JP3739844B2 - Stocker section of handler device - Google Patents

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JP3739844B2 JP33071495A JP33071495A JP3739844B2 JP 3739844 B2 JP3739844 B2 JP 3739844B2 JP 33071495 A JP33071495 A JP 33071495A JP 33071495 A JP33071495 A JP 33071495A JP 3739844 B2 JP3739844 B2 JP 3739844B2
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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明はICテスタにより試験したICを試験結果(カテゴリ)別に分類するハンドラ装置のストッカ部の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】
ハンドラ装置においては、試験結果による分類数は近年ますます増加しており、分類数だけのIC収納用トレイを平面的に配置すると、大きなフロアスペースが必要で、ハンドラ装置の外形が大きくなってしまう。そこで、トレイを多段に重ねて収納する図4に示すストッカ部が用いられていた。
【0003】
図4の例では5枚のトレイ2を収納できるようになっており、1枚ずつ位置決め用のチェンジ・キット3に乗せられてラック4に収納される。各ラック4にはラック4をレール5cに沿って横(図では左方向)に引き出すためにリニヤガイド(リニヤベアリング)5a,5bが取付けられている。各段のラック4を横にスライドさせるためにエアシリンダ6が最上段のラックの高さ位置付近に固定されている。各段のラック4及びレール5cはフレーム7に収納保持される。
【0004】
トレイ2をIC受け取り位置に搬送するため任意の段のラック4をレール5cに沿ってスライドさせるには、その段のラックがエアシリンダ6の駆動位置に合うように、5段全部のラック4,レール5c,フレーム7より成るストッカ14を昇降台8でもち上げる。昇降台8はギヤ9に固定されており、そのギヤ9はモータ10により駆動される。これらの昇降台8、ギヤ9、モータ10等によりリフタ13が構成される。
【0005】
なお、ツマミ11によりストッカ14を手前に引き出してトレイ2を横から取り出すことができる。
さて、エアシリンダ6により横に引き出された1つのトレイ2はリフタ19(昇降台15、ギヤ16、モータ17等により構成される)により上昇され、トレイキャッチ21Rにより保持されて、IC受け取り位置の下側に配されているセットプレート22Rまで搬送されセットプレートに載せられる。次にトレイキャッチ21Rは他の場所に逃がされ、セットプレート22Rはトレイ2を載せたまま位置決めプレート24に下からトレイを押し付けて位置決めする。セットプレート22Rを上下させるのにエアシリンダ27Rを用いる。位置決めされたトレイ内の所定位置にICがアームにより配される。
【0006】
位置決めプレート24におけるIC受け取り位置は左右2箇所あり、左側を使う場合には、トレイキャッチ21L、セットプレート22L、エアシリンダ27Lを用いる。リフタ19で上昇されたトレイをトレイキャッチ21Lの位置まで搬送するのにエアシリンダ(またはボールねじとモータ)26を用いる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
(1)トレイ2をストッカ14からIC受け取り位置まで搬送させる場合には下記の動作が必要となる。
▲1▼リフタ13によりトレイをストッカ14ごと上昇させ、目的のトレイを載せたラック4をエアシリンダ6の高さまで上昇させる。
▲2▼トレイをラックごとエアシリンダ6により横に引き出す。
▲3▼リフタ19によりトレイをトレイキャッチ21の位置へ上昇させる。
▲4▼左側のIC受け取り位置を使用する場合にはエアシリンダ26でトレイを左側に搬送する。
▲5▼トレイキャッチ21によりトレイを保持してセットプレート22に載せる。
▲6▼トレイキャッチ21を逃がす。
▲7▼エアシリンダ27によりセットプレート22を上昇させトレイを位置決めプレート24に押し付けて係合させる。
【0008】
このように多くの動作を必要とするため時間がかかる。位置決めされたトレイをストッカ14に戻す場合も同様である。このためハンドラ装置のスループット(処理能力)を低下させる原因となっていた。
(2)▲1▼トレイ2をIC受け取り位置に搬送するために、各段のラック4ごとにリニアガイド5a,5bとレール5を設ける必要がある。▲2▼オペレータがトレイをストッカ14にセットする/取り出す場合、オペレータがツマミ11によりストッカ全体を前に引き出して、横からセットする/取り出す必要がある。
