JPH07143660A - 除電器の安全装置 - Google Patents
除電器の安全装置Info
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- JPH07143660A JPH07143660A JP29105093A JP29105093A JPH07143660A JP H07143660 A JPH07143660 A JP H07143660A JP 29105093 A JP29105093 A JP 29105093A JP 29105093 A JP29105093 A JP 29105093A JP H07143660 A JPH07143660 A JP H07143660A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 昇圧トランスの２次側の回路条件に依存せ
ず、安定で感度の良い除電器の安全装置を得る。 【構成】 除電電極１２における放電が異常になり、過
剰な正または負イオンが発生して除電電流ｉ2 が急激に
増加したとすると、発光ダイオード２２または２３に所
定量以上の電流が流れる。そして、ホトカプラ２１およ
びトランジスタ２５を介して増幅された電流ｉ3 がサー
キットブレーカ３０のトリップ電流を超え、サーキット
ブレーカ３０がオフ状態となる。このように、除電電極
ｉ2 のみを監視しているので、昇圧トランス３の２次側
回路を流れる電流（放電電流ｉ1 ＋除電電流ｉ2 ）を監
視する場合に比べて高感度で安全性が高い。
ず、安定で感度の良い除電器の安全装置を得る。 【構成】 除電電極１２における放電が異常になり、過
剰な正または負イオンが発生して除電電流ｉ2 が急激に
増加したとすると、発光ダイオード２２または２３に所
定量以上の電流が流れる。そして、ホトカプラ２１およ
びトランジスタ２５を介して増幅された電流ｉ3 がサー
キットブレーカ３０のトリップ電流を超え、サーキット
ブレーカ３０がオフ状態となる。このように、除電電極
ｉ2 のみを監視しているので、昇圧トランス３の２次側
回路を流れる電流（放電電流ｉ1 ＋除電電流ｉ2 ）を監
視する場合に比べて高感度で安全性が高い。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、静電気を帯びた物体の
除電を行う除電器の安全装置に関する。
除電を行う除電器の安全装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体デバイスは静電気により破壊され
やすいため、その保管や製造工程において、静電気を除
去する必要がある。このため、従来、上記半導体デバイ
スの製造工程等においては、図３に示すような原理の除
電器が使用されていた。
やすいため、その保管や製造工程において、静電気を除
去する必要がある。このため、従来、上記半導体デバイ
スの製造工程等においては、図３に示すような原理の除
電器が使用されていた。
【０００３】図３において、１は商用交流電源（１００
Ｖ）、２は電源スイッチ、３は昇圧トランス、４は高圧
ケーブルである。５は、接地電極６および放電電極７か
ら成る除電電極であり、放電電極７は高圧ケーブル４の
導体部分を介して昇圧トランス３の一端に接続されてい
る。また、接地電極６は高圧ケーブル４の接地線を介し
て昇圧トランス３の他端と接続され、接地されている。
また、８は、除電電極５と非接触な状態に対向された半
導体デバイス等の帯電物体である。
Ｖ）、２は電源スイッチ、３は昇圧トランス、４は高圧
ケーブルである。５は、接地電極６および放電電極７か
ら成る除電電極であり、放電電極７は高圧ケーブル４の
導体部分を介して昇圧トランス３の一端に接続されてい
る。また、接地電極６は高圧ケーブル４の接地線を介し
て昇圧トランス３の他端と接続され、接地されている。
また、８は、除電電極５と非接触な状態に対向された半
導体デバイス等の帯電物体である。
【０００４】上記構成において、電源スイッチ２がオン
状態になっている時は、電源１からの出力電圧（交流１
００Ｖ）が昇圧トランス３を介して昇圧され、放電電極
７に正または負の高電圧（例えば７ｋＶ）が交互に印加
される。そして、放電電極７と接地電極６との間にコロ
ナ放電が発生し、除電電極５の周囲の空気が正および負
のイオンに交互にイオン化される。そして、帯電物体８
の帯電電荷の極性に応じていずれかの極性のイオンが帯
電物体８に引き寄せられ、帯電物体８の帯電電荷と再結
合し、帯電電荷が中和される。
