KR19990043978A - 왕복 운동 액추에이터 - Google Patents

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KR19990043978A
KR19990043978A KR1019980701209A KR19980701209A KR19990043978A KR 19990043978 A KR19990043978 A KR 19990043978A KR 1019980701209 A KR1019980701209 A KR 1019980701209A KR 19980701209 A KR19980701209 A KR 19980701209A KR 19990043978 A KR19990043978 A KR 19990043978A
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piston
port
chamber
valve body
extension
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KR1019980701209A
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미추루 아라이
시게루 시노하라
고이치 모리타
나오키 이시자키
Original Assignee
안자키 사토루
고마쓰세사쿠쇼 주식회사
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    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00—Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08—Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/14—Characterised by the construction of the motor unit of the straight-cylinder type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B11/00—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor
    • F15B11/08—Servomotor systems without provision for follow-up action; Circuits therefor with only one servomotor
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Abstract

피스톤 구멍(2)과 밸브 구멍(3)과 로드 삽입 구멍(4)이 동심 모양으로 연속하여 형성된 몸체(1)와, 상기 피스톤 구멍으로 개구하는 주펌프 포트(9)와 상기 밸브 구멍으로 개구하는 부펌프 포트(10)와 탱크 포트(11)와, 상기 로드 삽입 구멍으로 개구하는 보조 포트(23)와, 상기 피스톤 구멍에 미끄럼 운동 가능하게 삽입되어 있고, 그 양측에 상기 주펌프 포트에 연결하는 수용 압력 면적이 작은 피스톤 수축실(8)과 수용 압력 면적이 큰 피스톤 신장실(7)을 각각 구획 형성하는 피스톤(5)과 상기 피스톤과 연결되고 또한 상기 로드 삽입 구멍에 삽입된 로드(6)와 한끝이 상기 피스톤에 접촉할 수 있도록 하여 상기 밸브 구멍에 삽입되어 있고, 해당 접촉끝측에 상기 피스톤 신장실을 다른측에 스프링실(25)을 각각 구획 형성함과 동시에, 상기 피스톤 신장실을 상기 탱크 포트에만 연결하는 제1위치와 상기 피스톤 신장실을 상기 부펌프 포트에만 연결하는 제2위치를 취하는 제1밸브체(15)와 상기 제1밸브체를 상기 제1위치로 힘을 가하는 제1스프링(19)과 상기 보조 포트를 상기 스프링실에 접속하는 유로(24)와 상기 피스톤이 신장 스트로크 엔드 위치를 취하였을 때 상기 피스톤 수축실을 상기 보조 포트에 연결하는 전환 수단를 구비하고, 상기 주펌프 포트와 상기 부펌프 포트를 유체 압력 펌프(12)의 토출로(13)에 접속한 왕복 운동 액추에이터이다.

Description

왕복 운동 액추에이터
논의 이랑을 형성하는 기계로서는, 본체에 다짐 부재를 상하 운동 자유롭게 지지하고, 상기 다짐 부재를 상하 운동시키는 기계식 기구를 본체에 설치한 것이 공지되어 있다.
상기 기계에서는 기계식 기구에 의해 다짐 부재를 상하 운동시키기 때문에 구성 부품이 많아서 고가로 되고 조립 작업이 번거롭게 된다.
이것을 해소하기 위해서는 유체 압력 작동식의 왕복 운동 액추에이터에 의해 다짐 부재를 상하 운동시키는 것이 고려되고 있고, 이러한 유체 압력 작동식의 왕복 운동 액추에이터로서는 예를 들면 일본 특허공개 평 3-157506 호 공보에 나타나는 것이 공지되어 있다.
상기의 유체 압력 작동식의 왕복 운동 액추에이터는 실린더 내에 피스톤을 삽입하고 그 양측에 수용압력 면적이 큰 제1작동유체실과 수용압력 면적이 작은 급기 구멍을 연결시킨 제2작동유체실을 형성하고, 해당 피스톤의 중심부에 삽입된 작동유체 배출관을 설치하고, 상기 피스톤에 대하여 상대 이동 가능한 밸브 플레이트를 가지고 있어 상기 피스톤의 위치에 따라서 제1작동유체실과 제2작동유체실과의 사이, 제1작동유체실과 작동유체 배출관과의 사이를 각각 연결하거나 차단하는 전환 밸브 기구를 설치하고, 피스톤이 제1작동실측의 스트로크 엔드 위치에 도달하였을 때는 제1작동유체실과 제2작동유체실을 통하도록 연결시키고 또한 제1작동유체실과 작동 유체 배출관을 차단하고, 제1작동유체실과 제2작동유체실과의 면적 차이로 피스톤을 제2작동유체실측으로 이동하도록 하여, 피스톤이 제2작동실측의 스트로크 엔드 위치에 도달하였을 때는 제1작동유체실과 제2작동유체실을 차단하고 또한 제1작동유체실과 작동유체 배출관을 통하도록 연결하여 피스톤이 제1작동유체실측으로 이동하도록 하고 있다.
이러한 왕복 운동 액추에이터에서는, 실린더와 피스톤, 피스톤과 작동유체 배출관이 각각 서로 미끄럼 운동하기 때문에, 미끄럼 운동 부분이 2개 장소가 되므로 유체 압력이 새어나가기 쉬운 장소가 2개 장소가 되어 유체 압력이 새어나가기 쉽게 되고, 부품 개수가 많아 조립 작업이 번거로워 진다.
본 발명은, 상기의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로 유체 압력이 새어나가기 어렵게 하고, 조립 작업이 용이하게 이루어진 왕복 운동 액추에이터를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이다.
본 발명은 논의 이랑을 형성하는 기계 등에 사용되는 유체 압력 작동식의 왕복 운동 액추에이터에 관한 것이다.
본 발명은 이하의 상세한 설명 및 본 발명의 실시예를 나타내는 첨부 도면에 의해, 보다 잘 이해될 것이다. 또한, 첨부 도면에 나타내는 실시예는 발명을 특정하는 것을 의도하는 것이 아니라, 단지 설명 및 이해를 용이하게 하는 것이다.
도면 중,
도 1은 본 발명에 의한 왕복 운동 액추에이터의 제1실시예를 나타내는 단면도.
도 2는 도 1의 A 부 확대도.
도 3은 상기 제1실시예의 피스톤이 수축 스트로크 엔드 위치인 때의 설명도.
도 4는 상기 제1실시예의 피스톤이 신장 스트로크 엔드 위치 부근인 때의 설명도.
도 5는 상기 제1실시예의 피스톤이 신장 스트로크 엔드 위치인 때의 설명도.
