JP3713468B2 - インクジェット方式のカラーフィルタ製造方法および装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、本発明はインクジェット方式のカラーフィルタ製造方法および装置に関し、特に、リアルタイムに校正することができる位置合わせ機能を有するとともに、印加される電界を通じてインクの液滴を均一に広げることができる、インクジェット方式のカラーフィルタ製造方法および装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
カラーフィルタは、主として3つの分野で使用される。第1に、カラーフィルタは、CCD(電荷結合素子)などのイメージセンサにおいて用いられ、第2に、液晶シャッタなどのラインセンサにおいて用いられ、第3に、TN(Twisted Nematic)、STN(Super Twisted Nematic)、およびTFT(薄膜トランジスタ)、LCD(液晶ディスプレイ)などのディスプレイにおいて用いられる。これらの製品の需要が増加するにつれて、カラーフィルタの需要も増大している。したがって、カラーフィルタの製造コストを低減することが、この分野の重要な問題となってきている。
【0003】
従来のカラーフィルタ製造方法は、4つのタイプに大別することができる。そして、どの方法であっても、着色、クリーニング、乾燥、現像、およびエッチングを含む比較的複雑な工程を要求するものであり、製造コストを低減することは、かなり困難であった。そこで、さらなるコストの低減を目的とし、大きな技術的進歩といえるインクジェット式の製造方法の発明がなされた。このインクジェット式の製造方法は、フィルタ基板のブラックマトリックス(画素周囲の黒い地の部分)の凹部内へインクの液滴(インクドロップレット)を直接的に打ち込む。異なる種類のフィルタは、異なるカラー描画パターンを有する。一般的には、赤(R)、緑(G)、および青(B)の色は、基本画素要素とされる。他の半導体製造方法と比較すると、このインクジェット式の製造方法は、装置、各種材料、および製造にかかる各コストを相対的に軽減することができる。
【0004】
しかしながら、このインクジェット方式のカラーフィルタ製造方法は、インクの液滴を所定の位置でプリントし、かつ白抜け(white omissions)が発生しないようにするために、高精度の位置決めをおこなわねばならない。一般的には、この高精度の位置決めのために光学的な修正方法が用いられる。従来技術は、インク吸収層、すなわち、インク液滴がプリントされるようにフィルタ基板上の上記凹部内に設けられた薄いインク吸収層を設計するものである。インク吸収層の拡散能力は、インク液滴の分布を所望の領域内に制限する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述した方法は、解決すべき多くの課題を抱えている。第1に、インク吸収層の設計は、コストおよび製造工程の増加を招く。インク液滴がインク吸収層に拡散した後における、インク吸収層の拡散能力および液滴のランディング位置の精度は、インク液滴の分布を所望の領域内に制限するが、その結果として、上記の凹部内において、白抜け、または色素混合を生じさせる。このことは、カラーフィルタの品質をかなり低下させるおそれがある。さらに、位置決めに使用される光学的システムは、プリント時においてリアルタイムでない校正(ノンリアルタイム校正)をするものであるか、位置ずれを決定するためにリアルタイムなアナログ信号を解析するものである。すなわち、それらの技術は、センサによって検出される光強度分布によって位置ずれを決定するものである。しかしながら、光強度分布は光源とセンサの相対位置におけるエラーに起因して変化してしまうおそれがあるので、トラフとセンサの頂部との位置関係を正確にマッピングすることができない。さらに、検出センサとインクジェットプリントヘッドとは一緒に製作される。したがって、上述したコストの高騰の問題を別としても、プリントヘッドが、目詰まりを起こし、清浄な状態に保たれない場合には、センサを清浄な状態に保つことが難しい。したがって、プリントヘッド上のノズルの使用価値が低下してしまう。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記の問題を解決するために、本発明は、インクジェット方式のカラーフィルタ製造方法および装置を提供する。これらのカラーフィルタ製造方法および装置は、インクの液滴の塗布をさらに正確なものとするように、リアルタイムの位置修正を与える。基板上のインク液滴を均一化するために電界が印加され、液滴の外形を変形し、ぬれ性を改善する。このぬれ特性は、従来技術において設計されたインク吸収層の代わりを担う。したがって、本発明は、製造工程を簡単化し、製造コストの低減をもたらす。