状態になっている時は、電源１からの出力電圧（交流１
００Ｖ）が昇圧トランス３を介して昇圧され、放電電極
７に正または負の高電圧（例えば７ｋＶ）が交互に印加
される。そして、放電電極７と接地電極６との間にコロ
ナ放電が発生し、除電電極５の周囲の空気が正および負
のイオンに交互にイオン化される。そして、帯電物体８
の帯電電荷の極性に応じていずれかの極性のイオンが帯
電物体８に引き寄せられ、帯電物体８の帯電電荷と再結
合し、帯電電荷が中和される。
【０００５】ところで、上述した除電器は放電現象を利
用しているので、装置の異常や周辺大気の状態により、
異常な放電が起こる可能性がある。放電が異常になる
と、帯電物体の静電気が有効に除去されないばかりか、
帯電物体、すなわち半導体デバイスの破壊を招くおそれ
がある。これに対する対策としては、従来より、以下の
ような手法が提案されている。 昇圧トランス３の２次側と除電電極５との間に高抵抗
またはコンデンサを接続し、異常放電による電流のレベ
ルを抑える。 高圧ケーブル４と放電電極７とを容量的に結合する。 昇圧トランス３として、リーケージトランスを用い
る。リーケージトランスは漏れリアクタンスが大である
ので、負荷側、すなわち除電電極５に流れる電流が増大
すると、２次側の電圧が低下する。 ２次側回路を流れる電流を監視し、異常になったら１
次側回路を遮断する（公開実用昭６２−６４１３５参
照）。
用しているので、装置の異常や周辺大気の状態により、
異常な放電が起こる可能性がある。放電が異常になる
と、帯電物体の静電気が有効に除去されないばかりか、
帯電物体、すなわち半導体デバイスの破壊を招くおそれ
がある。これに対する対策としては、従来より、以下の
ような手法が提案されている。 昇圧トランス３の２次側と除電電極５との間に高抵抗
またはコンデンサを接続し、異常放電による電流のレベ
ルを抑える。 高圧ケーブル４と放電電極７とを容量的に結合する。 昇圧トランス３として、リーケージトランスを用い
る。リーケージトランスは漏れリアクタンスが大である
ので、負荷側、すなわち除電電極５に流れる電流が増大
すると、２次側の電圧が低下する。 ２次側回路を流れる電流を監視し、異常になったら１
次側回路を遮断する（公開実用昭６２−６４１３５参
照）。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記〜の方法は、
異常放電が発生した時に１次側回路、すなわち電源を遮
断するものではなく、安全装置として十分であるとは言
えない。また、上記の方法は、異常放電が発生した時
に電源が遮断されるが、以下のような欠点を有してい
る。 昇圧トランスと除電電極との間を感電の心配の無い同
軸ケーブルで接続した場合等には、正常動作時に２次側
回路を流れる電流レベルが高くなり、異常放電による電
流の増加を感度良く検出することが困難になる。 昇圧トランスの１次側回路の短絡や電源異常等によ
り、過度の電流やサージ電圧が安全装置に印加される
と、安全装置そのものが破壊する可能性がある。 本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、
昇圧トランスの２次側の回路条件に依存せず、安定で感
度の良い除電器の安全装置を提供することを目的として
いる。
異常放電が発生した時に１次側回路、すなわち電源を遮
断するものではなく、安全装置として十分であるとは言
えない。また、上記の方法は、異常放電が発生した時
に電源が遮断されるが、以下のような欠点を有してい
る。 昇圧トランスと除電電極との間を感電の心配の無い同
軸ケーブルで接続した場合等には、正常動作時に２次側
回路を流れる電流レベルが高くなり、異常放電による電
流の増加を感度良く検出することが困難になる。 昇圧トランスの１次側回路の短絡や電源異常等によ
り、過度の電流やサージ電圧が安全装置に印加される
と、安全装置そのものが破壊する可能性がある。 本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであり、
昇圧トランスの２次側の回路条件に依存せず、安定で感
度の良い除電器の安全装置を提供することを目的として
いる。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、１次側が交流電源に接続さ
れた昇圧トランスと、前記昇圧トランスの２次側の一端
と結合された放電電極と、この放電電極と対向するよう
に配置されるとともに前記昇圧トランスの２次側の他端
