JP3711010B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基板およびPDP(プラズマディスプレイパネル)用ガラス基板などの各種の被処理基板に対して、処理液を用いた処理を施すための基板処理装置および基板処理方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体装置や液晶表示装置の製造工程においては、たとえば、半導体ウエハや液晶表示装置用ガラス基板のような被処理基板に処理液を供給して、被処理基板の表面に形成されている薄膜のエッチング処理を施す工程が含まれる。
このような工程を実施するための基板処理装置の中には、未処理のウエハを収容したカセットがセットされるローダと処理済みのウエハが収容されるカセットが載置されるアンローダとの間に、基板表面にエッチング液を供給して薄膜をエッチングするエッチング処理部、およびこのエッチング処理部における処理後の基板に付着したエッチング液などを純水で洗い流した後、その水洗後の基板を乾燥させる水洗・乾燥処理部を直列に配置したものがある。
【0003】
ところが、ローダ、エッチング処理部、水洗・乾燥処理部およびアンローダを直列に配置した装置は、一方向に長いため、クリーンルーム内での配置に制約を受ける場合がある。
そこで、最近では、図4に示すような構成の基板処理装置が主流になりつつある。すなわち、図4に示す基板処理装置では、ローダLおよびアンローダULが並べて配置されていて、ローダLおよびアンローダULから一定間隔だけ離れた位置で、2つの処理ユニット91L,91RがローダLおよびアンローダULの配列方向に沿って対向配列されている。2つの処理ユニット91L,91Rにはそれぞれに、基板92を水平に保持した状態で一方向(たとえば、図4では反時計回り)に回転する基板回転手段と、基板回転手段に保持されている基板92の表面に処理液(エッチング液および純水)を供給するためのノズル93とが備えられており、各処理ユニット91L,91R内で、エッチング処理および水洗・乾燥処理を連続して行うことができるようになっている。ローダLおよびアンローダULと処理ユニット91L,91Rとの間には、水平移動を行うことによって、ローダLおよびアンローダULと処理ユニット91L,91Rとの間で基板92の受け渡しをすることができるロボットRBが配置されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
処理ユニット91Lと処理ユニット91Rとでは、基板回転手段およびノズル93の配置が処理ユニット91Lと処理ユニット91Rとを隔てる隔壁に関して対称になっている。このため、処理ユニット91Lの基板回転手段に保持されて回転する基板92へのノズル93からの処理液の当たり方と、処理ユニット91Rの基板回転手段に保持されて回転する基板92へのノズル93からの処理液の当たり方とが異なる。すなわち、図4に示すように、処理ユニット91Lでは、ノズル93からの処理液が基板92の回転方向に沿うように基板表面に入射するのに対して、処理ユニット91Rでは、ノズル93からの処理液が基板92の回転方向に逆らうように基板表面に入射する。
【0005】
そのため、処理ユニット91Rの基板回転手段に保持されている基板92の表面での処理液の跳ね返り量が、処理ユニット91Lの基板回転手段に保持されている基板92の表面での処理液の跳ね返り量に比べて多く、この結果として、処理ユニット91Lと処理ユニット91Rとで処理効果(処理の進み具合)に違いが生じるという問題があった。また、ノズル93から噴射された処理液の基板表面での跳ね返り量が多いと、基板外に飛散した処理液によるパーティクルの発生量が多く、処理後の基板92の品質が劣化するという問題も生じる。
【0006】
そこで、この発明の目的は、上述の技術的課題を解決し、複数の処理ユニットでほぼ同質の処理を基板に施すことができる基板処理装置および基板処理方法を提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
