JP3788148B2 - 真空スイッチ及びその運転方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は真空スイッチ及びその運転方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
真空スイッチギヤの遮断性能及び耐電圧性能は真空圧力が10-4Torr以下になると急激に低下する。真空圧力変動の原因には、亀裂発生による真空漏れはもちろんのこと、真空容器等を構成する金属・絶縁物に吸着していた気体分子の放出、さらには雰囲気ガスの透過などがある。高電圧化に伴って真空容器が大型化すると、吸着ガスの放出,雰囲気ガスの透過が無視できなくなる。真空遮断器において、種々の手段を用いて真空度の監視をすることは良く知られている。例えば、USP5,537,858,USP5,739,419,USP4,163,130,実開昭55−45160 号公報,特開昭56−36818 号公報,特開平8−306279 号公報等に記載されている。しかし、USP4,163,130 のように、接地されていない真空容器の真空度を接触式で測定するには、主回路と同電位にある測定装置を接地電位から浮かせるために、トランス等が必要となり、測定装置が大型化して実用化されていない。
【0003】
また、USP5,739,419,特開平8−306279 号公報等のように真空容器と非接触式で測定しようとする試みはあるが、真空容器の真空度変化を目的の精度で検出する方法は見出されていない。実開昭55−45160 号公報には、接地真空容器であることは明記されていないが、遮断器を収納する第1真空容器を取り囲む第2真空容器に真空測定装置を取り付けた構成が開示されている。又、真空測定装置とともに真空容器に真空ポンプを接続することも記載されている。しかし、第1真空容器と第2真空容器は連通していないから、第1真空容器の真空度を直接測定することができない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
絶縁物を用いて測定端子を主回路と切り離して構成した場合、測定端子のサイズは絶縁物を含めると真空バルブと同程度になってしまうほど大型になる。また、測定端子で発生した電子eが、絶縁物と衝突しながら2次電子を発生して電子倍増された状態で真空バルブ内に侵入するため、真空バルブの絶縁性が劣化する問題がある。電源側線路と真空圧力測定素子の外側円筒電極を同電位とし、コンデンサで分圧された電圧を内側電極に印加することによって、絶縁物を不要とすることができる。その結果、測定端子を小型化できるが、コンデンサの対地との絶縁を考慮すると結果的に装置が大型化し、さらに主回路の電圧変動(例えば、サージ電圧など)の影響を受けるという問題がある。また、測定素子が電源側線路と同電位となっているため、測定器、あるいは警告ランプ,警音などを発生するためのリレーへの伝送に絶縁トランスや光伝送を必要とする為、システム全体が複雑化してしまうという問題がある。
【0005】
本発明の目的は、遮断部の真空度を確実に測定,監視することができ、しかも、遮断部又は断路部に不具合あるいは故障があっても真空スイッチ全体に広がることはなく、信頼性が向上し、かつ、小型化した真空スイッチ及びその運転方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、真空遮断器部と断路器部とをそれぞれ異なった接地真空容器に収容し、その接地真空容器に真空圧力測定装置を設けた真空スイッチに関する。
【0007】
本発明において、真空遮断器部とは真空遮断を行う必要構成、即ち可動電極,固定電極及びそれらを支持する導体とそれらを収容する真空容器を含む。又、断路器部とは、遮断器部に接続され、必要に応じ遮断器を断路状態に保持する装置で、必要に応じ接地装置を含む。又それらの要素を収納する真空容器を含む。
【0008】
本発明において、単一真空容器内に遮断器・断路器・接地開閉器を集積した構造では、負荷あるいは開閉装置本体を保守・点検する作業者の安全を確保する上で、操作器の真空圧力チェック機能、あるいは圧力の常時監視機能を付加することが望まれる。これまで、真空圧力検出装置を備えた真空バルブには、電離真空計を取り付けたもの、真空容器内に設けた微小ギャップに電圧を印加し放電して真空度を検出するもの、マグネトロン端子を備えたものなどが知られている。本発明はこれらの公知の真空測定装置を用いることができるが、信頼性,精度の観点から、電離計測計,マグネトロン端子を用いたものが好ましい。また、連続真空度監視には適さないが、メガー装置を測定端子に接続する方式でもよい。これにより、真空度測定のための電源を使用せずに真空度を測定できる。
