JPH06503883A - Control equipment for electronic device testing - Google Patents

Control equipment for electronic device testing

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JPH06503883A JP3516185A JP51618591A JPH06503883A JP H06503883 A JPH06503883 A JP H06503883A JP 3516185 A JP3516185 A JP 3516185A JP 51618591 A JP51618591 A JP 51618591A JP H06503883 A JPH06503883 A JP H06503883A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。 (57) [Summary] This bulletin contains application data before electronic filing, so abstract data is not recorded.

Description

【発明の詳細な説明】 電子デバイス試験の制御装置 発明の背景 本発明は所定の温度下で電子デバイスを試験する場合に関連してくる環境を制御 する電子デバイス試験の制御装置に関する。ここで「電子デバイス」なる用語は 、半導体デバイスや、集積回路、モジューラがパックされた混成電気回路等を示 し、意味している。[Detailed description of the invention] Control equipment for electronic device testing Background of the invention The present invention controls the environment involved when testing electronic devices at predetermined temperatures. This invention relates to a control device for electronic device testing. Here, the term "electronic device" , semiconductor devices, integrated circuits, hybrid electrical circuits packed with modular devices, etc. And it means.

通常、電子デバイスの試験を制御する制御装置には2種類ある。一つは、共通し て「重力移送」によって特徴付けられるものである。この種の制御装置では、電 子デバイスは制御装置を介して重力によって移動される。この種の制御装置には 顕著な2つの欠点がある。一つは、移送の速度が低いため、単位時間当たりにご く僅かの電子デバイスしか扱えず、さらに電子デバイスは「裸の」状態で取り扱 われる、ということである。「裸」なる用語は、電子デバイスがなにものによっ ても覆われていない状態を意味する。即ち、電子デバイスは、いかなる保護的な 媒体によっても覆われていない状態で制御装置を通過し、試験される、というこ とである。There are typically two types of controllers that control testing of electronic devices. One thing is common It is characterized by "gravitational transport". This type of control device requires The child device is moved by gravity via the control device. This type of control device has There are two notable drawbacks. One is that the transfer speed is low, so the number of requests per unit time is low. Only a few electronic devices can be handled, and electronic devices are handled in a “naked” state. It means being exposed. The term "bare" means that an electronic device is means not covered. That is, the electronic device must be protected against any protective Pass through the control device uncovered by the media and be tested. That is.

制御装置のもう一つの種類は、「抜き取り及び載置」制御装置として特徴付けら れるものである。この種の制御装置では、電子デバイスは、−aめにされ、特に トレイに乗せられて制御装置を通過する。纏まりからは、複数の電子デバイスが 抜き取られて載置され、試験用の試験ヘッドコンタクタと接触する。試験の後は 纏まりに戻される。Another type of control device is characterized as a “pick and place” control device. It is something that can be done. In this type of control device, the electronic device is -a, in particular It is placed on a tray and passed through a control device. From the collection, multiple electronic devices It is extracted and placed and comes into contact with the test head contactor for testing. After the exam It's brought back together.

この種の制御装置は処理量は重力移送のタイプの制御装置に比べて多いか、この 装置もまた、試験の段階において電子デバイスを裸で扱っているのでこれが大き な欠点となっている。この様に扱われる電子デバイスは非常にダメージを受け易 く、例えば、装置の故障やそれぞれの電子デバイスの大きさの違いなどによって ダメージを受けやすい。This type of control device has a higher throughput than a gravity transfer type control device, or This is also a big problem since equipment is handling exposed electronic devices during testing. This is a major drawback. Electronic devices handled in this manner are highly susceptible to damage. For example, due to equipment failure or differences in the size of each electronic device, Easily damaged.

本発明は多くの利点を有している。その最初のものは、重力移送を行っていない ので重力移送よりも処理蓋が向上する、ということである。第2の利点は、電子 デバイスは、取り扱われる前に保護媒体内に配設され、トレイ上に乗せられた状 態で移送され、本発明に従った制御装置を通過する。デバイスは試験段階におい ても媒体内に保持されている。さらに、処理量は、複数のトレイ移動作業を同時 に行うことによって増加する。また、通常の大きさのトレイと、このトレイの大 きさに適応するように電子デバイスを保持する媒体とを使用することによって、 本発明に従った制御装置は、部品を安価に交換するだけでいくつもの種類のデバ イスを取り扱うことが可能となる。The invention has many advantages. The first one does not perform gravity transport This means that the processing lid is better than gravity transfer. The second advantage is that electronic The device must be placed in a protective medium and placed on a tray before being handled. and passes through a control device according to the invention. The device is in the testing phase. even if it is retained within the medium. Furthermore, the throughput can be reduced by handling multiple tray movement operations at the same time. increase by doing. Also, there are regular size trays and this tray size. By using a medium and holding the electronic device to adapt to the The control device according to the invention can be adapted to many types of devices by simply replacing parts at low cost. It becomes possible to handle chairs.

この他の利点及び特徴は、これ以降の説明により議論され、明らかとなるであろ う。Other advantages and features will be discussed and made clear from the description that follows. cormorant.

発明の概要 本発明による電子デバイス制御装置は、(1)第1のキャリアと少なくとも1個 の第2のキャリアとを有し、第2のキャリアは第1のキャリアによって規定され たシートに第1のキャリアの上方に乗せられ、各々の第2の“キャリアは少な( とも1個のシートを規定している電子デバイスキャリアユニットであり、電子デ バイスのリードが電子デバイスキャリアユニットの上方から接近容易であるよう に前記シートに電子デバイスが入れられる電子デバイスキャリアユニットと、( 2)電子デバイスかその中を通り、通過する電子デバイスの温度を変化させる手 段を有する試験前調整室と、(3)キャリアユニットを試験前調整室を介して順 番に移動させ、この移動を、キャリアユニットに載っている電子デバイス内の所 望の温度変化を生じさせるのに適したペースで行う手段と、(4)通路を有しこ の通路に沿って複数のキャリアユニットが移動可能な試験室であって、前記通路 は、キャリアユニットが試験を待つ少なくとも1つの準備位置と、キャリアユニ ット上の電子デバイスが試験されている間にキャリアユニットか休止する試験位 置と、キャリアユニットか試験室からの取り外しを待つ少なくとも1つの取り外 し待機位置とを含み、前記試験室は、前記通路の試験位置の上方に配置され下方 を向いた1夏数のコンタクトを有する試験へラドコンタクタと、キャリアユニッ トを準備位置から試験位置に移動させる手段と、前記第2のキャリア上の電子デ バイスのリードを試験へラドコンタクタに電気的に接触させるために、試験位置 にあるキャリアユニットの第2のキャリアを上昇させる手段と、キャリアユニッ トを試験位置から取り外し待機位置へ移動させる手段とを価えている試験室と、 (5)キャリアユニットを試験前調整室から試験室に入って準備位置に搬送する 手段と、(6)電子デバイスがその中を通り、通過する電子デバイスの温度を、 電子デバイスを周囲の温度に対して露出しても安全となるような温度にまで復帰 させる手段を有する試験後調整室と、(7)キャリアユニットを試験室の取り外 し待機位置から試験後調整室へ搬送する手段と、(8)キャリアユニットを試験 後調整室内で所望の降荷を達成するのに適したベースで移動させる手段と、(9 )積荷・降荷通路と、(10)キャリアユニットを試験後調整室の出口から積荷 ・降荷通路に搬送する手段と、(11)キャリアユニットを積荷・降荷通路から 試験前調整室の入口へ搬送する手段と、(12)試験前調整室への再挿入のため にキャリアユニットを積荷・降荷通路に沿って試験後調整室の出口から試験前調 整室の入口へ移動させる手段と、(13)積荷・降荷通路に沿って設けられ、m j記ユニットが前記通路に沿って試験後調整室の出口から試験前調整室に向かっ て移動するに伴って、試験された電子デバイスをキャリアユニットから取り外す 手段と、(14)積荷・降荷通路に沿って設けられ、取り外された電子デバイス を試験されていない電子デバイスと交換する手段と、を具備している。Summary of the invention The electronic device control apparatus according to the present invention includes (1) a first carrier and at least one a second carrier, the second carrier being defined by the first carrier. The second "carrier" is placed on a seat above the first carrier, and each second "carrier" Both are electronic device carrier units that define one sheet, and are electronic device carrier units that define one sheet. Ensure that the vice leads are easily accessible from above the electronic device carrier unit. an electronic device carrier unit in which an electronic device is placed in the sheet; 2) Hands that change the temperature of electronic devices that pass through or through electronic devices. (3) A pre-test adjustment room with stages, and (3) a carrier unit that is position within the electronic device mounted on the carrier unit. (4) having a passage at a pace suitable to produce the desired temperature change; A test chamber in which a plurality of carrier units are movable along a passage, the passage at least one preparation position in which the carrier unit waits for testing; Test position where the carrier unit is inactive while the electronic devices on the unit are being tested. and at least one removal awaiting removal from the carrier unit or test chamber. and a standby position, the test chamber being disposed above the test position and below the passageway. A rad contactor and a carrier unit for testing with one summer number of contacts facing the means for moving the electronic device from the preparation position to the test position; and the electronic data on the second carrier. Test position to make electrical contact of the vise leads to the test rad contactor. means for raising a second carrier of the carrier unit located in the carrier unit; a test chamber having means for removing the test piece from the test position and moving it to a standby position; (5) Transport the carrier unit from the pre-test adjustment room into the test room and into the preparation position. (6) the temperature of the electronic device through which the electronic device passes; Returns electronic devices to a temperature where it is safe to expose them to ambient temperatures and (7) a post-test adjustment chamber with means for removing the carrier unit from the test chamber. and (8) means for transporting the carrier unit from the standby position to the post-test adjustment room. means for moving on a base suitable to achieve the desired unloading within the postconditioning chamber; ) Loading/unloading aisle and (10) Loading the carrier unit from the exit of the adjustment room after testing. ・Means for transporting the carrier unit to the loading/unloading aisle, and (11) transporting the carrier unit from the loading/unloading aisle. Means for transportation to the entrance of the pre-test conditioning room, and (12) for reinsertion into the pre-test conditioning room. The carrier unit is loaded and unloaded from the exit of the post-test conditioning room along the loading/unloading path to the pre-test conditioning room. (13) a means for moving the vehicle to the entrance of the preparation room; The unit j heads from the exit of the post-test adjustment room to the pre-test adjustment room along the passage. Remove the tested electronic device from the carrier unit as it is moved. and (14) an electronic device installed and removed along the loading/unloading path. and a means for replacing the electronic device with an untested electronic device.

