JP3745447B2 - 往復動アクチュエータ - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、水田の畦を形成する機械等に用いられる流体圧作動式の往復動アクチュエータに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
水田の畦を成形する機械としては、本体に締固め部材を上下動自在に支承し、この締固め部材を上下動する機械式機構を本体に取付けたものが知られている。
【0003】
この機械であると、機械式機構により締固め部材を上下動するので、構成部品が多く高価なものとなるし、組立て作業が面倒となる。
【0004】
このことを解消するには流体圧作動式の往復動アクチュエータにより締固め部材を上下動することが考えられ、その流体圧作動式の往復動アクチュエータとしては例えば、特開平3−157506号公報に示すものが知られている。
【0005】
前述の流体圧作動式の往復動アクチュエータは、シリンダ内にピストンを嵌挿して大径の第1作動流体室と小径の第2作動流体室を形成し、そのピストンに第1・第2作動流体室を連通・遮断するバルブプレートを設け、このバルブプレートをスプリングで連通位置とし、第1作動流体室に流体圧を供給して面積差でピストンを第1作動流体室側に移動し、そのストロークエンド近くなるとスプリングによってバルブプレートが移動して遮断してピストンが第2作動流体室側に移動するようにしてある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
かかる往復動アクチュエータであると、シリンダとピストン及びピストンと作動流体排出管がそれぞれ摺動するので、摺動部分が2ケ所となるから流体圧が洩れる個所が2ケ所となって流体圧が洩れ易くなるし、部品点数が多く組立て作業が面倒となる。
【0007】
そこで、本発明は前述の課題を解決できるようにした往復動アクチュエータを提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段及び作用・効果】
第1の発明は、ピストン孔2とバルブ孔3とロッド挿通孔4を連続して有するボディ1と、
このピストン孔2に嵌挿したピストン5と、
このピストン5と連結してロッド挿通孔4に挿通したロッド6と、
前記バルブ孔3に嵌挿したバルブ15と、
前記ピストン孔2内に形成した受圧面積の大きなピストン伸び室7と受圧面積の小さなピストン縮み室8を有し、
前記バルブ15をスプリング19で第1位置となり、前記ピストン5が縮みストロークエンドとなるとそのピストン5により第2位置に押され、かつピストン伸び室7内の流体圧で第2位置に保持されるものとし、
そのバルブ15が第1位置の時にはポンプポート10とタンクポート11を遮断し、ピストン伸び室7をタンクポート11に連通するようにし、
前記バルブ15が第2位置の時にはポンプポート10とタンクポート11を遮断し、ポンプポート10をピストン伸び室7に連通するようにし、
前記ピストン縮み室8を主ポンプポート9に連通し、
前記ピストン5が伸びストロークエンドとなると主ポンプポート9をバルブ15のスプリング室25に連通する切換手段を設け、
前記主ポンプポート9とポンプポート10を流体圧ポンプ12の吐出路13に接続した往復動アクチュエータである。
【0009】
第1の発明によれば、ピストン5が縮みストロークエンドとなるとバルブ15が第2位置となってピストン伸び室7とピストン縮み室8に流体圧が流入し、その受圧面積差でピストン5が伸び作動する。
ピストン5が伸びストロークエンドとなるとスプリング室25に流体圧が供給されてバルブ15がスプリング19で第1位置となり、ピストン伸び室7がタンクポート11に連通するのでピストン縮み室8内の流体圧によりピストン5が縮み作動する。
この動作を繰り返しすることでロッド6が往復動する。
したがって、ロッド6を流体圧により往復動できる。
【0010】
また、ピストン5が往復動するだけであるから、摺動部分が1箇所となって流体圧の洩れが発生し難くなるので、信頼性が向上する。
【0011】
