JP3751416B2 - 基板のラミネート方法およびラミネータ - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液状レジストを塗布された基板の表面を保護するための技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント回路基板等を製造するために、基板の両面に液状のフォトレジスト材料を塗布することはよく知られている。液状レジストは、スプレーやカーテンコーターを用いて基板に塗布される。液状レジストは粘着性を有するため、ゴミが付着しやすく、傷や汚れもつきやすい。いったんゴミが付着するとこれを除去することは非常に困難である。特に高密度のパターンが要求される場合には、不良品発生の原因となるゴミの付着等は完全に近い状態で防止しなくてはならない。
【０００３】
従来は、塗布された液状レジストを強制的に乾燥させることにより粘着性を低下させ、ゴミを付着しにくくしていた。しかしながら、この方法では乾燥中にレジストがある程度感光してしまうという不都合があった。また、レジスト面が露出した状態のままだと、取り扱いにも十分に注意する必要があり、搬送時など、露光前にレジスト面が汚されるおそれがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明が解決しようとする課題は、液状レジストを塗布された基板の表面を有効に保護することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の基本的考えは、液状レジストを塗布された基板の両面を保護フィルムで覆うということである。
【０００６】
基板の表面をフィルムでラミネートする技術としては、基板の両面に感光性ドライフィルムをラミネートするためのオートカットラミネータ（特公昭６２−４９１６９号公報等を参照）が知られている。かかるオートカットラミネータは、一対のフィルムロール、一対の仮付け部材、一対の圧着ロールおよび一対のフィルムカッターなどから構成されている。感光性ドライレジストを有するフィルムを巻いた状態の一対のフィルムロールから引き出されたウェブ状のフィルムの先端部は、仮付け部材により吸着保持され、基板の前端に近づけられる。フィルム先端部は、基板の前端に押し当てられることにより、仮付けされる。基板の両面の前端にそれぞれドライレジストフィルムの先端部を仮付けされた基板は、一対の圧着ロール間に送られ、前端から後端にいたるまで連続的にドライレジストフィルムをラミネートされてゆく。このラミネート作業中、ウェブ状のフィルムはカッターによって基板に対応する長さに切断される。ドライフィルムは高価なため、無駄にしないよう、幅、長さとも、基板を越える大きさとされることはない。
【０００７】
かかるオートカットラミネータは、本発明の上記課題を解決するためにそのまま応用することはできない。その理由は、乾いた状態の基板にドライレジストフィルムをラミネートするのではなく、液状レジストを塗布された基板に保護用フィルムをラミネートする必要があるからである。もし、ドライレジストフィルムをラミネートするときと同じ手法で、液状レジストを塗布されて流動的な状態にある基板の前端に保護フィルムの先端部を仮付けしようとしても、仮付けは不十分な状態となり、基板を一対の圧着ロール間に送り込む際に基板とフィルムとをうまく一緒に導入させることができない。また、基板の前端の外側で保護フィルムどうしを仮圧着してから基板とフィルムとを別々に圧着ロール間に送り込むようにすると、両者間の相対位置が決まらず、やはりうまく導入されない。さらに、フィルムの内側に気泡を巻き込みやすくなる。
【０００８】
そこで本発明においては、一対の保護フィルムの先端部のうち、基板の前端を越えて向き合うべき前方突出部分どうしを互いに仮圧着すると同時に、該前方突出部分に隣接する部分を基板の表側および裏側にて基板の前端上に仮付けするようにし、フィルム先端部が強固な状態で基板の前端に保持されるようにした。
【０００９】
具体的に、本発明によれば、
液状レジストを塗布された基板を用意する段階と、
該基板を越える長さを有する一対の保護フィルムを用意する段階と、
該一対のフィルムのそれぞれの先端部を前記基板の表側および裏側から該基板の前端に近づける段階と、
前記一対のフィルムの前記先端部のうち前記基板の前端を越えて向き合うべき前方突出部分どうしを互いに仮圧着すると同時に、該前方突出部分に隣接する部分を前記基板の表側および裏側にて該基板の前端上に仮付けする段階と、
