JP3770273B2 - トンネル磁気抵抗効果素子の検査方法及び装置、並びにトンネル磁気抵抗効果素子の製造方法 - Google Patents
トンネル磁気抵抗効果素子の検査方法及び装置、並びにトンネル磁気抵抗効果素子の製造方法 Download PDFInfo
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Description
41、70a 薄膜磁気ヘッド素子
42 薄膜磁気ヘッド
43、70 バー部材
44 磁気ヘッドスライダ
44a、70b 電極端子
45 サスペンション
46 HGA
46a 外部接続パッド
47、71a プローブ
50 下部シールド及び電極層
51、131 反強磁性層
52、132 ピンド層
53、133 トンネルバリア層
54、134 フリー層
55 キャップ層
56 金属ギャップ層
57 上部シールド及び電極層
58 バイアス層
71 検査装置
71b 定電流回路
71c 電圧測定回路
71d A/D変換器
71e デジタルコンピュータ
130 下部導体層
135 上部導体層
Claims (20)
- トンネル磁気抵抗効果素子に第1の電流値を有する第1のセンス電流を流した状態で抵抗値を測定して第1の抵抗値R 1 とし、該トンネル磁気抵抗効果素子に該第1の電流値より絶対値が大きい第2の電流値を有する第2のセンス電流を流した状態で抵抗値を測定して第2の抵抗値R 2 とし、前記第1の抵抗値R 1 と前記第2の抵抗値R 2 とから求めた(R 2 −R 1 )/R 1 ×100(%)なる抵抗変化率が所定の閾値未満の場合は該トンネル磁気抵抗効果素子が良品であると評価することを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子の検査方法。
- 前記第1のセンス電流と前記第2のセンス電流とが、互いに不連続なセンス電流であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記トンネル磁気抵抗効果素子のトンネルバリア層がアルミニウムの酸化物で構成されており、かつ、前記第1のセンス電流が0.1mA、前記第2のセンス電流が0.4mAの場合、前記所定の閾値が−0.8(%)であることを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。
- 前記抵抗値の測定が、所定方向の直流外部磁場を前記トンネル磁気抵抗効果素子に印加した状態で行われることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。
- 前記トンネル磁気抵抗効果素子が、トンネル磁気抵抗効果ヘッド素子であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の方法。
- 前記トンネル磁気抵抗効果素子が、磁気抵抗メモリセルであることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の方法。
- トンネル磁気抵抗効果素子に第1の電流値を有する第1のセンス電流を流した状態で抵抗値を測定して第1の抵抗値R 1 とし、該トンネル磁気抵抗効果素子に該第1の電流値より絶対値が大きい第2の電流値を有する第2のセンス電流を流した状態で抵抗値を測定して第2の抵抗値R 2 とする測定手段と、前記第1の抵抗値R 1 と前記第2の抵抗値R 2 とから求めた(R 2 −R 1 )/R 1 ×100(%)なる抵抗変化率が所定の閾値未満の場合は該トンネル磁気抵抗効果素子が良品であると評価する手段とを備えたことを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子の検査装置。
- 前記測定手段が、前記第1のセンス電流と前記第2のセンス電流として、互いに不連続なセンス電流を流す手段であることを特徴とする請求項7に記載の装置。
- 前記トンネル磁気抵抗効果素子のトンネルバリア層がアルミニウムの酸化物で構成されており、かつ、前記第1のセンス電流が0.1mA、前記第2のセンス電流が0.4mAの場合、前記所定の閾値が−0.8(%)であることを特徴とする請求項7又は8に記載の装置。
- 前記抵抗値の測定中に、所定方向の直流外部磁場を前記トンネル磁気抵抗効果素子に印加する手段をさらに備えたことを特徴とする請求項7から9のいずれか1項に記載の装置。
- 前記トンネル磁気抵抗効果素子が、トンネル磁気抵抗効果ヘッド素子であることを特徴とする請求項7から10のいずれか1項に記載の装置。