と接続された接地電極とを具備する除電器の安全装置で
あって、前記放電電極から発生するプラスまたはマイナ
スのイオンが前記放電電極に対置された帯電物体に移動
することにより前記接地電極と結合された前記昇圧トラ
ンスの２次側の他端および接地間に流れる電流を検出す
る検出手段と、前記検出手段によって所定値以上の電流
が検出されることにより、前記昇圧トランスの１次側回
路を遮断する異常放電時遮断手段とを具備することを特
徴としている。
に、請求項１記載の発明は、１次側が交流電源に接続さ
れた昇圧トランスと、前記昇圧トランスの２次側の一端
と結合された放電電極と、この放電電極と対向するよう
に配置されるとともに前記昇圧トランスの２次側の他端
と接続された接地電極とを具備する除電器の安全装置で
あって、前記放電電極から発生するプラスまたはマイナ
スのイオンが前記放電電極に対置された帯電物体に移動
することにより前記接地電極と結合された前記昇圧トラ
ンスの２次側の他端および接地間に流れる電流を検出す
る検出手段と、前記検出手段によって所定値以上の電流
が検出されることにより、前記昇圧トランスの１次側回
路を遮断する異常放電時遮断手段とを具備することを特
徴としている。
【０００８】また、請求項２記載の発明にあっては、請
求項１記載の発明において、前記昇圧トランスの２次側
が短絡した時に該昇圧トランスの１次側回路を遮断する
短絡時遮断手段を具備することを特徴としている。ま
た、請求項３記載の発明にあっては、請求項１または請
求項２記載の発明において、前記検出手段はホトカプラ
であることを特徴としている。
求項１記載の発明において、前記昇圧トランスの２次側
が短絡した時に該昇圧トランスの１次側回路を遮断する
短絡時遮断手段を具備することを特徴としている。ま
た、請求項３記載の発明にあっては、請求項１または請
求項２記載の発明において、前記検出手段はホトカプラ
であることを特徴としている。
【０００９】
【作用】請求項１記載の構成によれば、検出手段により
接地電極と結合された昇圧トランスの他端と接地間に流
れる電流が検出されるので、放電電極に帯電物体が対置
された時に、放電電極から発生するプラスまたはマイナ
スのイオンが帯電物体に移動した時の移動量に対応した
電流が検出される。そして、検出された電流の大きさが
所定値以上になると、異常放電時遮断手段により昇圧ト
ランスの１次側回路が遮断されるので、異常な放電が早
急に防止され、帯電物体の破壊等を防止することができ
る。
接地電極と結合された昇圧トランスの他端と接地間に流
れる電流が検出されるので、放電電極に帯電物体が対置
された時に、放電電極から発生するプラスまたはマイナ
スのイオンが帯電物体に移動した時の移動量に対応した
電流が検出される。そして、検出された電流の大きさが
所定値以上になると、異常放電時遮断手段により昇圧ト
ランスの１次側回路が遮断されるので、異常な放電が早
急に防止され、帯電物体の破壊等を防止することができ
る。
【００１０】また、請求項２記載の構成によれば、昇圧
トランスの２次側が絶縁不良等により短絡した場合にお
いても異常放電時遮断手段により昇圧トランスの１次側
回路が遮断される。また、請求項３記載の構成によれ
ば、昇圧トランスの２次側の他端と接地間に介挿された
検出手段がホトカプラであるので、昇圧トランスの２次
側回路と１次側回路とが絶縁された安全装置となり、信
頼性が高いものとなる。
トランスの２次側が絶縁不良等により短絡した場合にお
いても異常放電時遮断手段により昇圧トランスの１次側
回路が遮断される。また、請求項３記載の構成によれ
ば、昇圧トランスの２次側の他端と接地間に介挿された
検出手段がホトカプラであるので、昇圧トランスの２次
側回路と１次側回路とが絶縁された安全装置となり、信
頼性が高いものとなる。
【００１１】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例につ
いて説明する。図１は、本発明の一実施例における除電
器の構成を示す図であり、図３各部と共通する部分には
同一の符号を付し、その説明を省略する。図１におい
て、１０は電源装置、１２は除電電極であり、両者は同
軸ケーブル１１により接続されている。ここで、高圧ケ
ーブルとして同軸ケーブル１１を使用した理由は、クリ
ーンルーム等において人体に感電する危険を回避するた
めである。
いて説明する。図１は、本発明の一実施例における除電
器の構成を示す図であり、図３各部と共通する部分には
同一の符号を付し、その説明を省略する。図１におい