【0007】
本発明のインクジェット方式のカラーフィルタ製造装置は、電界発生器、可動プラットホーム、インクジェット式プリントヘッドモジュール、光学式検出系、および制御系を備える。可動プラットホームは、カラーフィルタ基板を支持する。その基板上のブラックマトリックスは、インクの液滴を収容するための格子構造を形成する。このブラックマトリックスの機能は、色素混合を防止し、色の鮮鋭度を強めることである。フォトレジスト層は、インク液滴の飛散(スパッタリング)を防ぐための遮蔽壁を構成するために、ブラックマトリックスの上を被覆する。光学式検出系は、フィルタ基板上の上記の格子構造とインクジェット式プリントヘッドモジュールとの間の位置ずれを検出し、フィルタ基板とインクジェット式プリントヘッドのノズルとの相対的な位置を瞬時に校正し、高精度のプリントを達成する。光学式検出系の光源は、フィルタ基板の下方に設けられ、検出器は、基板を通じて貫通された光の強度を直接的に測定する。この検出器(たとえば、CCD)におけるアナログ信号は、ブラックマトリックスの格子構造の中央位置を高精度に決定するためのデジタル信号に変換される。インクの液滴が基板上に到達した後に、電界発生器は、電界(交流電界または直流電界)をインクの液滴へ印加する。したがって、その液滴は、電気毛管効果を受けて、所定の格子範囲内に均一的に広がって分布する。本発明は、インク吸収層を設けることなく、インクの液滴の良好な分布を達成する。この開示された製造方法によれば、電極が、まずフィルタ基板上に配置される。その電極は、フィルタ基板の表面に配置されてもよく、または裏面に配置されてもよい。プリント工程においては、インクの液滴が帯電された後に、このインク液滴へ電界が印加されて、この結果、インク液滴を格子状の印刷フレーム内に均一に分布させる。そして最後に、基板上のインクを乾燥して、キュアリングする。
【0008】
具体的には、本発明の目的は以下の構成により達成される。
【0009】
(1)本発明のインクジェット方式のカラーフィルタ製造装置は、導電性インクの液滴をカラーフィルタ基板上にプリントするとともに当該インクの液滴を均一に分布させる、インクジェット方式のカラーフィルタ製造装置であって、少なくとも一つのノズルと、前記カラーフィルタ基板上へ前記インクの液滴を塗布するための個別のプリントヘッドを備える各色の着色剤と、を備えるプリントヘッドモジュールと、前記カラーフィルタ基板を支持しつつ、当該カラーフィルタ基板と前記プリントヘッドモジュールとを相対的に移動させる可動プラットホームと、インクが前記カラーフィルタ基板に塗布された後に、当該インク付きのカラーフィルタ基板に電界を印加することにより電気毛管効果を生じさせて、当該塗布された後のインクの液滴を変形させて均一に分布させる電界発生器と、前記カラーフィルタ基板と前記ノズルとの相対的な位置を検出する光学式検出系と、前記プリントヘッドモジュール、前記可動プラットホーム、前記電界発生器、および前記光学式検出系を制御する制御系と、を備えることを特徴とする。
【0010】
(2)上記の光学式検出系は、前記カラーフィルタ基板上に設けられたプリントフレームの境界のトラックを検出し、前記カラーフィルタ基板と前記ノズルとの相対的な位置を確認する。
【0011】
(3)上記のプリントフレームは、2次元のブラックマトリックスである。
【0012】
(4)上記の光学式検出系は、前記カラーフィルタ基板の下方にある光源を用いて、当該カラーフィルタ基板を通過した光の強度を検出し、前記カラーフィルタ基板とノズルとの相対的な位置を決定する。
【0013】
(5)上記の電界発生器は、直流および交流からなる群から選択される電流を用いて前記電界を生じさせる。
【0014】
(6)上記の電界発生器は、互いに反対の極性を持った二つの電極を含んでおり、当該電極は、インクの液滴の両側に設けられる。
【0015】
(7)上記の電極の一方は、前記プリントヘッドモジュールの一側部にあり、電極の他方は、前記カラーフィルタ基板の一の面に設けられる。
【0016】
(8)上記のプリントヘッドモジュールの一側部にある電極は、当該プリントヘッドモジュールと一体化されている。
【0017】
