JP3395698B2 - 真空絶縁開閉装置 - Google Patents
真空絶縁開閉装置Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は真空絶縁開閉装置に
係り、特に接地されている金属容器内の真空圧力を測定
するための真空圧力測定端子を備えているものに好適な
真空絶縁開閉装置に関する。
係り、特に接地されている金属容器内の真空圧力を測定
するための真空圧力測定端子を備えているものに好適な
真空絶縁開閉装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】真空絶縁開閉装置を構成する真空バルブ
の遮断性能および耐電圧性能は、真空圧力が１０-4Torr
以下になると急激に低下する。真空圧力変動の原因に
は、真空容器の亀裂発生による真空漏れは勿論のこと、
金属・絶縁物に吸着していた気体成分の放出、さらには
雰囲気ガスの透過などがある。真空バルブの高電圧化に
伴って真空容器が大型化すると、吸着ガスの放出、雰囲
気ガスの透過が無視できなくなる。また、特開平9−153
320 号公報記載の絶縁開閉装置のように、単一真空バル
ブ内に遮断器・断路器・接地開閉器を集積した構造で
は、負荷あるいは開閉装置本体を保守・点検する作業者
の安全を確保する上で、操作時の真空圧力チェック機
能、あるいは圧力の常時監視機能を付加することが望ま
れる。
の遮断性能および耐電圧性能は、真空圧力が１０-4Torr
以下になると急激に低下する。真空圧力変動の原因に
は、真空容器の亀裂発生による真空漏れは勿論のこと、
金属・絶縁物に吸着していた気体成分の放出、さらには
雰囲気ガスの透過などがある。真空バルブの高電圧化に
伴って真空容器が大型化すると、吸着ガスの放出、雰囲
気ガスの透過が無視できなくなる。また、特開平9−153
320 号公報記載の絶縁開閉装置のように、単一真空バル
ブ内に遮断器・断路器・接地開閉器を集積した構造で
は、負荷あるいは開閉装置本体を保守・点検する作業者
の安全を確保する上で、操作時の真空圧力チェック機
能、あるいは圧力の常時監視機能を付加することが望ま
れる。
【０００３】これまで、真空圧力を検出する検出装置を
備えた真空バルブには、電離真空計を取り付けたもの、
真空容器内に設けた微小ギャップに電圧を付加し放電し
て真空度を検出するもの、マグネトロン端子を備えたも
のなどが知られている。
備えた真空バルブには、電離真空計を取り付けたもの、
真空容器内に設けた微小ギャップに電圧を付加し放電し
て真空度を検出するもの、マグネトロン端子を備えたも
のなどが知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術では、
主回路と測定端子間の絶縁を考慮したとき下記の問題が
あった。絶縁筒を用いて測定端子を主回路と切り離して
構成した場合、測定端子のサイズは絶縁筒を含めると真
空バルブと同程度になってしまうほど大型になる。ま
た、測定端子で発生した電子ｅが、絶縁筒と衝突しなが
ら、つまり２次電子を発生して電子増倍された状態で真
空バルブ内部に侵入するため、真空バルブの絶縁性能が
劣化する問題があった。
主回路と測定端子間の絶縁を考慮したとき下記の問題が
あった。絶縁筒を用いて測定端子を主回路と切り離して
構成した場合、測定端子のサイズは絶縁筒を含めると真
空バルブと同程度になってしまうほど大型になる。ま
た、測定端子で発生した電子ｅが、絶縁筒と衝突しなが
ら、つまり２次電子を発生して電子増倍された状態で真
空バルブ内部に侵入するため、真空バルブの絶縁性能が
劣化する問題があった。
【０００５】また、従来技術として、電源側線路と真空
圧力測定素子の外側円筒電極を同電位とし、コンデンサ
で分圧された電圧を内側電極に印加することによって真
空圧力を検出するものもある。これは、絶縁筒を不要と
し、測定端子のサイズを小型化できるが、コンデンサの
対地との絶縁を考慮すると結果的に装置が大型化し、さ
らに主回路の電圧変動（例えば、サージ電圧など）の影
響を受けるという問題があった。また、測定素子が電源
側線路と同電位となっているため、測定器、あるいは警
告ランプ、警音などを発するためのリレー回路への伝送
に絶縁トランスや光伝送を必要とするため、システム全
体が複雑化してしまうという問題があった。
圧力測定素子の外側円筒電極を同電位とし、コンデンサ