上記の目的を達成するための請求項1記載の発明は、基板(W)に処理液を用いた処理を施すための第1および第2の処理ユニット(3L,3R)を備えた基板処理装置であって、上記第1の処理ユニット(3L)は、基板をほぼ水平な面内で一定方向に回転させる第1の基板回転手段(31L)と、この第1の基板回転手段によって回転される基板の表面上の回転中心から外れた所定の処理液供給位置(P1)に、その処理液供給位置を通る基板半径に平面視において交差する所定の処理液供給方向(DL)から処理液を供給する第1のノズル(32L)とを有し、上記第2の処理ユニット(3R)は、基板をほぼ水平な面内で上記一定方向とは反対方向に回転させる第2の基板回転手段(31R)と、上記第1の処理ユニットにおける基板の回転中心(C1)と上記第2の基板回転手段によって回転される基板の回転中心(C2)とを結ぶ線分の垂直二等分線(34)に関して上記処理液供給位置とほぼ対称な位置(P2)に、上記垂直二等分線に関して上記所定の処理液供給方向(DL)とは対称な方向(DR)から処理液を供給する第2のノズル(32R)とを有していることを特徴とする基板処理装置である。
【0008】
上記第2のノズルは、上記垂直二等分線に関して上記第1のノズルとほぼ対称な位置に設けられており、上記垂直二等分線に関して上記処理液供給位置とほぼ対称な位置に向けて処理液を供給するものであってもよい。
なお、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素等を表す。以下、この項において同じである。
この発明によれば、第1の処理ユニットと第2の処理ユニットとで、回転する基板に対する処理液の当たり方がほぼ同様になり、基板の表面での処理液の跳ね返り量がほぼ等しくなる。その結果、第1の処理ユニットと第2の処理ユニットとで、処理効果(処理の進み具合)がほぼ同様になり、ほぼ同程度の品質を有する基板を得ることができる。
【0009】
請求項2記載の発明は、上記第1のノズル(32L)による処理液供給方向(DL)は、上記処理液供給位置(P1)における基板の回転方向に沿う方向の成分を含むことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置である。
この発明によれば、第1および第2の処理ユニットのいずれにおいても、ノズルから吐出される処理液が基板の回転方向に沿うように基板の表面に入射するから、基板の表面での処理液の跳ね返り量が少ない。したがって、基板表面で跳ね返って飛散した処理液によるパーティクルの発生量が少なく、両処理ユニットにおいて高品質な基板を得ることができる。
【0010】
請求項3記載の発明は、平面視において上記垂直二等分線上に自転軸(4A)が配置されていて、この自転軸を中心に自転可能であり、上記第1および第2の処理ユニットに対して基板を搬送する基板搬送ロボット(4)をさらに含むことを特徴とする請求項1または2記載の基板処理装置である。
この発明によれば、1台の基板搬送ロボットによって第1および第2の処理ユニットに対して基板を搬送できるから、各処理ユニットごとに基板搬送ロボットを備えた場合と比べて構成が簡単になる。
【0011】
なお、請求項4に記載のように、上記第1および第2の処理ユニット(3L,3R)は、基板にエッチング処理を施すものであってもよいし、また請求項5に記載のように、上記第1および第2の処理ユニット(3L,3R)は、基板に洗浄処理を施すものであってもよい。
請求項6記載の発明は、基板処理装置に備えられた第1および第2の処理ユニット(3L,3R)において基板(W)に処理液を用いた処理を施すための方法であって、上記第1の処理ユニット(3L)において、基板をほぼ水平な面内で一定方向に回転させつつ、当該基板の表面上の回転中心から外れた所定の処理液供給位置(P1)に、上記処理液供給位置を通る基板半径に平面視において交差する所定の処理液供給方向(DL)から処理液を供給し、上記第2の処理ユニット(3R)において、基板をほぼ水平な面内で上記一定方向とは反対方向に回転させつつ、その基板の回転中心(C2)と上記第1の処理ユニットにおける基板の回転中心(C1)とを結ぶ線分の垂直二等分線(34)に関して上記処理液供給位置とほぼ対称な位置(P2)に、上記垂直二等分線に関して上記所定の処理液供給方向(DL)とは対称な方向(DR)から処理液を供給することを特徴とする基板処理方法である。
【0012】
この方法によれば、請求項1に関連して述べた効果と同様な効果を得ることができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下では、この発明の実施の形態を、添付図面を参照して詳細に説明する。
