JP2017139442A - 基板洗浄装置、基板処理装置、基板洗浄方法および基板処理方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 774
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 673
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 303
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 90
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims abstract description 60
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 128
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 117
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 114
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 76
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 21
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 108
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 132
- 230000008569 process Effects 0.000 description 71
- 239000010408 film Substances 0.000 description 66
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 54
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 49
- 238000011161 development Methods 0.000 description 43
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 43
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 39
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 27
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 25
- 239000013256 coordination polymer Substances 0.000 description 23
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 12
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 12
- 102100030373 HSPB1-associated protein 1 Human genes 0.000 description 11
- 101000843045 Homo sapiens HSPB1-associated protein 1 Proteins 0.000 description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 5
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 3
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
- H01L21/02052—Wet cleaning only
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68728—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a plurality of separate clamping members, e.g. clamping fingers
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- B08B1/12—Brushes
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B08B1/20—Cleaning of moving articles, e.g. of moving webs or of objects on a conveyor
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- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
- B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B08B11/00—Cleaning flexible or delicate articles by methods or apparatus specially adapted thereto
- B08B11/02—Devices for holding articles during cleaning
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- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/02—Cleaning by the force of jets or sprays
- B08B3/022—Cleaning travelling work
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/04—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by a combination of operations
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67046—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly scrubbing means, e.g. brushes
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- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
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- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
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Abstract
Description
(1)基板処理装置
