JP3812832B2

JP3812832B2 - ディスク基板受台

Info

Publication number: JP3812832B2
Application number: JP2002331822A
Authority: JP
Inventors: 西村　　博信; 豊松本
Original assignee: Origin Electric Co Ltd
Current assignee: Origin Electric Co Ltd
Priority date: 2002-11-15
Filing date: 2002-11-15
Publication date: 2006-08-23
Anticipated expiration: 2022-11-15
Also published as: JP2004164786A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスクの製造装置における処理ステージで用いられるディスク基板受台の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】
光ディスクにより記録容量を増大させる技術が発展し普及してきており、さらにその記録容量をより高密度化する傾向にある。ディジタル・バーサタイル・ディスク（ＤＶＤ）では、片側又は両側に情報記録層を有する２枚のディスク基板を貼り合わせたもの、それらをさらに貼り合わせたＤＶＤ、さらには０．１ｍｍの厚みのカバー層とディスク基板とを貼り合わせた次世代ディスクと称される記録容量の大きなＤＶＤなどが知られている。そして、これらには既に情報が記録されているＲＯＭタイプのもの、情報が記録できるＲＡＭタイプのものがある。
【０００３】
このような光ディスクの製造装置の全体を開示した特許文献として下記のようなものがある。
【特許文献１】
特開２００２−２４５６９２号（６−８頁、図１）
【特許文献２】
特開平０９−２３１６２５号（３−６頁、図１）
このような製造装置において、ディスク基板同士の貼り合わせはドーナツ状に供給された接着剤を介して２枚のディスク基板を重ね合わせ、高速回転してスピン処理することにより接着剤をディスク基板間に展延させると共に、余剰の接着剤を振り切っている。次に、不図示の紫外線照射機構におけるディスク基板受台上にディスク基板を移載し、紫外線をディスク基板の片側又は両側から照射することにより、接着剤を硬化させている。
【０００４】
図３は紫外線照射機構におけるディスク基板受台の従来のセンタリング手段１及びその関連部分を示す図である。その(Ａ)はセンタリング部材２の上面図を示し、その(Ｂ)はディスク基板受台４にセンタリング手段１が装着され、更にディスク基板Ｄが載置された図を示し、その(Ｃ)、(Ｄ)、(Ｅ)はそれらの組み立て図を示す。従来のセンタリング手段は大きく分けて図３に示すように、ディスク基板Ｄの中央孔に対し挿脱し易くくするために上側の径が下側よりも幾分小さくなっている円筒状の形状であって、上面、つまりディスク基板受台の平面と平行な断面が円形であるセンタリング部材２とこれに係合する固定用部材３とからなる。
【０００５】
センタリング部材２は、不図示のターンテーブルに所定間隔で設けられた耐熱ガラスからなるディスク基板受台４の上側に位置し、そのターンテーブルの下側の固定用部材３と螺合するようになっている。センタリング部材２はジルコニウムのような固い材料からなり、円筒状部分２ａと、ディスク基板受台４の中央孔４ａの大径部４ｂに篏入されるつば部分２ｂと、ディスク基板受台４の中央孔４ａに篏入される固定部分２ｃと、それから下側に延び、周囲にネジ溝を有する螺合部分２ｄとからなる。固定部材３は内周に、センタリング部材２の螺合部分２ｄと螺合するネジ溝を有する螺合部分３ａを有する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
従来のセンタリング部材２は前述のように円筒形状であるので、前述のスピン処理によりディスク基板Ｄの内周端面からにじみ出た接着剤がセンタリング部材２の側面全面に付着して紫外線照射により硬化され、このような現象が度々生ずると、付着した接着剤によりセンタリング部材２が太くなり、センタリング部材２がディスク基板Ｄの中央孔に入り難くなって、トラブルの原因となる。したがって、クリーニングしなければならないが、接着剤がセンタリング部材２の側面全面に付着するため、クリーニングの回数が増え、その都度装置全体を止めてクリーニングを行う必要があった。また、センタリング部材２の側面全面に接着剤が付着するので剥れ難く、一回のクリーニングに時間がかかるということもあり、より生産効率が低下する一因となっていた。更にまた、ディスク基板受台を挟んで上側のセンタリング部材２と下側の固定用部材３とを螺合させて、センタリング手段１を組み立てているために、クリーニング後の組立作業が煩雑になり、このことも生産能率を低下させる一因となっていた。