また、ボディ1内にピストン5、ロッド6、バルブ15を嵌挿しただけであり、部品点数が少なく組立て作業が容易となる。
【0012】
第2の発明は、第1の発明における切換手段を、スプリング室25に接続したポート23と主ポンプポート9と補助タンクポート42を連通・遮断する第2のバルブ40とし、
この第2のバルブ40をスプリング41で第1位置とし、ピストン5が伸びストロークエンドとなるとピストン5で押されて第2位置となるようにし、
前記第2のバルブ40が第1位置の時にはポート23を補助ポート42に連通し、前記第2のバルブ40が第2位置の時にはポート23を主ポンプポート9に連通するようにした往復動アクチュエータである。
【0013】
第2の発明によれば、バルブ15のスプリング室25が主ポンプポート9と補助タンクポート42に交互に連通するので、流体圧ポンプ12の吐出量が少ない場合でもバルブ15を第1位置と第2位置に切換えできてロッド11を確実に往復動できる。
【0014】
第3の発明は、第1・第2の発明における主ポンプポート9を絞りを経て流体圧ポンプ12の吐出路13に接続した往復動アクチュエータである。
【0015】
第3の発明によれば、ピストン5が伸び作動する時にピストン縮み室8内の流体圧は絞りを経てポンプポート10に流入するから、ピストン5がゆっくりと作動する場合にピストン5、ロッド6が自重で伸び作動することを防止できる。
【0016】
第4の発明は、第1・第2・第3の発明における前記ピストン孔2の主ポンプポート9より縮み方向寄りを若干小径としてブレーキ用ピストン挿入孔50とし、前記ロッド6のピストン5寄りにブレーキ用ピストン51を設けてピストン5が伸びストロークエンド付近となるとブレーキ用ピストン51がブレーキ用ピストン挿入孔50内に嵌合して密閉空間部53を形成するようにし、
前記ブレーキ用ピストン51に密閉空間部53内の圧油を主ポンプポート9側に流す切欠52を形成した往復動アクチュエータである。
【0017】
第4の発明によれば、ピストン5が伸びストロークエンド付近となるとブレーキ圧が発生してピストン5が伸びストロークエンドにゆっくりと到達して衝突しないので、大きな騒音を発生することがないし、ピストン5の移動方向を滑らかに切り換えできる。
【0018】
第5の発明は、前記各発明におけるポンプポート10と流体圧ポンプ12の吐出路13を接続する部分に開口面積を増減可能な絞り手段を設けた往復動アクチュエータである。
【0019】
第5の発明によれば、絞り手段の開口面積を小さくすることで、ロッド6が外力で伸び作動してピストン縮み室8に外力による圧力が発生した時にピストン伸び室7の圧力が低下しないようになる。
【0020】
これより、バルブ15を第2位置としてロッド6を伸び作動しているときにロッド6が外力で伸び作動してもバルブ15が第1位置に切換作動することがなく、ロッド6が伸び作動している途中でロッド6が縮み作動することがない。
【0021】
第6の発明は、前記各発明におけるバルブ15のスプリング室25を、開口面積を増減可能な絞り手段を経てタンクに接続したことを特徴とする往復動アクチュエータである。
【0022】
第6の発明によれば、絞り手段の開口面積を増大すればスプリング室25内の油がスムーズにタンクに流出し、減少すればゆっくりと流出するので、ロッド6が縮みストロークエンドになってバルブ15が第1位置から第2位置に切換る時間を変更できる。
【0023】
これによって、絞り手段の開口面積を増減することで振動周波数を変更できる。
【0024】
第7の発明は、前記各発明におけるバルブ15が第2位置から第1位置に移動する時に、まずポンプポート10とピストン伸び室7との開口面積が減少し、ついでポンプポート10とピストン伸び室7とタンクポート11がそれぞれ連結し、その後にポンプポート10とピストン伸び室7が遮断してピストン伸び室7とタンクポート11の開口面積が増大するようにした往復動アクチュエータである。
【0025】
第7の発明によれば、バルブ15が第2位置から第1位置に切換る時にピストン伸び室7はポンプポート10とタンクポート11の一方に必ず連通しているから、そのピストン伸び室7内が封入状態となることがなくバルブ15を確実に第2位置から第1位置に切換え作動する。