도 6은 상기 제1실시예의 밸브가 제1위치로 전환되는 때의 설명도.
도 7은 상기 제1실시예의 선도적(線圖的) 구성 설명도.
도 8은 본 발명에 의한 왕복 운동 액추에이터의 제2실시예를 나타내는 단면도.
도 9는 상기 제2실시예의 선도적 구성 설명도.
도 10은 본 발명에 의한 왕복 운동 액추에이터의 제3실시예를 나타내는 단면도.
도 11은 상기 제3실시예의 진동주파수를 나타내는 도표.
도 12는 상기 제3실시예의 밸브의 전환 동작를 나타내는 모식도.
도 13은 본 발명에 의한 왕복 운동 액추에이터의 제4실시예를 나타내는 단면도.
도 14는 본 발명에 의한 왕복 운동 액추에이터의 제5실시예를 나타내는 단면도.
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 관계되는 왕복 운동 액추에이터는, 피스톤 구멍과 밸브 구멍과 로드 삽입 구멍이 동심(同心) 모양으로 연속하여 형성된 몸체와,
상기 피스톤 구멍으로 개구하는 주펌프 포트와,
상기 밸브 구멍으로 개구하는 부펌프 포트와 탱크 포트와,
상기 로드 삽입 구멍으로 개구하는 보조 포트와,
상기 피스톤 구멍에 미끄럼 운동 가능하게 삽입되어 있고, 그 양측에 상기 주펌프 포트에 연결하는 수용압력 면적이 작은 피스톤 수축실과 수용압력 면적이 큰 피스톤 신장실을 각각 구획 형성하는 피스톤과,
상기 피스톤과 연결되고 또한 상기 로드 삽입 구멍에 삽입된 로드와,
한끝이 상기 피스톤에 접촉할 수 있도록 하여 상기 밸브 구멍에 삽입되어 있고, 해당 접촉끝측에 상기 피스톤 신장실을 다른측에 스프링실을 각각 구획 형성함과 동시에, 상기 피스톤 신장실을 상기 탱크 포트에만 연결하는 제1위치와 상기 피스톤 신장실을 상기 부펌프 포트에만 연결하는 제2위치를 취하고 있는 제1밸브체와,
상기 제1밸브체를 상기 제1위치로 힘을 가하는 제1스프링과 상기 보조 포트를 상기 스프링실에 접속하는 유로(油路)와,
상기 피스톤이 신장 스트로크 엔드 위치을 취하고 있는 때에 상기 피스톤 수축실을 상기 보조 포트에 연결하는 전환 수단을 구비하고,
상기 주펌프 포트와 상기 부펌프 포트를 유체 압력 펌프의 토출로에 접속하는 것으로 되어 있다.
상기 구성에 의하면, 피스톤이 수축 스트로크 엔드 위치로 되면 제1밸브체가 제2위치가 되어 피스톤 신장실과 피스톤 수축실에 유체 압력이 유입하고, 해당 양쪽실의 수용압력 면적 차이로 피스톤이 신장 작동한다. 또한, 피스톤이 신장 스트로크 엔드 위치로 되면 스프링실에 유체 압력이 공급되어 밸브체가 스프링으로 제1위치로 되고, 피스톤 신장실이 탱크 포트에 연결되기 때문에 피스톤 수축실 내의 유체 압력에 의해 피스톤이 수축 작동한다.
이 동작이 되풀이 됨에 의해, 로드가 유체 압력으로 왕복 운동하게 된다.
그리고, 이 구성에 의하면, 피스톤만이 왕복 운동하고, 미끄럼 운동 부분이 1개 장소이므로 유체 압력의 누출이 발생하기 어렵게 되므로 신뢰성이 향상한다.
또한, 기본적 구성으로서는, 몸체 내에 피스톤 로드 및 제1밸브체를 삽입하였을 뿐이므로 부품개수가 적어 조립 작업이 용이하게 된다.
또한, 상기 구성에 있어서,
상기 밸브체가 제2위치로부터 제1위치로 이동하는 때, 우선 상기 부펌프 포트와 상기 피스톤 신장실과의 사이의 개구면적이 감소하고, 이어서 상기 부펌프 포트와 상기 피스톤 신장실과 상기 탱크 포트와의 각 사이가 각각 연결되고, 그 후에 상기 부펌프 포트와 상기 피스톤 신장실과의 사이가 차단되고 또한 상기 피스톤 신장실과 상기 탱크 포트와의 사이의 개구면적이 증대하도록 하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 제1밸브체가 제2위치로부터 제1위치로 전환하는 때에 피스톤 신장실은 부펌프 포트와 탱크 포트의 적어도 한쪽에 반드시 연결하고 있기 때문에, 피스톤 신장실 내가 봉입상태로 되는 일이 없고, 제1밸브체를 확실히 제2위치로부터 제1위치로 전환 작동시킬 수 있다.
또한, 상기 전환수단이 상기 로드에 형성된 소직경부를 포함하고, 상기 피스톤이 신장 스트로크 엔드 위치를 취하였을 때 상기 소직경부를 통하여 상기 피스톤 수축실이 상기 보조 포트에 연결시켜지도록 되어 있어도 좋다.
상기 전환수단이 상기 로드에 형성된 슬릿을 포함하고, 상기 피스톤이 신장 스트로크 엔드 위치를 취한 때 상기 슬릿을 통하여 상기 피스톤 수축실이 상기 보조 포트에 연결시켜지도록 되어 있어도 좋다.
또한, 상기 전환수단이,
상기 로드 삽입 구멍과 상기 로드와의 사이에 미끄럼 운동 가능하게 삽입되어 있고, 상기 보조 포트를 상기 피스톤 수축실로부터 차단하고 또한 보조 탱크 포트와 연결하는 제1위치와, 상기 보조 포트를 상기 피스톤 수축실과 연결하고 또한 상기 보조 탱크 포트로부터 차단하는 제2위치를 취하고 있는 제2밸브체와,
상기 제2밸브체를 제1위치로 힘을 가하는 제2스프링을 포함하고,
상기 피스톤이 신장 스트로크 엔드 위치를 취하였을 때 상기 제2밸브체가 상기 피스톤에서 제2위치로 이동시켜지도록 되어 있어도 좋다.
이 구성에 의하면, 제1밸브체의 스프링실이 주펌프 포트와 보조 탱크 포트에 교대에 연결되기 때문에, 유체 압력 펌프의 토출량이 적은 경우라도 제1밸브체를 제1위치와 제2위치로 확실하게 오동작시키지 않고서 전환할 수 있고, 로드를 확실하게 왕복 운동시킬 수 있다.