で分圧された電圧を内側電極に印加することによって真
空圧力を検出するものもある。これは、絶縁筒を不要と
し、測定端子のサイズを小型化できるが、コンデンサの
対地との絶縁を考慮すると結果的に装置が大型化し、さ
らに主回路の電圧変動（例えば、サージ電圧など）の影
響を受けるという問題があった。また、測定素子が電源
側線路と同電位となっているため、測定器、あるいは警
告ランプ、警音などを発するためのリレー回路への伝送
に絶縁トランスや光伝送を必要とするため、システム全
体が複雑化してしまうという問題があった。
【０００６】本発明は、上記問題を解決するためのもの
であり、その目的とするところは、真空圧力測定の信頼
性が向上した真空絶縁開閉装置を提供することにある。
であり、その目的とするところは、真空圧力測定の信頼
性が向上した真空絶縁開閉装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、接地された真
空容器と、該真空容器に絶縁物を介して設けられた固定
電極と、該固定電極と対向して、該真空容器に絶縁物を
介して設けられた可動電極とを備えた開閉装置と、該真
空容器に設けた真空圧力測定装置とを備えたことによっ
て所期の目的を達成するようにしたものである。
空容器と、該真空容器に絶縁物を介して設けられた固定
電極と、該固定電極と対向して、該真空容器に絶縁物を
介して設けられた可動電極とを備えた開閉装置と、該真
空容器に設けた真空圧力測定装置とを備えたことによっ
て所期の目的を達成するようにしたものである。
【０００８】また本発明よる真空絶縁開閉装置は、接地
された真空容器と、該真空容器に絶縁物を介して設けら
れた固定電極と、該固定電極と対向して、該真空容器に
絶縁物を介して設けられた可動電極とを備えた開閉装置
と、該真空容器の側面に真空容器と連通する空間を有す
る同軸電極を設置し、該同軸電極の周囲に磁界発生装置
を備えたものである。
された真空容器と、該真空容器に絶縁物を介して設けら
れた固定電極と、該固定電極と対向して、該真空容器に
絶縁物を介して設けられた可動電極とを備えた開閉装置
と、該真空容器の側面に真空容器と連通する空間を有す
る同軸電極を設置し、該同軸電極の周囲に磁界発生装置
を備えたものである。
【０００９】
【００１０】
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を図１ない
し図１５を用いて詳細に説明する。
し図１５を用いて詳細に説明する。
【００１２】（実施例１）
本発明の第１の実地例を説明する。図１には真空バルブ
１、およびそれに取り付けた真空圧力測定端子３０の断
面が示されている。
１、およびそれに取り付けた真空圧力測定端子３０の断
面が示されている。
【００１３】接地された金属容器２には、その周囲に延
びる２つのブッシング３，４が設けられて真空バルブ１
を構成する。真空バルブ１の内部、即ち金属容器２の内
部には接離自在な固定電極５と、この固定電極５と対向
する可動電極６を配置し、両者を接離させることによっ
て投入および遮断を行う。ブッシング３の導体には固定
電極５を接続し、ブッシング４の導体にはフレキシブル
導体８を介して可動電極６を接続する。本実施例では、
主回路１３からの電流がブッシング３の導体−固定電極
５−可動電極６−フレキシブル導体８−ブッシング４導
体の経路で流れる。可動電極６は絶縁ロッドと接続し、
絶縁ロッド９はベローズ１０を介して金属容器２に固定
される。符号１１はアークシールドを表し、遮断時にア
ークＡが金属容器２に触れて生じる地絡事故を回避する
ためのものである。
びる２つのブッシング３，４が設けられて真空バルブ１
を構成する。真空バルブ１の内部、即ち金属容器２の内
部には接離自在な固定電極５と、この固定電極５と対向
する可動電極６を配置し、両者を接離させることによっ
て投入および遮断を行う。ブッシング３の導体には固定
電極５を接続し、ブッシング４の導体にはフレキシブル
導体８を介して可動電極６を接続する。本実施例では、
主回路１３からの電流がブッシング３の導体−固定電極
５−可動電極６−フレキシブル導体８−ブッシング４導
体の経路で流れる。可動電極６は絶縁ロッドと接続し、
絶縁ロッド９はベローズ１０を介して金属容器２に固定
される。符号１１はアークシールドを表し、遮断時にア
ークＡが金属容器２に触れて生じる地絡事故を回避する
ためのものである。
