JP2007256017A - Visual examination device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、プリント基板などの検査対象物を自動で検査する外観検査装置に関するものである。 The present invention relates to an appearance inspection apparatus that automatically inspects an inspection object such as a printed circuit board.
プリント基板に形成されたパッドやレジスト、シルクなどは、一般に、外観検査装置によって検査される。このような外観検査装置としては、現在種々の装置が提案されており、例えば、下記の特許文献1に記載されるようなものが存在している。
In general, pads, resists, silk, and the like formed on a printed circuit board are inspected by an appearance inspection apparatus. As such an appearance inspection apparatus, various apparatuses are currently proposed, and for example, there is an apparatus described in
例えば、特許文献1の装置は、図13に示すように、検査対象となるプリント基板9を所定枚数積層する集積部201を検査部206の上流側101に設け、検査部206によって検査されたプリント基板9を回収する回収部208を検査部206の下流側102に設けるようにしている。そして、この装置では、載置機構231によって集積部201からプリント基板9を持ち上げて検査用コンベアー203に載置し、プリント基板9を検査用コンベアー203上で移動させて検査部206にてプリント基板9の表面の形成状態を検査する。そして、この検査部206による検査によって良否の判定されたプリント基板9を回収機構232によって回収部208に回収させるようにしている。
ところで、このような外観検査装置を用いて検査対象物を検査する場合、集積部を上流側に設けるとともに、回収部を下流側に設けるようにしているため、装置全体が長くなるという問題がある。しかも、集積部と回収物のそれぞれに載置機構と回収機構とを設ける必要があるためコストが高くなる。 By the way, when inspecting an inspection object using such an appearance inspection apparatus, the stacking unit is provided on the upstream side, and the collection unit is provided on the downstream side, so that there is a problem that the entire apparatus becomes long. . In addition, since it is necessary to provide a placement mechanism and a recovery mechanism for each of the stacking unit and the recovered material, the cost increases.
そこで、本発明では、上記課題を解決するために、外部検査装置全体を小さくするとともに、装置全体のコストを低減できるようにした外観検査装置を提供することを目的とする。 Therefore, in order to solve the above-described problems, an object of the present invention is to provide an appearance inspection apparatus that can reduce the overall external inspection apparatus and reduce the cost of the entire apparatus.
本発明は上記課題を解決するために、検査対象物を集積する集積部と、当該集積部から検査対象物を取り出してステージ上に載置させる載置機構と、ステージを長手方向に移動させることによって検査対象物を検査する検査部と、当該検査された検査対象物を回収部に回収する回収機構とを備えてなる外観検査装置において、前記集積部と回収部をステージの移動方向の側方に設けるようにしたものである。 In order to solve the above problems, the present invention provides a stacking unit that stacks inspection objects, a mounting mechanism that takes out the testing objects from the stacking unit and places them on the stage, and moves the stage in the longitudinal direction. In an appearance inspection apparatus comprising: an inspection unit that inspects an inspection object by a recovery unit; and a recovery mechanism that recovers the inspected inspection object in a recovery unit. It is intended to be provided.
このように構成すれば、ステージの移動方向の側方に集積部と回収部が設けられているため装置全体を短くすることができるようになる。 If comprised in this way, since the collection | stacking part and collection | recovery part are provided in the side of the moving direction of a stage, it will become possible to shorten the whole apparatus.
そして、集積部からステージへの載置動作とステージから回収部への回収動作を同時に行い、また、好ましくは、集積部と回収部をステージの移動方向を挟む位置に設け、載置機構と回収機構を単一のピックアップ機構を用いて構成する。 Then, the placing operation from the stacking unit to the stage and the collecting operation from the stage to the collecting unit are performed at the same time. Preferably, the stacking unit and the collecting unit are provided at a position sandwiching the moving direction of the stage, and the placing mechanism and the collecting unit are placed. The mechanism is configured using a single pickup mechanism.
このように構成すれば、ステージの移動方向を挟んだ対向する位置に集積部と回収部が設けられているため、載置動作と回収動作を単一のピックアップ機構で同時に行うことができるため、外観検査装置のコストを低減させることができるようになる。 If configured in this way, since the stacking unit and the recovery unit are provided at opposite positions across the moving direction of the stage, the placement operation and the recovery operation can be performed simultaneously with a single pickup mechanism, The cost of the appearance inspection apparatus can be reduced.