【0009】
このため構造が複雑となり、コスト高となる欠点があった。
この発明の目的は、これら従来の問題を解決して、トレイのストッカとIC受け取り位置との間の搬送時間を短かくし、構造が簡単で、安価なストッカ部を提供しようとするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
(1)請求項1のハンドラ装置のストッカ部には、複数のトレイを多段に重ね収納するストッカと、そのストッカを昇降させるリフタと、そのリフタにより所定の高さに調整されたトレイを挟持する第1,第2スライドアームと、それら第1,第2スライドアームを案内する、ほぼ水平に配されたリニアガイドと、第1,第2スライドアームをリニアガイドに沿って互いに離れる方向または近付く方向に駆動して、トレイを挟持または解放させる駆動機構と、トレイを挟持した第1,第2スライドアームを、リニアガイドに沿って、ストッカとIC受け取り位置との間を搬送するシリンダとが設けられ、上記IC受け取り位置は上記ストッカに収納されない第2のトレイが位置決めプレートにより位置決めされるICの受け取り位置の上方に位置し、リニアガイドは位置決めプレートより高い位置に位置される。
【0011】
(2)請求項2の発明では、前記(1)において、位置決めプレートの下側に、第2のトレイを昇降させ、位置決めプレートに係合させるセットプレートまたは第2のリフタが設けられる。
【0012】
(3)請求項3の発明は、前記(1)において、駆動機構が、シリンダによりリニアガイドに沿って搬送される中央ブロックと、リニアガイドに沿って第1スライドアームに固定された第1ラックギヤと、その第1ラックギヤと噛合して、中央ブロックに回動自在に取付けられたピニオンギヤと、そのピニオンギヤと噛合し、そのピニオンギヤを挟んで第1ラックギヤと対向して平行に配され、第2スライドアームに固定された第2ラックギヤと、ストッカの近傍に取付けられ、第1及び第2ラックギヤ同士がリニアガイドに沿って互いに離れるように一方のラックギヤを駆動する第2のシリンダと、第1スライドアームと、第2ラックギヤまたは第2スライドアームとの間に取付けられ、両者が互いに近付くように偏倚するコイルばねとにより構成される。
【0013】
【発明の実施の形態】
図1の実施例を参照して発明の実施の形態を説明する。なお、図1には、図4と対応する部分に同じ符号を付けている。以下従来と異なる点をあげて説明する。
▲1▼ 図4でリニアガイド5a,5b及びレール5cを各段に設けていたが、この発明ではこれを廃止し、位置決めプレート24より高い位置に1本のリニアガイド31を設けている。
【0014】
▲2▼ 位置決めプレート24に位置決めされたトレイの上に重なる位置にストッカ14のトレイを搬送し、その位置でICを受け取る。
▲3▼ ストッカ14より引き出したトレイ2を元に戻して、位置決めプレート24にセットされたトレイ2´にICを収納できるようにしている。
▲4▼ 従来のトレイキャッチ21の代りに一対のスライドアーム33,33´を設けている。
【0015】
▲5▼ 従来トレイを横に搬送するのにエアシリンダ6とエアシリンダ(またはボールねじとモータ)26を用いていたのを共用化してエアシリンダ6のみとしている。
▲6▼ 従来ツマミ11により5段より成るストッカ14を前に引き出して任意のトレイを横から取り出す(またはセットする)構造であったのを止め、トレイをオペレータが取出し/セットできる高さの範囲Hになるように、ストッカ14をリフタ13により下げられるようにしている。下げた位置でオペレータは図1において右側または前方からトレイの取出し/セットが行える。
【0016】
▲7▼ 位置決めプレート24にセットするトレイ2´はセットプレート22で支持されエアシリンダ27により上昇/下降されるが、セットプレート22及びエアシリンダ27の代わりにリフタ19を用いることもできる。なおトレイ2′はストッカ14に収納さるトレイ2とは別に取出し/セットできるようされている。
【0017】
トレイ2及びチェンジキット3を載せる各段のラック4は上下方向に延長されたガイドシャフト7bに案内され、ストッカ14全体がリフタ13により昇降される点は従来とほぼ同じである。
次にチェンジ・キット3及びストッカ14のトレイ2をIC受け取り位置まで移送するのに使用される一対のスライドアーム33,33´とリニアガイド31について図2,図3を参照して説明する。
【0018】
チェンジ・キット3にはトレイ2を位置決めする5本のピン3aが設けられる。またスライドアーム33,33´の引っ掛けピン33aを引っ掛けるための孔3bが図2において左周辺に2個、右周辺に1個設けられている。