(9)上記のプリントヘッドモジュールの一側部にある電極は、当該電極と前記プリントヘッドモジュールのノズルとの間の相対的な距離を変更するために当該電極およびカラーフィルタ基板を調整する第1高さ調整部を備える。
【0018】
(10)上記の電極の一方は、前記プリントヘッドモジュールの一側部にあり、前記電極の他方は、前記カラーフィルタ基板の底面に配置される。
【0019】
(11)上記のプリントヘッドモジュールは、当該プリントヘッドモジュールと前記カラーフィルタ基板との間の相対的な距離を調整する第2高さ調整部を有する。
【0020】
(12)本発明のインクジェット方式のカラーフィルタ製造方法は、導電性インクの液滴をカラーフィルタ基板上にプリントするとともに当該インクの液滴を均一に分布させる、インクジェット方式のカラーフィルタ製造方法であって、前記カラーフィルタ基板上に電極を設ける工程と、前記カラーフィルタ基板上にプリントフレームを形成する工程と、前記カラーフィルタ基板とノズルとを位置合わせする工程と、前記プリントフレームの内側にインクの液滴を吐出する工程と、インクが前記カラーフィルタ基板に塗布された後に、前記電極によって前記インクの液滴に電界を印加して、当該塗布された後のインクの液滴を変形させて均一に分布させる工程と、を有することを特徴とする。
【0021】
(13)上記の電極は、前記カラーフィルタ基板の上面に設けられる。
【0022】
(14)上記の電極は、前記カラーフィルタ基板の底面に設けられる。
【0023】
(15)上記のカラーフィルタ基板において、さらに、インクの液滴の飛散を防止する遮蔽壁が前記プリントフレーム上に形成される。
【0024】
(16)上記のさらに、前記カラーフィルタ基板へインクの液滴が吐出された後に、前記遮蔽壁を取り除く工程を有する。
【0025】
(17)上記のプリントフレームは、二次元のブラックマトリックスである。
【0026】
(18)上記のカラーフィルタ基板とノズルとの位置合わせは、前記プリントフレームの境界のトラックを用いて達成される。
【0027】
(19)上記のカラーフィルタ基板に前記インキの液滴を塗布した後に、キュアリングする工程を備える。
【0028】
(20)上記のキュアリングは、真空キュアリング、熱処理キュアリング、およびUVキュアリングからなる群から選ばれる。
【0029】
【発明の実施の形態】
本発明は、以下に与えられる詳細な説明により完全に理解されるが、この説明は、本発明を限定するものではない。
【0030】
図1に示されるとおり、開示されるインクジェット方式のカラーフィルタ製造装置は、インクジェット式プリントヘッドモジュール11、可動プラットホーム16、電界発生器12、光学式検出系、および制御系を有する。プリントヘッドモジュール11は、各色(赤、緑、および青)別に少なくとも一つのノズルを備えている。各色の着色剤は、インクの液滴を基板17上にプリントするための個々のプリントヘッドに対応している。可動プラットホーム16は、インクを吐出するプリントヘッドへ向けて基板1を支持する。支持フレーム14は、インクジェット式のプリントヘッドモジュール11を搭載するために設けられる。駆動モータ15は、カラーフィルタ基板17とインクジェット式プリントヘッドモジュール11とをX−Y−θの各方向に沿って相対的に移動する。
【0031】
光学式検出系は、基板17とインクジェット式プリントヘッドモジュール11との間の相対的な位置を検出するための第1光学式モジュール13および第2光学式モジュール10とを備える。第1光学式モジュール13は、たとえば、リニアCCDであってもよく、基板17の位置を検出するための用いられる。また、第2光学式モジュール10は、リニアCCDであってもよく、インクジョット式のプリントヘッドモジュール11のノズルと後述するインク液滴トラックとの間の相対的な位置関係を検出する。このように、第1光学式モジュール13は、位置の荒校正を行い、第2光学式モジュール10は、リアルタイムであり高精度の位置校正を実行する。
【0032】