前記フィルムの前記先端部を前端に仮付けされた状態の前記基板を該前端側から一対の圧着ロール間に通すことにより、前記前方突出部分どうしを互いに圧着し、前記基板の両面を前端から後端まで前記一対のフィルムで連続的にラミネートし、前記基板の後端を越えて向き合うべき前記一対のフィルムの後方突出部分どうしを互いに圧着する段階と、
を備える基板のラミネート方法が提供される。
【００１０】
前記一対のフィルムを、前記基板を越える幅を有するものとし、
前記基板を前記一対の圧着ロール間に通すことにより、前記基板の左右の側端を越えて向き合う前記一対のフィルムの側方突出部分どうしを互いに圧着するようにすることができる。
【００１１】
あるいはまた、前記一対のフィルムが、前記基板とほぼ同一の幅を有していることとしてもよい。
【００１２】
前記基板を越える長さを有する前記一対のフィルムは、フィルムロールから引き出された連続するウェブ状のフィルムを切断して形成するようにしてもよい。
【００１３】
前記一対の圧着ロール間を通過した基板を、さらに第２の対の圧着ロール間に通すようにしてもよい。
【００１４】
また、本発明によれば、
液状レジストを塗布された基板を越える長さの一対の保護フィルムの先端部を保持可能な端部を有する一対の仮付け部材にして、前記基板の両面のそれぞれの前端に近接可能な一対の仮付け部材と、
前記一対のフィルムを前記基板の両面にそれぞれラミネートするための一対の圧着ロールと、
を備え、
前記一対の仮付け部材のそれぞれの前記端部が弾性体を含み、該弾性体は、保持した前記フィルムの前記先端部のうち前記基板の前端を越えて向き合うべき前方突出部分に当接して該前方突出部分どうしを互いに仮圧着するための第１の部分と、該前方突出部分に隣接する部分に当接し該隣接部分を前記基板の表側および裏側にて該基板の前端上に仮付けするための第２の部分とを有しており、
前記一対の圧着ロールは、前記基板を越える幅を有しており、前記フィルムの前記先端部の前記前方突出部分どうしを互いに圧着し、前記基板の両面を前端から後端まで前記一対のフィルムで連続的にラミネートし、前記基板の後端を越えて向き合う前記一対のフィルムの後方突出部分どうしを互いに圧着可能となされている、
ラミネータが提供される。
【００１５】
前記仮付け部材の前記弾性体には、前記フィルムの前記先端部を吸着保持するための複数の吸引孔を形成することができる。
【００１６】
前記弾性体に保持された前記フィルムの前記先端部を加熱するためのヒータを設けるようにしてもよい。
【００１７】
前記フィルムを前記基板を越える寸法の幅を有するものとし、前記一対の圧着ロールが、前記一対のフィルムのうち前記基板の左右の側端を越えて向き合うべき側方突出部分どうしを互いに圧着可能となされているようにしてもよい。
【００１８】
あるいはまた、前記フィルムを前記基板を越えない寸法の幅を有するものとしてもよい。
【００１９】
前記弾性体の前記第１の部分を、前記基板に垂直な方向に沿って前記第２の部分よりも突出するようにし、厚い基板に対応するようにしてもよい。
【００２０】
前記一対の圧着ロールの下流側には、さらに第２の対の圧着ロールを設けてもよい。
【００２１】
一対のフィルムロールと、
該フィルムロールから引き出されたウェブ状のフィルムを切断して、前記基板を越える長さの前記一対のフィルムを形成するための一対のカッターと、
をさらに備えるようにしてもよい。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明によるラミネータの一実施例によって、液状レジストを塗布された基板の両面に一対の保護用フィルムをラミネートする一連の段階を示す、概略断片側面図である。なお、図１ないし図３のすべてにおいて、基板の両面に塗布された液状レジストは、煩雑を避けるため、図示省略してある。
【００２３】
ラミネータは、保護フィルムを巻いた状態の上下一対のフィルムロール（図示せず）と、上下一対の仮付け部材１と、上下一対の圧着ロール２と、上下一対のカッター３とを備える。それぞれの仮付け部材１は、フィルムロールから引き出されたウェブ状の保護用フィルム４の先端部４ａを保持する端部１ａを有している。端部１ａは弾性体５を含む。該弾性体５を含め、仮付け部材１の全体は、基板６を越える幅を有し、図１の紙面に垂直な方向に延びている。
【００２４】
