JP4818767B2 - Appearance inspection device - Google Patents

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Description

本発明は、プリント基板などの検査対象物を自動で検査する外観検査装置に関するものである。   The present invention relates to an appearance inspection apparatus that automatically inspects an inspection object such as a printed circuit board.

プリント基板に形成されたパッドやレジスト、シルクなどは、一般に、外観検査装置によって検査される。このような外観検査装置としては、現在種々の装置が提案されており、例えば、下記の特許文献1に記載されるようなものが存在している。   In general, pads, resists, silk, and the like formed on a printed circuit board are inspected by an appearance inspection apparatus. As such an appearance inspection apparatus, various apparatuses are currently proposed, and for example, there is an apparatus described in Patent Document 1 below.

例えば、特許文献1の装置は、図13に示すように、検査対象となるプリント基板9を所定枚数積層する集積部201を検査部206の上流側101に設け、検査部206によって検査されたプリント基板9を回収する回収部208を検査部206の下流側102に設けるようにしている。そして、この装置では、載置機構231によって集積部201からプリント基板9を持ち上げて検査用コンベアー203に載置し、プリント基板9を検査用コンベアー203上で移動させて検査部206にてプリント基板9の表面の形成状態を検査する。そして、この検査部206による検査によって良否の判定されたプリント基板9を回収機構232によって回収部208に回収させるようにしている。
特開2003−165614
For example, as shown in FIG. 13, the apparatus disclosed in Patent Document 1 includes a stacking unit 201 that stacks a predetermined number of printed circuit boards 9 to be inspected on the upstream side 101 of the inspection unit 206, and prints inspected by the inspection unit 206. A collection unit 208 that collects the substrate 9 is provided on the downstream side 102 of the inspection unit 206. In this apparatus, the mounting mechanism 231 lifts the printed circuit board 9 from the stacking unit 201 and places the printed circuit board 9 on the inspection conveyor 203. The printed circuit board 9 is moved on the inspection conveyor 203 and printed by the inspection unit 206. The formation state of the surface of 9 is inspected. Then, the printed circuit board 9 determined to be acceptable by the inspection by the inspection unit 206 is collected by the collection unit 208 by the collection mechanism 232.
JP 2003-165614 A

ところで、このような外観検査装置を用いて検査対象物を検査する場合、集積部を上流側に設けるとともに、回収部を下流側に設けるようにしているため、装置全体が長くなるという問題がある。しかも、集積部と回収物のそれぞれに載置機構と回収機構とを設ける必要があるためコストが高くなる。   By the way, when inspecting an inspection object using such an appearance inspection apparatus, the stacking unit is provided on the upstream side, and the collection unit is provided on the downstream side, so that there is a problem that the entire apparatus becomes long. . In addition, since it is necessary to provide a placement mechanism and a recovery mechanism for each of the stacking unit and the recovered material, the cost increases.

そこで、本発明では、上記課題を解決するために、装置全体を小さくするとともに、コストも低減できるようにした外観検査装置を提供することを目的とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide an appearance inspection apparatus capable of reducing the entire apparatus and reducing the cost in order to solve the above problems.

本発明は上記課題を解決するために、検査対象物を載置したステージを移動させるステージ移動機構と、当該ステージの側方に設けられ、ステージに載置される検査対象物を集積する集積部と、検査対象物を載置したステージを長手方向に移動させることによって検査対象物を検査する検査部と、前記集積部に対してステージの移動方向と反対側に設けられ、検査された検査対象物を回収する回収部と、前記集積部に集積された検査対象物をピックアップする第一の吸着部材と、前記ステージに載置された検査対象物をピックアップする第二の吸着部材と、当該第一の吸着部材および第二の吸着部材を一体的に保持する保持部材と、当該保持部材を、ステージの長手方向に対して直交する方向に移動させて前記第一の吸着部材を用いて集積部から検査対象物をピックアップするとともに、前記ステージに載置された検査対象物をピックアップして回収部に回収させる移動機構とを備えたようにしたものである。 In order to solve the above problems, the present invention provides a stage moving mechanism for moving a stage on which an inspection object is placed, and a stacking unit that is provided on the side of the stage and accumulates the inspection object placed on the stage. An inspection unit that inspects the inspection object by moving the stage on which the inspection object is placed in the longitudinal direction, and an inspection object that is provided on the side opposite to the moving direction of the stage with respect to the stacking unit A collection unit for collecting an object, a first suction member for picking up an inspection object accumulated in the accumulation unit, a second adsorption member for picking up an inspection object placed on the stage, and the first A holding member that integrally holds the one suction member and the second suction member, and the holding member is moved in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the stage, and the stacking unit is configured using the first suction member. As well as pick up al inspection object is obtained by the inspection object placed on the stage as a moving mechanism for recovering the recovery section to pick up.

そして、前記第一の吸着部材および第二の吸着部材をステージの移動方向に対して異なる位置となるように保持部材で保持させる。   Then, the first suction member and the second suction member are held by the holding member so as to be at different positions with respect to the moving direction of the stage.

このように構成すれば、ステージの移動方向の側方に集積部と回収部が設けられているため装置全体を短くすることができるとともに、載置動作と回収動作を単一のピックアップ機構で同時に行うことができるため、外観検査装置のコストを低減させることができるようになる。   With this configuration, the stacking unit and the collection unit are provided on the sides of the moving direction of the stage, so that the entire apparatus can be shortened, and the placement operation and the collection operation can be performed simultaneously by a single pickup mechanism. Since this can be performed, the cost of the appearance inspection apparatus can be reduced.

