JP2001333565A - 平面モータ - Google Patents
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
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- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20012—Multiple controlled elements
- Y10T74/20201—Control moves in two planes
Abstract
(57)【要約】
【課題】 固定子と可動子からなる平面モータにおいて
漏泄磁束が少なくなるように永久磁石を配列することに
より、磁束密度を増加させてより大きい推力を発生させ
ることができる平面モータを提供する。 【解決手段】 X-Y軸方向に平面運動をするモータにお
いて、電機子フレーム（２２）の底面に電気信号を受け
る電機子コイル部（２１）が設置された可動子（２０）
と、前記可動子の電機子コイル部と対向する方向に設置
される固定子フレーム（２２）の表面にS極永久磁石
（１１１，１２１）の各隅部にN極永久磁石（１１２，
１２２）の一つの隅部が接するように配列されると共
に、S極永久磁石とN極永久磁石の隅部が接して形成され
る空間に挿入永久磁石（１１３）が配列された第１永久
磁石部（１１０）が設置された固定子（１０）と、から
構成される。
漏泄磁束が少なくなるように永久磁石を配列することに
より、磁束密度を増加させてより大きい推力を発生させ
ることができる平面モータを提供する。 【解決手段】 X-Y軸方向に平面運動をするモータにお
いて、電機子フレーム（２２）の底面に電気信号を受け
る電機子コイル部（２１）が設置された可動子（２０）
と、前記可動子の電機子コイル部と対向する方向に設置
される固定子フレーム（２２）の表面にS極永久磁石
（１１１，１２１）の各隅部にN極永久磁石（１１２，
１２２）の一つの隅部が接するように配列されると共
に、S極永久磁石とN極永久磁石の隅部が接して形成され
る空間に挿入永久磁石（１１３）が配列された第１永久
磁石部（１１０）が設置された固定子（１０）と、から
構成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術の分野】本発明は、平面モータに係
るもので、詳しくは、固定子と可動子からなる平面モー
タにおいて漏泄磁束が少なくなるように永久磁石を配列
することにより、磁束密度を増加させてより大きい推力
を発生させることができる平面モータに関する。
るもので、詳しくは、固定子と可動子からなる平面モー
タにおいて漏泄磁束が少なくなるように永久磁石を配列
することにより、磁束密度を増加させてより大きい推力
を発生させることができる平面モータに関する。
【０００２】
【従来の技術】平面モータ（surface motor）は、可動
子が固定子の表面から所定高さに上昇された状態で平面
運動するように構成される。可動子の平面運動は、部品
実装装置で印刷回路基板に部品を実装するヘッドユニッ
トのX-Y方向への駆動のために適用され、ヘッドユニッ
トをX-Y平行に移動させることができる駆動力を発生す
るように、平面モータはより大きい推力が要求されてい
る。
子が固定子の表面から所定高さに上昇された状態で平面
運動するように構成される。可動子の平面運動は、部品
実装装置で印刷回路基板に部品を実装するヘッドユニッ
トのX-Y方向への駆動のために適用され、ヘッドユニッ
トをX-Y平行に移動させることができる駆動力を発生す
るように、平面モータはより大きい推力が要求されてい
る。
【０００３】従来の平面モータの構成を添付図を用いて
説明する。
説明する。
【０００４】平面モータは、図４及び図5aに示すよう
に、固定子（stator）10と可動子（mover）20からな
る。固定子10は平板で形成された固定子フレーム11の平
面に多数個のS極永久磁石12a及びN極永久磁石12bが格子
状で配列された永久磁石部12が設置され、可動子20は電
機子フレーム22の底面に電機子コイル部21が設置され
る。電機子コイル部21に電気信号を受けるために可動子
20の一側にはケーブル22aが具備され、ケーブル22aに電
気的信号が受信されると、可動子20の電機子コイル部21
と固定子10の永久磁石部12間に推力が発生される。
に、固定子（stator）10と可動子（mover）20からな
る。固定子10は平板で形成された固定子フレーム11の平
面に多数個のS極永久磁石12a及びN極永久磁石12bが格子
状で配列された永久磁石部12が設置され、可動子20は電
機子フレーム22の底面に電機子コイル部21が設置され
