JP3733482B2 - 紫外線照射装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、紫外線照射装置に係り、特に、流体の紫外線処理に適した紫外線照射装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
紫外線照射装置により被処理流体に紫外線を照射し、例えば被処理流体中の微生物の殺滅、有機物の酸化分解、その他の有毒物質の分解などによる流体の浄化処理などを行う場合、被処理流体が通流する流路内などに紫外線照射装置を設置したり、紫外線ランプを内包した槽を備えた紫外線照射装置に被処理流体を導くことで、被処理流体に紫外線を照射している。このような紫外線照射装置では、流路や槽内の被処理流体が、被処理流体の位置つまり紫外線ランプからの距離に関係なくできるだけまんべんなく処理に必要な照射量の紫外線を被処理流体が受けるように紫外線ランプの設置本数、つまり流路や槽内の紫外線ランプの設置密度を決めることが望ましい。
【0003】
例えば、殺菌率は、生残菌数/原水菌数=exp(−K・紫外線照射量)で表されるが、紫外線照射量は、紫外線強度Iと、被処理流体の滞留時間つまり紫外線照射時間tとの積、つまり紫外線照射量=I・tである。さらに、紫外線強度Iは、紫外線ランプからの距離が離れるに連れ低くなる。したがって、滞留時間が一定であれば、紫外線ランプから最も離れた位置での紫外線強度が、必要とされる強度になるように紫外線ランプの設置本数、つまり流路や槽内の紫外線ランプの設置密度を決めれば、被処理流体の位置つまり紫外線ランプからの距離に関係なくできるだけまんべんなく処理に必要な照射量の紫外線を被処理流体が受けるようにできる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、紫外線ランプの設置密度が高くなるに連れ、隣り合う紫外線ランプ間の間隔は狭くなるが、隣り合う紫外線ランプ間の間隔が狭くなると、例えば隣り合う紫外線ランプ間に被処理流体に同伴されてきたごみなどが引っかかる場合がある。隣り合う紫外線ランプ間にごみなどが引っかかると、ごみによって紫外線の放射が遮られたり、流路が塞がれて被処理流体が通流できなくなることで、被処理流体が処理に必要な紫外線照射量を受けられなくなってしまう。
【0005】
さらに、紫外線照射装置に備えられる個々の紫外線ランプは、紫外線透過管に挿入されているが、この紫外線透過管の外表面に紫外線の照射を妨げる汚れなどが付着した場合に、その汚れを除去するためのワイパが設けられている紫外線照射装置がある。このような紫外線照射装置では、ワイパを取り付けるため、隣り合う紫外線ランプの間隔が、ワイパを構成する部材によって制限されてしまう。このため、ワイパを備えた紫外線照射装置では、紫外線ランプを必要な間隔で設置できず、流路や槽内に被処理流体が必要な紫外線照射量を受けることができない領域が生じてしまう場合がある。
【0006】
このように紫外線照射による被処理流体の処理に必要とされる紫外線ランプの設置本数によっては、被処理流体が必要な紫外線照射量を受けることができなくなり、逆に、紫外線照射装置の処理能力が低下してしまう場合がある。このため、被処理流体の処理に必要とされる本数の紫外線ランプを設置しても被処理流体が必要な紫外線照射量を受けることができなくなるような状態が生じ難い、処理能力を向上した紫外線照射装置が望まれている。
【0007】
