JP3787137B2 - 超磁歪アクチュエータ - Google Patents
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Description
この発明は振動板を振動させて音を放射させるために用いる超磁歪アクチュエータに関する。
超磁歪アクチュエータは磁界の強さに応じて生ずる超磁歪素子の寸法変化(伸縮)を利用するもので、高速かつ大変位・高パワーなアクチュエータとして近年注目されている。
図6は音声振動発生源として超磁歪アクチュエータを使用したスピーカ(超磁歪スピーカ)の従来構成例を示したものであり、ハウジング11内に音声信号が供給されるコイル12と、コイル12の生ずる磁界変化により伸縮する柱状の超磁歪素子13と、超磁歪素子13に圧縮方向に荷重(プリストレス)を加えるバネ14と、超磁歪素子13にバイアス磁界を印加する磁石(永久磁石)15が収納されている。バネ14はこの例では皿バネとされている。
図6は音声振動発生源として超磁歪アクチュエータを使用したスピーカ(超磁歪スピーカ)の従来構成例を示したものであり、ハウジング11内に音声信号が供給されるコイル12と、コイル12の生ずる磁界変化により伸縮する柱状の超磁歪素子13と、超磁歪素子13に圧縮方向に荷重(プリストレス)を加えるバネ14と、超磁歪素子13にバイアス磁界を印加する磁石(永久磁石)15が収納されている。バネ14はこの例では皿バネとされている。
超磁歪素子13の自由端13aには可動ロッド16が連結されており、ハウジング11の外部に突出された可動ロッド16の先端に振動板17が取り付けられている。可動ロッド16は超磁歪素子13の伸縮に伴って変位し、よってコイル12に音声信号を供給することにより、音声信号に応じた変位が可動ロッド16を介して振動板17に伝達され、振動板17が振動して空間に音が放射されるものとなっている。図6中、18はハウジング11が固定されている筐体を示す(例えば、特許文献1参照)。
特開平11−266496号公報
ところで、スピーカにおいては低音から高音まで広い範囲の音が均等に出せることが要求されるものの、低域の音を出すことは一般にむずかしく、このためウーハを別途追加して用いるといったことが一般に行われている。この点は上述した超磁歪アクチュエータを用いたスピーカも同様であり、高域は良好な特性が得られるものの、低域特性は良くないといった問題があった。
この発明の目的はこの問題に鑑み、低域特性が良好で広い再生周波数帯域を実現することができるスピーカ用超磁歪アクチュエータを提供することにある。
この発明の目的はこの問題に鑑み、低域特性が良好で広い再生周波数帯域を実現することができるスピーカ用超磁歪アクチュエータを提供することにある。
請求項1の発明によれば、振動板を振動させて音を放射させるために用いる超磁歪アクチュエータは、音声信号が供給されるコイルと、そのコイルの生ずる磁界変化により伸縮する2つの互いに径の異なる柱状超磁歪素子とを具備し、それら超磁歪素子は同軸上に直列配置されて、その一端側自由端に振動板を振動させる可動ロッドが連結されているものとされる。
請求項2の発明では請求項1の発明において、2つの超磁歪素子の両者に圧縮荷重を加える第1のバネと、他方に対して大径とされた一方の超磁歪素子にのみ圧縮荷重を加える第2のバネとが設けられているものとされる。
請求項2の発明では請求項1の発明において、2つの超磁歪素子の両者に圧縮荷重を加える第1のバネと、他方に対して大径とされた一方の超磁歪素子にのみ圧縮荷重を加える第2のバネとが設けられているものとされる。