基板17に対するプリントヘッドの位置および角度の校正および位置決めは、図3Aに示される。光源(図示していない)からの基板17を通過した光の強度が、第2光学式モジュール10により測定される。光源は、点光源、またはバックライトであってもよく、この点については、第1光学式モジュール13の場合も同様の設計とすることができる。位置の決定のために、光の強度はデジタル信号へ変換される。たとえば、この強度がしきい値を超えていれば、プリントフレーム内の領域であり、すなわち着色することを必要とするプリント領域であるので、値が1に設定される。一方、この強度がしきい値よりも低ければ、そのエリアの値は、0としてマークされる。これは、たとえば、プリントフレームの境界部分である。光源からの光は、基板17の下からのものとマージされる。光信号は、基板17のプリント領域を通過して投射されるが、プリントフレーム32の境界部分においては、遮光部として機能するプリントフレーム32によって遮蔽される。第2光学式モジュール10によって異なる時刻に検出された信号が、T11,T12,T13,およびT14として示されている。プリントフレーム32の寸法は一定であるので、検出トラックにおいて、上述したシグナル0の割合が、所定のしきい値(たとえば、60%以上)を超える場合には、その検出トラックはプリントフレーム32の境界のトラックT11であると判定するように、事前に設定しておくことができる。境界T11と隣の境界T14との間は、プリント領域33となる。プリントフレーム32は、二次元のブラックマトリックスであり得る。残りの検出トラックT12およびT13は、プリントフレーム32の角度ずれを決定するために用いられる。図3Bに示されるとおり、第2光学式モジュールによって受信された信号においてプリントフレームにより光が遮蔽された領域では、その値は0であり、透過光強度がしきい値よりも低い。T12およびT13において信号の値0の位置を決定することによって、プリントフレーム32の傾斜が測定される。図4Aおよび図4Bに示されるとおり、プリントフレーム32の傾斜角度は、信号T12およびT13の検出信号から読み取ることができる。傾斜角度は、この二つのトラック間の距離、モータのスピード、および複数の光学系における各CCD画素のマッピングされた物理サイズに基づいて計算される。制御系は、駆動モータ15を制御して、修正する。プリントフレーム32において、上述した4本以上のトラックを設定することができる。
【0033】
インクの液滴56がプリントされた後、電界発生器12は、これら液滴56に対して電界を加えて、電気毛管効果によってインクの液滴56が均一化される。図11に示されるとおり、基板17の上面または底面には電気毛管効果を導出するための電極17が設けられている。インクの液滴56が基板17の表面に落ちた場合、あるいは電極21が基板17の上面に設けられている場合にはインクの液滴56が電極21の表面に落ちた場合、表面張力によって表面に形成される接触角α1は鈍角となる。他の電極22(直流または交流)は、インクの液滴56へ電界を印加するために使用される。電界が印加されることによって、電気毛管効果が生じて、インクの液滴56は扁平し、接触角は、より小さくなり、鋭角α2となる(図12参照)。電流の供給を続け、または電界強度を強めることにより、最終的には、インクの液滴56を均一に分布させ(図13参照)、接触角はさらに小さい角度α3となる。
【0034】
電気毛管効果を導出するために、インクの液滴56は導電性を有している必要がある。インクの液滴56が導電性を有することによって、インクの液滴の表面において、電荷分布(正電荷をもつイオンまたは負電荷をもつ電子)に起因して表面張力が変化する結果、偏平した表面が得られる。インクの液滴56の組成は、顔料、染料、顔料分散剤、バインダー、溶媒、水溶液、界面活性剤、粘度調整剤、染料可溶化剤、キレート剤、UV遮断剤(UV耐性を増すための)、UV開始剤、電解質、正電荷または負電荷を有する小さい粒子、およびそれらの組み合わせであり得る。ここで言及された溶媒は、一般的に用いられるメタノール、メチルエチルケトン、エチレングリコールメチルエーテル、アルコール、グリコール、油、脱イオン水、樹脂のメチルエステル、スチレン−アクリル酸共重合体、塩酸ジメチルアミン、ノニル−フェノキシポリエトキシエタノール、1−メチル−2−ピロリドン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、O−ブチルベンジルフタレート、チオシアン酸カリウム、フルオロケミカルFC170C、または、ピエゾ式インクジェットプリント用溶媒もしくはサーマルインクジェットプリント用溶媒であり得る。染料は、現在利用可能な染料である。それらは、個々にまたは共に熱反応、光反応または化学反応に用いられ得る。電荷を帯びた小さい粒子とは、様々な電荷、形状、大きさ、密度、表面特性、光学的特性を有する粒子、および、インクの特性を改善するためにインクに添加することのできる有機/無機化学物質、のことである。