スライドアーム33,33′の基部はリニアガイド31に沿って配され、その基部にラックギヤ40または40′の一端部がリニアガイド31に沿って固定される。ラックギヤ40,40′は中央ブロック42に回動自在に取付けられたピニオンギヤ44と噛合するようにされている。ラックギヤ40の延長端(右端)はエアシリンダ46に押され左方向に移動できるようにされている。スライドアーム33の基部とラックギヤ40′の延長端(左端)との間にコイルばね48がピン49,50によって取付けられ、そのコイルの縮もうとする応力によってスライドアーム33,33′は互いに近付くように引き寄せられる。オペレータがその引っ掛けピン33aにチェンジ・キット3の孔3bを嵌合させた後、チェンジ・キット3はスライドアーム33,33′により挟持される。
【0019】
エアシリンダ46の可動棒46aの先端で、ラックギヤ40を左側に移動させると、ラックギヤ40の固定されているスライドアーム33も左側に移動する。これによりピニオンギヤ44は時計方向に回動され、ラックギヤ40′は右側に移動され、ラックギヤ40′の固定されているスライドアーム33′も右側に移動される。上述のエアシリンダ46によるラックギヤ40を左側に移動させる動作はコイルばね48の偏倚力に抗して行われる。これらの一連の動作によって、スライドアーム33,33′は互いに開くように、つまり離れるように移動される。これに対して両者を閉じる動作は前述のようにコイルばね48の偏倚力により行われる。
【0020】
スライドアーム33,33′を開く動作は、ストッカ14においてトレイ2の取付け/取外す際に行われるので、エアシリンダ46はストッカ14側に固定されている。ラックギヤ40,40′、ピニオンギヤ44、エアシリンダ46、コイルバネ48等により駆動機構56が構成される。
チェンジ・キット3を介してスライドアーム33,33′に挟持されたトレイはエアシリンダ6によって左側のIC受け取り位置に移動される。即ち、エアシリンダ6は中央ブロック42をリニアガイド31に沿って左側に移動させたり、右側に戻したりする。これによりスライドアーム33,33′もトレイを挟持した状態でリニアガイド31に沿って中央ブロック42と共に左右に移動される。
【0021】
【発明の効果】
(1)この発明の装置においてトレイ2をストッカ14からIC受け取り位置まで搬送させる場合の動作は、
▲1▼ リフタ13により該当トレイを載せたラック4をリニアガイド31の高さ位置に上下動させる。
▲2▼ スライドアーム33,33′によりトレイ2(チェンジ・キット3)を挟持する。
▲3▼ トレイ2(チェンジ・キット3)をエアシリンダ6によりリニアガイド31に沿って左側のIC受け取り位置に移動させる。
の3つになる。トレイをストッカに戻す場合も同様である。従って、この発明のストッカ部の構造は従来の構造に比べて少ない種類の動作で行うことができ、所要時間も少なくて済む。よってハンドラ装置のスループットを向上させることができる。
【0022】
(2)▲1▼この発明ではストッカ14に収容されたトレイ2をIC受け取り位置に搬送するために、1本の共通のリニアガイド31を設けるようにしている(従来は各段ごとにリニアガイド5a,5bとレール5cを設けていた)。
▲2▼オペレータがトレイをストッカ14にセットする/取り出す場合、オペレータは該当するトレイの高さが出し入れする高さ範囲H内に位置するように、必要に応じボタン操作によりストッカ14全体をガイドシャフト7bに沿って上下動させる。これによりトレイをストッカの前方または右側より出し入れできる。従って、従来のようにストッカ14全体を前方に引き出す機構が不要となり、またリニアガイド機構が簡単となるので、コストを低減することができると共に、ストッカ全体を引き出すなどのオペレータの仕事を不要にする利点もある。
【0023】
(3)この発明では、ストッカ14よりIC受け取り位置に搬送されたトレイ2の下側にストッカ14に収納されない別のトレイ2′を配する構造であるため、このトレイ2をIC受け取り位置からストッカ14の方向に逃がせるかまたは収納させた状態で、下のトレイ2′にICを収納することもできるので、ハンドラ装置のスループットをいっそう向上できる効果もある。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例を示す原理的な正面図。
【図2】図1のストッカ部の原理的な平面図。
【図3】図2のスライドアーム33,33′の基部とその周辺を拡大して示した平面図。
【図4】従来のストッカ部の原理的な正面図。
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a structure of a stocker unit of a handler device that classifies ICs tested by an IC tester according to test results (categories).
