JP3752983B2 - 部材洗浄装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば、シリコンウェーハを収納するウェーハケースやその部品等を洗浄する部材洗浄装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
シリコンウェーハ等の半導体ウェーハを収納するウェーハケースは、プロセス中に付着した金属等の不純物やパーティクル及び各種薬剤等を除去するために使用後に洗浄が行われる。
【0003】
従来、ウェーハケースを洗浄する装置としては、例えばベルトコンベアを用いて多段式に洗浄を行うものが採用されている。すなわち、ウェーハケースを洗浄用ボックスに入れ、そのボックスをベルトコンベアによって移動させながら薬液や純水等の洗浄液を吹き付けるシャワー室内を複数通し、ウェーハケースの洗浄を行う装置が用いられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記洗浄装置では、以下のような課題が残されている。すなわち、ウェーハケースは通常複数枚のウェーハを収納するために複数の溝部が形成されていると共に、構造上必要な折り返し部が形成されており、従来のベルトコンベアに載せてシャワー洗浄する場合では、溝部内や折り返し部内の付着物や溜まった洗浄液等を除去し難く、溜まった洗浄液を後で落とす工程等が必要であった。また、ベルトコンベアには金属製の駆動部材が多く用いられているため、コンタミネーションが多くなるおそれがあった。さらに、十分な洗浄を行うために多段式に洗浄するため、装置全体のスペースが大きくなると共に薬液等の洗浄液量も多く、高コストとなってしまっていた。
【0005】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、溝部内や折り返し部内の付着物や溜まった洗浄液等を容易に除去でき、また、汚染等が少なく、低コストな洗浄ができる部材洗浄装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。
すなわち、本発明の部材洗浄装置は、被洗浄部材を取付け可能なラックと、
該ラックを収納する装置本体と、
該装置本体内の前記ラックに洗浄液を供給してラックとともに前記被洗浄部材を洗浄する洗浄液供給機構と、
前記装置本体に収納された前記ラックを少なくとも上下反転させるラック反転機構とを備えており、
前記ラックは、前記被洗浄部材であるウェーハケースのケース本体、蓋及びウェーハ押えを取り付けるものであり、
前記ラックは、前記被洗浄部材の各部品をセットする各挿入口と、取り付けた各部品が飛び出さないよう各挿入口を覆うように配された飛び出し防止板と、を有していることを特徴とする。
【0007】
この部材洗浄装置では、装置本体に収納されたラックを少なくとも上下反転させるラック反転機構を備えているので、ラックに溝部や折り返し部等があってもラック反転機構で上下反転させることにより、溝部内や折り返し部内に十分に洗浄液が行き渡ると共に、洗浄液が溜まることが無く、洗浄液を全て落とすことができる。また、ラックを反転させることにより、被洗浄部材に効率的に洗浄液を供給でき、多段式を採用しなくても十分な洗浄が可能になると共に、全体の洗浄液量を低減することができる。
【0008】
また、本発明の部材洗浄装置は、前記ラック反転機構が、前記ラックをその水平軸を中心にして回転させるラック回転機構であることが好ましい。
すなわち、この部材洗浄装置では、ラックをその水平軸を中心にして回転させるので、容易にかつ連続して上下反転させることができると共に、装置全体が大きくならず、省スペース化を図ることができる。
【0009】
また、本発明の部材洗浄装置は、前記ラックが前記装置本体から取り外し可能であることが好ましい。すなわち、この部材洗浄装置では、ラックが装置本体から取り外し可能であるので、ラックを取り出して被洗浄部材の取り付け及び取り外しができ、作業が容易になると共に種々のラックに取り替えることも可能になる。
【0010】
また、本発明の部材洗浄装置は、前記ラックが形状の異なる複数の前記被洗浄部材を取り付け可能であることが好ましい。すなわち、この部材洗浄装置では、ラックが形状の異なる複数の被洗浄部材を取り付け可能であるので、例えばウェーハケースの本体、蓋及びウェーハ押え等の部材をそれぞれ一つのラックで同時に洗浄することができる。
【0011】
また、本発明の部材洗浄装置は、前記洗浄液供給機構が、前記装置本体に収納された前記ラックの外側及び内側に配置され前記洗浄液をラックに向けて噴出するシャワーノズルを備えていることが好ましい。すなわち、この部材洗浄装置では、シャワーノズルがラックの外側及び内側に配置されるので、洗浄液をラックの外側及び内側の両方から吹き付けることができ、ラック内の部材を効率的に洗浄することができる。
【0012】