【0026】
【発明の実施の形態】
図1に示すように、ボディ1にはピストン孔2とバルブ孔3とロッド挿通孔4が同心状に形成され、そのピストン孔2にはピストン5が嵌合してある。
このピストン5のロッド6はロッド挿通孔4よりボディ1の外部に突出し、ピストン伸び室7とピストン縮み室8を形成し、そのピストン伸び室7の受圧面積はピストン縮み室8の受圧面積よりも大きい。
【0027】
前記ピストン孔2には主ポンプポート9が形成され、前記バルブ孔3にはポンプポート10とタンクポート11が形成してある。流体圧ポンプ12の吐出路13は第1絞り14を経て前記主ポンプポート9に接続し、その吐出路13は前記ポンプポート10に接続している。
【0028】
前記バルブ孔3にはバルブ15が嵌挿してあり、このバルブ15は隔壁16を境として第1軸孔17と第2軸孔18を有し、その第1軸孔17内にスプリング19が設けてある。
このスプリング19は隔壁16とプラグ20に接してバルブ15を図中左方に付勢して段部21に当接しており、前記第2軸孔18はピストン伸び室7に開口連通し、その第2軸孔18はキリ穴22でバルブ15の長手方向中間部外周面に開口している。
【0029】
前記バルブ15はキリ穴22をタンクポート11に連通する第1位置と、キリ穴22をポンプポート10に連通する第2位置に亘って往復動可能となり、そのバルブ15は前記スプリング19で第1位置に保持してある。
【0030】
前記ロッド挿通孔4にはポート23が形成され、このポート23は油孔24でバルブ15の第1軸孔18、つまりスプリング室25に連通し、前記油孔23は第2絞り(細孔)26を経てタンクポート11に連通してある。
【0031】
図2に示すように、前記バルブ孔3における段部21寄り部分は大径部27となり、その大径部27とバルブ15との間に環状室28を形成し、その環状室28はバルブ15のキリ穴29で第2軸孔18に連通している。
【0032】
これにより、バルブ15が第1位置の時に、バルブ15と段部21の当接部が第2軸孔18に連通し、バルブ15が第1位置から第2位置に向けて移動する時に前記当接部が真空とならないようになり、バルブ15をスムーズに第1位置から第2位置に向けてスムーズに移動できる。
【0033】
前記ピストン孔2の主ポンプポート9寄りは若干小径となってブレーキ用ピストン挿入孔50となり、前記ロッド6のピストン5寄りにはブレーキ用ピストン51が設けてある。このブレーキ用ピストン51の外径と前記ブレーキ用ピストン挿入孔50の内径は同一となり、ピストン5が伸びストロークエンド付近となるとブレーキ用ピストン51がブレーキ用ピストン挿入孔50に嵌合するようにしてある。前記ブレーキ用ピストン51にはブレーキ用切欠52が形成してある。
【0034】
次に作動を説明する。
図1に示す状態では、流体圧ポンプ12の吐出流体が第1絞り14、主ポンプポート9よりピストン縮み室8に流入すると共に、その吐出流体はポンプポート10に流入する。
バルブ15はスプリング19で第1位置となり、ピストン伸び室7は第2軸孔18、キリ穴22よりタンクポート11に連通する。
【0035】
これにより、ピストン5が縮み作動(図1で右方)してバルブ15をスプリング19に抗してプラグ20に当るまで右方に移動して図3に示す第2位置とする。つまり、図1はピストン5が縮み作動しているストロークエンド近くの状態を示している。
【0036】
バルブ15が図3に示す第2位置となると、ポンプポート10の流体圧がキリ穴22、第2軸孔18よりピストン伸び室7に流入し、ピストン5は受圧面積差で伸び作動する。
この時、バルブ15はピストン5と離れるが、スプリング室25が第2絞り26でタンクポート11に連通しているので、ピストン伸び室7内の流体圧で第2位置に保持される。
【0037】
ピストン5が伸びストロークエンド付近まで伸び作動すると、図4に示すようにブレーキ用ピストン51がブレーキ用ピストン挿入孔50に嵌合し、ピストン5の端部とブレーキ用ピストン51とピストン孔2との間に密閉空間部53を形成する。
【0038】