本発明は、半導体デバイスの試験を従来のものよりも高い通過比率で行う電子デ バイス制御装置を提供することを目的としている。The present invention is an electronic device that tests semiconductor devices with a higher pass rate than conventional ones. The purpose is to provide a device control device.

本発明は、上記目的を満たすような制御装置であって、かつ、小さな占領するス ペースが従来のシステムよりも小さい制御装置を提供することをも目的としてい る。The present invention is a control device that satisfies the above objects and that occupies a small space. It also aims to provide a control device with a smaller pace than traditional systems. Ru.

本発明は、上記2つの目的を満たすような制御装置であって、デバイスが保護キ ャリア内に入れられていてもデバイスを扱うことができる制御装置を提供するこ とをも目的としている。The present invention is a control device that satisfies the above two objects, in which the device has a protection key. To provide a control device that can handle a device even if it is placed in a carrier. It is also aimed at

本発明は、上述したような制御装置であって、電子デバイスを−纏めにして移動 させて制御装置を通過ることができ、完全な纏まりまたは纏まりのサブセットを 試験ヘッドコンタクタへ同時に渡すことができる電子デバイス制御装置を提供す ることをも目的としている。The present invention is a control device as described above, in which electronic devices are collectively moved. can be passed through the control device to create a complete chunk or a subset of the chunk. Provides an electronic device control that can be passed simultaneously to the test head contactor. It is also intended to

本発明は、1セツトまたは−纏まりの電子デバイスを支持する基準サイズのトレ イ内でデバイスを自在に移動させることができる電子デバイス制御装置を提供す ることをも目的としている。基準サイズのトレイと均一に接触する第2のキャリ ア内では、支持される電子デバイスの保護が所定の程度まで行われる。The present invention provides a reference size tray for supporting a set or group of electronic devices. We provide an electronic device control device that allows devices to be moved freely within the It is also intended to A second carrier in uniform contact with the standard size tray Within the housing, protection of the supported electronic devices is provided to a certain extent.

本発明の他の目的は、明細書の中身によって説明され、あるいはそれを読むこと によって自明である。Other objects of the invention may be explained by or read from the contents of the specification. It is self-evident.

図面の簡単な説明 図1は、装置を介してのキャリアユニットの動きと通路とを示す絵画図、 図2は、トレイ形状の1個の第1のキャリアを示す斜視図、図3は、電子デバイ スのローディング・アンローディングとキャリアユニットの前進とを行う機構を 示す正面図、図4は、図3における4−4線の断面図、図5は、図3におけろう 一5線の拡大断面図、図6は、図5における6−6線の断面図、図7は、図5に おける7−7線の断面図、図8は、図7における8−8線の断面図、図9は、図 8における9−9線の断面図、図10は、図3における10−10線の拡大断面 図、図11は、図10における11−11線の断面図、図12は、図3における 12−12線の拡大断面図、図13は、図12における13−13線の断面図、 図14A1図14B1図14Cは、第2のキャリアの異なった形状を示す図、そ して、 図15は、本発明の制御及び動作を示すダイアグラムである。Brief description of the drawing FIG. 1 is a pictorial diagram showing the movement and passage of a carrier unit through the device; FIG. 2 is a perspective view showing one tray-shaped first carrier, and FIG. 3 is a perspective view showing one tray-shaped first carrier. A mechanism for loading and unloading the carrier unit and advancing the carrier unit. 4 is a sectional view taken along line 4-4 in FIG. 3, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line 4-4 in FIG. 6 is an enlarged sectional view taken along line 6-6 in FIG. 5, and FIG. 7 is an enlarged sectional view taken along line 6-6 in FIG. 8 is a sectional view taken along line 7-7 in FIG. 7, FIG. 9 is a sectional view taken along line 8-8 in FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line 9-9 in FIG. 8, and FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view taken along line 10-10 in FIG. 11 is a sectional view taken along line 11-11 in FIG. 10, and FIG. 12 is a sectional view taken along line 11-11 in FIG. 13 is an enlarged cross-sectional view taken along the line 12-12, and FIG. 13 is a cross-sectional view taken along the line 13-13 in FIG. Figure 14A1 Figure 14B1 Figure 14C is a diagram showing different shapes of the second carrier; do, FIG. 15 is a diagram illustrating the control and operation of the present invention.

好ましい実施例の説明 図1及び図2を参照すると、電子デバイス2はシート4内に支持された状態で描 かれている。シート4は、第2のキャリアによって規定された2つのシートのう ちの1個である。Description of the preferred embodiment Referring to FIGS. 1 and 2, electronic device 2 is depicted supported within sheet 4. It's dark. Seat 4 is a bag of two seats defined by a second carrier. It is one of them.

第2のキャリアは、本実施例ではデバイス支持挿入部6である。デバイス支持挿 入部は、これよりもサイズの小さいベース8を何している。このベース8は、境 界ショルダ1oを規定している。本実施例において第1のキャリアとなっている トレイ12は、平坦なフレーム状に形成されており、均一の大キさの4つの開口 14を規定している。各々の開口14は、デバイス支持挿入部6のベースに適合 する。この結果、ベースは滑るようにして4つの開口のうちのいずれか1個に挿 入され、ショルダ10がトレイ上に載置される。この様にして、4つのデバイス 支持挿入部は、水平方向での挿入部の移動が挿入トレイのフレームによって規制 され、かつ、垂直方向での移動が重力によって規制された状態で、挿入トレイに よって規定された4つの開口に載置することができる。The second carrier is the device support insert 6 in this example. Device support insertion What is Iribe doing with Base 8, which is smaller in size than this? This base 8 is A boundary shoulder 1o is defined. In this example, it is the first carrier. The tray 12 is formed into a flat frame shape, and has four openings of uniform size. It stipulates 14. Each opening 14 fits into the base of the device support insert 6 do. As a result, the base can be slid into any one of the four openings. and the shoulder 10 is placed on the tray. In this way, four devices The supported insert is such that horizontal movement of the insert is regulated by the frame of the insert tray. into the insertion tray, and vertical movement is restricted by gravity. Therefore, it can be placed in the four defined openings.

後にさらに説明されるが、デバイス支持挿入部によって規定されるシートは、幾 つもの大きさ及び形状の電子デバイスを収容し得るようにそれぞれ異ならせて形 成しても良い。しかし、すべての挿入部は、均一なサイズのベースを何している 。図1及び図2に示すデバイス支持挿入部は各々2つのデバイスシートを有して いるが、2つではな(それ以上の、例えば4つのシートを有し2ていても良い。As will be explained further below, the seat defined by the device support insert may be Each is shaped differently to accommodate electronic devices of any size and shape. You can do it. However, all inserts have a uniformly sized base . The device support inserts shown in Figures 1 and 2 each have two device seats. However, there may be more than two sheets, for example, there may be four sheets.

このようにして、挿入トレイは広範囲な種類の電子デバイスを支持することがで きる。In this way, the insertion tray can support a wide variety of electronic devices. Wear.

