたコイルからなる固定子とからな
るＸＹテーブル装置において、前記可動子の永久磁石の
前記固定子と対向する面の中央部を周囲部よりも薄肉に
形成するようにしている。
めに、本発明は、固定部に対してＸ軸およびＹ軸方向に
移動しうるように支持されたＸＹテーブルと、前記ＸＹ
テーブルの可動方向の四辺部にそれぞれ取付けられた永
久磁石からなる可動子と、前記各可動子と対向する位置
の固定部に取付けられたコイルからなる固定子とからな
るＸＹテーブル装置において、前記可動子の永久磁石の
前記固定子と対向する面の中央部を周囲部よりも薄肉に
形成するようにしている。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示す実施例に
基づいて説明する。図１は本発明の実施例を示すＸＹテ
ーブル装置の構成図で、（ａ）はＸＹテーブル装置の斜
視図、（ｂ）は要部拡大図、（ｃ）は永久磁石の斜視
図、（ｄ）は図（ｃ）のＸ−Ｘ線に沿う断面図、（ｅ）
は図（ｃ）のＹ−Ｙ線に沿う断面図、図２は図１のＡ−
Ａ線に沿う断面図である。図３、４、５と同一のものは
同一符号を付して詳細な説明を省略する。図において、
１はヨーク２６に取付けた永久磁石で、図１の（ｃ）
（ｄ）（ｅ）に示すように中央部２を周囲部３より薄肉
に形成して、３個並べて取付けている。したがって、Ｘ
Ｙテーブル２０がＸ軸方向に移動しても可動子２２、２
４の磁束がコイル３０に鎖交する磁束と変化することな
くＸＹテーブル２０を移動する推力は低下しない。ま
た、ＸＹテーブル２０がＹ軸方向に移動しても可動子２
３、２５のコイル３０に鎖交する磁束が変化することな
くＸＹテーブル２０を移動する推力は低下しない。した
がって、ＸＹテーブルの位置による制御性が変わること
がない。なお、図１の実施例では可動子をＸＹテーブル
の四辺の側部に取付けたが、ＸＹテーブルの上部あるい
は下部に取付けてもよい。
基づいて説明する。図１は本発明の実施例を示すＸＹテ
ーブル装置の構成図で、（ａ）はＸＹテーブル装置の斜
視図、（ｂ）は要部拡大図、（ｃ）は永久磁石の斜視
図、（ｄ）は図（ｃ）のＸ−Ｘ線に沿う断面図、（ｅ）
は図（ｃ）のＹ−Ｙ線に沿う断面図、図２は図１のＡ−
Ａ線に沿う断面図である。図３、４、５と同一のものは
同一符号を付して詳細な説明を省略する。図において、
１はヨーク２６に取付けた永久磁石で、図１の（ｃ）
（ｄ）（ｅ）に示すように中央部２を周囲部３より薄肉
に形成して、３個並べて取付けている。したがって、Ｘ
Ｙテーブル２０がＸ軸方向に移動しても可動子２２、２
４の磁束がコイル３０に鎖交する磁束と変化することな
くＸＹテーブル２０を移動する推力は低下しない。ま
た、ＸＹテーブル２０がＹ軸方向に移動しても可動子２
３、２５のコイル３０に鎖交する磁束が変化することな
くＸＹテーブル２０を移動する推力は低下しない。した
がって、ＸＹテーブルの位置による制御性が変わること
がない。なお、図１の実施例では可動子をＸＹテーブル
の四辺の側部に取付けたが、ＸＹテーブルの上部あるい
は下部に取付けてもよい。
【０００６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば永久
磁石の中央部を周囲部より薄肉にしたので、ＸＹテーブ
ルを駆動する可動子の位置によらず駆動する推力が変化
せず、制御性が向上する。
磁石の中央部を周囲部より薄肉にしたので、ＸＹテーブ
ルを駆動する可動子の位置によらず駆動する推力が変化
せず、制御性が向上する。
【図１】本発明の実施例を示すＸＹテーブル装置の構成
図で、（ａ）はＸＹテーブル装置の斜視図、（ｂ）は要
部拡大図、（ｃ）は永久磁石の斜視図、（ｄ）は図
（ｃ）のＸ−Ｘ線に沿う断面図、（ｅ）は図（ｃ）のＹ
−Ｙ線に沿う断面図である。
図で、（ａ）はＸＹテーブル装置の斜視図、（ｂ）は要
部拡大図、（ｃ）は永久磁石の斜視図、（ｄ）は図
（ｃ）のＸ−Ｘ線に沿う断面図、（ｅ）は図（ｃ）のＹ
−Ｙ線に沿う断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】従来のＸＹテーブル装置の平面図である。
【図４】従来のＸＹテーブル装置の側面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ線に沿う断面拡大図である。
１ 永久磁石、 ２ 中央部、 ３ 周囲部、２０ Ｘ
Ｙテーブル、２１ 固定部、 ２２、２３、２４、２５
可動子、 ２６ ヨーク、２７ 永久磁石、 ２８
固定子、 ２９ 基板、 ３０ コイル
Ｙテーブル、２１ 固定部、 ２２、２３、２４、２５
可動子、 ２６ ヨーク、２７ 永久磁石、 ２８
固定子、 ２９ 基板、 ３０ コイル
Claims (1)
- 【請求項１】 固定部に対してＸ軸およびＹ軸方向に移
動しうるように支持されたＸＹテーブルと、前記ＸＹテ
ーブルの可動方向の四辺部にそれぞれ取付けられた永久
磁石からなる可動子と、前記各可動子と対向する位置の
固定部に取付けられたコイルからなる固定子とを有する
ＸＹテーブル装置において、 前記可動子の永久磁石の前記固定子と対向する面の中央
部を周囲部よりも薄肉に形成したことを特徴とするＸＹ
テーブル装置。 【０００１】
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24202597A JP3817724B2 (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | Ｘｙテーブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24202597A JP3817724B2 (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | Ｘｙテーブル装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1169753A true JPH1169753A (ja) | 1999-03-09 |
| JP3817724B2 JP3817724B2 (ja) | 2006-09-06 |
Family
ID=17083157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24202597A Expired - Fee Related JP3817724B2 (ja) | 1997-08-22 | 1997-08-22 | Ｘｙテーブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3817724B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003088087A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-20 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータ |
| JP2007006626A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Hitachi Via Mechanics Ltd | スキャナ |
-
1997
- 1997-08-22 JP JP24202597A patent/JP3817724B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003088087A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-20 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータ |
| JP2007006626A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Hitachi Via Mechanics Ltd | スキャナ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3817724B2 (ja) | 2006-09-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040708 |
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060228 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060303 |
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| A521 | Written amendment |
Effective date: 20060427 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
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