JP3093264B2 - Control device for electronic device test - Google Patents

Control device for electronic device test

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JP3093264B2
JP3093264B2 JP03516185A JP51618591A JP3093264B2 JP 3093264 B2 JP3093264 B2 JP 3093264B2 JP 03516185 A JP03516185 A JP 03516185A JP 51618591 A JP51618591 A JP 51618591A JP 3093264 B2 JP3093264 B2 JP 3093264B2
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Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 本発明は所定の温度下で電子デバイスを試験する場合
に関連してくる環境を制御する電子デバイス試験の制御
装置に関する。ここで「電子デバイス」なる用語は、半
導体デバイスや、集積回路、モジューラがパックされた
混成電気回路等を示し、意味している。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic device test control apparatus for controlling an environment associated with testing an electronic device at a predetermined temperature. Here, the term "electronic device" indicates and means a semiconductor device, an integrated circuit, a hybrid electric circuit in which a modular is packed, and the like.

通常、電子デバイスの試験を制御する制御装置には2
種類ある。一つは、共通して「重力移送」によって特徴
付けられるものである。この種の制御装置では、電子デ
バイスは制御装置を介して重力によって移動される。こ
の種の制御装置には顕著な2の欠点がある。一つは、移
送の速度が低いため、単位時間当たりにごく僅かの電子
デバイスしか扱えず、さらに電子デバイスは「裸の」状
態で取り扱われる、ということである。「裸」なる用語
は、電子デバイスがなにものによっても覆われていない
状態を意味する。即ち、電子デバイスは、いかなる保護
的な媒体によっても覆われていない状態で制御装置を通
過し、試験される、ということである。
Usually, the control device for controlling the test of the electronic device includes 2
There are types. One is commonly characterized by "gravity transfer". In this type of control device, the electronic device is moved by gravity via the control device. This type of control has two significant disadvantages. One is that due to the low transport speed, only a few electronic devices can be handled per unit time, and the electronic devices are handled "naked". The term "bare" refers to a condition in which the electronic device is not covered by anything. That is, the electronic device passes through the controller and is tested without being covered by any protective medium.

制御装置のもう一つの種類は、「抜き取り及び載置」
制御装置として特徴付けられるものである。この種の制
御装置では、電子デバイスは、一纏めにされ、特にトレ
イに乗せられて制御装置を通過する。纏まりからは、複
数の電子デバイスが抜き取られて載置され、試験用の試
験ヘッドコンタクタと接触する。試験の後は纏まりに戻
される。
Another type of control device is the “sampling and placing”
It is characterized as a control device. In this type of control device, the electronic devices are grouped together, in particular on a tray, and pass through the control device. From the group, a plurality of electronic devices are extracted and placed, and come into contact with a test head contactor for testing. After the test, they will be put back together.

この種の制御装置は処理量は重力移送のタイプの制御
装置に比べて多いが、この装置もまた、試験の段階にお
いて電子デバイスを裸で扱っているのでこれが大きな欠
点となっている。この様に扱われる電子デバイスは非常
にダメージを受け易く、例えば、装置の故障やそれぞれ
の電子デバイスの大きさの違いなどによってダメージを
受けやすい。
This type of controller has a higher throughput than a gravity-transfer-type controller, but this is also a major drawback because it also handles the electronic device naked during the testing phase. Electronic devices handled in this way are very susceptible to damage, for example, due to equipment failure or differences in the size of each electronic device.

本発明は多くの利点を有している。その最初のもの
は、重力移送を行っていないので重力移送よりも処理量
が向上する、ということである。第2の利点は、電子デ
バイスは、取り扱われる前に保護媒体内に配設され、ト
レイ上に乗せられた状態で移送され、本発明に従った制
御装置を通過する。デバイスは試験段階においても媒体
内に保持されている。さらに、処理量は、複数のトレイ
移動作業を同時に行うことによって増加する。また、通
常の大きさのトレイと、このトレイの大きさに適応する
ように電子デバイスを保持する媒体とを使用することに
よって、本発明に従って制御装置は、部品を安価に交換
するだけでいくつもの種類のデバイスを取り扱うことが
可能となる。
The present invention has many advantages. The first is that there is no gravity transfer, so the throughput is higher than with gravity transfer. A second advantage is that the electronic device is placed in a protective medium before being handled, transported on a tray and passed through a control device according to the invention. The device is held in the medium during the test phase. Further, the throughput increases by performing a plurality of tray moving operations simultaneously. Also, by using a normal sized tray and a medium that holds the electronic device to accommodate the size of the tray, the control device according to the present invention allows a number of parts to be replaced simply by inexpensively replacing parts. It is possible to handle various types of devices.

この他の利点及び特徴は、これ以降の説明により議論
され、明らかとなるであろう。
Other advantages and features will be discussed and apparent from the description that follows.

発明の概要 本発明による電子デバイス制御装置は、(1)第1の
キャリアと少なくとも1個の第2のキャリアとを有し、
第2のキャリアは第1のキャリアによって規定されたシ
ートに第1のキャリアの上方に乗せられ、各々の第2の
キャリアは少なくとも1個のシートを規定している電子
デバイスキャリアユニットであり、電子デバイスのリー
ドが電子デバイスキャリアユニットの上方から接近容易
であるように前記シートに電子デバイスが入れられる電
子デバイスキャリアユニットと、(2)電子デバイスが
その中を通り、通過する電子デバイスの温度を変化させ
る手段を有する試験前調整室と、(3)キャリアユニッ
トを試験前調整室を介して順番に移動させ、この移動
を、キャリアユニットに載っている電子デバイス内の所
望の温度変化を生じさせるのに適したペースで行う手段
と、(4)通路を有しこの通路に沿って複数のキャリア
ユニットが移動可能な試験室であって、前記通路は、キ
ャリアユニットが試験を待つ少なくとも1つの準備位置
と、キャリアユニット上の電子デバイスが試験されてい
る間にキャリアユニットが休止する試験位置と、キャリ
アユニットが試験室からの取り外しを待つ少なくとも1
つの取り外し待機位置とを含み、前記試験室は、前記通
路の試験位置の上方に配置され下方を向いた複数のコン
タクトを有する試験ヘッドコンタクタと、キャリアユニ
ットを準備位置から試験位置に移動させる手段と、前記
第2のキャリア上の電子デバイスのリードを試験ヘッド
コンタクタに電気的に接触させるために、試験位置にあ
るキャリアユニットの第2のキャリアを上昇させる手段
と、キャリアユニットを試験位置から取り外し待機位置
へ移動させる手段とを備えている試験室と、(5)キャ
リアユニットを試験前調整室から試験室に入って準備位
置に搬送する手段と、(6)電子デバイスがその中を通
り、通過する電子デバイスの温度を、電子デバイスを周
囲の温度に対して露出しても安全となるような温度にま
で復帰させる手段を有する試験後調整室と、(7)キャ
リアユニットを試験室の取り外し待機位置から試験後調
整室へ搬送する手段と、(8)キャリアユニットを試験
後調整室内で所望の降荷を達成するのに適したペースで
移動させる手段と、(9)積荷・降荷通路と、(10)キ
ャリアユニットを試験後調整室の出口から積荷・降荷通
路に搬送する手段と、(11)キャリアユニットを積荷・
降荷通路から試験前調整室の入口へ搬送する手段と、
(12)試験前調整室への再挿入のためにキャリアユニッ
トを積荷・降荷通路に沿って試験後調整室の出口から試
験前調整室の入口へ移動させる手段と、(13)積荷・降
荷通路に沿って設けられ、前記ユニットが前記通路に沿
って試験後調整室の出口から試験前調整室に向かって移
動するに伴って、試験された電子デバイスをキャリアユ
ニットから取り外す手段と、(14)積荷・降荷通路に沿
って設けられ、取り外された電子デバイスを試験されて
いない電子デバイスと交換する手段と、を具備してい
る。
SUMMARY OF THE INVENTION An electronic device control apparatus according to the present invention has (1) a first carrier and at least one second carrier,
A second carrier mounted on the sheet defined by the first carrier above the first carrier, each second carrier being an electronic device carrier unit defining at least one sheet; An electronic device carrier unit in which the electronic device is placed in the sheet so that the device leads are easily accessible from above the electronic device carrier unit; and (2) changing the temperature of the electronic device passing through the electronic device. And (3) sequentially moving the carrier unit through the pre-test conditioning chamber, the movement causing a desired temperature change in the electronic device mounted on the carrier unit. (4) having a passage, and a plurality of carrier units can move along the passage. A test room, wherein the passage includes at least one preparation position where the carrier unit waits for a test, a test position where the carrier unit pauses while an electronic device on the carrier unit is being tested, At least one waiting for removal from
A test head contactor disposed above the test position of the passage and having a plurality of downwardly facing contacts; and means for moving the carrier unit from the ready position to the test position. Means for raising the second carrier of the carrier unit at the test position to electrically contact the leads of the electronic device on the second carrier to the test head contactor; and removing the carrier unit from the test position and waiting. A test chamber having means for moving the carrier unit to a position, (5) means for moving the carrier unit from the pre-test adjustment chamber into the test chamber, and transporting the carrier unit to the preparation position, and (6) an electronic device passing therethrough. Means for returning the temperature of the electronic device to a temperature at which it is safe to expose the electronic device to the ambient temperature (7) means for transporting the carrier unit from the stand-by position for removing the test chamber to the post-test adjustment chamber, and (8) the carrier unit for achieving a desired unloading in the post-test adjustment chamber. Means for moving at a suitable pace; (9) loading / unloading passage; (10) means for transporting the carrier unit from the exit of the adjustment chamber to the loading / unloading passage after the test; and (11) loading / unloading the carrier unit.・
Means for transporting from the unloading passage to the entrance of the pre-test conditioning chamber;
(12) means for moving the carrier unit along the loading / unloading path from the outlet of the post-test adjustment chamber to the entrance of the pre-test adjustment chamber for reinsertion into the pre-test adjustment chamber; and (13) loading / unloading. Means provided along the cargo passage, for removing the tested electronic device from the carrier unit as the unit moves along the passage from the outlet of the post-test conditioning chamber toward the pre-test conditioning chamber; 14) means for replacing the removed electronic device with an untested electronic device provided along the loading / unloading path.

