JP3807933B2 - 投影露光装置及び投影露光方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】
この発明は、半導体装置製造工程において、マスクパターンを被加工基板に投影する際に用いられる投影露光装置及びこれを用いた投影露光方法並びに半導体装置に関するものである。
また、具体的な適用としては、被加工基板上に形成された皮膜の膜厚変動や物性変動により生じるレジストパターン寸法や形状の変動を抑えることを可能にした投影露光装置の構造、使用に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この発明は典型例としては、写真製版プロセスにおいて、被加工基板に、微細回路パターンを形成する際に用いられる投影露光装置に関するものであり、以下、縮小投影露光装置を例にして説明する。
【０００３】
図３は、既知の縮小投影露光装置を説明するための断面図である。
図３において、１は、露光光源、２は、フライアイレンズ、３は、σ絞り、３Ａは、反射鏡、３Ｂは、コンデンサレンズ、４は、レチクル、５は、投影光学系、７は、被加工基板であるウエハを示す。通常、露光光源１から発した露光光は、フライアイレンズ２、σ絞り３、コンデンサレンズ３Ｂを通り抜け、レチクル４を照明し、投影光学系５によって縮小されて、ウエハ７上に到達し、ウエハ７の表面上にレジストパターンが形成される。
【０００４】
ところで、近年、半導体装置の回路パターンの高集積化・微細化に対応するため、半導体基板にマスクパターンを投影露光する工程においても、露光装置の露光光の短波長化や縮小投影レンズの開口数（ＮＡ）の拡大化による高解像度化が進んでいる。現在では、ＡｒＦエキシマレーザー光を露光光源とする、開口数（ＮＡ）＞０.７の投影露光装置が実用化されようとしている。
【０００５】
しかし、露光光源の短波長化及び縮小投影レンズの開口数（ＮＡ）の拡大に伴い、解像度は向上するが、同時に焦点深度は浅くなってしまうため、プロセス変動に対する裕度が小さくなる。
【０００６】
したがって微細パターンを忠実かつ正確に形成するため、基板においては、化学的機械的研磨（ＣＭＰ）技術の適用等によるウエハの平坦度の向上が計られており、また、投影露光装置側では、諸元の計測精度の向上や先読みフォーカスセンサからの情報を利用して基板の凹凸に追随しながら露光を行う走査型投影露光装置の適用等が行われている。
【０００７】
一方、上述のように、焦点深度が浅くなり、プロセス変動に対する裕度が小さくなっている状況にあっては、レジスト膜厚の変動や被加工基板上に形成された皮膜の膜厚変動も、レジストパターン寸法や形状の変動に影響を与えることとなる。
【０００８】
これについて、図４から図６を用いて説明する。図４から図６は、ＳｉＮ膜７ｂの膜厚、レジスト膜７ｃの膜厚とＳｉ基板７ａの反射率の関係を示すグラフである。
【０００９】
図４は、Ｓｉ基板７ａ上にＳｉＮ膜７ｂを１０００Åデポし、さらにＫｒＦレジスト７ｃを５０００Å塗布した場合のそれぞれの膜厚変動と、ＫｒＦエキシマレーザー光に対するＳｉ基板７ａの反射率の変化との関係を示したグラフである。図４において、横軸は、ＳｉＮ膜７ｂの膜厚、縦軸は、レジスト膜７ｃの膜厚であり、Ｓｉ基板７ａの反射率変動を等高線図で表現している。
【００１０】
ＳｉＮ成膜実力は±１０％、レジスト膜は設定値±５０Åの膜厚変動があると考えられる。従って、図４においては、ＳｉＮ膜７ｂの膜厚は、９００Å〜１１００Å、レジスト膜７ｃの膜厚は４９５０Å〜５０５０Åの間で変化する。このＳｉＮ膜７ｂの膜厚及びレジスト膜７ｃの膜厚の変化によりＳｉ基板７ａの反射率は大きく変化することがわかる。
【００１１】
図５は、レジスト膜７ｃの膜厚を固定した場合の、ＳｉＮ膜７ｂの膜厚の変化とＳｉ基板７ａからのＫｒＦエキシマレーザー光に対する反射率の変化との関係を表すグラフである。図５において、横軸は、ＳｉＮ膜７ｂの膜厚、縦軸は、Ｓｉ基板７ａからの反射率を示す。ＳｉＮ成膜実力を±１０％と仮定すると、図５から、Ｓｉ基板７ａからの反射率は１８％〜５２％の間で変動することがわかる。
【００１２】
図６は、ＳｉＮ膜７ｂの膜厚を固定した場合の、レジスト膜７ｃの膜厚の変化とＳｉ基板７ａからのＫｒＦエキシマレーザー光に対する反射率の変化との関係を表すグラフである。図６において、横軸は、レジスト膜７ｃの膜厚、縦軸は、Ｓｉ基板７ａからの反射率を示す。平坦な基板上では、レジスト塗布膜厚は設定値±５０Å以内で制御可能であり、従って、図６により、Ｓｉ基板７ａからの反射率は３２％〜４９％の間で変動することがわかる。
【００１３】
ところで、被加工基板からの反射率は、レジストに吸収されるエネルギー量と反比例する。即ち、被加工基板からの反射が高い場合には、レジストに吸収されるエネルギー量が少なくなる。従って、ポジ型のレジストを用いた場合には感光量が減少する。
【００１４】
即ち、例えば、図７に示すように、Ｓｉ基板７ａの反射率が露光量設定基準反射率より高い場合には、形成されるレジストパターン寸法は大きくなる。逆に、Ｓｉ基板７ａの反射率が露光量設定基準反射率より低い場合には、形成されるレジストパターン寸法は小さくなる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
以上説明したように、レジスト膜厚や被加工基板上に形成された皮膜の膜厚の変動は、レジストパターン寸法や形状に変動を与えることとなる。このうち、レジスト膜厚の変動については、焦点深度対策でのウエハの平坦化により、押さえ込むことが可能である。従って、レジスト膜の下で被加工基板上に形成された皮膜の膜厚や物性の制御が、被加工基板からの反射率変動によるレジストパターン寸法変動を抑制するためには重要である。
【００１６】
しかし、ウエハ面内、ウエハ間、ロット間で膜厚や物性を制御することは困難であるため、被加工基板からの反射の影響を抑制するために、レジスト膜の下や、被加工基板最上層への反射防止膜の適用が行われている。また投影露光装置側では、露光量制御方式や照明ムラの低減等の対策が施されてきている。
【００１７】
しかしながら反射防止膜の適用により、特に写真製版後のドライエッチングプロセス時に反射防止膜エッチングのためのステップが加わるため、レジストパターンの寸法制御性が低下し、また反射防止膜形成に伴い製造コストの増加及び処理能力の低下といった問題が発生することとなる。
【００１８】
この発明は、上述の問題点を解決するためになされ、高集積・微細化の進むパターンの投影露光を忠実かつ正確に実現しようとするものであり、即ち、レジストパターンの寸法や形状の変動を、安価に、かつ処理能力やドライエッチング時の寸法制御性を落とすことなく抑えようとするものである。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
この発明の投影露光装置は、半導体装置の製造のためのマスクパターンを被加工基板に投影する走査型の露光装置であって、
露光光源と、
前記露光光源からの露光光の一部を分岐させる分岐手段と、
前記被加工基板の所定の被露光領域に、前記露光光源からの露光光を照射して、走査露光により、前記マスクパターンを投影するときに、同時に、被露光直前領域に、前記分岐手段により分岐された分岐光を照射し、この分岐光に対する前記被露光直前領域からの反射率を測定する反射率測定機構と、