これに対し、紫外線ランプとして、1本の放電管を折り曲げてU字状に形成した紫外線ランプや、1本の放電管をU字状に折り曲げて形成された2本の直線状部分をさらにU字状に折り曲げて放電管の直線状の部分を4本形成した紫外線ランプを用いることが考えられる。このような放電管を折り曲げてU字状に形成した紫外線ランプでは、1個の紫外線ランプからの紫外線放射密度を高くできる。したがって、このような放電管を折り曲げてU字状に形成した紫外線ランプを用いて紫外線照射装置を形成することにより、1個の紫外線ランプからの紫外線放射密度を高くして、1個の紫外線ランプによって必要な紫外線強度が得られる範囲を広くすることにより、紫外線ランプの設置本数を少なくでき、隣り合う紫外線ランプ間の間隔を広くできる。すなわち、隣り合う紫外線ランプ間にごみなどが引っかかったり、ワイパの設置によって必要な間隔で紫外線ランプを配置できなくなることなどにより、被処理流体が処理に必要な紫外線照射量を受けられなくなってしまう状態が生じ難くなるため、紫外線照射装置の処理能力を向上できる。
【0008】
ところが、このような放電管を折り曲げてU字状に形成した紫外線ランプは、製造において放電管の折り曲げ加工などが必要な紫外線ランプを用いるため、紫外線ランプのコストが増大してしまい、紫外線照射装置を増大させることになる。また、放電管を折り曲げてU字状に形成した紫外線ランプは、紫外線ランプ1個当たりの電力が、例えば1kW以上というように大きく、電極部を冷却するための冷却機構や冷却装置を必要とし、さらに、安定器なども直管状の紫外線ランプに比べて高価なものが必要であることなどからも、紫外線照射装置のコストが増大してしまう。このため、装置コストを抑えながら処理能力を向上できる紫外線照射装置が求められている。
【0009】
本発明の課題は、装置コストを抑えながら処理能力を向上することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明の紫外線照射装置は、複数本の直管状の紫外線ランプを1本の紫外線透過性の管に挿入した紫外線照射ユニットを備え、この紫外線照射ユニットは、複数の紫外線ランプの間に挿入され、紫外線ランプの延在方向に沿う方向に設置された反射部材を有し、この反射部材は、複数の紫外線ランプに対向する面が反射面となっている構成とすることにより上記課題を解決する。
【0011】
このような構成とすれば、1個の紫外線照射ユニットからの紫外線放射密度は、複数本の直管状の紫外線ランプからの放射束に応じたものとなる。このため、1個の紫外線照射ユニットからの紫外線放射密度は、1本の直管状の紫外線ランプからの紫外線放射密度よりも高くなる。また、1個の紫外線照射ユニットによって必要な紫外線強度が得られる範囲は、1本の直管状の紫外線ランプを個々に設置した場合よりも広くなるため、隣り合う紫外線照射ユニットの設置間隔は、1本の直管状の紫外線ランプを個々に設置した場合よりも広くできる。さらに、紫外線照射ユニットは、紫外線ランプとして、製造において放電管の折り曲げ加工などが必要なく、また、冷却器や比較的高価な安定器などの必要がない直管状の紫外線ランプを用いて形成されている。加えて、紫外線照射ユニットが反射部材を有していることにより、紫外線照射ユニット内の他の紫外線ランプによって吸収される紫外線を低減し、有効紫外線放射量を増大できる。したがって、装置コストを抑えながら処理能力を向上できる。
【0012】
さらに、複数本の直管状の紫外線ランプを1本の紫外線透過管に挿入した紫外線照射ユニットと、複数のこの紫外線照射ユニットを支持する支持フレームと、この支持フレームに支持された紫外線照射ユニットの紫外線透過管の外表面を払拭するワイパとを備えた構成とする。このような構成とすれば、ワイパの取り付けによって隣り合う紫外線照射ユニットの間隔が制限される場合であっても、装置コストを抑えながら処理能力を向上できる。
【0014】
さらに、紫外線照射ユニットの紫外線透過管内に乾燥気体を供給する乾燥気体供給手段と、紫外線透過管内の気体を排気する排気管路とを設けた構成とすれば、紫外線照射ユニット内に乾燥気体を通流させて紫外線照射ユニット内での結露を抑えることができるので好ましい。
【0015】