本発明は、半導体デバイスの試験を従来のものよりも
高い通過比率で行う電子デバイス制御装置を提供するこ
とを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide an electronic device control apparatus that performs a test of a semiconductor device at a higher pass ratio than a conventional one.

本発明は、上記目的を満たすような制御装置であっ
て、かつ、小さな占領するスペースが従来のシステムよ
りも小さい制御装置を提供することをも目的としてい
る。
Another object of the present invention is to provide a control device that satisfies the above-mentioned object, and that occupies a small space that is smaller than that of a conventional system.

本発明は、上記2つの目的を満たすような制御装置で
あって、デバイスが保護キャリア内に入れられていても
デバイスを扱うことができる制御装置を提供することを
も目的としている。
Another object of the present invention is to provide a control device that satisfies the above two objects, and that can handle a device even when the device is placed in a protection carrier.

本発明は、上述したような制御装置であって、電子デ
バイスを一纏めにして移動させて制御装置を通過ること
ができ、完全な纏まりまたは纏まりのサブセットを試験
ヘッドコンタクタへ同時に渡すことができる電子デバイ
ス制御装置を提供することをも目的としている。
The present invention is a control device as described above, wherein the electronic devices can be moved together and moved through the control device, and the complete bundle or a subset of the bundle can be passed simultaneously to the test head contactor. Another object is to provide a device control device.

本発明は、1セットまたは一纏まりの電子デバイスを
支持する基準サイズのトレイ内でデバイスを自在に移動
させることができる電子デバイス制御装置を提供するこ
とをも目的としている。基準サイズのトレイと均一に接
触する第2のキャリア内では、支持される電子デバイス
の保護が所定の程度まで行われる。
It is another object of the present invention to provide an electronic device control device that can freely move devices within a standard-size tray that supports one set or a group of electronic devices. Within the second carrier that is in uniform contact with the reference size tray, the supported electronic devices are protected to a certain degree.

本発明の他の目的は、明細書の中身によって説明さ
れ、あるいはそれを読むことによって自明である。
Other objects of the present invention will be explained by the contents of the specification or will be obvious from reading it.

図面の簡単な説明 図1は、装置を介してのキャリアユニットの動きと通
路とを示す絵画図、 図2は、トレイ形状の1個の第1のキャリアを示す斜
視図、 図3は、電子デバイスのローディング・アンローディ
ングとキャリアユニットの前進とを行う機構を示す正面
図、 図4は、図3における4−4線の断面図、 図5は、図3における5−5線の拡大断面図、 図6は、図5における6−6線の断面図、 図7は、図5における7−7線の断面図、 図8は、図7における8−8線の断面図、 図9は、図8における9−9線の断面図、 図10は、図3における10−10線の拡大断面図、 図11は、図10における11−11線の断面図、 図12は、図3における12−12線の拡大断面図、 図13は、図12における13−13線の断面図、 図14A、図14B、図14Cは、第2のキャリアの異なった
形状を示す図、そして、 図15は、本発明の制御及び動作を示すダイアグラムで
ある。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a pictorial diagram showing the movement and passage of a carrier unit through an apparatus, FIG. 2 is a perspective view showing one tray-shaped first carrier, and FIG. FIG. 4 is a front view showing a mechanism for loading / unloading the device and moving the carrier unit forward. FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line 4-4 in FIG. 3. FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view taken along line 5-5 in FIG. 6 is a sectional view taken along line 6-6 in FIG. 5, FIG. 7 is a sectional view taken along line 7-7 in FIG. 5, FIG. 8 is a sectional view taken along line 8-8 in FIG. 8, FIG. 10 is an enlarged sectional view taken along line 10-10 in FIG. 3, FIG. 11 is a sectional view taken along line 11-11 in FIG. 10, and FIG. FIG. 13 is a sectional view taken along line 13-13 in FIG. 12, FIG. 14A, FIG. 14B, and FIG. Figure shows the turned shape And, FIG. 15 is a diagram showing the control and operation of the present invention.

好ましい実施例の説明 図1及び図2を参照すると、電子デバイス2はシート
4内に支持された状態で描かれている。シート4は、第
2のキャリアによって規定された2つのシートのうちの
1個である。第2のキャリアは、本実施例ではデバイス
支持挿入部6である。デバイス支持挿入部は、これより
もサイズの小さいベース8を有している。このベース8
は、境界ショルダ10を規定している。本実施例において
第1のキャリアとなっているトレイ12は、平坦なフレー
ム状に形成されており、均一の大きさの4つの開口14を
規定している。各々の開口14は、デバイス支持挿入部6
のベースに適合する。この結果、ベースは滑るようにし
て4つの開口のうちのいずれか1個に挿入され、ショル
ダ10がトレイ上に載置される。この様にして、4つのデ
バイス支持挿入部は、水平方向での挿入部の移動が挿入
トレイのフレームによって規制され、かつ、垂直方向で
の移動が重力によって規制された状態で、挿入トレイに
よって規定された4つの開口に載置することができる。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring to FIGS. 1 and 2, an electronic device 2 is depicted supported within a sheet 4. Sheet 4 is one of the two sheets defined by the second carrier. The second carrier is the device support insertion section 6 in this embodiment. The device support insert has a smaller base 8. This base 8
Defines the boundary shoulder 10. In this embodiment, the tray 12 serving as the first carrier is formed in a flat frame shape, and defines four openings 14 having a uniform size. Each opening 14 is provided in the device support insert 6
Fits the base of As a result, the base is slidably inserted into any one of the four openings, and the shoulder 10 is placed on the tray. In this manner, the four device support inserts are defined by the insertion tray in a state where the movement of the insertion unit in the horizontal direction is restricted by the frame of the insertion tray and the movement in the vertical direction is restricted by gravity. Can be placed in the four openings.

後にさらに説明されるが、デバイス支持挿入部によっ
て規定されるシートは、幾つもの大きさ及び形状の電子
デバイスを収容し得るようにそれぞれ異ならせて形成し
ても良い。しかし、すべての挿入部は、均一なサイズの
ベースを有している。図1及び図2に示すデバイス支持
挿入部は各々2つのデバイスシートを有しているが、2
つではなくそれ以上の、例えば4つのシートを有してい
ても良い。このようにして、挿入トレイは広範囲な種類
の電子デバイスを支持することができる。
As will be further described below, the sheets defined by the device support inserts may be formed differently to accommodate electronic devices of any size and shape. However, all inserts have a uniformly sized base. The device support inserts shown in FIGS. 1 and 2 each have two device sheets,
Instead of one, it may have more, for example, four sheets. In this way, the insertion tray can support a wide variety of electronic devices.