本発明は、検査対象物を載置したステージを移動させるステージ移動機構と、当該ステージの側方に設けられ、ステージに載置される検査対象物を集積する集積部と、検査対象物を載置したステージを長手方向に移動させることによって検査対象物を検査する検査部と、前記集積部に対してステージの移動方向と反対側に設けられ、検査された検査対象物を回収する回収部と、前記集積部に集積された検査対象物をピックアップする第一の吸着部材と、前記ステージに載置された検査対象物をピックアップする第二の吸着部材と、当該第一の吸着部材および第二の吸着部材を一体的に保持する保持部材と、当該保持部材を、ステージの長手方向に対して直交する方向に移動させて前記第一の吸着部材を用いて集積部から検査対象物をピックアップするとともに、前記ステージに載置された検査対象物をピックアップして回収部に回収させる移動機構とを備えたようにしたので、外観検査装置全体を短くすることができるとともに、コストも低減されることができるようになる。 The present invention provides a stage moving mechanism that moves a stage on which an inspection object is placed, a stacking unit that is provided on a side of the stage and accumulates the inspection object placed on the stage, and an inspection object. An inspection unit that inspects an inspection object by moving the placed stage in the longitudinal direction, and a recovery unit that is provided on the opposite side of the moving direction of the stage with respect to the stacking unit and collects the inspected inspection object. A first suction member that picks up the inspection object collected in the stacking unit, a second suction member that picks up the inspection object placed on the stage, the first suction member, and the second suction member A holding member that integrally holds the suction member, and the holding member is moved in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the stage, and the inspection object is picked up from the stacking portion using the first suction member. And a moving mechanism that picks up the inspection object placed on the stage and collects it in the collection unit, so that the entire appearance inspection apparatus can be shortened and the cost can be reduced. Be able to

以下、本発明の一実施の形態について図面を参照して説明する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

本実施の形態における外観検査装置100の概要について説明する。この外観検査装置100は、プリント基板9に形成された配列パターンやパッド、レジスト、シルクなどの形成状態を検査するもので、図1に示すように、検査対象となる複数枚のプリント基板9を集積する集積部1と、この集積されたプリント基板9を上から一枚ずつ取り出すと同時にステージ4からプリント基板9をピックアップするためのピックアップ機構2と、ステージ4を往復動させるステージ移動機構5と、プリント基板9の外観を検査する検査部6と、プリント基板9を表裏反転させる表裏反転機構7と、外観の検査結果に基づいてプリント基板9を格納する回収部8とを備えている。以下、この外観検査装置100の構成について詳細に説明する。   The outline | summary of the external appearance inspection apparatus 100 in this Embodiment is demonstrated. This appearance inspection apparatus 100 inspects the formation state of array patterns, pads, resists, silk, and the like formed on the printed circuit board 9, and as shown in FIG. 1, a plurality of printed circuit boards 9 to be inspected are displayed. An accumulating unit 1 for accumulating, a pick-up mechanism 2 for picking up the printed circuit boards 9 from the stage 4 at the same time as taking out the accumulated printed circuit boards 9 one by one from above, a stage moving mechanism 5 for reciprocating the stage 4, The inspection unit 6 that inspects the appearance of the printed circuit board 9, the front / back reversing mechanism 7 that inverts the printed circuit board 9, and the collection unit 8 that stores the printed circuit board 9 based on the inspection result of the appearance. Hereinafter, the configuration of the appearance inspection apparatus 100 will be described in detail.

まず、集積部1は、図2や図3に示すように、検査対象となるプリント基板9を積み重ねて収納するもので、そのプリント基板9を収納する箱状のスタッカ10と、このスタッカ10を入口の作業者側へスライドさせるスライド機構11と、スタッカ10内においてプリント基板9を載置するためのベース部材10dと、このベース部材10dをスタッカ10の底板10aから独立して昇降させるリフター12とを備えている。   First, as shown in FIGS. 2 and 3, the stacking unit 1 stacks and stores printed circuit boards 9 to be inspected. The stacking unit 1 includes a box-shaped stacker 10 that stores the printed circuit boards 9, and the stacker 10. A slide mechanism 11 that slides toward the worker side of the entrance, a base member 10d for placing the printed circuit board 9 in the stacker 10, and a lifter 12 that lifts and lowers the base member 10d independently from the bottom plate 10a of the stacker 10. It has.

このスタッカ10は、底板10aと一枚の側壁10bと奥壁10cで囲まれるように構成されており、底板10aの上部にベース部材10dを分離可能に載置するようにしている。そして、載置動作を行う場合には、スタッカ10全体をスライド機構11を介して引き出し、その開放された部分からプリント基板9をベース部材10d上に載置させるようにしている。この底板10aと奥壁10cには、後述するリフター12のフォーク12bを通すためのスリット100cが設けられており、そのスリット100cを介してフォーク12bを上下動させられるようになっている。   The stacker 10 is configured to be surrounded by a bottom plate 10a, a single side wall 10b, and a back wall 10c, and a base member 10d is detachably mounted on the top of the bottom plate 10a. When performing the placement operation, the entire stacker 10 is pulled out via the slide mechanism 11, and the printed circuit board 9 is placed on the base member 10d from the opened portion. The bottom plate 10a and the back wall 10c are provided with a slit 100c for passing a fork 12b of a lifter 12 described later, and the fork 12b can be moved up and down through the slit 100c.

このスタッカ10を引き出すためのスライド機構11は、スタッカ10全体を前方へスライドさせるためのスライドレール11bと、このスライドレール11bを介して取り付けられる2本のフォーク状の載置部材11aを設けて構成される。この載置部材11a上には、スタッカ10の底板10aが取り付けられており、これによって、スタッカ10全体を載置部材11aとともに前方へ引き出せるようになっている。   The slide mechanism 11 for pulling out the stacker 10 includes a slide rail 11b for sliding the entire stacker 10 forward, and two fork-like mounting members 11a attached via the slide rail 11b. Is done. On the mounting member 11a, the bottom plate 10a of the stacker 10 is attached, so that the entire stacker 10 can be pulled forward together with the mounting member 11a.