前記測定した反射率を参照して、前記被露光直前領域に前記マスクパターンを投影する際の露光光の強度を、所定の強度に調整する制御機構とを備えたものである。
また、この発明の投影露光装置は、前記被露光直前領域が、前記所定の被露光領域に隣接する領域であるものである。
【００２０】
また、この発明の投影露光装置は、前記反射率測定機構が、
前記分岐手段により分岐された分岐光の強度を調整することができる調整器と、
この光に対する前記被露光直前領域からの反射率を測定する反射率検出器と、
を備えたものである。
【００２１】
また、この発明の投影露光装置は、前記反射率測定機構が、
前記分岐手段により分岐された分岐光の強度を調整することができる調整器と、
前記分岐光を、更に、２光束に分岐させるためのビームスプリッタと、
上記２光束のそれぞれに対応する２つの反射率検出器を備えたものである。
【００２２】
また、この発明の投影露光装置は、前記反射率測定機構が、
前記ビームスプリッタにより前記２光束に分岐された２つの分岐光のうち、前記被加工基板の移動方向から判断して、被露光直前となる部分を照射する１の分岐光を用いて反射率を測定するものである。
【００２３】
また、この発明の投影露光装置は、前記反射率測定機構が、前記分岐手段により分岐された分岐光を、所定のビーム状に形成する光学系を備えたものである。
【００２４】
また、この発明の投影露光装置は、前記反射率測定機構による反射率測定結果に対し、反射率と適正露光光の強度との関係を示すデータに基づいて、前記測定した反射率から適正露光光の強度を求める手段を備えたことを特徴とするものである。
【００２５】
また、この発明の投影露光装置は、前記制御機構が、露光光を与える照明系の照度を変える手段を有することを特徴とするものである。
【００２６】
また、この発明の投影露光装置は、露光光源としてパルス発光光源を有する投影露光装置において、前記制御機構が、パルス発光間隔を変える手段を有することを特徴とするものである。
【００２７】
また、この発明の投影露光装置は、前記制御機構が、露光光に対して被加工基板を移動させるためのステージの走査速度を変える手段を有することを特徴とするものである。
【００２８】
次に、この発明の投影露光方法は、露光光源からの露光光を、所定の方向に走査されるレチクルに照射し、前記レチクルのマスクパターンを透過した光を、前記所定の方向とは反対の方向に走査される被加工基板の所定の被露光領域に照射して前記マスクパターンを、前記被露光領域に投影するときに、同時に、前記露光光源からの露光光の一部を分岐し、この分岐光を、被露光直前領域に照射し、この照射光に対する前記被露光直前領域からの反射率を測定する第一の工程と、
この反射率により前記被露光直前領域に対する露光光の適正な強度を決定した後、この決定した強度の露光光を照射して前記被露光直前領域にマスクパターンを投影する第二の工程を備えたものである。
また、この発明の投影露光方法は、前記被露光直前領域が、前記所定の被露光領域に隣接する領域であるものである。
【００２９】
また、この発明の投影露光方法は、前記第一の工程において前記被露光直前領域に照射する前記分岐光が、前記第二の工程において前記被加工基板の前記被露光直前領域に照射する露光光より低エネルギーの光であるものである。
【００３２】
また、この発明の投影露光方法は、前記第一の工程における前記被露光直前領域への光の照射が、前記分岐光を、光学系を用いて所定のビーム状に形成した光を用いるものである。
【００３３】
また、この発明の投影露光方法は、前記第一の工程が、前記分岐光を、さらに２光束に分岐し、
２つの分岐光のうち、前記被加工基板の移動方向から判断して、被露光直前となる部分を照射する１の分岐光に対しての反射率を測定することにより行うものである。
【００３４】
また、この発明の投影露光方法は、前記第二の工程が、被加工基板の反射率と露光光の適正強度との関係を示すデータを用意し、反射率の測定結果から、前記データを参照して露光時に適正な露光光の強度を決定することを特徴とするものである。
【００３５】
また、この発明の投影露光方法は、前記第二の工程が、前記露光光の照度を変更することにより、前記適性な強度の露光光を照射することを特徴とするものである。
【００３６】
また、この発明の投影露光方法は、前記第二の工程が、前記露光光のパルス発光間隔を変更することにより、前記適性な強度の露光光を照射することを特徴とするものである。
【００３７】
また、この発明の投影露光方法は、前記第二の工程が、前記被加工基板を載置したウエハステージの走査速度を調整することにより、前記適性な強度の露光光を照射することを特徴とするものである。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施形態について図を用いて説明する。なお、図中、同一または相当する部分については、同一の符号を付して、説明を簡略化ないし省略する。
実施の形態１．
まず、この実施の形態１の概要を説明すると、この実施の形態１では、露光光源から発した露光光の一部を分岐し、この分岐光に対する被加工基板の反射率を予め測定して、この反射率の測定結果を参照して、最適な露光光の強度を求め、この強度において投影露光を行う。これによって、被加工基板上に形成された皮膜の膜厚や、物性の変動による、レジストパターン寸法や形状の変動を抑えることができる。
【００４０】
これについて、図１、及び図２を用いて説明する。
図１は、この実施の形態における、半導体デバイス製造のための微細レジストパターン形成に用いられる縮小投影露光装置の概略を示したものである。
【００４１】
図１において、１は、露光光源、２は、フライアイレンズ、３は、σ絞り、３Ａは、反射鏡、３Ｂは、コンデンサレンズ、４は、レチクル、５は、投影光学系を示す。また、７は、被加工基板であるウエハを示し、支持台であるウエハステージ６に支えられている。また、８は、ウエハ７上の被露光領域を示す。
【００４２】
露光光源１から発した露光光は、フライアイレンズ２、σ絞り３、を経て、レチクル４を照射する。レチクル４のマスクパターンは、縮小投影光学系５により１/４〜１/５に縮小され、ウエハ７面上の露光領域８で結像する。これによって、ウエハ７表面上に所望のレジストパターンが形成される。
【００４３】
通常、露光光源１には、高圧水銀ランプやエキシマレーザーが用いられ、エキシマレーザーとしては、波長２４８nmのＫｒＦや、波長１９３nm のＡｒＦ、及び波長１５７nm のＦ２が用いられるが、この発明の範囲内で、これに限るものではない。
【００４４】
図１において、９は、ハーフミラーである。１０は、入射光の形状を整形する光学系であり、強度を減衰させるための調整器の役割をも果たす。また、１１は、ビームスプリッタを示す。光学系（調整器）１０を経た光は、ビームスプリッタ１１によって、下方向と横方向に分岐される。１２は、反射ミラー、１３ａ及び１３ｂは、ハーフミラー、１４ａ及び１４ｂは、折り曲げミラー、１５ａ及び１５ｂは、反射率検出器を示す。また、反射率検出器１５ａ及び１５ｂにはそれぞれ反射光の強度を測定できるよう光強度測定センサが備えられており、この、光強度測定センサからの測定結果から、反射率を算出することができる。
【００４５】