【0009】
本発明の真空スイッチは、真空容器内に絶縁物を介して遮断器の固定電極と可動電極とを対向して設け、該真空容器を取り囲んで第1真空容器を設ける。その第1真空容器に真空度測定装置を設ける。また、接地された第1真空容器に、絶縁物を介して固定電極と可動電極とを対向して設け、圧力測定時に該第1真空容器の同軸電極の周囲に磁界発生装置を取り付け、あるいは測定時以外は取り外すことができるようにしても良い。また、接地真空容器の真空度が低下した時に真空度を回復するための真空ポンプを設けるのが良い。
【0010】
本発明の真空スイッチギヤによれば、主回路と測定端子を電気的に分離できるため、真空度監視・測定機能の信頼性が向上し、さらに真空度低下時においても真空ポンプにより再度高真空を得ることができ、真空スイッチギヤの安全性が確保できるようになる。遮断部と断路部を分離することにより、それらの不具合が全体に広がるのを防ぐことができる。また、遮断部を収容する真空容器の真空度が直接監視できるので、信頼性が高まる。
【0011】
遮断部の可動電極−固定電極対と、断路部の可動電極−固定電極対が真空容器に絶縁物を介して同軸方向に配置されているため、遮断時の大きな駆動力が電極対に掛かっても、駆動力を軸方向に吸収,緩和できるので、真空スイッチの信頼性が高まる。そして、第1接地真空容器又は第2接地真空容器が真空容器を取り囲んでいるので、その真空容器に不具合が起こっても、第1接地真空容器又は第2接地真空容器が保護する作用をする。
【0012】
本発明の真空スイッチ及び真空スイッチギヤの運転方法によれば、真空ポンプを必要に応じあるいは随時運転することにより、接地真空容器のみならず真空遮断器部の真空容器の真空度までも同時に向上し、あるいは必要な真空度に維持することができ、真空スイッチ及び真空スイッチギヤの性能を著しく向上することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図1により説明する。図1に示す本実施例の真空スイッチは、遮断器部の可動電極11及び固定電極10を収容する真空容器1,真空容器1を取り囲む第1接地真空容器2,第1接地真空容器2に取り付けた真空圧力測定端子110,第1接地真空容器2に取り付けた真空ポンプ91,断路器部及び接地部を収納する第2接地真空容器3を概略備えている。真空容器1及び第1接地真空容器2は、大部分が強度の高い金属例えばステンレススチールなどの導電性材料で構成される。そして、第1接地真空容器2は接地されている。導体部分以外は、アルミナなどの絶縁物7,8で構成する。
【0015】
真空容器1の上下に絶縁物7,8を設けることにより、真空容器1を構成する。真空容器1の内部に、接離自在な固定電極10と可動電極11を配置し、両者を操作機構の指令によって接離させて投入及び遮断を行う。可動電極11に接続された可動導体15が絶縁物7を貫通する。可動電極11と絶縁物7の間には、可動電極の運動を許容するわずかな隙間があるので、真空容器1と第1接地真空容器2の真空は連通している。従って、真空測定装置110が真空容器1及び接地真空容器2の真空度を直接測定あるいは監視することができる。
【0016】
可動導体15の他端はフレキシブル導体60を介して電源導体61に接続される。また、可動導体の上記他端は絶縁物12を介して操作機構のリンク機構に可動ブレード13により接続される。可動ブレード13は絶縁物12に接続されたベローズ17により気密に封止される。
【0017】
接地真空容器2は端板20と側壁29とから構成され、真空容器1を取り囲むように真空部2aがある。接続部81は母線(図示せず)と接続されている。
【0018】
固定電極18側は、第2接地真空容器3に収納された断路器の可動電極49,固定電極50,フレキシブル導体74,接地装置の可動電極32,固定電極31等を収納する第2接地真空容器3が設けられる。第1接地真空容器2と第2接地真空容器3とは絶縁物8によって互いに気密に遮断されている。従って、真空圧力測定端子120,真空ポンプ90が別個に設けられている。断路器の可動電極49に接続された可動導体45は絶縁物43,可動ブレード44を介して操作機構のリンク機構に接続される。
【0019】
可動導体45は、フレキシブル導体74を介して負荷導体70に接続され、負荷(図示せず)に接続部82を介して電気的に接続される。
【0020】