一方、フォーク12bを上下動させるためのリフター12は、プリント基板9を載置したベース部材10dを備えており、ウォームシャフト機構12aを介してフォーク12bを上下動させる。このフォーク12bは、スタッカ10の奥壁10cに設けられたスリット100cや底板10aに設けられたスリット100cを介してスタッカ10内に突出するように設けられている。このフォーク12bの動作について説明すると、まず、フォーク12bは、初期状態でスタッカ10の底板10aよりも下方に位置している。この状態では、スタッカ10の底板10aはスライド機構11を構成する載置部材11a上に載置されているため、スライドレール11bを介してスタッカ10全体を前方への引き出せる状態となっている。そして、この状態からフォーク12bを上方へ移動させると、そのフォーク12bの上昇に伴って、図3に示すように、そのフォーク12bが底板10aのスリット100cを介してスタッカ10内に進入し、ベース部材10dおよびプリント基板9を持ち上げる。これにより底板10aから分離してベース部材10dが持ち上げられる。なお、図2においては、集積部1の正面図を示しており、図3では側面図を示している。このベース部材10dは、最上部に集積されたプリント基板9がスタッカ10上部の光センサ10eを遮光するまで持ち上げられ、これによって、常にスタッカ10の最上部にプリント基板9を位置させる状態として、ピックアップ機構2による取り出しを可能にしている。   On the other hand, the lifter 12 for moving the fork 12b up and down includes a base member 10d on which the printed circuit board 9 is placed, and moves the fork 12b up and down via the worm shaft mechanism 12a. The fork 12b is provided so as to protrude into the stacker 10 through a slit 100c provided in the back wall 10c of the stacker 10 and a slit 100c provided in the bottom plate 10a. The operation of the fork 12b will be described. First, the fork 12b is positioned below the bottom plate 10a of the stacker 10 in the initial state. In this state, since the bottom plate 10a of the stacker 10 is placed on the placement member 11a constituting the slide mechanism 11, the entire stacker 10 can be pulled forward via the slide rail 11b. When the fork 12b is moved upward from this state, as the fork 12b rises, the fork 12b enters the stacker 10 through the slit 100c of the bottom plate 10a as shown in FIG. The member 10d and the printed circuit board 9 are lifted. As a result, the base member 10d is lifted off from the bottom plate 10a. In addition, in FIG. 2, the front view of the stacking part 1 is shown, and in FIG. 3, the side view is shown. The base member 10d is lifted until the printed circuit board 9 integrated on the uppermost part shields the optical sensor 10e on the stacker 10, and thus the pickup circuit 9 is always placed on the uppermost part of the stacker 10. The mechanism 2 can be taken out.

プリント基板9を取り出すピックアップ機構2は、図1や図4に示すように、スタッカ10内のプリント基板9を吸着して第一のステージ40まで移動させる第一の吸着部材20と、表裏が検査されたプリント基板9を吸着して第二のステージ41から回収部8に移動させる第二の吸着部材21を備えている。そして、第一の吸着部材20と第二の吸着部材21をL字型の保持部材22に保持させるようにしている。   As shown in FIGS. 1 and 4, the pickup mechanism 2 for taking out the printed board 9 has a first suction member 20 that sucks the printed board 9 in the stacker 10 and moves it to the first stage 40, and the front and back are inspected. A second adsorbing member 21 that adsorbs the printed board 9 and moves it from the second stage 41 to the collection unit 8 is provided. The first suction member 20 and the second suction member 21 are held by an L-shaped holding member 22.

これら第一の吸着部材20と第二の吸着部材21は、プリント基板9が接触している部分にのみ大きな吸引力を作用させるようにしており、この吸着機構の詳細について説明すると、吸着機構は、図5および図6に示すように、吸引ポンプが接続される側(図では上側)の内側吸引口23と対物側吸引口24との間の空間内で移動する遮蔽部材25を備えている。この遮蔽部材25は、上下方向に沿った貫通孔25aを中央に有しており、その貫通孔25aにガイドピン26aを貫通させることで上下方向へ移動を許容している。このガイドピン26aは、対物側吸引口24の内側に隙間を形成するための隙間形成部材26上に設けられるもので、遮蔽部材25を隙間形成部材26に当接させることによって対物側吸引口24との隙間を形成する。この隙間形成部材26は、対物側吸引口24の円形開口部の中央部分に跨って設けられる。そして、このガイドピン26aを遮蔽部材25の貫通孔25aに貫通させ、さらに、この遮蔽部材25をバネ27によって対物側吸引口24側へ付勢する。   The first suction member 20 and the second suction member 21 are configured to apply a large suction force only to a portion where the printed board 9 is in contact. The details of the suction mechanism will be described below. As shown in FIGS. 5 and 6, a shielding member 25 that moves in a space between the inner suction port 23 on the side to which the suction pump is connected (the upper side in the drawing) and the objective suction port 24 is provided. . The shielding member 25 has a through hole 25a in the center in the vertical direction, and allows the movement in the vertical direction by passing the guide pin 26a through the through hole 25a. The guide pin 26 a is provided on a gap forming member 26 for forming a gap inside the objective side suction port 24, and the objective side suction port 24 is brought into contact with the gap forming member 26 by bringing the shielding member 25 into contact therewith. And a gap is formed. The gap forming member 26 is provided across the central portion of the circular opening of the objective suction port 24. Then, the guide pin 26 a is passed through the through hole 25 a of the shielding member 25, and the shielding member 25 is urged toward the objective side suction port 24 by the spring 27.