１３ａは、ビームスプリッタ１１から分岐されたの下方向の光を受けられるよう、ビームスプリッタ１１の下方向に設置され、反射ミラー１２は、ビームスプリッタ１１の横方向の光を受けられるよう、ビームスプリッタの横方向に設置されている。また、ハーフミラー１３ｂは反射ミラー１２の下方向に設置されている。
【００４６】
さらに、ハーフミラー１３ａ、１３ｂによって反射した光は、それぞれ、折り曲げミラー１４ａ、１４ｂを経て、反射率検出器１５ａ、１５ｂに入射するよう、ハーフミラー１３ａ、１３ｂ、折り曲げミラー１４ａ、１４ｂ、反射率検出器１５ａ、１５ｂは、横方向の一直線上に設けられている。また、折り曲げミラー１４ａ、１４ｂは、それぞれ、被露光直前領域８ａ、８ｂの真上に位置する。
また、２０は、基板の反射率測定の基準をとるための基準反射板を示す。
【００４７】
ハーフミラー９、光学系（調整器）１０、ビームスプリッタ１１、反射ミラー１２、ハーフミラー１３ａ、１３ｂ、折り曲げミラー１４ａ、１４ｂ、反射率検出器１５及び基準反射板２０を含んで、反射率測定機構１００を構成する。
【００４８】
さらに、ハーフミラー９、光学系（調整器）１０、ビームスプリッタ１１、反射ミラー１３ａ、折り曲げミラー１４ａ、反射率検出器１５ａ及び基準反射板２０を含んで、一方の反射率測定系１００ａを構成し、また、ハーフミラー９、光学系（調整器）１０、ビームスプリッタ１１、反射ミラー１２、ハーフミラー１３ｂ、折り曲げミラー１４ｂ、反射率検出器１５ｂ及び基準反射板２０を含んで、他方の反射率測定系１００ｂを構成する。
【００４９】
次に、以上のように構成された縮小投影露光装置を用いた投影露光方法について、図１を用いて説明する。
【００５０】
図１において、露光光源１から発射された露光光は、ハーフミラー９に入射し、一部が下方向に反射して、露光光と分岐する。この分岐光は、光学系（調整器）１０に入射し、光学系（調整器）１０は、この分岐光を、楕円形に整形すると共に、ウエハ７面上における光強度が、露光領域８の１/１００〜１/１００００になるように減衰させる。さらにこの分岐光は、ビームスプリッタ１１を経て、下方向の光と横方向の光の２光束に分岐する。
【００５１】
下方向に分岐された光は、ハーフミラー１３ａに入射して、横方向に反射し、折り曲げミラー１４ａを経て、ウエハ７上の被露光領域８に隣接する被露光直前領域８ａを垂直に照射する。この照射光に対するウエハ７からの反射光は、再び折り曲げミラー１４ａを経て反射率検出器１５ａに導かれる。反射率検出器１５ａによって、下方向に分岐された露光光に対するウエハ７からの反射光の強度が測定される。
【００５２】
一方、横方向に分岐された光は、反射ミラー１２を経て下方向に反射する。この反射光は、ハーフミラー１３ｂに入射して、横方向に反射し、折り曲げミラー１４ｂを経て、露光直前領域８ｂを垂直に照射する。この照射光に対するウエハからの反射光は、再び折り曲げミラー１４ｂを経て反射率検出器１５ｂに導かれる。反射率検出器１５ｂによって、横方向に分岐された露光光に対するウエハ７からの反射光の強度が測定される。
【００５３】
この測定された反射光の強度から反射率を算出するための一手段を説明する。ステージ６上に基準反射板２０を設置する。ウエハステージ６上へウエハ７を搬送する直前に、基準反射板２０に露光光を照射する。この露光光に対する基準反射板２０の反射光の強度を測定し、この結果を、予め、反射率検出器１５ａ、１５ｂに入力しておく。これを参照して、反射率検出器１５ａ、１５ｂにおいて測定されたウエハ７からの反射光の強度から、反射率を算出する。
尚、反射率算出方法はこれに限るものではなく、他の方法であっても良い。
【００５４】
反射率検出器１５ａまたは１５ｂからの出力により、レジストの種類や処理する製品、工程毎にあらかじめ求めておいた反射率と適正露光量の関係を参照して、被露光直前領域８ａまたは８ｂに対する最適な露光光の強度を決定する。
【００５５】
被露光直前領域８ａまたは８ｂに、マスクパターンを投影露光する時には、この強度の露光光を照射する。これによって、ウエハ７の膜厚変動や物性変動による、最適露光量と実際の露光量との差に起因するレジストパターン寸法や形状変動を抑えることが可能となる。
【００５６】
図２（ａ）及び（ｂ）は、この実施の形態１における、ウエハ７からの反射率の計測方法を説明するための図である。図２において、１６ａ、１６ｂはウエハステージの移動方向、１７は反射率測定のための入射光、１８は、反射光、１９は、入射光のビーム形状を示す。
【００５７】
この実施の形態１では、図１に示すように、ビームスプリッタ１１により入射光を２光束に分岐し、反射率測定系１００ａ、１００ｂの２系統設けている。この反射率測定系１００ａ及び１００ｂの２系統を含んで反射率測定機構１００を構成する。一方の反射率測定系１００ａは被露光直前領域８ａの反射率を測定するための機構であり、他方の反射率測定系１００ｂは被露光直前領域８ｂの反射率を測定するための機構を示す。
【００５８】
図２（ａ）は、被露光直前領域８ａの反射率を反射率測定系１００ａにより測定する場合の概略図であり、図２（ｂ）は、被露光直前領域８ｂの反射率を反射率系１００ｂにより測定する場合の概略図である。
【００５９】
投影レンズ５に対するウエハステージ６の移動方向１６ａ、１６ｂは、縮小投影露光装置が一括型（ステッパ）であっても走査型（スキャナ）であっても処理時間を最小にするために、１６ａと１６ｂの２方向存在する。
【００６０】
図２（ａ）に示すように、ウエハステージ６が、１６ａの方向に移動する場合の被露光直前領域は８ｂであり、したがって、反射率測定系１００ｂによって反射率が測定される。
【００６１】
また、図２（ｂ）に示すように、ウエハステージ６が、１６ｂの方向に移動する場合の被露光直前領域は８ａであり、したがって、反射率測定系１００ａによって反射率が測定される。
【００６２】
従って、ウエハステージ６が、１６ａ、１６ｂのいずれに移動する場合にも対応することができ、処理速度を最小に抑えることができる。
【００６３】
また、この実施の形態では、反射ミラー１４ａ、１４ｂを経た入射光１７が入射する場所は、被露光領域８の０.５mm〜３mm程度の位置にある被露光直前領域８ａまたは８ｂである。すなわち、被露光領域８に投影露光する際、隣接する次の被露光領域である８ａまたは８ｂの反射率を同時に測定する。これによって、処理時間を最小に抑えることができるが、予め反射率を求めることのできるものであれば、これに限るものではない。
【００６４】
また、この実施の形態では、ウエハ７からの反射率情報を平均化するため、光学系１０によって、分岐光の形状１９を、短径幅０.５〜２mm長径幅０.５〜２６mmの楕円形に整形する。しかし、この発明の範囲内において、他の形状であってもよい。尚、反射率情報の平均化は、入射光１７が反射率の特異点を照射することにより露光量が不適切に設定されることを避けるために行う。
【００６５】
また、この実施の形態では、入射光１７は１光束ビームであるが、この発明はこれに制限されることはなく、複数のビームで構成するものであってもよい。これにより、ウエハ７の反射率情報の平均化を達成することも可能である。
【００６６】
さらに、この実施の形態は、入射光１７をウエハ７に対して垂直に入射する場合を想定しているが、これに限定されることはなく、ウエハ７に対して斜め方向から入射光１７を照射し、反射光１８を入射光と異なる光学系で反射率検出器に導くものであってもよい。
【００６７】
実施の形態２.