る。電機子コイル部21に電気信号を受けるために可動子
20の一側にはケーブル22aが具備され、ケーブル22aに電
気的信号が受信されると、可動子20の電機子コイル部21
と固定子10の永久磁石部12間に推力が発生される。
【０００５】永久磁石部12と電機子コイル部21間に発生
した推力により固定子10の平面にそって可動子20をX-Y
軸方向に平面運動をさせるため、可動子20は固定子10の
平面から所定高さに上昇されなければならない。可動子
20を固定子10の平面から所定高さに上昇させるために可
動子20にノズル（図示せず）が具備される。ノズルを通
じて空気が噴射されると、空気を噴射させる力により可
動子20が固定子10の表面から所定高さに上昇され、この
状態で可動子20は固定子10の平面にそって自由に移動す
るようになる。
した推力により固定子10の平面にそって可動子20をX-Y
軸方向に平面運動をさせるため、可動子20は固定子10の
平面から所定高さに上昇されなければならない。可動子
20を固定子10の平面から所定高さに上昇させるために可
動子20にノズル（図示せず）が具備される。ノズルを通
じて空気が噴射されると、空気を噴射させる力により可
動子20が固定子10の表面から所定高さに上昇され、この
状態で可動子20は固定子10の平面にそって自由に移動す
るようになる。
【０００６】固定子10の平面にそって可動子20をX-Y軸
方向に移動させるため、可動子20に具備される電機子コ
イル部21に対応される永久磁石部12は、図5aに示したよ
うに、固定子フレーム11の平面に多数個のS極永久磁石1
2a及びN極永久磁石12bが格子状で配列されて設置され
る。格子状で配列される永久磁石部12はS極永久磁石12a
を中心にS極永久磁石12aの各隅部にN極永久磁石12bの一
つの隅部が接するように設置されるか、または逆にN極
永久磁石12bを中心にN極永久磁石12bの各隅部にS極永久
磁石12aの一つの隅部が接するように配列される。
方向に移動させるため、可動子20に具備される電機子コ
イル部21に対応される永久磁石部12は、図5aに示したよ
うに、固定子フレーム11の平面に多数個のS極永久磁石1
2a及びN極永久磁石12bが格子状で配列されて設置され
る。格子状で配列される永久磁石部12はS極永久磁石12a
を中心にS極永久磁石12aの各隅部にN極永久磁石12bの一
つの隅部が接するように設置されるか、または逆にN極
永久磁石12bを中心にN極永久磁石12bの各隅部にS極永久
磁石12aの一つの隅部が接するように配列される。
【０００７】S極永久磁石12aとN極永久磁石12bがそれぞ
れ互いの一つの隅部が接するように設置された永久磁石
部12は、S極永久磁石12aとN極永久磁石12bのそれぞれの
間に四角形の空間12cが形成され、この空間12cのため全
体的に永久磁石部12の同一な面積で永久磁石の占有する
占有密度が少なくなって、平面モータの推力が弱くなる
問題点を内包する。
れ互いの一つの隅部が接するように設置された永久磁石
部12は、S極永久磁石12aとN極永久磁石12bのそれぞれの
間に四角形の空間12cが形成され、この空間12cのため全
体的に永久磁石部12の同一な面積で永久磁石の占有する
占有密度が少なくなって、平面モータの推力が弱くなる
問題点を内包する。
【０００８】図5aに示した永久磁石部12の占有密度を改
善させるため、図5bに示すように、永久磁石部12のS極
永久磁石12aとN極永久磁石12bが所定角度で傾斜するよ
うに配列させると共に、S極永久磁石12aの四方面にそれ
ぞれN極永久磁石12bが接するか、または逆にN極永久磁
石12bの四方面にそれぞれS極永久磁石12aが接するよう
に配列させて設置する。
善させるため、図5bに示すように、永久磁石部12のS極
永久磁石12aとN極永久磁石12bが所定角度で傾斜するよ
うに配列させると共に、S極永久磁石12aの四方面にそれ
ぞれN極永久磁石12bが接するか、または逆にN極永久磁
石12bの四方面にそれぞれS極永久磁石12aが接するよう
に配列させて設置する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】然るに、 S極永久磁石
12aとN極永久磁石12bがそれぞれ互いに接するように永
久磁石部12を配列することにより、図5aに示した永久磁
石部12よりも占有密度は改善されたが、S極12aとN極12b
が隣接して配列されて着磁されることにより、電機子コ
イル部21にそって流れる電流と鎖交する鎖交磁束線の数
が減少して漏泄電流が発生し、S極12aとN極12bのそれぞ
れにより形成される磁化の長さが小さくなって永久磁石
の強さが減少され、よって、全体的に平面モータの推力