さらに、このような発明において、検査部の下流側に、前記ステージを表裏反転させる表裏反転機構を設けるようにする。 Further, in such an invention, a front / back reversing mechanism for reversing the front / back of the stage is provided on the downstream side of the inspection unit.
このように構成すれば、ステージを往復動させる場合、復路において検査対象物の裏面を検査すれば、効率よく検査対象物を検査することができるようになる。 According to this configuration, when the stage is reciprocated, the inspection object can be efficiently inspected by inspecting the back surface of the inspection object in the return path.
加えて、このように表裏を検査する場合、検査対象物の表側に向けて載置するための第一のステージと、検査対象物を裏側に向けて載置するための第二のステージとに分離してステージを構成する。 In addition, when inspecting the front and back in this way, a first stage for placing the inspection object toward the front side and a second stage for placing the inspection object toward the back side Separate and configure the stage.
そして、第一のステージと第二のステージを折り畳み可能に設け、この第一のステージと第二のステージのいずれか一方を折り畳むことによって検査対象物の表裏を反転させるようにする。 Then, the first stage and the second stage are provided so as to be foldable, and one of the first stage and the second stage is folded to invert the front and back of the inspection object.
このように構成すれば、ステージ上に載置された検査対象物を持ち上げて表裏反転させる場合に比べて、ピックアップ反転機構などが不要となり、装置全体をコンパクトに構成することができるようになる。 With this configuration, a pickup reversing mechanism or the like is not required, and the entire apparatus can be configured compactly, as compared with the case where the inspection object placed on the stage is lifted and reversed.
本発明は、検査対象物を集積する集積部と、当該集積部から検査対象物を取り出してステージ上に載置させる載置機構と、ステージを長手方向に移動させることによって検査対象物を検査する検査部と、当該検査された検査対象物を回収部に回収する回収機構とを備えてなる外観検査装置において、前記集積部と回収部をステージの移動方向の側方に設けるようにしたので、外部検査装置全体を短くすることができるようになる。 The present invention is to inspect an inspection object by moving the stage in the longitudinal direction, a stacking unit that stacks the inspection object, a placement mechanism that takes out the inspection object from the stacking unit and places it on the stage. In the appearance inspection apparatus comprising an inspection unit and a collection mechanism for collecting the inspected inspection object in the collection unit, the stacking unit and the collection unit are provided on the side in the moving direction of the stage. The entire external inspection apparatus can be shortened.
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
本実施の形態における外観検査装置100の概要について説明する。この外観検査装置100は、プリント基板9に形成された配列パターンやパッド、レジスト、シルクなどの形成状態を検査するもので、図1に示すように、検査対象となる複数枚のプリント基板9を集積する集積部1と、この集積されたプリント基板9を上から一枚ずつ取り出すと同時にステージ4からプリント基板9をピックアップするためのピックアップ機構2と、ステージ4を往復動させるステージ移動機構5と、プリント基板9の外観を検査する検査部6と、プリント基板9を表裏反転させる表裏反転機構7と、外観の検査結果に基づいてプリント基板9を格納する回収部8とを備えている。以下、この外観検査装置100の構成について詳細に説明する。