この発明の実施の形態２による投影露光装置は、構造的には図１に示すものと同様である。
【００６８】
ただし、この実施の形態２では、露光光源１は、高圧水銀ランプ等である。また、この投影露光装置は、照明系の照度を変更することにより、露光光の強度を調整できる制御機構を有する。これによって、反射率測定結果に応じた最適な露光光の強度における投影露光を実現することができる。その他の部分は図１と同様であるから省略する。
【００６９】
実施の形態３．
この発明の実施の形態３による投影露光装置は、構造的には図１に示すものと同様である。
【００７０】
ただし、この実施の形態３では、露光光源１は、エキシマレーザー等のパルス発光光源である。また、この投影露光装置は、パルス発光間隔を変えることにより、露光光の強度を調整できる制御機構を有する。これによって、反射率測定結果に応じた最適な露光光の強度における投影露光を実現することができる。その他の部分は図１と同様であるから省略する。
【００７１】
実施の形態４．
この発明の実施の形態４による投影露光装置は、構造的には図１に示すものと同様である。
【００７２】
ただし、この実施の形態４では、投影露光装置は走査型のものである。また、この投影露光装置は、ウエハ７を投影レンズ５に対し移動させるウエハステージ６の走査速度を変えることにより、露光光の強度を調整できる制御機構を有する。これによって、反射率測定結果に応じた最適な露光光の強度における投影露光を実現することができる。その他の部分は図１と同様であるから省略する。
【００７３】
【発明の効果】
以上の説明したようにこの発明においては、投影露光前に、予め、被露光領域に低エネルギーの露光光を照射し、露光光に対する基板からの反射率を測定する。従って、被加工基板上に形成された皮膜の膜厚や物性変動に起因して発生する露光光に対する反射率の局所的変化に対応して、最適な露光光の強度を決定することができる。これに従って、露光光が最適な強度になるように、強度を随時変化させることにより、レジストパターン寸法や形状の変動を、安価に、かつ処理能力やドライエッチング時の寸法制御性を落とさずに抑えることが可能となる。
【００７４】
また、この発明において、被露光領域に露光する際の露光光の１部を分岐することにより、被露光領域の投影露光と同時に、被露光直前領域の反射率を測定することができる。これによって、さらに、安価に、かつ処理能力を落とすことなく、高い性能で、レジストパターンを形成することが可能である。
【００７５】
さらに、この発明において、１部分岐された露光光はさらに２拘束に分岐され２系統の反射率測定系を含む反射率測定機構を備えることにより、ウエハステージの２方向ある移動方向のどちらにでも対応でき、より安価で処理能力の高いレジストパターンの形成方法を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施の形態１における、縮小投影露光装置の概略を示す図である。
【図２】 この発明の実施の形態１における、基板反射率の計測方法の説明をするための図である。
【図３】 従来の縮小投影露光装置の概略を示す図である。
【図４】 レジスト膜厚とＳｉＮ膜厚変動による基板反射率変動を示したグラフである。
【図５】 ＳｉＮ膜厚変動による基板反射率変動を示したグラフである。
【図６】 レジスト膜厚変動による基板反射率変動を示したグラフである。
【図７】 基板反射率とポジ型レジスト寸法の関係を示したグラフである。
【符号の説明】
１ 露光光源、 ２ フライアイレンズ、 ３ σ絞り、 ３Ａ 反射鏡、 ３Ｂ コンデンサレンズ、 ４ レチクル、 ５ 縮小投影レンズ、 ６ ウエハステージ、 ７ 被加工基板、 ７ａ Ｓｉ基板、 ７ｂ ＳｉＮ膜、 ７ｃ レジスト膜、 ８ 被露光領域、 ８ａ、８ｂ 被露光直前領域、 ９ ハーフミラー、 １０ 光学系、 １１ ビームスプリッタ、 １２ 反射ミラー、 １３ａ、１３ｂ ハーフミラー、 １４ａ、１４ｂ 折り曲げミラー、 １５ａ、１５ｂ 反射率検出器、 １６ａ、１６ｂ ウエハステージ移動方向、 １７ 入射光、 １８ 反射光、
１９ 入射光ビーム形状、 ２０ 基準反射板。
【発明が属する技術分野】
この発明は、半導体装置製造工程において、マスクパターンを被加工基板に投影する際に用いられる投影露光装置及びこれを用いた投影露光方法並びに半導体装置に関するものである。
また、具体的な適用としては、被加工基板上に形成された皮膜の膜厚変動や物性変動により生じるレジストパターン寸法や形状の変動を抑えることを可能にした投影露光装置の構造、使用に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
この発明は典型例としては、写真製版プロセスにおいて、被加工基板に、微細回路パターンを形成する際に用いられる投影露光装置に関するものであり、以下、縮小投影露光装置を例にして説明する。
【０００３】
図３は、既知の縮小投影露光装置を説明するための断面図である。
図３において、１は、露光光源、２は、フライアイレンズ、３は、σ絞り、３Ａは、反射鏡、３Ｂは、コンデンサレンズ、４は、レチクル、５は、投影光学系、７は、被加工基板であるウエハを示す。通常、露光光源１から発した露光光は、フライアイレンズ２、σ絞り３、コンデンサレンズ３Ｂを通り抜け、レチクル４を照明し、投影光学系５によって縮小されて、ウエハ７上に到達し、ウエハ７の表面上にレジストパターンが形成される。
【０００４】
ところで、近年、半導体装置の回路パターンの高集積化・微細化に対応するため、半導体基板にマスクパターンを投影露光する工程においても、露光装置の露光光の短波長化や縮小投影レンズの開口数（ＮＡ）の拡大化による高解像度化が進んでいる。現在では、ＡｒＦエキシマレーザー光を露光光源とする、開口数（ＮＡ）＞０.７の投影露光装置が実用化されようとしている。
【０００５】
しかし、露光光源の短波長化及び縮小投影レンズの開口数（ＮＡ）の拡大に伴い、解像度は向上するが、同時に焦点深度は浅くなってしまうため、プロセス変動に対する裕度が小さくなる。
【０００６】
したがって微細パターンを忠実かつ正確に形成するため、基板においては、化学的機械的研磨（ＣＭＰ）技術の適用等によるウエハの平坦度の向上が計られており、また、投影露光装置側では、諸元の計測精度の向上や先読みフォーカスセンサからの情報を利用して基板の凹凸に追随しながら露光を行う走査型投影露光装置の適用等が行われている。
【０００７】