また、紫外線照射ユニットは、複数の紫外線ランプの間に挿入され、紫外線ランプの延在方向に沿う方向に設置された反射部材を有し、この反射部材は、紫外線照射ユニットの紫外線透過管の一端部に開口が位置する筒状で、複数の紫外線ランプに対向する外面が反射面となっており、紫外線透過管の他端部側にある筒状の反射部材の開口内に開口端部が位置する気体管路を介してこの筒状の反射部材内に気体を供給する気体供給手段と、紫外線透過管の他端部側にある筒状の反射部材の開口よりも紫外線透過管の他端部側に開口端部が位置する排気管路とを設けた構成とする。これにより、紫外線ランプ周囲の気体を排気でき、紫外線の照射により紫外線照射ユニット内で発生したオゾンを排除できるため、オゾンによって反射部材の反射面が酸化され曇るのを防止できる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を適用してなる紫外線照射装置の一実施形態を図1乃至図6を参照して説明する。図1は、本発明を適用してなる紫外線照射装置の概略構成及び動作を示す側面図である。図2は、本発明を適用してなる紫外線照射装置の概略構成及び動作を示す平面図である。図3は、本発明を適用してなる紫外線照射装置の紫外線照射ユニットの概略構成を示す図1のIII−III線での断面図である。図4は、本発明を適用してなる紫外線照射装置の紫外線照射ユニットの概略構成を示す図1のVI−VI線での断面図である。図5は、紫外線照射ユニットから放射される紫外線の状態を説明する模式図である。図6は、1個の紫外線照射ユニットでの紫外線放射照度の分布の一例を示す図である。
【0017】
本実施形態の紫外線照射装置1は、図1及び図2に示すように、紫外線照射ユニット3、紫外線照射ユニット3を支持する支持フレーム5、紫外線照射ユニット3の紫外線透過管6の外側表面を払拭するワイパ7、そしてワイパ7を駆動するためのモータ9とモータ9の軸に連結された回転軸11などで構成されている。
【0018】
紫外線照射ユニット3は、紫外線を透過する材質、例えば石英ガラスやテフロン製の紫外線透過管6内に複数本、例えば4本の直管状の紫外線ランプ15を挿入して水密に密封したものである。直管状の紫外線ランプ15は、例えば管径が15mmの一般に市販されている比較的安価な量産品を用いている。紫外線照射ユニット3の紫外線透過管6は、一端部が半球状に閉塞されており、他端部が開口された状態になっている。紫外線透過管6には、管径が15mmの4本の紫外線ランプ15に対して、内径を60mm〜150mmとしている。紫外線透過管6の半球状に閉塞された端部には中空の半球状つまりお椀状に形成され、お椀の開放部に図示していないステーなどで取り付けられたソケット17を有する下側ランプ支持部材19が設置されている。紫外線ランプ15の一方の口金は、下側ランプ支持部材19のソケット17に挿入されている。紫外線ランプ15の他方の口金は、図1及び図3に示すように、紫外線照射ユニット3を構成する紫外線透過管6の開口された端部側に位置する上側ランプ支持部材21に固定されたソケット17に挿入されている。
【0019】
上側ランプ支持部材21は、紫外線の影響を受け難い金属や合成樹脂などの材料で形成された円盤状の部材に、円周側から中心に向かってU字状に切り欠いた切り欠き部22を等間隔で4箇所形成し、各々の切り欠き部22にソケット17を固定したものである。下側ランプ支持部材19も紫外線の影響を受け難い金属や合成樹脂などの材料で形成されており、下側ランプ支持部材19には、上側ランプ支持部材21のソケット17に対応する位置にソケット17が取り付けられている。このように、紫外線ランプ15は、下側ランプ支持部材19と上側ランプ支持部材21によって紫外線透過管6内に支持されており、紫外線透過管6の内周面に沿って等間隔に配置されている。言い換えれば、紫外線ランプ15は、正方形の4隅に配された状態で紫外線透過管6内に設置されている。
【0020】
紫外線透過管6内の4本の紫外線ランプ15の中間には、図3及び図4に示すように、紫外線透過管6の軸に沿って、筒状の反射部材23が設置されている。筒状の反射部材23は、紫外線ランプ15の対向する面部分に沿って湾曲した4つの側壁で形成されており、湾曲した4つの側壁の外面が反射面25となっている。反射部材23は、防食性の材料であるアルミニウムやステンレスなどで形成されており、反射面25は、バフがけや電解研磨などによって磨くことにより、鏡面状態に加工されている。