[0002]
[Prior art]
In the handler device, the number of classifications according to test results has been increasing in recent years. If the same number of IC storage trays as the number of classifications are arranged in a plane, a large floor space is required and the outer shape of the handler device becomes large. . Therefore, a stocker unit shown in FIG. 4 for storing trays in multiple stages has been used.
[0003]
In the example of FIG. 4, five trays 2 can be stored, and the trays 2 are stored one by one in the positioning change kit 3 and stored in the rack 4. Linear guides (linear bearings) 5a and 5b are attached to each rack 4 in order to draw the rack 4 sideways (leftward in the figure) along the rail 5c. An air cylinder 6 is fixed in the vicinity of the height position of the uppermost rack in order to slide the rack 4 at each stage horizontally. The rack 4 and the rail 5 c at each stage are stored and held in the frame 7.
[0004]
In order to slide the rack 4 at any stage along the rail 5c in order to transport the tray 2 to the IC receiving position, all the racks 4 of the five stages are arranged so that the rack at that stage matches the driving position of the air cylinder 6. The stocker 14 composed of the rail 5c and the frame 7 is lifted up by the lifting platform 8. The elevator 8 is fixed to a gear 9, and the gear 9 is driven by a motor 10. These lifts 8, gears 9, motors 10 and the like constitute a lifter 13.
[0005]
In addition, the tray 2 can be taken out from the side by pulling the stocker 14 forward by the knob 11.
Now, one tray 2 pulled out horizontally by the air cylinder 6 is lifted by a lifter 19 (configured by a lift 15, a gear 16, a motor 17, etc.), held by a tray catch 21 </ b> R, and placed at an IC receiving position. It is conveyed to the set plate 22R arranged on the lower side and placed on the set plate. Next, the tray catch 21 </ b> R is released to another place, and the set plate 22 </ b> R presses the tray from below to position the tray 2 with the tray 2 placed thereon. An air cylinder 27R is used to move the set plate 22R up and down. An IC is arranged by an arm at a predetermined position in the positioned tray.
[0006]
There are two left and right IC receiving positions on the positioning plate 24. When the left side is used, the tray catch 21L, the set plate 22L, and the air cylinder 27L are used. An air cylinder (or a ball screw and a motor) 26 is used to convey the tray raised by the lifter 19 to the position of the tray catch 21L.
[0007]
[Problems to be solved by the invention]
(1) When the tray 2 is transported from the stocker 14 to the IC receiving position, the following operation is required.
(1) The tray is raised together with the stocker 14 by the lifter 13, and the rack 4 on which the target tray is placed is raised to the height of the air cylinder 6.
(2) Pull out the tray sideways with the air cylinder 6 together with the rack.
(3) The lifter 19 raises the tray to the position of the tray catch 21.
(4) When using the IC receiving position on the left side, the air cylinder 26 transports the tray to the left side.
(5) The tray is held by the tray catch 21 and placed on the set plate 22.
(6) Release the tray catch 21.
(7) The set plate 22 is lifted by the air cylinder 27 and the tray is pressed against the positioning plate 24 to be engaged.