図１Ｂに示すように、仮付け部材１は中空部分１ｂを有し、フィルムを吸着させるための吸引孔７が前壁８に設けられている。図２に示すように、吸引孔７は弾性体５にも形成されている。これらの吸引孔７を通して選択的に真空吸引を行うことにより、フィルム４を仮付け部材１に吸着させたり解放させたりすることができる。
【００２５】
図１Ａに示すように、圧着ロール２に向かって左方から搬送されてきた基板６は、図１Ａの位置でいったん停止される。次いで、フィルム４の先端部４ａを吸着保持した仮付け部材１が矢印Ａのように移動して基板６の前端６ａに近接する。
【００２６】
次に、図１Ｂおよび図２に示すように、仮付け部材１は、端部１ａの弾性体５に保持されたフィルム４の先端部４ａを基板６の前端６ａに押し付ける。このとき、基板６の前端６ａのエッジが、弾性体５のほぼ中間位置にくるようにする。すると、弾性体５に保持されたフィルム４の先端部４ａの一部（最先端部）が基板６の前端６ａを越えて向き合うべき前方突出部分４ｂとなって互いに仮圧着され、同時に、前方突出部分４ｂに隣接する部分４ｃが基板６の表側および裏側の前端６ａに仮付けされる。弾性体５のうち、前方突出部分４ｂどうしを互いに仮圧着する部分を第１の部分５ａとし、隣接部分４ｃを基板６の前端６ａに仮付けする部分を第２の部分５ｂとする。
【００２７】
図２の実施例では、弾性体５の第１の部分５ａおよび第２の部分５ｂは互いに連続するほぼ平坦な面を有しており、基板６を挟んで互いに押圧されたとき、基板６ａの厚みにより、第２の部分５ｂは第１の部分５ａよりも大きく圧縮されている。しかしながら、基板６がもっと厚い場合には、最初から第１の部分５ａと第２の部分５ｂとの間に高さの差を設け、第１の部分５ａの方が基板６に垂直な方向に沿って第２の部分５ｂよりも突出しているようにするのが好ましい。このようにすれば、第２の部分５ｂが過剰に変形することが避けられる。
【００２８】
このようにして、フィルム先端部４ａの最先端部を前方突出部分４ｂとして互いに仮圧着し、同時に、隣接部分４ｃを基板６の前端６ａに仮付けすることにより、フィルム先端部４ａは基板６に対して強固に保持される。基板６に対するフィルム４の仮付けが終了すると、一対の仮付け部材１はフィルム４を吸着から解放し、それぞれ上下の後退位置（図示せず）へと戻る。
【００２９】
次に、仮付けが終了した基板６は、前端６ａ側から一対の圧着ロール２間へ送り込まれる（図１Ｃ参照）。フィルム先端部４ａの前方突出部分４ｂどうしが仮圧着された部分は比較的薄いので、圧着ロール２間への導入はスムーズに行われる。また、前方突出部分４ｂに隣接する部分４ｃが基板６の前端６ａに仮付けされているので、基板６はフィルム４からずれることなく圧着ロール２間へと入り込んでゆく。
【００３０】
一対の圧着ロール２は、最初に、仮圧着された前方突出部分４ｂどうしを強固に圧着し、続いて、基板６の両面にフィルム４をラミネートしてゆく。この間、フィルム４はフィルムロールから引き出され、フィルムガイド９に案内されながら圧着ロール２に向かう。
【００３１】
このラミネート作業の間に、フィルム４は基板６を越える所定の長さに切断されることができる。このフィルム切断は、フィルム４の流れ方向に沿って該フィルム４と同じ速度で移動可能な一対のカッター（図示実施例ではロータリーカッター）３によって行うことができる。すなわち、仮付け部材１とともにそれぞれ上下の後退位置（図示せず）にてフィルム４の側方に待機していたカッター３は、フィルム切断のタイミングを指示する信号に従って、ラミネート中のフィルム４と同方向および同速度で移動し始める。該移動中にカッター３が横方向に走行することにより、フィルム４を指示どおり基板６を越える所定長さに切断することができる。フィルム４を越える幅を有するカッターバックアップ１０が、フィルム４の裏側でカッター３とともにフィルム４と同方向および同速度で移動するように設けられており、カッター３は該カッターバックアップ１０と協働してフィルム４の切断を行う。
【００３２】
基板６を越える所定の長さに切断された一対のフィルム４の後端部は、基板６の後端を越えて向き合うべき後方突出部分４ｄとなり、圧着ロール２によって互いに圧着される（図３および図４を参照）。
【００３３】
このようにして、一対の圧着ロール２により、液状レジストを塗布された基板の両面を保護用フィルムでラミネートすることができたが、別の一対の圧着ロール（図示せず）を用いて基板を更にもう一度加圧するようにしてもよい。そうすることにより、フィルムの接着性が向上する。別に設ける一対の圧着ロールは、より柔らかいものとすることができる。
【００３４】