また、本発明の部材洗浄装置は、前記装置本体が、前記ラックを収納する領域からの前記洗浄液の排液を回収する洗浄液回収機構と、前記ラック反転機構の可動部材が配された領域からの廃液を前記洗浄液の排液とは別に回収する廃液回収機構とを備えていることが好ましい。すなわち、この部材洗浄装置では、洗浄液回収機構により、ラックを収納する領域から洗浄液の排液を回収して再利用することができると共に、廃液回収機構により、ラック反転機構の可動部材が配された領域からの排液を洗浄液の排液とは別に回収して洗浄液の排液に可動部材等から生じる汚染物が混入することを防ぐことができる。
【0013】
また、本発明の部材洗浄装置は、前記装置本体に収納された前記ラックの外側又は内側の少なくとも一方から温風をラックに向けて吹き付ける乾燥機構を備えていることが好ましい。すなわち、この部材洗浄装置では、洗浄が終わった後、ラックを取り出さずに、乾燥機構により、ラックに温風を吹き付けて被洗浄部材から洗浄液を吹き飛ばすと共に、乾燥させることができる。
【0014】
また、本発明の部材洗浄装置は、前記被洗浄部材が、半導体ウェーハを収納するウェーハケース又は該ウェーハケースの部品の少なくとも一方である場合に好適である。すなわち、ウェーハケース又は該ウェーハケースの部品の少なくとも一方を被洗浄部材とした場合、これらの部材は、ウェーハ収納のための溝部や構造上必要な折り返し部等が設けられているので、本発明の部材洗浄装置では、溝部や折り返し部に付着したコンタミネーションや溜まった洗浄液を容易に落とすことができ、十分な洗浄を行うことができる。
【0015】
また、本発明の部材洗浄装置は、前記装置本体が、少なくとも前記被洗浄部材を収納する領域に配設する部材は全て樹脂製であることが好ましい。すなわち、この部材洗浄装置では、少なくとも被洗浄部材を収納する領域に配設する部材が全て樹脂製であるので、金属製部材を用いた場合のように金属の汚染物が被洗浄部材に付着するおそれがない。
【0016】
また、本発明の部材洗浄装置は、前記装置本体が、前記洗浄液を貯留可能であり、内部に超音波発生機構を備えていることが好ましい。すなわち、この部材洗浄装置では、被洗浄部材を洗浄する際に装置本体内に洗浄液を貯留して、この中にラックを収納し、この状態で超音波発生機構により超音波を発生させることにより、超音波の振動効果等で特に被洗浄部材の溝部や折り返し部等を十分に洗浄することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る部材洗浄装置の第1実施形態を、図1から図4を参照しながら説明する。
図1にあって、符号1はラック、2は装置本体、3は洗浄液供給機構、4はラック反転機構を示している。
【0018】
図1は、本発明のケース洗浄装置(部材洗浄装置)を示すものであり、シリコンウェーハ(半導体ウェーハ)を複数枚収納可能なウェーハケースの部品A、すなわちケース本体、蓋、ウェーハ押え及びパッキン(被洗浄部材)を複数同時に洗浄するものである。
【0019】
このケース洗浄装置は、図1に示すように、ウェーハケースの部品Aを取付け可能なラック1と、該ラック1を収納する装置本体2と、該装置本体2内のラック1に洗浄液を供給してラック1を洗浄する洗浄液供給機構3と、装置本体2に収納されたラックを少なくとも上下反転させるラック反転機構4とを備えている。
【0020】
また、このケース洗浄装置は、装置本体2の両側に、ラック1にウェーハケースの部品Aを取り付ける装着用作業台5と、ラック1から洗浄済みのウェーハケースの部品Aを取り外す脱却用作業台6とを隣接して備えている。なお、装置本体2及び脱却用作業台6は、クリーンルーム7内にパーティション8を介して設置されている。
【0021】
さらに、装着用作業台5及び脱却用作業台6の上部には、ラック1を載せて回転可能な脱着用ターンテーブル9が水平移動可能に設けられ、脱着用ターンテーブル9の背面側にラック返却傾斜台10が設けられている。このラック返却傾斜台10は、脱却用作業台6から装着用作業台5に向けて徐々に低くなるように傾斜している。
【0022】
すなわち、ウェーハケースの部品Aが取り外されたラック1を、脱却用作業台6のラック返却傾斜台10に載せて装着用作業台5に向けて転がすことにより、パーティション8の返却口(図示略)を介してラック1を再び装着用作業台5に戻すことができる。なお、ラック返却傾斜台10の両端部には、ラック1を係止するクッション11a付きのストッパ11が立設されている。
【0023】
上記ラック1は、図1から図3に示すように、略円筒状に形成されており、軸方向両側からウェーハケースの部品Aをセットできるようになっている。すなわち、ラック1は、中央円板12とその両側に対向して配された一対の円形側板13とをラック軸棒14で互いに連結して構成され、円形側板13には、部品A、すなわちケース本体、蓋及びウェーハ押えの各挿入口13aが開口されている。
【0024】