또한, 상기 구성에 있어서,
상기 주펌프 포트와 상기 유체 압력 펌프의 토출로와의 사이에 제1스로틀을 설치하는 것이 바람직 하다.
이 구성에 의하면, 피스톤이 신장 작동할 때에 피스톤 수축실 내의 유체 압력을 피스톤 신장실에 공급하는 통로에 제1스로틀을 설치하고 있기 때문에, 피스톤 수축실 내의 유체 압력이 상승하여 피스톤의 신장 작동이 느리게 되고, 이 때 유체 압력 펌프의 토출 유체의 량이 변하지 않기 때문에, 피스톤 신장실 내의 유체 압력이 상승하여 스프링을 축소시켜 밸브체를 제2의 위치로 유지하는 압력 이상으로 유지되고, 피스톤이 천천히 신장 작동할 때 즉 유체 압력 펌프의 토출 유체의 양이 적은 때라도, 피스톤이 신장 작동의 도중에 수축 작동으로 바뀌는 것을 방지할 수가 있다.
또한, 상기 구성에 있어서,
상기 부펌프 포트와 상기 유체 압력 펌프의 토출로와의 사이에 가변 스로틀을 설치하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 피스톤이 신장 작동할 때에 피스톤 수축실 내의 유체 압력을 피스톤 신장실로 공급하는 통로에 가변 스로틀을 설치하고 있기 때문에, 피스톤이 외력에 의해 신장 작동하는 때에 해당 가변 스로틀의 개구 면적을 작게 하면, 피스톤 수축실 내의 유체 압력이 상승하여 피스톤의 신장 작동이 느리게 되고, 이 때 유체 압력 펌프의 토출 유체의 량이 변하지 않기 때문에, 피스톤 신장실 내의 유체 압력이 저하하지 않고서 스프링을 수축시켜 제1밸브체를 제2의 위치로 유지하는 압력 이상으로 유지되고, 피스톤이 천천히 신장 작동할 때 즉 유체 압력 펌프의 토출 유체의 량이 적은 때라도, 피스톤이 신장 작동의 도중에 수축 작동으로 바뀌는 것을 방지할 수가 있다.
즉, 제1밸브체를 제2위치로 하여 로드를 신장 작동하고 있는 때에 해당 로드가 외력으로 신장 작동하더라도 제1밸브체가 제1위치로 전환 작동하는 일이 없고, 따라서 로드가 신장 작동하고 있는 도중에 해당 로드가 수축 작동하는 일이 없다.
또한, 상기 구성에 있어서,
상기 보조 포트를 상기 스프링에 접속하는 유로를 제2스로틀을 통하여 상기 탱크 포트로 연결시키는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 스프링실의 유체 압력이 필요할 때 저하하여도 급격하게는 저하하지 않기 때문에, 제1밸브체는 피스톤 신장실 내의 압력으로 확실하게 제2위치로 유지됨과 동시에, 스프링실 내의 유체 압력으로 확실하게 제1위치로 바뀌어 진다.
또한, 상기 제2스로틀이 가변 스로틀인 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 제2스로틀의 개구 면적을 증대하면 스프링실의 오일이 부드럽게 탱크로 유출하고, 감소하면 천천히 유출하기 때문에, 로드가 수축 스트로크 엔드 위치로 되어 제1밸브체가 제1위치로부터 제2위치로 전환되는 시간을 변경할 수가 있다. 그리고, 제2스로틀의 개구 면적을 증감하는 것으로 진동 주파수를 변경할 수가 있다.
또한, 상기 구성에 있어서,
상기 피스톤 구멍의 상기 주펌프 포트에서 수축 방향쪽으로 형성된 약간 소직경의 브레이크용 피스톤 삽입 구멍과,
상기 로드의 피스톤쪽에 설치된 브레이크용 피스톤을 구비하고,
상기 피스톤이 신장 스트로크 엔드 위치 부근으로 되면 상기 브레이크용 피스톤이 상기 브레이크용 피스톤 삽입 구멍 내에 끼워져 결합하고, 상기 브레이크용 피스톤과 상기 피스톤과 상기 피스톤 구멍의 내주벽과의 사이에 밀폐공간부를 형성하는 것이 바람직하다. 이것에 추가하여, 상기 브레이크용 피스톤의 외주면에 상기 밀폐 공간부 내의 유체를 서서히 유량을 감소시키면서 상기 주펌프 포트측으로 흘리는 노치를 형성하는 것이 바람직 하다.
이 구성에 의하면, 피스톤이 신장 스트로크 엔드 위치 부근으로 되면 브레이크압이 발생하여 해당 피스톤이 신장 스트로크 엔드 위치에 천천히 도달하여 피스톤 구멍의 끝벽에 충돌하지 않기 때문에, 큰 소음을 발생하는 일이 없고, 피스톤의 이동 방향을 매끄럽게 전환하는 것이 가능하다.
또한, 상기 구성에 있어서,
상기 피스톤의 상기 피스톤 신장실측에 형성된 약간 소직경의 브레이크용 피스톤과,
상기 제1밸브체의 상기 피스톤 신장실쪽에 설치된 브레이크용 피스톤 삽입 구멍을 구비하고,
상기 피스톤이 수축 스트로크 엔드 위치 부근으로 되면 상기 브레이크용 피스톤이 상기 브레이크용 피스톤 삽입 구멍내에 끼워져 결합하고, 상기 브레이크용 피스톤과 상기 제1밸브체와 상기 피스톤과 상기 피스톤 구멍의 내주벽과의 사이에 밀폐공간부를 형성하는 것이 바람직하다. 이것에 추가하여, 상기 브레이크용 피스톤의 외주면에 상기 밀폐공간부 내의 유체를 서서히 유량을 감소시키면서 상기 탱크 포트측으로 흘리는 노치를 형성하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 피스톤이 수축 스트로크 엔드 위치 부근으로 되면 브레이크압이 발생하여 해당 피스톤이 수축 스트로크 엔드 위치로 천천히 도달하여 제1밸브체로 천천히 접촉하기 때문에, 큰 소음을 발생하는 일이 없다.
이하에, 본 발명의 적합한 실시예에 의한 왕복 운동 액추에이터를 첨부 도면을 참조하면서 설명한다.
우선, 본 발명의 제1실시예를 설명한다.
도 1에 나타내는 것같이 몸체(1)에는 피스톤 구멍(2)과 밸브 구멍(3)과 로드 삽입 구멍(4)이 동심 모양으로 연속하여 형성되어 있다.