フィルム４の幅を基板６とほぼ同一とした場合には、図４Ａに示すように基板６の前後においてフィルム４の前方突出部分４ｂどうし並びに後方突出部分４ｄどうしが互いに圧着されることになるが、フィルム４の幅を基板６の幅を越えるものとした場合には、図４Ｂに示すように、基板６の左右の側端を越えて向き合うフィルム４の側方突出部分４ｅができ、該側方突出部分４ｅどうしは圧着ロール２によって互いに圧着される。その結果、基板は、圧着されたフィルム４の前方突出部分４ｂ、後方突出部分４ｄおよび側方突出部分４ｅによって四方を封止された状態となり、密封性を得ることができる。
【００３５】
フィルム４の各突出部分４ｂ、４ｄ、４ｅにおける圧着性を高めるために、弾性体５に保持されたときのフィルム先端部４ａを加熱するためのヒータ（図示せず）を設けることが好ましい。かかるヒータは、弾性体５内に内蔵してもよいし、弾性体５以外の仮付け部材１の一部、その他の箇所に設けてもよい。
【００３６】
【発明の効果】
本発明によれば、液状レジストを塗布された基板の表面を完全に近い状態で保護することができるので、露光前の取り扱いも楽であり、搬送時などにレジスト面が汚される心配がない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるラミネータの一実施例によって基板の両面に保護フィルムをラミネートする一連の段階を示す概略断片側面図であり、（Ａ）はフィルム仮付け前の段階、（Ｂ）はフィルム仮付け時の段階、（Ｃ）はフィルム仮付け後の基板を一対の圧着ロールに送り込もうとする段階を示し、（Ｂ）においては仮付け部材の断面を示してある。
【図２】図１Ｂにおいて円ＩＩで囲んだ部分の拡大図。
【図３】両面をラミネートされた基板の縦断面図。
【図４】両面をラミネートされた基板の上面図であり、（Ａ）は基板とほぼ同じ幅を有するフィルムをラミネートした場合、（Ｂ）は基板を越える幅を有するフィルムをラミネートした場合である。
【符号の説明】
１ 仮付け部材、１ａ 仮付け部材の端部、１ｂ 中空部分、２ 圧着ロール、３ カッター、４ フィルム、４ａ フィルムの先端部、４ｂ 前方突出部分、４ｃ 前方突出部分に隣接する部分、４ｄ 後方突出部分、４ｅ 側方突出部分、５ 弾性体、５ａ 第１の部分、５ｂ 第２の部分、６ 基板、６ａ 基板の前端、７ 吸引孔、８ 仮付け部材の前壁、９ フィルムガイド、１０ カッターバックアップ。
【発明の属する技術分野】
本発明は、液状レジストを塗布された基板の表面を保護するための技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
プリント回路基板等を製造するために、基板の両面に液状のフォトレジスト材料を塗布することはよく知られている。液状レジストは、スプレーやカーテンコーターを用いて基板に塗布される。液状レジストは粘着性を有するため、ゴミが付着しやすく、傷や汚れもつきやすい。いったんゴミが付着するとこれを除去することは非常に困難である。特に高密度のパターンが要求される場合には、不良品発生の原因となるゴミの付着等は完全に近い状態で防止しなくてはならない。
【０００３】
従来は、塗布された液状レジストを強制的に乾燥させることにより粘着性を低下させ、ゴミを付着しにくくしていた。しかしながら、この方法では乾燥中にレジストがある程度感光してしまうという不都合があった。また、レジスト面が露出した状態のままだと、取り扱いにも十分に注意する必要があり、搬送時など、露光前にレジスト面が汚されるおそれがある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
そこで本発明が解決しようとする課題は、液状レジストを塗布された基板の表面を有効に保護することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の基本的考えは、液状レジストを塗布された基板の両面を保護フィルムで覆うということである。
【０００６】
基板の表面をフィルムでラミネートする技術としては、基板の両面に感光性ドライフィルムをラミネートするためのオートカットラミネータ（特公昭６２−４９１６９号公報等を参照）が知られている。かかるオートカットラミネータは、一対のフィルムロール、一対の仮付け部材、一対の圧着ロールおよび一対のフィルムカッターなどから構成されている。感光性ドライレジストを有するフィルムを巻いた状態の一対のフィルムロールから引き出されたウェブ状のフィルムの先端部は、仮付け部材により吸着保持され、基板の前端に近づけられる。フィルム先端部は、基板の前端に押し当てられることにより、仮付けされる。基板の両面の前端にそれぞれドライレジストフィルムの先端部を仮付けされた基板は、一対の圧着ロール間に送られ、前端から後端にいたるまで連続的にドライレジストフィルムをラミネートされてゆく。このラミネート作業中、ウェブ状のフィルムはカッターによって基板に対応する長さに切断される。ドライフィルムは高価なため、無駄にしないよう、幅、長さとも、基板を越える大きさとされることはない。