The outline | summary of the external
まず、集積部1は、図2や図3に示すように、検査対象となるプリント基板9を積み重ねて収納するもので、そのプリント基板9を収納する箱状のスタッカ10と、このスタッカ10を入口の作業者側へスライドさせるスライド機構11と、スタッカ10内においてプリント基板9を載置するためのベース部材10dと、このベース部材10dをスタッカ10の底板10aから独立して昇降させるリフター12とを備えている。
First, as shown in FIGS. 2 and 3, the
このスタッカ10は、底板10aと一枚の側壁10bと奥壁10cで囲まれるように構成されており、底板10aの上部にベース部材10dを分離可能に載置するようにしている。そして、載置動作を行う場合には、スタッカ10全体をスライド機構11を介して引き出し、その開放された部分からプリント基板9をベース部材10d上に載置させるようにしている。この底板10aと奥壁10cには、後述するリフター12のフォーク12bを通すためのスリット100cが設けられており、そのスリット100cを介してフォーク12bを上下動させられるようになっている。
The
このスタッカ10を引き出すためのスライド機構11は、スタッカ10全体を前方へスライドさせるためのスライドレール11bと、このスライドレール11bを介して取り付けられる2本のフォーク状の載置部材11aを設けて構成される。この載置部材11a上には、スタッカ10の底板10aが取り付けられており、これによって、スタッカ10全体を載置部材11aとともに前方へ引き出せるようになっている。
The
一方、フォーク12bを上下動させるためのリフター12は、プリント基板9を載置したベース部材10dを備えており、ウォームシャフト機構12aを介してフォーク12bを上下動させる。このフォーク12bは、スタッカ10の奥壁10cに設けられたスリット100cや底板10aに設けられたスリット100cを介してスタッカ10内に突出するように設けられている。このフォーク12bの動作について説明すると、まず、フォーク12bは、初期状態でスタッカ10の底板10aよりも下方に位置している。この状態では、スタッカ10の底板10aはスライド機構11を構成する載置部材11a上に載置されているため、スライドレール11bを介してスタッカ10全体を前方への引き出せる状態となっている。そして、この状態からフォーク12bを上方へ移動させると、そのフォーク12bの上昇に伴って、図3に示すように、そのフォーク12bが底板10aのスリット100cを介してスタッカ10内に進入し、ベース部材10dおよびプリント基板9を持ち上げる。これにより底板10aから分離してベース部材10dが持ち上げられる。なお、図2においては、集積部1の正面図を示しており、図3では側面図を示している。このベース部材10dは、最上部に集積されたプリント基板9がスタッカ10上部の光センサ10eを遮光するまで持ち上げられ、これによって、常にスタッカ10の最上部にプリント基板9を位置させる状態として、ピックアップ機構2による取り出しを可能にしている。
On the other hand, the
プリント基板9を取り出すピックアップ機構2は、図1や図4に示すように、スタッカ10内のプリント基板9を吸着して第一のステージ40まで移動させる第一の吸着部材20と、表裏が検査されたプリント基板9を吸着して第二のステージ41から回収部8に移動させる第二の吸着部材21を備えている。そして、第一の吸着部材20と第二の吸着部材21をL字型の保持部材22に保持させ、さらに、この保持部材22を昇降可能に保持するベース保持部材22aを設けている。
As shown in FIGS. 1 and 4, the
これら第一の吸着部材20と第二の吸着部材21は、プリント基板9が接触している部分にのみ大きな吸引力を作用させるようにしており、この吸着機構の詳細について説明すると、吸着機構は、図5および図6に示すように、吸引ポンプが接続される側(図では上側)の内側吸引口23と対物側吸引口24との間の空間内で移動する遮蔽部材25を備えている。この遮蔽部材25は、上下方向に沿った貫通孔25aを中央に有しており、その貫通孔25aにガイドピン26aを貫通させることで上下方向へ移動を許容している。このガイドピン26aは、対物側吸引口24の内側に隙間を形成するための隙間形成部材26上に設けられるもので、遮蔽部材25を隙間形成部材26に当接させることによって対物側吸引口24との隙間を形成する。この隙間形成部材26は、対物側吸引口24の円形開口部の中央部分に跨って設けられる。そして、このガイドピン26aを遮蔽部材25の貫通孔25aに貫通させ、さらに、この遮蔽部材25をバネ27によって対物側吸引口24側へ付勢する。
The
この吸着機構の作用について図6を用いて説明すると、まず、対物側吸引口24にプリント基板9が存在していない状態で吸引ポンプを作動させると、吸引ポンプからの吸引力によって遮蔽部材25が内側吸引口23側へ吸引されて内側吸引口23が遮蔽され、これによって、遮蔽部材25の貫通孔25aとガイドピン26aとの間に形成された僅かな隙間28から外気を吸引するだけで、ほとんど大きな吸引力は作用しない。次に、対物側吸引口24にプリント基板9が接触した場合、今度は、対物側吸引口24が遮蔽され、空間内における空気が徐々に吸引されて圧力が低下する。そして、ある程度空間内の圧力が低下すると、今度はバネ27の付勢力によって遮蔽部材25が対物側吸引口24側へ押され、この際、隙間形成部材26に遮蔽部材25が接触することによって大きな幅の吸引流路が形成される。これにより、大きな吸引力でプリント基板9が吸引される。すなわち、この吸着機構は、プリント基板9が接触している部分にのみ大きな吸引力を作用させ、また、プリント基板9が接触していない部分にはほとんど吸引力を作用させないようにしている。これによって、吸引ポンプの出力を増加させることなくプリント基板9の接触している部分にのみ強い吸引力を作用させるようにしている。