特に図1を参照すると、矢印は試験制御装置16を通る
挿入トレイの通路及び動作を示している。再び図1を参
照すると、符号Tで示される矩形の平板は、挿入部6に
よって4つの開口14がすべて満たされた挿入トレイ12の
各々を図式的に示している。矢印は閉じられた経路を示
している。この経路に沿って、トレイTは試験制御装置
16の典型的な動作の間に移動する。図1に示すように、
トレイTは前方プラットフォーム34に沿って右から左に
移動する。トレイが、符号Uで示す降荷機構(unloadin
g mechanism)の下方を通ると、デバイス支持挿入部は
電子デバイスを降荷する。トレイが、符号Lで示す積荷
機構(loading mechanism)の下方を通ると、トレイに
は電子デバイスが再び積荷される。
With particular reference to FIG. 1, the arrows indicate the path and operation of the insertion tray through the test controller 16. Referring again to FIG. 1, a rectangular flat plate indicated by a symbol T schematically shows each of the insertion trays 12 in which all four openings 14 are filled by the insertion portions 6. Arrows indicate closed paths. Along this path, the tray T
Move between 16 typical moves. As shown in FIG.
The tray T moves along the front platform 34 from right to left. The tray is unloaded in U.
Passing below the g mechanism), the device support insert unloads the electronic device. As the tray passes below the loading mechanism, indicated by L, the tray is reloaded with electronic devices.

供給プラットフォーム18は、通常、所定の手段を描
く。この手段によって、本発明は個々の電子デバイス
を、即ち構成要素を受け取る。この種段、即ち、供給プ
ラットフォームあるいはこれの上方に構成要素を到着さ
せる手段は、本発明の一部ではない。積荷機構Lは個々
の電子デバイスを供給プラットフォームから取り上げ
て、挿入部6が挿入トレイ12に載置されている状態で好
ましくは取り上げた順にデバイス支持シート4に積荷す
る。積荷機構は通常積荷ピックアップヘッド20を有して
いる。このヘッド20は支持24Aおよび24Bによって吊り下
げられたトラック22に沿って往復移動する。後に詳細に
説明するが、ピックアップヘッドの基底部には、吸引手
段が設けられている。この吸引手段は、電子デバイスを
積荷工程の間に掴持する。作業においては、積荷ヘッド
20は2つの休止位置を有する。これら休止位置は、トラ
ック22のほぼ反対側に位置している。第1の側では、積
荷ヘッド20は供給プラットフォームの上方に位置され、
吸引手段(図示せず)が下方に移動し、1個以上の電子
デバイスを掴持し、持ち上げる。そして積荷ヘッドはト
ラックの反対側に移動し、空のデバイス支持挿入シート
に対する電子デバイスの位置合わせを行い、下方に移動
して吸引手段を解放することによりシートにデバイスを
入れる。試験制御装置の通常の動作の間には、積荷ヘッ
ドは供給プラットフォームからデバイス支持挿入シート
へ連続的に電子デバイスを供給する。
The supply platform 18 typically depicts a predetermined means. By this means, the present invention receives individual electronic devices, ie components. This type of stage, ie, the means by which the components arrive at or above the supply platform, is not part of the present invention. The loading mechanism L picks up the individual electronic devices from the supply platform and loads the device supporting sheets 4 in the order in which the electronic devices are picked up with the insertion section 6 placed on the insertion tray 12. The loading mechanism usually has a load pickup head 20. The head 20 reciprocates along a track 22 suspended by supports 24A and 24B. As will be described later in detail, suction means is provided at the base of the pickup head. This suction means grips the electronic device during the loading process. At work, loading head
20 has two rest positions. These rest positions are located substantially opposite the track 22. On the first side, the loading head 20 is located above the supply platform,
A suction means (not shown) moves downward to grip and lift one or more electronic devices. The load head then moves to the opposite side of the truck, aligning the electronic device with the empty device support insert sheet, and moving down to release the suction means to put the device into the sheet. During normal operation of the test controller, the loading head continuously supplies electronic devices from the supply platform to the device support insert sheet.

再び図1を参照すると、逆の動作が同様の方法で降荷
装置26によって行われる。この降荷ヘッド26は、支持30
A及びBの間でトラック28に沿って所定ピッチで移動す
る。この降荷ヘッド26も同様に、個々の電子デバイスを
掴持する吸引手段を有している。動作時には、降荷ヘッ
ド26は支持30A近傍のトラック28の一側に移動する。そ
して下方に移動し1個以上の電子デバイスをデバイス支
持挿入部から引き出す。そして降荷ヘッドはトラック28
の反対側に移動し、移送プラットフォーム32上に電子デ
バイスを落とす。移送プラットフォーム32と、移送プラ
ットフォームから電子デバイスを取り外してチューブま
たはその他の支持パッケージに詰め込む手段とは、本発
明の一部ではない。動作時には、降荷機構は、デバイス
支持挿入部から連続的にデバイスを降荷し、試験された
デバイスの移送プラットフォームへの確実な流れを提供
している。
Referring again to FIG. 1, the reverse operation is performed by the unloading device 26 in a similar manner. The unloading head 26 has a support 30
It moves at a predetermined pitch along the track 28 between A and B. The unloading head 26 also has suction means for gripping individual electronic devices. In operation, the unloading head 26 moves to one side of the track 28 near the support 30A. Then, it moves downward and pulls out one or more electronic devices from the device support insert. And the unloading head is truck 28
And drop the electronic device onto the transfer platform 32. The transfer platform 32 and the means for removing the electronic device from the transfer platform and packing it in a tube or other support package are not part of the present invention. In operation, the unloading mechanism continuously unloads the device from the device support insert and provides a reliable flow of the tested device to the transfer platform.

次に図1及び図4を参照する。各々のトレイが、試験
されていないデバイスによって完全に積荷された後、ト
レイは移動されて上昇コンベア機構36の入口35にアライ
メントされる。後にさらに詳細に説明され図示される
が、上昇コンベアは棚37A及び37Bを有している。これら
棚37A及び37B上にはトレイが乗せられて上昇される。上
昇コンベアは変温室(envionmentalf chamber)39に配
置されている。この変温室は、試験ヘッドに向かって変
温室内を通過するときに電子デバイスの温度を上昇させ
るか、或いは下降させる。トレイはこの変温室に挿入さ
れ、押し出し機構38によって上昇コンベアの棚に載置さ
れる。各々のトレイが上昇装置の上部に来ると、棚で休
止して試験通路またはトラック(この図には図示しな
い)に案内されていたトレイは、棚から押し出される。
符号T1で示されるトレイは、準備位置に位置している。
即ち、この準備位置に位置するトレイT1は、試験ヘッド
(この図には図示しない)の下方の試験位置に向かって
移動されるのを待っている。この試験ヘッドは、符号T2
で示すトレイの真上に位置している。符号T3で示された
トレイは、すでに試験されており、取り出し待機位置に
位置している。即ち、この取り出し待機位置において
は、トレイT3はトレイ下降コンベア40に移動されるのを
待っている。一方、試験トラックには、独立して移動可
能な2個のシャトルS1及びS2が設置されている。S1は試
験を待っているか或いは試験ヘッドによって試験されて
いるトレイを移動させる目的を達成する。第2のシャト
ルS2は、試験されたトレイを試験ヘッドの下方から、下
降コンベアへの入口41(図13参照)に対してアライメン
トされた位置へ移動させる。その位置において存在する
トレイは、空の棚を待っており、次に空の棚に押し出さ
れ、続いて室43(図12参照)を介して下降される。この
室43は、電子デバイスが湿るのを防ぐ。即ち、実質的に
周囲の温度に戻す。
Next, reference is made to FIGS. After each tray is fully loaded by the untested device, the trays are moved and aligned with the entrance 35 of the ascending conveyor mechanism 36. As will be described and illustrated in further detail below, the lift conveyor has shelves 37A and 37B. A tray is placed on these shelves 37A and 37B and raised. The ascending conveyor is arranged in an environmental chamber 39. The variable temperature chamber raises or lowers the temperature of the electronic device as it passes through the variable temperature chamber toward the test head. The tray is inserted into this temperature change chamber, and is placed on a shelf of an ascending conveyor by an extruding mechanism 38. As each tray comes to the top of the lift, the trays resting on the shelves and guided to a test path or track (not shown in this view) are pushed out of the shelves.
The tray indicated by reference numeral T1 is located at the preparation position.
That is, the tray T1 located at the preparation position is waiting to be moved toward the test position below the test head (not shown in this drawing). This test head is labeled T2
It is located directly above the tray indicated by. The tray indicated by reference symbol T3 has been tested and is located at the unloading standby position. That is, at the take-out standby position, the tray T3 is waiting to be moved to the tray lowering conveyor 40. On the other hand, two independently movable shuttles S1 and S2 are installed on the test track. S1 serves the purpose of moving the tray waiting for the test or being tested by the test head. The second shuttle S2 moves the tested tray from below the test head to a position aligned with the entrance 41 to the descending conveyor (see FIG. 13). The tray present at that position is waiting for an empty shelf, then pushed out to an empty shelf and subsequently lowered through the chamber 43 (see FIG. 12). This chamber 43 keeps the electronic device from getting wet. That is, the temperature is substantially returned to the ambient temperature.

