JP3720284B2 - レーザプラズマ極紫外光源及びレーザプラズマ極紫外光線の発生方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、全体として、極紫外光源、より具体的には、レーザプラズマを発生させる標的材料として液体スプレーを採用するフォトリソグラフィ装置用のレーザプラズマ極紫外光源に関する。
【0002】
【従来の技術】
マイクロエレクトロニクス集積回路は、典型的に、マスクを通って伝播する光ビームにより回路要素が画定される、当該技術分野の当業者に周知のフォトリソグラフィ法によって基板上にパターンが形成される。フォトリソグラフィ法及び集積回路構造技術の進歩に伴い、回路要素はより小型化し且つその分離程度はより狭くなっている。回路要素がより小型化するに伴い、より短い波長及びより大きい周波数を有する光ビームを発生させるフォトリソグラフィ光源を採用することが必要となる。換言すれば、光源の波長が短くなるに伴ってフォトリソグラフィ法の分解能が増大し、より小型の集積回路要素を画成することが可能となる。現在の技術のフォトリソグラフィ光源は、極紫外(EUV)又は軟X線波長(13.4nm)の光を発生させる。
【0003】
EUV光線を発生させる種々の装置が当該技術分野にて既知である。最も一般的なEUV光源の1つは、レーザプラズマ標的材料(target material)として、典型的にキセノンであるガスを使用するレーザプラズマ、ガス凝縮源である。レーザ標的材料としてクリプトンのようなその他のガス及びガスの組み合わせが既知である。このガスは、強制的にノズルを通されて、ガスが膨張するとき、このガスは凝縮して、当該技術分野でクラスターとして既知の極めて小さい粒子の煙又はジェットを形成する。凝縮体すなわちクラスタージェットは、典型的に、Nd:YAGレーザからの高パワーのレーザビームにより照射されて、このレーザビームは、クラスターを加熱して、EUV光源を放射する高温プラズマを発生させる。クビエック(Kubiak)に対して発行された米国特許第5,577,092号には、この型式のEUV光源が開示されている。
【0004】
図1は、ノズル12と、レーザビーム源14とを有するEUV光源10の平面図である。図2は、ノズル12の拡大図である。ガス16は、ガス源(図示せず)からノズル12のネック部分18を通って流れ、ノズル12の狭隘な喉状部分20を通して加速される。次に、この加速されたガス16は、ノズル12の拡張部分24を通って流れ、この拡張部分24にてガスは膨張し且つ冷却して、また、ノズル12から排出される。ガスが冷却し且つ凝縮するに伴い、そのガスは、クラスター28のジェットスプレー26に変化する。
【0005】
レーザビーム源14からのレーザビーム30は、合焦光学素子32によりクラスター28上に合焦される。レーザビーム30からの熱は、EUV光源36を放射するプラズマ34を発生させる。ノズル12は、プラズマ発生過程の熱及び過酷さに耐え得るような設計とされている。EUV光線36は、コレクタ光学素子38により集められ且つパターンが形成される回路(図示せず)に向けられる。このコレクタ光学素子38は、放物線状の形状のような、光線36を集める目的のため任意の適当な形状とすることができる。この設計において、レーザビーム30は、コレクタ光学素子38の開口部40を通って進む。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上述したレーザプラズマEUV光源には、多数の欠点がある。特に、レーザ光線をEUV光線に変換する望ましい効率を実現するため十分に大きい液滴スプレー又は十分に大きい液滴を発生させることは難しい。クラスター28は、直径が極めて小さく、従って、十分な質量を有しないため、レーザビーム30によりクラスター28の一部分は、EUV光線36を発生させるのに十分な温度まで加熱される前に分解してしまう。ガス凝縮EUV源により発生された液滴の典型的な直径は、0.01ミクロン以下であり、0.1ミクロンよりも著しく大きいクラスターを発生させることは極めて難しい。しかし、直径約1ミクロンの粒子寸法は、EUV光線を発生させる上でより望ましい。更に、凝縮過程を最大にするのに必要とされる大きい膨張程度は、拡散霧すなわちクラスターのジェットを発生させ、小さいプラズマ寸法の光学的必要条件と適合しない。
【0007】