図2は本発明に用いられる真空測定装置の一例であるマグネトロン方式真空測定装置の断面図で、測定端子150は、第1接地金属容器2の側面に取り付けられる。測定端子150は、同軸電極152とその周囲に配置した磁界発生用のコイル156で構成する。同軸電極152は円筒形の外側電極153とそれを貫通する内側電極154を備え、両者は絶縁部151で電気的に絶縁される。なお、コイル156の代わりにリング状の永久磁石を用いてもよい。また、永久磁石のN極とS極を逆にしても同様の性能が得られる。
【0021】
次に測定端子150の動作について説明する。電源回路130によって内側電極154に負の直流電圧を印加する。印加する電圧は、交流電圧、あるいはパルス状の電圧であってもよい。内側電極154から放出された電子eは、電界Eとコイル156で印加した磁界Bによってローレンツ力を受け、内側電極154の周囲を回転運動する。回転運動する電子eは残留ガスを衝突電離させ、発生した陽イオンIが内側電極154に流れ込む。このイオン電流jは残留ガス量、すなわち圧力に依存するため、抵抗Rの両端に発生する電圧Vによって圧力を測定できる。圧力を常時監視する場合には、抵抗Rの両端の電圧Vによってリレーを動作させ、警報ランプを点灯、あるいは警音を発生させればよい。なお、図3に示すように、真空容器1の遮断性能及び絶縁性能は圧力Pが10-4Torr以上になると急激に低下するので、真空度がこの値よりも低下しないように(圧力が高くならないように)監視する必要がある。上記実施例で示したマグネトロン方式真空圧力測定端子150は、10-6Torr程度まで識別可能であり、真空圧力監視として十分有効である。
【0022】
接地した真空容器2に測定端子150を取り付けたため、測定端子150の電源回路
130を主回路と分離できる。それゆえ、測定端子150を浮かせるためのトランスなどが不要となり、抵抗Rから直接測定器、あるいはリレー回路に伝送できるため、測定システムは小型で簡略化でき、真空スイッチ全体を小型化できる。また、主回路からのサージによる誤動作がなくなって信頼性が向上する。また、測定端子150を第1接地真空容器2に直接接続したため、絶縁筒を介して測定端子を取り付けるよりも、真空容器1に侵入する電子の数が少なく、真空容器1の遮断性能および絶縁性能の低下を回避できる利点がある。
【0023】
また、第1及び第2接地真空容器2及び3には、真空ポンプ91,90が取り付けられているため、万が一真空容器1,第1及び第2接地真空容器2及び3内の真空度が真空容器を構成する部品からのガス放出等により悪化しても、測定端子150により検知し、真空ポンプ91,90を作動させて内部の真空度を回復させることができる。
【0024】
真空容器1の円筒状の側壁1aは、ステンレススチールの導電性材料で形成され、側壁1aはセラミックスなどの絶縁物で形成された絶縁物8部で固定支持され、かつ絶縁物7部で支持されている。絶縁物8の中央部には、導体14が設けられ、真空容器1内には導体14と接続する固定電極10が設けられている。固定電極10に対向して可動電極11が設けられ、遮断器を構成している。真空容器1内の遮断器の可動電極11を操作する可動導体15は、絶縁物7を貫通してフレキシブル導体60に接続され、絶縁物12を介して可動ブレード13に接続される。可動ブレード13は、操作機構部を収納した操作機構に接続されており、操作機構部の動作により可動導体15を往復運動させる。操作機構には制御装置(図示せず)を備えていて遮断器の操作に必要な信号を発生する。それにより、可動導体15の往復運動により可動電極11と固定電極10との接離が行われる。
【0025】
このように真空容器1を第1接地真空容器2に収納しているので、真空容器1は、中間的な電位になり、第1接地真空容器2との間で絶縁破壊が生じるのを防止することができる。また、真空容器と第1接地真空容器で絶縁を維持するので真空容器1が万一真空漏れを起こしても絶縁を保つことができる。
【0026】
真空容器1を収納している第1接地真空容器2は、その軸線方向が真空容器1の軸線方向と同じ方向に配置されている。第1接地真空容器2の一方の端部には、真空容器1の内部方向に凸形状の端板20が溶接により固定されている。第2接地真空容器3には、その真空度を測定するための真空圧力測定端子110が取り付けられている。真空容器側壁には真空ポンプ91が取り付けられており、第2接地真空容器3の真空圧力の回復が可能である。
【0027】