【００１４】次に、図１３を用いて真空バルブ１の動作
について説明する。図１３は、真空バルブ１内の可動電
極６（図１参照）を操作機構２５で操作する真空絶縁開
閉装置を示している。符号１３０は遮断バネであり、蓄
勢された絶縁部１３１を個別に設けたトリップ機構で開
放して駆動力を発生し、駆動力はシャフト２２を通じて
絶縁ロッド９に伝達される。その結果、絶縁ロッド９は
上下方向に駆動され、固定電極５と可動電極６が接離さ
れて投入及び遮断を行う。
について説明する。図１３は、真空バルブ１内の可動電
極６（図１参照）を操作機構２５で操作する真空絶縁開
閉装置を示している。符号１３０は遮断バネであり、蓄
勢された絶縁部１３１を個別に設けたトリップ機構で開
放して駆動力を発生し、駆動力はシャフト２２を通じて
絶縁ロッド９に伝達される。その結果、絶縁ロッド９は
上下方向に駆動され、固定電極５と可動電極６が接離さ
れて投入及び遮断を行う。
【００１５】図１に戻り、符号３０はマグネトロン方式
の測定端子を示し、金属容器２の側面に取り付けられて
いる。この測定端子３０の構造を図３に示す。図３の如
く測定端子３０は、同軸電極３２と、その周囲に配置し
た磁界発生用のコイル３６で構成する。同軸電極３２は
円筒形の外側電極３３と、その外側電極３３の内側に空
間を介して配置される内側電極３４とからなり、両者は
絶縁部３１で絶縁される。なお、図４のようにコイル３
６の代わりにリング状の永久磁石３７を用いてもよい。
永久磁石３７のＮ極とＳ極を逆にしても同様の性能が得
られる。
の測定端子を示し、金属容器２の側面に取り付けられて
いる。この測定端子３０の構造を図３に示す。図３の如
く測定端子３０は、同軸電極３２と、その周囲に配置し
た磁界発生用のコイル３６で構成する。同軸電極３２は
円筒形の外側電極３３と、その外側電極３３の内側に空
間を介して配置される内側電極３４とからなり、両者は
絶縁部３１で絶縁される。なお、図４のようにコイル３
６の代わりにリング状の永久磁石３７を用いてもよい。
永久磁石３７のＮ極とＳ極を逆にしても同様の性能が得
られる。
【００１６】図３を用いて測定端子３０の動作について
説明する。電源回路４０によって内側電源３４に負の直
流電圧を印加する。印加する電圧は、交流電圧、あるい
はパルス状の電圧であってもよい。内側電極３４から放
出された電子ｅは、電界Ｅとコイル３６で印加した磁界
Ｂによってローレンツ力を受け、内側電極３４の周囲を
回転運動する。回転運動する電子ｅは残留ガスを衝突電
離させて陽イオンを発生し、発生した陽イオンＩが内側
電極３４に流れ込む。この時のイオン電流ｊは残留ガス
量、すなわち圧力に依存するため、抵抗Ｒの両端に発生
する電圧Ｖによって圧力を測定できる。圧力を常時監視
する場合には、抵抗Ｒの両端の電圧Ｖによってリレーを
動作させ、警報ランプを点灯、あるいは警音を発生させ
ればよい。なお、図１４のグラフに示すように、真空バ
ルブ１の遮断性能および絶縁性能は圧力Ｐが１０-4Torr
以上になると急激に低下する。本実施例で示した真空圧
力測定端子３０は、１０-6Torr程度まで識別可能であ
り、真空圧力監視として十分有効である。
説明する。電源回路４０によって内側電源３４に負の直
流電圧を印加する。印加する電圧は、交流電圧、あるい
はパルス状の電圧であってもよい。内側電極３４から放
出された電子ｅは、電界Ｅとコイル３６で印加した磁界
Ｂによってローレンツ力を受け、内側電極３４の周囲を
回転運動する。回転運動する電子ｅは残留ガスを衝突電
離させて陽イオンを発生し、発生した陽イオンＩが内側
電極３４に流れ込む。この時のイオン電流ｊは残留ガス
量、すなわち圧力に依存するため、抵抗Ｒの両端に発生
する電圧Ｖによって圧力を測定できる。圧力を常時監視
する場合には、抵抗Ｒの両端の電圧Ｖによってリレーを
動作させ、警報ランプを点灯、あるいは警音を発生させ
ればよい。なお、図１４のグラフに示すように、真空バ
ルブ１の遮断性能および絶縁性能は圧力Ｐが１０-4Torr
以上になると急激に低下する。本実施例で示した真空圧
力測定端子３０は、１０-6Torr程度まで識別可能であ
り、真空圧力監視として十分有効である。
【００１７】次に本実施例の効果について説明する。本
実施例では接地した金属容器２に測定端子３０を取り付
けたため、測定端子３０の電源回路４０を主回路１３と
分離できる。それゆえ、主回路１３からのサージによる