が弱くなるという問題点がある。
12aとN極永久磁石12bがそれぞれ互いに接するように永
久磁石部12を配列することにより、図5aに示した永久磁
石部12よりも占有密度は改善されたが、S極12aとN極12b
が隣接して配列されて着磁されることにより、電機子コ
イル部21にそって流れる電流と鎖交する鎖交磁束線の数
が減少して漏泄電流が発生し、S極12aとN極12bのそれぞ
れにより形成される磁化の長さが小さくなって永久磁石
の強さが減少され、よって、全体的に平面モータの推力
が弱くなるという問題点がある。
【００１０】そこで、本発明の目的は、平面モータの固
定子フレームの平面に配列されるS極永久磁石とN極永久
磁石の占有密度を増加させると共に、可動子フレームに
設置される電機子コイル部にそって流れる電流と鎖交さ
れる鎖交磁束線の数を増加させて漏泄磁束を減少させ、
磁化方向の長さを増加させて磁石の強さを増加させるこ
とができる平面モータを提供するにある。
定子フレームの平面に配列されるS極永久磁石とN極永久
磁石の占有密度を増加させると共に、可動子フレームに
設置される電機子コイル部にそって流れる電流と鎖交さ
れる鎖交磁束線の数を増加させて漏泄磁束を減少させ、
磁化方向の長さを増加させて磁石の強さを増加させるこ
とができる平面モータを提供するにある。
【００１１】本発明の他の目的は、鎖交磁束線の数を増
加させて漏泄磁束を減少させ、磁化方向の長さを増加さ
せて磁石の強さを増加させることにより、より大きい推
力を発生することができる平面モータを提供するにあ
る。
加させて漏泄磁束を減少させ、磁化方向の長さを増加さ
せて磁石の強さを増加させることにより、より大きい推
力を発生することができる平面モータを提供するにあ
る。
【００１２】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るため本発明による平面モータは、電機子フレームの底
面に電気信号を受ける電機子コイル部が設置された可動
子と、可動子の電機子コイル部と対向する方向に設置さ
れる固定子フレームの表面にS極永久磁石の各隅部にN極
永久磁石の一つの隅部が接するように配列されると共
に、S極永久磁石とN極永久磁石の隅部が接して形成され
る空間に挿入永久磁石が配列された第１永久磁石部が設
置された固定子と、を備えたことを特徴とする。
るため本発明による平面モータは、電機子フレームの底
面に電気信号を受ける電機子コイル部が設置された可動
子と、可動子の電機子コイル部と対向する方向に設置さ
れる固定子フレームの表面にS極永久磁石の各隅部にN極
永久磁石の一つの隅部が接するように配列されると共
に、S極永久磁石とN極永久磁石の隅部が接して形成され
る空間に挿入永久磁石が配列された第１永久磁石部が設
置された固定子と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。
て説明する。
【００１４】図1a乃至図1cは、本発明の第１実施例によ
る固定子の平面に配列された第１永久磁石部の平面図で
ある。図示したように、電機子フレーム22（図４に図
示）の底面に電気信号を受ける電機子コイル部21（図４
に図示）が設置された可動子20（図４に図示）と、可動
子20の電機子コイル部21と対向する方向に設置される固
定子フレーム11（図４に図示）の表面にS極永久磁石111
の各隅部にN極永久磁石112の一つの隅部が接するように
配列されると共に、S極永久磁石111とN極永久磁石112の
隅部が接して形成される空間に挿入永久磁石113が配列
された第１永久磁石部110が設置された固定子10（図４
に図示）と、から構成される。
る固定子の平面に配列された第１永久磁石部の平面図で
ある。図示したように、電機子フレーム22（図４に図
示）の底面に電気信号を受ける電機子コイル部21（図４
に図示）が設置された可動子20（図４に図示）と、可動
子20の電機子コイル部21と対向する方向に設置される固
定子フレーム11（図４に図示）の表面にS極永久磁石111
の各隅部にN極永久磁石112の一つの隅部が接するように
配列されると共に、S極永久磁石111とN極永久磁石112の
隅部が接して形成される空間に挿入永久磁石113が配列
された第１永久磁石部110が設置された固定子10（図４
に図示）と、から構成される。
【００１５】以下、本発明の構成及び作用を詳しく説明
する。
する。
【００１６】平面モータは、図４に示したように、大き
く固定子10と可動子20からなる。固定子10は平板形状を
し、平板形状を有する固定子10の平面にそって可動子20
がX-Y軸方向に平面運動をする。固定子10の平面にそっ
てX-Y軸方向に平面運動をする可動子20は、外部から電