第1のシャトルS1は、トレイを段階的に移動させる。
例えば、一つのトレイに載置されている全ての電子デバ
イスに対して、試験ヘッドの十分な数だけのコンタクタ
が接触していれば、第1のシャトルは、各々のトレイを
トレイの長さと同じ間隔だけ一度に移動させる、即ち各
々のトレイの割り出しを行う。しかし、ヘッドが1つト
レイ上の全ての電子デバイスに対して接触できない場合
には、第1のシャトルは、ヘッドが扱うことの出来る電
子デバイスの数の分の長さだけトレイを移動させる(ト
レイの割り出しを行う)。一方、第2のシャトルは完全
に試験されたトレイを一度のステップで下降コンベア上
に位置させるように移動させる。このようにして2個の
シャトルは平行して動作させることができ、また、試験
された全てのデバイスを収容するトレイを待機取り外し
位置に向かって移動することができる一方、トレイを試
験位置へ又は試験位置内で移動することができる。
The first shuttle S1 moves the tray stepwise.
For example, if a sufficient number of contactors on the test head are in contact with all the electronic devices mounted on one tray, the first shuttle will make each tray the same as the length of the tray. The trays are moved at once at intervals, that is, each tray is indexed. However, if the head cannot contact all the electronic devices on one tray, the first shuttle moves the tray by the length of the number of electronic devices that the head can handle (tray). Index). The second shuttle, on the other hand, moves the fully tested tray in one step to position it on the down conveyor. In this way, the two shuttles can be operated in parallel, and the tray containing all tested devices can be moved toward the standby removal position while the tray is moved to the test position or It can move within the test position.

図3及び図10を参照すると、積荷機構がさらに詳細に
描かれている。積荷ヘッド20はトラニオン又はキャリア
ブロック42を有するように描かれている。このトラニオ
ン又はキャリアブロック42は、所定の手段によってリニ
アアクチュエータ44に取り付けられている。動作時にお
いては、キャリアブロックは、基本的に、ベルトによっ
て2ストローク移動形式で移動される。一つの動きによ
って、ブロックは、デバイスを取り上げる積荷プラット
フォーム18の上方に移動され、1回の往復移動によっ
て、前方プラットフォーム34の中央に位置するトレイ上
に電子デバイスを積荷するのにさらに適した位置に移動
される。この様な動きにおいては、キャリアブロックは
案内ロッド50A及び50Bに案内されている。これら案内ロ
ッド50A及び50Bは、ベルトの動きと平行に延出してお
り、キャリアブロックによって規定されている開口部を
介して摺動する。キャリアブロックの下方には、アクチ
ュエータ54によって上下に往復移動するピックアップヘ
ッド52が延出している。ピックアップヘッドの底部から
は、少なくとも1個の吸引手段が突出している。この吸
引手段は、ネック58に取り付けられた一対の吸引カップ
56として描かれている。アクチュエータ54はピックアッ
プヘッドを2つの位置の間で移動させる、一方の位置で
は、吸引カップは電気デバイスに接触してこれを押圧し
ており、第2の、高い位置においては、電気デバイスは
前方プラットフォーム及び供給プラットフォームの上方
に、所定の間隔だけ離間するように位置している。この
所定の間隔は、積荷ヘッドがリニアアクチュエータ44に
よって移動されているときにこれらの間に十分なクリア
ランスを提供し得るだけのものである。
Referring to FIGS. 3 and 10, the loading mechanism is depicted in further detail. The loading head 20 is depicted as having a trunnion or carrier block 42. The trunnion or carrier block 42 is attached to the linear actuator 44 by a predetermined means. In operation, the carrier block is basically moved in a two-stroke manner by a belt. With one movement, the block is moved above the loading platform 18 picking up the device, and in a single reciprocating movement, into a position more suitable for loading electronic devices onto a tray centrally located on the forward platform 34. Be moved. In such a movement, the carrier block is guided by the guide rods 50A and 50B. These guide rods 50A and 50B extend parallel to the movement of the belt and slide through openings defined by the carrier block. A pickup head 52 that reciprocates up and down by an actuator 54 extends below the carrier block. At least one suction means protrudes from the bottom of the pickup head. This suction means includes a pair of suction cups attached to the neck 58.
Pictured as 56. Actuator 54 moves the pick-up head between the two positions, in one position the suction cup contacts and presses against the electrical device, and in the second, higher position, the electrical device connects to the front platform And at a predetermined distance above the supply platform. This predetermined spacing is only sufficient to provide sufficient clearance between the load head as it is being moved by the linear actuator 44.

図3、4、5及び10を参照すると、前方プラットフォ
ーム34がさらに詳細に描かれている。図4は前方プラッ
トフォームの上方に位置した3つの挿入トレイを有する
前方プラットフォームを示している。各々の挿入トレイ
は、4つのデバイス支持挿入部を支持している。これら
デバイス支持挿入部は、各々2個の電子デバイスを載置
している。トレイは前方プラットフォームの上部におい
てその右から左への動きを規制されている。外側におい
ては複数のV字状の溝を有する複数のガイド60A及び60B
によって、内側においては、中央に位置するV字状のガ
イド60Cによって案内されている。図4において、内側
のV字状のガイド60Cの左側には、ガイドの存在しない
ギャップが形成されている。このギャップによって、一
番左側のトレイが上昇コンベア及び浸透室へ入るのが可
能となる。中央のV字状のガイド60Cの右側にもV字状
のガイドガイドは形成されておらず、このガイドの不在
によって、非浸透室から前方プラットフォーム上へのト
レイの排出を可能にしている。
Referring to FIGS. 3, 4, 5 and 10, the front platform 34 is depicted in more detail. FIG. 4 shows a front platform with three insertion trays located above the front platform. Each insertion tray supports four device support inserts. These device support inserts each carry two electronic devices. The tray is restricted from its right to left movement at the top of the front platform. A plurality of guides 60A and 60B having a plurality of V-shaped grooves on the outside
On the inside, it is guided by a V-shaped guide 60C located at the center. In FIG. 4, a gap where no guide exists is formed on the left side of the inner V-shaped guide 60C. This gap allows the leftmost tray to enter the lift conveyor and permeate chamber. No V-shaped guide is also formed on the right side of the central V-shaped guide 60C, and the absence of this guide allows the tray to be discharged from the non-penetrable chamber onto the front platform.

図4を再び参照すると、図に示すように前方プラット
フォーム34の中央のトレイは、3つの挿入部6A、6B、及
び6Cが収容されている。これら3つの挿入部6A、6B、及
び6Cは降荷されており、換言すればこれらからは電子デ
バイスが取り外されている。中央のトレイの一番右側の
挿入部は、まだ降荷されておらずしかしテストされたデ
バイスを未だ収容している。図3は積荷ヘッドが電子デ
バイスを中央の挿入トレイの一番左側の挿入部へ載置す
る位置にあるのを示しており、また、図3は、降荷ヘッ
ドが、中央の挿入トレイの一番右側の挿入部におけるテ
ストされた残りの2つの電子デバイスを取り去る位置に
あるのを示している。
Referring again to FIG. 4, the central tray of the front platform 34, as shown, houses three inserts 6A, 6B, and 6C. These three inserts 6A, 6B, and 6C have been unloaded, in other words, the electronic device has been removed therefrom. The rightmost insert in the middle tray has not yet been unloaded, but still contains the tested device. FIG. 3 shows that the loading head places the electronic device on the leftmost insertion part of the central insertion tray, and FIG. 3 shows that the unloading head is one of the central insertion trays. The rightmost insert is shown in position to remove the remaining two electronic devices tested.