この吸着機構の作用について図6を用いて説明すると、まず、対物側吸引口24にプリント基板9が存在していない状態で吸引ポンプを作動させると、吸引ポンプからの吸引力によって遮蔽部材25が内側吸引口23側へ吸引されて内側吸引口23が遮蔽され、これによって、遮蔽部材25の貫通孔25aとガイドピン26aとの間に形成された僅かな隙間28から外気を吸引するだけで、ほとんど大きな吸引力は作用しない。次に、対物側吸引口24にプリント基板9が接触した場合、今度は、対物側吸引口24が遮蔽され、空間内における空気が徐々に吸引されて圧力が低下する。そして、ある程度空間内の圧力が低下すると、今度はバネ27の付勢力によって遮蔽部材25が対物側吸引口24側へ押され、この際、隙間形成部材26に遮蔽部材25が接触することによって大きな幅の吸引流路が形成される。これにより、大きな吸引力でプリント基板9が吸引される。すなわち、この吸着機構は、プリント基板9が接触している部分にのみ大きな吸引力を作用させ、また、プリント基板9が接触していない部分にはほとんど吸引力を作用させないようにしている。これによって、吸引ポンプの出力を増加させることなくプリント基板9の接触している部分にのみ強い吸引力を作用させるようにしている。   The operation of this suction mechanism will be described with reference to FIG. 6. First, when the suction pump is operated in a state where the printed circuit board 9 is not present in the objective suction port 24, the shielding member 25 is moved by the suction force from the suction pump. The inner suction port 23 is sucked to the inner suction port 23 side, and the inner suction port 23 is shielded. With this, just by sucking outside air from the slight gap 28 formed between the through hole 25a of the shielding member 25 and the guide pin 26a, Almost no suction force works. Next, when the printed circuit board 9 comes into contact with the objective suction port 24, the objective side suction port 24 is shielded, and air in the space is gradually sucked to reduce the pressure. When the pressure in the space decreases to some extent, this time, the shielding member 25 is pushed toward the objective suction port 24 by the biasing force of the spring 27, and at this time, the shielding member 25 comes into contact with the gap forming member 26 to increase the pressure. A suction channel having a width is formed. As a result, the printed circuit board 9 is sucked with a large suction force. That is, this suction mechanism applies a large suction force only to a portion where the printed circuit board 9 is in contact, and hardly applies a suction force to a portion where the printed circuit board 9 is not in contact. As a result, a strong suction force is applied only to the contacting portion of the printed circuit board 9 without increasing the output of the suction pump.

また、この保持部材22は、図4に示すように、第一の吸着部材20や第二の吸着部材21を一体的に保持するL字状の部材によって形成され、さらに、ベース保持部材22aによって上下方向の移動が許容される。このベース保持部材22aは、シャフトとモーターによって構成された移動機構30を介してステージ4の移動方向に対して直角な方向にのみ移動し、所定の位置で保持部材22を集積部1や回収部8上でプリント基板9を昇降させるようにしている。保持部材22を昇降させる場合には、保持部材22の上方に設けられるベース板22aに複数のピン22bを介して摺動可能に保持部材22を保持させておき、エアポンプで保持部材22全体を吸い上げることによって保持部材22を昇降させる。このとき、第一の吸着部材20と第二の吸着部材21は一体的に昇降することとなるため、集積部1からの吸着動作とステージ4からの吸着動作は同時に行われる。   Further, as shown in FIG. 4, the holding member 22 is formed by an L-shaped member that integrally holds the first suction member 20 and the second suction member 21, and further, by a base holding member 22a. Vertical movement is allowed. The base holding member 22a moves only in a direction perpendicular to the moving direction of the stage 4 via a moving mechanism 30 constituted by a shaft and a motor, and the holding member 22 is moved to the stacking unit 1 and the collecting unit at a predetermined position. The printed circuit board 9 is moved up and down on 8. When the holding member 22 is moved up and down, the holding member 22 is slidably held via a plurality of pins 22b on a base plate 22a provided above the holding member 22, and the entire holding member 22 is sucked up by an air pump. As a result, the holding member 22 is moved up and down. At this time, since the first suction member 20 and the second suction member 21 move up and down integrally, the suction operation from the stacking unit 1 and the suction operation from the stage 4 are performed simultaneously.

ステージ4は、図8に示すように、集積部1からプリント基板9を載置する第一のステージ40と、表裏反転機構7により反転されたプリント基板9を保持する第二のステージ41を備えている。そして、これらの第一のステージ40と第二のステージ41は、ヒンジ42を介して回転可能に連結されている。これらの第一のステージ40と第二のステージ41の内部には、前述のピックアップ機構2で用いられる吸着機構が設けられており、プリント基板9が載置されている開口部43にのみ大きな吸引力を作用させるようにしている。このステージ4の動作について説明すると、第二のステージ41の下方には、図11に示すようにシャフト51と連結された連結部45が設けられており、このシャフト51をモーター52で回転させることによって往復動させる。そして、ステージ40をステージレール50の一端側に移動させた後、表裏反転機構7を用いて第一のステージ40を折り畳んで第二のステージ41上にプリント基板9を移し替える。   As shown in FIG. 8, the stage 4 includes a first stage 40 for placing the printed circuit board 9 from the stacking unit 1 and a second stage 41 for holding the printed circuit board 9 reversed by the front / back reversing mechanism 7. ing. The first stage 40 and the second stage 41 are rotatably connected via a hinge 42. Inside the first stage 40 and the second stage 41, a suction mechanism used in the above-described pickup mechanism 2 is provided, and a large suction is provided only to the opening 43 on which the printed circuit board 9 is placed. Force is applied. The operation of the stage 4 will be described. Below the second stage 41, there is provided a connecting portion 45 connected to the shaft 51 as shown in FIG. 11, and the shaft 51 is rotated by the motor 52. To reciprocate. Then, after moving the stage 40 to one end side of the stage rail 50, the first stage 40 is folded using the front / back reversing mechanism 7, and the printed circuit board 9 is transferred onto the second stage 41.