【０００７】
したがって、本発明はセンタリング部材２の側面を角形とすることにより、ディスク基板Ｄの内周端面からにじみ出した接着剤がセンタリング部材２に付着し難いようにすると共に付着した接着剤を除去し易いようにし、またセンタリング部材２を容易に取り外せるようにして、生産効率の低下を防ぐことを主目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
この課題を解決するために、本発明に係る請求項１の発明では、中央孔を有する光ディスクのディスク基板を受けるガラス製の受台と、前記中央孔に挿入されるセンタリング手段とを備えたディスク基板受台において、前記センタリング手段は、上面から見て多角形であるセンタリング部材と、前記受台の中央に形成された貫通孔に装着され、前記センタリング部材を固定する部材であって、前記受台の上面の前記貫通孔の入口に係合するつば部と前記受台の下面の前記貫通孔の出口から延出されるネジ部とを有する第１の固定用部材と、前記受台の下面の前記貫通孔の出口の周囲に当接し、前記第１の固定用部材の前記ネジ部と螺合するネジ穴を有する第２の固定用部材と、を備え、前記第１の固定用部材が、前記第２の固定用部材によって前記受台の下面から前記第１の固定用部材の前記つば部を前記受台の上面の前記貫通孔の入口に抑えつけて固定されるとともに、前記センタリング部材が前記第１の固定用部材によって、前記受台に着脱可能に固定されることを特徴とするディスク基板受台を提案するものである。
【００１６】
【発明の実施の形態及び実施例】
以下、図面により本発明の一実施例について説明する。本発明を説明する前に、本発明の理解を容易なものにするため、本発明のディスク基板の貼り合わせ装置が用いられるＤＶＤの全体的な製造装置の一例の概要について、ＤＶＤ９の場合を例にとり図１により説明する。図１において、２１Ａ、２１Ｂは同等な第１、第２の成形機であり、スタンパで情報が記録されたディスク基板をそれぞれ成形する。取り出し機構２２Ａ、２２Ｂは第１、第２の成形機２１Ａ、２１Ｂからそれぞれ前記ディスク基板を取り出し、スピンクーリング機構２３Ａ、２３Ｂに受け渡す。スピンクーリング機構２３Ａ、２３Ｂは受け取った未だ柔らかいディスク基板を高速回転させて、短時間で冷却すると同時に、遠心力で反りを低減するものである。スピンクーリング機構２３Ａ、２３Ｂは占有面積が小さいので、装置の小型化に寄与するが、小型化が問題にならなければ別の通常の冷却機構でも良い。
【００１７】
移載機構２４Ａ、２４Ｂはそれぞれ、スピンクーリング機構２３Ａ、２３Ｂで冷却され、向きの変えられたディスク基板を反転ポジションのディスク受台２５Ａ、２５Ｂにそれぞれ載置する。ここで、ディスク基板は表と裏が反転されるが、この反転は必ずしも必要ではない。次に、それぞれ二つの移載アームを有する移載機構２６Ａ、２６Ｂは、それぞれ一方のアームでスパッタテーブル２７上のポジションＡ、Ｂで、スパッタ済のディスク基板をターンテーブル２９に順次移載すると共に、他方のアームで反転ポジションのディスク受台２５Ａ、２５Ｂのディスク基板をスパッタテーブル２７上のポジションＡ、Ｂの不図示の受台に移載する。スパッタテーブル２７は正方形状のものを、軽量化するため四辺が弧状に凹むように削除すると共に、複数の穴を形成したものである。スパッタテーブル２７は９０度ずつ間欠的に回転し、２ステップ進んだポジションＣ、Ｄで、スパッタ装置２８Ａ、２８ＢはポジションＡ、Ｂで受け渡されたディスク基板にそれぞれ金属膜を生膜する。
【００１８】