一方、上述のように、焦点深度が浅くなり、プロセス変動に対する裕度が小さくなっている状況にあっては、レジスト膜厚の変動や被加工基板上に形成された皮膜の膜厚変動も、レジストパターン寸法や形状の変動に影響を与えることとなる。
【０００８】
これについて、図４から図６を用いて説明する。図４から図６は、ＳｉＮ膜７ｂの膜厚、レジスト膜７ｃの膜厚とＳｉ基板７ａの反射率の関係を示すグラフである。
【０００９】
図４は、Ｓｉ基板７ａ上にＳｉＮ膜７ｂを１０００Åデポし、さらにＫｒＦレジスト７ｃを５０００Å塗布した場合のそれぞれの膜厚変動と、ＫｒＦエキシマレーザー光に対するＳｉ基板７ａの反射率の変化との関係を示したグラフである。図４において、横軸は、ＳｉＮ膜７ｂの膜厚、縦軸は、レジスト膜７ｃの膜厚であり、Ｓｉ基板７ａの反射率変動を等高線図で表現している。
【００１０】
ＳｉＮ成膜実力は±１０％、レジスト膜は設定値±５０Åの膜厚変動があると考えられる。従って、図４においては、ＳｉＮ膜７ｂの膜厚は、９００Å〜１１００Å、レジスト膜７ｃの膜厚は４９５０Å〜５０５０Åの間で変化する。このＳｉＮ膜７ｂの膜厚及びレジスト膜７ｃの膜厚の変化によりＳｉ基板７ａの反射率は大きく変化することがわかる。
【００１１】
図５は、レジスト膜７ｃの膜厚を固定した場合の、ＳｉＮ膜７ｂの膜厚の変化とＳｉ基板７ａからのＫｒＦエキシマレーザー光に対する反射率の変化との関係を表すグラフである。図５において、横軸は、ＳｉＮ膜７ｂの膜厚、縦軸は、Ｓｉ基板７ａからの反射率を示す。ＳｉＮ成膜実力を±１０％と仮定すると、図５から、Ｓｉ基板７ａからの反射率は１８％〜５２％の間で変動することがわかる。
【００１２】
図６は、ＳｉＮ膜７ｂの膜厚を固定した場合の、レジスト膜７ｃの膜厚の変化とＳｉ基板７ａからのＫｒＦエキシマレーザー光に対する反射率の変化との関係を表すグラフである。図６において、横軸は、レジスト膜７ｃの膜厚、縦軸は、Ｓｉ基板７ａからの反射率を示す。平坦な基板上では、レジスト塗布膜厚は設定値±５０Å以内で制御可能であり、従って、図６により、Ｓｉ基板７ａからの反射率は３２％〜４９％の間で変動することがわかる。
【００１３】
ところで、被加工基板からの反射率は、レジストに吸収されるエネルギー量と反比例する。即ち、被加工基板からの反射が高い場合には、レジストに吸収されるエネルギー量が少なくなる。従って、ポジ型のレジストを用いた場合には感光量が減少する。
【００１４】
即ち、例えば、図７に示すように、Ｓｉ基板７ａの反射率が露光量設定基準反射率より高い場合には、形成されるレジストパターン寸法は大きくなる。逆に、Ｓｉ基板７ａの反射率が露光量設定基準反射率より低い場合には、形成されるレジストパターン寸法は小さくなる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】
以上説明したように、レジスト膜厚や被加工基板上に形成された皮膜の膜厚の変動は、レジストパターン寸法や形状に変動を与えることとなる。このうち、レジスト膜厚の変動については、焦点深度対策でのウエハの平坦化により、押さえ込むことが可能である。従って、レジスト膜の下で被加工基板上に形成された皮膜の膜厚や物性の制御が、被加工基板からの反射率変動によるレジストパターン寸法変動を抑制するためには重要である。
【００１６】
しかし、ウエハ面内、ウエハ間、ロット間で膜厚や物性を制御することは困難であるため、被加工基板からの反射の影響を抑制するために、レジスト膜の下や、被加工基板最上層への反射防止膜の適用が行われている。また投影露光装置側では、露光量制御方式や照明ムラの低減等の対策が施されてきている。
【００１７】
しかしながら反射防止膜の適用により、特に写真製版後のドライエッチングプロセス時に反射防止膜エッチングのためのステップが加わるため、レジストパターンの寸法制御性が低下し、また反射防止膜形成に伴い製造コストの増加及び処理能力の低下といった問題が発生することとなる。
【００１８】
この発明は、上述の問題点を解決するためになされ、高集積・微細化の進むパターンの投影露光を忠実かつ正確に実現しようとするものであり、即ち、レジストパターンの寸法や形状の変動を、安価に、かつ処理能力やドライエッチング時の寸法制御性を落とすことなく抑えようとするものである。
【００１９】
【課題を解決するための手段】
この発明の投影露光装置は、半導体装置の製造のためのマスクパターンを被加工基板に投影する走査型の露光装置であって、
露光光源と、
前記露光光源からの露光光の一部を分岐させる分岐手段と、
前記被加工基板の所定の被露光領域に、前記露光光源からの露光光を照射して、走査露光により、前記マスクパターンを投影するときに、同時に、被露光直前領域に、前記分岐手段により分岐された分岐光を照射し、この分岐光に対する前記被露光直前領域からの反射率を測定する反射率測定機構と、
前記測定した反射率を参照して、前記被露光直前領域に前記マスクパターンを投影する際の露光光の強度を、所定の強度に調整する制御機構とを備えたものである。
また、この発明の投影露光装置は、前記被露光直前領域が、前記所定の被露光領域に隣接する領域であるものである。
【００２０】
また、この発明の投影露光装置は、前記反射率測定機構が、
前記分岐手段により分岐された分岐光の強度を調整することができる調整器と、
この光に対する前記被露光直前領域からの反射率を測定する反射率検出器と、
を備えたものである。
【００２１】
また、この発明の投影露光装置は、前記反射率測定機構が、
前記分岐手段により分岐された分岐光の強度を調整することができる調整器と、
前記分岐光を、更に、２光束に分岐させるためのビームスプリッタと、
上記２光束のそれぞれに対応する２つの反射率検出器を備えたものである。
【００２２】
また、この発明の投影露光装置は、前記反射率測定機構が、
前記ビームスプリッタにより前記２光束に分岐された２つの分岐光のうち、前記被加工基板の移動方向から判断して、被露光直前となる部分を照射する１の分岐光を用いて反射率を測定するものである。
【００２３】
また、この発明の投影露光装置は、前記反射率測定機構が、前記分岐手段により分岐された分岐光を、所定のビーム状に形成する光学系を備えたものである。
【００２４】
また、この発明の投影露光装置は、前記反射率測定機構による反射率測定結果に対し、反射率と適正露光光の強度との関係を示すデータに基づいて、前記測定した反射率から適正露光光の強度を求める手段を備えたことを特徴とするものである。
【００２５】
また、この発明の投影露光装置は、前記制御機構が、露光光を与える照明系の照度を変える手段を有することを特徴とするものである。