[0008]
Since many operations are required in this way, it takes time. The same applies when the positioned tray is returned to the stocker 14. For this reason, it has been a cause of reducing the throughput (processing capacity) of the handler device.
(2) (1) In order to transport the tray 2 to the IC receiving position, it is necessary to provide linear guides 5a and 5b and rails 5 for each rack 4 in each stage. (2) When the operator sets / removes the tray to / from the stocker 14, the operator needs to pull the entire stocker forward with the knob 11 and set / remov it from the side.
[0009]
For this reason, there has been a drawback that the structure becomes complicated and the cost is increased.
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve these conventional problems, to shorten the transport time between a tray stocker and an IC receiving position, and to provide an inexpensive stocker unit with a simple structure.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
(1) The stocker unit of the handler apparatus according to claim 1 holds a stocker that stacks and stores a plurality of trays in multiple stages, a lifter that raises and lowers the stocker, and a tray that is adjusted to a predetermined height by the lifter. The first and second slide arms, the linear guides arranged substantially horizontally to guide the first and second slide arms, and the direction in which the first and second slide arms are separated from or approach each other along the linear guides And a cylinder that transports the first and second slide arms that sandwich the tray between the stocker and the IC receiving position along the linear guide. The IC receiving position is located above the IC receiving position where the second tray that is not stored in the stocker is positioned by the positioning plate. And location, linear guide Ru is positioned higher than the positioning plate position.
[0011]
(2) In the invention of claim 2, in (1), below the position-decided Me plate, raises and lowers the second tray, the set plate or the second riff motor engaged is provided on the positioning plate .
[0012]
(3) In the invention of claim 3, in (1), the drive mechanism is a central block conveyed along a linear guide by a cylinder, and a first rack gear fixed to the first slide arm along the linear guide. And a pinion gear that meshes with the first rack gear and is pivotally attached to the central block, meshes with the pinion gear, and is arranged in parallel to face the first rack gear with the pinion gear interposed therebetween, and the second slide A second rack gear fixed to the arm, a second cylinder mounted in the vicinity of the stocker and driving one rack gear so that the first and second rack gears are separated from each other along the linear guide, and a first slide arm When the second Rakkugi mountain other is mounted between the second slide arm, a coil spring biased to both close to each other Ri made.
[0013]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
An embodiment of the invention will be described with reference to the example of FIG. In FIG. 1, parts corresponding to those in FIG. Hereinafter, the points different from the conventional one will be described.
(1) In FIG. 4, the linear guides 5a and 5b and the rail 5c are provided at each stage. However, in the present invention, this is abolished and one linear guide 31 is provided at a position higher than the positioning plate 24.
[0014]
(2) The tray of the stocker 14 is transported to a position overlapping the tray positioned on the positioning plate 24, and the IC is received at that position.
(3) The tray 2 pulled out from the stocker 14 is returned to the original position so that the IC can be stored in the tray 2 ′ set on the positioning plate 24.
(4) Instead of the conventional tray catch 21, a pair of slide arms 33 and 33 'are provided.
[0015]
(5) The air cylinder 6 and the air cylinder (or ball screw and motor) 26 are conventionally used to convey the tray horizontally, and only the air cylinder 6 is used.
(6) The height range in which the tray can be taken out / set by the operator after stopping the conventional structure in which the five-stage stocker 14 is pulled forward by the knob 11 and any tray is taken out (or set) from the side. The stocker 14 is lowered by the lifter 13 so as to be H. In the lowered position, the operator can take out / set the tray from the right side or the front side in FIG.
[0016]
(7) The tray 2 ′ set on the positioning plate 24 is supported by the set plate 22 and raised / lowered by the air cylinder 27, but the lifter 19 can be used in place of the set plate 22 and the air cylinder 27. The tray 2 ′ can be taken out / set separately from the tray 2 stored in the stocker 14.
[0017]
The rack 4 at each stage on which the tray 2 and the change kit 3 are placed is guided by a guide shaft 7b extending in the vertical direction, and the entire stocker 14 is moved up and down by the lifter 13, which is almost the same as the conventional one.