図6乃至図9を参照すると、上昇コンベアは非常に詳
細に描かれている。2つの垂直ビーム70A及び70Bは、変
位可能に離間している。各々のビームの内側面、即ち、
他のビームに対向している各々のビームの側面には、複
数の水平棚37A及び37Bが配置されている。各々のビーム
上に位置する複数の棚は、均一に離間され、動作時にお
いてはいかなる時においても1つのビームの棚は、対向
するビームの棚とアライメントされている。ビームは移
動可能であり少なくとも4つの別の部分を有している。
複数のビームは、水平的に互いに最も近付く位置を有し
ている。この位置においては、これらのビームは収縮し
ている、といい得る。このような収縮位置においては、
アライメントされた一対の棚の上に位置するトレイを挿
入し得るだけの間隔を保ってビームは互いに近付いてい
る。水平的には、ビームは拡張位置を有している。この
拡張位置においては、ビームは最も大きい間隔で離間す
る。この位置において、棚の間のギャップは大きいので
トレイは棚の上に置くことができない。ビームは垂直方
向における高い位置と低い位置とを有している。図8に
おいて、搬送エレベータの右側のビーム70bと共同する
複数の矢印は、水平アクチュエータ71A及び71Bと垂直ア
クチュエータ69とによって駆動されたときの固有のビー
ムの動きの通路及び方向を示している。搬送エレベータ
の右側のビームも同様に移動するが反時計回りに移動す
る。
Referring to FIGS. 6-9, the lift conveyor is depicted in greater detail. The two vertical beams 70A and 70B are displaceably spaced. The inner surface of each beam,
A plurality of horizontal shelves 37A and 37B are arranged on the side surface of each beam facing the other beams. The shelves located on each beam are evenly spaced, so that at any time in operation one beam shelf is aligned with the opposing beam shelf. The beam is movable and has at least four other parts.
The plurality of beams have positions closest to each other horizontally. In this position, these beams can be said to be contracted. In such a contracted position,
The beams are close to each other with sufficient spacing to allow insertion of trays located on a pair of aligned shelves. Horizontally, the beam has an extended position. In this extended position, the beams are separated by the largest distance. In this position, the tray cannot be placed on the shelf because the gap between the shelves is large. The beam has a high position and a low position in the vertical direction. In FIG. 8, the arrows cooperating with beam 70b on the right side of the transport elevator indicate the path and direction of the inherent beam motion when driven by horizontal actuators 71A and 71B and vertical actuator 69. The beam on the right side of the transport elevator moves similarly, but also moves counterclockwise.

図9を参照すると、挿入トレイはビームの棚の長さよ
りも長い幅を有するように描かれている。各々のビーム
のどちらかの側縁に沿って、保持タブ74を含む回転可能
なポスト(72A及び72B)が配設されている。保持タブビ
ームは垂直方向及び水平方向において固定されている。
保持タブの目的は、棚ビームの拡張が行われる前に挿入
トレイの下方で回転することである。棚による支持が無
い状態において、仮想線で示すように保持タブは棚の代
りに挿入トレイを支持する。続いて棚ビームが収縮して
棚による支持が提供されたときには、保持タブは実線で
示すように挿入トレイとは関係の無い位置に回転する。
Referring to FIG. 9, the insertion tray is depicted as having a width greater than the length of the beam shelf. Along each side edge of each beam are disposed rotatable posts (72A and 72B) that include retaining tabs 74. The holding tab beam is fixed vertically and horizontally.
The purpose of the retaining tab is to rotate below the insertion tray before expansion of the shelf beam takes place. Without support by the shelf, the retaining tabs support the insertion tray instead of the shelf, as shown by phantom lines. When the shelf beam subsequently contracts to provide support by the shelf, the retaining tabs rotate to a position unrelated to the insertion tray, as shown by the solid line.

図8を参照し仮想線で示す挿入トレイについて考察し
てみると、そのトレイの、搬送コンベアによる上方への
移動は以下のように行われる。第1には、保持タブが挿
入トレイの下方で回転して、これに続いて行われる棚ビ
ームの収縮の代りに、即ち、トレイから棚が引き離され
る代りに、挿入トレイを保持する。棚ビームは低い位置
に向かって下方に移動し、挿入トレイの下方で棚を後方
に移動させるように収縮する。そして保持タブは、これ
らによって挿入トレイが支えられた状態で棚にクリアラ
ンスを与え、棚ビームは垂直方向上方に移動して高い位
置に位置する。かくして、上述のステップの間に、コン
ベア内の各々の挿入トレイは1つの棚の分だけ上方に移
動される。この工程は試験制御装置の動作の間じゅう継
続的に繰り返される。挿入トレイが頂上の棚に辿り着い
て棚ビームが高位置に位置したときには、頂上の挿入ト
レイは頂上の棚から互いに対向するV字形状の溝上へ試
験トラックに向かってスライドされるようにアライメン
トされる。
Considering the insertion tray indicated by a virtual line with reference to FIG. 8, the upward movement of the tray by the transport conveyor is performed as follows. First, the retaining tabs rotate below the insert tray to hold the insert tray instead of the subsequent contraction of the shelf beam, i.e., instead of pulling the shelf away from the tray. The shelf beam moves downward toward a lower position and contracts to move the shelf backwards below the insertion tray. The holding tabs provide clearance to the shelf while the insertion tray is supported by them, and the shelf beam moves vertically upward to be at a higher position. Thus, during the steps described above, each insertion tray in the conveyor is moved up by one shelf. This process is repeated continuously throughout the operation of the test controller. When the insert tray reaches the top shelf and the shelf beam is at an elevated position, the top insert tray is aligned to slide toward the test track from the top shelf onto opposing V-shaped grooves. You.

図12を参照すると、下降コンベア40は上昇コンベアと
同じ様に挿入トレイを移動させるが、しかし、棚ビーム
と保持タブとの動作は実質的に逆である。最も右側に位
置するビームは反時計回りに動作し、ビームが収縮して
いるとき、即ち棚が挿入トレイを支持しているときに
は、棚は高い位置から低い位置へと移動するが、ビーム
が拡張されたときには、低い位置から高い位置へと移動
する。保持タブは上昇コンベアに設けられたものと同様
に機能する。即ち、棚ビームが拡張位置にある間、トレ
イを保持している。図7を参照すると、挿入トレイは搬
送エレベータ36の頂上の棚の上に位置している。回転ア
ーム80はフレーム82を有いている。このフレーム82は、
アームによって規定されたスロット84と、スロットライ
ダ86とによってアーム70に摺動可能に取り付けられてい
る。回動アームは、搬送エレベータの頂上の棚の上方の
中央部分に設定された第1の位置と、試験トラック81の
上方の第2の位置との間で移動可能となっている。一対
の案内ロッド87A、87Bは、駆動アーム80の角度運動にか
かわらずにフレームの動きをリニアなものにしている。
図8は、フレーム82の外側の縁に沿ったフランジ88を示
している。このフランジは搬送エレベータの頂上に位置
する挿入トレイに接触してこれを内側に押し得るように
下方に延出している。搬送エレベータから試験トラック
までの動きを直線的に保つために、V字状のガイドレー
ル89A及び89Bざ通路の両側縁の外側に沿って設けられて
いる。挿入トレイが試験トラックに入ると、V字状のガ
イドは挿入トレイに対して試験トラックに沿って移動す
るときの横方向の安定性を与えている。
Referring to FIG. 12, the descending conveyor 40 moves the insertion tray in the same manner as the ascending conveyor, but the operation of the shelf beams and holding tabs is substantially reversed. The rightmost beam moves counterclockwise, and when the beam is contracted, i.e., when the shelf is supporting the insertion tray, the shelf moves from a higher position to a lower position, but the beam expands. When it is done, it moves from a low position to a high position. The retaining tabs function similarly to those provided on a lifting conveyor. That is, the tray is held while the shelf beam is in the extended position. Referring to FIG. 7, the insertion tray is located on a shelf at the top of the transport elevator 36. The rotating arm 80 has a frame 82. This frame 82
The arm 70 is slidably mounted by a slot 84 defined by the arm and a slot rider 86. The pivot arm is movable between a first position set in a central portion above a shelf at the top of the transport elevator and a second position above a test track 81. The pair of guide rods 87A and 87B make the movement of the frame linear regardless of the angular movement of the drive arm 80.
FIG. 8 shows a flange 88 along the outer edge of the frame 82. The flange extends downwardly so as to contact and push the insertion tray located on top of the transport elevator. V-shaped guide rails 89A and 89B are provided along the outside of both side edges of the passage to keep the movement from the transport elevator to the test track linear. As the insertion tray enters the test track, the V-shaped guide provides lateral stability to the insertion tray as it moves along the test track.