The operation of this suction mechanism will be described with reference to FIG. 6. First, when the suction pump is operated in a state where the printed
また、この保持部材22は、図4に示すように、第一の吸着部材20や第二の吸着部材21を一体的に保持するL字状の部材によって形成され、さらに、ベース保持部材22aによって上下方向の移動が許容される。このベース保持部材22aは、シャフトとモーターによって構成された移動機構30を介してステージ4の移動方向に対して直角な方向にのみ移動し、所定の位置で保持部材22を集積部1や回収部8上でプリント基板9を昇降させるようにしている。保持部材22を昇降させる場合には、保持部材22の上方に設けられるベース板22aに複数のピン22bを介して摺動可能に保持部材22を保持させておき、エアポンプで保持部材22全体を吸い上げることによって保持部材22を昇降させる。このとき、第一の吸着部材20と第二の吸着部材21は一体的に昇降することとなるため、集積部1からの吸着動作とステージ4からの吸着動作は同時に行われる。
Further, as shown in FIG. 4, the holding
ステージ4は、図8に示すように、集積部1からプリント基板9を載置する第一のステージ40と、表裏反転機構7により反転されたプリント基板9を保持する第二のステージ41を備えている。そして、これらの第一のステージ40と第二のステージ41は、ヒンジ42を介して回転可能に連結されている。これらの第一のステージ40と第二のステージ41の内部には、前述のピックアップ機構2で用いられる吸着機構が設けられており、プリント基板9が載置されている開口部43にのみ大きな吸引力を作用させるようにしている。このステージ4の動作について説明すると、第二のステージ41の下方には、図11に示すようにシャフト51と連結された連結部45が設けられており、このシャフト51をモーター52で回転させることによって往復動させる。そして、ステージ40をステージレール50の一端側に移動させた後、表裏反転機構7を用いて第一のステージ40を折り畳んで第二のステージ41上にプリント基板9を移し替える。
As shown in FIG. 8, the
この表裏反転機構7について詳細に説明すると、表裏反転機構7は、図1と図7に示すように、第一のステージ40をアーム71によって折り畳む駆動装置72を備えて構成される。この駆動装置72は、モーターなどによってアーム71を正方向および逆方向に回転させ、第一のステージ40を第二のステージ41上に折り畳む。この折り畳みの際には、まず、第一のステージ40の吸着機構を介してプリント基板9を吸着しておき、折り畳みによって今度は第二のステージ41の吸着機構を作動させる。そして、第一のステージ40の吸着を解除して元の位置に戻し、これによって、プリント基板9を表裏反転させる。この表裏反転機構7による回転動作は、ステージ4がステージレール50の終端にきたことを検知する下流側光センサ54の検知によって行われる。
The front / back reversing
一方、検査部6は、図9と図10に示すように、ステージ4上に載置されたプリント基板9の形成状態を検査するもので、プリント基板9に対して光りを照射し、これをCCDカメラによって受光することによって検査を行う。この検査部6は、ステージ4の往路においては第一のステージ40が照射部の下方にきた場合に照射を開始し、また、復路においては第二のステージ41が照射部の下方にきた場合に照射を開始する。これにより受光する画像量を少なくして画像処理の時間を短縮化する。
On the other hand, as shown in FIGS. 9 and 10, the
回収部8は、図1に示すように、プリント基板9を回収する良品回収部81と不良品回収部82を備えて構成される。良品回収部81と不良品回収部82には、集積部1と同様に、プリント基板9を積み重ねた状態で収納するもので、そのプリント基板9を収納する箱状のスタッカ87と、このスタッカ87を出口の作業者側へスライドさせるスライド機構86と、このスタッカ87内においてプリント基板9を載置するためのベース部材83と、このベース部材83を昇降させるリフター85が設けられており、そのウォームシャフト機構84を回転させることによってリフター85を介してベース部材83を下降させるようにする。また、ベース部材83をスタッカ87の底板88に載せた状態で、スライド機構86を介してスタッカ83全体を前方へ引き出せるようにしている。さらに、この良品回収部81と不良品回収部82には、最上部に光センサ87を設けており、この光センサ87が透光状態となるまでベース部材83を順次下降させるようにしている。つまり、常にプリント基板9を良品回収部81または不良品回収部82の最上部に位置させるようにして、回収時にプリント基板9を落下させないようにしている。この回収部8において、良品回収部81は第二のステージ41の初期位置の横に設けられ、また、不良品回収部82はさらにその奥方に設けられる。第二のステージ41上に載置されたプリント基板9を回収する場合、図7に示すように、ステージレール50の始端側に設けられた上流側光センサ53によってステージ4が検知された場合、ピックアップ機構2を駆動させてプリント基板9を回収する。
As shown in FIG. 1, the
次に、このように構成された外観検査措置100を用いてプリント基板9の表裏を検査する場合の動作例について説明する。
Next, an operation example in the case of inspecting the front and back of the printed
