JP3734135B2 - 産業用ロボットの手首装置 - Google Patents
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は産業用ロボットの手首装置に関し、特に手首内に手首先端のツールフランジに取付けるツールへのエネルギー等の供給のための配線・配管の通路を確保するための技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、産業用ロボットの手首機構内に手首先端のツールフランジに取付けたツールへのエネルギー等の供給のための配線・配管を通す技術としては、例えば、特開平 6−312394、特開平 8−229874、特開平10−329079各号公報に示すものがある。これらの技術は伝達軸を中空とし伝達軸の先端に取付けた伝達のための歯車を中空とし、歯車にて動力を伝達し、配線・配管は前記中空内を通す構造をしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従来、ツールへのエネルギー等の配線・配管を通す目的の産業用ロボットの手首機構において、伝達手段は歯車が大半である。特に最終の出力側において歯車伝達手段を使用すると、歯車のバックラシュによりロボットの位置決めが不安定となる。また歯車に高トルクが掛かり歯部が摩耗し、更に位置決めが不安定となる問題があった。また、アームにそれぞれ独立に回転可能に軸支された中空の第1、第2及び第3の軸と、各軸に連結された手首とにおいて、第1軸の回転により第2の手首及びツールフランジが廻され、第2軸の回転によりツールフランジが廻される、いわゆるつれまわり量が大きく制御が困難という問題も生じる。
【0004】
本発明の課題は、手首先端のツールフランジに取付けたツールへの配線・配管を通すに充分な円筒空間を有し、歯車のバックラシュ、歯部の摩耗によるロボットの位置決めが不安定となることがなく、かつ第1軸又は第2軸の回転により第2の手首及びツールフランジが廻される、いわゆるつれまわり量を小さくできる産業用ロボットの手首装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
このため本発明は、アームにそれぞれ独立に回転可能に軸支された中空の第1、第2及び第3の軸と、前記第1の軸に連結された第1手首と、前記第1手首に支持されかつその入力軸が前記第2の軸に1対の第1のかさ歯車を介し連結された第1の中空減速機と、前記第1の中空減速機の出力軸に支持された第2手首と、前記第2手首に支持されかつその入力軸が前記第3の軸に1対の第2のかさ歯車の一方、第2のかさ歯車の他方と連結された中空軸の1方、中空軸の他方に固定された1対の第3のかさ歯車の1方及び第3のかさ歯車の他方、とで連結された第2の中空減速機と、前記第2の中空減速機の出力軸に支持されたツールフランジと、を有し、前記第3の軸、前記中空軸及び前記第2の中空減速機の各内周は前記ツールフランジに取り付けられるツールへの配線・配管を通すに充分な連続した円筒空間を形成し、
相互に噛合う各1対の第1及び第2のかさ歯車の非噛合側をそれぞれ閉じる、前記第1手首内周と、前記第3の軸及び前記中空軸の1方の各端部と、の間に1対の第1のV字状の隔壁がそれぞれ設けられ、前記1対の第3のかさ歯車の非噛合側をそれぞれ閉じる、前記第2手首内周と、前記中空軸の他方及び前記第2の中空減速機の各端部と、の間に1対の第2のV字状の隔壁がそれぞれ設けられ、かつ前記1対の第1のV字状の隔壁の各内方端部と、前記第3の軸及び前記中空軸の1方の各端部と、の間、及び前記1対の第2のV字状の隔壁の各内方端部と、前記中空軸の他方及び前記第2の中空減速機の各端部と、の間に、シールがそれぞれ設けられ、各前記歯車の潤滑のための油またはグリースが前記配線・配管が通る前記連続した円筒空間に漏れないようにそれぞれ隔壁及びシールにて油またはグリースの漏れを防止したことを特徴とする産業用ロボットの手首装置を提供することにより上記課題を解決した。
【0006】
【作用】