また、ラック1内部には、挿入口13aから挿入された部品Aを固定するための固定ピン13bがそれぞれ設けられている。さらに、円形側板13には、パッキンを取り付けるための取付けピン13cが設けられている。
円形側板13の外側には、三日月状の一対の飛び出し防止板15が取り付けられている。これらの飛び出し防止板15は、下端部が円形側板13に回転可能に取り付けられ、開閉可能になっていると共に、上端部に止めピン15aがそれぞれ設けられ、両止めピン15aに止めゴム16を巻回することで固定できるようになっている。
【0025】
そして、これらの飛び出し防止板15を、開いた状態では各挿入口13aからウェーハケースの部品Aをラック1内に挿入可能になっており、閉めた状態では各挿入口13aを覆うように配されて、取り付けた部品Aが飛び出さないようになっている。なお、円形側板13には、飛び出し防止板15を開いたとき及び閉じたときの過剰移動を防止するために係止ピン13dが外面に設けられている。
【0026】
また、円形側板13及び中央円板12には、それぞれ中心軸上に中央開口部13eが形成されていると共に、該中央開口部13eから下端の外周部にわたってスリット部13fが形成されている。このスリット部13fは、ラック1を装置本体2に収納する際に、装置本体2内の内側ノズル棒部材17が中央開口部13eまで挿通可能にするものである。さらに、円形側板13の周縁部には、ラック1を装置本体2に収納した際に後述する装置本体2内のラック支持ピン18及びラック支持凸部19に係止する切欠き部13g、13h、13iが複数形成されている。
【0027】
上記装置本体2は、図4に示すように、上部にラック1を出し入れするための蓋部20と、該蓋部20に連結され蓋部20を開閉する蓋開閉用シリンダ21とを備えている。
上記洗浄液供給機構3は、装置本体2に収納されたラック1の外側にラック1に沿って配置される外側ノズル棒部材22と、装置本体2に収納されたラック1の内側(中央開口部13e内)に中心軸に沿って配置される内側ノズル棒部材17とを備えている。これらの外側ノズル棒部材22及び内側ノズル棒部材17には、それぞれ洗浄液を収納されたラック1に向けて噴出するシャワーノズル23が複数設けられている。
【0028】
なお、外側ノズル棒部材22及び内側ノズル棒部材17は、それぞれ薬液供給源24、洗浄水供給源25及び温風供給源26に接続されている。すなわち、これらの供給源を選択することにより、シャワーノズル23から薬液、洗浄水又は温風をラック1に吹き付けることが可能である。したがって、外側ノズル棒部材22、内側ノズル棒部材17及び温風供給源26は、ラック1及びウェーハケースの部品Aを乾燥させる乾燥機構としても機能する。
【0029】
上記ラック反転機構4は、装置本体2の外部に設けられ回転軸27aの先端が装置本体2内に配されたモータ27と、該モータ27の回転軸27a先端のモータ側ギヤ27bに噛み合って回転可能に設置された主ギヤ28と、主ギヤ28に同軸に取り付けられたラック支持部材29とを備えている。
主ギヤ28は、装置本体2に水平に設けられた中心軸部材30に回転可能に支持されていると共に、装置本体2の下部に設けられた一対の支持ギヤ31に下部で噛み合って支持されている。
【0030】
上記ラック支持部材29は、主ギヤ28及び中心軸部材30に固定された第1支持板32と、該第1支持板32に対向して中心軸部材30に固定された第2支持板33と、これら第1支持板32と第2支持板33とに懸架された3つのラック支持ピン18とから構成され、第1支持板32及び第2支持板33には、それぞれ内側上部に切欠き部13iに係止するラック支持凸部19が形成されている。
【0031】
また、装置本体2の上部及び下部には、主ギヤ28とラック支持部材29との間を仕切る仕切板34が設けられている。また、装置本体2は、ラック1を収納する領域、すなわち仕切板34よりラック支持部材29側の領域の洗浄液の排液を回収するために、洗浄液回収機構として底部35が傾斜して形成され最下部に排液回収口36が設けられている。
【0032】
さらに、装置本体2は、ラック反転機構4の可動部材(主ギヤ28、モータ側ギヤ27b及び支持ギヤ31)が配された領域、すなわち仕切板34より主ギヤ28側の領域からの廃液を洗浄液の排液とは別に回収するために、廃液回収機構として仕切板34より主ギヤ28側下部に廃液受け37と廃液排出口38とを備えている。
【0033】
なお、装置本体2内の各部材は、全て樹脂製(例えば、PVC等)である。すなわち、金属製部材を用いないことにより、金属等のコンタミネーションがラック1やウェーハケースの部品Aに付着することを防止している。
【0034】
次に、第1実施形態のケース洗浄装置によるウェーハケースの部品の洗浄方法について、説明する。
【0035】
まず、装着用作業台5上の脱着用ターンテーブル9にラック1を載置すると共に、ラック1内にウェーハケースの各部品Aを取り付ける。すなわち、ラック1の飛び出し防止板15を開いた状態にし、各挿入口13aから対応する各部品Aを挿入すると共に固定ピン13bで固定する。また、パッキンは、取付けピン13cに取り付ける。