スパッタ装置２８Ａは、スパッタテーブル２７のポジションＡで載置されたディスク基板に金（Ａｕ）をスパッタリングしてＡｕ膜を形成し、スパッタ装置２８ＢはポジションＢで載置されたディスク基板にアルミニウム（Ａｌ）をスパッタリングしてＡｌ膜を形成する。なお、この金属膜の形成は種々の組み合わせ、種々の順序などで行うことができ、選択できるようになっている。このようにして半反射膜、反射膜の形成されたディスク基板は再びポジションＡ、Ｂに戻った時点で移載機構２６Ａ、２６Ｂによりターンテーブル２９のポジションＥ、Ｆに載置される。このとき、金属膜は上側になっている。そして、ポジションＧで一本のアームを備える移載機構３０により次のターンテーブル３１のポジションＨに移載される。ターンテーブル３１、反転機構３２、接着剤供給ノズル３３、重ね合わせ機構３４、二つのスピンナ３５Ａ、３５Ｂ、移載機構３６については、前記特許文献１（特開２００２−２４５６９２号）に記載されているものと同じであるので詳しい説明を省略するが、概略は次の通りである。
【００１９】
ターンテーブル３１のポジションＨに順次移載されたディスク基板は、反転機構３２によりディスク基板１枚おきに表裏反転される。次に、貼り合わせ面が上側を向いているディスク基板だけに、接着剤供給ノズル３３がドーナツ状に接着剤を供給する。次に、重ね合わせ機構３４により双方の金属膜が内側にあるように、接着剤を介して２枚のディスク基板が重ね合わされる。ターンテーブル３１のポジションＩで、ディスク基板は移載機構３６によりスピンナ装置３５Ａ、３５Ｂに交互に振り分けられ、高速回転処理によりディスク基板間の接着剤は展延されると共に、余剰の接着剤は振り切られる。このようにして貼り合わされたディスク基板は、次にオプションステージ３７に載置される。オプションステージ３７は必要な場合のみ設けられ、ここではディスク基板の端面処理が必要であるので、端面処理機構３８が設けられている。端面処理機構３８に代えて、例えば仮付け機構が設けられて、ディスク基板をセンタリングした後に接着剤の一部を半硬化又は硬化、あるいは全面を半硬化する仮付機構が備えられることもある。このオプションステージ３７は設けられない場合もある。
【００２０】
そして、端面処理されたディスク基板は２本の移載アームをもつ移載機構３９により、ターンテーブル４０のポジションＪの耐熱ガラスなどからなる支承手段４０ａに移載される。支承手段４０ａ上のディスク基板は紫外線硬化装置４１が発生する紫外線の照射を受け、接着剤は硬化する。紫外線硬化装置４１はディスク基板の両側に設けられる場合がある。ディスク基板はポジションＪで、移載機構３９により次のターンテーブル４２に移載され、次に反転機構４３により反転され、さらに除電装置４４により除電される。除電されたディスク基板は移載手段４５により検査装置４６に送られ、ここで所定の検査が行われる。そして、検査結果が良品と判定されたディスク基板は判別移載機構４７により良品排出テーブル４８に排出され、不良品は不良品排出テーブル４９又は５０に排出される。不良品が傷に起因するものの場合は不良品排出テーブル４９に排出され、チルトに起因するものの場合には不良品排出テーブル５０に排出される。なお、５１はサンプルステージであり、移載手段３０によりサンプルのディスク基板を例えば１０枚まで取り出せるようになっている。
【００２１】
次に、本発明の一実施例を図２(Ａ)〜(Ｄ)により説明する。この実施例は図１で示したターンテーブル４０のポジションＪの耐熱ガラスからなる支承手段に対応するディスク基板受台に係るものであり、図３で示した記号と同一の記号は相当する部材を示すものとする。このセンタリング手段１は、センタリング部材２及び固定用部材３とからなる。センタリング部材２は上から見て６角形をしており、その６角形の頂部の中央から底部へ抜ける、径が２段階の貫通穴２Ａを有する。
【００２２】
図２において鎖線で示すディスク基板Ｄの中央孔Ｈの内周端面から接着剤が漏出しても、接着剤は６角形のセンタリング部材２の角部分だけに付着することがあるだけであり、付着する量が少ないだけでなく、剥れ易いのでクリーニングに従来ほど時間を要することがなく、製造装置を停止させる回数と停止１回当りの時間を短縮できる。また、角形であるために、センタリング部材２の着脱作業を楽に行うことができる。
【００２３】
固定用部材３は第１の部材３Ａと第２の部材３Ｂとネジ部材３Ｃとからなる。第１の部材３Ａはディスク基板受台４の中央孔に篏挿される本体部分の上側部分から放射外方向に延びるつば部分３Ａａと、その本体部分の中央を通ってセンタリング部材２の底部の円環状凸部２Ｂと篏合する円環状凹部３Ａｃ、及び第２の部材３Ｂの中央に形成されたネジ穴３Ｂａと螺合するネジ部３Ａｄを有する。
【００２４】
