JP3757356B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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【発明の属する技術分野】
本発明は半導体装置の製造方法に関するものであり、特に、赤外線検知装置等の液体窒素温度で動作させるハイブリッド型半導体装置における熱サイクルに起因する熱疲労による断線を防止したり冷却効率を高めるための構成に特徴のある半導体装置の製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、赤外線検知用の半導体デバイスの一種として、エネルギーギャップの狭いHg1-x Cdx TeからなるHg系II−VI族化合物半導体に形成されたpn接合部分に入射した光により起電力が発生する光起電力特性を利用して、赤外線を検出する光起電力型赤外線検知装置が知られている。
【0003】
このような赤外線検知装置の製造には、例えば、CdTe基板上にCd組成比が0.2近傍のHgCdTe層に形成したpn接合ダイオードをフォトダイオードとしたものを用い、このフォトダイオードを一次元アレイ状或いは二次元アレイ状に配置すると共に、読出回路との電気的なコンタクトをとるために、赤外線フォトダイオードアレイ基板及びSi信号処理回路基板をIn等の金属のバンプを用いてFCB(フリップチップボンディング)法によって貼り合わせるハイブリッド構造が採用されている。
【0004】
ここで、図4を参照して従来の赤外線検知装置を説明するが、図4(a)は赤外線フォトダイオードアレイとSi信号処理回路基板とを貼り合わせた赤外線検知装置の要部断面図であり、また、図4(b)は赤外線検知装置の要部切断斜視図である。
【0005】
図4(a)及び(b)参照
この従来の赤外線フォトダイオードアレイ31は、まず、閉管チッピング法を用いて、Teリッチの融液中でCdZnTe基板32上にノン・ドープのp型HgCdTe層33を液相エピタキシャル成長させたのち、Hg蒸気中における200〜400℃の温度での熱処理により、Hg空孔をHg原子で埋めることによって、p型HgCdTe層33の正孔濃度を0.5〜5×1016cm-3に制御する。
【0006】
次いで、表面平坦化、及び、厚みの均一化のために、アルミナ研磨を行なって、p型HgCdTe層33の厚さを15〜25μmに制御したのち、Bイオンを選択的にイオン注入してn+ 型領域34を形成してフォトダイオードとする。
【0007】
次いで、全面にZnS表面保護膜35を設けたのち、N2 雰囲気中で100〜200℃の温度で1時間程度のアニール処理を行い、イオン注入によって格子位置から遊離したHg、即ち、Hg格子間原子をp型HgCdTe層33中に拡散させる。
【0008】
次いで、ZnS表面保護膜35にコンタクトホールを設けたのち、n+ 型領域34に対してはInコンタクト電極36を設け、p型HgCdTe層33のサブコンタクト領域に対してはAuコンタクト電極37を設ける。
【0009】
次いで、水平シフトレジスタ42及び垂直シフトレジスタ43等を設けたSi信号処理回路基板41の所定位置に設けたInバンプ38を利用して、赤外線フォトダイオードアレイ31と室温において圧力によって冷間接続(コールドウエルド)させたのち、Inの融点以上に加熱し溶融することによって両者を貼り合わせることによって赤外線検知装置が完成する。
【0010】
そして、この赤外線検知装置を通常の液体窒素温度(77K)レベルに冷却した状態で、赤外線フォトダイオードアレイ31のCdZnTe基板32の裏面側から10μm帯近傍の赤外線44を照射することによって、赤外線像を検知している。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、この様なハイブリッド型の赤外線検知装置においては、保管温度が室温であり、一方、使用期間中温度が77K(液体窒素温度)近傍であるので、室温と冷却温度との熱サイクルによりCdZnTe或いはCdTeとSiの熱膨張係数の差に起因する応力がバンプやチップに働き、バンプの外れや赤外線検知素子の特性劣化が発生するという問題がある。