【００２６】
また、この発明の投影露光装置は、露光光源としてパルス発光光源を有する投影露光装置において、前記制御機構が、パルス発光間隔を変える手段を有することを特徴とするものである。
【００２７】
また、この発明の投影露光装置は、前記制御機構が、露光光に対して被加工基板を移動させるためのステージの走査速度を変える手段を有することを特徴とするものである。
【００２８】
次に、この発明の投影露光方法は、露光光源からの露光光を、所定の方向に走査されるレチクルに照射し、前記レチクルのマスクパターンを透過した光を、前記所定の方向とは反対の方向に走査される被加工基板の所定の被露光領域に照射して前記マスクパターンを、前記被露光領域に投影するときに、同時に、前記露光光源からの露光光の一部を分岐し、この分岐光を、被露光直前領域に照射し、この照射光に対する前記被露光直前領域からの反射率を測定する第一の工程と、
この反射率により前記被露光直前領域に対する露光光の適正な強度を決定した後、この決定した強度の露光光を照射して前記被露光直前領域にマスクパターンを投影する第二の工程を備えたものである。
また、この発明の投影露光方法は、前記被露光直前領域が、前記所定の被露光領域に隣接する領域であるものである。
【００２９】
また、この発明の投影露光方法は、前記第一の工程において前記被露光直前領域に照射する前記分岐光が、前記第二の工程において前記被加工基板の前記被露光直前領域に照射する露光光より低エネルギーの光であるものである。
【００３２】
また、この発明の投影露光方法は、前記第一の工程における前記被露光直前領域への光の照射が、前記分岐光を、光学系を用いて所定のビーム状に形成した光を用いるものである。
【００３３】
また、この発明の投影露光方法は、前記第一の工程が、前記分岐光を、さらに２光束に分岐し、
２つの分岐光のうち、前記被加工基板の移動方向から判断して、被露光直前となる部分を照射する１の分岐光に対しての反射率を測定することにより行うものである。
【００３４】
また、この発明の投影露光方法は、前記第二の工程が、被加工基板の反射率と露光光の適正強度との関係を示すデータを用意し、反射率の測定結果から、前記データを参照して露光時に適正な露光光の強度を決定することを特徴とするものである。
【００３５】
また、この発明の投影露光方法は、前記第二の工程が、前記露光光の照度を変更することにより、前記適性な強度の露光光を照射することを特徴とするものである。
【００３６】
また、この発明の投影露光方法は、前記第二の工程が、前記露光光のパルス発光間隔を変更することにより、前記適性な強度の露光光を照射することを特徴とするものである。
【００３７】
また、この発明の投影露光方法は、前記第二の工程が、前記被加工基板を載置したウエハステージの走査速度を調整することにより、前記適性な強度の露光光を照射することを特徴とするものである。
【００３９】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施形態について図を用いて説明する。なお、図中、同一または相当する部分については、同一の符号を付して、説明を簡略化ないし省略する。
実施の形態１．
まず、この実施の形態１の概要を説明すると、この実施の形態１では、露光光源から発した露光光の一部を分岐し、この分岐光に対する被加工基板の反射率を予め測定して、この反射率の測定結果を参照して、最適な露光光の強度を求め、この強度において投影露光を行う。これによって、被加工基板上に形成された皮膜の膜厚や、物性の変動による、レジストパターン寸法や形状の変動を抑えることができる。
【００４０】
これについて、図１、及び図２を用いて説明する。
図１は、この実施の形態における、半導体デバイス製造のための微細レジストパターン形成に用いられる縮小投影露光装置の概略を示したものである。
【００４１】
図１において、１は、露光光源、２は、フライアイレンズ、３は、σ絞り、３Ａは、反射鏡、３Ｂは、コンデンサレンズ、４は、レチクル、５は、投影光学系を示す。また、７は、被加工基板であるウエハを示し、支持台であるウエハステージ６に支えられている。また、８は、ウエハ７上の被露光領域を示す。
【００４２】
露光光源１から発した露光光は、フライアイレンズ２、σ絞り３、を経て、レチクル４を照射する。レチクル４のマスクパターンは、縮小投影光学系５により１/４〜１/５に縮小され、ウエハ７面上の露光領域８で結像する。これによって、ウエハ７表面上に所望のレジストパターンが形成される。
【００４３】
通常、露光光源１には、高圧水銀ランプやエキシマレーザーが用いられ、エキシマレーザーとしては、波長２４８nmのＫｒＦや、波長１９３nm のＡｒＦ、及び波長１５７nm のＦ２が用いられるが、この発明の範囲内で、これに限るものではない。
【００４４】
図１において、９は、ハーフミラーである。１０は、入射光の形状を整形する光学系であり、強度を減衰させるための調整器の役割をも果たす。また、１１は、ビームスプリッタを示す。光学系（調整器）１０を経た光は、ビームスプリッタ１１によって、下方向と横方向に分岐される。１２は、反射ミラー、１３ａ及び１３ｂは、ハーフミラー、１４ａ及び１４ｂは、折り曲げミラー、１５ａ及び１５ｂは、反射率検出器を示す。また、反射率検出器１５ａ及び１５ｂにはそれぞれ反射光の強度を測定できるよう光強度測定センサが備えられており、この、光強度測定センサからの測定結果から、反射率を算出することができる。
【００４５】
１３ａは、ビームスプリッタ１１から分岐されたの下方向の光を受けられるよう、ビームスプリッタ１１の下方向に設置され、反射ミラー１２は、ビームスプリッタ１１の横方向の光を受けられるよう、ビームスプリッタの横方向に設置されている。また、ハーフミラー１３ｂは反射ミラー１２の下方向に設置されている。
【００４６】
さらに、ハーフミラー１３ａ、１３ｂによって反射した光は、それぞれ、折り曲げミラー１４ａ、１４ｂを経て、反射率検出器１５ａ、１５ｂに入射するよう、ハーフミラー１３ａ、１３ｂ、折り曲げミラー１４ａ、１４ｂ、反射率検出器１５ａ、１５ｂは、横方向の一直線上に設けられている。また、折り曲げミラー１４ａ、１４ｂは、それぞれ、被露光直前領域８ａ、８ｂの真上に位置する。
また、２０は、基板の反射率測定の基準をとるための基準反射板を示す。
【００４７】
ハーフミラー９、光学系（調整器）１０、ビームスプリッタ１１、反射ミラー１２、ハーフミラー１３ａ、１３ｂ、折り曲げミラー１４ａ、１４ｂ、反射率検出器１５及び基準反射板２０を含んで、反射率測定機構１００を構成する。