気信号を電機子コイル部21に伝達するケーブル22aを具
備し、ケーブル22aを通して電気信号を受ける電機子コ
イル部21は電機子フレーム22の底面に設置される。
く固定子10と可動子20からなる。固定子10は平板形状を
し、平板形状を有する固定子10の平面にそって可動子20
がX-Y軸方向に平面運動をする。固定子10の平面にそっ
てX-Y軸方向に平面運動をする可動子20は、外部から電
気信号を電機子コイル部21に伝達するケーブル22aを具
備し、ケーブル22aを通して電気信号を受ける電機子コ
イル部21は電機子フレーム22の底面に設置される。
【００１７】電機子フレーム22の底面に設置された電機
子コイル部21は多数個の電機子コイル（図示せず）を具
備し、それぞれの電機子コイルは可動子20が直角に方向
を転換して固定子10の平面にそってX軸またはY軸方向に
移動されるように配列されて設置される。多数個の電機
子コイルにより直角に方向を転換して固定子10の平面に
そって可動子20を移動させるために可動子20はノズル
（図示せず）を具備する。ノズルは可動子20が固定子10
の平面にそって移動する際に固定子10の平面から可動子
20を所定高さに上昇させるため、空気を噴射させてエア
ーベアリング（air bearing）を形成させる。
子コイル部21は多数個の電機子コイル（図示せず）を具
備し、それぞれの電機子コイルは可動子20が直角に方向
を転換して固定子10の平面にそってX軸またはY軸方向に
移動されるように配列されて設置される。多数個の電機
子コイルにより直角に方向を転換して固定子10の平面に
そって可動子20を移動させるために可動子20はノズル
（図示せず）を具備する。ノズルは可動子20が固定子10
の平面にそって移動する際に固定子10の平面から可動子
20を所定高さに上昇させるため、空気を噴射させてエア
ーベアリング（air bearing）を形成させる。
【００１８】エアーベアリングにより可動子20は固定子
10の平面から所定高さに上昇され、この状態で可動子20
は摩擦なしに自由に固定子10の平面にそってX-Y軸方向
に平面運動をする。可動子20をX-Y軸方向に平面運動を
させるため、固定子10に具備された固定子フレーム11に
本発明による第１永久磁石部110が設置される。
10の平面から所定高さに上昇され、この状態で可動子20
は摩擦なしに自由に固定子10の平面にそってX-Y軸方向
に平面運動をする。可動子20をX-Y軸方向に平面運動を
させるため、固定子10に具備された固定子フレーム11に
本発明による第１永久磁石部110が設置される。
【００１９】第１永久磁石部110は、図1aに示すよう
に、可動子20の電機子コイル部21と対向する方向に設置
される固定子フレーム11の表面にS極永久磁石111の各隅
部にN極永久磁石112の一つの隅部が接するように配列さ
れる。即ち、四角形状をもつS極永久磁石111の四つの隅
部にS極永久磁石111のような形状をもつN極永久磁石112
の一つの隅部が接するように配列されて着磁される。S
極永久磁石111の四つの隅部にN極永久磁石112の一つの
隅部が接するように配列されるか、または反対に第１永
久磁石部110はN極永久磁石112の各隅部にS極永久磁石11
1の一つの隅部が接するように配列されて着磁されて設
置される。
に、可動子20の電機子コイル部21と対向する方向に設置
される固定子フレーム11の表面にS極永久磁石111の各隅
部にN極永久磁石112の一つの隅部が接するように配列さ
れる。即ち、四角形状をもつS極永久磁石111の四つの隅
部にS極永久磁石111のような形状をもつN極永久磁石112
の一つの隅部が接するように配列されて着磁される。S
極永久磁石111の四つの隅部にN極永久磁石112の一つの
隅部が接するように配列されるか、または反対に第１永
久磁石部110はN極永久磁石112の各隅部にS極永久磁石11
1の一つの隅部が接するように配列されて着磁されて設
置される。
【００２０】S極永久磁石111とN極永久磁石112のそれぞ
れの一つの隅部に極性の異なるS極永久磁石111とN極永
久磁石112の一つの隅部が接するように配列されて形成
される空間には、挿入永久磁石113が配列されるように
着磁される。S極永久磁石111とN極永久磁石112の一つの
隅部が接するように配列されて形成される空間に挿入永
久磁石113を配列させることにより、図1aに示した矢印
方向にS極永久磁石111とN極永久磁石112の磁化方向が長
くなり、このため、電機子コイル部21に流れている電流
と鎖交する鎖交磁束線の数を増加させて、全体的に磁石
の強さを増加させて平面モータの推力を向上させること
ができるようになる。
れの一つの隅部に極性の異なるS極永久磁石111とN極永