なお、InバンプとCdZnTe或いはCdTeとの熱膨張係数の差も赤外線検知素子の特性劣化の原因となる可能性がある。
【0012】
また、Inバンプでのみ結合されたHgCdTe/CdTe構造半導体基体は冷却効率が悪く、特に、CdTe基板が厚い場合には熱容量が大きくなり、所定の冷却温度まで冷却されなかったり、冷却時間が極端に長くなってしまうという問題がある。
【0013】
また、この問題を解決するため、CdTe基板を研磨により除去して薄層化することも試みられているが、研磨時にpn接合を形成したHgCdTe層が物理的ダメージを受ける可能性があり、さらに、研磨にはHgCdTeとCdTeの選択性が無いため、CdTe基板のみを選択的に除去することは非常に困難である。
【0014】
したがって、本発明は、熱サイクルによる熱膨張係数の差による劣化を防止するとともに、冷却効率を高めることを目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】
図1は本発明の原理的構成の説明図であり、この図1を参照して本発明における課題を解決するための手段を説明するが、図における符号7,8,9,10は、夫々ZnS等の表面保護膜、In等のコンタクト電極、Au等のコンタクト電極、及び、赤外線である。
図1参照
上記の課題を解決するために、本発明は、半導体装置の製造方法において、Cd1-x Znx Te(0≦x<0.05)基板2上に素子形成用のHg1-y Cdy Te(0<y<1)層3を形成した第1の半導体基体1と第2の半導体基体4とを対向させ結合電極5を用いて結合してハイブリッド半導体装置としたのち、前記Cd1-x Znx Te基板2の裏面側から該Cd1-x Znx Te基板2の少なくとも一部を硝酸、酢酸、過酸化水素、及び、水からなる混合溶液を選択エッチング液として用いて除去することを特徴とする。
なお、この場合、Cd1-x Znx Te基板2は若干残しても良いし或いは完全に除去しても良い。
また、本願特許請求の範囲においては、「半導体基板」なる用語が成長基板と混同されることを回避するため、成長基板上にエピタキシャル層を成長させたもの及びウェハ自体を「半導体基体」と称する。
【0016】
この様に、Cd1-x Znx Te基板2の少なくとも一部を選択エッチング液を用いて除去することにより、Cd1-x Znx Te基板2の熱膨張係数や熱容量の影響をなくすことができ、また、溶液によるウェットエッチングであるため、研磨法に比べてHg1-y Cdy Te層3にかかる物理的ダメージをなくすことができる。
【0017】
また、選択エッチング液として用いる硝酸、酢酸、過酸化水素、及び、水からなる混合溶液は、特に、硝酸、酢酸、過酸化水素、及び、水の容積比が、10〜50:10〜50:0〜10:30〜50の混合溶液を用いることが望ましく、それによって、ガラス容器等の使用が可能になる。
【0018】
また、選択エッチング工程において、エッチング液を撹拌しながらエッチングを行うことが望ましく、それによって、エッチングされるCd1-x Znx Te基板2表面に付着する反応生成物の堆積を防ぎ、エッチング時間の短縮とエッチングの均一性を向上させることができる。
【0019】
また、第1の半導体基体1のエッチングした表面に付着する反応生成物は、臭素とメタノールとの混合溶液、或いは、臭素とエチレングリコールとの混合溶液のいずれかを用いてエッチング除去することが望ましい。
【0020】
また、Cd1-x Znx Te基板2を除去した素子形成用のHg1-y Cdy Te(0<y<1)層3からなる第1の半導体基体1と第2の半導体基体4とを対向させ結合電極5を用いて結合してハイブリッド化半導体装置、特に、赤外線検知素子6からなる赤外線フォトダイオードアレイを構成することによって、熱サイクルによる劣化がなく、且つ、冷却効率の高いハイブリッド型半導体装置とすることができる。
【0021】