特に図1を参照すると、矢印は試験制御装置16を通る挿入トレイの通路及び動 作を示している。再び図1を参照すると、符号Tで示される矩形の平板は、挿入 部6によって4つの開口14がすべて満たされた挿入トレイ12の各々を図式的 に示している。矢印は閉じられた経路を示している。この経路に沿って、トレイ Tは試験制御装置16の典型的な動作の間に移動する。図1に示すように、トレ イTは前方プラットフォーム34に沿って右から左に移動する。トレイが、符号 Uで示す降荷機構(unloading mechanism)の下方を通ると 、デバイス支持挿入部は電子デバイスを降荷する。トレイが、符号して示す積荷 機構(loading mechanism)の下方を通ると、トレイには電子 デバイスが再び積荷される。With particular reference to FIG. 1, arrows indicate the path and movement of the insertion tray through the test controller 16. It shows the work. Referring again to FIG. 1, the rectangular plate designated T Diagrammatically shows each of the insertion trays 12 with all four openings 14 filled by the section 6. It is shown in Arrows indicate closed paths. Along this path, the tray T moves during typical operation of test controller 16. As shown in Figure 1, The iT moves from right to left along the forward platform 34. The tray has a sign When passing under the unloading mechanism indicated by U , the device support insert unloads the electronic device. The tray indicates the load When passing under the loading mechanism, the tray contains an electronic The device is reloaded.

供給プラットフォーム18は、通常、所定の手段を描(。The supply platform 18 typically depicts a predetermined means (.

この手段によって、本発明は個々の電子デバイスを、即ち構成要素を受け取る。By this means, the invention receives individual electronic devices, ie components.

この手段、即ち、供給プラットフォームあるいはこれの上方に構成要素を到着さ せる手段は、本発明の一部ではない。積荷機構りは個々の電子デバイスを供給プ ラットフォームから取り上げて、挿入部6が挿入トレイ12に載置されている状 態で好ましくは取り上げた順にデバイス支持シート4に積荷する。積荷機構は通 常積荷ピックアップヘッド20を有している。このヘッド20は支持24Aおよ び24Bによって吊り下げられたトラック22に沿って往復移動する。後に詳細 に説明するが、ピックアップヘッドの基底部には、吸引手段が設けられている。This means, i.e., the delivery of components to or above the supply platform. The means to do so are not part of the invention. The loading mechanism is a platform that supplies individual electronic devices. Take it up from the platform and insert it with the insertion section 6 placed on the insertion tray 12. The devices are preferably loaded onto the device support sheet 4 in the order in which they are picked up. The loading mechanism is It has a permanent load pickup head 20. This head 20 is connected to the support 24A and It reciprocates along the track 22 suspended by and 24B. More details later As will be explained in , a suction means is provided at the base of the pickup head.

この吸引手段は、電子デバイスを積荷工程の間に掴持する。作業においては、積 荷ヘッド20は2つの休止位置を有する。これら休止位置は、トラック22のほ ぼ反対側に位置している。第1の側では、積荷ヘッド20は供給プラットフォー ムの上方に位置され、吸引手段(図示せず)が下方に移動し、1個以上の電子デ バイスを掴持し、持ち上げる。そして積荷ヘッドはトラックの反対側に移動し、 空のデバイス支持挿入シートに対する電子デバイスの位置合わせを行い、下方に 移動して吸引手段を解放することによりシートにデバイスを入れる。試験制御装 置の通常の動作の間には、積荷ヘッドは供給プラットフォームからデバイス支持 挿入シートへ連続的に電子デバイスを供給する。This suction means grips the electronic device during the loading process. In work, The load head 20 has two rest positions. These rest positions are located near the track 22. It is located on the opposite side. On the first side, the loading head 20 is attached to the supply platform. The suction means (not shown) moves downwardly and attracts one or more electronic devices. Grasp the vise and lift it up. The loading head then moves to the other side of the truck, Align the electronic device against the empty device support insert and lower it downward. Place the device in the seat by moving and releasing the suction means. Test control equipment During normal operation of the device, the loading head is moved from the supply platform to the device support. Continuously feed electronic devices to the insert sheet.

再び図1を参照すると、逆の動作が同様の方法で降荷装置26によって行われる 。この降荷ヘッド26は、支持30A及び30Bの間でトラック28に沿って所 定ピッチで移動する。この降荷ヘッド26も同様に、個々の電子デバイスを掴持 する吸引手段を有している。動作時には、降荷ヘッド26は支持30A近傍のト ラック28の一側に移動する。そして下方に移動し1個以上の電子デバイスをデ バイス支持挿入部から引き出す。そして降荷ヘッドはトラック28の反対側に移 動し、移送プラットフォーム32上に電子デバイスを落とす。移送プラットフォ ーム32と、移送プラットフォームから電子デバイスを取り外してチューブまた はその他の支持パッケージに詰め込む手段とは、本発明の一部ではない。動作時 には、降荷機構は、デバイス支持挿入部から連続的にデバイスを降荷し、試験さ れたデバイスの移送プラットフォームへの確実な流れを提供している。Referring again to FIG. 1, the reverse operation is performed by the unloading device 26 in a similar manner. . This unloading head 26 is located along the track 28 between supports 30A and 30B. Move at a constant pitch. This unloading head 26 similarly holds individual electronic devices. It has a suction means. In operation, the unloading head 26 is mounted near the support 30A. Move to one side of the rack 28. then move downwards and unload one or more electronic devices. Pull it out from the vise support insertion part. The unloading head is then moved to the opposite side of the truck 28. and drop the electronic device onto the transfer platform 32. transport platform 32 and remove the electronic device from the transfer platform and remove the tube or The means for packing into other support packages are not part of the invention. During operation The unloading mechanism continuously unloads the device from the device support insert and is tested. It provides a reliable flow of removed devices to the transfer platform.

次に図1及び図4を参照する。各々のトレイが、試験されていないデバイスによ って完全に積荷された後、トレイは移動されて上昇コンベア機構36の入口35 にアライメントされる。後にさらに詳細に説明され図示されるが、上昇コンベア は棚37A及び37Bを有している。これら棚37A及び37B上にはトレイが 乗せられて上昇される。上昇コンベアは変温室(envionmenlal c hamber) 39に配置されている。Refer now to FIGS. 1 and 4. Each tray is filled with untested devices. After being fully loaded, the tray is moved to the inlet 35 of the ascending conveyor mechanism 36. is aligned to As will be explained and illustrated in more detail later, the ascending conveyor has shelves 37A and 37B. There are trays on these shelves 37A and 37B. be lifted up and lifted up. The ascending conveyor is located in a variable temperature room. hamber) 39.

この変温室は、試験ヘッドに同かって変温室内を通過するときに電子デバイスの 温度を上昇させるか、或いは下降させる。This temperature-controlled room is used to store electronic devices as they pass through the temperature-controlled room along with the test head. Raise or lower the temperature.

トレイはこの変温室に挿入され、押し出し機構38によって上昇コンベアの棚に 載置される。各々のトレイが上昇装置の上部に来ると、棚で休止して試験通路ま たはトラック(この図には図示しない)に案内されていたトレイは、棚から押し 出される。符号T1で示されるトレイは、準備位置に位置している。即ち、この 準備位置に位置するトレイT1は、試験ヘッド(この図には図示しない)の下方 の試験位置に向かって移動されるのを待っている。この試験ヘッドは、符号T2 で示すトレイの真上に位置している。符号T3で示されたトレイは、すでに試験 されており、取り出し待機位置に位置している。即ち、この取り出し待機位置に おいては、トレイT3はトレイド降コンベア40に移動されるのを待っている。The tray is inserted into this variable temperature room and pushed onto the shelf of the ascending conveyor by the pushing mechanism 38. It will be placed. Once each tray is at the top of the lift, it rests on the shelf and moves to the test aisle. or a truck (not shown in this diagram), the trays will be pushed off the shelf. Served. The tray designated T1 is in the ready position. That is, this Tray T1, located in the ready position, is located below the test head (not shown in this figure). waiting to be moved towards the testing position. This test head has the code T2 It is located directly above the tray indicated by . The tray marked with the symbol T3 has already been tested. and is in the take-out standby position. In other words, in this take-out standby position , tray T3 is waiting to be moved to the tray down conveyor 40.