て、１０は電源装置、１２は除電電極であり、両者は同
軸ケーブル１１により接続されている。ここで、高圧ケ
ーブルとして同軸ケーブル１１を使用した理由は、クリ
ーンルーム等において人体に感電する危険を回避するた
めである。
【００１２】次に、除電電極１２の構成を、その具体的
な構造を示す図（図２）を併せて参照しながら説明す
る。図２において、（Ａ）は正面図、また（Ｂ）は、正
面図（Ａ）のＸ−Ｘ’方向における断面図である。図
１，２に示すように、同軸ケーブル１１の中心導体部分
の先端部分における所定の長さ分が高圧電極１３として
使用されている。次に、図２における符号１７は、絶縁
材料により中空円筒形状に構成された結合リングであ
り、その表面が真鍮等の導体で被覆されている。そし
て、該導体には針状の放電電極１４が突出している。
な構造を示す図（図２）を併せて参照しながら説明す
る。図２において、（Ａ）は正面図、また（Ｂ）は、正
面図（Ａ）のＸ−Ｘ’方向における断面図である。図
１，２に示すように、同軸ケーブル１１の中心導体部分
の先端部分における所定の長さ分が高圧電極１３として
使用されている。次に、図２における符号１７は、絶縁
材料により中空円筒形状に構成された結合リングであ
り、その表面が真鍮等の導体で被覆されている。そし
て、該導体には針状の放電電極１４が突出している。
【００１３】上記結合リング１７は所定間隔毎に複数設
けられ、その中空部分を絶縁性被覆１６で覆われた高圧
電極１３が貫通している。すなわち、高圧電極１３と各
放電電極１４とは、上述した絶縁部分を介して容量的に
結合している。また、１８は、高圧電極１３および放電
電極１４が突出した各結合リング１７を被覆するモール
ド部である。また、１９は、モールド部１８を覆うよう
に設けられた別のモールド部であり、図２に示すような
形態で接地電極１５が固定されるとともに、除電電極１
２を一体化して保護する役目を担っている。
けられ、その中空部分を絶縁性被覆１６で覆われた高圧
電極１３が貫通している。すなわち、高圧電極１３と各
放電電極１４とは、上述した絶縁部分を介して容量的に
結合している。また、１８は、高圧電極１３および放電
電極１４が突出した各結合リング１７を被覆するモール
ド部である。また、１９は、モールド部１８を覆うよう
に設けられた別のモールド部であり、図２に示すような
形態で接地電極１５が固定されるとともに、除電電極１
２を一体化して保護する役目を担っている。
【００１４】次に、図１に示す電源装置１０において、
２０は安全遮断回路である。同回路２０において、２１
はホトカプラであり、互いに逆極性になるように並列に
結合された発光ダイオード２２，２３、および、ホトト
ランジスタ２４から構成されている。図１に示すライン
Ｌ１にいずれかの向きに電流が流れると、発光ダイオー
ド２１，２２のいずれかが該電流の大きさに対応した発
光強度で発光し、ホトトランジスタ２４に光電流が流れ
る。また、ホトトランジスタ２４には、図１に示すよう
にトランジスタ２５がダーリントン接続されており、該
トランジスタ２５のコレクタ端子２５Ｃは直流電源２６
の正極に接続されている。
２０は安全遮断回路である。同回路２０において、２１
はホトカプラであり、互いに逆極性になるように並列に
結合された発光ダイオード２２，２３、および、ホトト
ランジスタ２４から構成されている。図１に示すライン
Ｌ１にいずれかの向きに電流が流れると、発光ダイオー
ド２１，２２のいずれかが該電流の大きさに対応した発
光強度で発光し、ホトトランジスタ２４に光電流が流れ
る。また、ホトトランジスタ２４には、図１に示すよう
にトランジスタ２５がダーリントン接続されており、該
トランジスタ２５のコレクタ端子２５Ｃは直流電源２６
の正極に接続されている。
【００１５】次に、３０，４０はそれぞれサーキットブ
レーカ（配線用遮断器）である。サーキットブレーカ３
０における動作コイル３１は、その一端が上記直流電源
２６の負極に、また、他端が上記トランジスタ２５のエ
ミッタ端子２５Ｅに接続されている。動作コイル３１
は、自身に流れる電流、すなわち、上記ホトカプラ２１
およびトランジスタ２５により増幅された電流の大きさ
に基づく電磁力を発生し、該電流が所定以上の大きさに
なると、サーキットブレーカ３０の主接点３２がオン状
態からオフ状態に切り換わる。これにより、昇圧トラン
ス３の１次側回路が遮断される。
レーカ（配線用遮断器）である。サーキットブレーカ３
０における動作コイル３１は、その一端が上記直流電源
２６の負極に、また、他端が上記トランジスタ２５のエ