【０００７】
かかるオートカットラミネータは、本発明の上記課題を解決するためにそのまま応用することはできない。その理由は、乾いた状態の基板にドライレジストフィルムをラミネートするのではなく、液状レジストを塗布された基板に保護用フィルムをラミネートする必要があるからである。もし、ドライレジストフィルムをラミネートするときと同じ手法で、液状レジストを塗布されて流動的な状態にある基板の前端に保護フィルムの先端部を仮付けしようとしても、仮付けは不十分な状態となり、基板を一対の圧着ロール間に送り込む際に基板とフィルムとをうまく一緒に導入させることができない。また、基板の前端の外側で保護フィルムどうしを仮圧着してから基板とフィルムとを別々に圧着ロール間に送り込むようにすると、両者間の相対位置が決まらず、やはりうまく導入されない。さらに、フィルムの内側に気泡を巻き込みやすくなる。
【０００８】
そこで本発明においては、一対の保護フィルムの先端部のうち、基板の前端を越えて向き合うべき前方突出部分どうしを互いに仮圧着すると同時に、該前方突出部分に隣接する部分を基板の表側および裏側にて基板の前端上に仮付けするようにし、フィルム先端部が強固な状態で基板の前端に保持されるようにした。
【０００９】
具体的に、本発明によれば、
液状レジストを塗布された基板を用意する段階と、
該基板を越える長さを有する一対の保護フィルムを用意する段階と、
該一対のフィルムのそれぞれの先端部を前記基板の表側および裏側から該基板の前端に近づける段階と、
前記一対のフィルムの前記先端部のうち前記基板の前端を越えて向き合うべき前方突出部分どうしを互いに仮圧着すると同時に、該前方突出部分に隣接する部分を前記基板の表側および裏側にて該基板の前端上に仮付けする段階と、
前記フィルムの前記先端部を前端に仮付けされた状態の前記基板を該前端側から一対の圧着ロール間に通すことにより、前記前方突出部分どうしを互いに圧着し、前記基板の両面を前端から後端まで前記一対のフィルムで連続的にラミネートし、前記基板の後端を越えて向き合うべき前記一対のフィルムの後方突出部分どうしを互いに圧着する段階と、
を備える基板のラミネート方法が提供される。
【００１０】
前記一対のフィルムを、前記基板を越える幅を有するものとし、
前記基板を前記一対の圧着ロール間に通すことにより、前記基板の左右の側端を越えて向き合う前記一対のフィルムの側方突出部分どうしを互いに圧着するようにすることができる。
【００１１】
あるいはまた、前記一対のフィルムが、前記基板とほぼ同一の幅を有していることとしてもよい。
【００１２】
前記基板を越える長さを有する前記一対のフィルムは、フィルムロールから引き出された連続するウェブ状のフィルムを切断して形成するようにしてもよい。
【００１３】
前記一対の圧着ロール間を通過した基板を、さらに第２の対の圧着ロール間に通すようにしてもよい。
【００１４】
また、本発明によれば、
液状レジストを塗布された基板を越える長さの一対の保護フィルムの先端部を保持可能な端部を有する一対の仮付け部材にして、前記基板の両面のそれぞれの前端に近接可能な一対の仮付け部材と、
前記一対のフィルムを前記基板の両面にそれぞれラミネートするための一対の圧着ロールと、
を備え、
前記一対の仮付け部材のそれぞれの前記端部が弾性体を含み、該弾性体は、保持した前記フィルムの前記先端部のうち前記基板の前端を越えて向き合うべき前方突出部分に当接して該前方突出部分どうしを互いに仮圧着するための第１の部分と、該前方突出部分に隣接する部分に当接し該隣接部分を前記基板の表側および裏側にて該基板の前端上に仮付けするための第２の部分とを有しており、
前記一対の圧着ロールは、前記基板を越える幅を有しており、前記フィルムの前記先端部の前記前方突出部分どうしを互いに圧着し、前記基板の両面を前端から後端まで前記一対のフィルムで連続的にラミネートし、前記基板の後端を越えて向き合う前記一対のフィルムの後方突出部分どうしを互いに圧着可能となされている、
ラミネータが提供される。
【００１５】