誤動作がなくなって信頼性が向上する。また、抵抗Ｒか
ら直接測定器、あるいはリレー回路に伝送できるため、
測定システムは小型で簡素化できる。さらに本実施例で
は、測定端子３０を直接金属容器２に接続したため、絶
縁筒を介して測定端子を取り付けていた従来方法と比べ
て真空バルブ１内に侵入する電子の数が少なく、真空バ
ルブ１の遮断性能および絶縁性能の低下を回避できる利
点もある。
実施例では接地した金属容器２に測定端子３０を取り付
けたため、測定端子３０の電源回路４０を主回路１３と
分離できる。それゆえ、主回路１３からのサージによる
誤動作がなくなって信頼性が向上する。また、抵抗Ｒか
ら直接測定器、あるいはリレー回路に伝送できるため、
測定システムは小型で簡素化できる。さらに本実施例で
は、測定端子３０を直接金属容器２に接続したため、絶
縁筒を介して測定端子を取り付けていた従来方法と比べ
て真空バルブ１内に侵入する電子の数が少なく、真空バ
ルブ１の遮断性能および絶縁性能の低下を回避できる利
点もある。
【００１８】図５にセラミックのメタライズ部を電子放
出に利用したマグネトロン方式の測定端子３０の例を示
す。同軸電極３２の外側電極３３をマイナス極、内側電
極３４をプラス極にする。図４の場合とは逆極性とな
る。外側電極３３とセラミック製の絶縁部３１を接続す
るためにセラミック製の絶縁部３１に施した薄肉のメタ
ライズ部４３は、電界が強く電子放出係数が高い。この
ため、マグネトロン方式の測定端子３０の感度が向上す
る。
出に利用したマグネトロン方式の測定端子３０の例を示
す。同軸電極３２の外側電極３３をマイナス極、内側電
極３４をプラス極にする。図４の場合とは逆極性とな
る。外側電極３３とセラミック製の絶縁部３１を接続す
るためにセラミック製の絶縁部３１に施した薄肉のメタ
ライズ部４３は、電界が強く電子放出係数が高い。この
ため、マグネトロン方式の測定端子３０の感度が向上す
る。
【００１９】なお、測定端子３０を取り付ける位置は、
図６に示すようにアークシールド１１の外側に取り付け
るのがよい。即ち、測定端子３０がアークシールド１１
の外側に取り付けていれば、遮断時に電極から放出され
る金属粒子，電子およびイオンが、測定端子３０内に入
射することなく、信頼性が維持できるためである。ま
た、図７のように、真空バルブ１内にシールド１２を個
別に設けてもよい。この場合、電極からコイル３６を遠
ざけることができ、磁界による遮断性能の低下を回避で
きる。ところで、コイル３６は常時備えておくのではな
く、圧力測定時にのみ取り付けるようにして、磁界の遮
断に対する影響をなくしてもよい。
図６に示すようにアークシールド１１の外側に取り付け
るのがよい。即ち、測定端子３０がアークシールド１１
の外側に取り付けていれば、遮断時に電極から放出され
る金属粒子，電子およびイオンが、測定端子３０内に入
射することなく、信頼性が維持できるためである。ま
た、図７のように、真空バルブ１内にシールド１２を個
別に設けてもよい。この場合、電極からコイル３６を遠
ざけることができ、磁界による遮断性能の低下を回避で
きる。ところで、コイル３６は常時備えておくのではな
く、圧力測定時にのみ取り付けるようにして、磁界の遮
断に対する影響をなくしてもよい。
【００２０】さらに、マグネトロン端子だけでなく、電
離真空計端子，放電ギャップ測定端子などの測定端子に
対しても本発明が適用できる。いずれも接地した金属容
器２に取り付けることにより、測定系と主回路を分離で
きるため測定の信頼性が向上する。
離真空計端子，放電ギャップ測定端子などの測定端子に
対しても本発明が適用できる。いずれも接地した金属容
器２に取り付けることにより、測定系と主回路を分離で
きるため測定の信頼性が向上する。
【００２１】（実施例２）
本発明の第２の実施例について図２を用いて説明する。
本実施例は図１に示す測定端子３０を真空バルブ１の金
属容器２に絶縁物５０を介して取り付けたものである。
絶縁物５０の厚みが大きい場合は、センサから出た電子
が絶縁物と衝突を繰り返して、２次電子倍増された状態
で真空容器内に入ってくるので絶縁性能が低下する。絶
縁物の厚みは２ないし３mmが好ましい。
本実施例は図１に示す測定端子３０を真空バルブ１の金
属容器２に絶縁物５０を介して取り付けたものである。
絶縁物５０の厚みが大きい場合は、センサから出た電子
が絶縁物と衝突を繰り返して、２次電子倍増された状態