ミッタ端子２５Ｅに接続されている。動作コイル３１
は、自身に流れる電流、すなわち、上記ホトカプラ２１
およびトランジスタ２５により増幅された電流の大きさ
に基づく電磁力を発生し、該電流が所定以上の大きさに
なると、サーキットブレーカ３０の主接点３２がオン状
態からオフ状態に切り換わる。これにより、昇圧トラン
ス３の１次側回路が遮断される。
【００１６】また、サーキットブレーカ４０において
は、動作コイル４１に所定量以上の電流が流れると、接
点４２がオン状態からオフ状態に切り換えられるように
なっている。ここで、正常動作時の昇圧トランス３の１
次側電流をｉ3_1、２次側回路短絡時の同１次側電流を
ｉ3_1s とすると、上記所定量の電流、すなわち、サー
キットブレーカ４０のトリップ電流ｉ40 は、 ｉ3_1 ＜ ｉ40 ＜ ｉ3_1s ……（１） となるように設定されている。すなわち、昇圧トランス
３の２次側回路が短絡した場合、接点４２がオフ状態に
なり、昇圧トランス３の１次側回路が遮断される。
は、動作コイル４１に所定量以上の電流が流れると、接
点４２がオン状態からオフ状態に切り換えられるように
なっている。ここで、正常動作時の昇圧トランス３の１
次側電流をｉ3_1、２次側回路短絡時の同１次側電流を
ｉ3_1s とすると、上記所定量の電流、すなわち、サー
キットブレーカ４０のトリップ電流ｉ40 は、 ｉ3_1 ＜ ｉ40 ＜ ｉ3_1s ……（１） となるように設定されている。すなわち、昇圧トランス
３の２次側回路が短絡した場合、接点４２がオフ状態に
なり、昇圧トランス３の１次側回路が遮断される。
【００１７】また、サーキットブレーカ３０および４０
の両方がオン状態の時に、サーキットブレーカ３０がオ
フ状態になればサーキットブレーカ４０がオフ状態にな
り、また、サーキットブレーカ４０がオフ状態になれば
サーキットブレーカ３０がオフ状態になるように、両サ
ーキットブレーカの接点は機械的に結合されている。す
なわち、上述した異常放電および回路短絡のうち、少な
くともいずれかが検出されれば、１次側回路が遮断され
るようになっている。
の両方がオン状態の時に、サーキットブレーカ３０がオ
フ状態になればサーキットブレーカ４０がオフ状態にな
り、また、サーキットブレーカ４０がオフ状態になれば
サーキットブレーカ３０がオフ状態になるように、両サ
ーキットブレーカの接点は機械的に結合されている。す
なわち、上述した異常放電および回路短絡のうち、少な
くともいずれかが検出されれば、１次側回路が遮断され
るようになっている。
【００１８】上記構成において、除電電極１２の下方
に、これと非接触な状態に被除電物体（以後、帯電物体
ＥＯと呼ぶ）を対置し、電源スイッチ２をオン状態にし
たとする。これにより、電源１の出力電圧が昇圧トラン
ス３を介して例えば７ｋＶに昇圧され、低周波の高電圧
が同軸ケーブル１１を介して高圧電極１３に印加され
る。そして、該高圧電極１３と容量結合された放電電極
１４と接地電極１５との間でコロナ放電が発生し、除電
電極１２の周囲の空気が正イオンおよび負イオンに交互
にイオン化される。このコロナ放電により、昇圧トラン
ス３の２次側回路を環流する放電電流ｉ1 が発生する。
また、この放電電流ｉ1 には、同軸ケーブル１１のもれ
電流も含まれる。
に、これと非接触な状態に被除電物体（以後、帯電物体
ＥＯと呼ぶ）を対置し、電源スイッチ２をオン状態にし
たとする。これにより、電源１の出力電圧が昇圧トラン
ス３を介して例えば７ｋＶに昇圧され、低周波の高電圧
が同軸ケーブル１１を介して高圧電極１３に印加され
る。そして、該高圧電極１３と容量結合された放電電極
１４と接地電極１５との間でコロナ放電が発生し、除電
電極１２の周囲の空気が正イオンおよび負イオンに交互
にイオン化される。このコロナ放電により、昇圧トラン
ス３の２次側回路を環流する放電電流ｉ1 が発生する。
また、この放電電流ｉ1 には、同軸ケーブル１１のもれ
電流も含まれる。
【００１９】ここで、除電電極１２に対置された帯電物
体ＥＯが正の電荷を帯びていたとすると、上記コロナ放
電により発生した負イオンが帯電物体ＥＯに引き寄せら
れ、帯電物体ＥＯの帯電電荷が中和される。この除電過
程において、除電電極１２の周囲には正イオンが過剰と
なり、過剰となった正イオンが接地電極１５に引き寄せ
られる。これにより、図１に示すラインＬ１（発光ダイ
オード２３）を流れる除電電流ｉ2 が発生する。
体ＥＯが正の電荷を帯びていたとすると、上記コロナ放
電により発生した負イオンが帯電物体ＥＯに引き寄せら