前記仮付け部材の前記弾性体には、前記フィルムの前記先端部を吸着保持するための複数の吸引孔を形成することができる。
【００１６】
前記弾性体に保持された前記フィルムの前記先端部を加熱するためのヒータを設けるようにしてもよい。
【００１７】
前記フィルムを前記基板を越える寸法の幅を有するものとし、前記一対の圧着ロールが、前記一対のフィルムのうち前記基板の左右の側端を越えて向き合うべき側方突出部分どうしを互いに圧着可能となされているようにしてもよい。
【００１８】
あるいはまた、前記フィルムを前記基板を越えない寸法の幅を有するものとしてもよい。
【００１９】
前記弾性体の前記第１の部分を、前記基板に垂直な方向に沿って前記第２の部分よりも突出するようにし、厚い基板に対応するようにしてもよい。
【００２０】
前記一対の圧着ロールの下流側には、さらに第２の対の圧着ロールを設けてもよい。
【００２１】
一対のフィルムロールと、
該フィルムロールから引き出されたウェブ状のフィルムを切断して、前記基板を越える長さの前記一対のフィルムを形成するための一対のカッターと、
をさらに備えるようにしてもよい。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明によるラミネータの一実施例によって、液状レジストを塗布された基板の両面に一対の保護用フィルムをラミネートする一連の段階を示す、概略断片側面図である。なお、図１ないし図３のすべてにおいて、基板の両面に塗布された液状レジストは、煩雑を避けるため、図示省略してある。
【００２３】
ラミネータは、保護フィルムを巻いた状態の上下一対のフィルムロール（図示せず）と、上下一対の仮付け部材１と、上下一対の圧着ロール２と、上下一対のカッター３とを備える。それぞれの仮付け部材１は、フィルムロールから引き出されたウェブ状の保護用フィルム４の先端部４ａを保持する端部１ａを有している。端部１ａは弾性体５を含む。該弾性体５を含め、仮付け部材１の全体は、基板６を越える幅を有し、図１の紙面に垂直な方向に延びている。
【００２４】
図１Ｂに示すように、仮付け部材１は中空部分１ｂを有し、フィルムを吸着させるための吸引孔７が前壁８に設けられている。図２に示すように、吸引孔７は弾性体５にも形成されている。これらの吸引孔７を通して選択的に真空吸引を行うことにより、フィルム４を仮付け部材１に吸着させたり解放させたりすることができる。
【００２５】
図１Ａに示すように、圧着ロール２に向かって左方から搬送されてきた基板６は、図１Ａの位置でいったん停止される。次いで、フィルム４の先端部４ａを吸着保持した仮付け部材１が矢印Ａのように移動して基板６の前端６ａに近接する。
【００２６】
次に、図１Ｂおよび図２に示すように、仮付け部材１は、端部１ａの弾性体５に保持されたフィルム４の先端部４ａを基板６の前端６ａに押し付ける。このとき、基板６の前端６ａのエッジが、弾性体５のほぼ中間位置にくるようにする。すると、弾性体５に保持されたフィルム４の先端部４ａの一部（最先端部）が基板６の前端６ａを越えて向き合うべき前方突出部分４ｂとなって互いに仮圧着され、同時に、前方突出部分４ｂに隣接する部分４ｃが基板６の表側および裏側の前端６ａに仮付けされる。弾性体５のうち、前方突出部分４ｂどうしを互いに仮圧着する部分を第１の部分５ａとし、隣接部分４ｃを基板６の前端６ａに仮付けする部分を第２の部分５ｂとする。
【００２７】
図２の実施例では、弾性体５の第１の部分５ａおよび第２の部分５ｂは互いに連続するほぼ平坦な面を有しており、基板６を挟んで互いに押圧されたとき、基板６ａの厚みにより、第２の部分５ｂは第１の部分５ａよりも大きく圧縮されている。しかしながら、基板６がもっと厚い場合には、最初から第１の部分５ａと第２の部分５ｂとの間に高さの差を設け、第１の部分５ａの方が基板６に垂直な方向に沿って第２の部分５ｂよりも突出しているようにするのが好ましい。このようにすれば、第２の部分５ｂが過剰に変形することが避けられる。
【００２８】
このようにして、フィルム先端部４ａの最先端部を前方突出部分４ｂとして互いに仮圧着し、同時に、隣接部分４ｃを基板６の前端６ａに仮付けすることにより、フィルム先端部４ａは基板６に対して強固に保持される。基板６に対するフィルム４の仮付けが終了すると、一対の仮付け部材１はフィルム４を吸着から解放し、それぞれ上下の後退位置（図示せず）へと戻る。
【００２９】