で真空容器内に入ってくるので絶縁性能が低下する。絶
縁物の厚みは２ないし３mmが好ましい。
【００２２】本実施例では、本体と測定系を分離するこ
とによって、本体から発生するサージ電流などの影響を
受けて測定系が誤動作するのを防止できる。
とによって、本体から発生するサージ電流などの影響を
受けて測定系が誤動作するのを防止できる。
【００２３】（実施例３）
本発明の第３の実施例について図８を用いて説明する。
本実施例は、図７に示す測定端子３０を、実施例１で示
した真空バルブ１の金属容器２に取り付けたものであ
る。測定端子３０は、外側電極３３，内側電極３４、さ
らに内側電極３４と対向して設けた外側電極３３と同電
位の第３の電極３９で構成される。これにより、内側電
極３４の先端から放出された電子ｅが電極３９に補足さ
れ、真空バルブ内部への電子ｅの進入が低減され、真空
バルブ１の絶縁性能の低下を回避できる。なお、図９の
ように、金属容器２に穴１５を設けて、その上に同軸電
極３２を取り付けても同様の効果が得られる。
本実施例は、図７に示す測定端子３０を、実施例１で示
した真空バルブ１の金属容器２に取り付けたものであ
る。測定端子３０は、外側電極３３，内側電極３４、さ
らに内側電極３４と対向して設けた外側電極３３と同電
位の第３の電極３９で構成される。これにより、内側電
極３４の先端から放出された電子ｅが電極３９に補足さ
れ、真空バルブ内部への電子ｅの進入が低減され、真空
バルブ１の絶縁性能の低下を回避できる。なお、図９の
ように、金属容器２に穴１５を設けて、その上に同軸電
極３２を取り付けても同様の効果が得られる。
【００２４】さらに、図１０のように金属容器２に外側
電極３３の内側より小さい穴５１を設け、それに同軸電
極３２を図示のように設けてもよい。これによれば、内
側電極３４の先端から放出された電子ｅ２は、電界Ｅと
磁界Ｂによって生じるローレンツ力を受けて螺旋状の軌
跡４４を描きながら金属容器２に達する。電子ｅ２が軌
跡４４を描く途中で残留ガスと衝突を繰り返すと、イオ
ン電流ｊが流れる。電子ｅ１による電流に加えて、電子
ｅ２の効果が生じるため、測定感度が向上する。
電極３３の内側より小さい穴５１を設け、それに同軸電
極３２を図示のように設けてもよい。これによれば、内
側電極３４の先端から放出された電子ｅ２は、電界Ｅと
磁界Ｂによって生じるローレンツ力を受けて螺旋状の軌
跡４４を描きながら金属容器２に達する。電子ｅ２が軌
跡４４を描く途中で残留ガスと衝突を繰り返すと、イオ
ン電流ｊが流れる。電子ｅ１による電流に加えて、電子
ｅ２の効果が生じるため、測定感度が向上する。
【００２５】（実施例４）
本発明の第４の実施例について図１１を用いて説明す
る。本実施例は、図１１に示す測定端子３０を、実施例
１で示した真空バルブ１の金属容器２に取り付けたもの
である。本実施例の測定端子３０は、コップ型のセラミ
ック５１の内側面に施した金属メッキ５２を外部電極と
したものである。実施例１あるいは２では、図３のよう
に絶縁部３１と外部電極３３を個別に製作したが、本実
施例では単一部品として製作できるため、部品数，ろう
付け個所が削減できる。
る。本実施例は、図１１に示す測定端子３０を、実施例
１で示した真空バルブ１の金属容器２に取り付けたもの
である。本実施例の測定端子３０は、コップ型のセラミ
ック５１の内側面に施した金属メッキ５２を外部電極と
したものである。実施例１あるいは２では、図３のよう
に絶縁部３１と外部電極３３を個別に製作したが、本実
施例では単一部品として製作できるため、部品数，ろう
付け個所が削減できる。
【００２６】（実施例５）
本発明の第５の実施例について説明する。図１１に先の
実施例と同時に示した。本実施例は、図１１に示す測定
端子３０を、実施例１で示した真空バルブ１の金属容器
２に取り付けたものである。本実施例の測定端子３０
は、内側電極３４にネジ部を設けて内側電極３４表面の
局所的な電界を増強し、内側電極３４からの電子放出量
を増大して測定感度を向上させたものである。勿論、内
側電極３４に何らかの突起部を設けても同様の効果が得
られる。
実施例と同時に示した。本実施例は、図１１に示す測定
端子３０を、実施例１で示した真空バルブ１の金属容器
２に取り付けたものである。本実施例の測定端子３０
は、内側電極３４にネジ部を設けて内側電極３４表面の
局所的な電界を増強し、内側電極３４からの電子放出量