この表裏反転機構7について詳細に説明すると、表裏反転機構7は、図1と図7に示すように、第一のステージ40をアーム71によって折り畳む駆動装置72を備えて構成される。この駆動装置72は、モーターなどによってアーム71を正方向および逆方向に回転させ、第一のステージ40を第二のステージ41上に折り畳む。この折り畳みの際には、まず、第一のステージ40の吸着機構を介してプリント基板9を吸着しておき、折り畳みによって今度は第二のステージ41の吸着機構を作動させる。そして、第一のステージ40の吸着を解除して元の位置に戻し、これによって、プリント基板9を表裏反転させる。この表裏反転機構7による回転動作は、ステージ4がステージレール50の終端にきたことを検知する下流側光センサ54の検知によって行われる。   The front / back reversing mechanism 7 will be described in detail. The front / back reversing mechanism 7 includes a driving device 72 that folds the first stage 40 with an arm 71 as shown in FIGS. The driving device 72 rotates the arm 71 in the forward direction and the reverse direction with a motor or the like, and folds the first stage 40 onto the second stage 41. At the time of folding, first, the printed circuit board 9 is sucked through the suction mechanism of the first stage 40, and the suction mechanism of the second stage 41 is operated by folding. Then, the suction of the first stage 40 is released and returned to the original position, whereby the printed circuit board 9 is turned upside down. The rotation operation by the front / back reversing mechanism 7 is performed by detection of the downstream optical sensor 54 that detects that the stage 4 has reached the end of the stage rail 50.

一方、検査部6は、図9と図10に示すように、ステージ4上に載置されたプリント基板9の形成状態を検査するもので、プリント基板9に対して光を照射し、これをCCDカメラによって受光することによって検査を行う。この検査部6は、ステージ4の往路においては第一のステージ40が照射部の下方にきた場合に照射を開始し、また、復路においては第二のステージ41が照射部の下方にきた場合に照射を開始する。これにより受光する画像量を少なくして画像処理の時間を短縮化する。   On the other hand, as shown in FIGS. 9 and 10, the inspection unit 6 inspects the formation state of the printed circuit board 9 placed on the stage 4, and irradiates the printed circuit board 9 with light. Inspection is performed by receiving light with a CCD camera. The inspection unit 6 starts irradiation when the first stage 40 comes below the irradiation unit in the outward path of the stage 4, and when the second stage 41 comes below the irradiation unit in the return path. Start irradiation. This reduces the amount of received light and shortens the image processing time.

回収部8は、図1に示すように、プリント基板9を回収する良品回収部81と不良品回収部82を備えて構成される。良品回収部81と不良品回収部82には、集積部1と同様に、プリント基板9を積み重ねた状態で収納するもので、そのプリント基板9を収納する箱状のスタッカ87と、このスタッカ87を出口の作業者側へスライドさせるスライド機構86と、このスタッカ87内においてプリント基板9を載置するためのベース部材83と、このベース部材83を昇降させるリフター85が設けられており、そのウォームシャフト機構84を回転させることによってリフター85を介してベース部材83を下降させるようにする。また、ベース部材83をスタッカ87の底板88に載せた状態で、スライド機構86を介してスタッカ83全体を前方へ引き出せるようにしている。さらに、この良品回収部81と不良品回収部82には、最上部に光センサ87を設けており、この光センサ87が透光状態となるまでベース部材83を順次下降させるようにしている。つまり、常にプリント基板9を良品回収部81または不良品回収部82の最上部に位置させるようにして、回収時にプリント基板9を落下させないようにしている。この回収部8において、良品回収部81は第二のステージ41の初期位置の横に設けられ、また、不良品回収部82はさらにその奥方に設けられる。第二のステージ41上に載置されたプリント基板9を回収する場合、図7に示すように、ステージレール50の始端側に設けられた上流側光センサ53によってステージ4が検知された場合、ピックアップ機構2を駆動させてプリント基板9を回収する。   As shown in FIG. 1, the collection unit 8 includes a non-defective product collection unit 81 that collects the printed circuit board 9 and a defective product collection unit 82. Like the stacking unit 1, the non-defective product collecting unit 81 and the defective product collecting unit 82 store the printed circuit boards 9 in a stacked state. The box-shaped stacker 87 for storing the printed circuit boards 9 and the stacker 87 Is provided with a slide mechanism 86 that slides the outlet to the operator side, a base member 83 for placing the printed circuit board 9 in the stacker 87, and a lifter 85 that moves the base member 83 up and down. The base member 83 is lowered via the lifter 85 by rotating the shaft mechanism 84. In addition, the entire stacker 83 can be pulled out through the slide mechanism 86 in a state where the base member 83 is placed on the bottom plate 88 of the stacker 87. Further, the non-defective product collection unit 81 and the defective product collection unit 82 are provided with an optical sensor 87 at the top, and the base member 83 is sequentially lowered until the optical sensor 87 is in a light-transmitting state. That is, the printed circuit board 9 is always positioned at the top of the non-defective product collection unit 81 or the defective product collection unit 82 so that the printed circuit board 9 is not dropped during collection. In the collection unit 8, the non-defective product collection unit 81 is provided beside the initial position of the second stage 41, and the defective product collection unit 82 is further provided in the back thereof. When recovering the printed circuit board 9 placed on the second stage 41, as shown in FIG. 7, when the stage 4 is detected by the upstream optical sensor 53 provided on the start end side of the stage rail 50, The pickup mechanism 2 is driven to collect the printed circuit board 9.

次に、このように構成された外観検査措置100を用いてプリント基板9の表裏を検査する場合の動作例について説明する。   Next, an operation example in the case of inspecting the front and back of the printed circuit board 9 using the appearance inspection measure 100 configured as described above will be described.

まず、検査対象となる複数のプリント基板9を検査する場合、これらのプリント基板9を集積部1のスタッカ10に収納する。この収納の際には、スタッカ10のみを引き出し、その引き出されたスタッカ10のベース部材10d上にプリント基板9をまとめて積層する。そして、そのスタッカ10を外観検査装置100内に収納し、図示しない扉を閉めた後にスイッチを入れる。   First, when inspecting a plurality of printed circuit boards 9 to be inspected, these printed circuit boards 9 are stored in the stacker 10 of the stacking unit 1. In this storage, only the stacker 10 is pulled out, and the printed circuit boards 9 are stacked together on the base member 10d of the pulled-out stacker 10. Then, the stacker 10 is accommodated in the appearance inspection apparatus 100, and a door (not shown) is closed, and then the switch is turned on.