図1は、この発明の一実施形態に係る基板処理装置の全体の構成を簡略化して示す平面図である。この基板処理装置は、ウエハWの表面にエッチング処理を施すための装置であり、処理前のウエハWが載置されるローダ部1および処理後のウエハWが載置されるアンローダ部2が並設され、ローダ部1およびアンローダ部2から一定間隔だけ離れた位置で、2つの処理ユニット3L,3Rがローダ部1およびアンローダ部2の配列方向に沿って対向配列された配置構成を有している。ローダ部1およびアンローダ部2と処理ユニット3L,3Rとの間には、ローダ部1に載置された処理前のウエハWを処理ユニット3L,3Rに搬入し、処理ユニット3L,3Rでの処理後のウエハWを搬出してアンローダ部2に載置することのできるロボット4が配置されている。
【0014】
処理ユニット3L,3Rは、いずれも、ウエハWの表面にエッチング液を供給して、ウエハWの表面に形成されている薄膜を選択的に除去した後、そのウエハWの表面に付着しているエッチング液を除去するために水洗し、さらに水洗後のウエハWを乾燥させるエッチング処理を実施するものである。このエッチング処理を実施するため、処理ユニット3Lには、ウエハWをほぼ水平に保持した状態で回転可能なスピンチャック31Lと、スピンチャック31Lに保持されたウエハWの表面に処理液(エッチング液などの薬液および純水)を供給するためのノズル32Lとが備えられている。一方、処理ユニット3Rにも、ウエハWをほぼ水平に保持した状態で回転可能なスピンチャック31Rと、スピンチャック31Rに保持されたウエハWの表面に処理液を供給するためのノズル32Rとが備えられている。
【0015】
スピンチャック31L,31Rには、それぞれ回転駆動部33L,33Rが結合されている。回転駆動部33L,33Rは、たとえば、モータなどの駆動源、およびこの駆動源からの駆動力をスピンチャック31L,31Rに伝達するための駆動力伝達機構などを含むものであって、それぞれスピンチャック31L,31Rに駆動力を与えることにより、スピンチャック31L,31Rをそれぞれ一定の方向に回転させることができる。ゆえに、スピンチャック31L,31RにウエハWが保持されている状態で、それぞれ回転駆動部33L,33Rから駆動力が与えられることによって、ウエハWをほぼ水平な面内で回転させることができる。
【0016】
処理ユニット3Lにおいて、そのほぼ中央にスピンチャック31Lが配置されており、このスピンチャック31Lの斜め上方にノズル32Lが配置されている。一方、処理ユニット3Rにおいては、そのほぼ中央にスピンチャック31Rが配置されており、このスピンチャック31RによるウエハWの回転中心と処理ユニット3Lのスピンチャック31LによるウエハWの回転中心とを結ぶ線分の垂直二等分線に関して、処理ユニット3Lのノズル32Lとほぼ対称な位置にノズル32Rが配置されている。すなわち、この実施形態では、処理ユニット3Lと処理ユニット3Rとの隔壁34が上記垂直二等分線上に設けられているから、処理ユニット3L,3Rは、隔壁34に関して、スピンチャック31Lおよびノズル32Lとスピンチャック31Rおよびノズル32Rとが対称配置されたレイアウト構成を有している。隔壁34を挟んで隣り合わせにメカ部35L,35Rが配置されており、これらのメカ部35L,35Rは、たとえば、処理時にウエハWの表面と所定間隔をあけて対向配置される遮断板(図示せず)を移動させるための機構などを含む。
【0017】
ロボット4は、円筒状のロボット本体41と、このロボット本体41の上面に取り付けられた多関節アーム42とを有するスカラー式ロボットである。ロボット本体41は、その中心を貫く鉛直軸線4Aまわりに回動可能であり、その鉛直軸線4Aが処理ユニット3LにおけるウエハWの回転中心と処理ユニット3RにおけるウエハWの回転中心とを結ぶ線分の垂直二等分線に直交するように配置されている。
【0018】
多関節アーム42は、ロボット本体41の上面に鉛直軸線4Aまわりに回転自在に取り付けられたベースアーム421と、このベースアーム421の先端に鉛直軸4Bまわりに回動自在に取り付けられた中間アーム422と、中間アーム422の先端に鉛直軸4Cまわりに回動自在に取り付けられたウエハ保持ハンド423とを備えている。ウエハ保持ハンド423は、ウエハWの裏面に当接して、ウエハWを保持することができるものであり、ベースアーム421が回動され、この回動に応じて中間アーム422がベースアーム421に対して回動されることによって、鉛直軸線4Aに対して直線的に近接/離反変位することができる。すなわち、多関節アーム42は、関節の屈伸により、ウエハ保持ハンド423を進退させることができる。