を増大して測定感度を向上させたものである。勿論、内
側電極３４に何らかの突起部を設けても同様の効果が得
られる。
【００２７】（実施例６）
本発明の第６の実施例について図１５を用いて説明す
る。測定端子３０は、図１に示した実施例１と同様に金
属容器２の側面に取り付けてある。本実施例では、絶縁
抵抗測定器のメガー４１を用いて、測定端子３０に印加
する直流電圧の発生およびイオン電流の計測を行う。メ
ガー４１は、絶縁物に対して数ｋＶの直流電圧を印加
し、漏れ電流を検知してＭΩレベルの抵抗値を測定する
ハンディタイプの測定器であり、高電圧機器の保守・管
理者が通常所有している計測器の一つである。メガー４
１の電圧端子４２を測定端子３０の同軸電極３２に接続
し、電圧Ｖを印加して抵抗値Ｒを測定する。電圧Ｖと抵
抗値Ｒで決まる漏れ電流Ｉ＝Ｖ／Ｒは、圧力Ｐに依存す
るイオン電流ｊに相当する。したがって、あらかじめ抵
抗値Ｒと圧力Ｐの関係を求めておけばメガーによって圧
力が簡単に測定できる。圧力測定用として特別に電源を
用意する必要はなく、安価で容易に圧力測定が実現でき
る。
る。測定端子３０は、図１に示した実施例１と同様に金
属容器２の側面に取り付けてある。本実施例では、絶縁
抵抗測定器のメガー４１を用いて、測定端子３０に印加
する直流電圧の発生およびイオン電流の計測を行う。メ
ガー４１は、絶縁物に対して数ｋＶの直流電圧を印加
し、漏れ電流を検知してＭΩレベルの抵抗値を測定する
ハンディタイプの測定器であり、高電圧機器の保守・管
理者が通常所有している計測器の一つである。メガー４
１の電圧端子４２を測定端子３０の同軸電極３２に接続
し、電圧Ｖを印加して抵抗値Ｒを測定する。電圧Ｖと抵
抗値Ｒで決まる漏れ電流Ｉ＝Ｖ／Ｒは、圧力Ｐに依存す
るイオン電流ｊに相当する。したがって、あらかじめ抵
抗値Ｒと圧力Ｐの関係を求めておけばメガーによって圧
力が簡単に測定できる。圧力測定用として特別に電源を
用意する必要はなく、安価で容易に圧力測定が実現でき
る。
【００２８】（実施例７）
本発明の第７の実施例について説明する。本実施例は、
測定端子３０で発生する磁界Ｂを真空バルブ１内に侵入
させないための方策である。構成は図１に示した実施例
１と同一である。本実施例は、図１の金属容器２をモネ
ル（Ｃｕ−Ｎｉ合金）などの磁性体で製作したものであ
り、測定端子３０で発生する磁界を金属容器２で遮蔽し
て、侵入磁界による遮断性能の低下を回避する。
測定端子３０で発生する磁界Ｂを真空バルブ１内に侵入
させないための方策である。構成は図１に示した実施例
１と同一である。本実施例は、図１の金属容器２をモネ
ル（Ｃｕ−Ｎｉ合金）などの磁性体で製作したものであ
り、測定端子３０で発生する磁界を金属容器２で遮蔽し
て、侵入磁界による遮断性能の低下を回避する。
【００２９】なお、本発明は、図１２の回転動作型真空
バルブにも適用できる。即ち、図１２に示す例は、主軸
２０を支点に可動電極６を回動させて固定電極５と接離
するものである。固定電極５は絶縁筒１６Ａで、可動電
極６は絶縁筒１６Ｂで、接地した金属容器２と絶縁す
る。なお、本実施例では、電極１５１を付加してあり、
可動電極６が閉位置Ｙ１，切位置Ｙ２、および雷などで
絶縁破壊しない断路位置Ｙ３、さらに接地位置Ｙ４の４
つの位置に停止するようにすることで、遮断器，断路
器，接地開閉器を集積した小型の開閉装置となる。断路
器としての機能を有する真空バルブ１に本発明の測定端
子３０を付加したことにより、保守点検時の作業者の安
全性が確保でき、開閉装置の信頼性を向上できる。
バルブにも適用できる。即ち、図１２に示す例は、主軸
２０を支点に可動電極６を回動させて固定電極５と接離
するものである。固定電極５は絶縁筒１６Ａで、可動電
極６は絶縁筒１６Ｂで、接地した金属容器２と絶縁す
る。なお、本実施例では、電極１５１を付加してあり、
可動電極６が閉位置Ｙ１，切位置Ｙ２、および雷などで
絶縁破壊しない断路位置Ｙ３、さらに接地位置Ｙ４の４
つの位置に停止するようにすることで、遮断器，断路
器，接地開閉器を集積した小型の開閉装置となる。断路
器としての機能を有する真空バルブ１に本発明の測定端
子３０を付加したことにより、保守点検時の作業者の安
全性が確保でき、開閉装置の信頼性を向上できる。
【００３０】以上説明した本発明によれば、真空圧力測
定の信頼性が向上するので、安全性の高い真空絶縁開閉
装置を得ることができる。
定の信頼性が向上するので、安全性の高い真空絶縁開閉