この密閉空間部53内の圧油は切欠52より主ポンプポート9側に流れるので、その密閉空間部53内にはブレーキ圧が発生し、ピストン5の移動がゆっくりとなって伸びストロークエンドでピストン5が衝突しないようになり、大きな音が発生しない。
【0039】
ピストン5が伸びストロークエンドとなると図5に示すように、ロッド6の小径部30でピストン縮み室8がポート23に連通し、主ポンプポート9の流体圧がピストン縮み室8、ポート23、油孔24よりバルブ15のスプリング室25に流入し、そのバルブ15のスプリング室25の流体圧はピストン伸び室7と同じ圧力となり、これによってバルブ15は図6に示すようにスプリング19で第1位置となる。
【0040】
バルブ15が第1位置となるとピストン伸び室7がタンクポート11に連通し、ピストン5はピストン縮み室8内の流体圧で縮み作動して図1に示す状態となる。
【0041】
以上の動作を繰り返しすることで、ピストン5は伸び作動、縮み作動を繰り返しするのでロッド6が往復動する。
【0042】
以上の説明において、ピストン5が伸び作動する際にピストン縮み室8内の流体圧は第1絞り14を経てバルブ15のキリ穴22よりピストン伸び室7に流入し、ピストン伸び室7内の流体圧の圧力はスプリング19を縮ませバルブ15を第2の位置に維持する圧力となり、ピストン5がゆっくりと伸び作動する際(流体圧ポンプ12の吐出流体圧の量が少ない時)にピストン5が自重で伸び作動することを防止できる。
【0043】
また、油孔24は第2絞り26でタンクポート11に連通しているから、ピストン5が伸びストロークエンドに達してポート23、油孔24よりスプリング室25に流体圧が供給された時に、その油孔24内の流体圧の圧力が第2絞り26で下がらないので、バルブ15がスプリング19で確実に第1位置に移動する。
【0044】
以上の実施例を線図的に示すと図7に示すようになる。
つまり、バルブ15がポンプポート10とタンクポート11とキリ穴22を連通・遮断する第1の切換手段Bとなり、ロッド6の小径部30が主ポンプポート9とポート23を連通・遮断する第2の切換手段Cとなる。
【0045】
以上の実施例では、流体圧ポンプ12の吐出路13を第1絞り14を経て主ポンプポート9に連通したが、主ポンプポート9をボディ1に形成した絞りを備えた油孔でポンプポート10に連通しても良い。
【0046】
次に、本発明の第2実施例を説明する。
図8に示すように、ボディ1のロッド挿通孔4をロッド6より大径とし、ロッド挿通孔4とロッド6との間に第2のバルブ40を設ける。
この第2のバルブ40はスプリング41で第1位置に押されて一端部がピストン縮み室8に突出し、この第2のバルブ40はピストン5が伸びストロークエンドとなるとピストン5で押されて第2位置となる。
【0047】
第2のバルブ40が第1位置の時には、中間の小径部43でポート23が補助タンクポート42に連通してタンクに連通し、主ポンプポート9とポート23が遮断する。
第2のバルブ40が第2の位置の時には主ポンプポート9とポート23を連通し、ポート23と補助タンクポート42を遮断する。
【0048】
このようであるから、ピストン5が伸びストロークエンドとなると第2のバルブ40が第2位置となって主ポンプポート9の流体圧がポート23、油孔24よりスプリング室25に流入し、ピストン5が伸びストロークエンドより若干縮み作動すると第2のバブル40が第1位置となってスプリング室25がタンクに連通するので、流体圧ポンプ12の吐出量が少ない場合でも誤動作せずにバルブ15を切換えできる。
【0049】
この構成を線図的に示すと図9に示すようになる。
【0050】
次に本発明の第3実施例を説明する。
図10に示すように、基本的構造は図1に示す第1実施例と同様である。
ピストン5におけるピストン伸び室7側に嵌合突部60が一体的に設けられ、バルブ15の第2軸孔18の開口縁に嵌合孔部61が形成してある。
【0051】
このようにすれば、ロッド6が縮み作動してストロークエンド近くなると嵌合突部60が嵌合孔部61に嵌合してピストン伸び室7とキリ穴22(タンクポート11)が遮断されてピストン伸び室7が密閉される。
【0052】