請求項3の発明では請求項2の発明において、2つの超磁歪素子は上記一方の超磁歪素子が底面側とされて、上面が開放されたケース内に収容され、可動ロッドはケースの上面を蓋する蓋から先端が外部に突出され、ケースの内部底面上に固定された慣性質量と上記一方の超磁歪素子との間、2つの超磁歪素子間及び他方の超磁歪素子と可動ロッドの内端に形成された大径部との間に、超磁歪素子にバイアス磁界を印加する第1、第2及び第3の磁石がそれぞれ介在され、第1のバネは上記大径部と蓋の間に挟み込まれ、第2のバネは上記他方の超磁歪素子を囲むように第2の磁石の周縁上に搭載された円筒体の上端に形成されたフランジと蓋の間に挟み込まれ、上記円筒体及び一方の超磁歪素子を囲むようにケース内に収容されたボビンに上記コイルが巻回されているものとされる。
請求項4の発明では請求項2の発明において、2つの超磁歪素子は上記一方の超磁歪素子が底面側とされて、上面が開放されたケース内に収容され、可動ロッドはケースの上面を蓋する蓋から先端が外部に突出され、ケースの内部底面上に固定された慣性質量と上記一方の超磁歪素子との間、2つの超磁歪素子間及び他方の超磁歪素子と可動ロッドの内端に形成された大径部との間に、超磁歪素子にバイアス磁界を印加する第1、第2及び第3の磁石がそれぞれ介在され、第1のバネは上記大径部と蓋の間に挟み込まれ、第2のバネは第2の磁石の周縁部と蓋の間に挟み込まれ、上記一方の超磁歪素子を囲むようにケース内に収容された第1のボビンと、第2の磁石上に搭載されて上記他方の超磁歪素子と第2のバネとの間に位置された第2のボビンとに上記コイルがそれぞれ巻回されているものとされる。
請求項5の発明では請求項2の発明において、2つの超磁歪素子は上記一方の超磁歪素子が底面側とされて、上面が開放されたケース内に収容され、可動ロッドはケースの上面を蓋する蓋から先端が外部に突出され、ケースの内部底面上に固定された慣性質量と上記一方の超磁歪素子との間、2つの超磁歪素子間及び他方の超磁歪素子と可動ロッドの内端に形成された大径部との間に、超磁歪素子にバイアス磁界を印加する第1、第2及び第3の磁石がそれぞれ介在され、第1のバネは上記大径部と蓋の間に挟み込まれ、上記一方の超磁歪素子を囲むようにケース内に収容された第1のボビンと、上記他方の超磁歪素子を囲むように第2の磁石の周縁上に搭載された第2のボビンとに上記コイルがそれぞれ巻回され、第2のバネは第2のボビンの上端面と蓋の間に挟み込まれているものとされる。
請求項6の発明では請求項3の発明において、上記円筒体の上端に、可動ロッドを囲むように複数のロッドが突出形成され、それらロッドは先端が蓋から外部に突出されているものとされる。
請求項6の発明では請求項3の発明において、上記円筒体の上端に、可動ロッドを囲むように複数のロッドが突出形成され、それらロッドは先端が蓋から外部に突出されているものとされる。
この発明によれば、振動板を振動させる可動ロッドの低域における振動振幅を強調させることができ、よって低域特性が良好で広帯域なスピーカを実現することができる。
この発明を実施するための最良の形態を図面を参照して実施例により説明する。
図1はこの発明によるスピーカ用超磁歪アクチュエータの一実施例を示したものであり、この例では超磁歪アクチュエータ20はケース21内に互いに径の異なる2つの円柱状超磁歪素子22,23を具備するものとなっている。
ケース21は一端が開放された円筒形をなすものとされ、その内部底面上には慣性質量24が配置されている。慣性質量24上には第1の磁石25が対接されて搭載され、この磁石25上に同軸上に直列配置された超磁歪素子22,23が搭載されている。超磁歪素子22,23は大径の超磁歪素子22がケース21の底面側とされてケース21の中心軸上に位置されており、両超磁歪素子22,23の間には第2の磁石26が介在され、さらに上側に位置する小径の超磁歪素子23の上には第3の磁石27が対接されて搭載されている。慣性質量24は円板状とされて例えば接着によりケース21に固定されており、超磁歪素子22,23にバイアス磁界を印加する3つの磁石(永久磁石)25〜27も円板状とされている。なお、2つの超磁歪素子22,23間に挟持されている磁石26は図1Bに示したように超磁歪素子22,23より大径とされている。