まず、検査対象となる複数のプリント基板9を検査する場合、これらのプリント基板9を集積部1のスタッカ10に収納する。この収納の際には、スタッカ10のみを引き出し、その引き出されたスタッカ10のベース部材10d上にプリント基板9をまとめて積層する。そして、そのスタッカ10を外観検査装置100内に収納し、図示しない扉を閉めた後にスイッチを入れる。
First, when inspecting a plurality of printed
すると、リフター12によってフォーク12bが上方に持ち上げられ、そのフォーク12bが底板10aのスリット100cを通ってベース部材10dを底板10aから持ち上げられる。
Then, the
このベース部材10dの持ち上げによってプリント基板9が光センサ10eを遮光すると、リフター12の駆動が停止する。次に、移動機構30を所定の位置まで移動させて保持部材22を下降させ、スタッカ10の最上部に存在するプリント基板を第一の吸着部材20により持ち上げる。そして、移動機構30により集積部1から第一のステージ40上にそのプリント基板9を載置させる。
When the printed
このプリント基板9が第一のステージ40上に載置されると、今度は、第一のステージ40の吸着機構を作動させてプリント基板9を吸着させる。次に、プリント基板9を載置させたステージ4をステージ移動機構5によって移動させ、プリント基板9を検査部6の真下を通過させる。そこで、プリント基板9の表面の配線パターンやパッド、シルク、レジストなどを光学的に検査する。
When the printed
そして、さらにステージ4を下流側102側に移動させ、ステージ4によって下流側光センサ54を遮光させるまで移動させることによってステージ4の移動を停止させる。
Then, the
そして、次に、表裏反転機構7を駆動させて、第一のステージ40を第二のステージ41側に折り畳むと同時に第二のステージ41の吸着動作を開始し、また第一のステージ40の吸着動作を停止させてプリント基板9を吸着させる。そして、再度表裏反転機構7により第一のステージ40を元の位置に戻す。
Then, the front / back reversing
このプリント基板9の表裏反転が行われた後、今度は、ステージ4を上流側101に移動させ、プリント基板9を検査部6の真下を通過させる。そこでは、プリント基板9の裏面の配線パターンやパッド、シルク、レジストなどを検査する。
After the printed
検査部6でプリント基板9の裏面が検査され、さらに上流側101の上流側光センサ53が遮光されると、ステージ移動機構5の駆動が停止される。このとき、第一のステージ40は集積部1の真横に位置し、また、第二のステージ41は良品回収部81の真横に位置する状態となる。そして、この状態でピックアップ機構2を駆動させて、保持部材22を下降させ、第二のステージ41に吸着されている表裏の検査されたプリント基板9を第二の吸着部材21による持ち上げるとともに、集積部1の最上部に存在するプリント基板9を第一の吸着部材20による持ち上げる。そして、これらのプリント基板9をステージ4の移動方向と垂直な方向に移動させ、回収部8へ回収すると同時に、次のプリント基板9を第一のステージ40へ載置する。
When the back surface of the printed
なお、この時、この表裏の検査されたプリント基板9が良品の場合と不良品の場合で動作が異なる。プリント基板9が良品の場合は、移動機構30により保持部材22を水平方向と垂直方向に移動させて、第一の吸着部材20に吸着されたプリント基板9を第一のステージ40に載置する動作と、第二の吸着部材21に吸着されたプリント基板9を良品回収部81に載置する動作を同時に行う。一方、プリント基板9が不良品の場合、第一の吸着部材20に吸着されたプリント基板9を第一のステージ40に載置させた後、第二の吸着部材21を不良品回収部82まで移動させる。以下、同様の処理を行うことによって、順次プリント基板9を検査して回収部8に回収していく。
At this time, the operation differs depending on whether the printed
上述のように上記実施の形態によれば、集積部1と回収部8をステージ4の移動方向の側方に設け、集積部1からステージ4への載置動作とステージ4から回収部8への回収動作を同時に行うようにしたので、外観検査装置100を小さくすることができるようになる。
As described above, according to the above-described embodiment, the stacking
しかも、ステージ4の移動方向を挟む位置に集積部1と回収部8を設けるとともに、載置機構31と回収機構32を単一のピックアップ機構2を用いて構成したので、外観検査装置100のコストを低減することができるようになる。
In addition, since the stacking
また、このように表裏を検査する場合、プリント基板9の表側に向けて載置するための第一のステージ40と、プリント基板9を裏側に向けて載置するための第二のステージ41とを設け、第一のステージと第二のステージを折り畳み可能に設け、この第一のステージと第二のステージのいずれか一方を折り畳むことによって検査対象物の表裏を反転させるようにしたので、ステージ4上に載置されたプリント基板9を持ち上げて表裏反転させるためのピックアップ反転機構などが不要となり、装置全体をコンパクトに仕上げることができるようになる。
Further, when inspecting the front and back in this way, a
なお、上記実施の形態に限定されることなく、種々の態様で実施することができる。 In addition, it can implement in a various aspect, without being limited to the said embodiment.