一方、試験トラックには、独立して移動可能な2個のシャトルS1及びSlが設 置されている。Slは試験を待っているか或いは試験ヘッドによって試験されて いるトレイを移動させる目的を達成する。第2のシャトルS2は、試験されたト レイを試験ヘッドの下方から、下降コンベアへの入口41(図13参照)に対し てアライメントされた位置へ移動させる。その位置において存在するトレイは、 空の棚を待っており、次に空の棚に押し出され、続いて室43(図12参照)を 介して下降される。この室43は、電子デバイスが湿るのを防ぐ。即ち、実質的 に周囲の温度に戻す。On the other hand, two independently movable shuttles S1 and Sl are installed on the test track. It is placed. Sl is waiting for test or being tested by test head Achieve the objective of moving the tray. The second shuttle S2 was tested from below the test head to the entrance 41 (see Figure 13) to the descending conveyor. and move it to the aligned position. The tray present at that position is Waiting for an empty shelf, then pushed to an empty shelf, then chamber 43 (see Figure 12) descended through the This chamber 43 prevents the electronic device from getting wet. That is, substantially Return to ambient temperature.

第1のシャトルS1は、トレイを段階的に移動させる。例えば、一つのトレイに 載置されている全ての電子デバイスに対して、試験ヘッドの十分な数だけのコン タクタが接触していれば、第1のシャトルは、各々のトレイをトレイの長さと同 じ間隔だけ一度に移動させる、即ち各々のトレイの割り出しを行う。しかし、ヘ ッドか1つのトレイ上の全ての電子デバイスに対して接触できない場合には、第 1のシャトルは、ヘッドか扱うことの出来る電子デバイスの数の分の長さだけト レイを移動させる(トレイの割り出しを行う)。一方、第2のシャトルは完全に 試験されたトレイを一度のステップで下降コンベア上に位置させるように移動さ せる。このようにして2個のシャトルは平行して動作させることかでき、また、 試験された全てのデバイスを収容するトレイを待機取り外し位置に向かって移動 することができる一方、トレイを試験位置へ又は試験位置内で移動することがで きる。The first shuttle S1 moves the tray in stages. For example, in one tray Ensure that there are enough controllers in the test head for all electronic devices mounted. If the tactor is in contact, the first shuttle will move each tray the same length as the tray. ie, each tray is indexed. However, If contact is not possible for all electronic devices on one tray or One shuttle has a length equal to the number of electronic devices that the head can handle. Move the tray (index the tray). On the other hand, the second shuttle is completely The tested tray is moved in one step to position it on the descending conveyor. let In this way, the two shuttles can be operated in parallel, and Move the tray containing all tested devices towards the waiting removal position while the tray can be moved to or within the test position. Wear.

図3及び図10を参照すると、積荷機構がさらに詳細に描かれている。積荷ヘッ ド20はトラニオン又はキャリアブロック42を何するように描かれている。こ のトラニオン又はキャリアブロック42は、所定の手段によってリニアアクチュ エータ44に取り付けられている。動作時においては、キャリアブロックは、基 本的に、ベルトによって2ストロ一ク移動形式で移動される。一つの動きによっ て、ブロックは、デバイスを取り上げる積荷プラットフォーム18の上方に移動 され、1回の往復移動によって、前方プラットフォーム34の中央に位置するト レイ上に電子デバイスを積荷するのにさらに適した位置に移動される。この様な 動きにおいては、キャリアブロックは案内ロッド5OA及び50Bに案内されて いる。これら案内ロッド50A及び50Bは、ベルトの動きと平行に延出してお り、キャリアブロックによって規定されている開口部を介して摺動する。キャリ アブロックの下方には、アクチュエータ54によって上下に往復移動するピック アップヘッド52が延出している。ピックアップヘッドの底部からは、少なくと も1個の吸引手段が突出している。この吸引手段は、ネック58に取り付けられ た一対の吸引力・ンプ56として描かれている。アクチュエータ54はピックア ップヘッドを2つの位置の間で移動させる。一方の位置では、吸引カップは電気 デバイスに接触してこれを押圧しており、第2の、高い位置においては、電気デ ノくイスは前方プラ・、トフす−ム及び供給プラットフォームの上方に、所定の 間隔だけ離間するように位置している。この所定の間隔は、積荷ヘッドかリニア アクチュエータ44によって移動されているときにこれらの間に十分なりリアラ ンスを提供し得るだけのものである。Referring to FIGS. 3 and 10, the loading mechanism is depicted in further detail. Load head 20 is depicted as having a trunnion or carrier block 42. child The trunnion or carrier block 42 is connected to the linear actuator by a predetermined means. It is attached to the ether 44. In operation, the carrier block Essentially, it is moved by a belt in a two-stroke, single-stroke fashion. with one movement The block then moves above the loading platform 18 to pick up the device. The center position of the forward platform 34 is moved by one reciprocation. be moved to a more suitable position for loading electronic devices onto the lay. Like this In movement, the carrier block is guided by guide rods 5OA and 50B. There is. These guide rods 50A and 50B extend parallel to the movement of the belt. and slides through the opening defined by the carrier block. Carry Below the block is a pick that moves up and down by an actuator 54. Up head 52 extends. From the bottom of the pickup head, at least Also, one suction means protrudes. This suction means is attached to the neck 58. It is depicted as a pair of suction force pumps 56. The actuator 54 is a picker. Move the top head between two positions. In one position, the suction cup is electrically It contacts and presses the device, and in the second, higher position, the electrical The nozzle is located above the forward plastic, top frame and supply platform in a designated position. They are located at a distance apart. This predetermined spacing is There is sufficient realism between these when being moved by the actuator 44. It is only possible to provide the necessary information.

図3.4.5及び10を参照すると、前方プラ・ノドフオーム34がさらに詳細 に描かれている。図4は前方プラ・ノドフオームの上方に位置した3つの挿入ト レイを有する前方プラットフォームを示している。各々の挿入トレイは、4つの デバイス支持挿入部を支持している。これらデノくイス支持挿入部は、各々2個 の電子デバイスを載置している。トレイは前方プラットフォームの上部において その右から左への動きを規制されている。外側においては複数のV字状の溝を有 する連数のガイド60A及び60Bによって、内側においては、中央に位置する V字状のガイド60Cによって案内されている。図4において、内側のV字状の ガイド60Cの左側には、ガイドの存在しないギャップが形成されている。この ギヤ・ツブによって、一番左側のトレイが上昇コンベア及び浸透室へ入るのが可 能となる。中央のV字状のガイド60Cの右側にもV字状のガイドガイドは形成 されておらず、このガイドの不在によって、非浸透室から前方プラットフォーム 上へのトレイの排出を可能にしている。Referring to Figures 3.4.5 and 10, the anterior pranodoform 34 is further detailed. It is depicted in Figure 4 shows the three insertion points located above the anterior pranodoform. The forward platform with rays is shown. Each insertion tray has four Supports the device support insert. There are two denomous chair support insertion parts each. electronic devices are installed. The tray is placed on top of the forward platform. Its movement from right to left is restricted. It has multiple V-shaped grooves on the outside. By the number of guides 60A and 60B, the inner side is located in the center. It is guided by a V-shaped guide 60C. In Figure 4, the inner V-shaped A gap in which no guide exists is formed on the left side of the guide 60C. this A gear knob allows the leftmost tray to enter the ascending conveyor and infiltration chamber. Becomes Noh. A V-shaped guide is also formed on the right side of the central V-shaped guide 60C. and by the absence of this guide, the forward platform from the non-penetrating chamber This allows the tray to be ejected upwards.

図4を再び参照すると、図に示すように前方プラットフォーム34の中央のトレ イは、3つの挿入部6A、6B、及び6Cが収容されている。これら3つの挿入 部6A、6B、及び6Cは降荷されており、換言すればこれらからは電子デバイ スが取り外されている。中央のトレイの一番右側の挿入部は、また降荷されてお らずしかしテストされたデバイスを未だ収容している。図3は積荷ヘッドが電子 デバイスを中央の挿入トレイの一番左側の挿入部へ載置する位置にあるのを示し ており、また、図3は、降荷ヘッドが、中央の挿入トレイの一番右側の挿入部に おけるテストされた残りの2つの電子デバイスを取り去る位置にあるのを示して いる。Referring again to FIG. 4, the center tread of the forward platform 34 is shown. B accommodates three insertion portions 6A, 6B, and 6C. These three inserts Parts 6A, 6B, and 6C have been unloaded, in other words, electronic devices have been removed from them. has been removed. The rightmost insert in the center tray has been unloaded again. However, it still houses devices that have been tested. Figure 3 shows that the loading head is electronic. The device is shown positioned for placement in the left-most insert of the center insertion tray. Figure 3 also shows that the unloading head is located in the rightmost insertion section of the center insertion tray. shown in position to remove the remaining two tested electronic devices in the There is.