本発明により軸芯に中空を有する減速機を手首機構内に使用し、手首先端に取付けたツールへのエネルギー等の供給のための配線配管が手首機構内を通すことが可能となり、かつ歯車のバックラッシュ、歯車に掛かるトルクを減速比分の1に減じることにより、歯車のバックラッシュ量、摩耗量が減速機の減速比分の1となり、バックラッシュ、摩耗の影響を少なくし位置決め精度を改良した。またつれまわりも減速比分の1とされた歯車部で生じるためつれまわり量も減速機の減速比分の1となり制御が容易となった。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図1に示す。図1において図示しないアームにそれぞれ独立に回転可能に軸支された中空の第1、第2及び第3の軸2、3、9と、第1の軸2に連結された第1手首1と、第1手首1に支持されかつその入力軸23が第2の軸3に第1のかさ歯車4、5を介し連結された第1の中空減速機7と、第1の中空減速機7の出力軸に支持された第2手首8と、第2手首8に支持されかつその入力軸が第3の軸9に1対の第2の歯車の一方 10 、第2のかさ歯車の他方 11 と連結された中空軸 12 の1方、中空軸 12 の他方に固定された1対の第3のかさ歯車の1方 13 及び第3のかさ歯車の他方 14 、とで連結された第2の中空減速機15と、第2の中空減速機15の出力軸に支持されたツールフランジ25と、を有し、第3の軸9、中空軸 12 及び第2の中空減速機 15 の各内周はツールフランジ25に取り付けられる図示しないツールへの配線・配管を通すに充分な連続した円筒空間27、 27 、 27 を形成する。
【0008】
作動において、第1の軸2は図示しないアームの1部であり、図示しない第3の減速機に連結され、他端は第1手首1に連結され手首装置全体を回動する。第2の軸3は第1の軸2と同軸上に配され、図示しないモータに歯車を介して連結され、他端は第1のかさ歯車4を固定している。第1のかさ歯車4は第1のかさ歯車5と噛み合い、第1のかさ歯車5は第1の中空減速機7の入力軸6に連結され、第1の中空減速機7の出力軸に取付けられた第2手首8を回動する。
【0009】
第3の軸9は第1及び第2の軸2、3と同軸に配され、図示しないモータに歯車を介して連結され、他端は第2のかさ歯車の1方10を固定している。第2のかさ歯車の1方10は第2のかさ歯車の他方11と噛み合い、第2のかさ歯車の他方11は第1の中空減速機7の中空内を通る中空軸12の1方に固定され、中空軸12他端に第3の歯車の1方13を固定している。第3のかさ歯車の一方13は第3のかさ歯車の他方14と噛み合い、第3のかさ歯車の他方14は第2の中空減速機15の入力軸24と連結されて第2の中空減速機15を回動し、第2の中空減速機15の出力軸に支持されたツールフランジ25を回動する。
【0010】
相互に噛合う各1対の第1及び第2のかさ歯車 4、5、 10 、 11 の非噛合側をそれぞれ閉じる、第1手首1内周と、第3の軸9端部及び中空軸 12 の1方の端部と、の間に、1対の第1のV字状の隔壁 16 、 16 がそれぞれ設けられ、1対の第3のかさ歯車 13 、 14 の非噛合側をそれぞれ閉じる、第2首8内周と、中空軸 12 の他方の端部及び第2の中空減速機 15 の端部と、の間に1対の第2のV字状の隔壁 17 、 17 がそれぞれ設けられ、かつ1対の第1のV字状の隔壁 16 、 16 の各内方端部と第3の軸9及び中空軸 12 の1方の各端部との間、及び1対の第2のV字状の隔壁 17 、 17 の各内方端部と中空軸 12 の他方及び第2の中空減速機 15 の各端部との間に、シール 18 、 18 、 19 、 19 がそれぞれ設けられ、各前記歯車の潤滑のための図示しない油またはグーリスが図示しない配線・配管が通る連続した円筒空間27 、 27 、 27に漏れないようにそれぞれ隔壁 16、16、17、17及びシール 18、18、19、19にて油またはグリースの漏れを防止している。26及び同様の表示は軸受けである。
【0011】
さらに図示しない配線・配管が第3の軸9、中空軸 12 及び第2の中空減速機 15 の各内周に触れないように、第3の軸9、中空軸 12 及び第2の中空減速機 15 の各内周に保護ガード 20、20、21、22が設けられている。