図10及び図11を参照すると、電子デバイスを試験ヘッ
ドコンタクタ90と接触させる、個々のデバイス支持挿入
部の運動及び機構が示されている。試験ヘッドコンタク
タは、試験トラックの上方の所定位置に、好ましくは、
中央に位置するトレイが試験されているものとなるよう
に試験トラックの長さに対して中央に固定されている。
これら図面においては、2つの電気デバイスを同時に試
験する能力の試験ヘッドコンタクタのみを示している。
この様に、たった一つのデバイス支持挿入部の動きは必
要であり試験トラックに沿ったトレイの運動は段階的に
デバイス支持挿入部のピッチと等しくされる。挿入部が
試験ヘッドコンタクタに配設され位置合わせされると、
挿入部の下方の上昇プラットフォーム92、即ちプッシャ
は、上方に移動して挿入部を挿入トレイ内のそのソケッ
トから持ち上げ、試験ヘッドコンタクタに接触させる。
試験が完了したときには、上昇プラットフォームは下方
に移動してトレイ内のソケットに挿入部を位置させる。
次にトレイは、次に瞬時に続く挿入部が試験ヘッドの下
方に位置するまで、前方に即ち図の東方に従って右側に
移動される。しかし、一つ以上のプッシャを設けても良
い。例えば、4つのプッシャを設けて複数個の電子デバ
イスを同時に4つの挿入部に配置して、適当な能力を有
する試験ヘッドコンタクタに接触させても良い。
Referring to FIGS. 10 and 11, the motion and mechanism of the individual device support inserts that bring the electronic device into contact with the test head contactor 90 are shown. The test head contactor is preferably located at a predetermined position above the test track,
The centrally located tray is fixed centrally with respect to the length of the test track such that it is the one being tested.
In these figures, only a test head contactor capable of testing two electrical devices simultaneously is shown.
Thus, movement of only one device support insert is required, and movement of the tray along the test track is stepwise equalized to the pitch of the device support insert. When the insert is located and aligned with the test head contactor,
The lifting platform 92, or pusher, below the insert moves upward to lift the insert from its socket in the insertion tray and contact the test head contactor.
When the test is completed, the lifting platform moves down to position the insert in the socket in the tray.
The tray is then moved forward, ie, to the right according to the east of the figure, until the next instantaneous insert is below the test head. However, one or more pushers may be provided. For example, four pushers may be provided so that a plurality of electronic devices are simultaneously placed in the four inserts and contact a test head contactor having appropriate capabilities.

図13を参照すると、試験トラックから下降コンベアの
頂上へ挿入トレイを取り外す機構が描かれている。互い
に対向する一対の抽出アーム100A及び100Bは、回動され
る。回動軸から離れた抽出アームの端部の所には、Vロ
ーラ102A及び102Bが夫々のアームに1個づつ設けられて
いる。V形状のローラは、挿入トレイの対応する側面の
溝に係合する。アームが回転されると、右側のアームは
反時計回りに左側にアームは時計回りに回動して、トレ
イは試験トラックから非浸透室43に押し出される。各々
のトレイが非浸透室内の底部位置に到着すると、上方に
突出したフランジ106を有する抽出舌部104が底部のトレ
イに引っ掛かり、前方プラットフォーム34に引き出す。
Referring to FIG. 13, a mechanism for removing the insertion tray from the test track to the top of the descending conveyor is depicted. A pair of extraction arms 100A and 100B facing each other are rotated. At the end of the extraction arm away from the rotation axis, V rollers 102A and 102B are provided for each arm. The V-shaped rollers engage in grooves on the corresponding side of the insertion tray. When the arm is rotated, the right arm rotates counterclockwise and the left arm rotates clockwise, and the tray is pushed out of the test track into the non-penetrating chamber 43. As each tray arrives at the bottom position in the impervious chamber, the extraction tongue 104 with the upwardly projecting flange 106 hooks onto the bottom tray and pulls out to the front platform 34.

図3、5、10、15を参照すると、トレイを前方プラッ
トフォームに沿って移動させる機構が図示されている。
前方プラットフォームの下方に配置され通常長手方向中
央に位置される摺動可能な前進バー110は、垂直方向に
突出した複数のピン112を支持している。図示した状態
では、この様なピンが4個設けられている。これらピン
は高い位置および低い位置にそれぞれ押し上げられ押し
下げられる。低い位置においては、これらピンは、挿入
トレイから離間しており、挿入トレイはこれらの上方に
位置している。高い位置では、ピンはこれらの上方に位
置する挿入トレイに、切り欠き114によって係合してい
る。これら切り欠き114は、各々の挿入トレイの外側の
縁によって規定されている(図2参照)。本実施例の挿
入トレイの場合には、4つの切り欠きが規定されてい
る。図示された実施例では、切り欠きはトレイの縁に沿
って配設されており、この結果、トレイは1つのステッ
プで1個のデバイス支持挿入部を飛び越えて前進するこ
とができる。動作時においては、トレイの前進が必要な
時の場所では、前進バーは、これの可動範囲の最も右側
にまで移動し、ピンを上昇させて1個または2個のトレ
イに係合させる。係合するトレイの数は、位置によって
決まる。前進バーは次にその可動範囲の最も左側にまで
移動してピンを押し下げる。このように、トレイはすべ
て前進され、即ち1個のデバイス支持挿入を一度に割り
出す。
Referring to FIGS. 3, 5, 10, and 15, the mechanism for moving the tray along the front platform is illustrated.
A slidable advance bar 110 located below the front platform and typically centered longitudinally supports a plurality of vertically projecting pins 112. In the state shown, four such pins are provided. These pins are pushed up and down respectively to a high position and a low position. In the lower position, the pins are spaced from the insertion tray, and the insertion tray is located above them. In the elevated position, the pins are engaged by notches 114 in the insert trays located above them. These notches 114 are defined by the outer edges of each insertion tray (see FIG. 2). In the case of the insertion tray of this embodiment, four notches are defined. In the illustrated embodiment, the cutouts are located along the edges of the tray, so that the tray can be advanced over one device support insert in one step. In operation, where the tray needs to be advanced, the advance bar moves to the far right of its range of motion and raises the pins to engage one or two trays. The number of engaged trays depends on the location. The advance bar then moves to the far left of its range of motion and depresses the pin. Thus, the trays are all advanced, ie, indexing one device support insert at a time.

図5、7、10、11、12、13、15を参照すると、トレイ
を試験トラック中で前進させる機構が示されている。前
述したように、個別に移動可能なシャトル120A及び120B
が設けられている。これらシャトルは試験トラックに沿
ってそれらの夫々の移動範囲内で、対応するねじ122A及
び122Bによって移動する。これらねじは、シャトルによ
って規定されたねじと係合する。これらシャトルは開口
をも有しており、これら開口を介して、ねじ122A及び12
2Bと平行なガイド124A及び124Bが夫々のシャトルの案内
された運動を提供している。各々のシャトルはヘッド12
6A及び126Bを支持している。これらヘッドは、ヘッド内
に固定されたピン128と係合する少なくとも2個のトレ
イを支持している。シャトルヘッドは2つの位置の間で
上下に移動可能である。シャトルヘッドが挿入トレイと
離間した高い位置と、ピンが挿入トレイの内側面に沿っ
たソケット130と係合する低い位置とである。各々のシ
ャトルにおいては、トレイ係合ピンの間の空間はトレイ
上の側近の対のソケット間の間隔と等しい。2個のシャ
トルの独立した動きは、素早い動作と、試験位置に向か
って移動するトレイ及び試験ヘッド位置から取り外され
るトレイの、比較的独立した取扱いとを提供する。第1
のシャトル120Bが最終試験位置に移動すると、トレイか
ら解放可能となり、そしてそのホーム位置、即ち、準備
位置においてトレイを掴み得る位置に復帰する。しか
し、第1のシャトル120Bは、トレイが第2のシャトル12
0Bによって保持されるまでは、試験下においてはトレイ
を解放しない。この様式で、試験トラックに沿った複数
個のトレイは常にどちらかのシャトルによって制御され
ていることになる。試験下での特定のトレイ上の電子デ
バイスの最後のセットが試験を完了したときには、第2
のシャトルはトレイを待機取外し位置に移動させる。そ
の一方では、第1のシャトルはこれに載ったトレイを準
備位置から試験位置に移動している。通常、1個のトレ
イを試験中には、他のトレイを移動させることができ
る。この移動の方向は、試験位置に向かうものか、ある
いは待機取り外し位置にむかうものか、いずれかであ
る。
Referring to FIGS. 5, 7, 10, 11, 12, 13, and 15, there is shown a mechanism for advancing a tray in a test track. As previously mentioned, individually movable shuttles 120A and 120B
Is provided. The shuttles are moved along their test tracks within their respective ranges of travel by corresponding screws 122A and 122B. These screws engage the screws defined by the shuttle. The shuttles also have openings through which the screws 122A and 122A are connected.
Guides 124A and 124B parallel to 2B provide guided movement of each shuttle. Each shuttle has 12 heads
Supports 6A and 126B. These heads support at least two trays that engage pins 128 fixed in the heads. The shuttle head is movable up and down between two positions. A high position where the shuttle head is spaced from the insertion tray and a low position where the pins engage the socket 130 along the inside surface of the insertion tray. In each shuttle, the space between the tray engagement pins is equal to the spacing between the adjacent pairs of sockets on the tray. The independent movement of the two shuttles provides for quick operation and relatively independent handling of the tray moving toward the test position and the tray being removed from the test head position. First
When the shuttle 120B has moved to the final test position, it can be released from the tray and returns to its home position, a position where the tray can be gripped in the ready position. However, the first shuttle 120B does not
Do not release the tray under test until held by OB. In this manner, multiple trays along the test track will always be controlled by either shuttle. When the last set of electronic devices on a particular tray under test has completed the test, a second
Shuttle moves the tray to the standby removal position. On the other hand, the first shuttle moves the tray on it from the preparation position to the test position. Typically, while one tray is being tested, the other tray can be moved. The direction of this movement is either toward the test position or toward the standby removal position.