【0019】
このような構成のロボット4は、ロボット本体41の回動によって、ウエハ保持ハンド423をローダ部1、アンローダ部2、処理ユニット3L,3Rのいずれかに選択的に向けることができる。そして、多関節アーム42の関節の屈伸により、ウエハ保持ハンド423をローダ部1、アンローダ部2、処理ユニット3L,3Rに対して進退させることができ、ローダ部1、アンローダ部2、処理ユニット3L,3Rとの間でウエハWの受け渡しを行うことができる。
【0020】
図2は、処理ユニット3L,3RにおけるウエハWの回転方向とノズル32L,32Rからの処理液の供給方向DL,DRとの関係について説明するための図解図である。処理ユニット3Lのスピンチャック31Lは、ロボット4からウエハWを受け取ると、その受け取ったウエハWを図2における反時計回りに回転させる。また、ノズル32Lは、スピンチャック31Lによって回転されるウエハWの表面上の回転中心C1から外れた所定の処理液供給位置P1に、その処理液供給位置P1を通るウエハWの半径に平面視において交差する方向DLから処理液を供給する。また、このノズル32Lによる処理液の供給方向DLは、処理液供給位置P1におけるウエハWの回転方向に沿う方向の成分を含む。
【0021】
一方、処理ユニット3Rのスピンチャック31Rは、ロボット4からウエハWを受け取ると、その受け取ったウエハWを図2における時計回りに回転させる。すなわち、処理ユニット3Rのスピンチャック31Rは、処理ユニット3LにおけるウエハWの回転方向とは反対方向にウエハWを回転させる。そして、ノズル32Rは、上記したように隔壁34(処理ユニット3LにおけるウエハWの回転中心C1と処理ユニット3RにおけるウエハWの回転中心C2とを結ぶ線分の垂直二等分線)に関して処理ユニット3Lのノズル32Lとほぼ対称な位置に配置されており、隔壁34に関してノズル32Lからの処理液供給位置P1とほぼ対称な位置P2に向けて処理液を供給する。また、このノズル32Rによる処理液の供給方向DRは、処理液供給位置P2におけるウエハWの回転方向に沿う方向の成分を含む。
【0022】
これにより、処理ユニット3Lと処理ユニット3Rとで、回転するウエハWに対する処理液の当たり方がほぼ同様になり、ウエハWの表面での処理液の跳ね返り量がほぼ等しくなる。その結果、処理ユニット3Lと処理ユニット3Rとで、処理効果(処理の進み具合)がほぼ同様になり、同程度の品質を有するウエハWを得ることができる。
また、処理ユニット3L,3Rのいずれにおいても、それぞれノズル32L,32Rから吐出される処理液がウエハWの回転方向に沿うようにウエハWの表面に入射するから、ウエハWの表面での処理液の跳ね返り量が少ない。したがって、ウエハWの表面で跳ね返って飛散した処理液によるパーティクルの発生量が少なく、両処理ユニット3L,3Rにおいて高品質なウエハWを得ることができる。
【0023】
以上、この発明の一実施形態について説明したが、この発明は、上述の実施形態以外の形態で実施することもできる。たとえば、上述の実施形態では、ノズル32L,32Rがそれぞれ処理液供給位置P1,P2に向けて一定の処理液供給方向DL,DRに処理液を供給するものである場合を想定したが、ノズル32L,32Rは、ウエハWの表面への処理液の入射位置がそれぞれウエハWの回転中心C1,C2付近とウエハWの周縁付近との間で処理液供給位置P1,P2を通って変化するように、処理液の供給方向DL,DRを変えることができるスキャンノズルであってもよい。
【0024】
ノズル32L,32Rがスキャンノズルで構成される場合、たとえば、図3に示すように、処理ユニット3Lと処理ユニット3RとでウエハWの回転方向が同じであっても、ウエハWに対する処理液の当たり方が同じになるように、ウエハWへの処理液の供給を開始する前に、ノズル32Rの向きを図3に破線で示すホームポジションから実線で示す向きに変えることが考えられる。しかしながら、この場合、処理ユニット3Rにおける処理のスループットが、ノズル32Rの向きを変えるための時間分だけ低下してしまう。これに対し、上述の実施形態の構成では、2つの処理ユニット3L,3Rの処理のスループットがほぼ同じであり、2つの処理ユニット3L,3Rにおいて、ほぼ同程度の品質のウエハWをほぼ同じ速度で生産することができる。