すると、リフター12によってフォーク12bが上方に持ち上げられ、そのフォーク12bが底板10aのスリット100cを通ってベース部材10dを底板10aから持ち上げられる。   Then, the fork 12b is lifted upward by the lifter 12, and the fork 12b is lifted from the bottom plate 10a through the slit 100c of the bottom plate 10a.

このベース部材10dの持ち上げによってプリント基板9が光センサ10eを遮光すると、リフター12の駆動が停止する。次に、移動機構30を所定の位置まで移動させて保持部材22を下降させ、スタッカ10の最上部に存在するプリント基板を第一の吸着部材20により持ち上げる。そして、移動機構30により集積部1から第一のステージ40上にそのプリント基板9を載置させる。   When the printed circuit board 9 shields the optical sensor 10e by lifting the base member 10d, the drive of the lifter 12 is stopped. Next, the moving mechanism 30 is moved to a predetermined position, the holding member 22 is lowered, and the printed circuit board existing at the top of the stacker 10 is lifted by the first suction member 20. Then, the printed circuit board 9 is placed on the first stage 40 from the stacking unit 1 by the moving mechanism 30.

このプリント基板9が第一のステージ40上に載置されると、今度は、第一のステージ40の吸着機構を作動させてプリント基板9を吸着させる。次に、プリント基板9を載置させたステージ4をステージ移動機構5によって移動させ、プリント基板9を検査部6の真下を通過させる。そこで、プリント基板9の表面の配線パターンやパッド、シルク、レジストなどを光学的に検査する。   When the printed board 9 is placed on the first stage 40, the printed board 9 is sucked by operating the suction mechanism of the first stage 40 this time. Next, the stage 4 on which the printed board 9 is placed is moved by the stage moving mechanism 5, and the printed board 9 is passed directly under the inspection unit 6. Therefore, the wiring pattern, pad, silk, resist, etc. on the surface of the printed board 9 are optically inspected.

そして、さらにステージ4を下流側102側に移動させ、ステージ4によって下流側光センサ54を遮光させるまで移動させることによってステージ4の移動を停止させる。   Then, the stage 4 is further moved to the downstream side 102, and the stage 4 is stopped by moving the stage 4 until the downstream side optical sensor 54 is shielded from light.

そして、次に、表裏反転機構7を駆動させて、第一のステージ40を第二のステージ41側に折り畳むと同時に第二のステージ41の吸着動作を開始し、また第一のステージ40の吸着動作を停止させてプリント基板9を吸着させる。そして、再度表裏反転機構7により第一のステージ40を元の位置に戻す。   Then, the front / back reversing mechanism 7 is driven to fold the first stage 40 to the second stage 41 side, and at the same time, the suction operation of the second stage 41 is started. The operation is stopped and the printed circuit board 9 is sucked. Then, the first stage 40 is returned to the original position by the front / back reversing mechanism 7 again.

このプリント基板9の表裏反転が行われた後、今度は、ステージ4を上流側101に移動させ、プリント基板9を検査部6の真下を通過させる。そこでは、プリント基板9の裏面の配線パターンやパッド、シルク、レジストなどを検査する。   After the printed board 9 is turned upside down, the stage 4 is moved to the upstream side 101 and the printed board 9 is passed just below the inspection unit 6. There, the wiring pattern, pad, silk, resist, etc. on the back surface of the printed circuit board 9 are inspected.

検査部6でプリント基板9の裏面が検査され、さらに上流側101の上流側光センサ53が遮光されると、ステージ移動機構5の駆動が停止される。このとき、第一のステージ40は集積部1の真横に位置し、また、第二のステージ41は良品回収部81の真横に位置する状態となる。そして、この状態でピックアップ機構2を駆動させて、保持部材22を下降させ、第二のステージ41に吸着されている表裏の検査されたプリント基板9を第二の吸着部材21による持ち上げるとともに、集積部1の最上部に存在するプリント基板9を第一の吸着部材20による持ち上げる。そして、これらのプリント基板9をステージ4の移動方向と垂直な方向に移動させ、回収部8へ回収すると同時に、次のプリント基板9を第一のステージ40へ載置する。   When the back surface of the printed circuit board 9 is inspected by the inspection unit 6 and the upstream optical sensor 53 on the upstream side 101 is shielded from light, the driving of the stage moving mechanism 5 is stopped. At this time, the first stage 40 is positioned directly beside the stacking unit 1, and the second stage 41 is positioned beside the non-defective product collecting unit 81. Then, in this state, the pickup mechanism 2 is driven, the holding member 22 is lowered, and the printed circuit board 9 inspected on the front and back, which is sucked by the second stage 41, is lifted by the second sucking member 21 and integrated. The printed circuit board 9 existing at the top of the part 1 is lifted by the first suction member 20. Then, these printed circuit boards 9 are moved in a direction perpendicular to the moving direction of the stage 4 and collected in the collecting unit 8, and at the same time, the next printed circuit board 9 is placed on the first stage 40.

なお、この時、この表裏の検査されたプリント基板9が良品の場合と不良品の場合で動作が異なる。プリント基板9が良品の場合は、移動機構30により保持部材22を水平方向と垂直方向に移動させて、第一の吸着部材20に吸着されたプリント基板9を第一のステージ40に載置する動作と、第二の吸着部材21に吸着されたプリント基板9を良品回収部81に載置する動作を同時に行う。一方、プリント基板9が不良品の場合、第一の吸着部材20に吸着されたプリント基板9を第一のステージ40に載置させた後、第二の吸着部材21を不良品回収部82まで移動させる。以下、同様の処理を行うことによって、順次プリント基板9を検査して回収部8に回収していく。   At this time, the operation differs depending on whether the printed circuit board 9 inspected on the front and back sides is a good product or a defective product. When the printed circuit board 9 is a good product, the holding member 22 is moved in the horizontal direction and the vertical direction by the moving mechanism 30, and the printed circuit board 9 sucked by the first suction member 20 is placed on the first stage 40. The operation and the operation of placing the printed circuit board 9 adsorbed by the second adsorbing member 21 on the non-defective product collecting unit 81 are simultaneously performed. On the other hand, when the printed circuit board 9 is a defective product, the printed circuit board 9 sucked by the first suction member 20 is placed on the first stage 40 and then the second suction member 21 is moved to the defective product collection unit 82. Move. Thereafter, the printed circuit board 9 is sequentially inspected and collected in the collecting unit 8 by performing the same processing.