EUV光線の発生を向上させるためより大きい液滴を発生させることのできるレーザプラズマEUV光源が必要とされる。このため、本発明の1つの目的は、かかるEUV光源を提供することである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の教示に従い、当該技術分野で従来から既知のものよりもプラズマ標的材料に対しより大きい液滴を発生させるレーザプラズマEUV光源が開示される。このEUV光源は、ガスをノズルに強制的に通すのに代えて、液体、好ましくは、キセノンをノズルに強制的に通す。ノズルの幾何学的形状及びノズルを通って進む液体の圧力は、液体を噴霧して、高密度の液滴スプレーを形成する。液滴は液体から形成されるため、これら液滴の寸法は大きく、EUV光源をより発生させ易い。ノズルを通される前に、気体状キセノンを液体のキセノンに変換するため熱交換器が使用される。
【0009】
本発明の更なる目的、有利な点及び特徴は、添付図面と共に参照することにより、以下の説明及び特許請求の範囲の記載から明らかになるであろう。
【0010】
【実施の形態の説明】
液体レーザ標的材料を使用するレーザプラズマ極紫外光源に関する好ましい実施の形態の以下の説明は、性質上、単に一例にしか過ぎず、本発明又はその適用例或いはその用途を何ら限定することを意図するものではない。
【0011】
図3は、本発明の1つの実施の形態によるレーザプラズマEUV光源50の平面図である。光源50は、集積回路にパターンを形成するためフォトリソグラフィ装置内で特に使用されるが、当該技術分野の当業者により理解されるように、EUV光源又は軟X線光源のようなその他の用途にて使用することも可能である。装置50は、キセノン又はクリプトンのような適当なプラズマ標的ガス54の供給源52を含む。これらのガスは、本来、気体状態で生ずるから、ガス54の温度を降下させて、これによりガス54を液体58に変換すべく熱交換器60が採用される。次に、ノズル64のネック部分62に液体58を強制的に通す。
【0012】
ノズル64は、狭隘な喉状部分66を有している。喉状部分66を通る液体58の圧力及び流量、並びにノズル64の形状により、液体58がノズル64の拡張部分74を通って進むとき、液体58は瞬時に分散して、高密度の液滴72のスプレー70を形成する。この実施の形態において、喉状部分66は、円形の断面を有し、拡張部分74は円錐形の形状を有する。しかし、代替的な実施の形態において、これらの形状を別のものとすることができ、例えば、喉状部分66の下流に急激な拡張部分を含めることができる。1つの実施の形態において、この喉状部分66の直径は約50ミクロンであり、ノズル64の出口端68の直径は300乃至500ミクロンの範囲にある。
【0013】
レーザ源は、液滴72に向けて進むレーザビーム78を発生させる。プラズマ80は、レーザビーム78と液滴72との相互作用により発生される。プラズマ80は、EUV光線82を発生させ、この光線は、コレクタ光学素子により集められ、このコレクタ光学素子は、EUV光線を合焦光学素子(図示せず)に向ける。液滴72は、従来のガス凝縮レーザプラズマ源により形成される液滴よりも直径が大きいため、これらの液滴はレーザ対EUVエネルギの変換率をより大きくする。1つの実施の形態において、液滴72の平均直径は約1ミクロンである。
【0014】
ノズル64内での液体58の分散は、一般に、霧状化として既知の多数の物理的過程の1つ又は2つ以上を介して瞬時に行われる。液体58は、より多数の液滴72に分散し、これらの液滴は個々には、レーザスポットの寸法よりも遥かに小さいが、全体として、レーザ標的として機能する高密度のを形成する。これらの個々の過程は、キャビテーション、沸騰、液体表面における粘弾性不安定さ、乱流による分散、液体とその発生した蒸気との間の空気力学的相互作用を含むが、当然にこれらにのみ限定されるものではない。
【0015】
ノズルの幾何学的形状及び液体58の流れ状態を最適化することにより、プラズマ発生過程によるノズル64の損傷を少なくする助けとなるように、ノズルの端部68からより好ましい距離にて適正な寸法の液滴の所望の密度を提供することができる。この従来技術のガス凝縮ノズルの幾何学的形状は、レーザビームがノズルの端部付近にて液滴に衝突するようなものとされている。このことは、この過程の結果としてノズルの加熱及び腐食を生じさせていた。更に、既知のガス凝縮源の場合、ノズルは、EUV光線を発生させるのに十分に大きい液滴を提供し得るように著しく大きくなければならなかった。この大きい寸法のため、ノズルは、小さい寸法ならば、集められるであろうEUV光線の一部分を実際に不鮮明にしていた。