第1の軸2の回転により第1、第2及び第3のかさ歯車 4、5、10、11、13、14を回動するため、第2の手首8及びツールフランジ25が回動され、第2の軸3の回転により第2及び第3のかさ歯車 10、11、13、14を回動するため、ツールフランジ25が回動される、いわゆるつれまわり現象を起こす。このつれまわり現象に対し、第1の軸2の回転では第1、第2及び第3のかさ歯車 4、5、10、11、13、14の噛み合いを調節してつれまわりを吸収するが、この噛み合い調節量は第1と第2の中空減速機7、15の減速比で小さくされるため制御が容易となり、また第2の軸3の回転についても第2の中空減速機15の出力軸がつれまわり現象を起こし、第3のかさ歯車 13、14の噛み合いを調節してつれまわりを吸収するが、この噛み合い調節量も第2の中空減速機15の減速比で小さくされるため制御を容易にする。
【0012】
【発明の効果】
本発明により、手首内に配線・配管を通すことを目的としたロボットにおいて、第3の軸、中空軸及び第2の中空減速機の各内周はツールフランジに取り付けられるツールへの配線・配管を通すに充分な連続した円筒空間を形成し、相互に噛合う各1対の第1及び第2のかさ歯車の非噛合側をそれぞれ閉じる、第1手首内周と、第3の軸及び中空軸の1方の各端部と、の間に1対の第1のV字状の隔壁がそれぞれ設けられ、1対の第3のかさ歯車の非噛合側をそれぞれ閉じる、第2手首内周と、中空軸の他方及び第2の中空減速機の各端部と、の間に1対の第2のV字状の隔壁がそれぞれ設けられ、かつ1対の第1のV字状の隔壁の各内方端部と、第3の軸及び中空軸の1方の各端部と、の間、及び1対の第2のV字状の隔壁の各内方端部と、中空軸の他方及び第2の中空減速機の各端部と、の間に、シールがそれぞれ設けられ、各前記歯車の潤滑のための油またはグリースが前記配線・配管が通る前記連続した円筒空間に漏れないようにそれぞれ隔壁及びシールにて油またはグリースの漏れを防止したので、手首先端のツールフランジに取付けたツールへの配線・配管を通すに充分な円筒空間を有し、かつ本発明では手首機構内に第1及び第2の中空減速機を使用したので、これにより歯車のバックラッシュ、歯車に掛かるトルクを減速比分の1に減ずることにより、歯車のバックラシュ、歯部の摩耗によるロボットの位置決めが不安定となることがなく、位置決め精度を改良し、またつれまわりも減 速比分の1とされた歯車部で生じるため、制御も容易になった産業用ロボットの手首装置を提供するものとなった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の概略要部断面図である。
【符号の説明】
1・・ 第1手首 2・・第1の軸 3・・第2の軸
4、5・・ 第1のかさ歯車 7・・第1の中空減速機 8・・第2手首
9・・ 第3の軸 10、11・・第2のかさ歯車 12 ・・ 中空軸
13、14・・ 第3のかさ歯車 15・・ 第2の中空減速機 16、16・・第1のV字状の隔壁
17、17・・ 第2のV字状の隔壁 18、18、19、19・・シール
20、21、22・・保護ガード 25・・ ツールフランジ 27 、 27 、 27 ・・連続した円筒空間
【発明の属する技術分野】
本発明は産業用ロボットの手首装置に関し、特に手首内に手首先端のツールフランジに取付けるツールへのエネルギー等の供給のための配線・配管の通路を確保するための技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、産業用ロボットの手首機構内に手首先端のツールフランジに取付けたツールへのエネルギー等の供給のための配線・配管を通す技術としては、例えば、特開平 6−312394、特開平 8−229874、特開平10−329079各号公報に示すものがある。これらの技術は伝達軸を中空とし伝達軸の先端に取付けた伝達のための歯車を中空とし、歯車にて動力を伝達し、配線・配管は前記中空内を通す構造をしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従来、ツールへのエネルギー等の配線・配管を通す目的の産業用ロボットの手首機構において、伝達手段は歯車が大半である。特に最終の出力側において歯車伝達手段を使用すると、歯車のバックラシュによりロボットの位置決めが不安定となる。また歯車に高トルクが掛かり歯部が摩耗し、更に位置決めが不安定となる問題があった。また、アームにそれぞれ独立に回転可能に軸支された中空の第1、第2及び第3の軸と、各軸に連結された手首とにおいて、第1軸の回転により第2の手首及びツールフランジが廻され、第2軸の回転によりツールフランジが廻される、いわゆるつれまわり量が大きく制御が困難という問題も生じる。