14A、14B、14Cを参照すると、デバイス支持挿入部の
別野形状が示されている。図14Aは1個の大きなデバイ
ス134Aを支持する挿入部132Aを示している。図14Bは、
4個のデバイス134Bを並列配置して保持する挿入部132B
を示している。図14Cは2個のデバイス134Cを並列配置
して保持する挿入部132Cを示している。
14A, 14B, and 14C, different shapes of the device support insertion portion are shown. FIG. 14A shows an insert 132A that supports one large device 134A. FIG.
Insertion section 132B for holding four devices 134B arranged in parallel
Is shown. FIG. 14C shows an insertion section 132C that holds two devices 134C arranged in parallel.

図15を参照すると、制御及び継続システムは、取り出
しヘッド用のバキュム機能と、トレイ前進機能と、トレ
イ係合機能と、トレイ搬送機能と、トレイ操作機能と、
システム用の構成要素操作機能とを有するように図示さ
れている。
Referring to FIG. 15, the control and continuation system includes a vacuum function for a take-out head, a tray advance function, a tray engagement function, a tray transport function, a tray operation function,
It is shown to have component operating functions for the system.

フロントページの続き (72)発明者 ツウィッグ、レイ・ジー アメリカ合衆国、カリフォルニア州 92131、サン・ディエゴ、フェアーブル ック・ロード 12597 (72)発明者 クルグ、マーク・ダブリュ アメリカ合衆国、カリフォルニア州 92131、サン・ディエゴ、リュ・カネス 10244 (56)参考文献 特開 昭63−151038(JP,A) 実開 平3−97676(JP,U) 米国特許4908126(US,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01R 31/26 G01R 31/28 H01L 21/66 Continuing the front page (72) Inventor Zwig, Lazy, USA, 92131, California, San Diego, Fairbrook Road 12597 (72) Inventor Krug, Mark W. United States, California, 92131, San Diego Reference: JP-A-63-151038 (JP, A) U.S. Pat. No. 3,97,676 (JP, U) US Pat. No. 4,908,126 (US, A) (58) Fields investigated (Int. . 7, DB name) G01R 31/26 G01R 31/28 H01L 21/66