端板20と絶縁物12の一端とはベローズ17で接続されて第1接地真空容器2の気密を保っている。導体61にフレキシブル導体60の一方の端部が固定されている。第2接地真空容器3の円筒状の側壁39は、例えばステンレススチールなどの高強度の導電性材料で形成される。第2接地真空容器3は、その軸線方向が第1接地真空容器2の軸線方向と同じ方向に沿って配置されている。側壁39には絶縁物8を貫通して導体14が固定され、導体14の第2接地真空容器3側には断路器40の固定電極50が設けられている。固定電極50に対向して可動電極49が配置されている。可動電極49には、可動導体45,フレキシブル導体74の取付部,絶縁物43を介して可動ブレード又は可動導体44が接続されている。端板78と絶縁物43の一端とはベローズ46で接続されて第2接地真空容器3の気密を保っている。
【0028】
可動ブレード44は、操作機構部を収納した操作箱にリンク機構を介して接続されており、操作機構部の動作により可動ブレード44を往復運動させる。可動ブレード44の往復運動により可動電極49と固定電極50との接離が行われる。このように、遮断器の固定電極10と断路器40の固定電極49を導体14の両端部に設けているので、断路器40をゆっくり投入して力を加えた後、遮断器40を投入することにより遮断器の可動電極11に加える力と断路器40の可動電極49をバランスさせることができる。その結果、絶縁物8を薄く形成しても良く、小型化できる。
【0029】
接地装置の固定電極31と対向して可動電極32が配置されている。可動電極32は可動ブレード又は可動電極33に接続されている。側壁39の筒部内にはベローズ34が設けられており、ベローズ34の一端が筒部に、他端が可動ブレード33に接続されて第2接地真空容器3の気密を保っている。可動ブレード33には図示しない接地導体が取り付けられており、接地されている。可動ブレード33は図示しないリンクに接続され、リンクは図示しない操作機構部に接続されている。固定導体31は導体70と接続されている。可動導体45にはフレキシブル導体74の一端が接続されており、フレキシブル導体74の他端部は導体70と接続される。導体70の外周側には、ブッシング71が設けられている。ブッシング71の外周側には導体82を介して負荷導体77と接続される。
【0030】
第2接地真空容器3の側壁39の横側には、その真空度を測定するための真空圧力測定端子120が取り付けられている。
【0031】
第1接地真空容器と第2接地真空容器を直線状に配置し真空スイッチを構成しているので、奥行きがコクパクトなスイッチギヤを提供できる。また、第1接地真空容器1及び第2接地真空容器3は、それぞれ接地されており、その側壁は接地電位となっているので、三相分接触もしくは近接させて配置することができ、コンパクトなスイッチギヤを提供できる。
【0032】
また、遮断器の可動ブレードを往復運動させる駆動系で構成して固定導体14の両端に遮断器の固定電極と断路器の固定電極を配置している。従って、遮断器の可動電極に加える力と断路器の可動電極に加える力をバランスさせることができるので、絶縁物8を薄く形成しても良く、小型化できる。また、遮断器を収納した第1接地真空容器と断路器,接地装置を収納した第2接地真空容器とを接続する構成にしているので絶縁性上の信頼性が向上する。また、遮断器と、断路器及び接地装置を個別に組立てることができるので、スイッチギヤを構成する上での自由度が増す。
【0033】
第1接地真空容器及び第2接地真空容器に取り付けたそれぞれの真空測定装置内の空間は真空容器と連通しており、真空測定装置によって真空容器の真空圧力を測定あるいは常時監視している。第1接地真空容器2及び第2接地真空容器3には、各々真空ポンプ90,91が取り付けられているため、万が一真空容器内の真空が真空容器を構成する部品からのガス放出等により悪化しても、測定端子により検知し、真空ポンプ90,91を作動させることで内部の真空度を回復させることができる。これにより真空スイッチの安全性,信頼性を高めることができる。真空度を監視しながら、真空スイッチの性能を高めることができるという、画期的な効果を有する。
【0034】
真空スイッチにおいて、遮断時点に電極から放出される金属粒子が真空圧力測定装置に入射するのを防止するため、真空圧力測定装置は遮断器の固定電極と可動電極を収納する真空容器1の外側に取り付けるのがよい。また、真空圧力測定装置の取付部に磁性体を用いることにより、真空圧力測定装置の磁気抵抗を減らすことができる。
【0035】
本発明で用いられる真空圧力測定装置の1例において、同軸電極と、該同軸電極の周囲に取り付けた磁界発生装置により真空圧力を測定する真空圧力測定端子を設けることができる。
【0036】