이 피스톤 구멍(2)에는 피스톤(5)이 미끄럼 운동 가능하게 삽입되고, 이 피스톤(5)의 로드(6)는 로드 삽입 구멍(4)을 관통하여 몸체(1)의 외부로 돌출하고 있다. 그리고, 피스톤(5)의 양측에는 피스톤 신장실(7)과 피스톤 수축실(8)이 형성되고, 그 피스톤 신장실(7)의 수용압력 면적은 피스톤 수축실(8)의 수용압력 면적보다도 커져 있다.
상기 피스톤 구멍(2)에는 주펌프 포트(9)가 개구하고, 상기 밸브 구멍(3)에는 부펌프 포트(10)와 탱크 포트(11)가 개구하고 있다. 그리고, 유체 압력 펌프(12)의 토출로(13)는 제1스로틀(14)을 지나서 상기 주펌프 포트(9)에 접속되고, 그 토출로(13)는 상기 부펌프 포트(10)에 접속되어 있다.
상기 밸브 구멍(3)에는 밸브체(15)가 미끄럼 운동 가능하게 삽입되어 있고, 이 밸브체(15)는 격벽(16)을 경계로서 제1축구멍(17)과 제2축구멍(18)을 가지며, 그 제1축구멍(17) 내에는 피스톤(15)측으로 힘을 가하는 스프링(19)이 설치되어 있다. 밸브 구멍(3)의 외측단부에는 플러그(20)가 나사로 부착되어 있고, 해당 플러그(20)와 밸브체(15)와의 사이에 있어서 제1축구멍(17)을 포함하는 공간이 스프링실(25)로서 구획 형성되어 있다. 이 스프링(19)은 격벽(16)과 플러그(20)의 사이에 개입 배치되어 있어 밸브체(15)를 도면 중 좌측으로 힘을 가하여 계단부(21)에 접촉시키고 있다.
상기 제2축구멍(18)은 그 외측끝이 피스톤 신장실(7)로 개구하고, 그 안쪽끝은 드릴 구멍(22)으로 밸브체(15)의 긴쪽방향 중간부 외주면에 연결되어 있다.
상기 밸브체(15)는, 드릴 구멍(22)을 탱크 포트(11)에 연결하는 제1위치로부터 드릴 구멍(22)을 부펌프 포트(10)에 연결하는 제2위치에 걸쳐서 왕복 운동 가능하다. 그리고 밸브체(15)는 상기 스프링(19)으로 제1위치에 유지되어 있다.
상기 로드 삽입 구멍(4)에는 보조 포트(23)가 개구하고, 이 보조 포트(23)는 유로(24)로 밸브체(15)의 제1축구멍(17) 즉 스프링실(25)에 연결하고, 상기 유로(24)는 제2스로틀(세밀한 구멍)(26)을 지나서 탱크 포트(11)에 연결하고 있다.
도 2에 나타내는 것같이, 상기 밸브 구멍(3)에 있어서의 계단부(21)쪽 부분은 대직경부(27)가 되고, 그 대직경부(27)의 내주벽과 밸브체(15)의 사이에 환상실(環狀室: 28)이 구획 형성되고, 이 환상실(28)은 밸브체(15)의 드릴 구멍(29)으로 제2축구멍(18)에 연결하고 있다.
이것에 의해, 밸브체(15)가 제1위치에 있을 때에, 밸브체(15)와 계단부(21)의 접촉부의 내외 직경의 부분이 어느것이나 제2축구멍(18)에 연결하고 있기 때문에, 밸브체(15)를 제1위치로부터 제2위치로 향하여 이동시킬 때에 상기 접촉부가 진공이 되지 않게 되고, 그 결과 밸브체(15)를 부드럽게 제1위치로부터 제2위치로 향하여 부드럽게 이동시킬 수 있다.
상기 피스톤 구멍(2)의 주펌프 포트(9)쪽은 약간 소직경이 되어 브레이크용 피스톤 삽입 구멍(50)으로 되어있음과 동시에, 상기 로드(6)의 피스톤(5)쪽에는 브레이크용 피스톤(51)이 설치되어 있다. 그리고, 이 브레이크용 피스톤(51)의 외경과 상기 브레이크용 피스톤 삽입 구멍(50)의 내경은 동일하고, 피스톤(5)이 신장 스트로크 엔드 위치 부근으로 이동하면 브레이크용 피스톤(51)이 브레이크용 피스톤 삽입 구멍(50)에 끼워져 결합하도록 되어 있다. 상기 브레이크용 피스톤(51)에는 서서히 폭이 좁아지는 V 자형의 브레이크용 노치(52)가 형성되어 있다.
다음에, 본 제1실시예의 작동을 설명한다.
도 1은 피스톤(5)이 수축 작동하여 스트로크 엔드 위치 가까이 있는 상태를 나타내고 있다. 도 1의 상태에서는 유체 압력 펌프(12)의 토출 유체가, 제1스로틀(14), 주펌프 포트(9)를 통하여 피스톤 수축실(8)로 유입함과 동시에, 직접 부펌프 포트(10)에도 유입한다.
또한, 이 때 밸브체(15)는 스프링(19)으로 제1위치에 있기 때문에, 피스톤 신장실(7)은 제2축구멍(18), 드릴 구멍(22)을 통하여 탱크 포트(11)에 연결하고 있다.
그렇게 하면, 피스톤(5)이 수축 작동(도 1에서 오른쪽으로 이동)하여 밸브체(15)를 스프링(19)에 대항하여 오른쪽으로 이동시켜 플러그(20)에 접촉하는 위치 즉 도 3에 나타내는 제2위치로 한다.
밸브체(15)가 도 3에 나타내는 제2위치를 취하면, 부펌프 포트(10)의 유체 압력이 드릴 구멍(22), 제2축구멍(18)을 통하여 피스톤 신장실(7)로 유입하기 때문에, 피스톤(5)은 피스톤 신장실(7)과 피스톤 수축실(8)과의 수용압력 면적 차이로 신장 작동한다.
이 때, 피스톤 신장실(7) 내의 유체 압력은 스프링(19)을 수축시켜 밸브체(15)를 제2의 위치로 유지하는 압력으로 함과 동시에, 스프링실(25)이 제2스로틀(26)로 탱크 포트(11)에 연결하고 있어 해당 스프링실(25) 내의 압력은 탱크압이 되기 때문에, 밸브체(15)로부터 피스톤(5)은 떨어지지만, 밸브체(15)는 피스톤 신장실(7) 내의 유체 압력으로 제2위치로 유지되고 있다.