久磁石112の一つの隅部が接するように配列されて形成
される空間には、挿入永久磁石113が配列されるように
着磁される。S極永久磁石111とN極永久磁石112の一つの
隅部が接するように配列されて形成される空間に挿入永
久磁石113を配列させることにより、図1aに示した矢印
方向にS極永久磁石111とN極永久磁石112の磁化方向が長
くなり、このため、電機子コイル部21に流れている電流
と鎖交する鎖交磁束線の数を増加させて、全体的に磁石
の強さを増加させて平面モータの推力を向上させること
ができるようになる。
【００２１】挿入永久磁石113は、図1aに示すように一
つで着磁されることができるし、図1bに示すように第１
永久磁石部110の挿入永久磁石113は対角線方向に４分割
されて配列されるように着磁されるか、または図1cに示
すように挿入永久磁石113は水平及び垂直方向に４分割
されて配列されるように着磁させる。図1bと図1cに示す
ように挿入永久磁石部113を対角線または水平及び垂直
方向に４分割させて着磁させることにより、S極永久磁
石111とN極永久磁石112の磁化の長さを増加させること
ができるし、漏泄磁束を少なくして磁石の強さを増加さ
せることができる。
つで着磁されることができるし、図1bに示すように第１
永久磁石部110の挿入永久磁石113は対角線方向に４分割
されて配列されるように着磁されるか、または図1cに示
すように挿入永久磁石113は水平及び垂直方向に４分割
されて配列されるように着磁させる。図1bと図1cに示す
ように挿入永久磁石部113を対角線または水平及び垂直
方向に４分割させて着磁させることにより、S極永久磁
石111とN極永久磁石112の磁化の長さを増加させること
ができるし、漏泄磁束を少なくして磁石の強さを増加さ
せることができる。
【００２２】図1a乃至図1cに示した矢印は、第１永久磁
石部113を構成するS極永久磁石111とN極永久磁石112の
磁化方向を示し、S極永久磁石111でN極永久磁石112に磁
化する方向を意味する。また、S極永久磁石111は紙を基
準にして紙の上に出る方向を示し、N極永久磁石112は紙
の下へ抜け出される方向を示し、それぞれのS極永久磁
石111、N極永久磁石112及び挿入永久磁石113は等方性で
着磁される。
石部113を構成するS極永久磁石111とN極永久磁石112の
磁化方向を示し、S極永久磁石111でN極永久磁石112に磁
化する方向を意味する。また、S極永久磁石111は紙を基
準にして紙の上に出る方向を示し、N極永久磁石112は紙
の下へ抜け出される方向を示し、それぞれのS極永久磁
石111、N極永久磁石112及び挿入永久磁石113は等方性で
着磁される。
【００２３】本発明の平面モータに適用される第１永久
磁石部110の他の実施例を図2a及び図2bを用いて説明す
る。
磁石部110の他の実施例を図2a及び図2bを用いて説明す
る。
【００２４】図2a及び図2bは、本発明の第２実施例によ
る固定子の平面に配列された第２永久磁石部の平面図で
ある。図示したように、第２永久磁石部120は可動子20
の電機子コイル部21と対向する方向に設置される固定子
フレーム11の表面に所定の角度で傾斜するようにS極永
久磁石121が配列され、S極永久磁石121の四方面にそれ
ぞれS極永久磁石121の大きさだけ離隔される位置にN極
永久磁石122の一面が対向するように配列される。
る固定子の平面に配列された第２永久磁石部の平面図で
ある。図示したように、第２永久磁石部120は可動子20
の電機子コイル部21と対向する方向に設置される固定子
フレーム11の表面に所定の角度で傾斜するようにS極永
久磁石121が配列され、S極永久磁石121の四方面にそれ
ぞれS極永久磁石121の大きさだけ離隔される位置にN極
永久磁石122の一面が対向するように配列される。
【００２５】所定の角度で傾斜するように配列されたS
極永久磁石121の四方の面にそれぞれN極永久磁石122の
一面が対向するように配列される第２永久磁石部120
は、前述とは反対に、固定子フレーム11の表面に所定角
度で傾斜するようにN極永久磁石122が配列され、N極永
久磁石122の四方面にそれぞれN極永久磁石112の大きさ
だけ離隔された位置にS極永久磁石121の一面が対向する
ように配列される。
極永久磁石121の四方の面にそれぞれN極永久磁石122の
一面が対向するように配列される第２永久磁石部120
は、前述とは反対に、固定子フレーム11の表面に所定角
度で傾斜するようにN極永久磁石122が配列され、N極永
久磁石122の四方面にそれぞれN極永久磁石112の大きさ
だけ離隔された位置にS極永久磁石121の一面が対向する
ように配列される。