図1はこの発明によるスピーカ用超磁歪アクチュエータの一実施例を示したものであり、この例では超磁歪アクチュエータ20はケース21内に互いに径の異なる2つの円柱状超磁歪素子22,23を具備するものとなっている。
ケース21は一端が開放された円筒形をなすものとされ、その内部底面上には慣性質量24が配置されている。慣性質量24上には第1の磁石25が対接されて搭載され、この磁石25上に同軸上に直列配置された超磁歪素子22,23が搭載されている。超磁歪素子22,23は大径の超磁歪素子22がケース21の底面側とされてケース21の中心軸上に位置されており、両超磁歪素子22,23の間には第2の磁石26が介在され、さらに上側に位置する小径の超磁歪素子23の上には第3の磁石27が対接されて搭載されている。慣性質量24は円板状とされて例えば接着によりケース21に固定されており、超磁歪素子22,23にバイアス磁界を印加する3つの磁石(永久磁石)25〜27も円板状とされている。なお、2つの超磁歪素子22,23間に挟持されている磁石26は図1Bに示したように超磁歪素子22,23より大径とされている。
上記のように直列配置された超磁歪素子22,23は下端が固定端、上端が自由端とされ、この自由端に配置されている磁石27上に可動ロッド28が搭載されている。可動ロッド28はその中心軸が超磁歪素子22,23の中心軸と一致されており、ケース21の開放上面を蓋する蓋29に設けられている貫通孔31を介して先端側が外部に突出されている。可動ロッド28の内端には磁石27と対接する大径部28aが形成されており、また突出先端部28bはこの例では球面状をなすものとされている。なお、蓋29はこの例ではキャップ32によって抜け止め固定されており、キャップ32とケース21とは図には示していないが、その円筒周面部分において例えばネジ止めされて固定されている。図1中、33はキャップ32に設けられている開口を示す。
超磁歪素子22,23に圧縮方向に荷重(プリストレス)を加えるバネは2つ設けられており、第1のバネ34は可動ロッド28の大径部28aと蓋29の内面との間に挟み込まれている。第2のバネ35は上側に位置する小径の超磁歪素子23を囲むように磁石26の周縁上に搭載された円筒体36の上端に形成されているフランジ36aと蓋29の内面との間に挟み込まれており、この例ではこれらバネ34,35は共に圧縮コイルバネによって構成されている。
超磁歪素子22,23に圧縮方向に荷重(プリストレス)を加えるバネは2つ設けられており、第1のバネ34は可動ロッド28の大径部28aと蓋29の内面との間に挟み込まれている。第2のバネ35は上側に位置する小径の超磁歪素子23を囲むように磁石26の周縁上に搭載された円筒体36の上端に形成されているフランジ36aと蓋29の内面との間に挟み込まれており、この例ではこれらバネ34,35は共に圧縮コイルバネによって構成されている。
このようにバネ34,35を配置することにより、大径の超磁歪素子22にはバネ34,35の両方によって圧縮荷重が加えられ、小径の超磁歪素子23には一方のバネ34によって圧縮荷重が加えられるものとなる。
音声信号が供給されるコイル37はボビン38に巻回されてケース21内に収容されている。ボビン38は大径の超磁歪素子22及び円筒体36の回りを囲むように配置され、それら超磁歪素子22及び円筒体36とわずかな間隙を介して円筒部38aが対向するように円筒部38aの中間に段部38bを有するものとなっている。なお、ボビン38はその下端面が慣性質量24上に搭載されて固定されている。
上記のような構造において、超磁歪素子22,23の材料には例えばTDK(株)製のPMS−1を用いることができる。ケース21、ボビン38、キャップ32及び円筒体36は例えばアルミニウム製とされ、可動ロッド28及び慣性質量24は例えば黄銅製とされる。また、蓋29は例えば樹脂製とされる。