図２(Ｄ)から明らかなように、固定用部材３は、第１の部材３Ａのつば部３Ａａがディスク基板受台４に係合し、第１の部材３Ａのネジ部３Ａｄと第２の部材３Ｂのネジ部３Ｂａとが螺合すると共に、第２の部材３Ｂの上面がディスク基板受台４の下面に係合することにより、ディスク基板受台４に予め固定される。この固定用部材３はセンタリング部材２をクリーニングするとき、通常、取り外されることはない。センタリング部材２を取り付けるときには、その底部の円環状凸部２Ｂを固定用部材３の第１の部材３Ａの円環状凹部３Ａｃに軽く篏め込み、ネジ部材３Ｃを第１の部材３Ａのネジ穴３Ａｂに螺合させることにより、センタリング部材２をディスク基板受台４に固定することができる。このように本発明にかかわるセンタリング手段は角形をしているので、前述のように接着剤が付着し難く、剥れ易いので、装置を止めてセンタリング部材のクリーニングを行う回数を少なくでき、しかも１回のクリーニングに要する時間を短くできるだけでなく、センタリング部材の着脱を上側からだけで行えるので、装置を停止させている時間を短くでき、生産能率を向上できる。
【００２５】
上記実施例は、ディスク基板の両側から紫外線照射を行うことができるように、ディスク基板受台を耐熱ガラスで構成した場合について述べたが、ディスク基板の上側からだけ紫外線照射を行う場合には、ディスク基板受台をアルミニウムのような金属板又はセラミック板のような不透明で機械的に丈夫な材料で構成する場合が多い。この場合にはディスク基板受台の中心に所定の径のネジ孔を予め形成しておき、そのネジ孔に螺合するネジ部分をセンタリング部分の下面中央に備えてなるセンタリング手段を用意し、センタリング手段の前記ネジ部分をディスク基板受台の前記ネジ孔に螺合させることにより、上側から極く簡単にセンタリング手段を着脱することが可能である。なお、この実施例でも当然にセンタリング手段は上方からみて角形をしたものである。
【００２６】
なお、以上の実施例では製作し易い関係からセンタリング手段の形状を６角形としたが、４角形、５角形など他の多角形でも良い。しかし、１２角形を超えると本発明の効果が薄れる。また、第１の実施例においてセンタリング部材２をネジ部材３Ｃで固定用部材３に固定したが、センタリング部材２と第１の部材３Ａとが直接螺合することにより固定しあう構造であっても良い。さらにまた、本発明に係るディスク基板受台は紫外線照射機構に限らず、他の処理ステージにおけるディスク基板受台として用いても勿論よい。
【００２７】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明にかかわるディスク基板受台によれば、センタリング手段が角形であるので、接着剤が付着し難く、センタリング手段をクリーニングする時間を大幅に少なくでき、またその着脱をディスク基板受台の上側だけでできるので、このことが更に一層生産能率を向上させる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るディスク基板受台が適用される光ディスクの製造装置の一例を示す図である。
【図２】本発明に係るディスク基板受台の１実施例を説明するための図である。
【図３】従来のディスク基板受台の一例を示す図である。
【符号の説明】
１・・・センタリング手段
２・・・センタリング部材
２Ａ・・・貫通穴
２Ｂ・・・円環状凸部
３・・・固定用部材
３Ａ・・・第１の部材
３Ｂ・・・第２の部材
３Ｃ・・・ネジ部材
３５Ａ、３５Ｂ・・・スピンナ装置
３６、３９・・・移載手段
４０・・・ターンテーブル
４０ａ・・・支承手段
４１・・・紫外線硬化装置

Claims

中央孔を有する光ディスクのディスク基板を受けるガラス製の受台と、前記中央孔に挿入されるセンタリング手段とを備えたディスク基板受台において、
前記センタリング手段は、
上面から見て多角形であるセンタリング部材と、
前記受台の中央に形成された貫通孔に装着され、前記センタリング部材を固定する部材であって、前記受台の上面の前記貫通孔の入口に係合するつば部と前記受台の下面の前記貫通孔の出口から延出されるネジ部とを有する第１の固定用部材と、
前記受台の下面の前記貫通孔の出口の周囲に当接し、前記第１の固定用部材の前記ネジ部と螺合するネジ穴を有する第２の固定用部材と、
を備え、
前記第１の固定用部材が、前記第２の固定用部材によって前記受台の下面から前記第１の固定用部材の前記つば部を前記受台の上面の前記貫通孔の入口に抑えつけて固定されるとともに、前記センタリング部材が前記第１の固定用部材によって、前記受台に着脱可能に固定されることを特徴とするディスク基板受台。