装置を得ることができる。
【図１】本発明の真空絶縁開閉装置の一実施例を示す断
面図である。
面図である。
【図２】本発明の真空絶縁開閉装置の他の実施例を示す
断面図である。
断面図である。
【図３】本発明の真空絶縁開閉装置に採用される測定端
子の一例を示す断面図である。
子の一例を示す断面図である。
【図４】本発明の真空絶縁開閉装置に採用される測定端
子の他の例を示す断面図である。
子の他の例を示す断面図である。
【図５】本発明の真空絶縁開閉装置に採用される測定端
子の更に他の例を示す断面図である。
子の更に他の例を示す断面図である。
【図６】本発明の真空絶縁開閉装置の更に他の実施例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図７】本発明の真空絶縁開閉装置の更に他の実施例を
示す断面図である。
示す断面図である。
【図８】本発明の真空絶縁開閉装置に採用される測定端
子の更に他の例を示す断面図である。
子の更に他の例を示す断面図である。
【図９】本発明の真空絶縁開閉装置に採用される測定端
子の更に他の例を示す断面図である。
子の更に他の例を示す断面図である。
【図１０】本発明の真空絶縁開閉装置に採用される測定
端子の更に他の例を示す断面図である。
端子の更に他の例を示す断面図である。
【図１１】本発明の真空絶縁開閉装置に採用される測定
端子の更に他の例を示す断面図である。
端子の更に他の例を示す断面図である。
【図１２】本発明の真空絶縁開閉装置の更に他の実施例
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図１３】本発明の真空絶縁開閉装置を操作する操作機
構の概略を示す断面図である。
構の概略を示す断面図である。
【図１４】真空バルブの圧力Ｐと遮断性能・耐電圧性能
の関係を表した特性図である。
の関係を表した特性図である。
【図１５】本発明の真空絶縁開閉装置に採用される測定
端の電源の一例を示す図である。
端の電源の一例を示す図である。
１…真空バルブ、２…金属容器、３，４…ブッシング、
５…固定電極、６…可動電極、９…絶縁ロッド、１０…
ベローズ、１５…穴、１６…絶縁筒、２０…主軸、２５
…操作機構、３０…真空圧力測定端子、３２…同軸電
極、３３…外側電極、３４…内側電極、３６…コイル、
３７…永久磁石、４０…電源回路、４１…メガー、５０
…絶縁物、Ｂ…磁界、Ｅ…電界、Ｐ…圧力、Ｒ…抵抗、
Ｖ…電圧、ｅ…電子。
５…固定電極、６…可動電極、９…絶縁ロッド、１０…
ベローズ、１５…穴、１６…絶縁筒、２０…主軸、２５
…操作機構、３０…真空圧力測定端子、３２…同軸電
極、３３…外側電極、３４…内側電極、３６…コイル、
３７…永久磁石、４０…電源回路、４１…メガー、５０
…絶縁物、Ｂ…磁界、Ｅ…電界、Ｐ…圧力、Ｒ…抵抗、
Ｖ…電圧、ｅ…電子。
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フロントページの続き
(72)発明者 児島 克典
茨城県日立市国分町一丁目１番１号 株
式会社 日立製作所 国分工場内
(72)発明者 辻 雅薫
茨城県日立市大みか町七丁目２番１号
株式会社 日立製作所 電力・電機開発
本部内
(56)参考文献 特開 昭60−182623（ＪＰ，Ａ)
特開 昭58−48319（ＪＰ，Ａ)
特開 昭59−98430（ＪＰ，Ａ)
実開 昭58−173146（ＪＰ，Ｕ)
特公 平１−13622（ＪＰ，Ｂ２)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01H 33/66
Claims (8)
- 【請求項１】接地された金属容器、該金属容器内に絶縁
物を介して設けられた固定電極、該固定電極と対向し
て、前記金属容器内に絶縁物を介して設けられた可動電
極で構成される開閉装置と、前記金属容器の真空と連通
する空間を有する同軸電極、該同軸電極の周囲に配置し
た磁界発生装置で構成される真空圧力測定端子とを備え
ていることを特徴とする真空絶縁開閉装置。 - 【請求項２】接地された金属容器、該金属容器内に絶縁
物を介して設けられた固定電極、該固定電極と対向し
て、前記金属容器内に絶縁物を介して設けられた可動電
極で構成される開閉装置と、前記固定電極と可動電極の
周囲に設置されたアークシールドと、前記金属容器の真
空と連通する空間を有する同軸電極、該同軸電極の周囲