音声信号が供給されるコイル37はボビン38に巻回されてケース21内に収容されている。ボビン38は大径の超磁歪素子22及び円筒体36の回りを囲むように配置され、それら超磁歪素子22及び円筒体36とわずかな間隙を介して円筒部38aが対向するように円筒部38aの中間に段部38bを有するものとなっている。なお、ボビン38はその下端面が慣性質量24上に搭載されて固定されている。
上記のような構造において、超磁歪素子22,23の材料には例えばTDK(株)製のPMS−1を用いることができる。ケース21、ボビン38、キャップ32及び円筒体36は例えばアルミニウム製とされ、可動ロッド28及び慣性質量24は例えば黄銅製とされる。また、蓋29は例えば樹脂製とされる。
次に、この図1に示したように互いに径の異なる2つの超磁歪素子22,23を有し、それらが同軸上に直列配置されてなる構成を有する超磁歪アクチュエータ20の特性について説明する。
図2は超磁歪素子の磁歪値の周波数特性の形状依存性を示したものであり、横軸は駆動周波数を示し、縦軸は超磁歪素子に±0.5kOeの磁界変化を与えた時の磁歪値をp−p振幅値(単位:ppm)として寸法変化率で示したものである。なお、φ1×8mmという表示は直径1mm、長さ8mmであることを示す。
この図2から明らかなように、超磁歪素子は径が小さいほど、周波数特性が高域まで伸びており、また低域における寸法変化率は径及び長さに依存しないものとなっている。従って、径の異なる超磁歪素子を直列配置して組み合わせることにより、例えば超磁歪素子が単一の場合と比べて、低域の寸法変化量を強調することができる。
図2は超磁歪素子の磁歪値の周波数特性の形状依存性を示したものであり、横軸は駆動周波数を示し、縦軸は超磁歪素子に±0.5kOeの磁界変化を与えた時の磁歪値をp−p振幅値(単位:ppm)として寸法変化率で示したものである。なお、φ1×8mmという表示は直径1mm、長さ8mmであることを示す。
この図2から明らかなように、超磁歪素子は径が小さいほど、周波数特性が高域まで伸びており、また低域における寸法変化率は径及び長さに依存しないものとなっている。従って、径の異なる超磁歪素子を直列配置して組み合わせることにより、例えば超磁歪素子が単一の場合と比べて、低域の寸法変化量を強調することができる。
図3はこのように径の異なる超磁歪素子を組み合わせた場合の磁歪値の周波数特性を示したものであり、図3A〜Cはφ6×20mmの超磁歪素子に対し、それぞれφ10×10mm、φ10×20mm、φ10×30mmの超磁歪素子を組み合わせた場合を示している。なお、縦軸は±0.5kOeの磁界変化を与えた時の磁歪値をp−p振幅値(単位:μm)として絶対値で示している。
この図3に示したように、一つの超磁歪素子(φ6×20mm)に、それより径の大きい超磁歪素子を組み合わせることにより低域における寸法変化量を強調(増大)することができ、またその大径の超磁歪素子の長さを選定することにより、低域が所望量強調された周波数特性を得ることができる。なお、図1に示した実施例では大径の超磁歪素子22はφ10×20mmとし、小径の超磁歪素子23はφ6×20mmとした。
上述したような構成を有する超磁歪アクチュエータ20によれば、コイル37に音声信号を供給することにより、超磁歪素子22,23はコイル37の発生する磁界に応じて伸縮し、よってこれら超磁歪素子22,23の自由端側に連結されている可動ロッド28が振動する。従って、この可動ロッド28によって振動板41を振動させることにより振動板41は空間に音を放射するものとなる。
この図3に示したように、一つの超磁歪素子(φ6×20mm)に、それより径の大きい超磁歪素子を組み合わせることにより低域における寸法変化量を強調(増大)することができ、またその大径の超磁歪素子の長さを選定することにより、低域が所望量強調された周波数特性を得ることができる。なお、図1に示した実施例では大径の超磁歪素子22はφ10×20mmとし、小径の超磁歪素子23はφ6×20mmとした。