【0004】
本発明の課題は、手首先端のツールフランジに取付けたツールへの配線・配管を通すに充分な円筒空間を有し、歯車のバックラシュ、歯部の摩耗によるロボットの位置決めが不安定となることがなく、かつ第1軸又は第2軸の回転により第2の手首及びツールフランジが廻される、いわゆるつれまわり量を小さくできる産業用ロボットの手首装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
このため本発明は、アームにそれぞれ独立に回転可能に軸支された中空の第1、第2及び第3の軸と、前記第1の軸に連結された第1手首と、前記第1手首に支持されかつその入力軸が前記第2の軸に1対の第1のかさ歯車を介し連結された第1の中空減速機と、前記第1の中空減速機の出力軸に支持された第2手首と、前記第2手首に支持されかつその入力軸が前記第3の軸に1対の第2のかさ歯車の一方、第2のかさ歯車の他方と連結された中空軸の1方、中空軸の他方に固定された1対の第3のかさ歯車の1方及び第3のかさ歯車の他方、とで連結された第2の中空減速機と、前記第2の中空減速機の出力軸に支持されたツールフランジと、を有し、前記第3の軸、前記中空軸及び前記第2の中空減速機の各内周は前記ツールフランジに取り付けられるツールへの配線・配管を通すに充分な連続した円筒空間を形成し、
相互に噛合う各1対の第1及び第2のかさ歯車の非噛合側をそれぞれ閉じる、前記第1手首内周と、前記第3の軸及び前記中空軸の1方の各端部と、の間に1対の第1のV字状の隔壁がそれぞれ設けられ、前記1対の第3のかさ歯車の非噛合側をそれぞれ閉じる、前記第2手首内周と、前記中空軸の他方及び前記第2の中空減速機の各端部と、の間に1対の第2のV字状の隔壁がそれぞれ設けられ、かつ前記1対の第1のV字状の隔壁の各内方端部と、前記第3の軸及び前記中空軸の1方の各端部と、の間、及び前記1対の第2のV字状の隔壁の各内方端部と、前記中空軸の他方及び前記第2の中空減速機の各端部と、の間に、シールがそれぞれ設けられ、各前記歯車の潤滑のための油またはグリースが前記配線・配管が通る前記連続した円筒空間に漏れないようにそれぞれ隔壁及びシールにて油またはグリースの漏れを防止したことを特徴とする産業用ロボットの手首装置を提供することにより上記課題を解決した。
【0006】
【作用】
本発明により軸芯に中空を有する減速機を手首機構内に使用し、手首先端に取付けたツールへのエネルギー等の供給のための配線配管が手首機構内を通すことが可能となり、かつ歯車のバックラッシュ、歯車に掛かるトルクを減速比分の1に減じることにより、歯車のバックラッシュ量、摩耗量が減速機の減速比分の1となり、バックラッシュ、摩耗の影響を少なくし位置決め精度を改良した。またつれまわりも減速比分の1とされた歯車部で生じるためつれまわり量も減速機の減速比分の1となり制御が容易となった。
【0007】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態を図1に示す。図1において図示しないアームにそれぞれ独立に回転可能に軸支された中空の第1、第2及び第3の軸2、3、9と、第1の軸2に連結された第1手首1と、第1手首1に支持されかつその入力軸23が第2の軸3に第1のかさ歯車4、5を介し連結された第1の中空減速機7と、第1の中空減速機7の出力軸に支持された第2手首8と、第2手首8に支持されかつその入力軸が第3の軸9に1対の第2の歯車の一方 10 、第2のかさ歯車の他方 11 と連結された中空軸 12 の1方、中空軸 12 の他方に固定された1対の第3のかさ歯車の1方 13 及び第3のかさ歯車の他方 14 、とで連結された第2の中空減速機15と、第2の中空減速機15の出力軸に支持されたツールフランジ25と、を有し、第3の軸9、中空軸 12 及び第2の中空減速機 15 の各内周はツールフランジ25に取り付けられる図示しないツールへの配線・配管を通すに充分な連続した円筒空間27、 27 、 27 を形成する。
