JP3798003B2 - ダイスボンド装置及びダイスボンド方法 - Google Patents
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Description
図1(A)及び(B)、並びに図2(A)〜(F)を参照して、第1実施形態のダイスボンド装置及びダイスボンド方法について説明する。図1(A)及び(B)は、ダイスボンド装置のノズル部の形状を説明するための図である。図1(A)は、ノズル部を接着剤の吐出方向に対して横方向から見た概略的側面図である。図1(B)は、ノズル部を下方から、すなわち、接着剤が塗布されるチップ搭載面側からノズル部を見た概略的底面図である。図2(A)〜(F)は、ダイスボンド方法を説明するための図である。
V=Sρ(1+r/100)
で与えられる。
図4並びに図5(A)及び(B)を参照して、第2実施形態のダイスボンド装置及びダイスボンド方法について説明する。図4は、ダイスボンド装置のノズル部の形状を説明するための図であり、ノズル部を下方から、すなわち、接着剤が塗布されるチップ搭載面からノズル部を見た概略的底面図である。図5(A)及び(B)は、ダイスボンド方法を説明するための図である。
15、115 押し当て部
20、22、120 ノズル取付部
30、34 中央ノズル
32、32a、32b、36、36a、36b 周辺ノズル
40、140 チップ
42、43、142 基板
44、45、144 チップ搭載面
46、47、146 接合領域
50、52、52a、52b、54、56、56a、56b、58、59 接着剤
130 ノズル
150、158、159 ボンディング剤
160 気泡
Claims (18)
- チップ搭載面の矩形状の接合領域に対し、接着剤を吐出するノズル部を備えたダイスボンド装置であって、
前記ノズル部は、
前記接合領域の中央に前記接着剤を吐出する中央ノズルと、
該中央ノズルの周囲に設けられていて、前記接着剤の吐出量が前記中央ノズルよりも少ない、複数の周辺ノズルと
を備え、
前記接合領域を正方形とし、
前記中央ノズルは、該正方形の対角線の交点の位置に対応して設けられており、
前記各周辺ノズルは、前記交点を除く該対角線上の位置に対応して設けられており、
前記中央ノズルの吐出口の面積が、前記各周辺ノズルの吐出口の面積の1.2〜3倍であることを特徴とするダイスボンド装置。 - 請求項1に記載のダイスボンド装置において、
前記各周辺ノズルは、前記交点を除く前記対角線上の位置に対応して等間隔に設けられていることを特徴とするダイスボンド装置。 - チップ搭載面の矩形状の接合領域に対し、接着剤を吐出するノズル部を備えたダイスボンド装置であって、
前記ノズル部は、
前記接合領域の中央に前記接着剤を吐出する中央ノズルと、
該中央ノズルの周囲に設けられていて、前記接着剤の吐出量が前記中央ノズルよりも少ない、複数の周辺ノズルと
を備え、
前記接合領域を長方形とし、
前記中央ノズルは、該長方形の対角線の交点の位置に対応して設けられており、
前記各周辺ノズルは、該長方形の短辺を底辺とする二等辺三角形の該底辺を除く二辺上の、及び前記二等辺三角形の頂点と前記交点とを結ぶ直線上の位置に対応して設けられており、
前記中央ノズルの吐出口の面積が、前記各周辺ノズルの吐出口の面積の1.2〜3倍であることを特徴とするダイスボンド装置。 - 請求項3に記載のダイスボンド装置において、
前記各周辺ノズルは、前記二等辺三角形の前記底辺を除く二辺上の、及び前記二等辺三角形の頂点と前記交点とを結ぶ直線上の位置に対応して等間隔に設けられていることを特徴とするダイスボンド装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載のダイスボンド装置において、
前記接合領域の全域に拡布されるべき接着剤量を、前記中央ノズル及び前記複数の周辺ノズルからの前記接着剤の全吐出量と設定してあることを特徴とするダイスボンド装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載のダイスボンド装置において、
前記中央ノズル及び前記周辺ノズルの吐出口は円形状であることを特徴とするダイスボンド装置。 - 請求項6に記載のダイスボンド装置において、