- 前記トンネル磁気抵抗効果素子が、磁気抵抗メモリセルであることを特徴とする請求項7から10のいずれか1項に記載の装置。
- ウエハ上に薄膜による多数のトンネル磁気抵抗効果素子を作成するウエハ工程と、該ウエハを切断して複数のトンネル磁気抵抗効果素子が配列されたバー部材を形成する切断工程と、該バー部材上の対象とするトンネル磁気抵抗効果素子に第1の電流値を有する第1のセンス電流を流した状態で抵抗値を測定して第1の抵抗値R 1 とし、該トンネル磁気抵抗効果素子に該第1の電流値より絶対値が大きい第2の電流値を有する第2のセンス電流を流した状態で抵抗値を測定して第2の抵抗値R 2 とする測定工程と、前記第1の抵抗値R 1 と前記第2の抵抗値R 2 とから求めた(R 2 −R 1 )/R 1 ×100(%)なる抵抗変化率が所定の閾値未満の場合は該トンネル磁気抵抗効果素子が良品であると評価する評価工程と、評価後の該バー部材を切断して個々のトンネル磁気抵抗効果素子に分離する切断分離工程と備えたことを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子の製造方法。
- ウエハ上に薄膜による多数のトンネル磁気抵抗効果素子を作成するウエハ工程と、該ウエハ上の対象とするトンネル磁気抵抗効果素子に第1の電流値を有する第1のセンス電流を流した状態で抵抗値を測定して第1の抵抗値R 1 とし、該トンネル磁気抵抗効果素子に該第1の電流値より絶対値が大きい第2の電流値を有する第2のセンス電流を流した状態で抵抗値を測定して第2の抵抗値R 2 とする測定工程と、前記第1の抵抗値R 1 と前記第2の抵抗値R 2 とから求めた(R 2 −R 1 )/R 1 ×100(%)なる抵抗変化率が所定の閾値未満の場合は該トンネル磁気抵抗効果素子が良品であると評価する評価工程と、評価後の前記ウエハを切断して複数のトンネル磁気抵抗効果素子が配列されたバー部材を形成する切断工程と、該バー部材を切断して個々のトンネル磁気抵抗効果素子に分離する切断分離工程と備えたことを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子の製造方法。
- ウエハ上に薄膜による多数のトンネル磁気抵抗効果素子を作成するウエハ工程と、該ウエハを切断して複数のトンネル磁気抵抗効果素子が配列されたバー部材を形成する切断工程と、該バー部材を切断して個々のトンネル磁気抵抗効果素子に分離する切断分離工程と、該分離したトンネル磁気抵抗効果素子に第1の電流値を有する第1のセンス電流を流した状態で抵抗値を測定して第1の抵抗値R 1 とし、該トンネル磁気抵抗効果素子に該第1の電流値より絶対値が大きい第2の電流値を有する第2のセンス電流を流した状態で抵抗値を測定して第2の抵抗値R 2 とする測定工程と、前記第1の抵抗値R 1 と前記第2の抵抗値R 2 とから求めた(R 2 −R 1 )/R 1 ×100(%)なる抵抗変化率が所定の閾値未満の場合は該トンネル磁気抵抗効果素子が良品であると評価する評価工程とを備えたことを特徴とするトンネル磁気抵抗効果素子の製造方法。
- 前記第1のセンス電流と前記第2のセンス電流とが、互いに不連続なセンス電流であることを特徴とする請求項13から15のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記トンネル磁気抵抗効果素子のトンネルバリア層がアルミニウムの酸化物で構成されており、かつ、前記第1のセンス電流が0.1mA、前記第2のセンス電流が0.4mAの場合、前記所定の閾値が−0.8(%)であることを特徴とする請求項13から16のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記測定工程が、前記抵抗値を所定方向の直流外部磁場を前記トンネル磁気抵抗効果素子に印加した状態で測定する工程であることを特徴とする請求項13から17のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記トンネル磁気抵抗効果素子が、トンネル磁気抵抗効果ヘッド素子であることを特徴とする請求項13から18のいずれか1項に記載の製造方法。
- 前記トンネル磁気抵抗効果素子が、磁気抵抗メモリセルであることを特徴とする請求項13から18のいずれか1項に記載の製造方法。
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