また、真空圧力測定装置の前記同軸電極の中心電極と対向して、同軸電極の外部電極と同電位に保った電極を設けても良い。前記同軸電極を、内側面に金属メッキを施したコップ型のセラミック筒とそれを貫通する中心電極で構成することができるなど、種々の変更,改良を加えることも本発明の思想の範囲内である。
【0037】
真空測定装置の電源としてメガーを用いることができる。図4にはその概略図を示す。図において、第1接地真空容器2の側壁に真空測定装置230の端子を取り付ける。測定装置は内側電極234の回りを取り囲む外部電極233を有し、電極間は絶縁物231で絶縁される。一対の永久磁石237が外側電極233の外側に設けられる。真空度測定に当たっては、メガー241の端子242を内側電極234と真空容器2に接続することにより、メガーを電源として真空度を測定することができる。この場合、測定のために電源を一切必要としないから、装置が簡略化され、かつ安全である。
【0038】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、真空圧力監視・測定の信頼性が向上し、その結果安全性の高い真空スイッチ及び真空スイッチギヤを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例による真空スイッチギヤの構成を示す断面図である。
【図2】本発明の実施例に用いられた真空圧力測定装置の構造を示す断面図である。
【図3】真空絶縁性能と真空度の関係を示すグラフである。
【図4】本発明の他の実施例における真空測定装置の構成を示す概略図である。
Claims (7)
- 真空遮断器の固定電極及び該固定電極と接離する可動電極を収納する真空容器と、該真空容器と連通し、該真空容器から電気的に絶縁されて該真空容器を収納する第1接地真空容器と、断路器及び接地装置を収納し、前記真空容器及び第1接地真空容器から電気的に絶縁され、かつ、気密に遮断された第2接地真空容器とを備え、前記第1接地真空容器と真空容器及び前記第1接地真空容器と第2接地真空容器は、同軸方向に配置されていると共に、前記第1及び第2接地真空容器には、それぞれ真空圧力測定端子及び真空ポンプが接続されていることを特徴とする真空スイッチ。
- 前記真空容器内の真空遮断器と電気的に接続され、前記第1接地真空容器から引き出された電源導体と、前記第2接地真空容器内の断路器と電気的に接続され、前記第2接地真空容器から引き出された負荷導体と、前記第2接地真空容器内の接地装置と電気的に接続され、前記第2接地真空容器から引き出された接地導体とを更に備えていることを特徴とする請求項1に記載の真空スイッチ。
- 前記第1接地真空容器と第2接地真空容器とは絶縁物によって互いに気密に遮断されると共に、前記絶縁物の中央部を導体が貫通して設けられ、該導体の前記第1接地真空容器内端部には前記真空遮断器の固定電極が設けられ、かつ、前記導体の前記第2接地真空容器内端部には前記断路器の固定電極が設けられていることを特徴とする請求項1、又は2に記載の真空スイッチ。
- 前記真空圧力測定端子は、前記第1及び第2接地真空容器のそれぞれに直接接続されていることを特徴とする請求項1に記載の真空スイッチ。
- 前記真空圧力測定端子は、前記第1及び第2接地真空容器のそれぞれの真空と連通する空間を有する同軸電極と、該同軸電極の周囲に配置された磁界発生装置とから成ることを特徴とする請求項1又は4に記載の真空スイッチ。
- 前記同軸電極は、円筒状の外側電極と、該外側電極を貫通する内側電極と、前記両電極を絶縁する絶縁物とで形成されることを特徴とする請求項5に記載の真空スイッチ。
- 真空遮断器の固定電極及び該固定電極と接離する可動電極を収納する真空容器と連通し、該真空容器と同軸方向に配置され電気的に絶縁されて該真空容器を収納する第1接地真空容器と、断路器及び接地装置を収納し、前記第1接地真空容器と同軸方向に配置されると共に前記真空容器及び第1接地真空容器から電気的に絶縁され、かつ、気密に遮断された第2接地真空容器のそれぞれに接続された真空圧力測定端子に電源が接続された真空測定装置で、前記真空容器内と前記第1及び第2接地真空容器内の真空度を常時監視し、前記真空容器内と前記第1及び第2接地真空容器内の真空度が所定の真空度よりも低下した時に、前記第1及び第2接地真空容器のそれぞれに接続されている真空ポンプを起動して前記真空容器内と前記第1及び第2接地真空容器内の真空度を回復させることを特徴とする真空スイッチの運転方法。
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