れ、帯電物体ＥＯの帯電電荷が中和される。この除電過
程において、除電電極１２の周囲には正イオンが過剰と
なり、過剰となった正イオンが接地電極１５に引き寄せ
られる。これにより、図１に示すラインＬ１（発光ダイ
オード２３）を流れる除電電流ｉ2 が発生する。
【００２０】ここで、ホトカプラ２１およびトランジス
タ２５による電流増幅率をＡとすると、動作コイル３１
を流れる電流ｉ3 は、 ｉ3 ＝Ａ・ｉ2 ……（２） となる。放電状態が安定している間は、上記除電電流ｉ
2 の大きさはさほど大きくなく、電流ｉ3 はサーキット
ブレーカ３０の作動電流（トリップ電流）を超えること
はない。従って、昇圧トランス３の１次側回路は遮断さ
れない。
タ２５による電流増幅率をＡとすると、動作コイル３１
を流れる電流ｉ3 は、 ｉ3 ＝Ａ・ｉ2 ……（２） となる。放電状態が安定している間は、上記除電電流ｉ
2 の大きさはさほど大きくなく、電流ｉ3 はサーキット
ブレーカ３０の作動電流（トリップ電流）を超えること
はない。従って、昇圧トランス３の１次側回路は遮断さ
れない。
【００２１】次に、何らかの理由で放電が異常になり、
過剰な正イオンまたは負イオンが発生して除電電流ｉ2
が急激に増加したとすると、発光ダイオード２２または
２３に所定量以上の電流が流れる。そして、ホトカプラ
２１およびトランジスタ２５を介して増幅された上記電
流ｉ3 がサーキットブレーカ３０のトリップ電流を超
え、サーキットブレーカ３０がオフ状態となる。また、
同ブレーカ３０と機械的に結合されたサーキットブレー
カ４０が同様にオフ状態となる。これにより、昇圧トラ
ンス３の１次側が確実に遮断され、異常放電が停止す
る。
過剰な正イオンまたは負イオンが発生して除電電流ｉ2
が急激に増加したとすると、発光ダイオード２２または
２３に所定量以上の電流が流れる。そして、ホトカプラ
２１およびトランジスタ２５を介して増幅された上記電
流ｉ3 がサーキットブレーカ３０のトリップ電流を超
え、サーキットブレーカ３０がオフ状態となる。また、
同ブレーカ３０と機械的に結合されたサーキットブレー
カ４０が同様にオフ状態となる。これにより、昇圧トラ
ンス３の１次側が確実に遮断され、異常放電が停止す
る。
【００２２】また、放電が安定している時に、例えば同
軸ケーブル１１に絶縁破壊が発生して２次側が短絡した
場合においても、サーキットブレーカ４０がオフ状態に
なり、続いてこれと機械的に接続されたサーキットブレ
ーカ３０がオフ状態になり、昇圧トランス３の１次側が
確実に遮断される。
軸ケーブル１１に絶縁破壊が発生して２次側が短絡した
場合においても、サーキットブレーカ４０がオフ状態に
なり、続いてこれと機械的に接続されたサーキットブレ
ーカ３０がオフ状態になり、昇圧トランス３の１次側が
確実に遮断される。
【００２３】このように、上述した実施例によれば、ラ
インＬ１に流れる電流、すなわち除電電流ｉ2 のみを監
視しているので、昇圧トランスの２次側回路を流れる電
流（放電電流ｉ1 ＋ 除電電流ｉ2 ）を監視する場合に
比べて高感度で異常放電を検知することができる。ま
た、同様の理由により、安全遮断回路が２次側回路の特
性、例えば同軸ケーブル１１のもれ電流等の影響を受け
ることがなく、電源電圧や周波数の変化の影響を受けな
い安全装置を得ることができる。また、電流検出素子と
してホトカプラを使用したので、昇圧トランスの１次側
回路と２次側回路とを絶縁した安全装置とすることがで
き、装置の信頼性が高い。また、昇圧トランスの１次側
回路を遮断する手段としてサーキットブレーカを使用し
たため、遮断手段としてリレーやサイリスタ等を使用し
た安全装置に比べて過電流や過電圧に強く、安全装置と
しての信頼性が高い。
インＬ１に流れる電流、すなわち除電電流ｉ2 のみを監
視しているので、昇圧トランスの２次側回路を流れる電
流（放電電流ｉ1 ＋ 除電電流ｉ2 ）を監視する場合に
比べて高感度で異常放電を検知することができる。ま
た、同様の理由により、安全遮断回路が２次側回路の特
性、例えば同軸ケーブル１１のもれ電流等の影響を受け
ることがなく、電源電圧や周波数の変化の影響を受けな
い安全装置を得ることができる。また、電流検出素子と
してホトカプラを使用したので、昇圧トランスの１次側
回路と２次側回路とを絶縁した安全装置とすることがで
き、装置の信頼性が高い。また、昇圧トランスの１次側
回路を遮断する手段としてサーキットブレーカを使用し
たため、遮断手段としてリレーやサイリスタ等を使用し
た安全装置に比べて過電流や過電圧に強く、安全装置と