【0021】
紫外線照射ユニット3を構成する紫外線透過管6の開口端部には、図1及び図2に示すように、紫外線の影響を受け難い合成樹脂などの材料で形成された略円盤状のシールキャップ27が水密に取り付けられている。シールキャップ27の中心部には、乾燥気体、例えば乾燥空気を紫外線照射ユニット3内に供給するための乾燥気体管路29が紫外線照射ユニット3の外側から内側に水密に挿通されている。乾燥気体管路29は、図3に示すように、上側ランプ支持部材21の中心部にも挿通されており、乾燥気体管路29の開口端部は、筒状の反射部材23内に位置している。なお、乾燥気体管路29は、図示していないブロワーやボンベなどに連結されており、乾燥気体管路29と図示していないブロワーやボンベなどとは、紫外線照射ユニット3内に乾燥気体を供給する乾燥気体供給手段を構成している。
【0022】
さらに、シールキャップ27には、図1及び図2に示すように、紫外線照射ユニット3内の気体を排気する排気管路30が紫外線照射ユニット3の外側から内側に水密に挿通されている。排気管路30の開口端部は、上側ランプ支持部材21よりもシールキャップ27側に位置している。また、シールキャップ27には、ソケット17からの配線31が水密に挿通されることによって、配線31が紫外線照射ユニット3の外側に導かれている。配線31は、図示していない安定器や電源などからなる紫外線ランプ点灯手段に連結されている。
【0023】
支持フレーム5は、防食性の材料、例えばステンレスやアルミニウムなどの金属や合成樹脂などで形成されており、略平板状の台座部33、平板状で紫外線照射ユニット3のシールキャップ27側の端部を支持する支持板35、台座部33と支持板35の間に設けられた2本の支持棒37などで構成されている。台座部33の上面には、紫外線照射ユニット3の半球状の端部に対応する形状の窪みが形成された支持台38が、紫外線照射ユニット3の設置位置に対応する位置に取り付けられている。支持板35には、紫外線照射ユニット3の設置位置に対応する位置に紫外線照射ユニット3の外径と同じ径の貫通穴が形成されている。
【0024】
本実施形態の支持フレーム5は、3本の紫外線照射ユニット3を支持するものであり、支持板35には、図2に示すように、支持板35の中心を取り巻くように等間隔に3つの貫通穴が形成されている。そして、台座部33には、支持板35に形成された3つの貫通穴に対応する位置に支持台38が設置されている。紫外線照射ユニット3は、図1及び図2に示すように、支持板35の貫通穴に挿通され、紫外線照射ユニット3の半球状の端部が台座部33の支持台38の窪みに挿入されることで支持フレーム5に支持されている。なお、支持棒37は、紫外線照射ユニット3よりも外側に設置されている。
【0025】
モータ9は、支持板35の上面の中心部に取り付けられている。モータ9の軸に連結された回転軸11は、支持板35の中心に形成された貫通穴に挿通され、回転軸11の端部は、台座部33の中心に設けられたフート軸受け39によって回転自在に支持されている。回転軸11の外表面には、図示していないが、ねじ山が切ってある。ワイパ7は、防食性の材料、防食性の材質、例えばステンレスやテフロンなどで形成されており、回転軸11のねじ山に螺合する筒状のナット部41、ナット部41に固定され紫外線照射ユニット3の外径と同じ径の穴を有するリング状部43、そしてリング状部43に固定され、支持棒37が挿通された筒状部45などで形成されている。なお、ワイパ7は、ナット部41、リング状部43、そして筒状部45などを一体に形成することもできるし、別々の材料で形成したナット部41、リング状部43、そして筒状部45などを連結して形成することもできる。
【0026】