各部品Aを取り付けた後、一対の飛び出し防止板15を閉めた状態にし、両方の止めピン15aに止めゴム16を巻回して飛び出し防止板15を固定する。
【0036】
次に、このラック1をクリーンルーム7内に搬入すると共に、装置本体2の蓋部20を蓋開閉用シリンダ21で開けてラック1を装置本体2内に入れる。この際、ラック1のスリット部13fを下方に向けて装置本体2のラック支持部材29内に降ろすと共に、スリット部13fに内側ノズル棒部材17を挿通させる。そして、ラック1をラック支持部材29内に完全に降ろすと、ラック1の切欠き部13g、13h、13iにラック支持ピン18及びラック支持凸部19が係止してラック1が固定される。
【0037】
ラック1が固定された後、蓋部20を閉めて装置本体2を密閉し、洗浄液供給機構3により、薬液供給源24から薬液を供給し、外側ノズル棒部材22及び内側ノズル棒部材17を介して薬液をシャワーノズル23からラック1へ吹き付けて洗浄を行う。また、同時にラック反転機構4により、モータ27を駆動して、モータ側ギヤ27b及び主ギヤ28を介してラック支持部材29及びラック1を回転させる。このとき、ラック1に吹き付けられた薬液は、ラック1が回転により連続的に上下反転させられるため、溝部や折り返し部にも十分に薬液が行き渡る。
【0038】
薬液の吹き付けを終了した後、次に洗浄水供給源25から洗浄水を供給し、外側ノズル棒部材22及び内側ノズル棒部材17を介して洗浄水をシャワーノズル23からラック1へ吹き付けて薬液を洗い流す。この場合も、ラック1が回転しているため、溝部や折り返し部に溜まった薬液を十分に洗浄水で洗い流すことができる。
【0039】
十分に洗浄水を吹き付けた後、次に温風供給源26から温風を供給し、外側ノズル棒部材22及び内側ノズル棒部材17を介して温風をシャワーノズル23からラック1へ吹き付けて乾燥を行う。この場合も、ラック1が回転しているため、溝部や折り返し部に溜まった洗浄水を十分に温風で吹き飛ばし、乾燥させることができる。
【0040】
乾燥終了後、蓋部20を開けて装置本体2内からラック1を取り出し、脱却用作業台6の脱着用ターンテーブル9に載せて飛び出し防止板15の固定を解除すると共に、ウェーハケースの各部品Aをラック1から取り外す。なお、ラック1は、ラック返却傾斜台10に載せて下方に転がすことにより、装着用作業台5へと戻される。
【0041】
次に、本発明に係る部材洗浄装置の第2実施形態を、図5を参照しながら説明する。
【0042】
第2実施形態と第1実施形態との異なる点は、第1実施形態ではラック1にシャワーノズル23から洗浄液を吹き付けて洗浄を行っているのに対し、第2実施形態では、図5に示すように、装置本体40が洗浄液Lを貯留可能であり、内部に超音波発生装置(超音波発生機構)41を備えている点である。
【0043】
すなわち、第2実施形態では、ラック1を装置本体40内に収納した状態で、上部のシャワーノズル23から洗浄液Lを噴出させてラック1全体が浸されるように洗浄液Lを貯留し、さらに超音波発生装置41から超音波を発生させてラック1及びウェーハケースの部品Aを洗浄する。
このように本実施形態では、洗浄液Lによる洗浄効果だけでなく、超音波の振動で特にウェーハケースの部品Aの溝部や折り返し部等の細かな部分を十分に洗浄することができる。
【0044】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
上記各実施形態では、円筒形状のラック1を採用したが、他の形状のものを用いても構わない。
また、薬液、洗浄水及び温風のいずれも同じシャワーノズル23から吹き付けているが、それぞれ別々のノズルを設けて吹き付けても構わない。
【0045】
【発明の効果】
本発明によれば、以下の効果を奏する。
本発明の部材洗浄装置によれば、装置本体に収納されたラックを少なくとも上下反転させるラック反転機構を備えているので、ラックを上下反転させることにより、被洗浄部材の溝部内や折り返し部内等に十分に洗浄液が行き渡ると共に、洗浄液が溜まることが無く、洗浄液を全て落とすことができ、高い洗浄効果を得ることができる。そして、洗浄後に被洗浄部材中に溜まった洗浄液を落とす工程が不要になり、作業の手間が少なくなると共に作業コストを低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る部材洗浄装置の第1実施形態におけるケース洗浄装置を示す全体正面図である。
【図2】 本発明に係る部材洗浄装置の第1実施形態における装置本体内のラックとシャワーノズルとを示す側面図である。
【図3】 本発明に係る部材洗浄装置の第1実施形態における装置本体内のラックとシャワーノズルとを示す上面図である。
【図4】 本発明に係る部材洗浄装置の第1実施形態における装置本体を示す断面図である。
【図5】 本発明に係る部材洗浄装置の第2実施形態における装置本体を示す概略的な断面図である。