上述したような構成を有する超磁歪アクチュエータ20によれば、コイル37に音声信号を供給することにより、超磁歪素子22,23はコイル37の発生する磁界に応じて伸縮し、よってこれら超磁歪素子22,23の自由端側に連結されている可動ロッド28が振動する。従って、この可動ロッド28によって振動板41を振動させることにより振動板41は空間に音を放射するものとなる。
可動ロッド28の振動は2つの超磁歪素子22,23の寸法変化の加算となり、つまり低域の振幅が強調されているため、図6に示した従来の超磁歪アクチュエータを使用したスピーカに比し、振動板41の低域における振幅を相対的に大きくすることができ、よってこの超磁歪アクチュエータ20を用いれば低域特性が良好で、かつ広帯域なスピーカを実現することができる。
なお、超磁歪素子22,23にはその断面積に応じた適正な圧縮荷重(プリストレス)を加える必要があるが、この例では2つのバネ34,35を備え、それらを図1に示したように配置しており、これによって2つの超磁歪素子22,23に圧縮荷重をそれぞれ最適に加えられるものとなっている。
上述した超磁歪アクチュエータ20では可動ロッド28は振動板41と固定されず、図示していない押圧手段によって超磁歪アクチュエータ20全体が振動板41に押圧されて可動ロッド28が振動板41と所要の接触圧で接触し、振動が伝達されるものとなっているが、例えば可動ロッド28に振動板41を取り付けて固定するようにしてもよい。なお、この図1に示したような可動ロッド28が振動板41に押圧接触される構造の超磁歪アクチュエータ20は例えば既存の構造体を振動板として機能させるといった場合に使用され、そのような例としては例えば中空の柱状体を振動板とし、その柱状体内にこの超磁歪アクチュエータ20を収納する場合が挙げられる。
なお、超磁歪素子22,23にはその断面積に応じた適正な圧縮荷重(プリストレス)を加える必要があるが、この例では2つのバネ34,35を備え、それらを図1に示したように配置しており、これによって2つの超磁歪素子22,23に圧縮荷重をそれぞれ最適に加えられるものとなっている。
上述した超磁歪アクチュエータ20では可動ロッド28は振動板41と固定されず、図示していない押圧手段によって超磁歪アクチュエータ20全体が振動板41に押圧されて可動ロッド28が振動板41と所要の接触圧で接触し、振動が伝達されるものとなっているが、例えば可動ロッド28に振動板41を取り付けて固定するようにしてもよい。なお、この図1に示したような可動ロッド28が振動板41に押圧接触される構造の超磁歪アクチュエータ20は例えば既存の構造体を振動板として機能させるといった場合に使用され、そのような例としては例えば中空の柱状体を振動板とし、その柱状体内にこの超磁歪アクチュエータ20を収納する場合が挙げられる。
図4A,Bはこの発明による超磁歪アクチュエータの他の実施例をそれぞれ示したものであり、図1と対応する部分には同一符号を付してある。
図4Aに示した超磁歪アクチュエータ50は音声信号が供給されるコイル37が巻回されるボビンを2つ有するものとなっており、第1のボビン51は大径の超磁歪素子22を囲むように慣性質量24上に搭載固定され、第2のボビン52は小径の超磁歪素子23を囲むように、両超磁歪素子22,23間に挟持されている磁石26上に搭載固定されている。なお、大径の超磁歪素子22にのみ圧縮荷重を加えるバネ35は圧縮コイルバネとされ、この例では磁石26の周縁部と蓋29の内面との間に挟み込まれた構造となっており、コイル37が巻回されたボビン52はこのバネ35と超磁歪素子23との間に位置するものとなっている。