Next, a pair of slide arms 33 and 33 'and a linear guide 31 used for transferring the change kit 3 and the tray 2 of the stocker 14 to the IC receiving position will be described with reference to FIGS.
[0018]
The change kit 3 is provided with five pins 3 a for positioning the tray 2. Further, two holes 3b for hooking the hook pins 33a of the slide arms 33 and 33 'are provided on the left periphery and one on the right periphery in FIG.
The base portions of the slide arms 33 and 33 ′ are arranged along the linear guide 31, and one end portion of the rack gear 40 or 40 ′ is fixed along the linear guide 31 to the base portion. The rack gears 40, 40 ′ mesh with a pinion gear 44 that is rotatably attached to the central block 42. The extended end (right end) of the rack gear 40 is pushed by the air cylinder 46 so that it can move leftward. A coil spring 48 is attached by pins 49 and 50 between the base of the slide arm 33 and the extended end (left end) of the rack gear 40 ′, and the slide arms 33 and 33 ′ approach each other due to the stress that the coil tries to contract. Be drawn to. After the operator fits the hole 3b of the change kit 3 into the hook pin 33a, the change kit 3 is held between the slide arms 33 and 33 '.
[0019]
When the rack gear 40 is moved to the left at the tip of the movable rod 46a of the air cylinder 46, the slide arm 33 to which the rack gear 40 is fixed also moves to the left. As a result, the pinion gear 44 is rotated clockwise, the rack gear 40 'is moved to the right side, and the slide arm 33' to which the rack gear 40 'is fixed is also moved to the right side. The above-described operation of moving the rack gear 40 to the left by the air cylinder 46 is performed against the biasing force of the coil spring 48. By a series of these operations, the slide arms 33 and 33 'are moved so as to open, that is, away from each other. On the other hand, the operation of closing both is performed by the biasing force of the coil spring 48 as described above.
[0020]
Since the operation of opening the slide arms 33 and 33 ′ is performed when the tray 2 is attached / detached in the stocker 14, the air cylinder 46 is fixed to the stocker 14 side. A drive mechanism 56 is configured by the rack gears 40, 40 ', the pinion gear 44, the air cylinder 46, the coil spring 48, and the like.
The tray held between the slide arms 33 and 33 ′ via the change kit 3 is moved to the left IC receiving position by the air cylinder 6. That is, the air cylinder 6 moves the central block 42 to the left along the linear guide 31 and returns it to the right. As a result, the slide arms 33 and 33 ′ are also moved to the left and right along with the central block 42 along the linear guide 31 while holding the tray.
[0021]
【The invention's effect】
(1) In the apparatus of the present invention, when the tray 2 is transported from the stocker 14 to the IC receiving position,
(1) The rack 4 on which the corresponding tray is placed is moved up and down to the height position of the linear guide 31 by the lifter 13.
(2) The tray 2 (change kit 3) is held between the slide arms 33 and 33 '.
(3) The tray 2 (change kit 3) is moved by the air cylinder 6 along the linear guide 31 to the left IC receiving position.
It becomes three. The same applies when returning the tray to the stocker. Therefore, the structure of the stocker unit according to the present invention can be performed with fewer kinds of operations and requires less time than the conventional structure. Therefore, the throughput of the handler device can be improved.
[0022]
(2) {circle over (1)} In the present invention, a common linear guide 31 is provided to transport the tray 2 accommodated in the stocker 14 to the IC receiving position (conventionally, the linear guide is provided for each stage. 5a, 5b and rail 5c were provided).
(2) When the operator sets / removes the tray to / from the stocker 14, the operator moves the entire stocker 14 by a button operation as necessary so that the height of the corresponding tray is located within the height range H to be taken in / out. Move up and down along 7b. Thus, the tray can be taken in and out from the front or right side of the stocker. Accordingly, a conventional mechanism for pulling out the entire stocker 14 forward is not required, and the linear guide mechanism is simplified, so that the cost can be reduced and the operator's work such as pulling out the entire stocker is unnecessary. There are also advantages.