即ち、通常、赤外線検知装置を形成するにはHgCdTe層3は10〜20μmμm あれば十分であるが、ハンドリングを行うためには、Cd1-x Znx Te基板2の厚さとしては600〜800μm必要となり、Cd1-x Znx Te基板2と第2の半導体基体4、特に、Siとの熱膨張係数の差が原因で応力を受けることになるが、Cd1-x Znx Te基板2を除去しているので、この様な熱サイクルによる応力を受けることはない。
【0022】
また、第1の半導体基体1の熱容量はほとんどがCd1-x Znx Te基板2のものであるので、Cd1-x Znx Te基板2を除去することによって、第1の半導体基体1の熱容量は大きく減少し、冷却効率が高まることになる。
【0023】
【発明の実施の形態】
ここで、図2及び図3を参照して、本発明の実施の形態の赤外線検知装置の製造工程を説明する。
図2(a)参照
まず、従来と同様に、厚さが、例えば、800μmのCdTe基板11上に、厚さが、例えば、30μmで、Cd組成比が0.3のp型HgCdTe層12をエピタキシャル成長させたのち、Bイオンを150keVの加速エネルギーで、1×1013cm-2のドーズ量で注入してn型キャリア濃度が1×1018cm-3のn+ 型領域13を形成する。
【0024】
次いで、全面にZnS表面保護膜14を設けたのち、N2 雰囲気中で100〜200℃の温度で1時間程度のアニール処理を行い、イオン注入によって格子位置から遊離したHg、即ち、Hg格子間原子をp型HgCdTe層12中に拡散させる。
【0025】
次いで、ZnS表面保護膜14にコンタクトホールを設けたのち、n+ 型領域13に対してはInコンタクト電極15を設け、p型HgCdTe層12のサブコンタクト領域に対してはAuコンタクト電極16を設ける。
【0026】
次いで、水平シフトレジスタ及び垂直シフトレジスタ等(図示を省略)を設けたSi信号処理回路基板18の所定位置に設けたInバンプ17を利用して、室温において圧力によって冷間接続(コールドウエルド)させたのち、Inの融点以上に加熱し溶融することによって両者を貼り合わせる。
【0027】
図2(b)参照
次いで、CdTe基板11の裏面以外をワックス19で覆い、容量比が硝酸(HNO3 ):酢酸(CH3 COOH):過酸化水素(H2 O2 ):水(H2 O)=10〜50:10〜50:0〜10:30〜50、例えば、HNO3 :CH3 COOH:H2 O2 :H2 O=100cc:100cc:30cc:150ccのエッチング液20を用いてCdTe基板11を選択的にエッチング除去する。なお、エッチングに際してエッチング時間の短縮と均一化のためにスターラー等によりエッチング液を撹拌する。
【0028】
この場合のエッチングレートは約300μm/時であるので、予め設定した所定の厚さになるまでエッチングを行えば良い。
なお、ここではCdTe基板11を完全にエッチングすることとするが、このエッチング液20には、CdTeとHgCdTeに完全選択性があるので、CdTe基板11をほぼエッチングできる時間以上、十分な時間をかけることにより、CdTe基板11のみを選択的に精度良くエッチングすることができる。
【0029】
図3(c)参照
次いで、CdTe基板11を完全に除去したのち、Brとメタノール(CH3 OH)の混合溶液(Br:1.5重量%)からなるエッチング液21を用いて30秒程度のエッチングを行うことによって、選択エッチング工程において、p型HgCdTe層12の露出表面に付着したエッチング生成物(図示を省略)を除去する。
【0030】
図3(d)参照
次いで、キシレンからなる有機溶剤を用いてワックス19を除去することにより、赤外線検知素子を形成した多層基板を薄層したハイブリッド型赤外線検知装置の基本構成が完成する。
【0031】
この様に形成したハイブリッド型赤外線検知装置のSi信号処理回路基板18を液体窒素温度(77K)近傍まで冷却したコールドプレートに固着することによって、赤外線検知素子を形成したp型HgCdTe層12を急速に冷却することができ、高感度で赤外線22を検知することが可能になる。
【0032】