例えば、上記実施の形態では、プリント基板9を検査する場合について説明したが、これに限らず、液晶パネルなどのように表面の形成状態を検査する他の検査対象物にも適用することができる。
For example, in the above-described embodiment, the case where the printed
また、上記の実施の形態では、ステージ移動機構5にステージレール50とシャフト51とモーター52とを備えて構成したが、これに限らず、コンベアーなどの移動機構を用いることもできる。
In the above embodiment, the
さらに、上記の実施の形態では、載置機構31と回収機構32をL字状の部材を用いて単一のピックアップ機構2で構成したが、これに限らず、T字形状など種々の形状にすることができる。また、載置機構と回収機構それぞれ単一の部材により構成するようにしてもよい。
Furthermore, in the above-described embodiment, the mounting
加えて、上記の実施の形態では、集積部1と回収部8がステージ4を挟んで対向する斜め位置に設置しているが、これに限らず、ステージ4の移動方向に対して同じ側に集積部1と回収部8を設けるようにしてもよい。このようにすると、集積と回収の動作を同じ側で行うことができ、集積動作と回収動作を効率よく行うことができるようになる。
In addition, in the above-described embodiment, the stacking
また、上記実施の形態において、往路及び復路においても検査するようにしているが、往路での検査がNGであった場合、復路において検査を行うことなく高速移動させて回収させるようにしてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the inspection is performed on the forward path and the return path. However, when the inspection on the forward path is NG, it may be recovered by moving at high speed without performing the inspection on the return path. .
また、上記実施の形態では、第一のステージ40を回転させることによって第二のステージ41上に折り畳めるように構成しているが、これとは逆に、第二のステージ41を回転可能に構成して第一のステージ40上からプリント基板9を吸着して載置させるようにしてもよい。また、表裏反転機構7はこのような折り畳み可能な構成のみならず、どのような構成を用いてもよい。
In the above embodiment, the
さらに、上記実施の形態では、プリント基板9の表裏を検査する場合について説明したが、これに限らず、一方の面のみを検査する場合についても同様の構成を適用することができる。
Furthermore, although the case where the front and back of the printed
1・・・集積部
2・・・ピックアップ機構
4・・・ステージ
5・・・ステージ移動機構
6・・・検査部
7・・・表裏反転機構
8・・・回収部
9・・・プリント基板
11・・・スライド機構
11a・・・載置部材
20・・・第一の吸着部材
21・・・第二の吸着部材
30・・・移動機構
31・・・載置機構
32・・・回収機構
40・・・第一のステージ
41・・・第二のステージ
42・・・ヒンジ
43・・・開口部
45・・・連結部
50・・・ステージレール
51・・・シャフト
52・・・モーター
71・・・アーム
72・・・反転駆動機構
81・・・良品回収部
82・・・不良品回収部
DESCRIPTION OF
Claims (6)
The first stage and the second stage are provided so as to be foldable, and the front / back reversing mechanism reverses the front / back of the inspection object by folding one of the first stage and the second stage. The appearance inspection apparatus according to claim 5, which is a mechanism.
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