JP3764734B2 - マスクブランクスの製造方法 - Google Patents
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ガラス基板の主表面上に残存する欠陥を顕在化させる工程を有するマスクブランクス用ガラス基板の製造方法において、前記欠陥を顕在化させる工程後に、ArF或いはF2エキシマレーザー、又は、EUVに要求される平滑性が得られるような精密研磨を行う精密研磨工程を含む後処理工程を行い、前記欠陥を顕在化させる工程は、前記精密研磨工程後に行われる欠陥検査で判別できる程度に、前記主表面上のクラックを拡大するエッチング処理を含んでいることを特徴とするマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
前記後処理工程は前記主表面に精密研磨を施す精密研磨工程と、前記精密研磨工程の後の主表面を洗浄する洗浄工程と、を含むことを特徴とする構成1に記載のマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
前記洗浄工程の後、さらに欠陥検査工程を有することを特徴とする構成2に記載のマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
ガラス基板表面を、所定の平均粒径を有する研磨砥粒を用いて研磨する粗研磨工程の後、前記所定の平均粒径より小さい平均粒径を有する研磨砥粒を用いて研磨し、ArF或いはF2エキシマレーザー、又は、EUVに要求される平滑性が得られるような精密研磨工程を行ってガラス基板を製造するマスクブランクス用ガラス基板の製造方法において、
前記精密研磨工程を行う前に、ガラス基板表面をエッチング処理することにより、前記ガラス基板表面から深さ方向に延び、前記精密研磨工程後に残存するクラックを、前記精密研磨工程後に行う欠陥検査工程で判別できる程度の大きさに拡大させることを特徴とするマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
前記精密研磨工程後、前記ガラス基板の主表面を洗浄する洗浄工程をおこなうことを特徴とする構成4記載のマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
構成4において、前記粗研磨工程で使用される研磨砥粒は、酸化セリウムであり、前記精密研磨工程で使用する研磨砥粒は、コロイダルシリカであることを特徴とするマスクブラクス用ガラス基板の製造方法。
(構成7)
前記洗浄工程後の前記ガラス基板の主表面は、二乗平均平方根粗さ(RMS)で0.2nm以下の粗さを有していることを特徴とする構成2又は5記載のマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
構成1又は4において、前記エッチング処理は、クラックをガラス基板表面で0.2μm以上の幅に拡大させるようにする処理であることを特徴とするマスクブランクス用ガラスの製造方法。
前記洗浄工程は、洗浄液としてエッチング作用を有するものを使用し、エッチングによるガラス基板の除去量が0μm超、0.01μm未満となる条件で洗浄することを特徴とする構成2又は5に記載のマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
前記欠陥検査工程は、目視検査で行うことを特徴とする構成3又は4記載のマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
前記エッチング処理は、前記ガラス基板の精密研磨する側の表面を0.01〜0.2μm除去するものであることを特徴とする構成1又は4記載のマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
構成1ないし11の何れかに記載のマスクブランクス用ガラス基板の製造方法によって得られたガラス基板の主表面上に、転写露光光に対し光学的変化をもたらす薄膜を形成することを特徴とするマスクブランクスの製造方法。
構成12に記載のマスクブランクスにおける前記薄膜をパターニングして薄膜パターンを形成することを特徴とする転写マスクの製造方法。
ガラス基板の形状加工と、ラップ盤等によって基板の両主表面の研削加工を終えた電子デバイス用ガラス基板の両主表面を比較的大きな研磨砥粒を用いて研磨する粗研磨工程(S101)と、
ガラス基板表面から深さ方向に延びている潜在化したクラックをエッチング処理により顕在化させるエッチング処理工程(S102)と、
比較的小さな研磨砥粒を用いて研磨する精密研磨工程(S103)と、
ガラス基板の欠陥を検査する欠陥検査工程(S104)と、を有する工程からなる。
(1)粗研磨工程
合成石英ガラス基板(6インチ×6インチ(1インチ=25.4mm))の端面を形状加工、および両面ラッピング装置によって研削工程を終えたガラス基板を、バッチ式の両面研磨装置に12枚セットし、以下の研磨条件で粗研磨工程を行った。尚、加工荷重、研磨条件は適宜調整して行った。
研磨パッド:硬質ポリシャ(ウレタンパッド)
粗研磨工程終了後、ガラス基板に付着した研磨砥粒を除去するため、ガラス基板を、ケイフッ酸を含む水溶液に浸漬して洗浄を行った。
次に得られたガラス基板を薬液(アルカリ:水酸化ナトリウム)に浸漬し、ガラス基板表面を約0.05nmエッチング除去し、ガラス基板表面近傍に存在するクラックを拡大化させた。尚、この時の薬液濃度は、ガラス基板に対するエッチング速度が0.8nm/分となるように設定した。得られたガラス基板の主表面の表面粗さを原子間力顕微鏡で測定したところ、平均表面粗さRaは0.23nmとなり若干表面形状が滑らかであることが確認された。