図6乃至図9を参照すると、上昇コンベアは非常に詳細に描かれている。2つの 垂直ビーム70A及び70Bは、変位可能に離間している。各々のビームの内側 面、即ち、他のビームに対向している各々のビームの側面には、複数の水平棚3 7A及び37Bが配置されている。各々のビーム上に位置する複数の棚は、均一 に離間され、動作時においてはいかなる時においても1つのビームの棚は、対向 するビームの棚とアライメントされている。ビームは移動可能であり少なくとも 4つの別の部分を有している。複数のビームは、水平的に互いに最も近付く位置 を有している。この位置においては、これらのビームは収縮している、といい得 る。このような収縮位置においては、アライメントされた一対の棚の上に位置す るトレイを挿入し得るだけの間隔を保ってビームは互いに近付いている。水平的 には、ビームは拡張位置を有している。Referring to FIGS. 6-9, the ascending conveyor is depicted in great detail. two Vertical beams 70A and 70B are displaceably spaced apart. inside each beam On the face, i.e. on the side of each beam facing the other beams, there are a plurality of horizontal shelves 3. 7A and 37B are arranged. Multiple shelves located on each beam are uniformly the shelves of one beam at any time in operation are The beam is aligned with the shelf. The beam is movable and at least It has four separate parts. Multiple beams are horizontally closest to each other have. In this position, these beams are said to be contracted. Ru. In such a retracted position, the The beams are spaced close enough to each other to allow insertion of the trays. horizontal In , the beam has an extended position.

この拡張位置においては、ビームは最も大きい間隔で離間する。この位置におい て、棚の間のギャップは大きいのでトレイは棚の上に置くことができない。ビー ムは垂直方向における高い位置と低い位置とを有している。図8において、搬送 エレベータの右側のビーム70bと共同する複数の矢印は、水平アクチュエータ 71A及び71Bと垂直アクチュエータ69とによって駆動されたときの固有の ビームの動きの通路及び方向を示している。搬送エレベータの右側のビームも同 様に移動するが反時計回りに移動する。In this expanded position, the beams are spaced apart by the greatest distance. smell this position However, the gap between the shelves is so large that the tray cannot be placed on the shelves. Bee The frame has a high position and a low position in the vertical direction. In Figure 8, the transport A plurality of arrows cooperating with beam 70b on the right side of the elevator indicate horizontal actuators. 71A and 71B and the vertical actuator 69. The path and direction of beam movement is shown. The same applies to the right beam of the transport elevator. It moves counterclockwise.

図9を参照すると、挿入トレイはビームの棚の長さよりも長い幅を有するように 描かれている。各々のビームのどちらかの側縁に沿って、保持タブ74を含む回 転可能なポスト(72A及び72B)が配設されている。保持タブビームは垂直 方向及び水平方向において固定されている。保持タブの目的は、棚ビームの拡張 が行われる前に挿入トレイの下方で回転することである。棚による支持が無い状 態において、仮想線で示すように保持タブは棚の代りに挿入トレイを支持する。Referring to FIG. 9, the insertion tray has a width greater than the length of the shelf of the beam. It is depicted. Along either side edge of each beam are turns including retention tabs 74. Rotatable posts (72A and 72B) are provided. Retaining tab beam is vertical Fixed in direction and horizontal direction. The purpose of the retention tab is to extend the shelf beam before the insertion tray is rotated. Not supported by shelves In this embodiment, the retaining tab supports the insertion tray instead of the shelf, as shown in phantom.

続いて棚ビームが収縮して棚による支持が提供されたときには、保持タブは実線 で示すように挿入トレイとは関係の無い位置に回転する。When the shelf beam is subsequently retracted and support is provided by the shelf, the retention tabs will be solid lines. It rotates to a position unrelated to the insertion tray as shown in .

ると、そのトレイの、搬送コンベアによる上方への移動は以下のように行われる 。第1には、保持タブが挿入トレイの下方で回転して、これに続いて行われる棚 ビームの収縮の代りに、即ち、トレイから棚が引き離される代りに、挿入トレイ を保持する。棚ビームは低い位置に向かって下方に移動し、挿入トレイの下方で 棚を後方に移動させるように収縮する。Then, the tray is moved upward by the conveyor as follows. . First, the retention tab rotates below the insertion tray and the subsequent shelving Instead of retraction of the beam, i.e. instead of the shelf being pulled away from the tray, the insertion tray hold. The shelf beam moves down to a lower position, below the insertion tray. Contract to move the shelf backwards.

そして保持タブは、これらによって挿入トレイが支えられた状態で棚にクリアラ ンスを与え、棚ビームは垂直方向上方に移動して高い位置に位置する。かくして 、上述のステップの間に、コンベア内の各々の挿入トレイは1つの棚の分だけ上 方に移動される。この工程は試験制御装置の動作の間じゅう継続的に繰り返され る。挿入トレイが頂上の棚に辿り着いて棚ビームが高位置に位置したときには、 頂上の挿入トレイは頂上の棚から互いに対向するV字形状の溝上へ試験トラック に向かってスライドされるようにアライメントされる。The retention tabs then attach the clear lug to the shelf with the insert tray supported by them. the shelf beam moves vertically upwards to a higher position. Thus , during the above steps, each insertion tray in the conveyor is moved up by one shelf. be moved towards This process is repeated continuously throughout the operation of the test control equipment. Ru. When the insertion tray reaches the top shelf and the shelf beam is in the high position, The top insertion tray runs the test tracks from the top shelf onto the V-shaped grooves facing each other. It is aligned so that it slides towards.

図12を参照すると、下降コンベア40は上昇コンベアと同じ様に挿入トレイを 移動させるが、しかし、棚ビームと保持タブとの動作は実質的に逆である。最も 右側に位置するビームは反時計回りに動作し、ビームが収縮しているとき、即ち 棚か挿入トレイを支持しているときには、棚は高い位置から低い位置へと移動す るか、ビームが拡張されたときには、低い位置から高い位置へと移動する。保持 タブは上昇コンベアに設けられたものと同様に機能する。即ち、棚ビームが拡張 位置にある間、トレイを保持している。図7を参照すると、挿入トレイは搬送エ レベータ36の頂上の棚の上に位置している。回動アーム80はフレーム82を 有している。このフレーム82は、アームによって規定されたスロット84と、 スロットライダ86とによってアーム80に摺動可能に取り付けられている。回 動アームは、搬送エレベータの頂上の棚の上方の中央部分に設定された第1の位 置と、試験トラ・ツク81の上方の第2の位置との間で移動可能となっている。Referring to FIG. 12, the descending conveyor 40 carries insertion trays in the same manner as the ascending conveyor. However, the movement of the shelf beam and retaining tab is substantially reversed. most The beam located on the right side moves counterclockwise, when the beam is contracted, i.e. When supporting a shelf or an insert tray, the shelf will move from a high position to a low position. Or, when the beam is expanded, it moves from a lower position to a higher position. Retention The tabs function similarly to those provided on an ascending conveyor. That is, the shelf beam expands Holds the tray while in position. Referring to Figure 7, the insertion tray is It is located on the top shelf of the elevator 36. The rotating arm 80 connects the frame 82 have. This frame 82 includes a slot 84 defined by an arm; It is slidably attached to the arm 80 by a slot rider 86. times The movable arm is in a first position set in the central portion above the top shelf of the transport elevator. and a second position above the test truck 81.

一対の案内ロッド87A、87Bは、駆動アーム80の角度運動にかかわらずに フレームの動きをリニアなものにしている。The pair of guide rods 87A, 87B are independent of the angular movement of the drive arm 80. The frame movement is linear.

図8は、フレーム82の外側の縁に沿ったフランジ88を示している。このフラ ンジは搬送エレベータの頂上に位置する挿入トレイに接触してこれを内側に押し 得るように下方に延出している。搬送エレベータから試験トラ・ツクまでの動き を直線的に保つために、7字状のガイドレール89A及び89Bが通路の両側縁 の外側に沿って設けられている。挿入トレイが試験トラックに入ると、V字状の ガイドは挿入トレイに対して試験トラックに沿って移動するときの横方向の安定 性を与えている。FIG. 8 shows a flange 88 along the outer edge of frame 82. FIG. This hula contacts the insertion tray located at the top of the transport elevator and pushes it inward. It extends downwards as if to obtain. Movement from the transport elevator to the test truck In order to keep the passage straight, 7-shaped guide rails 89A and 89B are installed on both sides of the passage. located along the outside of the When the insertion tray enters the test track, a V-shaped The guide provides lateral stability as it moves along the test track relative to the insertion tray. giving sex.