【００２６】所定角度で傾斜するように配列されたS極
永久磁石121の四方面にそれぞれN極永久磁石122の一面
が対向するように配列されて着磁されると共に、第２永
久磁石部120はS極永久磁石121とN極永久磁石122が互い
に対向する空間に第１挿入永久磁石123が配列され、第
１挿入永久磁石123の各隅部が接して形成された領域に
空間124aが形成されるように着磁されて配列される。
永久磁石121の四方面にそれぞれN極永久磁石122の一面
が対向するように配列されて着磁されると共に、第２永
久磁石部120はS極永久磁石121とN極永久磁石122が互い
に対向する空間に第１挿入永久磁石123が配列され、第
１挿入永久磁石123の各隅部が接して形成された領域に
空間124aが形成されるように着磁されて配列される。
【００２７】第２永久磁石部120の第１挿入永久磁石123
の各隅部が接して形成された空間124aには、図2bに示す
ように、第２挿入永久磁石124が配列され、第２挿入永
久磁石124はS極永久磁石121またはN極永久磁石122の傾
斜した方向と平行に２分割されて着磁される。２分割さ
れて着磁された第２挿入永久磁石124は勿論第２永久磁
石部120のS極永久磁石121、N極永久磁石122及び第１挿
入永久磁石123は第１永久磁石部110と同一に等方性で着
磁されて配列される。
の各隅部が接して形成された空間124aには、図2bに示す
ように、第２挿入永久磁石124が配列され、第２挿入永
久磁石124はS極永久磁石121またはN極永久磁石122の傾
斜した方向と平行に２分割されて着磁される。２分割さ
れて着磁された第２挿入永久磁石124は勿論第２永久磁
石部120のS極永久磁石121、N極永久磁石122及び第１挿
入永久磁石123は第１永久磁石部110と同一に等方性で着
磁されて配列される。
【００２８】等方性を有するように着磁された第２永久
磁石部120を示した図2a及び図2bに示した矢印方向は磁
化方向を示し、S極永久磁石111からN極永久磁石112に磁
化される方向を意味する。また、S極永久磁石111は紙を
基準にして紙の上にでる方向を示し、N極永久磁石112は
紙の下へ抜け出される方向を示す。
磁石部120を示した図2a及び図2bに示した矢印方向は磁
化方向を示し、S極永久磁石111からN極永久磁石112に磁
化される方向を意味する。また、S極永久磁石111は紙を
基準にして紙の上にでる方向を示し、N極永久磁石112は
紙の下へ抜け出される方向を示す。
【００２９】このように図1a乃至図1cに示した第１永久
磁石部110と図2a及び図2bに示した第２永久磁石部120を
図5a及び図5bに示した従来の永久磁石部12と比較した結
果を図３に示す。図３に示したように、第１永久磁石部
110と第２永久磁石部120にそれぞれ挿入永久磁石113ま
たは第１及び第２挿入永久磁石部123,124を配列させる
ことにより、磁化方向の長さを増加させて従来の永久磁
石部12よりも大きい磁石の強さが得られるようになっ
て、同一面積の永久磁石でより大きい推力をもつ平面モ
ータを得ることができる。
磁石部110と図2a及び図2bに示した第２永久磁石部120を
図5a及び図5bに示した従来の永久磁石部12と比較した結
果を図３に示す。図３に示したように、第１永久磁石部
110と第２永久磁石部120にそれぞれ挿入永久磁石113ま
たは第１及び第２挿入永久磁石部123,124を配列させる
ことにより、磁化方向の長さを増加させて従来の永久磁
石部12よりも大きい磁石の強さが得られるようになっ
て、同一面積の永久磁石でより大きい推力をもつ平面モ
ータを得ることができる。
【００３０】
【発明の効果】以上説明したように本発明の平面モータ
は、第１または第２永久磁石部に挿入永久磁石を着磁さ
せて配列することにより永久磁石の占有密度を増加さ
せ、漏泄磁束を減少させてより大きい推力を発生させる
ことができるという効果がある。
は、第１または第２永久磁石部に挿入永久磁石を着磁さ
せて配列することにより永久磁石の占有密度を増加さ
せ、漏泄磁束を減少させてより大きい推力を発生させる
ことができるという効果がある。
【図１ａ】本発明の第１実施例による固定子の平面に配
列された第１永久磁石部の平面図である。
列された第１永久磁石部の平面図である。
【図１ｂ】本発明の第１実施例による固定子の平面に配
列された第１永久磁石部の平面図である。
列された第１永久磁石部の平面図である。
【図１ｃ】本発明の第１実施例による固定子の平面に配
列された第１永久磁石の平面図である。
列された第１永久磁石の平面図である。
【図２ａ】本発明の第２実施例による固定子の平面に配
列された第２永久磁石部の平面図である。
列された第２永久磁石部の平面図である。