得られたガラス基板を上述の両面研磨装置に12枚セットし、以下の研磨条件で精密研磨工程を行った。尚、加工荷重、研磨条件は適宜調整して行った(研磨時間は、精密研磨工程によって基板端面の形状変化が少なく、かつガラス基板表面が鏡面化となるのに必要な研磨時間(研磨取代が1μm程度となる研磨時間)を設定した。)。
研磨パッド:軟質ポリシャ(スウェードタイプ)
精密研磨工程終了後、ガラス基板に付着した研磨砥粒を除去するため、ガラス基板をアルカリ水溶液の洗浄槽に浸漬し、洗浄を行った。尚、アルカリ水溶液による洗浄条件は、ガラス基板に対するエッチング除去量が0.005μm程度となるように設定した。
得られたガラス基板12枚を目視検査により欠陥検査を行ったところ、12枚中1枚のガラス基板にクラックが拡大したと思われる表面欠陥が確認されたが、それ以外の10枚のガラス基板は、クラック等の表面欠陥は確認されなかった。
実施例1の電子デバイス用ガラス基板の製造方法において、(2)のエッチング処理工程を実施しなかったこと以外は同じ条件にて電子デバイス用ガラス基板を作製した(比較例1)。
上述の実施例1および比較例1,2で得られたガラス基板の一主表面上に、窒化クロム膜/炭化クロム膜/酸化窒化クロム膜をスパッタリング法により積層(合計膜厚900オングストローム)したフォトマスクブランク、およびガラス基板の一主表面上に窒化されたモリブデンシリサイド膜をスパッタリング法により形成(膜厚800オングストローム)した位相シフトマスクブランクを作製した。尚、成膜後、スクラブ洗浄を行ってフォトマスクブランク、位相シフトマスクブランクを製造した。
2,21,22,23:クラック
31,32,33:拡大化されたクラック
Claims (13)
- ガラス基板の主表面上に残存する欠陥を顕在化させる工程を有するマスクブランクス用ガラス基板の製造方法において、前記欠陥を顕在化させる工程後に、ArF或いはF2エキシマレーザー、又は、EUVに要求される平滑性が得られるような精密研磨を行う精密研磨工程を含む後処理工程を行い、前記欠陥を顕在化させる工程は、前記精密研磨工程後に行われる欠陥検査で判別できる程度に、前記主表面上のクラックを拡大するエッチング処理を含んでいることを特徴とするマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
- 前記後処理工程は前記主表面に精密研磨を施す精密研磨工程と、前記精密研磨工程の後の主表面を洗浄する洗浄工程と、を含むことを特徴とする請求項1記載のマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
- 前記洗浄工程の後、さらに欠陥検査工程を有することを特徴とする請求項2に記載のマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
- ガラス基板表面を、所定の平均粒径を有する研磨砥粒を用いて研磨する粗研磨工程の後、前記所定の平均粒径より小さい平均粒径を有する研磨砥粒を用いて研磨し、ArF或いはF2エキシマレーザー、又は、EUVに要求される平滑性が得られるような精密研磨工程を行ってガラス基板を製造するマスクブランクス用ガラス基板の製造方法において、
前記精密研磨工程を行う前に、ガラス基板表面をエッチング処理することにより、前記ガラス基板表面から深さ方向に延び、前記精密研磨工程後に残存するクラックを、前記精密研磨工程後に行う欠陥検査工程で判別できる程度の大きさに拡大させることを特徴とするマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。 - 前記精密研磨工程後、前記ガラス基板の主表面を洗浄する洗浄工程をおこなうことを特徴とする請求項4記載のマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
- 請求項4において、前記粗研磨工程で使用される研磨砥粒は、酸化セリウムであり、前記精密研磨工程で使用する研磨砥粒は、コロイダルシリカであることを特徴とするマスクブラクス用ガラス基板の製造方法。
- 前記洗浄工程後の前記ガラス基板の主表面は、二乗平均平方根粗さ(RMS)で0.2nm以下の粗さを有していることを特徴とする請求項2又は5記載のマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
- 請求項1又は4において、前記エッチング処理は、クラックをガラス基板表面で0.2μm以上の幅に拡大させるようにする処理であることを特徴とするマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
- 前記洗浄工程は、洗浄液としてエッチング作用を有するものを使用し、エッチングによるガラス基板の除去量が0μm超、0.01μm未満となる条件で洗浄することを特徴とする請求項2又は5に記載のマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
- 前記欠陥検査工程は、目視検査で行うことを特徴とする請求項3又は4記載のマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
- 前記エッチング処理は、前記ガラス基板の精密研磨する側の表面を0.01〜0.2μm除去するものであることを特徴とする請求項1又は4記載のマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
- 請求項1ないし11の何れかに記載のマスクブランクス用ガラス基板の製造方法によって得られたガラス基板の主表面上に、転写露光光に対し光学的変化をもたらす薄膜を形成することを特徴とするマスクブランクスの製造方法。
- 請求項11に記載のマスクブランクスにおける前記薄膜をパターニングして薄膜パターンを形成することを特徴とする転写マスクの製造方法。
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