この密閉されたピストン伸び室7の圧油はその嵌合部分のクリアランス、若しくは嵌合突部60に形成した切欠62、又は図示しないキリ穴等より第2軸孔18に流れ、キリ穴22からタンクポート11に流出する。これにより、ロッド6、ピストン5の縮み作動速度が遅くなるので、ピストン5がゆっくりとバルブ15に当接するから、衝突音が発生しない。
【0053】
ボデイ1にポンプポート10と主ポンプポート9を連通する流入用油孔65を形成し、ポンプポート10の開口面積を絞る可変絞り66を設ける。この可変絞り66はボデイ1に尖端形状の杆体67をポンプポート10と対向して螺合し、かつロックナット68で挿入ストロークを調整して尖端部67aとポンプポート10の隙間を増減して開口面積を絞るようにしてある。
【0054】
このようにすれば、バルブ15を第2位置としてロッド6を伸び作動している時にロッド6が負荷より駆動力を受けて(外力により)伸び作動してもバルブ15が切換動作することがない。
つまり、ロッド6が外力によって伸び作動するとピストン縮み室8内の圧油が流出し、その圧油は主ポンプポート9より流入するポンプ吐出圧油と合流してポンプポート10、キリ穴22よりピストン伸び室7に流入する。
【0055】
この時、ピストン縮み室8内の圧力をPH 、ピストン伸び室7内の圧力をPB 、ポンプポート10の開口面積AP 、ポンプ流量をQO とすると、
【0056】
1 ×QO =CO ×AP ×(PH −PB )の平方根…(1)となる。ここで、CO ,C1 は定数である。
【0057】
また、PH =C2 ×PB +PL …(2)となる。ここで、PL は外力によりピストン縮み室8に発生する圧力、C2 はピストン伸び室7とピストン縮み室8の受圧面積比である。
【0058】
(2)を(1)に代入すると、C1 ×QO =CO ×AP ×{(C2 −1)×PB +PL }の平方根…(3)となり、ポンプ流量QO が一定とするとポンプポート10の開口面積AP を変化させることでピストン伸び室7の圧力PB を変化させることができる。
【0059】
すなわち、(3)式よりポンプ流量QO が一定で、ポンプポート10の開口面積AP が一定であれば、外力による圧力PL が発生することでピストン伸び室7の圧力PB が低下することになり、それによってバルブ15が第1位置に切換動作することがある。
【0060】
これに対して、前述のように可変絞り66を設けてポンプポート10の開口面積AP を小さくすれば外力によるPL が発生してもピストン伸び室7の圧力PB が低下しないからバルブ15が第1位置に切換動作することがない。
【0061】
したがって、往復動アクチュエータによる作動する締固め部材の重量等に応じて外力により発生する圧力PL を予測し、それに応じて可変絞り66によってポンプポート10の開口面積を設定することで、誤動作する締固め部材を上下動できる。
【0062】
油孔24とタンクポート11を連通する絞り26を可変絞りとする。例えば、尖端形状の杆体69を絞り26となる細孔と対向して螺合し、ロックナット70で杆体69の挿入ストロークを調整して尖端部69の細孔に突出するストロークを調整して細孔の開口面積を絞る。
【0063】
このようにすることで、絞り26の絞りの大きさを変更することでバルブ15の切換り時間を変化させて振動周波数を変化することができる。
【0064】
すなわち、図10においてロッド6が縮み作動してストロークエンドになるとバルブ15がピストン5で押されて第2位置となり、それによってピストン5、ロッド6が伸び作動する。
【0065】
前述のバルブ15が第2位置に移動する動作を考えると、バルブ15はピストン縮み室8内の圧力によるロッド6、ピストン5の推力で第2位置(右方)に向けて押される。バルブ15の右側のスプリング室25は油孔24、絞り26、タンクポート11を経てタンクに連通している。
【0066】
前記スプリング室25にはピストン縮み室8内の圧力にピストン縮み室8とスプリング室25の面積比に乗じた圧力が発生し、この圧力で絞り26の通過流量が決まり、その通過流量でバルブ15の作動速度、つまり切換り時間が決定する。
【0067】