このような構成の紫外線照射装置1の動作と本発明の特徴部について説明する。本実施形態の紫外線照射装置1は、被処理流体、例えば被処理水が通流する流路中に、紫外線照射装置1の支持フレーム5の台座部33を該流路の底面47上に置くことで据え付けられる。そして、紫外線照射装置1の紫外線照射ユニット3は、図1及び図2に示すように、紫外線照射ユニット3の延在方向に交わる方向に流れる被処理水に対して紫外線を照射する。
【0027】
このとき、本実施形態の紫外線照射装置1では、1本の紫外線ランプに変わるものとして、4本の紫外線ランプを内包する紫外線照射ユニット3を有している。したがって、1個の紫外線照射ユニット3からの紫外線放射密度は、紫外線照射ユニット3内の複数本の紫外線ランプ15からの放射束に応じたものとなるため、1本の直管状の紫外線ランプによって紫外線を放射した場合よりも高くなる。したがって、1個の紫外線照射ユニット3によって必要な紫外線強度が得られる範囲が広くなり、隣り合う紫外線照射ユニット3の間隔は、直管状の紫外線ランプを個々に設けた場合よりも広くできる。
【0028】
ここで、反射部材23を設けていない紫外線照射ユニット49を例として紫外線放射照度が高くなることを模式的に示したのが図5である。図5では、A点には4本の紫外線ランプ15からの紫外線が、B点には2本の紫外線ランプ15からの紫外線が到達している。このときの紫外線照射ユニット49の紫外線の放射照度分布を例示したのが図6である。なお、反射部材を備えていない場合、図5において破線で示したように、紫外線照射ユニット49内の隣り合う紫外線ランプ15に照射された紫外線は、その紫外線が照射された紫外線ランプ15に吸収されてしまう。そこで、本実施形態の紫外線照射ユニット3では、図3及び図4に示すように、内部に反射部材23が設置されており、紫外線照射ユニット49のように反射部材23が設置されていない場合に、隣り合う紫外線ランプ15で相互に吸収される紫外線を低減し、紫外線ランプ15から放射される有効紫外線放射量を増大できる。
【0029】
ところで、紫外線照射ユニット3は、被処理水中に浸かった状態であるため、被処理水中の微生物や有機物質などの不純物などの汚れが紫外線照射ユニット3の紫外線透過管6の外表面に付着し、この付着物によって被処理水への紫外線照射量が低下してしまう場合がある。このため、本実施形態の紫外線照射装置1は、ワイパ7を備えている。ワイパ7は、必要な紫外線放射照度が得られなくなった場合、または予め設定された時間が経過した場合などに、モータ9が駆動されることで、回転軸11が回転し、回転軸11に螺合しているワイパ7のナット部41が回転軸11に沿って移動し、ワイパ7のリング状部43が紫外線照射ユニット3の外表面を払拭しながら紫外線照射ユニット3の延在方向に沿って移動する。これにより、紫外線照射ユニット3の外表面に付着した汚れが除去される。
【0030】
このようなワイパ7を設けた場合、隣り合う紫外線照射ユニット3間の間隔は、ワイパ7によって制限される。本実施形態の場合、ワイパ7を取り付けるためには、紫外線照射ユニット3間の間隔は、4〜5cm以上開ける必要がある。例えば管径が15mmの紫外線ランプを個々に紫外線透過管に挿入したものを配置した従来の紫外線照射装置では、隣り合う紫外線透過性の管の間隔を4〜5cm程度開けると、隣り合う紫外線透過性の管の間を流れる被処理水に必要な紫外線放射照度にならない領域が生じてしまう。しかし、本実施形態の紫外線照射装置1の紫外線照射ユニット3では、必要な紫外線強度が得られる範囲を広げることができるため、4〜5cm程度間隔を空けて設置しても隣り合う紫外線照射ユニット3の間を通流する被処理水は、その通流する位置などに関係なく処理に必要な紫外線照射量を受けることができる。
【0031】