上述のように上記実施の形態によれば、集積部1と回収部8をステージ4の移動方向の側方に設け、集積部1からステージ4への載置動作とステージ4から回収部8への回収動作を同時に行うようにしたので、外観検査装置100を小さくすることができるようになる。   As described above, according to the above-described embodiment, the stacking unit 1 and the collection unit 8 are provided on the side in the moving direction of the stage 4, and the loading operation from the stacking unit 1 to the stage 4 and the stage 4 to the collection unit 8 are performed. Since the recovery operations are simultaneously performed, the appearance inspection apparatus 100 can be reduced in size.

しかも、ステージ4の移動方向を挟む位置に集積部1と回収部8を設けるとともに、載置機構31と回収機構32を単一のピックアップ機構2を用いて構成したので、外観検査装置100のコストを低減することができるようになる。   In addition, since the stacking unit 1 and the recovery unit 8 are provided at positions where the moving direction of the stage 4 is sandwiched, and the mounting mechanism 31 and the recovery mechanism 32 are configured using the single pickup mechanism 2, the cost of the appearance inspection apparatus 100 is increased. Can be reduced.

なお、上記実施の形態に限定されることなく、種々の態様で実施することができる。   In addition, it can implement in a various aspect, without being limited to the said embodiment.

例えば、上記実施の形態では、プリント基板9を検査する場合について説明したが、これに限らず、液晶パネルなどのように表面の形成状態を検査する他の検査対象物にも適用することができる。   For example, in the above-described embodiment, the case where the printed circuit board 9 is inspected has been described. However, the present invention is not limited to this, and the present invention can be applied to other inspection objects for inspecting the surface formation state such as a liquid crystal panel. .

また、上記の実施の形態では、ステージ移動機構5にステージレール50とシャフト51とモーター52とを備えて構成したが、これに限らず、コンベアーなどの移動機構を用いることもできる。   In the above embodiment, the stage moving mechanism 5 includes the stage rail 50, the shaft 51, and the motor 52. However, the present invention is not limited to this, and a moving mechanism such as a conveyor can also be used.

さらに、上記の実施の形態では、載置機構31と回収機構32をL字状の部材を用いて単一のピックアップ機構2で構成したが、これに限らず、T字形状など種々の形状にすることができる。また、載置機構と回収機構それぞれ単一の部材により構成するようにしてもよい。   Furthermore, in the above-described embodiment, the mounting mechanism 31 and the recovery mechanism 32 are configured by the single pickup mechanism 2 using L-shaped members. However, the present invention is not limited to this, and various shapes such as a T-shape can be used. can do. Further, each of the mounting mechanism and the recovery mechanism may be constituted by a single member.

加えて、上記の実施の形態では、集積部1と回収部8がステージ4を挟んで対向する斜め位置に設置しているが、これに限らず、ステージ4の移動方向に対して同じ側に集積部1と回収部8を設けるようにしてもよい。このようにすると、集積と回収の動作を同じ側で行うことができ、集積動作と回収動作を効率よく行うことができるようになる。   In addition, in the above-described embodiment, the stacking unit 1 and the collection unit 8 are installed at oblique positions facing each other with the stage 4 interposed therebetween. The stacking unit 1 and the collecting unit 8 may be provided. In this way, the accumulation and collection operations can be performed on the same side, and the accumulation and collection operations can be performed efficiently.

また、上記実施の形態において、往路及び復路においても検査するようにしているが、往路での検査がNGであった場合、復路において検査を行うことなく高速移動させて回収させるようにしてもよい。   Further, in the above-described embodiment, the inspection is performed on the forward path and the return path. However, when the inspection on the forward path is NG, it may be recovered by moving at high speed without performing the inspection on the return path. .

また、上記実施の形態では、第一のステージ40を回転させることによって第二のステージ41上に折り畳めるように構成しているが、これとは逆に、第二のステージ41を回転可能に構成して第一のステージ40上からプリント基板9を吸着して載置させるようにしてもよい。また、表裏反転機構7はこのような折り畳み可能な構成のみならず、どのような構成を用いてもよい。   In the above embodiment, the first stage 40 is configured to be folded on the second stage 41 by rotating the first stage 40. On the contrary, the second stage 41 is configured to be rotatable. Then, the printed circuit board 9 may be sucked and placed on the first stage 40. The front / back reversing mechanism 7 is not limited to such a foldable configuration, and any configuration may be used.

さらに、上記実施の形態では、プリント基板9の表裏を検査する場合について説明したが、これに限らず、一方の面のみを検査する場合についても同様の構成を適用することができる。   Furthermore, although the case where the front and back of the printed circuit board 9 are inspected has been described in the above embodiment, the present invention is not limited to this, and the same configuration can be applied to a case where only one surface is inspected.

本発明の一実施の形態における外観検査装置の斜視図The perspective view of the external appearance inspection apparatus in one embodiment of this invention 同形態における集積部の正面図Front view of stacking unit in same form 同形態における集積部の動作状態を示す図The figure which shows the operation state of the stacking part in the same form 同形態におけるピックアップ機構の外観を示す図The figure which shows the external appearance of the pickup mechanism in the same form 同形態における吸着機構の原理を示す図The figure which shows the principle of the adsorption mechanism in the same form 同形態における吸着機構の動作例を示す図The figure which shows the operation example of the adsorption | suction mechanism in the form 同形態における外観検査装置の各要素の位置関係を示す平面図The top view which shows the positional relationship of each element of the external appearance inspection apparatus in the form 同形態におけるステージの斜視図Perspective view of stage in the same form 同形態における検査部の側面図Side view of the inspection unit in the same form 同形態における検査部の照明装置を示す図The figure which shows the illuminating device of the test | inspection part in the same form 同形態における外観検査装置の動作状態を示す図The figure which shows the operation state of the external appearance inspection apparatus in the form 同形態における外観検査装置の各要素の位置関係を示す平面図The top view which shows the positional relationship of each element of the external appearance inspection apparatus in the form 従来における外観検査装置を示す概要図Schematic diagram showing conventional visual inspection equipment