[0023]
(3) In the present invention, since another tray 2 'not stored in the stocker 14 is arranged below the tray 2 conveyed from the stocker 14 to the IC receiving position, the tray 2 is moved from the IC receiving position to the stocker. Since the IC can be stored in the lower tray 2 ′ in a state in which it is allowed to escape or stored in the direction of 14, the throughput of the handler device can be further improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a principle front view showing an embodiment of the present invention.
2 is a principle plan view of the stocker unit of FIG. 1;
3 is an enlarged plan view showing a base portion and its periphery of slide arms 33 and 33 ′ shown in FIG.
FIG. 4 is a principle front view of a conventional stocker unit.

Claims (3)

複数のトレイを多段に重ねて収納するストッカと、
そのストッカを昇降させるリフタと、
そのリフタにより所定の高さに調整されたトレイを挟持する第1,第2スライドアームと、
それら第1,第2スライドアームを案内する、ほぼ水平に配されたリニアガイドと、
前記第1,第2スライドアームを前記リニアガイドに沿って互いに離れる方向または近付く方向に駆動して、前記トレイを挟持または解放させる駆動機構と、
前記トレイを挟持した第1,第2スライドアームを、前記リニアガイドに沿って、前記ストッカとIC受け取り位置との間を搬送するシリンダとを具備し、
前記IC受け取り位置は前記ストッカに収納されない第2のトレイが位置決めプレートにより位置決めされるICの受け取り位置の上方に位置し、
前記リニアガイドは前記位置決めプレートより高い位置に位置されていることを特徴とするハンドラ装置のストッカ部。
A stocker that stores multiple trays stacked in multiple stages,
A lifter that raises and lowers the stocker,
First and second slide arms that sandwich a tray adjusted to a predetermined height by the lifter;
A linear guide arranged substantially horizontally to guide the first and second slide arms;
A drive mechanism for driving the first and second slide arms in a direction away from or approaching each other along the linear guide to sandwich or release the tray;
First and sandwich the tray, the second slide arm along said linear guide, comprising a cylinder for transporting between said stocker and the IC receiving position,
The IC receiving position is located above the IC receiving position where the second tray that is not stored in the stocker is positioned by the positioning plate,
The linear guide stocker of the handler and wherein that you have been positioned at a higher position than the positioning plate.
請求項1において、前記位置決めプレートの下側に、前記第2のトレイを昇降させ、前記位置決めプレートに係合させるセットプレートまたは第2のリフタが設けられていることを特徴とするハンドラ装置のストッカ部。In claim 1, the lower side of the front Symbol position-decided Me plate, said second tray raising and lowering the, wherein the set plate or the second riff motor to engage the positioning plate is provided Stocker part of the handler device. 請求項1において、前記駆動機構が、
前記シリンダにより前記リニアガイドに沿って搬送される中央ブロックと、
前記リニアガイドに沿って前記第1スライドアームに固定された第1ラックギヤと、
その第1ラックギヤと噛合して、前記中央ブロックに回動自在に取付けられたピニオンギヤと、
そのピニオンギヤと噛合し、そのピニオンギヤを挟んで前記第1ラックギヤと対向して平行に配され、前記第2スライドアームに固定された第2ラックギヤと、
前記ストッカの近傍に取付けられ、前記第1及び第2ラックギヤ同士が前記リニアガイドに沿って互いに離れるように一方のラックギヤを駆動する第2のシリンダと、
前記第1スライドアームと、前記第2ラックギヤまたは第2スライドアームとの間に取付けられ、両者が互いに近付くように偏倚するコイルばねと、
を具備することを特徴とするハンドラ装置のストッカ部。
The drive mechanism according to claim 1,
A central block conveyed along the linear guide by the cylinder;
A first rack gear fixed to the first slide arm along the linear guide;
A pinion gear meshing with the first rack gear and rotatably attached to the central block;
A second rack gear that meshes with the pinion gear, is arranged in parallel to face the first rack gear across the pinion gear, and is fixed to the second slide arm;
A second cylinder mounted in the vicinity of the stocker and driving one rack gear such that the first and second rack gears are separated from each other along the linear guide;
Said first slide arm, said second Rakkugi mountain other is mounted between the second slide arm, and a coil spring biased to both close to each other,
A stocker unit of a handler device comprising:
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