ロッド6、ピストン5は前述のバルブ15の切換り時間の間に縮み作動ストロークエンド近くに停止し振動周期を延ばす。すなわち、バルブ15の切換り時間(縮み作動ストロークエンド近くでの停止時間)をコントロールすることで振動周波数を変化させることができる。
【0068】
また、ロックナット70を緩めて杆体69を押し込み、引き出しすることで絞り26の開口面積(絞り)を変更できるので、要求される振動周波数を簡単に得ることができる。
【0069】
例えば、絞り26の開口面積を大きくすれば前述の切換り時間が短くなってロッド6、ピストン5は図11の実線で示すように伸び、縮み作動して振動周波数が高くなる。絞り26の開口面積を小さくすれば前述の切換り時間が長くなってロッド6、ピストン5は図11の点線で示すように伸び、縮み作動して振動周波数が低くなる。
【0070】
また、往復動アクチュエータで畦成形機の締固め部材を上下動する場合には、その締固め部材を上方位置(縮みストロークエンド位置)で一定時間だけ停止するので、土を掻き込みする時間が十分に長くなるから、畦成形をスムーズにできる。
【0071】
前記ロッド6のピストン5寄りにはスリット71が形成してあり、ロッド6が伸びストロークエンドになるとスリット71でピストン縮み室8とポート23が連通するようにしてある。
【0072】
これによって、バルブ15が第2位置となってポンプポート10とキリ穴22が連通してピストン伸び室7にポンプ圧が流入し、ロッド4が伸び作動して伸びストロークエンドとなるとピストン縮み室8がスリット71、ポート33、油孔24を経てスプリング室25に連通する。
【0073】
するとピストン縮み室8の圧力とバルブ15を第1位置に押すスプリング室25の圧力が等しくなり、ピストン縮み室8内の圧力とピストン伸び室7内の圧力が等しいから、結局バルブ15を第2位置に押すピストン伸び室7内の圧力とバルブ15を第1位置に押すスプリング室25内の圧力が等しくなる。
【0074】
このために、バルブ15はスプリング19で図12に示すように第2位置aから第1位置bに向けて左方に移動し、まずポンプポート10とキリ穴22(つまり、ピストン伸び室7)の開口面積を減少し、つぎにタンクポート11とキリ穴22(つまり、ピストン伸び室7)を開口し始める。さらにバルブ15が移動するとポンプポート10とキリ穴22が閉じ、その後にタンクポート11とキリ穴22の開口面積が増大して第1位置bとなる。
【0075】
このようであるから、ロッド6が伸びストロークエンドに達するとピストン伸び室7内の圧油はまずポンプポート10に流出し、ついでポンプポート10及びタンクポート11に流出し、その後にタンクポート11のみに流出する。
したがって、ピストン伸び室7内が封入状態となることがなく、バルブ15は確実に第2位置から第1位置に切換え作動する。
【0076】
前記可変絞り66、絞り26は図13に示すように比例ソレノイド80によって杆体67,69を往復移動するようにしても良い。このようにすれば絞りをダイヤルなどによって簡単に変更できる。
【0077】
前記可変絞り66、絞り26は図14に示すように管路81,82にそれぞれ設けても良い。このようにすればボディ1の加工が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示す断面図である。
【図2】図1のA部拡大図である。
【図3】ピストン縮みストロークエンド位置の時の説明図である。
【図4】ピストン伸びストロークエンド付近の時の説明図である。
【図5】ピストン伸びストロークエンド位置の時の説明図である。
【図6】バルブが第1位置に切換った時の説明図である。
【図7】線図的構成説明図である。
【図8】本発明の第2実施例を示す断面図である。
【図9】線図的構成説明図である。
【図10】本発明の第3実施例を示す断面図である。
【図11】振動周波数を示す図表である。
【図12】バルブの切換動作を示す模式図である。
【図13】本発明の第4実施例を示す断面図である。
【図14】本発明の第5実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
1…ボディ
2…ピストン孔
3…バルブ孔