また、この様な赤外線検知工程を繰り返しても、赤外線検知素子を形成した多層基板を薄層化されているので、熱サイクルによるSi信号処理回路基板18との熱膨張係数の差に起因する応力による影響が低減し、Inバンプ17の剥離や赤外線検知素子の特性劣化を抑制することができる。
【0033】
以上、本発明の実施の形態を説明してきたが、本発明は実施の形態に記載した構成に限られるものではなく、各種の変更が可能である。
例えば、上記実施の形態の説明においては、p型HgCdTe層を成長させる成長基板としてCdTe基板を用いているが、CdTe基板に限られるものではなく、成長させるp型HgCdTe層のCd組成比に応じて格子整合するようにCd1-x Znx Te基板を用いても良いものである。
【0034】
また、上記の実施の形態においては、p型HgCdTe層のCd組成比を0.3としているが、0.3に限られるものではなく、検知対象となる赤外線の波長に応じてCd組成比を決定すれば良く、それに応じて、Cd1-x Znx Te基板のZn組成比xを0〜0.05の範囲にすることが望ましい。
【0035】
また、上記の実施の形態においては、選択エッチング工程で発生した反応生成物を、Brとメタノール(CH3 OH)との混合溶液でエッチングしているが、この様なエッチング液に限られるものではなく、Brとエチレングリコール(HOCH2 CH2 OH)の混合溶液を用いても良いものである。
【0036】
また、上記の実施の形態においては、選択エッチング液として、HNO3 +CH3 COOH+H2 O2 +H2 Oからなるエッチング液を用いているが、必ずしもこの様なエッチング液に限られるものではなく、場合によっては、HgCdTe層上に設けたCdTe表面保護膜に対する選択エッチング液として提案されているHF:HNO3 :CH3 COOH:H2 O=2〜5:3〜5:6:6からなるフッ酸系エッチング液(必要ならば、特開昭59−79582号公報参照)を用いても良いものである。
但し、この様なフッ酸系エッチング液はSiO2 をエッチングするので、エッチング槽等としてガラス容器を用いることができないという制約がある。
【0037】
また、上記の実施の形態においては、CdTe基板を完全に除去しているが、必ずしも完全に除去する必要はなく、1〜400μm程度の厚さのCdTe基板を残存させても良いものである。
【0038】
また、上記の実施の形態においては、CdTe基板をエッチング除去する際に、エッチングマスクとしてワックスを用いているが、ワックスに限られるものではなく、フォトレジストを用いても良いものである。
【0039】
また、上記の実施の形態においては熱サイクルによる熱疲労の大きなハイブリッド型の赤外線検知装置を例に説明しているが、必ずしも、赤外線検知装置に限られるものではなく、熱サイクルによる熱疲労が問題となる他のハイブリッド型の半導体装置にも適用されるものである。
【0040】
また、上記の実施の形態においてはハイブリッド型の赤外線検知装置を例に説明しているため、赤外線検知部を構成する第1の半導体基体と信号処理回路部を構成する第2の半導体基体は、互いに、熱膨張係数の異なる半導体で構成されているが、熱膨張係数の差はInバンプとの間でも問題となるので、他のハイブリッド型の半導体装置に適用した場合には、機能素子部を構成する第1の半導体基体と信号処理回路部を構成する第2の半導体基体は、同じ熱膨張係数を有していても効果があるものである。
【0041】
ここで、再び、図1を参照して、改めて本発明の詳細な特徴を説明する。
図1参照
(付記1) Cd1-x Znx Te(0≦x<0.05)基板2上に素子形成用のHg1-y Cdy Te(0<y<1)層3を形成した第1の半導体基体1と第2の半導体基体4とを対向させ結合電極5を用いて結合してハイブリッド半導体装置としたのち、前記Cd1-x Znx Te基板2の裏面側から該Cd1-x Znx Te基板2の少なくとも一部を硝酸、酢酸、過酸化水素、及び、水からなる混合溶液を選択エッチング液として用いて除去することを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記2) 上記第2の半導体基体4が、上記Cd1-x Znx Te基板2と異なった熱膨張係数を有する半導体から構成されることを特徴とする付記1記載の半導体装置の製造方法。