しての信頼性が高い。
【００２４】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、除電電流を検出することにより昇圧トランスの１次
側回路を遮断するようにしたので、昇圧トランスの２次
側の回路条件に依存せず、安定で感度の良い除電器の安
全装置を得ることができる。従って、異常放電を早期に
確実に停止させ、帯電物体を破壊等から守ることができ
る。
ば、除電電流を検出することにより昇圧トランスの１次
側回路を遮断するようにしたので、昇圧トランスの２次
側の回路条件に依存せず、安定で感度の良い除電器の安
全装置を得ることができる。従って、異常放電を早期に
確実に停止させ、帯電物体を破壊等から守ることができ
る。
【図１】本発明の一実施例における除電器の構成を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
【図２】図１における除電電極１２の具体的な構造を示
す図である。
す図である。
【図３】従来の除電器の構成を示すブロック図である。
１ 交流電源 ３ 昇圧トランス １４ 放電電極 １５ 接地電極 ２１ ホトカプラ（検出手段） ３０ サーキットブレーカ（異常放電時遮断手段） ４０ サーキットブレーカ（短絡時遮断手段）
Claims (3)
- 【請求項１】 １次側が交流電源に接続された昇圧トラ
ンスと、前記昇圧トランスの２次側の一端と結合された
放電電極と、この放電電極と対向するように配置される
とともに前記昇圧トランスの２次側の他端と接続された
接地電極とを具備する除電器の安全装置であって、 前記放電電極から発生するプラスまたはマイナスのイオ
ンが前記放電電極に対置された帯電物体に移動すること
により前記接地電極と結合された前記昇圧トランスの２
次側の他端および接地間に流れる電流を検出する検出手
段と、 前記検出手段によって所定値以上の電流が検出されるこ
とにより、前記昇圧トランスの１次側回路を遮断する異
常放電時遮断手段とを具備することを特徴とする除電器
の安全装置。 - 【請求項２】 前記昇圧トランスの２次側が短絡した時
に該昇圧トランスの１次側回路を遮断する短絡時遮断手
段を具備することを特徴とする請求項１記載の除電器の
安全装置。 - 【請求項３】 前記検出手段はホトカプラであることを
特徴とする請求項１または請求項２記載の除電器の安全
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29105093A JPH07143660A (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | 除電器の安全装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29105093A JPH07143660A (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | 除電器の安全装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07143660A true JPH07143660A (ja) | 1995-06-02 |
Family
ID=17763790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29105093A Withdrawn JPH07143660A (ja) | 1993-11-19 | 1993-11-19 | 除電器の安全装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07143660A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011054579A (ja) * | 2010-12-10 | 2011-03-17 | Keyence Corp | 除電装置 |
-
1993
- 1993-11-19 JP JP29105093A patent/JPH07143660A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011054579A (ja) * | 2010-12-10 | 2011-03-17 | Keyence Corp | 除電装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20010130 |