図4Bに示した超磁歪アクチュエータ60は図4Aに示した超磁歪アクチュエータ50と同様、2つのボビン51,52を有するものとなっているが、バネ35の配置が図4Aと異なり、ボビン52の上端面と蓋29の内面との間に挟み込まれた構造となっている。この例ではバネ35による圧縮荷重はボビン52及び磁石26を介して大径の超磁歪素子22に加えられるものとなっている。バネ35の配置は図1に示した配置構造に限らず、これら図4A,Bに示したような配置構造とすることもできる。なお、これら図4A,Bに示した超磁歪アクチュエータ50,60では小径の超磁歪素子23に対し、磁界変化を与えるコイル37をより近接配置することができる。
図4Aに示した超磁歪アクチュエータ50は音声信号が供給されるコイル37が巻回されるボビンを2つ有するものとなっており、第1のボビン51は大径の超磁歪素子22を囲むように慣性質量24上に搭載固定され、第2のボビン52は小径の超磁歪素子23を囲むように、両超磁歪素子22,23間に挟持されている磁石26上に搭載固定されている。なお、大径の超磁歪素子22にのみ圧縮荷重を加えるバネ35は圧縮コイルバネとされ、この例では磁石26の周縁部と蓋29の内面との間に挟み込まれた構造となっており、コイル37が巻回されたボビン52はこのバネ35と超磁歪素子23との間に位置するものとなっている。
図4Bに示した超磁歪アクチュエータ60は図4Aに示した超磁歪アクチュエータ50と同様、2つのボビン51,52を有するものとなっているが、バネ35の配置が図4Aと異なり、ボビン52の上端面と蓋29の内面との間に挟み込まれた構造となっている。この例ではバネ35による圧縮荷重はボビン52及び磁石26を介して大径の超磁歪素子22に加えられるものとなっている。バネ35の配置は図1に示した配置構造に限らず、これら図4A,Bに示したような配置構造とすることもできる。なお、これら図4A,Bに示した超磁歪アクチュエータ50,60では小径の超磁歪素子23に対し、磁界変化を与えるコイル37をより近接配置することができる。
次に、図5に示した超磁歪アクチュエータの構造について説明する。
この図5に示した超磁歪アクチュエータ70は図1に示した超磁歪アクチュエータ20の円筒体36の上端にロッド36bを突出形成したものであり、この例では可動ロッド28を囲むように3本のロッド36bが等角間隔で形成されている。これらロッド36bは蓋29に形成された貫通孔71を介してそれぞれ先端側が外部に突出されており、突出先端面36cは可動ロッド28と同様、球面状とされている。なお、ロッド36bの突出高さは可動ロッド28の突出高さより低くされている。また、キャップ32の開口33はこれらロッド36bの突出を妨げないように図1より大きくされている。
この図5に示した超磁歪アクチュエータ70は図1に示した超磁歪アクチュエータ20の円筒体36の上端にロッド36bを突出形成したものであり、この例では可動ロッド28を囲むように3本のロッド36bが等角間隔で形成されている。これらロッド36bは蓋29に形成された貫通孔71を介してそれぞれ先端側が外部に突出されており、突出先端面36cは可動ロッド28と同様、球面状とされている。なお、ロッド36bの突出高さは可動ロッド28の突出高さより低くされている。また、キャップ32の開口33はこれらロッド36bの突出を妨げないように図1より大きくされている。
上記のような構成とされた超磁歪アクチュエータ70では超磁歪素子22,23の加算された寸法変化によって振動する可動ロッド28に加え、大径の超磁歪素子22の寸法変化のみによって振動するロッド36bも有するものとなっており、このロッド36bの振動は低域における振幅が大きいものとなっている。従って、振動板41に加え、例えば図5に示したように低音域用の振動板42を追加し、この振動板42を3本のロッド36bによって振動させるようにすれば低音がより強調されたスピーカを実現することができる。なお、振動板42には可動ロッド28用の貫通孔43が設けられている。低音域用の振動板42は高剛性で薄く、かつ面積が大きいものとされる。