図10及び図11を参照すると、電子デlくイスを試験へ・ラドコンタクタ90 と接触させる、個々のデバイス支持挿入部の運動及び機構が示されている。試験 へラドコンタクタは、試験トラックの上方の所定位置に、好ましくは、中央に位 置するトレイが試験されているものとなるように試験トラ・ツクの長さに対して 中央に固定されている。これら図面においては、2つの電気デバイスを同時に試 験する能力の試験へ・ラドコンタクタのみを示している。この様に、たった一つ のデ/くイス支持挿入部の動きは必要であり試験トラックに沿ったトレイの連動 は段階的にデバイス支持挿入部のピッチと等しくされる。挿入部が試験ヘッドコ ンタクタに配設され位置合わせされると、挿入部の下方の上昇プラットフォーム 92、即ちブツシャは、上方に移動して挿入部を挿入トレイ内のそのソケットか ら持ち上げ、試験へラドコンタクタに接触させる。Referring to FIGS. 10 and 11, the RAD contactor 90 for testing the electronic device The movement and mechanics of the individual device support inserts in contact with the device are shown. test The helad contactor is located in a predetermined position above the test track, preferably in the center. to the length of the test truck so that the tray being placed is the one being tested. fixed in the center. In these drawings, two electrical devices are being tested at the same time. -Only rad contactors are shown. Like this, only one The movement of the device/chair support insert is necessary and the interlocking of the tray along the test track is made equal to the pitch of the device support insert in steps. The insertion tube is connected to the test head. Once placed and aligned in the contactor, the rising platform below the insertion tube 92, the button moves upwardly to push the insert into its socket in the insert tray. Lift it up and place it in contact with the rad contactor under test.

試験が完了したときには、上昇プラットフォームは下方に移動してトレイ内のソ ケットに挿入部を位置させる。次にトレイは、次に瞬時に続く挿入部が試験ヘッ ドの下方に位置するまで、前方に即ち図の東方に従った右側に移動される。しが し、一つ以上のブツシャを設けても良い。例えば、4つのブツシャを設けて複数 個の電子デバイスを同時に4つの挿入部に配置して、適当な能力を有する試験ヘ ッドコンタクタに接触させても良い。When the test is complete, the raising platform moves downwards and lifts the software in the tray. Place the insertion tube into the socket. The tray is then immediately followed by the test head. is moved forward, that is, to the right according to the east direction of the diagram, until it is located below the Shiga However, one or more buttons may be provided. For example, you can set up four buttons and use multiple buttons. electronic devices can be placed in four inserts at the same time to a test site with appropriate capabilities. It may also be brought into contact with a head contactor.

図13を参照すると、試験トラックから下降コンベアの頂上へ挿入トレイを取り 外す機構が描かれている。互いに対向する一対の抽出アーム100A及び100 Bは、回動される。Referring to Figure 13, remove the insert tray from the test track to the top of the descending conveyor. The removal mechanism is illustrated. A pair of extraction arms 100A and 100 facing each other B is rotated.

回動輪から離れた抽出アームの端部の所には、Vローラ102A及び102Bが 夫々のアームに1個づつ設けられている。At the end of the extraction arm remote from the rotating wheels, V rollers 102A and 102B are installed. One is provided for each arm.

■形状のローラは、挿入トレイの対応する側面の溝に係合する。アームが回転さ れると、右側のアームは反時計回りに左側にアームは時計回りに回動して、トレ イは試験トラックがら非浸透室43に押し出される。各々のトレイが非浸透室内 の底部位置に到着すると、上方に突出したフランジ106を有する抽出舌部10 4が底部のトレイに引っ掛かり、前方プラットフォーム34に引き出す。■-shaped rollers engage grooves on the corresponding sides of the insertion tray. the arm rotates When the right arm rotates counterclockwise and the left arm rotates clockwise, the training A is pushed out from the test truck into the non-penetration chamber 43. Each tray is in a non-permeable room Upon reaching the bottom position of the extraction tongue 10 with an upwardly projecting flange 106 4 hooks onto the bottom tray and pulls out onto the forward platform 34.

図3.5.10.15を参照すると、トレイを前方プラットフォームに沿って移 動させる機構が図示されている。前方プラットフォームの下方に配置され通常長 手方向中央に位置される摺動可能な前進バー110は、垂直方向に突出した複数 のビン112を支持している。図示した状態では、この様なビンが4個設けられ ている。これらビンは高い位置および低い位置にそれぞれ押し上げられ押し下げ られる。低い位置においては、これらビンは、挿入トレイから離間しており、挿 入トレイはこれらの上方に位置している。高い位置では、ビンはこれらの上方に 位置する挿入トレイに、切り欠き114によって係合している。これら切り欠き 114は、各々の挿入トレイの外側の縁によって規定されている(図2参照)。Referring to Figure 3.5.10.15, move the tray along the forward platform. The mechanism for moving is illustrated. Normal length located below the forward platform A slidable advance bar 110 located at the center in the hand direction includes a plurality of vertically protruding bars. The bin 112 is supported. In the illustrated state, four such bins are provided. ing. These bins are pushed up and down to high and low positions respectively. It will be done. In the lower position, these bins are spaced apart from the insertion tray and The input tray is located above these. At higher positions, the bins are above these It is engaged by a notch 114 to the located insertion tray. These cutouts 114 is defined by the outer edge of each insertion tray (see FIG. 2).

本実施例の挿入トレイの場合には、4つの切り欠きが規定されている。図示され た実施例では、切り欠きはトレイの縁に沿って配設されており、この結果、トレ イは1つのステップで1個のデバイス支持挿入部を飛び越えて前進することがで きる。動作時においては、トレイの前進が必要な時の場所では、前進バーは、こ れの可動範囲の最も右側にまで移動し、ビンを上昇させて1個または2個のトレ イに係合させる。係合するトレイの数は、位置によって決まる。前進バーは次に その可動範囲の最も左側にまで移動してビンを押し下げる。In the case of the insertion tray of this embodiment, four cutouts are defined. illustrated In the embodiment shown, the cutouts are arranged along the edge of the tray, so that the tray can advance over one device support insert in one step. Wear. In operation, the advancement bar is move the bin to the far right side of its range of motion and raise the bin to remove one or two bins. A. The number of trays engaged depends on the position. The forward bar is then Move to the far left side of its range of motion and push the bottle down.

このように、トレイはすべて前進され、即ち1個のデバイス支持挿入を一度に割 り出す。In this way, the trays are all advanced, i.e. one device support insert at a time. Start out.

図5.7.10.11.12.13.15を参照すると、トレイを試験トラック 中で前進させる機構が示されている。Referring to Figure 5.7.10.11.12.13.15, move the tray to the test track. The mechanism for advancing inside is shown.

前述したように、個別に移動可能なシャトル120A及び120Bが設けられて いる。これらシャトルは試験トラックに沿ってそれらの夫々の移動範囲内で、対 応するねじ122A及び122Bによって移動する。これらねじは、シャトルに よって規定されたねじと係合する。これらシャトルは開口をも有しており、これ ら開口を介して、ねじ122A及び122Bと平行なガイド124A及び124 Bが夫々のシャトルの案内された連動を提供している。各々のシャトルはヘッド 126A及び126Bを支持している。これらヘッドは、ヘッド内に固定された ビン128と係合する少なくとも2個のトレイを支持している。シャトルヘッド は2つの位置の間で上下に移動可能である。シャトルヘッドが挿入トレイと離間 した高い位置と、ビンが挿入トレイの内側面に沿ったソケット130と係合する 低い位置とである。各々のシャトルにおいては、トレイ係合ビンの間の空間はト レイ上の側近の対のソケット間の間隔と等しい。2個のシャトルの独立した動き 試験ヘッド位置から取り外されるトレイの、比較的独立した取扱いとを提供する 。第1のシャトル120Bが最終試験位置に移動すると、トレイから解放可能と なり、そしてそのホーム位置、即ち、準備位置においてトレイを掴み得る位置に 復帰する。しかし、第1のシャトル120Bは、トレイが第2のシャトル120 Bによって保持されるまでは、試験下においてはトレイを解放しない。この様式 で、試験トラックに沿った複数個のトレイは常にどちらかのシャトルによって制 御されていることになる。試験下での特定のトレイ上の電子デバイスの最後のセ ットが試験を完了したときには、第2のシャトルはトレイを待機取外し位置に移 動させる。その一方では、第1のシャトルはこれに載ったトレイを準備位置から 試験位置に移動している。通常、1個のトレイを試験中には、他のトレイを移動 させることができる。この移動の方向は、試験位置に向かうものか、あるいは待 機取り外し位置にむかうものか、いずれかである。As mentioned above, individually movable shuttles 120A and 120B are provided. There is. These shuttles are located within their respective range of travel along the test track. by corresponding screws 122A and 122B. These screws are attached to the shuttle. Therefore, it engages with the prescribed screw. These shuttles also have openings, which guides 124A and 124 parallel to screws 122A and 122B through the openings. B provides guided interlocking of each shuttle. Each shuttle has a head 126A and 126B are supported. These heads are fixed within the head It supports at least two trays that engage bins 128. shuttle head is movable up and down between two positions. Shuttle head separates from insertion tray and the bin engages a socket 130 along the inner surface of the insertion tray. It is in a low position. In each shuttle, the space between the tray-engaging bins is Equal to the spacing between the sockets of the flank pair on the ray. Independent movement of two shuttles and providing relatively independent handling of the tray as it is removed from the test head position. . Once the first shuttle 120B has moved to the final test position, it can be released from the tray. and is in a position where it can grasp the tray in its home position, i.e., ready position. Return. However, the first shuttle 120B has a tray that is similar to the second shuttle 120B. Do not release the tray under test until it is held by B. This style , multiple trays along the test track are always controlled by one of the shuttles. It means that you are in control. The last set of electronic devices on a particular tray under test When the tray has completed the test, the second shuttle moves the tray to the standby removal position. make it move. Meanwhile, the first shuttle carries the tray on it from the ready position. Moving to test position. Usually, while testing one tray, move the other trays. can be done. The direction of this movement is either towards the test position or Either it is heading towards the machine removal position.