典型的な例としては、インクの電気特性を改善するために、小さい顔料/染料粒子をインクに添加することが挙げられる。このような顔料粒子は、例えば、一般的に用いられるルチル(rutile)(Titania)、ナタセ(natase)(Titania)、硫酸バリウム、カオリン、または酸化亜鉛から選択してもよい。顔料の考えられる選択として、クロム酸鉛、シアンブルーGT55−3295(cyan blue GT55-3295)(American Cyanamid Company, Wayne, N.J.)、セブロンブリリアントレッド3B(sevron brilliant red 3B)(DuPont)、アゾゾールブリリアントブルーB(azosol brilliant blue B)(GAF, Dyestuff and Chemical Division, Wayne, N.J.)、ルバノックスレッドCP−1495(rubanox red CP-1495)(The Sherwin-Williams Company, Cleveland, Ohio)(15630)が挙げられるが、これらの顔料に限定されない。本発明におけるこの部分は従来技術においてほとんど知られているため、さらなる詳細な説明は省略する。
【0035】
印加された電界強度は、基板17の材料の表面粗さ、およびインクの液滴56の性質ならびに移動度のような各種の要因によって影響を受ける。これらの要因は、基板17上のインク液滴56の接触角を決定するものである。分布は、模式的に図16に示される。ゼロチャージ点(PZC)では、このインク液滴56中のアニオンおよびカチオンは、電界によって引力および斥力を受けない。インク液滴56の表面エネルギーおよび印加された電位は、以下の関係となる。
【0036】
【数1】
【0037】
ここで、γは、表面エネルギーであり、Vは印加電位であり、γ0はPZCにおける表面エネルギーであり、εは誘電率であり、dは二つの電極間の距離である。
【0038】
電界を発生する方法は、二つの電極21,22中の一方を接地し、他方を正または負に帯電させる。あるいは、二つの電極21,22中の一方を正に帯電させつつ、他方を負に帯電させるような構成を採用してもよい。電気容量(ε/d)を充電することによってゼロチャージ点での表面エネルギーが図17に示されるとおり変化する。本発明において、電気容量は、高さ調整ユニット23によって調整することができる。いくつかのケースでは、水和(たとえば、CuSO4+5H2O=CuSO4.5H2O)に起因する流体特性によって、アニオンが存在する部分が流体表面上に作られる。したがって、ゼロチャージ点を完全に維持するべくアニオンを流体表面から遠ざけるために、大きな負の電位を印加することが必要となる(図18参照)。
【0039】
図2を参照しつつ工程を説明する。図2のステップ101は、まずカラーフィルタ用のインクジェット式装置を初期化する。ステップ102は、基板17上に電極を設ける。図5に示されるとおり、設けられた電極21は、インジウム/スズ オキサイド(ITO)である。しかしながら、結果としてカラーフィルタの透過性を損なうことなく、カラーフィルタに要求される性質を有する限りにおいて、他の導電性材料を用いることもできる。設けられた電極21は、基板17上に導電性材料を形成するか、あるいは電極21上に基板材料17を形成することによって形成される。基板17上に導電性材料を形成する場合には、表面の非平坦性を考慮する必要がある一方、電極21上に基板17を形成する場合には、二つの電極間の距離が大きくなり、より大きな駆動電流が要求される点を考慮する必要がある。
【0040】
その後、ステップ103は、プリントフレームおよび遮蔽壁構造を形成する。図6に示されるとおり、2次元ブラックマトリックス(BM)であるプリントフレーム32は、スパッタリングおよびフォトリソグラフィー工程により基板17(あるいは電極21)上に形成され、(画素部分に対応する)開口部分を備える。パタニングの際の露光は、第1フォトマスク44を用いて行なわれ、光エネルギー43の働きによってプリントフレーム32が形成される。そのプリントフレーム32の厚さは、好ましくは0.5〜2μmである。このブラックマトリックスBMの材料の組成は、着色された樹脂、金属、または金属酸化膜を含んでいてもよく、あるいは、金属酸化膜と金属膜との多層膜であってもよい。上記の樹脂には、カーボンブラックまたは顔料が分散されていることが望ましい。また、クロム、ジルコニウム、タンタル、およびモリブデン等の金属がプリントフレームとして用いられてもよい。一方、より好ましくは、プリントフレームとして金属酸化膜を使用し、この金属酸化膜は、上記の金属の酸化物を含む。金属または金属酸化物を用いる場合には、その厚さは、好ましくは0.5〜1μmである。