【符号の説明】
1 ラック
2、40 装置本体
3 洗浄液供給機構
4 ラック反転機構(ラック回転機構)
17 内側ノズル棒部材
22 外側ノズル棒部材
23 シャワーノズル
26 温風供給源(乾燥機構)
35 底部(洗浄液回収機構)
36 排液回収口(洗浄液回収機構)
37 廃液受け(廃液回収機構)
38 廃液排出口(廃液回収機構)
41 超音波発生装置(超音波発生機構)
A ウェーハケースの部品(被洗浄部材)
Claims (7)
- 被洗浄部材を取付け可能なラックと、
該ラックを収納する装置本体と、
該装置本体内の前記ラックに洗浄液を供給してラックとともに前記被洗浄部材を洗浄する洗浄液供給機構と、
前記装置本体に収納された前記ラックを少なくとも上下反転させるラック反転機構とを備えており、
前記ラックは、前記被洗浄部材であるウェーハケースのケース本体、蓋及びウェーハ押えを取り付けるものであり、
前記ラックは、前記被洗浄部材の各部品をセットする各挿入口と、取り付けた各部品が飛び出さないよう各挿入口を覆うように配された飛び出し防止板と、を有していることを特徴とする部材洗浄装置。 - 請求項1に記載の部材洗浄装置において、
前記ラック反転機構は、前記ラックをその水平軸を中心にして回転させるラック回転機構であることを特徴とする部材洗浄装置。 - 請求項1又は2に記載の部材洗浄装置において、
前記ラックは、前記装置本体から取り外し可能であることを特徴とする部材洗浄装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の部材洗浄装置において、
前記洗浄液供給機構は、前記装置本体に収納された前記ラックの外側及び内側に配置され前記洗浄液をラックに向けて噴出するシャワーノズルを備えていることを特徴とする部材洗浄装置。 - 請求項1から4のいずれかに記載の部材洗浄装置において、
前記装置本体は、前記ラックを収納する領域からの前記洗浄液の排液を回収する洗浄液回収機構と、
前記ラック反転機構の可動部材が配された領域からの廃液を前記洗浄液の排液とは別に回収する廃液回収機構とを備えていることを特徴とする部材洗浄装置。 - 請求項1から5のいずれかに記載の部材洗浄装置において、
前記装置本体に収納された前記ラックの外側又は内側の少なくとも一方から温風をラックに向けて吹き付ける乾燥機構を備えていることを特徴とする部材洗浄装置。 - 請求項1から6に記載の部材洗浄装置において、
前記装置本体は、少なくとも前記被洗浄部材を収納する領域に配設する部材は全て樹脂製であることを特徴とする部材洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000274071A JP3752983B2 (ja) | 2000-09-08 | 2000-09-08 | 部材洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000274071A JP3752983B2 (ja) | 2000-09-08 | 2000-09-08 | 部材洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002079191A JP2002079191A (ja) | 2002-03-19 |
JP3752983B2 true JP3752983B2 (ja) | 2006-03-08 |
Family
ID=18759901
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000274071A Expired - Fee Related JP3752983B2 (ja) | 2000-09-08 | 2000-09-08 | 部材洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3752983B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11701557B2 (en) | 2017-08-10 | 2023-07-18 | Taylor Made Golf Company, Inc. | Golf club heads |
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2000
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002079191A (ja) | 2002-03-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050726 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050916 |
|
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