【００４８】
さらに、ハーフミラー９、光学系（調整器）１０、ビームスプリッタ１１、反射ミラー１３ａ、折り曲げミラー１４ａ、反射率検出器１５ａ及び基準反射板２０を含んで、一方の反射率測定系１００ａを構成し、また、ハーフミラー９、光学系（調整器）１０、ビームスプリッタ１１、反射ミラー１２、ハーフミラー１３ｂ、折り曲げミラー１４ｂ、反射率検出器１５ｂ及び基準反射板２０を含んで、他方の反射率測定系１００ｂを構成する。
【００４９】
次に、以上のように構成された縮小投影露光装置を用いた投影露光方法について、図１を用いて説明する。
【００５０】
図１において、露光光源１から発射された露光光は、ハーフミラー９に入射し、一部が下方向に反射して、露光光と分岐する。この分岐光は、光学系（調整器）１０に入射し、光学系（調整器）１０は、この分岐光を、楕円形に整形すると共に、ウエハ７面上における光強度が、露光領域８の１/１００〜１/１００００になるように減衰させる。さらにこの分岐光は、ビームスプリッタ１１を経て、下方向の光と横方向の光の２光束に分岐する。
【００５１】
下方向に分岐された光は、ハーフミラー１３ａに入射して、横方向に反射し、折り曲げミラー１４ａを経て、ウエハ７上の被露光領域８に隣接する被露光直前領域８ａを垂直に照射する。この照射光に対するウエハ７からの反射光は、再び折り曲げミラー１４ａを経て反射率検出器１５ａに導かれる。反射率検出器１５ａによって、下方向に分岐された露光光に対するウエハ７からの反射光の強度が測定される。
【００５２】
一方、横方向に分岐された光は、反射ミラー１２を経て下方向に反射する。この反射光は、ハーフミラー１３ｂに入射して、横方向に反射し、折り曲げミラー１４ｂを経て、露光直前領域８ｂを垂直に照射する。この照射光に対するウエハからの反射光は、再び折り曲げミラー１４ｂを経て反射率検出器１５ｂに導かれる。反射率検出器１５ｂによって、横方向に分岐された露光光に対するウエハ７からの反射光の強度が測定される。
【００５３】
この測定された反射光の強度から反射率を算出するための一手段を説明する。ステージ６上に基準反射板２０を設置する。ウエハステージ６上へウエハ７を搬送する直前に、基準反射板２０に露光光を照射する。この露光光に対する基準反射板２０の反射光の強度を測定し、この結果を、予め、反射率検出器１５ａ、１５ｂに入力しておく。これを参照して、反射率検出器１５ａ、１５ｂにおいて測定されたウエハ７からの反射光の強度から、反射率を算出する。
尚、反射率算出方法はこれに限るものではなく、他の方法であっても良い。
【００５４】
反射率検出器１５ａまたは１５ｂからの出力により、レジストの種類や処理する製品、工程毎にあらかじめ求めておいた反射率と適正露光量の関係を参照して、被露光直前領域８ａまたは８ｂに対する最適な露光光の強度を決定する。
【００５５】
被露光直前領域８ａまたは８ｂに、マスクパターンを投影露光する時には、この強度の露光光を照射する。これによって、ウエハ７の膜厚変動や物性変動による、最適露光量と実際の露光量との差に起因するレジストパターン寸法や形状変動を抑えることが可能となる。
【００５６】
図２（ａ）及び（ｂ）は、この実施の形態１における、ウエハ７からの反射率の計測方法を説明するための図である。図２において、１６ａ、１６ｂはウエハステージの移動方向、１７は反射率測定のための入射光、１８は、反射光、１９は、入射光のビーム形状を示す。
【００５７】
この実施の形態１では、図１に示すように、ビームスプリッタ１１により入射光を２光束に分岐し、反射率測定系１００ａ、１００ｂの２系統設けている。この反射率測定系１００ａ及び１００ｂの２系統を含んで反射率測定機構１００を構成する。一方の反射率測定系１００ａは被露光直前領域８ａの反射率を測定するための機構であり、他方の反射率測定系１００ｂは被露光直前領域８ｂの反射率を測定するための機構を示す。
【００５８】
図２（ａ）は、被露光直前領域８ａの反射率を反射率測定系１００ａにより測定する場合の概略図であり、図２（ｂ）は、被露光直前領域８ｂの反射率を反射率系１００ｂにより測定する場合の概略図である。
【００５９】
投影レンズ５に対するウエハステージ６の移動方向１６ａ、１６ｂは、縮小投影露光装置が一括型（ステッパ）であっても走査型（スキャナ）であっても処理時間を最小にするために、１６ａと１６ｂの２方向存在する。
【００６０】
図２（ａ）に示すように、ウエハステージ６が、１６ａの方向に移動する場合の被露光直前領域は８ｂであり、したがって、反射率測定系１００ｂによって反射率が測定される。
【００６１】
また、図２（ｂ）に示すように、ウエハステージ６が、１６ｂの方向に移動する場合の被露光直前領域は８ａであり、したがって、反射率測定系１００ａによって反射率が測定される。
【００６２】
従って、ウエハステージ６が、１６ａ、１６ｂのいずれに移動する場合にも対応することができ、処理速度を最小に抑えることができる。
【００６３】
また、この実施の形態では、反射ミラー１４ａ、１４ｂを経た入射光１７が入射する場所は、被露光領域８の０.５mm〜３mm程度の位置にある被露光直前領域８ａまたは８ｂである。すなわち、被露光領域８に投影露光する際、隣接する次の被露光領域である８ａまたは８ｂの反射率を同時に測定する。これによって、処理時間を最小に抑えることができるが、予め反射率を求めることのできるものであれば、これに限るものではない。
【００６４】
また、この実施の形態では、ウエハ７からの反射率情報を平均化するため、光学系１０によって、分岐光の形状１９を、短径幅０.５〜２mm長径幅０.５〜２６mmの楕円形に整形する。しかし、この発明の範囲内において、他の形状であってもよい。尚、反射率情報の平均化は、入射光１７が反射率の特異点を照射することにより露光量が不適切に設定されることを避けるために行う。
【００６５】
また、この実施の形態では、入射光１７は１光束ビームであるが、この発明はこれに制限されることはなく、複数のビームで構成するものであってもよい。これにより、ウエハ７の反射率情報の平均化を達成することも可能である。
【００６６】
さらに、この実施の形態は、入射光１７をウエハ７に対して垂直に入射する場合を想定しているが、これに限定されることはなく、ウエハ７に対して斜め方向から入射光１７を照射し、反射光１８を入射光と異なる光学系で反射率検出器に導くものであってもよい。
【００６７】
実施の形態２.