【0008】
作動において、第1の軸2は図示しないアームの1部であり、図示しない第3の減速機に連結され、他端は第1手首1に連結され手首装置全体を回動する。第2の軸3は第1の軸2と同軸上に配され、図示しないモータに歯車を介して連結され、他端は第1のかさ歯車4を固定している。第1のかさ歯車4は第1のかさ歯車5と噛み合い、第1のかさ歯車5は第1の中空減速機7の入力軸6に連結され、第1の中空減速機7の出力軸に取付けられた第2手首8を回動する。
【0009】
第3の軸9は第1及び第2の軸2、3と同軸に配され、図示しないモータに歯車を介して連結され、他端は第2のかさ歯車の1方10を固定している。第2のかさ歯車の1方10は第2のかさ歯車の他方11と噛み合い、第2のかさ歯車の他方11は第1の中空減速機7の中空内を通る中空軸12の1方に固定され、中空軸12他端に第3の歯車の1方13を固定している。第3のかさ歯車の一方13は第3のかさ歯車の他方14と噛み合い、第3のかさ歯車の他方14は第2の中空減速機15の入力軸24と連結されて第2の中空減速機15を回動し、第2の中空減速機15の出力軸に支持されたツールフランジ25を回動する。
【0010】
相互に噛合う各1対の第1及び第2のかさ歯車 4、5、 10 、 11 の非噛合側をそれぞれ閉じる、第1手首1内周と、第3の軸9端部及び中空軸 12 の1方の端部と、の間に、1対の第1のV字状の隔壁 16 、 16 がそれぞれ設けられ、1対の第3のかさ歯車 13 、 14 の非噛合側をそれぞれ閉じる、第2首8内周と、中空軸 12 の他方の端部及び第2の中空減速機 15 の端部と、の間に1対の第2のV字状の隔壁 17 、 17 がそれぞれ設けられ、かつ1対の第1のV字状の隔壁 16 、 16 の各内方端部と第3の軸9及び中空軸 12 の1方の各端部との間、及び1対の第2のV字状の隔壁 17 、 17 の各内方端部と中空軸 12 の他方及び第2の中空減速機 15 の各端部との間に、シール 18 、 18 、 19 、 19 がそれぞれ設けられ、各前記歯車の潤滑のための図示しない油またはグーリスが図示しない配線・配管が通る連続した円筒空間27 、 27 、 27に漏れないようにそれぞれ隔壁 16、16、17、17及びシール 18、18、19、19にて油またはグリースの漏れを防止している。26及び同様の表示は軸受けである。
【0011】
さらに図示しない配線・配管が第3の軸9、中空軸 12 及び第2の中空減速機 15 の各内周に触れないように、第3の軸9、中空軸 12 及び第2の中空減速機 15 の各内周に保護ガード 20、20、21、22が設けられている。
第1の軸2の回転により第1、第2及び第3のかさ歯車 4、5、10、11、13、14を回動するため、第2の手首8及びツールフランジ25が回動され、第2の軸3の回転により第2及び第3のかさ歯車 10、11、13、14を回動するため、ツールフランジ25が回動される、いわゆるつれまわり現象を起こす。このつれまわり現象に対し、第1の軸2の回転では第1、第2及び第3のかさ歯車 4、5、10、11、13、14の噛み合いを調節してつれまわりを吸収するが、この噛み合い調節量は第1と第2の中空減速機7、15の減速比で小さくされるため制御が容易となり、また第2の軸3の回転についても第2の中空減速機15の出力軸がつれまわり現象を起こし、第3のかさ歯車 13、14の噛み合いを調節してつれまわりを吸収するが、この噛み合い調節量も第2の中空減速機15の減速比で小さくされるため制御を容易にする。
【0012】
【発明の効果】