14A、14B、14Cを参照すると、デバイス支持挿入部の別野形状が示され ている。図14Aは1個の大きなデバイス134Aを支持する挿入部132Aを 示している。図14Bは、4個のデバイス134Bを並列配置して保持する挿入 部132Bを示している。図14Cは2個のデバイス134Cを並列配置して保 持する挿入部132Cを示している。14A, 14B, and 14C, different configurations of device support inserts are shown. ing. FIG. 14A shows an insert 132A that supports one large device 134A. It shows. FIG. 14B shows an insert that holds four devices 134B in parallel. The portion 132B is shown. FIG. 14C shows two devices 134C arranged in parallel. The insertion portion 132C shown in FIG.

図15を参照すると、制御及び継続システムは、取り出しヘッド用のバキュム機 能と、トレイ前進機能と、トレイ係合機能と、トレイ搬送機能と、トレイ操作機 能と、システム用の構成要素操作機能とを有するように図示されている。Referring to Figure 15, the control and continuity system includes a vacuum machine for the extraction head. function, tray advance function, tray engagement function, tray transport function, and tray operation device. The system is illustrated as having functions and component operation functions for the system.

国際調査報告 フロントページの続き (72)発明者 ホークス、マルコルム・ブイアメリカ合衆国、カリフォルニア 州 92126、サン・ディエゴ、フランダース・ドライブ・ナンバー58 284 (72)発明者 ツウィッグ、レイ・ジ−アメリカ合衆国、カリフォルニア州 92131、サン・ディエゴ、フェアープルツク・ロード 12597 (72)発明者 クルグ、マーク・ダブリュアメリカ合衆国、カリフォルニア州 92131、サン・ディエゴ、リュ・カネスinternational search report Continuation of front page (72) Inventor: Hawks, Malcolm Buie, California, USA state Flanders Drive Number 58 284, San Diego, 92126 (72) Inventor: Twigg, Ray G - California, United States of America 12597 Fairproutsk Road, San Diego, 92131 (72) Inventor: Krug, Mark W. California, United States of America 92131, San Diego, Lu Canes

Claims (14)