피스톤(5)이 신장 스트로크 엔드 위치 부근까지 이동하면, 도 4에 나타나는 것같이 브레이크용 피스톤(51)이 브레이크용 피스톤 삽입 구멍(50)에 끼워져 결합하여, 피스톤(5)의 단부와 브레이크용 피스톤(51)과 피스톤 구멍(2)의 내주벽과의 사이에 밀폐공간부(53)를 형성한다.
이 때, 그 때까지 직접 주펌프 포트(9)로 흐르고 있는 밀폐공간부(53) 내의 유체가, 브레이크용 노치(52)를 통하여 주펌프 포트(9)측으로 흐르도록 되고, 더구나 브레이크용 노치(52)가 V 자형을 보이고 있음에 의해 해당 유체의 유량이 서서히 감소하여 최후에 흐르지 않게 되기 때문에, 그 밀폐공간부(53) 내에는 브레이크압이 발생하여, 피스톤(5)의 이동이 느리게 되어 신장 스트로크 엔드 위치에서 피스톤(5)이 피스톤 구멍(2)의 끝벽에 충돌하지 않게 되어, 그 결과 큰 소음이 발생하지 않는다.
피스톤(5)이 신장 스트로크 엔드 위치를 취하면, 도 5에 나타내는 것같이, 로드(6)의 소직경부(30)로 피스톤 수축실(8)이 보조 포트(23)에 연결되고, 주펌프 포트(9)의 유체 압력이 피스톤 수축실(8), 보조 포트(23) 및 유로(24)를 통하여 스프링실(25)로 유입한다. 따라서, 그 밸브체(15)의 스프링실(25)의 유체 압력은 피스톤 신장실(7)과 같은 압력이 되고, 이것에 의해서 밸브체(15)는 도 6에 나타내는 것같이 스프링(19)으로 제1위치로 이동시켜지게 된다.
밸브체(15)가 제1위치를 취하면, 피스톤 신장실(7)이 제2축구멍(18), 드릴 구멍(22)을 통하여 탱크 포트(11)에 연결하기 때문에, 피스톤(5)은 피스톤 수축실(8) 내의 유체 압력으로 수축 작동하여 도 1에 나타내는 상태가 된다.
이상의 동작을 되풀이하는 것으로, 피스톤(5)은 신장 작동, 수축 작동을 되풀이하기 때문에, 로드(6)가 왕복 운동한다.
이상의 동작에서, 피스톤(5)이 천천히 신장 작동할 때 즉 유체 압력 펌프(12)의 토출 유체의 량이 적은 때에는, 피스톤 신장실(7) 내의 압력이 낮게 되기 쉽지만, 피스톤(5)이 신장 작동할 때에 피스톤 수축실(8) 내의 유체 압력을 피스톤 신장실(7)에 공급하는 통로에 제1스로틀(14)을 설치하고 있기 때문에, 피스톤 수축실(8) 내의 유체 압력이 상승하여 피스톤(5)의 신장 작동이 더욱 느리게 되고, 이 때 유체 압력 펌프(12)의 토출 유체의 량이 변하지 않기 때문에, 피스톤 신장실(7) 내의 유체 압력이 상승하여 스프링(19)을 수축시켜 밸브체(15)를 제2의 위치로 유지하는 압력 이상으로 유지되어, 피스톤(5)이 신장 작동의 도중에 수축 작동으로 바뀌는 것을 방지할 수가 있다.
또한, 유로(24)는 제2스로틀(26)을 통하여 탱크 포트(11)에 연결하고 있기 때문에, 피스톤(5)이 신장 스트로크 엔드 위치에 도달하여 보조 포트(23), 유로(24)에서 스프링실(25)로 유체 압력이 공급되었을 때에, 그 유로(24) 내의 유체 압력이 제2스로틀(26) 때문에 갑자기 내려가지 않기 때문에, 밸브체(15)가 스프링(19)으로 확실히 제1위치로 이동한다.
그리고,
상기 제1실시예의 구성을 선도적으로 나타내면, 도 7에 나타내는 것같이 된다.
즉, 밸브체(15)가 부펌프 포트(10)와 탱크 포트(11)와 드릴 구멍(22)을 연결·차단하는 제1의 전환수단(B)이 되고, 로드(6)의 소직경부(30)가 주펌프 포트(9)와 보조 포트(23)의 사이를 연결·차단하는 제2의 전환수단(C)으로 되어 있다.
상기 제1실시예에서는, 유체 압력 펌프(12)의 토출로(13)를 제1스로틀(14)을 지나서 주펌프 포트(9)에 연결시키고 있지만, 주펌프 포트(9)를 몸체(1)에 형성한 스로틀을 구비한 오일 구멍으로 부펌프 포트(10)에 연결시키도록 하여도 좋다.
다음에, 본 발명의 제2실시예를 설명한다.
도 8에 나타내는 것같이, 몸체(1)의 로드 삽입 구멍(4)을 로드(6)보다 큰 직경으로 하고, 로드 삽입 구멍(4)과 로드(6)와의 사이에 제2의 밸브체(40)를 설치한다.
이 제2의 밸브체(40)는, 스프링(41)으로 도 8에서 오른쪽의 제1위치로 눌러져 한끝부가 피스톤 수축실(8)로 돌출하고, 피스톤(5)이 신장 스트로크 엔드 위치를 취하게 되면 피스톤(5)으로 눌러져 제2위치가 된다.
제2의 밸브체(40)가 제1위치인 때에는, 중간의 소직경부(43)에서 보조 포트(23)가 보조 탱크 포트(42)에 연결하여 탱크에 연결되고, 주펌프 포트(9)와 보조 포트(23)와의 사이가 차단된다.
제2의 밸브체(40)가 제2의 위치인 때에는, 주펌프 포트(9)와 보조 포트(23)를 연결시켜, 보조 포트(23)와 보조 탱크 포트(42)가 차단된다.
이와 같기 때문에, 피스톤(5)이 신장 스트로크 엔드 위치를 취하게 되면, 제2의 밸브체(40)가 제2위치가 되고 주펌프 포트(9)의 유체 압력이 보조 포트(23), 유로(24)에서 스프링실(25)로 유입하고, 피스톤(5)이 신장 스트로크 엔드 위치에서 약간 수축 작동을 하면, 제2의 밸브체(40)가 제1위치가 되어 스프링실(25)이 탱크에 연결하기 때문에, 유체 압력 펌프(12)의 토출량이 적은 경우라도 오동작하지 않고서 밸브체(15)를 교체할 수 있다.
이 제2실시예의 구성을 선도적으로 나타내면, 도 9에 나타내는 것같이 된다.
다음에, 본 발명의 제3실시예를 설명한다.
도 10에 나타내는 것같이, 기본적 구조는 도 1에 나타내는 제1실시예와 같다.