4…ロッド挿通孔
5…ピストン
6…ロッド
7…ピストン伸び室
8…ピストン縮み室
9…主ポンプポート
10…ポンプポート
11…タンクポート
12…流体圧ポンプ
13…吐出路
14…第1絞り
15…バルブ
19…スプリング
23…ポート
24…油孔
25…スプリング室
26…第2絞り
30…小径部
40…第2のバルブ
41…スプリング
42…補助タンクポート
50…ブレーキ用ピストン挿入孔
51…ブレーキ用ピストン
52…切欠
53…密閉空間部
60…嵌合突部
61…嵌合孔部
66…可変絞り
80…比例ソレノイド
81…管路
82…管路

Claims (7)

  1. ピストン孔2とバルブ孔3とロッド挿通孔4を連続して有するボディ1と、
    このピストン孔2に嵌挿したピストン5と、
    このピストン5と連結してロッド挿通孔4に挿通したロッド6と、
    前記バルブ孔3に嵌挿したバルブ15と、
    前記ピストン孔2内に形成した受圧面積の大きなピストン伸び室7と受圧面積の小さなピストン縮み室8を有し、
    前記バルブ15をスプリング19で第1位置となり、前記ピストン5が縮みストロークエンドとなるとそのピストン5により第2位置に押され、かつピストン伸び室7内の流体圧で第2位置に保持されるものとし、
    そのバルブ15が第1位置の時にはポンプポート10とタンクポート11を遮断し、ピストン伸び室7をタンクポート11に連通するようにし、
    前記バルブ15が第2位置の時にはポンプポート10とタンクポート11を遮断し、ポンプポート10をピストン伸び室7に連通するようにし、
    前記ピストン縮み室8を主ポンプポート9に連通し、
    前記ピストン5が伸びストロークエンドとなると主ポンプポート9をバルブ15のスプリング室25に連通する切換手段を設け、
    前記主ポンプポート9とポンプポート10を流体圧ポンプ12の吐出路13に接続したことを特徴とする往復動アクチュエータ。
  2. 前記切換手段を、スプリング室25に接続したポート23と主ポンプポート9と補助タンクポート42を連通・遮断する第2のバルブ40とし、
    この第2のバルブ40をスプリング41で第1位置とし、ピストン5が伸びストロークエンドとなるとピストン5で押されて第2位置となるようにし、
    前記第2のバルブ40が第1位置の時にはポート23を補助ポート42に連通し、前記第2のバルブ40が第2位置の時にはポート23を主ポンプポート9に連通するようにした請求項1記載の往復動アクチュエータ。
  3. 前記主ポンプポート9を絞りを経て流体圧ポンプ12の吐出路13に接続した請求項1又は2記載の往復動アクチュエータ。
  4. 前記ピストン孔2の主ポンプポート9より縮み方向寄りを若干小径としてブレーキ用ピストン挿入孔50とし、前記ロッド6のピストン5寄りにブレーキ用ピストン51を設けてピストン5が伸びストロークエンド付近となるとブレーキ用ピストン51がブレーキ用ピストン挿入孔50内に嵌合して密閉空間部53を形成するようにし、
    前記ブレーキ用ピストン51に密閉空間部53内の圧油を主ポンプポート9側に流す切欠52を形成した請求項1又は2又は3記載の往復動アクチュエータ。
  5. 前記ポンプポート10と流体圧ポンプ12の吐出路13を接続する部分に開口面積を増減可能な絞り手段を設けた請求項1又は2又は3又は4記載の往復動アクチュエータ。
  6. 前記バルブ15のスプリング室25を、開口面積を増減可能な絞り手段を経てタンクに接続したことを特徴とする請求項1又は2又は3又は4又は5記載の往復動アクチュエータ。
  7. 前記バルブ15が第2位置から第1位置に移動する時に、まずポンプポート10とピストン伸び室7との開口面積が減少し、ついでポンプポート10とピストン伸び室7とタンクポート11がそれぞれ連結し、その後にポンプポート10とピストン伸び室7が遮断してピストン伸び室7とタンクポート11の開口面積が増大するようにした請求項1又は2又は3又は4又は5又は6記載の往復動アクチュエータ。
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