【0016】
本発明において、より小さい拡張部分74を通して液滴72の所望の質量を実現することができるから、ノズル64の実際の寸法を小さくすることができる。このより小さいノズルは、EUV光線を不鮮明にすることが少ない。更に、レーザビーム78は、ノズル64の端部68から更に遠方に動かすことができ、これにより、ノズル64の腐食及び加熱を少なくすることができる。
【0017】
上述した説明は、本発明の単に一例としての実施の形態を開示しかつ記述したものである。当該技術分野の術当業者は、特許請求の範囲に記載された本発明の精神及び範囲から逸脱せずに、上記の説明、添付図面及び特許請求の範囲から色々な変更、改変例及び変形例を具体化することが可能であることが容易に認識されよう。
【図面の簡単な説明】
【図1】既知のレーザプラズマ、ガス凝縮、極紫外光源の平面図である。
【図2】図1に図示した光源のノズルの拡大図である。
【図3】本発明の1つの実施の形態による、ノズルを通して噴射される液体を含む、レーザプラズマ、極紫外光源の平面図である。
【符号の説明】
10 EUV光源 12 ノズル
14 レーザビーム源 16 ガス
18 ネック部分 20 狭隘な喉状部分
24 拡張部分 26 ジェットスプレー
28 クラスター 30 レーザビーム
32 合焦光学素子 34 プラズマ
36 EUV光線 38 コレクタ光学素子
40 開口部 50 レーザプラズマEUV光源
52 供給源 54 プラズマ標的ガス
58 液体 60 熱交換器
62 ネック部分 64 ノズル
66 喉状部分 68 出口端
70 スプレー 72 液滴
74 拡張部分 78 レーザビーム
80 プラズマ 82 EUV光線
Claims (9)
- レーザプラズマ極紫外光源において、
プラズマ標的材料を液体状態で供給するように動作できる標的供給装置と、
供給端部と、出口端部と、該供給端部と出口端部との間の狭隘な喉状部分とを有するノズルであって、該供給端部がプラズマ標的材料を受け取り、出口端部からプラズマ標的材料を液滴のスプレーに微粒化して放出するノズルと、
レーザビームを前記ノズルから放出された液滴のスプレーに向けて放出するように動作できるレーザビーム源であって、前記レーザビームが前記複数の液滴を加熱し、これにより極紫外光線を発生させるレーザビーム源と、
を備える光源。 - 請求項1による光源において、標的供給装置が、ガス状態の標的材料の供給源と、ガスの温度を降下させ該ガスを凝縮して液体にする、熱交換器とを備える、光源。
- 請求項1による光源において、ノズルが、狭隘な喉状部分と出口端部との間に拡張部分を更に備え、前記液滴のスプレーが、前記喉状部分の下流の前記拡張部分内でのキャビテーション、沸騰、液体表面における粘弾性不安定さ、乱流による分散、液体とその発生した蒸気との間の空気力学的相互作用の一つ又はそれ以上の作用によって形成される、光源。
- 請求項1による光源において、液体がキセノンの液体である、光源。
- 極紫外光線を発生させる方法において、液体標的材料の供給源を提供するステップと、ノズル内の狭隘な喉状部分に通して液体標的材料を強制的に通すステップと、液体標的材料を霧状にしてノズルから出る液滴スプレーにするステップと、レーザビームを液滴スプレーと相互作用させ、極紫外光線を発生させるステップとを備える、方法。
- 請求項5による方法において、液体標的材料を提供するステップがキセノンガスを冷却することを含む、方法。
- 請求項5による方法において、液体標的材料を液滴スプレーにするステップが、ノズルの拡張部分内で、キャビテーション、沸騰、液体表面における粘弾性不安定さ、乱流による分散、液体とその発生した蒸気との間の空気力学的相互作用の一つ又はそれ以上の作用によって液体を膨張させることを含む、方法。
- 請求項1のレーザプラズマ極紫外光源において、前記ノズルの喉状部分は50μmの直径を有し、前記出口端部は300〜500μmの直径を有する光源。
- 請求項1のレーザプラズマ極紫外光源において、前記各液滴が略1μmの直径を有する光源。
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