1・・・集積部
2・・・ピックアップ機構
4・・・ステージ
5・・・ステージ移動機構
6・・・検査部
7・・・表裏反転機構
8・・・回収部
9・・・プリント基板
11・・・スライド機構
11a・・・載置部材
20・・・第一の吸着部材
21・・・第二の吸着部材
30・・・移動機構
31・・・載置機構
32・・・回収機構
40・・・第一のステージ
41・・・第二のステージ
42・・・ヒンジ
43・・・開口部
45・・・連結部
50・・・ステージレール
51・・・シャフト
52・・・モーター
71・・・アーム
72・・・反転駆動機構
81・・・良品回収部
82・・・不良品回収部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Accumulation part 2 ... Pick-up mechanism 4 ... Stage 5 ... Stage moving mechanism 6 ... Inspection part 7 ... Front / back inversion mechanism 8 ... Collection | recovery part 9 ... Printed circuit board 11 ... Slide mechanism 11a ... Placement member 20 ... First suction member 21 ... Second suction member 30 ... Movement mechanism 31 ... Placement mechanism 32 ... Recovery mechanism 40 ... first stage 41 ... second stage 42 ... hinge 43 ... opening 45 ... connecting part 50 ... stage rail 51 ... shaft 52 ... motor 71 ..Arms 72 ... Reverse drive mechanism 81 ... Good product collection unit 82 ... Defective product collection unit

Claims (2)

検査対象物を載置したステージを移動させるステージ移動機構と、
当該ステージの側方に設けられ、ステージに載置される検査対象物を集積する集積部と、
検査対象物を載置したステージを長手方向に移動させることによって検査対象物を検査する検査部と、
前記集積部に対してステージの移動方向と反対側に設けられ、検査された検査対象物を回収する回収部と、
前記集積部に集積された検査対象物をピックアップする第一の吸着部材と、
前記ステージに載置された検査対象物をピックアップする第二の吸着部材と、
当該第一の吸着部材および第二の吸着部材を一体的に保持する保持部材と、
当該保持部材をステージの長手方向に対して直交する方向に移動させて前記第一の吸着部材を用いて集積部から検査対象物をピックアップするとともに、前記ステージに載置された検査対象物をピックアップして回収部に回収させる移動機構と、
を備えたことを特徴とする外観検査装置。
A stage moving mechanism for moving the stage on which the inspection object is placed;
An accumulating unit that is provided on the side of the stage and accumulates inspection objects placed on the stage;
An inspection unit for inspecting the inspection object by moving the stage on which the inspection object is placed in the longitudinal direction;
A collection unit that is provided on the opposite side of the moving direction of the stage with respect to the stacking unit and collects the inspected inspection object,
A first suction member that picks up the inspection object accumulated in the accumulation unit;
A second suction member for picking up an inspection object placed on the stage;
A holding member that integrally holds the first suction member and the second suction member;
The holding member is moved in a direction orthogonal to the longitudinal direction of the stage, and the inspection object is picked up from the stacking unit using the first suction member, and the inspection object placed on the stage is picked up And a moving mechanism to be collected by the collecting unit,
An appearance inspection apparatus comprising:
前記保持部材が、前記第一の吸着部材および第二の吸着部材を、ステージの移動方向に対して異なる位置に設けるようにしたものである請求項1に記載の外観検査装置。 The appearance inspection apparatus according to claim 1, wherein the holding member is configured to provide the first suction member and the second suction member at different positions with respect to the moving direction of the stage.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110405962A (en) * 2019-07-23 2019-11-05 上海理工大学 Automatic turnover semiconductor cleavage device and processing method

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5415325B2 (en) * 2010-02-26 2014-02-12 日置電機株式会社 Substrate reversing mechanism for substrate visual inspection apparatus and substrate reversing / conveying means provided with the substrate reversing mechanism
JP6358527B2 (en) * 2013-11-15 2018-07-18 株式会社サキコーポレーション Inspection device
JP6331656B2 (en) * 2014-04-28 2018-05-30 三星ダイヤモンド工業株式会社 Method and apparatus for conveying brittle material substrate
JP6287547B2 (en) * 2014-04-28 2018-03-07 三星ダイヤモンド工業株式会社 Inverting device for brittle material substrate
CN104101609B (en) * 2014-07-03 2016-08-24 宁波摩米创新工场电子科技有限公司 A kind of visual detection equipment of circuit board

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0620922B2 (en) * 1984-10-19 1994-03-23 株式会社東芝 Conveyance device for test object
JP3331361B2 (en) * 1994-09-22 2002-10-07 株式会社トプコン Inspection device
JPH09329774A (en) * 1996-06-11 1997-12-22 Hitachi Ltd Appearance inspecting device for liquid crystal display substrate
JP2000097671A (en) * 1998-09-28 2000-04-07 Olympus Optical Co Ltd Visual inspection method and system for printed board
JP2001264265A (en) * 2000-03-21 2001-09-26 Yuniteku Kk Automatic appearance inspecting device for printed wiring board
JP3492645B2 (en) * 2001-03-29 2004-02-03 シライ電子工業株式会社 Printed circuit board inspection machine
JP2003165614A (en) * 2001-11-30 2003-06-10 Cabin Industrial Co Ltd Substrate carrying-in equipment in appearance inspection equipment for printed circuit board

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110405962A (en) * 2019-07-23 2019-11-05 上海理工大学 Automatic turnover semiconductor cleavage device and processing method
CN110405962B (en) * 2019-07-23 2021-11-19 上海理工大学 Automatic turnover type semiconductor cleavage device and processing method

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