次に、仮付けが終了した基板６は、前端６ａ側から一対の圧着ロール２間へ送り込まれる（図１Ｃ参照）。フィルム先端部４ａの前方突出部分４ｂどうしが仮圧着された部分は比較的薄いので、圧着ロール２間への導入はスムーズに行われる。また、前方突出部分４ｂに隣接する部分４ｃが基板６の前端６ａに仮付けされているので、基板６はフィルム４からずれることなく圧着ロール２間へと入り込んでゆく。
【００３０】
一対の圧着ロール２は、最初に、仮圧着された前方突出部分４ｂどうしを強固に圧着し、続いて、基板６の両面にフィルム４をラミネートしてゆく。この間、フィルム４はフィルムロールから引き出され、フィルムガイド９に案内されながら圧着ロール２に向かう。
【００３１】
このラミネート作業の間に、フィルム４は基板６を越える所定の長さに切断されることができる。このフィルム切断は、フィルム４の流れ方向に沿って該フィルム４と同じ速度で移動可能な一対のカッター（図示実施例ではロータリーカッター）３によって行うことができる。すなわち、仮付け部材１とともにそれぞれ上下の後退位置（図示せず）にてフィルム４の側方に待機していたカッター３は、フィルム切断のタイミングを指示する信号に従って、ラミネート中のフィルム４と同方向および同速度で移動し始める。該移動中にカッター３が横方向に走行することにより、フィルム４を指示どおり基板６を越える所定長さに切断することができる。フィルム４を越える幅を有するカッターバックアップ１０が、フィルム４の裏側でカッター３とともにフィルム４と同方向および同速度で移動するように設けられており、カッター３は該カッターバックアップ１０と協働してフィルム４の切断を行う。
【００３２】
基板６を越える所定の長さに切断された一対のフィルム４の後端部は、基板６の後端を越えて向き合うべき後方突出部分４ｄとなり、圧着ロール２によって互いに圧着される（図３および図４を参照）。
【００３３】
このようにして、一対の圧着ロール２により、液状レジストを塗布された基板の両面を保護用フィルムでラミネートすることができたが、別の一対の圧着ロール（図示せず）を用いて基板を更にもう一度加圧するようにしてもよい。そうすることにより、フィルムの接着性が向上する。別に設ける一対の圧着ロールは、より柔らかいものとすることができる。
【００３４】
フィルム４の幅を基板６とほぼ同一とした場合には、図４Ａに示すように基板６の前後においてフィルム４の前方突出部分４ｂどうし並びに後方突出部分４ｄどうしが互いに圧着されることになるが、フィルム４の幅を基板６の幅を越えるものとした場合には、図４Ｂに示すように、基板６の左右の側端を越えて向き合うフィルム４の側方突出部分４ｅができ、該側方突出部分４ｅどうしは圧着ロール２によって互いに圧着される。その結果、基板は、圧着されたフィルム４の前方突出部分４ｂ、後方突出部分４ｄおよび側方突出部分４ｅによって四方を封止された状態となり、密封性を得ることができる。
【００３５】
フィルム４の各突出部分４ｂ、４ｄ、４ｅにおける圧着性を高めるために、弾性体５に保持されたときのフィルム先端部４ａを加熱するためのヒータ（図示せず）を設けることが好ましい。かかるヒータは、弾性体５内に内蔵してもよいし、弾性体５以外の仮付け部材１の一部、その他の箇所に設けてもよい。
【００３６】
【発明の効果】
本発明によれば、液状レジストを塗布された基板の表面を完全に近い状態で保護することができるので、露光前の取り扱いも楽であり、搬送時などにレジスト面が汚される心配がない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるラミネータの一実施例によって基板の両面に保護フィルムをラミネートする一連の段階を示す概略断片側面図であり、（Ａ）はフィルム仮付け前の段階、（Ｂ）はフィルム仮付け時の段階、（Ｃ）はフィルム仮付け後の基板を一対の圧着ロールに送り込もうとする段階を示し、（Ｂ）においては仮付け部材の断面を示してある。
【図２】図１Ｂにおいて円ＩＩで囲んだ部分の拡大図。
【図３】両面をラミネートされた基板の縦断面図。
【図４】両面をラミネートされた基板の上面図であり、（Ａ）は基板とほぼ同じ幅を有するフィルムをラミネートした場合、（Ｂ）は基板を越える幅を有するフィルムをラミネートした場合である。
【符号の説明】
１ 仮付け部材、１ａ 仮付け部材の端部、１ｂ 中空部分、２ 圧着ロール、３ カッター、４ フィルム、４ａ フィルムの先端部、４ｂ 前方突出部分、４ｃ 前方突出部分に隣接する部分、４ｄ 後方突出部分、４ｅ 側方突出部分、５ 弾性体、５ａ 第１の部分、５ｂ 第２の部分、６ 基板、６ａ 基板の前端、７ 吸引孔、８ 仮付け部材の前壁、９ フィルムガイド、１０ カッターバックアップ。