【0041】
同様にして、第2フォトマスク45を用いて、インクの液滴56の飛散を防止する遮蔽壁27が上記のプリントフレーム32上に形成される。この遮蔽壁37は、撥水性材料、または上記のブラックマトリックスと同様の材料で作られ、プリントフレーム32が樹脂で作られている場合には、親油性の効果を持つ組成を持つ樹脂を含むことにより、あるいはプリントフレーム32が金属で作られている場合には、金属の清浄面を保つことによって、撥水性となっている。この場合、プリントフレーム32の表面も、カップリング材を用いることによって撥水性となっている。上述したプリントフレーム32および遮蔽壁37を形成するための二つのフォトマスク44、45は、互いに異なるパターンを有することに注意すべきである。プリントフレーム32と遮蔽壁37との間の境界部分において未着色の部分が生じてしまうことを防止するためには、かなり多量のインクを吐出する必要があるという事実を考慮し、フォトマスク45については、プリントフレーム32の幅よりも狭い開口部分を有するフォトマスクパターンを使用することが好ましい。たとえば、プリントフレーム32のフォトマスクパターンについては、開口部の幅が23μm以下であり、遮蔽壁37のフォトマスクパターンについては、開口部の幅が15μm以下である。さらに、プリントフレーム32と遮蔽壁37とは、その厚さが異なっている。具体的には、プリントフレーム32の厚さは、上述したとおりであり、遮蔽壁37の厚さは、端的には20μm程度である。
【0042】
次に、第1光学式モジュール13は、基板17の荒調整としての位置決めを実行する(ステップ104)。すなわち、基板17のインクジェットの領域が、おおよそインクジェット式プリントヘッドモジュールのノズルの直下になるように位置決めされ、所定の色がプリントされる(ステップ105)。この工程は、基準のノズルを基板17上のホワイト領域へ移動し、プリントヘッドの基板17に対する相対的な位置や角度が適切に調整される(ステップ106)。この基準のノズルが基板17に着色した後、第1光学式モジュール13はその色とテンプレート色とを検出し、プリントされたインク液滴が正常で適切か否かを確認する(ステップ107)。その結果、適切にプリントされていなければ、ステップ105および106が繰り返される。インクの液滴の色が不適当であるか不正常であれば、プリントヘッドの効果または清掃が必要となる場合がある。
【0043】
校正および試験プリントの後、ステップ108はプリント領域33(図8)へインクの液滴を吐出する。ステップ109は、電界を印加して、その結果、インク液滴56を均一化する。電極22は、プリントヘッドモジュール11とともに一つのモジュールに統合することができ、この結果、電極22は、プリントヘッドモジュール11に伴って移動することができる。図8を参照すれば、図中の右から左へと、インクの液滴56の吐出段階、基板17への到達段階、設けられた電極21と電極22間の電界をインク液滴56への印加して液滴表面を変形する段階、および最終的にブラックマトリックス境界部分までインク液滴56を均一に分布させるとともに電荷を除去する段階といった、各段階が示されている。システム中に設けられた電極22は、基板に設けられた電極21と導電性のインク液との間に電位差を作り出す。基板に設けられた電極上の電荷は、導電性液体に影響を与え、インク液と基板との間の界面における張力を減少させる。
【0044】
ステップ110は最後の色がプリントされたか否かが判断される。各色のプリントは第2光学式モジュール10を用いて校正される。この結果、リアルタイムな校正および調整が提供され、高精度な位置決めが達成される。ステップ110における確認工程が実行された後、図9に示されるとおり、遮蔽壁37は、化学的機械的研磨(CMP)46、またはエッチング工程(ステップ111)によって除去される。
【0045】
最後に、フィルタ要素のカラー部分が着色されて、さらにキュアリング工程(ステップ112)(図10)が要求される。キュアリングのためにUV光などの光照射方法、熱処理、および真空処理が、インクの性質に基づいて用いられる。光、または光と熱の併用によって架橋結合を進行するために、光開始剤(架橋剤)が用いられる。架橋剤として、重クロム酸塩、ビスアジド、ラジカル開始剤、カチオン開始剤、アニオン開始剤などが用いられる。さらに、これらの複数の光開始剤の幾つかが混合されてもよく、あるいは他の増感剤と結合されていてもよい。さらに架橋反応を進めるために、光の照射の後に、熱処理が実行される。