단, 피스톤(5)에 있어서의 피스톤 신장실(7)측에 삽입 결합 돌출부(60)가 일체적으로 설치되고, 밸브체(15)의 제2축구멍(18)의 개구 모서리에 해당 삽입 결합 돌출부(60)가 끼워져 결합할 수 있는 삽입 결합 구멍부(61)가 형성되어 있다.
이와 같이하면, 로드(6)가 수축 작동하여 스트로크 엔드 위치 가까이 가게 되면, 삽입 결합 돌출부(60)가 삽입 결합 구멍부(61)에 끼워져 결합하여 피스톤 신장실(7)과 드릴 구멍(22)(탱크 포트(11)에 연결되어 있다)이 차단되어 피스톤 신장실(7)이 밀폐된다.
그리고, 이 밀폐된 피스톤 신장실(7)의 유체는, 그 삽입 결합 부분의 클리어런스(clearance), 혹은 삽입 결합 돌출부(60)에 형성한 V 자형의 노치(62), 또는 도시하지 않은 드릴 구멍 등에서 제2축구멍(18)으로 흘러, 드릴 구멍(22)으로부터 탱크 포트(11)로 유출한다.
이것에 의해, 로드(6), 피스톤(5)의 수축 작동 속도가 느리게 되기 때문에, 피스톤(5)이 천천히 밸브체(15)에 접촉하고, 그 결과 충돌음이 발생하지 않는다.
또한, 본 제3실시예에서는, 몸체(1)에 부펌프 포트(10)와 주펌프 포트(9)를 연결하는 유입용 유로(65)를 형성하고, 해당 유입용 유로(65)에 부펌프 포트(10)의 개구면적을 조절하는 가변 스로틀(66)을 설치하고 있다. 이 가변 스로틀(66)은 몸체(1)에 선단이 첨단 형상의 니들(needle)(67)을 부펌프 포트(10)와 대향하여 진퇴 가능하게 나사로 결합시켜, 삽입 길이를 조정하고 나서 니들(67)의 로크너트(68)로 조여서 고정하는 것에 의해, 첨단부(67a)와 부펌프 포트(10)의 빈틈을 증감하여 개구 면적을 조정하도록 하고 있다.
이와 같이, 부펌프 포트(10)의 개구 면적을 조절하는 가변스로틀(66)을 설치하고 있기 때문에, 밸브체(15)가 제2위치를 취하고 있어 로드(6)를 신장 작동하고 있을 때에 로드(6)가 부하에서 구동력을 받아(외력에 의해) 신장 작동하더라도, 밸브체(15)가 제1위치로 전환 동작하는 일이 없다.
즉, 로드(6)가 외력에 의해서 신장 작동하면 피스톤체 수축실(8) 내의 유체가 유출하고, 그 유체는 주펌프 포트(9)에서 유입하는 펌프 토출 유체와 합류하여, 유입용 유로(65)를 통하여 부펌프 포트(10), 드릴 구멍(22)을 통하여 피스톤 신장실(7)로 유입한다.
이 때, 피스톤 수축실(8) 내의 압력을 PH, 피스톤 신장실(7) 내의 압력을 PB, 부펌프 포트(10)의 개구 면적을 AP, 펌프 유량을 QO로 하면,
C1×QO=CO×AP×(PH-PB)의 평방근…(1)
이 된다. 여기서, CO, C1은 정수이다.
또한, PH=C2×PB+PL…(2)가 된다.
여기서, PL은 외력에 의해 피스톤 수축실(8)에 발생하는 압력, C2는 피스톤 신장실(7)과 피스톤 수축실(8)의 수용압력 면적비이다.
(2)를 (1)에 대입하면,
C1×QO=CO×AP×{(C2-1)×PB+PL}의 평방근…(3)
이 된다.
여기서, 펌프 유량(QO)이 일정하다고 하면, 부펌프 포트(10)의 개구 면적(AP)을 변화시키는 것으로, 피스톤 신장실(7)의 압력(PB)을 변화시킬 수 있다.
즉, (3)식에서, 펌프 유량(QO)이 일정하고, 부펌프 포트(10)의 개구 면적(AP)이 일정하면, 외력에 의한 압력(PL)이 발생하여도 피스톤 신장실(7)의 압력(PB)이 저하하게 되고, 이것에 의하여 밸브체(15)가 제1위치로 전환 동작하는 일이 있다.
이것에 대하여, 상술한 것 같이 가변 스로틀(66)을 설치하여 부펌프 포트(10)의 개구 면적(AP)을 작게하면, 외력에 의한 압력(PL)이 발생하더라도 피스톤 신장실(7)의 압력(PB)이 저하하지 않으므로, 밸브체(15)가 제1위치로 전환 동작하는 일이 없다.
따라서, 왕복 운동 액추에이터에 의해 작동하는 다짐 부재의 중량 등에 따라서 외력에 의해 발생하는 압력(PL)을 예측하고, 이것에 따라서 가변 스로틀(66)에 의해서 부펌프 포트(10)의 개구 면적을 설정하는 것으로, 다짐 부재를 오동작시키지 않고 상하 운동시킬 수 있다.
또한, 유로(24)와 탱크 포트(11)를 연결하는 스로틀(26)을 가변 스로틀로 한다. 예를 들면, 선단이 첨단 형상인 니들(69)을 스로틀(26)이 되는 세밀한 구멍과 대향하여 진퇴 가능하게 나사로 결합하고, 니들(69)의 삽입 길이를 조정하고 나서 로크너트(70)로 니들(69)를 조여 고정하는 것에 의해, 첨단부(69a)와 스로틀(26)과의 빈 틈을 조정하여 개구 면적을 조정하도록 하고 있다.
이와 같이 하는 것으로, 스로틀(26)의 개구 면적의 크기를 변경하는 것으로 스프링실(25)의 유체의 유출시간을 변화시키고, 이것에 의해 밸브체(15)의 전환 시간을 변화시켜 진동주파수를 변화시킬 수 있다. 그 원리는, 하기와 같다.
즉, 도 10에 있어서, 피스톤(5), 로드(6)가 수축 작동하여 스트로크 엔드 위치를 취하면, 밸브체(15)가 피스톤(5)으로 눌러져 제2위치가 되고, 그러면 이번은 반대로 피스톤(5), 로드(6)가 신장 작동한다.
여기서, 상술한 밸브체(15)가 제2위치로 이동하는 동작을 고려하면, 밸브체(15)는 피스톤 수축실(8) 내의 압력에 의한 로드(6), 피스톤(5)의 추진력으로 제2위치(오른쪽)로 향하여 눌러지게 된다. 한편, 밸브체(15)의 오른쪽의 스프링실(25)은 유로(24), 스로틀(26) 및 탱크 포트(11)를 지나서 탱크에 연결되고 있다.