Claims (6)
- 振動板を振動させて音を放射させるために用いる超磁歪アクチュエータであって、
音声信号が供給されるコイルと、
そのコイルの生ずる磁界変化により伸縮する2つの互いに径の異なる柱状超磁歪素子とを具備し、
それら超磁歪素子は同軸上に直列配置されて、その一端側自由端に上記振動板を振動させる可動ロッドが連結されていることを特徴とする超磁歪アクチュエータ。 - 請求項1記載の超磁歪アクチュエータにおいて、
上記2つの超磁歪素子の両者に圧縮荷重を加える第1のバネと、他方に対して大径とされた一方の超磁歪素子にのみ圧縮荷重を加える第2のバネとが設けられていることを特徴とする超磁歪アクチュエータ。 - 請求項2記載の超磁歪アクチュエータにおいて、
上記2つの超磁歪素子は上記一方の超磁歪素子が底面側とされて、上面が開放されたケース内に収容され、
上記可動ロッドは上記ケースの上面を蓋する蓋から先端が外部に突出され、
上記ケースの内部底面上に固定された慣性質量と上記一方の超磁歪素子との間、2つの超磁歪素子間及び他方の超磁歪素子と上記可動ロッドの内端に形成された大径部との間に、超磁歪素子にバイアス磁界を印加する第1、第2及び第3の磁石がそれぞれ介在され、
上記第1のバネは上記大径部と上記蓋の間に挟み込まれ、
上記第2のバネは上記他方の超磁歪素子を囲むように上記第2の磁石の周縁上に搭載された円筒体の上端に形成されたフランジと上記蓋の間に挟み込まれ、
上記円筒体及び一方の超磁歪素子を囲むように上記ケース内に収容されたボビンに上記コイルが巻回されていることを特徴とする超磁歪アクチュエータ。 - 請求項2記載の超磁歪アクチュエータにおいて、
上記2つの超磁歪素子は上記一方の超磁歪素子が底面側とされて、上面が開放されたケース内に収容され、
上記可動ロッドは上記ケースの上面を蓋する蓋から先端が外部に突出され、
上記ケースの内部底面上に固定された慣性質量と上記一方の超磁歪素子との間、2つの超磁歪素子間及び他方の超磁歪素子と上記可動ロッドの内端に形成された大径部との間に、超磁歪素子にバイアス磁界を印加する第1、第2及び第3の磁石がそれぞれ介在され、
上記第1のバネは上記大径部と上記蓋の間に挟み込まれ、
上記第2のバネは上記第2の磁石の周縁部と上記蓋の間に挟み込まれ、
上記一方の超磁歪素子を囲むように上記ケース内に収容された第1のボビンと、上記第2の磁石上に搭載されて上記他方の超磁歪素子と上記第2のバネとの間に位置された第2のボビンとに上記コイルがそれぞれ巻回されていることを特徴とする超磁歪アクチュエータ。 - 請求項2記載の超磁歪アクチュエータにおいて、
上記2つの超磁歪素子は上記一方の超磁歪素子が底面側とされて、上面が開放されたケース内に収容され、
上記可動ロッドは上記ケースの上面を蓋する蓋から先端が外部に突出され、
上記ケースの内部底面上に固定された慣性質量と上記一方の超磁歪素子との間、2つの超磁歪素子間及び他方の超磁歪素子と上記可動ロッドの内端に形成された大径部との間に、超磁歪素子にバイアス磁界を印加する第1、第2及び第3の磁石がそれぞれ介在され、
上記第1のバネは上記大径部と上記蓋の間に挟み込まれ、
上記一方の超磁歪素子を囲むように上記ケース内に収容された第1のボビンと、上記他方の超磁歪素子を囲むように上記第2の磁石の周縁上に搭載された第2のボビンとに上記コイルがそれぞれ巻回され、
上記第2のバネは上記第2のボビンの上端面と上記蓋の間に挟み込まれていることを特徴とする超磁歪アクチュエータ。 - 請求項3記載の超磁歪アクチュエータにおいて、
上記円筒体の上端に、上記可動ロッドを囲むように複数のロッドが突出形成され、
それらロッドは先端が上記蓋から外部に突出されていることを特徴とする超磁歪アクチュエータ。
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