【特許請求の範囲】[Claims] 1.試験を行うテスタに対して電子デバイスを提供する装置であって、 (a)複数の電子デバイスを有するセットを各々支持する複数のキャリアと、 (b)積荷ステージと、 (c)試験前の室と、 (d)試験ステージと、 (e)試験後の室と、 (f)降荷ステージと、 (g)キャリアが積荷ステージにあるときに一組の電子デバイスを各々のキャリ アに積荷する手段と、(h)キャリアが降荷ステージにあるときに一組の電子デ バイスを各々のキャリアから降荷する手段と、(i)キャリアが試験ステージに あるときに、キャリアによって支持された一組の電子デバイスとテスタとの間の 電気的接触を提供する手段と、 (j)複数のキャリアを閉じられたループで周期的に搬送する手段であって、前 記ループは、積荷ステージから試験前の室を介して、試験前の室から試験ステー ジヘ、試験ステージから試験後の室へ、試験後の室を介して降荷ステージヘ、降 荷ステージから積荷ステージヘと続くものであり、各々のデバイスキャリアは一 組の電子デバイスを積荷するのに十分な時間だけ積荷ステージで停止しており、 各々のキャリアはキャリアによって支持された一組の電子デバイスに対して行わ れる所望の試験に十分な時間だけ試験ステージで停止しており、各々のキャリア は電子デバイスを降荷するのに十分な時間だけ降荷ステージに停止されている搬 送手段と、を具備する装置。1. A device that provides an electronic device to a tester that performs a test, (a) a plurality of carriers each supporting a set having a plurality of electronic devices; (b) a loading stage; (c) a pre-examination room; (d) a test stage; (e) a post-test chamber; (f) an unloading stage; (g) placing a set of electronic devices on each carrier when the carriers are in the loading stage; (h) a set of electronic data when the carrier is in the unloading stage; a means for unloading the vices from each carrier; and (i) a means for unloading the devices from each carrier; When a pair of electronic devices supported by a carrier and a tester means for providing electrical contact; (j) means for periodically conveying a plurality of carriers in a closed loop; The loop runs from the cargo stage through the pre-test chamber and from the pre-test chamber to the test stage. Jihe, from the test stage to the post-test chamber, through the post-test chamber to the unloading stage, and then to the unloading stage. Loading stage to loading stage, each device carrier stopped at the loading stage long enough to load the set of electronic devices; Each carrier carries a set of electronic devices supported by the carrier. Each carrier is stopped at the test stage for sufficient time for the desired test. The transport is stopped at the unloading stage long enough to unload the electronic device. A device comprising a feeding means. 2.前記キャリアは第1のキャリアであり、装置はさらに第2のキャリアを具備 し、各々の第1のキャリアは一組の第2のキャリアを支持し、各々の第2のキャ リアは一組の電子デバイスを支持し、前記一組の電子デバイスを積荷する手段は 前記一組の電子デバイスを前記一組の第2のキャリアに積荷するように動作し、 前記一組の電子デバイスを降荷する手段は、前記降荷ステージにおいて前記一組 の電子デバイスを第1のキャリアの前記一組の第2のキャリアから降荷するよう に動作する、請求項1に記載の装置。2. The carrier is a first carrier, and the device further includes a second carrier. each first carrier supports a set of second carriers, and each first carrier supports a set of second carriers. The rear supports a set of electronic devices, and the means for loading the set of electronic devices is operative to load the set of electronic devices onto the set of second carriers; The means for unloading the set of electronic devices includes unloading the set of electronic devices at the unloading stage. electronic devices of the first carrier from said set of second carriers. 2. The apparatus of claim 1, operative to. 3.各々の第2のキャリアは、その第1のキャリアによって規定されたシート内 に配置され重力によってこのシート内に保持されており、前記キャリアによって 支持された一組の電子デバイスとテスタとの間の電気的接触を提供する手段は、 試験位置の上方に配置され下方を向いたコンタクタを有する試験ヘッドと、試験 位置において第1のキャリアの一組の第2のキャリアを上昇させて、前記一組の 第2のキャリアによって支持された電子デバイスのリードが前記試験ヘッドコン タクタと電気的に接触する点に位置させる手段とを具備する、請求項2に記載の 装置。3. Each second carrier has a seat within the seat defined by its first carrier. and held within this sheet by gravity, and by said carrier The means for providing electrical contact between the supported set of electronic devices and the tester comprises: a test head having a contactor positioned above the test position and facing downward; raising a second carrier of the set of first carriers in position to Leads of an electronic device supported by a second carrier are connected to the test head computer. and means for positioning the tactor in electrical contact with the tactor. Device. 4.各々の第2のキャリアシートの底部において第1のキャリアによって規定さ れた貫通孔をさらに具備し、前記試験位置において一組の第2のキャリアを上昇 させる手段は、貫通孔の上に載置された第2のキャリアを各々の貫通孔を介して そのシートから所定の位置に上昇させる手段を具備し、前記所定の位置において は、上昇された第2のキャリアによって支持された一組の電子デバイスのリード は試験ヘッドコンタクタと電気的に接触する、請求項3に記載の装置。4. defined by the first carrier at the bottom of each second carrier sheet. a set of second carriers elevated in the test position; The means for causing the second carrier placed on the through hole to pass through each through hole. comprising means for raising the seat to a predetermined position, and in the predetermined position is a set of electronic device leads supported by an elevated second carrier 4. The apparatus of claim 3, wherein the test head contactor is in electrical contact with the test head contactor. 5.前記試験前の室は、入口及び出口を規定し、前記装置はさらに、各々が一つ のキャリアを保持する複数のシートを有する上昇コンベアと、入口を介してキャ リアを積荷ステージから上昇コンベアの底部シート上に移動させる手段と、出口 に向かって上方に前記シートを漸次移動させる手段と、上昇コンベアの頂上のシ ートからキャリアを取り外し、かつ、試験前の室から出口を介してキャリアを取 り外す手段とを具備する、請求項1に記載の装置。5. The pre-test chamber defines an inlet and an outlet, and the apparatus further includes one A rising conveyor with multiple sheets holding carriers of means for moving the rear from the loading stage onto the bottom sheet of the ascending conveyor and an exit; means for progressively moving said sheet upwardly towards the top of the ascending conveyor; Remove the carrier from the outlet and remove the carrier from the pre-test chamber through the exit. 2. The device of claim 1, further comprising means for removing. 6.前記試験後の室は、入口及び出口を規定し、前記装置はさらに、各々が一つ のキャリアを保持する複数のシートを有する下降コンベアと、入口を介してキャ リアを下降コンベアの頂上のシート上に挿入する手段と、出口に向かって下方に 前記シートを漸次移動させる手段と、下降コンベアの底部シートからキャリアを 取り外し、かつ、試験後の室から出口を介してキャリアを取り外して降荷ステー ジ上に載置する手段とを具備する、請求項1に記載の装置。6. The post-test chamber defines an inlet and an outlet, and the apparatus further includes a A descending conveyor with multiple sheets holding carriers of means for inserting the rear onto the sheet at the top of the descending conveyor and downwardly towards the exit. means for progressively moving said sheets and carriers from the bottom sheet of the descending conveyor; Remove and remove the carrier from the test chamber via the exit station and remove it from the unloading station. 2. A device according to claim 1, comprising means for placing the device on the board. 7.キャリアが積荷ステージにあるときに一組の電子デバイスを各々のキャリア に積荷する手段は、積荷ステージと電気デバイス源との間で往復するように移送 する積荷ヘッドと、積荷ヘッドに付加され、電子デバイス源において1個または それ以上の個々の電子デバイスを取り上げ、積荷ステージで電子デバイスを解放 してキャリア上に載置する手段とを具備する、請求項1に記載の装置。7. A set of electronic devices is placed in each carrier when the carriers are in the loading stage. means for transporting the electrical device back and forth between the loading stage and the source of the electrical device; a load head that is attached to the load head, and an electronic device source that includes one or more electronic device sources; Pick up individual electronic devices further and release the electronic devices at the loading stage 2. A device according to claim 1, further comprising means for placing the device on a carrier. 8.キャリアが降荷ステージにあるときに一組の電子デバイスを各々のキャリア から降荷する手段は、降荷ステージと移送プラットフォームとの間で往復するよ うに移動する降荷ヘッドと、この降荷ヘッドに付加され、キャリアから1個また はそれ以上の個々の電子デバイスを取り上げ、取り上げた電子デバイスを移送プ ラットフォームで解放する手段とを具備する、請求項1に記載の装置。8. A set of electronic devices is placed in each carrier when the carriers are in the unloading stage. The means for unloading from the An unloading head that moves in the direction of picks up more individual electronic devices and transfers the picked electronic devices to a transfer 2. The device of claim 1, further comprising means for releasing in a platform. 9.試験前の室と試験ステージとの間に配置され、試験ステージが他のキャリア によって占領されていたときに試験前の室に存在するキャリアを停止させ得る試 験前のステージと、試験ステージと試験後の室との間に配置され、試験後の室内 の空のシートを待つ間、試験ステージから試験後の室に搬送されようとしている キャリアを停止させ得る試験後のステージと、試験前のステージから試験ステー ジにキャリアを搬送する手段と、試験ステージから試験後のステージにキャリア を搬送する手段とをさらに具備し、前記2つの搬送手段は、夫々独立して動作可 能である、請求項1に記載の装置。9. Placed between the pre-examination room and the exam stage, so that the exam stage is connected to other carriers. Tests that can stop carriers present in the pre-test chamber when occupied by It is located between the pre-test stage, the test stage and the post-test room, and the post-test room. while waiting for an empty seat to be transported from the testing stage to the post-testing room. A post-test stage that can stop a carrier and a pre-test stage to a test stage. means for transporting the carrier from the test stage to the post-test stage; further comprising a means for conveying the 2. The device of claim 1, wherein the device is capable of 10.前記試験前の室は入口と出口とを規定しており、前記装置はさらに、各々 が1個の第1のキャリアを保持する複数のシートを有する上昇コンベアと、第1 のキャリアを積荷ステージから入口を介して上昇コンベアの底部シート上に移動 させる手段と、シートを出口に向かって上方に漸次移動させる手段と、第1のキ ャリアを上昇コンベアの頂上のシートから取り外し、かつ、第1のキャリアを試 験前の室から出口を介して取り外す手段とを具備する、請求項2に記載の装置。10. The pre-test chamber defines an inlet and an outlet, and the apparatus further comprises: an ascending conveyor having a plurality of sheets holding one first carrier; Move the carrier from the loading stage through the inlet onto the bottom sheet of the rising conveyor means for gradually moving the sheet upwardly toward the exit; Remove the carrier from the top sheet of the ascending conveyor and try the first carrier. 3. The apparatus of claim 2, further comprising means for removal from the pre-test chamber via the outlet. 11.前記試験後の室は入口と出口とを規定しており、前記装置はさらに、各々 が1個の第1のキャリアを保持する複数のシートを有する下降コンベアと、第1 のキャリアを入口を介して下降コンベアの頂上のシート上に挿入する手段と、シ ートを出口に向かって下方に漸次移動させる手段と、第1のキャリアを下降コン ベアの底部シートから取り外し、かつ、第1のキャリアを試験後の室から出口を 介して取り外して降荷ステージに載置する手段とを具備する、請求項2に記載の 装置。11. The post-test chamber defines an inlet and an outlet, and the apparatus further includes: a descending conveyor having a plurality of sheets holding one first carrier; means for inserting the carrier of the carrier through the inlet onto the sheet at the top of the descending conveyor; means for progressively moving the first carrier downwardly toward the exit; Remove the first carrier from the bottom sheet of the bear and remove the exit from the post-test chamber. 3. means for removing and placing on the unloading stage via the Device. 12.前記第1のキャリアが積荷ステージにあるときに一組の電子デバイスを各 々の第1のキャリアに積荷する手段は、積荷ステージと電子デバイス源との間で 往復するように移動可能な積荷ヘッドと、この積荷ヘッドに付加され、1個また はそれ以上の個々の電子デバイスを電子デバイス源のところで取り出し、電子デ バイスを積荷ステージのところで解放して第1のキャリア上に載置する手段とを 具備する、請求項2に記載の装置。12. a set of electronic devices each when said first carrier is in a loading stage; means for loading each first carrier between the loading stage and the electronic device source; A loading head movable in a reciprocating manner; removes more individual electronic devices at the electronic device source and means for releasing the vise at the loading stage and placing it on the first carrier; 3. The apparatus of claim 2, comprising: 13.第1のキャリアが降荷ステージにあるときに一組の電子デバイスを各々の 第1のキャリアから降荷する手段は、降荷ステージと移送プラットフォームとの 間で往復するように移動可能な降荷ヘッドと、この降荷ヘッドに付加され、1個 またはそれ以上の個々の電子デバイスを第1のキャリアから取り出し、取り出さ れたデバイスを移送プラットフォームのところで解放する手段とを具備する、請 求項2に記載の装置。13. a set of electronic devices to each when the first carrier is in the unloading stage. The means for unloading from the first carrier includes an unloading stage and a transfer platform. An unloading head that is movable to reciprocate between or more individual electronic devices from the first carrier; and means for releasing the loaded device at the transfer platform. The apparatus according to claim 2. 14.試験前の室と試験ステージとの間に配置され、試験ステージが他のキャリ アによって占領されていたときに試験前の室に存在する第1のキャリアを停止さ せ得る試験前のステージと、試験ステージと試験後の室との間に配置され、試験 後の室内の空のシートを待つ間、試験ステージから試験後の室に搬送されようと している第1のキャリアを停止させ得る試験後のステージと、試験前のステージ から試験ステージに第1のキャリアを搬送する手段と、試験ステージから試験後 のステージに第1のキャリアを搬送する手段とをさらに具備し、前記2つの搬送 手段は、夫々独立して動作可能である、請求項2に記載の装置。14. Placed between the pre-test chamber and the test stage so that the test stage is not connected to other carriers. The first carrier present in the pre-examination room when occupied by between the test stage and the post-test room, While waiting for an empty seat in the next room, there were some people waiting to be transported from the test stage to the post-test room. Post-test stage and pre-test stage that can stop the first carrier a means for transporting the first carrier from the test stage to the test stage; and a means for transporting the first carrier from the test stage to the test stage; further comprising means for transporting the first carrier to the stage of said two transport stages. 3. Apparatus according to claim 2, wherein the means are each independently operable.
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