그리고, 상기 스프링실(25)에는 피스톤 수축실(8) 내의 압력에 피스톤 수축실(8)에 대한 스프링실(25)의 수용압력 면적비를 곱한 압력이 발생하고, 이 압력으로 스프링실(25)로부터 유체가 유출하여 스로틀(26)을 통과하고, 해당 스로틀(26)에서의 통과유량으로 밸브체(15)의 작동 속도, 즉 전환 시간이 결정된다.
그리고, 로드(6), 피스톤(5)은 상술한 밸브체(15)의 전환 시간의 사이에 수축 작동 스트로크 엔드 위치 가까이에 정지하고, 그 정지 시간이 연장되는 것에 의해 진동 주기가 연장된다.
따라서, 스로틀(26)의 개구 면적을 조정하고 밸브체(15)의 전환 시간(로드(6), 피스톤(5)의 수축 작동 스트로크 엔드 위치 근처에서의 정지 시간)을 조절하는 것으로 진동주파수를 변화시킬 수 있다.
또한, 로크너트(70)를 느슨하게 하여 니들(69)의 삽입 길이를 변경하는 것으로 스로틀(26)의 개구 면적(조임의 크기)을 변경할 수 있는 것으로, 요구되는 진동주파수를 간단히 얻을 수 있다.
예를 들면, 스로틀(26)의 개구 면적을 크게하면, 밸브체(15)의 전환 시간이 짧게되고, 로드(6), 피스톤(5)은 도 11의 실선으로 나타나는 것같이 신장하고, 수축 작동하기 때문에, 진동주파수가 높게 된다. 또한, 스로틀(26)의 개구 면적을 작게하면, 밸브체(15)의 전환 시간이 오래 걸리고, 로드(6), 피스톤(5)은 도 11의 점선으로 나타내는 것같이 신장하여, 수축 작동하기 때문에, 진동주파수가 낮게 된다.
또한, 왕복 운동 액추에이터로 이랑 형성기의 다짐 부재를 상하 운동시키는 경우에는, 그 다짐 부재를 상방 위치(수축 스트로크 엔드 위치)로 일정 시간만큼 정지시키기 때문에, 흙을 퍼넣는 시간이 충분히 길게 되고, 그 때문에 이랑 형성을 부드럽게 할 수 있다.
또한, 상기 로드(6)의 피스톤(5)쪽에는 슬릿(71)이 형성되어 있고, 로드(6)가 신장 스트로크 엔드 위치를 취하면, 슬릿(71)으로 피스톤 수축실(8)과 보조 포트(23)가 연결되도록 하고 있다.
이 구성에 의하면, 밸브체(15)가 제2위치가 되어 부펌프 포트(10)와 드릴 구멍(22)이 연결해서 피스톤 신장실(7)에 펌프압이 유입하고, 로드(6)가 신장 작동하여 신장 스트로크 엔드 위치를 취하게 되면, 피스톤 수축실(8)이 슬릿(71), 포트(33) 및 유로(24)를 지나서 스프링실(25)에 연결된다.
그렇게 하면, 피스톤 수축실(8)의 압력과 밸브체(15)를 제1위치로 누르는 스프링실(25)의 압력이 같게 되고, 더구나 피스톤 수축실(8) 내의 압력과 피스톤 신장실(7) 내의 압력이 같으므로, 결국 밸브체(15)를 제2위치로 누르는 피스톤 신장실(7) 내의 압력과 밸브체(15)를 제1위치로 누르는 스프링실(25) 내의 압력이 같게 된다.
이 때문에, 밸브체(15)는 스프링(19)으로 도 12에 나타내는 것 같은 제2위치(a)에서 제1위치(b)로 향하여 왼쪽으로 이동하고, 우선 부펌프 포트(10)와 드릴 구멍(22)(즉, 피스톤 신장실(7))과의 사이의 개구면적을 감소시키고, 이어서 탱크 포트(11)와 드릴 구멍(22)(즉, 피스톤 신장실(7))과의 사이를 개구시키기 시작한다. 또한, 밸브체(15)가 왼쪽으로 이동하면, 부펌프 포트(10)와 드릴 구멍(22)과의 사이가 차단되고, 그 후에 탱크 포트(11)와 드릴 구멍(22)과의 사이의 개구 면적이 증대하고, 밸브체(15)는 제1위치(b)가 된다.
이와 같기 때문에, 로드(6)가 신장 스트로크 엔드 위치에 도달하면, 피스톤 신장실(7) 내의 유체는, 우선 부펌프 포트(10)에만 유출하고, 이어서 부펌프 포트(10) 및 탱크 포트(11)의 양쪽으로 유출하고, 그 후에 탱크 포트(11)로만 유출한다.
따라서, 피스톤 신장실(7) 내가 봉입 상태가 되는 일이 없기 때문에, 밸브체(15)는 확실하게 제2위치로부터 제1위치로 전환 작동한다.
또한, 상기 가변스로틀(66) 및 스로틀(26)은 도 13에 나타낸 제4실시예의 것과 같이, 비례 솔레노이드(80)에 의하여 니들(67, 69)을 왕복 이동시키도록 하여도 좋다. 이와 같이 하면, 스로틀의 개구 면적을 다이알 등에 의해서 간단히 변경할 수가 있다.
상기 가변 스로틀(66) 및 스로틀(26)은 도 14에 나타낸 제5실시예의 것과 같이, 몸체(1)외에 설치한 관로(81, 82)에 각각 설치하여도 좋다. 이와 같이 하면, 몸체(1)의 가공이 용이하게 된다.
또한, 본 발명은 예시적인 실시예에 대하여 설명하였지만, 개시된 실시예에 관해서, 본 발명의 요지 및 범위를 벗어나는 일이 없고, 여러가지의 변경, 생략, 추가가 가능한 것은 당업자에 있어서 자명하다. 따라서, 본 발명은, 상기의 실시예에 한정되는 것이 아니라, 청구의 범위에 기재된 요소에 의해서 규정되는 범위 및 그 균등 범위를 포함하는 것으로서 이해되지 않으면 않된다.