【0046】
また、図14および図15に示されるとおり、電極22の高さを調整して電界強度を変更するために、電極22には、そのプリントヘッドモジュール11の底部からの高さH2、すなわち、電極22とプリントヘッドモジュール11のノズルとの間の相対的な距離を変更するための高さ調整部23が設けられている。同様にプリントヘッドモジュール11には、プリントヘッドの高さH2、すなわちプリントヘッドモジュール11とカラーフィルタ基板17との間の相対的な距離を調整して高精度のプリントを達成するための高さ調整部111が設けられる。
【0047】
【発明の効果】
本発明は、インクジェット方式のカラーフィルタ製造方法および装置に関し、以下の効果を有する。
【0048】
第1に、本発明は、インク吸収層の設計を必要とせず、製造工程およびコストを削減する。カラーフィルタ基板に塗布された後のインクの液滴は印加電界によって変形されるので、インクの液滴を従来に比べて均一に分布させることができる。
【0049】
第2に、複数の光検出系は、フィルタ基板の下方に直接的に光源を備えるため、本発明は、従来技術のような反射に起因する誤りを持たない。
【0050】
第3に、光学式の位置決め検出としてリアルタイムな位置決め検出を採用するので、インクのプリントはさらに高精度となる。
【0051】
第4に、光検出はデジタル方式であるので、本発明は、従来の手段におけるトラフや頂部のシフトに起因する誤りを持たない。
【0052】
第5に、複数の光検出系は、プリントヘッドモジュールから分離されているので、プリントヘッドの清掃に好都合である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の概略図である。
【図2】 本発明における製造方法を示すフローチャートである。
【図3】 格子状のブラックマトリックスを用いた位置の校正例の概略である。
【図4】 校正状のブラックマトリックスを用いた角度の校正例の概略である。
【図5】 本発明の実施形態における製造工程を示す図である。
【図6】 図5に後続する製造工程を示す図である。
【図7】 図6に後続する製造工程を示す図である。
【図8】 図7に後続する製造工程を示す図である。
【図9】 図8に後続する製造工程を示す図である。
【図10】 図9に後続する製造工程を示す図である。
【図11】 液滴が表面に到達した際の液滴の接触角を示す図である。
【図12】 液滴に電界を印加した際の液滴の接触角を示す図である。
【図13】 さらに強い電界を印加した際の液滴の接触角を示す図である。
【図14】 高さ調整部の概略を示す図である。
【図15】 高さ調整部の概略を示す図である。
【図16】 インク液滴の表面張力と電位との関係を示す図である。
【図17】 インク液滴の表面張力と電位との関係を示す図である。
【図18】 インク液滴の表面張力と電位との関係を示す図である。
【符号の説明】
10…第2光学式モジュール、
11…インクジェット式プリントヘッドモジュール、
12…電界発生器、
13…第1光学式モジュール、
16…可動プラットホーム
17…基板。
Claims (20)
- 導電性インクの液滴をカラーフィルタ基板上にプリントするとともに当該インクの液滴を均一に分布させる、インクジェット方式のカラーフィルタ製造装置であって、
少なくとも一つのノズルと、前記カラーフィルタ基板上へ前記インクの液滴を塗布するための個別のプリントヘッドを備える各色の着色剤と、を備えるプリントヘッドモジュールと、
前記カラーフィルタ基板を支持しつつ、当該カラーフィルタ基板と前記プリントヘッドモジュールとを相対的に移動させる可動プラットホームと、
インクが前記カラーフィルタ基板に塗布された後に、当該インク付きのカラーフィルタ基板に電界を印加することにより電気毛管効果を生じさせて、当該塗布された後のインクの液滴を変形させて均一に分布させる電界発生器と、
前記カラーフィルタ基板と前記ノズルとの相対的な位置を検出する光学式検出系と、
前記プリントヘッドモジュール、前記可動プラットホーム、前記電界発生器、および前記光学式検出系を制御する制御系と、
を備えることを特徴とするインクジェット方式のカラーフィルタ製造装置。 - 前記光学式検出系は、前記カラーフィルタ基板上に設けられたプリントフレームの境界のトラックを検出し、前記カラーフィルタ基板と前記ノズルとの相対的な位置を確認することを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ製造装置。