Claims (14)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】試験を行うテスタに対して電子デバイスを
提供する装置であって、 (a) 複数の電子デバイスを有するセットを各々支持
する複数のキャリアと、 (b) 積荷ステージと、 (c) 試験前の室と、 (d) 試験ステージと、 (e) 試験後の室と、 (f) 降荷ステージと、 (g) キャリアが積荷ステージにあるときに一組の電
子デバイスを各々のキャリアに積荷する手段と、 (h) キャリアが降荷ステージにあるときに一組の電
子デバイスを各々のキャリアから降荷する手段と、 (i) キャリアが試験ステージにあるときに、キャリ
アによって支持された一組の電子デバイスとテスタとの
間の電気的接触を提供する手段と、 (j) 複数のキャリアを閉じられたループで周期的に
搬送する手段であって、前記ループは、積荷ステージか
ら試験前の室を介して、試験前の室から試験ステージ
へ、試験ステージから試験後の室へ、試験後の室を介し
て降荷ステージへ、降荷ステージから積荷ステージへと
続くものであり、各々のデバイスキャリアは一組の電子
デバイスを積荷するのに十分な時間だけ積荷ステージで
停止しており、各々のキャリアはキャリアによって支持
された一組の電子デバイスに対して行われる所望の試験
に十分な時間だけ試験ステージで停止しており、各々の
キャリアは電子デバイスを降荷するのに十分な時間だけ
降荷ステージに停止されている搬送手段と、 を具備する装置。
An apparatus for providing an electronic device to a tester performing a test, comprising: (a) a plurality of carriers each supporting a set having a plurality of electronic devices; (b) a loading stage; (D) a test stage; (e) a post-test room; (f) an unloading stage; and (g) a set of electronic devices when the carrier is in the loading stage. Means for loading the carrier; (h) means for unloading a set of electronic devices from each carrier when the carrier is at the unloading stage; and (i) supported by the carrier when the carrier is at the test stage. Means for providing electrical contact between the set of electronic devices and the tester, and (j) means for periodically transporting the plurality of carriers in a closed loop, wherein the loop comprises a load. From the stage to the test stage, from the pre-test room to the test stage, from the test stage to the test stage, from the test stage to the unloading stage via the post-test room, from the unloading stage to the loading stage Wherein each device carrier is stopped at the loading stage for a time sufficient to load a set of electronic devices, and each carrier is driven to a set of electronic devices supported by the carrier. Transport means stopped at the test stage for a time sufficient for the testing of the electronic device, each carrier being stopped at the unloading stage for a time sufficient to unload the electronic device.
【請求項2】前記キャリアは第1のキャリアであり、装
置はさらに第2のキャリアを具備し、各々の第1のキャ
リアは一組の第2のキャリアを支持し、各々の第2のキ
ャリアは一組の電子デバイスを支持し、前記一組の電子
デバイスを積荷する手段は前記一組の電子デバイスを前
記一組の第2のキャリアに積荷するように動作し、前記
一組の電子デバイスを降荷する手段は、前記降荷ステー
ジにおいて前記一組の電子デバイスを第1のキャリアの
前記一組の第2のキャリアから降荷するように動作す
る、請求項1に記載の装置。
2. The apparatus of claim 1, wherein the carrier is a first carrier, and the apparatus further comprises a second carrier, each first carrier supporting a set of second carriers, and each second carrier. Supports a set of electronic devices, and the means for loading the set of electronic devices operates to load the set of electronic devices onto the set of second carriers; The apparatus of claim 1, wherein the means for unloading is operable to unload the set of electronic devices from the set of second carriers of a first carrier at the unloading stage.
【請求項3】各々の第2のキャリアは、その第1のキャ
リアによって規定されたシート内に配置され重力によっ
てこのシート内に保持されており、前記キャリアによっ
て支持された一組の電子デバイスとテスタとの間の前記
的接触を提供する手段は、試験位置の上方に配置され下
方を向いたコンタクタを有する試験ヘッドと、試験位置
において第1のキャリアの一組の第2のキャリアを上昇
させて、前記一組の第2のキャリアによって支持された
電子デバイスのリードが前記試験ヘッドコンタクタと電
気的に接触する点に位置させる手段とを具備する、請求
項2に記載の装置。
3. Each of the second carriers is disposed in a sheet defined by the first carrier, held in the sheet by gravity, and includes a set of electronic devices supported by the carrier. The means for providing said target contact with the tester includes a test head having a contactor positioned above the test location and facing downwards, and raising a set of second carriers of the first carrier at the test location. Means for positioning the leads of an electronic device carried by the set of second carriers in electrical contact with the test head contactor.
【請求項4】各々の第2のキャリアシートと底部におい
て第1のキャリアによって規定された貫通孔をさらに具
備し、前記試験位置において一組の第2のキャリアを上
昇させる手段は、貫通孔の上に載置された第2のキャリ
アを各々の貫通孔を介してそのシートから所定の位置に
上昇させる手段を具備し、前記所定の位置においては、
上昇された第2のキャリアによって支持された一組の電
子デバイスのリードは試験ヘッドコンタクタと電気的に
接触する、請求項3に記載の装置。
4. The apparatus according to claim 1, further comprising a through hole defined by the first carrier at each second carrier sheet and at the bottom, wherein the means for raising the set of second carriers at the test position comprises: Means for elevating the second carrier mounted thereon from the sheet to a predetermined position through each through-hole, wherein at the predetermined position,
4. The apparatus of claim 3, wherein the set of electronic device leads supported by the raised second carrier are in electrical contact with the test head contactor.
【請求項5】前記試験前の室は、入口及び出口を規定
し、前記装置はさらに、各々が一つのキャリアを保持す
る複数の装置を有する上昇コンベアと、入口を介してキ
ャリアを積荷ステージから上昇コンベアの底部シート上
に移動させる手段と、出口に向かって上方に前記シート
を漸次移動させる手段と、上昇コンベアの頂上のシート
からキャリアを取り外し、かつ、試験前の室から出口を
介してキャリアを取り外す手段とを具備する、請求項1
に記載の装置。
5. The pre-test chamber defines an inlet and an outlet, the apparatus further comprising an ascending conveyor having a plurality of devices each holding a carrier, and transferring the carrier from the loading stage through the inlet. Means for moving the sheet on the bottom sheet of the ascending conveyor, means for gradually moving the sheet upward toward the outlet, removing the carrier from the sheet on the top of the ascending conveyor, and removing the carrier from the chamber before testing via the outlet. And means for removing
An apparatus according to claim 1.
【請求項6】前記試験後の室は、入口及び出口を規定
し、前記装置はさらに、各々が一つのキャリアを保持す
る複数のシートを有する下降コンベアと、入口を介して
キャリアを下降コンベアの頂上のシート上に挿入する手
段と、出口に向かって下方に前記シートを漸次移動させ
る手段と、下降コンベアの底部シートからキャリアを取
り外し、かつ、試験後の室から出口を介してキャリアを
取り外して降荷ステージ上に載置する手段とを具備す
る、請求項1に記載の装置。
6. The post-test chamber defines an inlet and an outlet, and the apparatus further comprises: a descending conveyor having a plurality of sheets each holding a carrier; and a carrier descending the carrier through the inlet. Means for inserting on the top sheet, means for progressively moving said sheet downward towards the outlet, removing the carrier from the bottom sheet of the descending conveyor and removing the carrier from the chamber after the test via the outlet. Means for resting on an unloading stage.
【請求項7】キャリアが積荷ステージにあるときに一組
の電子デバイスを各々とキャリアに積荷する手段は、積
荷ステージと電気デバイス源との間で往復するように移
送する積荷ヘッドと、積荷ヘッドに付加され、電子デバ
イス源において1個またはそれ以上の個々の電子デバイ
スを取り上げ、積荷ステージで電子デバイスを解放して
キャリア上に載置する手段とを具備する、請求項1に記
載の装置。
7. The means for loading each of a set of electronic devices and a carrier when the carrier is on the loading stage, the loading head transporting the carrier back and forth between the loading stage and the source of the electrical device, and the loading head. Means for picking up one or more individual electronic devices at the electronic device source and releasing the electronic devices on the carrier at the loading stage.
【請求項8】キャリアが降荷ステージにあるときに一組
の電子デバイスを各々のキャリアから降荷する手段は、
降荷ステージと移送プラットフォームとの間で往復する
ように移動する降荷ヘッドと、この降荷ヘッドに付加さ
れ、キャリアから1個またはそれ以上の個々の電子デバ
イスを取り上げ、取り上げた電子デバイスを移送プラッ
トフォームで解放する手段とを具備する、請求項1に記
載の装置。
8. The means for unloading a set of electronic devices from each carrier when the carriers are at the unload stage.
An unloading head that moves back and forth between the unloading stage and the transfer platform, and one or more individual electronic devices attached to the unloading head that are removed from the carrier and transferred Means for releasing at the platform.
【請求項9】試験前の室と試験ステージとの間に配置さ
れ、試験ステージが他のキャリアによって占領されてい
たときに試験前の室に存在するキャリアを停止させ得る
試験前のステージと、試験ステージと試験後の室との間
に配置され、試験後の室内の空のシートを待つ間、試験
ステージから試験後の室に搬送されようとしているキャ
リアを停止させ得る試験後のステージと、試験前のステ
ージから試験ステージにキャリアを搬送する手段と、試
験ステージから試験後のステージにキャリアを搬送する
手段とをさらに具備し、前記2つの搬送手段は、夫々独
立して動作可能である、請求項1に記載の装置。
9. A pre-test stage disposed between the pre-test chamber and the test stage, wherein the pre-test stage can stop carriers present in the pre-test chamber when the test stage was occupied by another carrier; A post-test stage that is arranged between the test stage and the post-test chamber and that can stop the carrier being transported from the test stage to the post-test chamber while waiting for an empty sheet in the post-test chamber; Means for transporting the carrier from the stage before the test to the test stage, and means for transporting the carrier from the test stage to the stage after the test, wherein the two transport means are operable independently of each other, The device according to claim 1.
【請求項10】前記試験前の室は入口と出口とを規定し
ており、前記装置はさらに、各々が1個の第1のキャリ
アを保持する複数のシートを有する上昇コンベアと、第
1のキャリアを積荷ステージから入口を介して上昇コン
ベアの底部シート上に移動させる手段と、シートを出口
に向かって上方に漸次移動させる手段と、第1のキャリ
アを上昇コンベアの頂上のシートから取り外し、かつ、
第1のキャリアを試験前の室から出口を介して取り外す
手段とを具備する、請求項2に記載の装置。
10. The pre-test chamber defines an inlet and an outlet, and the apparatus further comprises a rising conveyor having a plurality of sheets each holding a single first carrier; Means for moving the carrier from the loading stage through the inlet onto the bottom sheet of the ascending conveyor, means for progressively moving the sheet upwardly toward the outlet, removing the first carrier from the sheet at the top of the ascending conveyor, and ,
Means for removing the first carrier from the pre-test chamber via an outlet.
【請求項11】前記試験後の室は入口と出口とを規定し
ており、前記装置はさらに、各々が1個の第1のキャリ
アを保持する複数のシートを有する下降コンベアと、第
1のキャリアを入口を介して下降コンベアの頂上のシー
ト上に挿入する手段と、シートを出口に向かって下方に
漸次移動させる手段と、第1のキャリアを下降コンベア
の底部シートから取り外し、かつ、第1のキャリアを試
験後の室から出口を介して取り外して降荷ステージに載
置する手段とを具備する、請求項2に記載の装置。
11. The post-test chamber defines an inlet and an outlet, and the apparatus further comprises: a descending conveyor having a plurality of sheets each holding one first carrier; Means for inserting the carrier through the inlet onto the sheet at the top of the descending conveyor, means for progressively moving the sheet downwardly toward the outlet, removing the first carrier from the bottom sheet of the descending conveyor, and Means for removing the carrier from the chamber after the test via the outlet and placing the carrier on the unloading stage.
【請求項12】前記第1のキャリアが積荷ステージにあ
るときに一組の電子デバイスを各々の第1のキャリアに
積荷する手段は、積荷ステージと電子デバイス源との間
で往復するように移動可能な積荷ヘッドと、この積荷ヘ
ッドに付加され、1個またはそれ以上の個々の電子デバ
イスを電子デバイス源のところで取り出し、電子デバイ
スを積荷ステージのところで解放して第1のキャリア上
に載置する手段とを具備する、請求項2に記載の装置。
12. The means for loading a set of electronic devices onto each first carrier when said first carriers are at a loading stage moves back and forth between the loading stage and an electronic device source. A possible loading head and one or more individual electronic devices attached to the loading head are removed at the electronic device source, and the electronic devices are released at the loading stage and mounted on the first carrier. 3. The apparatus of claim 2, comprising means.
【請求項13】第1のキャリアが降荷ステージにあると
きに一組の電子デバイスを各々の第1のキャリアから降
荷する手段は、降荷ステージと移送プラットフォームと
の間で往復するように移動可能な降荷ヘッドと、この降
荷ヘッドに付加され、1個またはそれ以上の個々の電子
デバイスを第1のキャリアから取り出し、取り出された
デバイスを移送プラットフォームのところで解放する手
段とを具備する、請求項2に記載の装置。
13. The means for unloading a set of electronic devices from each first carrier when the first carrier is at the unloading stage so as to reciprocate between the unloading stage and the transfer platform. A movable unloading head and means attached to the unloading head for removing one or more individual electronic devices from the first carrier and releasing the removed devices at the transfer platform. An apparatus according to claim 2.
【請求項14】試験前の室と試験ステージの間に配置さ
れ、試験ステージが他のキャリアによって占領されてい
たときに試験前の室に存在する第1のキャリアを停止さ
せ得る試験前のステージと、試験ステージと試験後の室
との間に配置され、試験後の室内の空のシートを待つ
間、試験ステージから試験後の室に搬送されようとして
いる第1のキャリアを停止させ得る試験後のステージ
と、試験前のステージから試験ステージに第1のキャリ
アを搬送する手段と、試験ステージから試験後のステー
ジに第1のキャリアを搬送する手段とをさらに具備し、
前記2つの搬送手段は、夫々独立して動作可能である、
請求項2に記載の装置。
14. A pre-test stage disposed between the pre-test chamber and the test stage, wherein the first carrier present in the pre-test chamber can be stopped when the test stage is occupied by another carrier. And a test disposed between the test stage and the post-test chamber, wherein the first carrier being transported from the test stage to the post-test chamber is stopped while waiting for an empty sheet in the post-test chamber. A stage after, a means for transporting the first carrier from the stage before test to the test stage, and a means for transporting the first carrier from the test stage to the stage after test,
The two transporting means are independently operable,
An apparatus according to claim 2.
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