Claims (12)
- 液状レジストを塗布された基板を用意する段階と、
該基板を越える長さを有する一対の保護フィルムを用意する段階と、
該一対のフィルムのそれぞれの先端部を前記基板の表側および裏側から該基板の前端に近づける段階と、
前記一対のフィルムの前記先端部のうち前記基板の前端を越えて向き合うべき前方突出部分どうしを互いに仮圧着すると同時に、該前方突出部分に隣接する部分を前記基板の表側および裏側にて該基板の前端上に仮付けする段階と、
前記フィルムの前記先端部を前端に仮付けされた状態の前記基板を該前端側から一対の圧着ロール間に通すことにより、前記前方突出部分どうしを互いに圧着し、前記基板の両面を前端から後端まで前記一対のフィルムで連続的にラミネートし、前記基板の後端を越えて向き合うべき前記一対のフィルムの後方突出部分どうしを互いに圧着する段階と、
を備える基板のラミネート方法。 - 請求項１に記載のラミネート方法において、
前記一対のフィルムが、前記基板を越える幅を有しており、
前記基板を前記一対の圧着ロール間に通すことにより、前記基板の左右の側端を越えて向き合う前記一対のフィルムの側方突出部分どうしを互いに圧着するようにする、ラミネート方法。 - 請求項１または２に記載のラミネート方法において、
前記基板を越える長さを有する前記一対のフィルムが、フィルムロールから引き出された連続するウェブ状のフィルムを切断して形成される、ラミネート方法。 - 請求項１ないし３のいずれかに記載のラミネート方法において、
前記一対の圧着ロール間を通過した基板を、さらに第２の対の圧着ロール間に通す、ラミネート方法。 - 液状レジストを塗布された基板の両面に保護フィルムをラミネートするためのラミネータであって、
前記基板を越える長さの一対の保護フィルムの先端部を保持可能な端部を有する一対の仮付け部材にして、前記基板の両面のそれぞれの前端に近接可能な一対の仮付け部材と、
前記一対のフィルムを前記基板の両面にそれぞれラミネートするための一対の圧着ロールと、
を備え、
前記一対の仮付け部材のそれぞれの前記端部が弾性体を含み、該弾性体は、保持した前記フィルムの前記先端部のうち前記基板の前端を越えて向き合うべき前方突出部分に当接して該前方突出部分どうしを互いに仮圧着するための第１の部分と、該前方突出部分に隣接する部分に当接し該隣接部分を前記基板の表側および裏側にて該基板の前端上に仮付けするための第２の部分とを有しており、
前記一対の圧着ロールは、前記基板を越える幅を有しており、前記フィルムの前記先端部の前記前方突出部分どうしを互いに圧着し、前記基板の両面を前端から後端まで前記一対のフィルムで連続的にラミネートし、前記基板の後端を越えて向き合うべき前記一対のフィルムの後方突出部分どうしを互いに圧着可能となされている、
ラミネータ。 - 請求項５に記載のラミネータにおいて、
前記仮付け部材の前記弾性体に、前記フィルムの前記先端部を吸着保持するための複数の吸引孔が形成されている、ラミネータ。 - 請求項５または６に記載のラミネータにおいて、
前記弾性体に保持された前記フィルムの前記先端部を加熱するためのヒータが設けられている、ラミネータ。 - 請求項５ないし７のいずれかに記載のラミネータにおいて、
前記フィルムが前記基板を越える寸法の幅を有しており、前記一対の圧着ロールが、前記一対のフィルムのうち前記基板の左右の側端を越えて向き合うべき側方突出部分どうしを互いに圧着可能となされている、ラミネータ。 - 請求項５ないし７のいずれかに記載のラミネータにおいて、
前記フィルムが前記基板を越えない寸法の幅を有している、ラミネータ。 - 請求項５ないし９のいずれかに記載のラミネータにおいて、
前記弾性体の前記第１の部分が、前記基板に垂直な方向に沿って前記第２の部分よりも突出している、ラミネータ。 - 請求項５ないし１０のいずれかに記載のラミネータにおいて、
前記一対の圧着ロールの下流側に、さらに第２の対の圧着ロールが設けられている、ラミネータ。 - 請求項５ないし１１のいずれかに記載のラミネータにおいて、
一対のフィルムロールと、
該フィルムロールから引き出されたウェブ状のフィルムを切断して、前記基板を越える長さの前記一対のフィルムを形成するための一対のカッターと、
をさらに備えるラミネータ。
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-
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