また、本実施形態の紫外線照射装置1では、紫外線照射ユニット3が紫外線を放射している間、紫外線照射ユニット3内に乾燥気体供給手段によって乾燥気体、例えば乾燥空気などが供給されている。乾燥気体管路29を介して紫外線照射ユニット3内に流入した乾燥気体は、図1における破線の矢印で示すように、筒状の反射部材23内を下向きに通流して紫外線照射ユニット3の半球状の閉塞された端部に流れ、紫外線照射ユニット3の半球状の閉塞された端部に設けられた中空の半球状の部分を有する下側ランプ支持部材19内でUターンし、今度は反射部材23の外側、つまり紫外線ランプ15の周囲を上昇する。この乾燥気体の流れにより、紫外線ランプ15から紫外線照射ユニット3内の空気に紫外線が照射されることにより発生するオゾンを、排気管路30を介して排出して除去できる。紫外線ランプ15としてオゾンレスランプを用いた場合であっても、微量のオゾンが生成される。紫外線照射ユニット3内にオゾンがあると、そのオゾンによって、反射部材23の反射面25が曇ってしまうが、本実施形態では、乾燥気体を紫外線照射ユニット3内に通流させることにより、オゾンを排出しているため、反射部材23の反射面25が曇り難い。また、乾燥空気が紫外線照射ユニット3内を通流するため、結露も起こり難く、紫外線照射ユニット3の紫外線透過管6の底部に結露水が溜まるのを防ぐことができる。
【0032】
このように本実施形態の紫外線照射装置1では、1個の紫外線照射ユニット3からの紫外線放射密度は、複数本の直管状の紫外線ランプ15からの放射束に応じたものとなる。このため、1個の紫外線照射ユニット3からの紫外線放射密度は、1本の直管状の紫外線ランプからの紫外線放射密度よりも高くなる。このため、1個の紫外線照射ユニット3によって必要な紫外線強度が得られる範囲は、1本の直管状の紫外線ランプを個々に設置した場合よりも広くなるため、隣り合う紫外線照射ユニット3の設置間隔は、1本の直管状の紫外線ランプを個々に設置した場合よりも広くできる。これにより、隣り合う紫外線ランプ間にごみなどが引っかかったり、ワイパの設置によって必要な間隔で紫外線ランプを配置できなくなることなどにより、被処理流体が処理に必要な紫外線照射量を受けられなくなってしまう状態が生じ難くなる。さらに、紫外線照射ユニット3は、紫外線ランプとして、製造において放電管の折り曲げ加工などが必要なく、また、冷却器や比較的高価な安定器などの必要がない直管状の紫外線ランプ15を用いて形成されている。したがって、装置コストを抑えながら処理能力を向上できる。
【0033】
さらに、紫外線照射ユニット3は、反射部材23を有しているため、紫外線照射ユニット3内の隣り合う紫外線ランプ15によって相互に吸収される紫外線を低減し、紫外線ランプ15の有効紫外線放射量をより増大できる。
【0034】
加えて、本実施形態の紫外線照射装置1では、紫外線照射ユニット3内に乾燥気体を供給する乾燥気体供給手段を設けているので、紫外線照射ユニット3内での結露を抑えることができる。さらに、紫外線照射ユニット3内の乾燥気体は、乾燥気体管路29を介して筒状の反射部材23内に導かれ、反射部材23内を通流した後、紫外線ランプ15の周囲を通流して排気管路30を介して排出されるため、紫外線照射ユニット3内で発生したオゾンを排出でき、オゾンによる反射部材23の反射面25の曇りの発生を抑えることができる。したがって、反射面25の曇りの発生による紫外線照射ユニット3の紫外線放射能力の低下を抑えることができる。なお、オゾンの排除のみを目的とする場合には乾燥気体を用いる必要はない。また、結露を抑えることを目的とする場合には、乾燥気体の通流経路は、本実施形態のような経路にする必要はない。
【0035】
また、本実施形態では、反射部材23を設けた紫外線照射ユニット3を備えているが、図5及び図6に示すような、反射部材23を設けていない紫外線照射ユニット49を備えた構成にすることもできる。反射部材23を設けるか否かは、必要とされる紫外線照射強度が得られる範囲などに応じて選択する。さらに、本実施形態では、反射部材23の反射面25は、紫外線ランプ15の外周に沿う湾曲した面に形成されているが、反射面25は平面にすることもできる。また、反射部材を図7に示すような円筒状に形成し、反射面51を円筒状の反射部材53の外周面に形成することもできる。反射面25を平面や円筒状の反射部材の外周面にした場合、コストを低減することができるが、反射面を本実施形態の反射面25のような湾曲面にした方が、紫外線ランプによる紫外線の相互の吸収をより低減できる。