Claims (13)

  1. 피스톤 구멍과 밸브 구멍과 로드 삽입 구멍이 동심 모양으로 연속하여 형성된 몸체와,
    상기 피스톤 구멍으로 개구하는 주펌프 포트와,
    상기 밸브 구멍으로 개구하는 부펌프 포트와 탱크 포트와,
    상기 로드 삽입 구멍으로 개구하는 보조 포트와,
    상기 피스톤 구멍에 미끄럼 운동 가능하게 삽입 되어 있고, 그 양측에 상기 주펌프 포트에 연결하는 수용 압력 면적이 작은 피스톤 수축실과 수용 압력 면적이 큰 피스톤 신장실을 각각 구획 형성하는 피스톤과,
    상기 피스톤과 연결되고 또한 상기 로드 삽입 구멍에 삽입된 로드와,
    한 끝이 상기 피스톤에 접촉할 수 있도록 하여 상기 밸브 구멍에 삽입되어 있고, 상기 접촉끝측에 상기 피스톤 신장실을 다른측에 스프링실을 각각 구획 형성함과 동시에, 상기 피스톤 신장실을 상기 탱크 포트에만 연결하는 제1위치와 상기 피스톤 신장실을 상기 부펌프 포트에만 연결하는 제2위치를 취하고 있는 제1밸브체와,
    상기 제1밸브체를 상기 제1위치로 힘을 가하는 제1스프링과,
    상기 보조 포트를 상기 스프링실에 접속하는 유로(油路)와,
    상기 피스톤이 신장 스트로크 엔드 위치를 취하였을 때 상기 피스톤 수축실을 상기 보조 포트에 연결하는 전환 수단을 포함하고,
    상기 주펌프 포트와 상기 부펌프 포트를 유체 압력 펌프의 토출로에 접속한 것을 특징으로 하는 왕복 운동 액추에이터.
  2. 제1항에 있어서, 상기 밸브체가 제2위치로부터 제1위치로 이동할 때, 우선 상기 부펌프 포트와 상기 피스톤 신장실과의 사이의 개구 면적이 감소하고, 이어서 상기 부펌프 포트와 상기 피스톤 신장실과 상기 탱크 포트와의 각 사이를 각각 연결하고, 그후에 상기 부펌프 포트와 상기 피스톤 신장실과의 사이가 차단되고 또한 상기 피스톤 신장실과 상기 탱크 포트와의 사이의 개구 면적이 증대하도록 한 것을 특징으로 하는 왕복 운동 액추에이터.
  3. 제1항에 있어서, 상기 전환 수단이 상기 로드에 형성된 소직경부를 포함하고,
    상기 피스톤이 신장 스트로크 엔드 위치를 취하였을 때 상기 소직경부를 통하여 상기 피스톤 수축실이 상기 보조 포트에 연결시켜지는 것을 특징으로 하는 왕복 운동 액추에이터.
  4. 제1항에 있어서, 상기 전환 수단이 상기 로드에 형성된 슬릿을 포함하고,
    상기 피스톤이 신장 스트로크 엔드 위치를 취하였을 때 상기 슬릿을 통하여 상기 피스톤 수축실이 상기 보조 포트에 연결시켜지는 것을 특징으로 하는 왕복 운동 액추에이터.
  5. 제1항에 있어서, 상기 전환수단이,
    상기 로드 삽입 구멍과 상기 로드와의 사이에 미끄럼 운동 가능하게 삽입되어 있고, 상기 보조 포트를 상기 피스톤 수축실로부터 차단하고 또한 보조 탱크 포트와 연결하는 제1위치와, 상기 보조 포트를 상기 피스톤 수축실과 연결시키고 또한 상기 보조 탱크 포트로부터 차단하는 제2위치를 취하는 제2 밸브체와,
    상기 제2밸브체를 제1위치로 힘을 가하는 제2스프링을 포함하고,
    상기 피스톤이 신장 스트로크 엔드 위치를 취하였을 때 상기 제2밸브체가 상기 피스톤에서 제2위치로 이동시켜지는 것을 특징으로 하는 왕복 운동 액추에이터.
  6. 제1항에 있어서, 상기 주펌프 포트와 상기 유체 압력 펌프의 토출로와의 사이에 제1스로틀을 설치한 것을 특징으로 하는 왕복 운동 액추에이터.
  7. 제1항에 있어서, 상기 부펌프 포트와 상기 유체 압력 펌프의 토출로와의 사이에 가변 스로틀을 설치한 것을 특징으로 하는 왕복 운동 액추에이터.
  8. 제1항에 있어서, 상기 보조 포트를 상기 스프링실에 접속하는 유로를 제2스로틀을 통하여 상기 탱크 포트에 연결시키는 것을 특징으로 하는 왕복 운동 액추에이터.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제2스로틀이 가변 스로틀인 것을 특징으로 하는 왕복 운동 액추에이터.
  10. 제1항에 있어서, 상기 피스톤 구멍의 상기 주펌프 포트보다 수축 방향쪽에 형성된 약간 소직경의 브레이크용 피스톤 삽입 구멍과,
    상기 로드의 피스톤쪽에 설치된 브레이크용 피스톤을 구비하고,
    상기 피스톤이 신장 스트로크 엔드 위치 부근으로 되면 상기 브레이크용 피스톤이 상기 브레이크용 피스톤 삽입 구멍내에 끼워져 결합하고, 상기 브레이크용 피스톤과 상기 피스톤과 상기 피스톤 구멍의 내주벽과의 사이에 밀폐공간부를 형성하도록 한 것을 특징으로 하는 왕복 운동 액추에이터.
  11. 제10항에 있어서, 상기 브레이크용 피스톤의 외주면에 상기 밀폐공간부 내의 유체를 서서히 유량을 감소시키면서 상기 주펌프 포트측으로 흐르게 하는 노치를 형성한 것을 특징으로 하는 왕복 운동 액추에이터.
  12. 제1항에 있어서, 상기 피스톤의 상기 피스톤 신장실측에 형성된 약간 소직경의 브레이크용 피스톤과,
    상기 제1밸브체의 상기 피스톤 신장실쪽에 설치된 브레이크용 피스톤 삽입 구멍을 구비하고,
    상기 피스톤이 수축 스트로크 엔드 위치 부근으로 되면 상기 브레이크용 피스톤이 상기 브레이크용 피스톤 삽입 구멍내에 끼워져 결합하고, 상기 브레이크용 피스톤과 상기 제1밸브체와 상기 피스톤과 상기 피스톤 구멍의 내주벽과의 사이에 밀폐공간부를 형성하도록 한 것을 특징으로 하는 왕복 운동 액추에이터.
  13. 제12항에 있어서, 상기 브레이크용 피스톤의 외주면에 상기 밀폐공간부 내의 유체를 서서히 유량을 감소시키면서 상기 탱크 포트측으로 흐르게 하는 노치를 형성한 것을 특징으로 하는 왕복 운동 액추에이터.
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