この発明の実施の形態２による投影露光装置は、構造的には図１に示すものと同様である。
【００６８】
ただし、この実施の形態２では、露光光源１は、高圧水銀ランプ等である。また、この投影露光装置は、照明系の照度を変更することにより、露光光の強度を調整できる制御機構を有する。これによって、反射率測定結果に応じた最適な露光光の強度における投影露光を実現することができる。その他の部分は図１と同様であるから省略する。
【００６９】
実施の形態３．
この発明の実施の形態３による投影露光装置は、構造的には図１に示すものと同様である。
【００７０】
ただし、この実施の形態３では、露光光源１は、エキシマレーザー等のパルス発光光源である。また、この投影露光装置は、パルス発光間隔を変えることにより、露光光の強度を調整できる制御機構を有する。これによって、反射率測定結果に応じた最適な露光光の強度における投影露光を実現することができる。その他の部分は図１と同様であるから省略する。
【００７１】
実施の形態４．
この発明の実施の形態４による投影露光装置は、構造的には図１に示すものと同様である。
【００７２】
ただし、この実施の形態４では、投影露光装置は走査型のものである。また、この投影露光装置は、ウエハ７を投影レンズ５に対し移動させるウエハステージ６の走査速度を変えることにより、露光光の強度を調整できる制御機構を有する。これによって、反射率測定結果に応じた最適な露光光の強度における投影露光を実現することができる。その他の部分は図１と同様であるから省略する。
【００７３】
【発明の効果】
以上の説明したようにこの発明においては、投影露光前に、予め、被露光領域に低エネルギーの露光光を照射し、露光光に対する基板からの反射率を測定する。従って、被加工基板上に形成された皮膜の膜厚や物性変動に起因して発生する露光光に対する反射率の局所的変化に対応して、最適な露光光の強度を決定することができる。これに従って、露光光が最適な強度になるように、強度を随時変化させることにより、レジストパターン寸法や形状の変動を、安価に、かつ処理能力やドライエッチング時の寸法制御性を落とさずに抑えることが可能となる。
【００７４】
また、この発明において、被露光領域に露光する際の露光光の１部を分岐することにより、被露光領域の投影露光と同時に、被露光直前領域の反射率を測定することができる。これによって、さらに、安価に、かつ処理能力を落とすことなく、高い性能で、レジストパターンを形成することが可能である。
【００７５】
さらに、この発明において、１部分岐された露光光はさらに２拘束に分岐され２系統の反射率測定系を含む反射率測定機構を備えることにより、ウエハステージの２方向ある移動方向のどちらにでも対応でき、より安価で処理能力の高いレジストパターンの形成方法を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施の形態１における、縮小投影露光装置の概略を示す図である。
【図２】 この発明の実施の形態１における、基板反射率の計測方法の説明をするための図である。
【図３】 従来の縮小投影露光装置の概略を示す図である。
【図４】 レジスト膜厚とＳｉＮ膜厚変動による基板反射率変動を示したグラフである。
【図５】 ＳｉＮ膜厚変動による基板反射率変動を示したグラフである。
【図６】 レジスト膜厚変動による基板反射率変動を示したグラフである。
【図７】 基板反射率とポジ型レジスト寸法の関係を示したグラフである。
【符号の説明】
１ 露光光源、 ２ フライアイレンズ、 ３ σ絞り、 ３Ａ 反射鏡、 ３Ｂ コンデンサレンズ、 ４ レチクル、 ５ 縮小投影レンズ、 ６ ウエハステージ、 ７ 被加工基板、 ７ａ Ｓｉ基板、 ７ｂ ＳｉＮ膜、 ７ｃ レジスト膜、 ８ 被露光領域、 ８ａ、８ｂ 被露光直前領域、 ９ ハーフミラー、 １０ 光学系、 １１ ビームスプリッタ、 １２ 反射ミラー、 １３ａ、１３ｂ ハーフミラー、 １４ａ、１４ｂ 折り曲げミラー、 １５ａ、１５ｂ 反射率検出器、 １６ａ、１６ｂ ウエハステージ移動方向、 １７ 入射光、 １８ 反射光、
１９ 入射光ビーム形状、 ２０ 基準反射板。
Claims (19)
- 半導体装置の製造のためのマスクパターンを被加工基板に投影する走査型の露光装置であって、
露光光源と、
前記露光光源からの露光光の一部を分岐させる分岐手段と、
前記被加工基板の所定の被露光領域に、前記露光光源からの露光光を照射して、走査露光により、前記マスクパターンを投影するときに、同時に、被露光直前領域に、前記分岐手段により分岐された分岐光を照射し、この分岐光に対する前記被露光直前領域からの反射率を測定する反射率測定機構と、
前記測定した反射率を参照して、前記被露光直前領域に前記マスクパターンを投影する際に、前記被露光直前領域に対して照射する露光光の強度を、所定の強度に調整する制御機構と、
を備えたことを特徴とする投影露光装置。 - 前記被露光直前領域は、前記所定の被露光領域に隣接する領域であることを特徴とする請求項１に記載の投影露光装置。
- 前記反射率測定機構は、
前記分岐手段により分岐された分岐光の強度を調整することができる調整器と、
この光に対する前記被露光直前領域からの反射率を測定する反射率検出器と、
を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の投影露光装置。 - 前記反射率測定機構は、
前記分岐手段により分岐された分岐光の強度を調整することができる調整器と、
前記分岐光を、更に、２光束に分岐させるためのビームスプリッタと、
上記２光束のそれぞれに対応する２つの反射率検出器を備えたことを特徴とする請求項１または２に記載の投影露光装置。 - 前記反射率測定機構は、
前記ビームスプリッタにより前記２光束に分岐された２つの分岐光のうち、前記被加工基板の移動方向から判断して、被露光直前となる部分を照射する１の分岐光を用いて反射率を測定することを特徴とする請求項４に記載の投影露光装置。 - 前記反射率測定機構は、
前記分岐手段により分岐された分岐光を、所定のビーム状に形成する光学系を備えたことを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の投影露光装置。 - 前記制御機構は、前記反射率測定機構による反射率測定結果に対し、反射率と適正露光光の強度との関係を示すデータに基づいて、前記測定した反射率から適正露光光の強度を求める手段を備えたことを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の投影露光装置。
- 前記制御機構は、露光光を与える照明系の照度を変える手段を有することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の投影露光装置。
- 請求項１から７のいずれかに記載の投影露光装置であって、前記露光光源としてパルス発光光源を有する投影露光装置において、
前記制御機構は、パルス発光間隔を変える手段を有することを特徴とする投影露光装置。 - 前記制御機構は、前記露光光に対して被加工基板を移動させるためのステージの走査速度を変える手段を有することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の投影露光装置。
- 露光光源からの露光光を、所定の方向に走査されるレチクルに照射し、前記レチクルのマスクパターンを透過した光を、前記所定の方向とは反対の方向に走査される被加工基板の所定の被露光領域に照射して、前記マスクパターンを、前記被露光領域に投影するときに、同時に、前記露光光源からの露光光の一部を分岐し、この分岐光を、被露光直前領域に照射し、この照射光に対する前記被露光直前領域からの反射率を測定する第一の工程と、
この反射率により前記被露光直前領域に対する露光光の適正な強度を決定した後、この決定した強度の露光光を、前記被露光直前領域に照射して、前記被露光直前領域にマスクパターンを投影する第二の工程と、
を備えたことを特徴とする投影露光方法。 - 前記被露光直前領域は、前記所定の被露光領域に隣接する領域であることを特徴とする請求項１１に記載の投影露光方法。
- 前記第一の工程において前記被露光直前領域に照射する前記分岐光は、前記第二の工程において前記被加工基板の前記被露光直前領域に照射する露光光より低エネルギーの光であることを特徴とする請求項１１または１２に記載の投影露光方法。
- 前記第一の工程における前記被露光直前領域への光の照射は、前記分岐光を、光学系を用いて所定のビーム状に形成した光を用いること特徴とする請求項１３に記載の投影露光方法。
- 前記第一の工程は、前記分岐光をさらに２光束に分岐し、
２つの分岐光のうち、前記被加工基板の移動方向から判断して、被露光直前となる部分を照射する１の分岐光に対しての反射率を測定することにより行うことを特徴とする請求項１１から１４のいずれかに記載の投影露光方法。 - 前記第二の工程は、被加工基板の反射率と露光光の適正強度との関係を示すデータを用意し、反射率の測定結果から、前記データを参照して露光時に適正な露光光の強度を決定することを特徴とする請求項１１から１５のいずれかに記載の投影露光方法。
- 前記第二の工程は、前記露光光の照度を変更することにより、前記適性な強度の露光光を照射することを特徴とする請求項１１から１６のいずれかに記載の投影露光方法。
- 前記第二の工程は、前記露光光のパルス発光間隔を変更することにより、前記適性な強度の露光光を照射することを特徴とする請求項１１から１６のいずれかに記載の投影露光方法。
- 前記第二の工程は、前記被加工基板を載置したウエハステージの走査速度を調整することにより、前記適性な強度の露光光を照射することを特徴とする請求項１１から１６のいずれかに記載の投影露光方法。
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