【0036】
また、本実施形態では、紫外線照射ユニット3は、4本の紫外線ランプ15を内包しているが、紫外線ランプの本数は、必要な紫外線照射量などに応じて適宜選択できる。さらに、本実施形態では、紫外線透過管6の内径を60mm〜150mmとしているが、紫外線透過管6の内径は適宜選択できる。ただし、反射部材を設けない場合には、内径が大きいほど、紫外線ランプ相互の吸収を低減できるが、内径が大きくなると、装置の容積効率が低くなってしまう。したがって、紫外線透過管の内径は、15mm径の紫外線ランプ4本を設置する場合、60mm〜150mmであることが望ましい。
【0037】
また、本発明は、本実施形態のような構成の紫外線照射装置に限らず、例えば被処理流体を収容する槽内に設置する紫外線照射装置やワイパ7を備えていない紫外線照射装置など、様々な目的に用いる様々な構成の紫外線照射装置に適用できる。
【0038】
【発明の効果】
本発明によれば、装置コストを抑えながら処理能力を向上できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用してなる紫外線照射装置の一実施形態の概略構成及び動作を示す側面図である。
【図2】本発明を適用してなる紫外線照射装置の一実施形態の概略構成及び動作を示す平面図である。
【図3】本発明を適用してなる紫外線照射装置の一実施形態における紫外線照射ユニットの概略構成を示す図1のIII−III線での断面図である。
【図4】本発明を適用してなる紫外線照射装置の一実施形態における紫外線照射ユニットの概略構成を示す図1のVI−VI線での断面図である。
【図5】紫外線照射ユニットから放射される紫外線の状態を説明する模式図である。
【図6】1個の紫外線照射ユニットでの紫外線放射照度の分布の一例を示す図である。
【図7】本発明を適用してなる紫外線照射装置の反射部材の変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 紫外線照射装置
3 紫外線照射ユニット
5 支持フレーム
6 紫外線透過管
7 ワイパ
15 紫外線ランプ
Claims (4)
- 複数本の直管状の紫外線ランプを1本の紫外線透過管に挿入した紫外線照射ユニットを備え、該紫外線照射ユニットは、前記複数の紫外線ランプの間に挿入され、前記紫外線ランプの延在方向に沿う方向に設置された反射部材を有し、該反射部材は、前記複数の紫外線ランプに対向する面が反射面となっている紫外線照射装置。
- 複数の前記紫外線照射ユニットを支持する支持フレームと、該支持フレームに支持された前記紫外線照射ユニットの紫外線透過管の外表面を払拭するワイパとを備えたことを特徴とする請求項1に記載の紫外線照射装置。
- 前記紫外線照射ユニットの紫外線透過管内に乾燥気体を供給する乾燥気体供給手段と、前記紫外線透過管内の気体を排気する排気管路とを設けたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の紫外線照射装置。
- 前記紫外線照射ユニットは、前記複数の紫外線ランプの間に挿入され、前記紫外線ランプの延在方向に沿う方向に設置された反射部材を有し、該反射部材は、前記紫外線照射ユニットの紫外線透過管の一端部に開口が位置する筒状で、前記複数の紫外線ランプに対向する外面が反射面となっており、前記紫外線透過管の他端部側にある前記筒状の反射部材の開口内に開口端部が位置する乾燥空気管路を介して該筒状の反射部材内に気体を供給する気体供給手段と、前記紫外線透過管の他端部側にある前記筒状の反射部材の開口よりも前記紫外線透過管の他端部側に開口端部が位置する排気管路とを設けたことを特徴とする請求項1または2に記載の紫外線照射装置。
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