- 前記プリントフレームは、2次元のブラックマトリックスであることを特徴とする請求項2に記載のカラーフィルタ製造装置。
- 前記光学式検出系は、前記カラーフィルタ基板の下方にある光源を用いて、当該カラーフィルタ基板を通過した光の強度を検出し、前記カラーフィルタ基板とノズルとの相対的な位置を決定することを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ製造装置。
- 前記電界発生器は、直流および交流からなる群から選択される電流を用いて前記電界を生じさせることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ製造装置。
- 前記電界発生器は、互いに反対の極性を持った二つの電極を含んでおり、当該電極は、インクの液滴の両側に設けられることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ製造装置。
- 前記電極の一方は、前記プリントヘッドモジュールの一側部にあり、電極の他方は、前記カラーフィルタ基板の一の面に設けられることを特徴とする請求項6に記載のカラーフィルタ製造装置。
- 前記プリントヘッドモジュールの一側部にある電極は、当該プリントヘッドモジュールと一体化されていることを特徴とする請求項7に記載のカラーフィルタ製造装置。
- 前記プリントヘッドモジュールの一側部にある電極は、当該電極と前記プリントヘッドモジュールのノズルとの間の相対的な距離を変更するために当該電極およびカラーフィルタ基板を調整する第1高さ調整部を備えることを特徴とする請求項8に記載のカラーフィルタ製造装置。
- 前記電極の一方は、前記プリントヘッドモジュールの一側部にあり、前記電極の他方は、前記カラーフィルタ基板の底面に配置されることを特徴とする請求項9に記載のカラーフィルタ製造装置。
- 前記プリントヘッドモジュールは、当該プリントヘッドモジュールと前記カラーフィルタ基板との間の相対的な距離を調整する第2高さ調整部を有することを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ製造装置。
- 導電性インクの液滴をカラーフィルタ基板上にプリントするとともに当該インクの液滴を均一に分布させる、インクジェット方式のカラーフィルタ製造方法であって、
前記カラーフィルタ基板上に電極を設ける工程と、
前記カラーフィルタ基板上にプリントフレームを形成する工程と、
前記カラーフィルタ基板とノズルとを位置合わせする工程と、
前記プリントフレームの内側にインクの液滴を吐出する工程と、
インクが前記カラーフィルタ基板に塗布された後に、前記電極によって前記インクの液滴に電界を印加して、当該塗布された後のインクの液滴を変形させて均一に分布させる工程と、を有することを特徴とするインクジェット方式のカラーフィルタ製造方法。 - 前記電極は、前記カラーフィルタ基板の上面に設けられることを特徴とする請求項12に記載のカラーフィルタ製造方法。
- 前記電極は、前記カラーフィルタ基板の底面に設けられることを特徴とする請求項12に記載のカラーフィルタ製造方法。
- 前記カラーフィルタ基板において、さらに、インクの液滴の飛散を防止する遮蔽壁が前記プリントフレーム上に形成されることを特徴とする請求項12に記載のカラーフィルタ製造方法。
- さらに、前記カラーフィルタ基板へインクの液滴が吐出された後に、前記遮蔽壁を取り除く工程を有することを特徴とする請求項15に記載のカラーフィルタ製造方法。
- 前記プリントフレームは、二次元のブラックマトリックスであることを特徴とする請求項12に記載のカラーフィルタ製造方法。
- 前記カラーフィルタ基板とノズルとの位置合わせは、前記プリントフレームの境界のトラックを用いて達成されることを特徴とする請求項12に記載のカラーフィルタ製造方法。
- 前記カラーフィルタ基板に前記インキの液滴を塗布した後に、キュアリングする工程を備えることを特徴とする請求項12に記載のカラーフィルタ製造方法。
- 前記キュアリングは、真空キュアリング、熱処理キュアリング、およびUVキュアリングからなる群から選ばれることを特徴とする請求項19に記載のカラーフィルタ製造方法。
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