【図２ｂ】本発明の第２実施例による固定子の平面に配
列された第２永久磁石部の平面図である。
列された第２永久磁石部の平面図である。
【図３】本発明の永久磁石部の配列状態による平面モー
タの磁束量を示すグラフである。
タの磁束量を示すグラフである。
【図４】従来の平面モータの斜視図である。
【図５ａ】図４に示した固定子の平面に配列された永久
磁石部の平面図である。
磁石部の平面図である。
【図５ｂ】図４に示した固定子の平面に配列された永久
磁石部の平面図である。
磁石部の平面図である。
１０ 固定子 １１ 固定子フレーム ２０ 可動子 ２１ 電機子コイル部 ２２ 可動子フレーム １１０ 第１永久磁石部 １２０ 第２永久磁石部 １１１，１２１ S極永久磁石 １１２，１２２ N極永久磁石
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヤン、スン、チュン 大韓民国ソウル、スンブク‐ク、ドナム- ドン、ドンソムンハンジン、アパートメン ト、202−811 (72)発明者 ヒュン、キョー、ユン 大韓民国キュンキ‐ドー、ソンナム‐シ、 ブンダン‐ク、ユイメ−‐ドン、キョンヨ ン、アパートメント、104−1201 Ｆターム(参考） 5E313 AA01 AA11 CC01 CC02 EE01 FF24 FF28 FG10 5H622 AA03 CA02 CA10 CB02 CB03 QB02 5H641 BB06 BB15 BB18 GG03 GG07 GG15 HH02 HH05 HH16 HH17 HH20 JA06
Claims (9)
- 【請求項１】X-Y軸方向に平面運動をするモータにおい
て、 電機子フレームの底面に電気信号を受ける電機子コイル
部が設置された可動子と、 前記可動子の電機子コイル部と対向する方向に設置され
る固定子フレームの表面にS極永久磁石の各隅部にN極永
久磁石の一つの隅部が接するように配列されると共に、
S極永久磁石とN極永久磁石の隅部が接して形成される空
間に挿入永久磁石が配列された第１永久磁石部が設置さ
れた固定子と、から構成されることを特徴とする平面モ
ータ。 - 【請求項２】前記第１永久磁石部のS極永久磁石とN極永
久磁石と挿入永久磁石は等方性で着磁されることを特徴
とする請求項１に記載の平面モータ。 - 【請求項３】前記第１永久磁石部はN極永久磁石の各隅
部にS極永久磁石の一つの隅部が接するように配列され
ることを特徴とする請求項１に記載の平面モータ。 - 【請求項４】前記第１永久磁石部の挿入永久磁石は対角
線方向に４分割されて配列されることを特徴とする請求
項１に記載の平面モータ - 【請求項５】前記第１永久磁石部の挿入永久磁石は水平
及び垂直方向に４分割されて配列されることを特徴とす
る請求項１に記載の平面モータ。 - 【請求項６】X-Y軸方向に平面運動をするモータにおい
て、 電機子フレームの底面に電気信号を受ける電機子コイル
部が設置された可動子と、 前記可動子の電機子コイル部と対向する方向に設置され
る固定子フレームの表面に所定角度で傾斜するようにS
極永久磁石が配列され、S極永久磁石の四方面にそれぞ
れS極永久磁石の大きさだけ離隔される位置にN極永久磁
石の一面が対向するように配列されると共に、S極永久
磁石とN極永久磁石が対向する空間に第１挿入永久磁石
が配列され、第１挿入永久磁石の各隅部が接して形成さ
れた領域に空間が形成されるように配列された第２永久
磁石部が設置された固定子と、から構成されることを特
徴とする平面モータ。 - 【請求項７】前記第２永久磁石部は固定子フレームの表
面に所定角度で傾斜するようにN極永久磁石が配列さ
れ、N極永久磁石の四方面にそれぞれN極永久磁石の大き
さだけ離隔される位置にS極永久磁石の一面が対向する
ように配列されることを特徴とする請求項６に記載の平
面モータ。 - 【請求項８】前記第２永久磁石部の第１挿入永久磁石の
各隅部が接して形成された空間に２分割された第２挿入
永久磁石が配列されることを特徴とする請求項６に記載
の平面モータ。 - 【請求項９】前記第２永久磁石部のS極永久磁石とN極永
久磁石と第１挿入永久磁石と第２挿入永久磁石は等方性
で着磁されることを特徴とする請求項６または８に記載
の平面モータ。
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| KR2000-27232 | 2000-05-20 | ||
| KR1020000027232A KR100365012B1 (ko) | 2000-05-20 | 2000-05-20 | 평면 모터 |
| KR1020000027231A KR100365011B1 (ko) | 2000-05-20 | 2000-05-20 | 평면 모터 |