前記中央ノズルの吐出口の直径は0.6mmであり、
前記周辺ノズルの吐出口の直径は0.5mmであり、
前記中央ノズル及び前記周辺ノズルの吐出口は1.2mm間隔で配置されていることを特徴とするダイスボンド装置。 - 請求項6に記載のダイスボンド装置において、
前記中央ノズルの吐出口の直径は0.6mmであり、
前記周辺ノズルの吐出口の直径は0.4mmであり、
前記中央ノズル及び前記周辺ノズルの吐出口は0.8mm間隔で配置されていることを特徴とするダイスボンド装置。 - 請求項1〜8のいずれか一項に記載のダイスボンド装置において、
前記複数の周辺ノズルのうち、最外側の周辺ノズルは、前記接合領域のエッジから0.5mm以内の領域に対応して設けられていることを特徴とするダイスボンド装置。 - 矩形状の接合領域を有するチップ搭載面を準備する工程と、
前記接合領域の中央部に第1の量の接着剤を供給する工程と、
前記中央部の周囲に位置する周辺部の複数箇所のそれぞれに前記第1の量よりも少ない第2の量の接着剤を供給する工程と、
接着剤が供給された前記接合領域にチップを押し当て該接着剤を該接合領域に拡布する工程とを備え、
前記接合領域を正方形とするとき、
前記中央部は、該正方形の対角線の交点に位置し、
前記周辺部の複数箇所は、前記交点を除く前記対角線上に位置し、
中央部に供給される接着剤の量を、周辺部の複数箇所のそれぞれに供給される接着剤の量の1.2〜3倍にする
ことを特徴とするダイスボンド方法。 - 請求項10に記載のダイスボンド方法において、
前記周辺部の複数箇所は、前記交点を除く前記対角線上に等間隔に位置することを特徴とするダイスボンド方法。 - 矩形状の接合領域を有するチップ搭載面を準備する工程と、
前記接合領域の中央部に第1の量の接着剤を供給する工程と、
前記中央部の周囲に位置する周辺部の複数箇所のそれぞれに前記第1の量よりも少ない第2の量の接着剤を供給する工程と、
接着剤が供給された前記接合領域にチップを押し当て該接着剤を該接合領域に拡布する工程とを備え、
前記接合領域を長方形とするとき、
前記中央部は、該長方形の対角線の交点に位置し、
前記周辺部の複数箇所は、該長方形の短辺を底辺とする二等辺三角形の該底辺を除く二辺上、及び前記二等辺三角形の頂点と前記交点とを結ぶ直線上に位置し、
中央部に供給される接着剤の量を、周辺部の複数箇所のそれぞれに供給される接着剤の量の1.2〜3倍にする
ことを特徴とするダイスボンド方法。 - 請求項12に記載のダイスボンド方法において、
前記周辺部の複数箇所は、前記二等辺三角形の前記底辺を除く二辺上、及び前記二等辺三角形の頂点と前記交点とを結ぶ直線上に等間隔に位置することを特徴とするダイスボンド方法。 - 請求項10〜13のいずれか一項に記載のダイスボンド方法において、
前記接合領域の全域に拡布されるべき接着剤量を、前記中央部及び前記周辺部の複数箇所における接着剤の全供給量と設定しておくことを特徴とするダイスボンド方法。 - 請求項10〜14のいずれか一項に記載のダイスボンド方法において、
前記中央部及び前記周辺部の複数箇所に供給する接着剤を、前記接合領域の面上での輪郭がそれぞれ円形状になるように供給することを特徴とするダイスボンド方法。 - 請求項15に記載のダイスボンド方法において、
前記中央部における接着剤を直径0.6mmの円形状で供給し、
前記周辺部の複数箇所における接着剤を直径0.5mmの円形状で供給し、
前記中央部における接着剤及び前記周辺部の複数箇所における接着剤を、1.2mmの間隔で供給することを特徴とするダイスボンド方法。 - 請求項15に記載のダイスボンド方法において、
前記中央部における接着剤を直径0.6mmの円形状で供給し、
前記周辺部の複数箇所における接着剤を直径0.4mmの円形状で供給し、
前記中央部における接着剤及び前記周辺部の複数箇所における接着剤を、0.8mmの間隔で供給することを特徴とするダイスボンド方法。 - 請求項10〜17のいずれか一項に記載のダイスボンド方法において、
前記周辺部の複数箇所のうち、最外側の箇所は、前記接合領域のエッジから0.5mm以内の領域に位置することを特徴とするダイスボンド方法。
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