【0025】
また、上述の実施形態では、ウエハWの表面にエッチング処理を施す装置を例にとったが、この発明は、たとえば、ウエハWの表面に純水などの洗浄液を供給して、ウエハWの表面から不要物を除去するために水洗し、さらに水洗後のウエハWを乾燥させる洗浄処理を施す装置などに適用することができる。また、処理対称の基板はウエハWに限らず、たとえば、液晶表示装置用ガラス基板やPDP用ガラス基板などの他の種類の基板であってもよい。
【0026】
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施形態に係る基板処理装置の全体の構成を簡略化して示す平面図である。
【図2】2つの処理ユニットにおけるウエハの回転方向とノズルからの処理液の供給方向との関係について説明するための図解図である。
【図3】一方のノズルの向きを変えた後に処理液の供給を開始する場合の不都合について説明するための図解図である。
【図4】従来の基板処理装置の全体の構成を簡略化して示す平面図である。
【符号の説明】
3L 処理ユニット
31L スピンチャック
32L ノズル
C1 (処理ユニット3LにおけるウエハWの)回転中心
P1 処理液供給位置
3R 処理ユニット
31R スピンチャック
32R ノズル
C2 (処理ユニット3RにおけるウエハWの)回転中心
P2 処理液供給位置
34 隔壁
4 ロボット
4A 鉛直軸線
W ウエハ
Claims (6)
- 基板に処理液を用いた処理を施すための第1および第2の処理ユニットを備えた基板処理装置であって、
上記第1の処理ユニットは、
基板をほぼ水平な面内で一定方向に回転させる第1の基板回転手段と、
この第1の基板回転手段によって回転される基板の表面上の回転中心から外れた所定の処理液供給位置に、その処理液供給位置を通る基板半径に平面視において交差する所定の処理液供給方向から処理液を供給する第1のノズルとを有し、
上記第2の処理ユニットは、
基板をほぼ水平な面内で上記一定方向とは反対方向に回転させる第2の基板回転手段と、
上記第1の処理ユニットにおける基板の回転中心と上記第2の基板回転手段によって回転される基板の回転中心とを結ぶ線分の垂直二等分線に関して上記処理液供給位置とほぼ対称な位置に、上記垂直二等分線に関して上記所定の処理液供給方向とは対称な方向から処理液を供給する第2のノズルとを有していることを特徴とする基板処理装置。 - 上記第1のノズルによる処理液供給方向は、上記処理液供給位置における基板の回転方向に沿う方向の成分を含むことを特徴とする請求項1記載の基板処理装置。
- 平面視において上記垂直二等分線上に自転軸が配置されていて、この自転軸を中心に自転可能であり、上記第1および第2の処理ユニットに対して基板を搬送する基板搬送ロボットをさらに含むことを特徴とする請求項1または2記載の基板処理装置。
- 上記第1および第2の処理ユニットは、基板にエッチング処理を施すものであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の基板処理装置。
- 上記第1および第2の処理ユニットは、基板に洗浄処理を施すものであることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の基板処理装置。
- 基板処理装置に備えられた第1および第2の処理ユニットにおいて基板に処理液を用いた処理を施すための方法であって、
上記第1の処理ユニットにおいて、基板をほぼ水平な面内で一定方向に回転させつつ、当該基板の表面上の回転中心から外れた所定の処理液供給位置に、上記処理液供給位置を通る基板半径に平面視において交差する所定の処理液供給方向から処理液を供給し、
上記第2の処理ユニットにおいて、基板をほぼ水平な面内で上記一定方向とは反対方向に回転させつつ、その基板の回転中心と上記第1の処理ユニットにおける基板の回転中心とを結ぶ線分の垂直二等分線に関して上記処理液供給位置とほぼ対称な位置に、上記垂直二等分線に関して上記所定の処理液供給方向とは対称な方向から処理液を供給することを特徴とする基板処理方法。
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