| KR2000-27231 | 2000-05-20 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
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| JP3732415B2 JP3732415B2 (ja) | 2006-01-05 |
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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|---|---|
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008096519A1 (ja) * | 2007-02-08 | 2008-08-14 | Mitsubishi Electric Corporation | 回転・直動モータ |
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| JP3835447B2 (ja) * | 2002-10-23 | 2006-10-18 | ヤマハ株式会社 | 磁気センサ、同磁気センサの製造方法及び同製造方法に適したマグネットアレイ |
| US7170203B2 (en) * | 2004-05-06 | 2007-01-30 | The Hong Kong Polytechnic University | Two-dimensional variable reluctance planar motor |
| WO2009083889A1 (en) * | 2007-12-28 | 2009-07-09 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Contactless lifting of an object by an inverted planar motor |
| JP2009254173A (ja) * | 2008-04-08 | 2009-10-29 | Canon Inc | 平面パルスモータ、露光装置およびデバイス製造方法 |
| US20100090545A1 (en) * | 2008-10-09 | 2010-04-15 | Binnard Michael B | Planar motor with wedge shaped magnets and diagonal magnetization directions |
| CN108475979B (zh) * | 2016-01-22 | 2020-03-20 | Tdk株式会社 | 致动器 |
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|---|---|---|---|---|
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| JP4164905B2 (ja) * | 1997-09-25 | 2008-10-15 | 株式会社ニコン | 電磁力モータ、ステージ装置および露光装置 |
| US6188147B1 (en) * | 1998-10-02 | 2001-02-13 | Nikon Corporation | Wedge and transverse magnet arrays |
| US6257512B1 (en) * | 1998-12-16 | 2001-07-10 | Fil-Tec, Inc. | Magnetized pre-wound sideless bobbins |
-
2001
- 2001-02-09 TW TW090102959A patent/TW508894B/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-02-12 US US09/780,378 patent/US6548917B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-02-26 JP JP2001051071A patent/JP3732415B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008096519A1 (ja) * | 2007-02-08 | 2008-08-14 | Mitsubishi Electric Corporation | 回転・直動モータ |
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