に取り付けた磁界発生装置で構成される真空圧力測定端
子とを備え、前記アークシールドの外側の前記金属容器
に前記真空圧力測定端子が取り付けられていることを特
徴とする真空絶縁開閉装置。 - 【請求項３】前記同軸電極は、円筒形の外側電極と、そ
の外側電極の内側に、該外側電極と空間をもって配置さ
れる内側電極と、前記両電極を絶縁する絶縁物とで形成
されることを特徴とする請求項１または２記載の真空絶
縁開閉装置。 - 【請求項４】前記同軸電極を構成する内側電極と対向
し、かつ、同軸電極の前記外側電極と同電位である第３
の電極を前記金属容器に設けたことを特徴とする請求項
３記載の真空絶縁開閉装置。 - 【請求項５】前記真空圧力測定端子は１０ -4 から１０ -6
Torrの圧力が測定可能であることを特徴とする請求項１
または２記載の真空絶縁開閉装置。 - 【請求項６】前記真空圧力測定端子が絶縁抵抗測定器で
あるメガーに接続され、該メガーで前記真空圧力測定端
子に印加される直流電圧の発生及びイオン電流の計測を
行う ことを特徴とする請求項１または２記載の真空絶縁
開閉装置。 - 【請求項７】前記真空圧力測定端子は、前記金属容器に
直接接続されていることを特徴とする請求項１または２
記載の真空絶縁開閉装置。 - 【請求項８】前記真空圧力測定端子は、前記金属容器に
絶縁物を介して接続されていることを特徴とする請求項
１または２記載の真空絶縁開閉装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07315799A JP3395698B2 (ja) | 1998-03-19 | 1999-03-18 | 真空絶縁開閉装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10-69765 | 1998-03-19 | ||
| JP6976598 | 1998-03-19 | ||
| JP07315799A JP3395698B2 (ja) | 1998-03-19 | 1999-03-18 | 真空絶縁開閉装置 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000081734A Division JP3840872B2 (ja) | 1998-03-19 | 2000-03-17 | 真空絶縁開閉装置の真空度測定方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11329174A JPH11329174A (ja) | 1999-11-30 |
| JP3395698B2 true JP3395698B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=26410924
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07315799A Expired - Fee Related JP3395698B2 (ja) | 1998-03-19 | 1999-03-18 | 真空絶縁開閉装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3395698B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101192204B1 (ko) | 2009-02-04 | 2012-10-17 | 엘에스산전 주식회사 | 진공 차단기의 진공도 열화 감시 장치 |
| CN107808797B (zh) * | 2017-09-15 | 2020-04-17 | 宁波舜利高压开关科技有限公司 | 户外组合式固封极柱 |
| CN116959915B (zh) * | 2023-08-22 | 2024-01-30 | 博时达集团有限公司 | 一种具有检测灭弧室漏气功能的高压真空断路器 |
-
1999
- 1999-03-18 JP JP07315799A patent/JP3395698B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH11329174A (ja) | 1999-11-30 |
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