本発明により、手首内に配線・配管を通すことを目的としたロボットにおいて、第3の軸、中空軸及び第2の中空減速機の各内周はツールフランジに取り付けられるツールへの配線・配管を通すに充分な連続した円筒空間を形成し、相互に噛合う各1対の第1及び第2のかさ歯車の非噛合側をそれぞれ閉じる、第1手首内周と、第3の軸及び中空軸の1方の各端部と、の間に1対の第1のV字状の隔壁がそれぞれ設けられ、1対の第3のかさ歯車の非噛合側をそれぞれ閉じる、第2手首内周と、中空軸の他方及び第2の中空減速機の各端部と、の間に1対の第2のV字状の隔壁がそれぞれ設けられ、かつ1対の第1のV字状の隔壁の各内方端部と、第3の軸及び中空軸の1方の各端部と、の間、及び1対の第2のV字状の隔壁の各内方端部と、中空軸の他方及び第2の中空減速機の各端部と、の間に、シールがそれぞれ設けられ、各前記歯車の潤滑のための油またはグリースが前記配線・配管が通る前記連続した円筒空間に漏れないようにそれぞれ隔壁及びシールにて油またはグリースの漏れを防止したので、手首先端のツールフランジに取付けたツールへの配線・配管を通すに充分な円筒空間を有し、かつ本発明では手首機構内に第1及び第2の中空減速機を使用したので、これにより歯車のバックラッシュ、歯車に掛かるトルクを減速比分の1に減ずることにより、歯車のバックラシュ、歯部の摩耗によるロボットの位置決めが不安定となることがなく、位置決め精度を改良し、またつれまわりも減 速比分の1とされた歯車部で生じるため、制御も容易になった産業用ロボットの手首装置を提供するものとなった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態の概略要部断面図である。
【符号の説明】
1・・ 第1手首 2・・第1の軸 3・・第2の軸
4、5・・ 第1のかさ歯車 7・・第1の中空減速機 8・・第2手首
9・・ 第3の軸 10、11・・第2のかさ歯車 12 ・・ 中空軸
13、14・・ 第3のかさ歯車 15・・ 第2の中空減速機 16、16・・第1のV字状の隔壁
17、17・・ 第2のV字状の隔壁 18、18、19、19・・シール
20、21、22・・保護ガード 25・・ ツールフランジ 27 、 27 、 27 ・・連続した円筒空間
Claims (2)
- アームにそれぞれ独立に回転可能に軸支された中空の第1、第2及び第3の軸と、前記第1の軸に連結された第1手首と、前記第1手首に支持されかつその入力軸が前記第2の軸に1対の第1のかさ歯車を介し連結された第1の中空減速機と、前記第1の中空減速機の出力軸に支持された第2手首と、前記第2手首に支持されかつその入力軸が前記第3の軸に1対の第2のかさ歯車の一方、第2のかさ歯車の他方と連結された中空軸の1方、中空軸の他方に固定された1対の第3のかさ歯車の1方及び第3のかさ歯車の他方、とで連結された第2の中空減速機と、前記第2の中空減速機の出力軸に支持されたツールフランジと、を有し、前記第3の軸、前記中空軸及び前記第2の中空減速機の各内周は前記ツールフランジに取り付けられるツールへの配線・配管を通すに充分な連続した円筒空間を形成し、
相互に噛合う各1対の第1及び第2のかさ歯車の非噛合側をそれぞれ閉じる、前記第1手首内周と、前記第3の軸及び前記中空軸の1方の各端部と、の間に1対の第1のV字状の隔壁がそれぞれ設けられ、前記1対の第3のかさ歯車の非噛合側をそれぞれ閉じる、前記第2手首内周と、前記中空軸の他方及び前記第2の中空減速機の各端部と、の間に1対の第2のV字状の隔壁がそれぞれ設けられ、かつ前記1対の第1のV字状の隔壁の各内方端部と、前記第3の軸及び前記中空軸の1方の各端部と、の間、及び前記1対の第2のV字状の隔壁の各内方端部と、前記中空軸の他方及び前記第2の中空減速機の各端部と、の間に、シールがそれぞれ設けられ、各前記歯車の潤滑のための油またはグリースが前記配線・配管が通る前記連続した円筒空間に漏れないようにそれぞれ隔壁及びシールにて油またはグリースの漏れを防止したことを特徴とする産業用ロボットの手首装置。 - 前記第3の軸、前記中空軸及び前記第2の中空減速機の各内周に保護ガードを設けたことを特徴とする請求項1記載の産業用ロボットの手首装置。
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