(付記3) 上記Cd1-x Znx Te基板2を完全に除去することを特徴とする付記1または2に記載の半導体装置の製造方法。
(付記4) 上記混合溶液における硝酸、酢酸、過酸化水素、及び、水の容積比が、10〜50:10〜50:0〜10:30〜50であることを特徴とする付記1記載の半導体装置の製造方法。
(付記5) 上記選択エッチング液を用いたエッチング工程において、エッチング液を撹拌しながらエッチングを行うことを特徴とする付記1乃至4のいずれか1に記載の半導体装置の製造方法。
(付記6) 上記選択エッチング液を用いたエッチング工程の後に、上記第1の半導体基板2のエッチングした表面に付着する反応生成物を、臭素とメタノールと混合溶液、或いは、臭素とエチレングリコールとの混合溶液のいずれかを用いてエッチング除去することを特徴とする付記1乃至5のいずれか1に記載の半導体装置の製造方法。
【0042】
【発明の効果】
本発明によれば、赤外線検知装置等のハイブリッド型半導体装置の機能素子側の基板であるCdZnTe基板或いはCdTe基板を選択性のあるエッチング液を用いてウェット・エッチングすることにより物理的ダメージを与えることなく薄層化或いは完全除去しているので、冷却サイクル時にバンプやHgCdTe層が受ける応力を低減させることができるとともに、機能素子部の熱容量を低減させることもできるため、冷却時間の短縮につながり、ひいては、信頼性の高いハイブリッド型半導体装置の実現に寄与するところが大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理的構成の説明図である。
【図2】本発明の実施の形態の途中までの製造工程の説明図である。
【図3】本発明の実施の形態の図2以降の製造工程の説明図である。
【図4】従来の赤外線検知装置の説明図である。
【符号の説明】
1 第1の半導体基体
2 Cd1-x Znx Te基板
3 Hg1-y Cdy Te層
4 第2の半導体基体
5 結合電極
6 赤外線検知素子
7 表面保護膜
8 コンタクト電極
9 コンタクト電極
10 赤外線
11 CdTe基板
12 p型HgCdTe層
13 n+ 型領域
14 ZnS表面保護膜
15 Inコンタクト電極
16 Auコンタクト電極
17 Inバンプ
18 Si信号処理回路基板
19 ワックス
20 エッチング液
21 エッチング液
22 赤外線
31 赤外線フォトダイオードアレイ
32 CdZnTe基板
33 p型HgCdTe層
34 n+ 型領域
35 ZnS表面保護膜
36 Inコンタクト電極
37 Auコンタクト電極
38 Inバンプ
41 Si信号処理回路基板
42 水平シフトレジスタ
43 垂直シフトレジスタ
44 赤外線
Claims (2)
- Cd1-x Znx Te(0≦x<0.05)基板上に素子形成用のHg1-y Cdy Te(0<y<1)層を形成した第1の半導体基体と第2の半導体基体とを対向させ結合電極を用いて結合してハイブリッド半導体装置としたのち、前記Cd1-x Znx Te基板の裏面側から該Cd1-x Znx Te基板の少なくとも一部を硝酸、酢酸、過酸化水素、及び、水からなる混合溶液を選択エッチング液として用いて除去することを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 上記選択エッチング液を用いたエッチング工程の後に、上記第1の半導体基板のエッチングした表面に付着する反応生成物を、臭素とメタノールと混合溶液、或いは、臭素とエチレングリコールとの混合溶液のいずれかを用いてエッチング除去することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
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