以下、本発明の第1の実施の形態に係る基板洗浄装置および基板処理装置について図面を用いて説明する。なお、以下の説明において、基板とは、半導体基板、液晶表示装置用基板、プラズマディスプレイ用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板またはフォトマスク用基板等をいう。また、本実施の形態で用いられる基板は、少なくとも一部が円形の外周端部を有する。例えば、位置決め用のノッチを除く外周端部が円形を有する。
図2は、図1の塗布処理部121、現像処理部131および洗浄乾燥処理部161の内部構成を示す模式的側面図である。図2に示すように、塗布処理部121には、塗布処理室21,22,23,24が階層的に設けられる。各塗布処理室21〜24には、塗布処理ユニット129が設けられる。現像処理部131には、現像処理室31,32,33,34が階層的に設けられる。各現像処理室31〜34には、現像処理ユニット139が設けられる。
図3は、図2の乾燥処理ユニットSD1の構成を示す概略平面図である。図4は、図3の洗浄乾燥処理ユニットSD1の部分的なA−A線断面図である。図5は、図3の洗浄乾燥処理ユニットSD1の部分的なB−B線断面図である。図6(a),(b)は、基板Wの外周端部の拡大側面図である。図6(a)に示すように、基板Wの外周端部10は、被処理面側のベベル部1、裏面側のベベル部2および端面3を含む。基板Wの被処理面の周縁部PEを除く領域には、塗布膜としてレジスト膜Rが形成されている。
図7および図8は、スピンチャック210による基板Wの保持動作を説明するための図である。まず、図7(a)に示すように、ガード241がチャックピン220よりも低い位置に移動する。そして、複数の受け渡し機構250(図3)の保持ピン254がガード241の上方を通ってスピンプレート213の下方に移動する。複数の保持ピン254上に搬送機構141(図1)により基板Wが載置される。
図12は、図1の熱処理部123,133および洗浄乾燥処理部162の内部構成を示す模式的側面図である。図12に示すように、熱処理部123は、上方に設けられる上段熱処理部101および下方に設けられる下段熱処理部102を有する。上段熱処理部101および下段熱処理部102には、複数の熱処理ユニットPHP、複数の密着強化処理ユニットPAHPおよび複数の冷却ユニットCPが設けられる。
図13は、搬送部122,132,163の内部構成を示す模式的側面図である。図13に示すように、搬送部122は、上段搬送室125および下段搬送室126を有する。搬送部132は、上段搬送室135および下段搬送室136を有する。上段搬送室125には搬送機構127が設けられ、下段搬送室126には搬送機構128が設けられる。また、上段搬送室135には搬送機構137が設けられ、下段搬送室136には搬送機構138が設けられる。
図1、図2、図12および図13を参照しながら基板処理を説明する。インデクサブロック11のキャリア載置部111(図1)には、未処理の基板Wが収容されたキャリア113(図1)が載置される。搬送機構115(図1)は、キャリア113から基板載置部PASS1,PASS3(図13)に未処理の基板Wを搬送する。また、搬送機構115は、基板載置部PASS2,PASS4(図13)に載置された処理済みの基板Wをキャリア113に搬送する。
本実施の形態においては、基板Wの裏面洗浄処理の際に洗浄ヘッド311により基板Wの裏面に加重が加わる荷重P1は、複数の補助ピン330により発生する反力P2により抗される。そのため、洗浄ヘッド311が基板Wの裏面に押圧されても、基板Wが撓むことが防止される。これにより、洗浄ヘッド311の研磨面311aを基板Wの裏面に対して均一に当接させることができ、基板Wの裏面に均一な荷重P1を付与して十分に洗浄することができる。その結果、基板Wの裏面に強固に付着する異物、塗布液が基板Wの裏面に回り込んだことにより形成される塗布膜およびその塗布膜に混入した異物等を確実に除去することができる。
図14は、第1の変形例における洗浄乾燥処理ユニットSD1の構成を示す側面図である。第1の変形例における洗浄乾燥処理ユニットSD1は、洗浄ユニット300が第1洗浄機構310に加えて第2洗浄機構320をさらに含む点を除き、図4の洗浄乾燥処理ユニットSD1と同様の構成を有する。図14に示すように、第2洗浄機構320は、洗浄ブラシ321、ブラシ保持部材322、洗浄ノズル323およびブラシ移動機構324を含む。
第1の変形例における洗浄乾燥処理ユニットSD1においては、第1洗浄機構310による裏面洗浄処理が終了した後に第2洗浄機構320による裏面洗浄処理が行われるが、本発明はこれに限定されない。第1洗浄機構310による裏面洗浄処理が終了する前に第2洗浄機構320による裏面洗浄処理が行われてもよい。図17は、第2の変形例における洗浄乾燥処理ユニットSD1の構成を示す模式的平面図である。図17においては、チャックピン220および補助ピン330の図示が省略されている。
第2の実施の形態に係る基板洗浄装置および基板処理装置について、第1の実施の形態に係る基板洗浄装置および基板処理装置と異なる点を説明する。図19は、本発明の第2の実施の形態における洗浄乾燥処理ユニットSD1の構成を示す部分的な縦断面図である。図20は、図19の洗浄乾燥処理ユニットSD1における洗浄ヘッド311の拡大側面図である。図19に示すように、本実施の形態においては、洗浄ユニット300は、複数の補助ピン330を含まない。
(1)上記実施の形態において、洗浄乾燥処理ユニットSD1は基板処理装置100のインターフェイスブロック14に設けられるが、本発明はこれに限定されない。洗浄乾燥処理ユニットSD1は、基板処理装置100の塗布ブロック12に設けられてもよいし、現像ブロック13に設けられてもよいし、他のブロックに設けられてもよい。あるいは、洗浄乾燥処理ユニットSD1は基板処理装置100に設けられず、基板Wの裏面を洗浄するための基板洗浄装置として独立に設けられてもよい。
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
3 端面
10 外周端部
11 インデクサブロック
12 塗布ブロック
13 現像ブロック
14 インターフェイスブロック
14A 洗浄乾燥処理ブロック
14B 搬入搬出ブロック
15 露光装置
20 基板洗浄ユニット
21〜24 塗布処理室
25,35,210 スピンチャック
27,37 カップ
28 処理液ノズル
29 ノズル搬送機構
30 エッジリンスノズル
31〜34 現像処理室
38 スリットノズル
39 移動機構
100 基板処理装置
101,103 上段熱処理部
102,104 下段熱処理部
111 キャリア載置部
112,122,132,163 搬送部
113 キャリア
114 メインコントローラ
115,127,128,137,138,141〜143 搬送機構
121 塗布処理部
123,133 熱処理部
125,135 上段搬送室
126,136 下段搬送室
129 塗布処理ユニット
131 現像処理部
139 現像処理ユニット
161,162 洗浄乾燥処理部
164 バッファ部
200 回転保持ユニット
211 スピンモータ
212,252 回転軸
213 スピンプレート
214 プレート支持部材
215 液供給管
220 チャックピン
221 軸部
222 ピン支持部
223 保持部
224 マグネット
230 切替部
231,232 マグネットプレート
233,234 マグネット昇降機構
240 ガード機構
241 ガード
242 ガード昇降機構
250 受け渡し機構
251 昇降回転駆動部
253 アーム
254 保持ピン
300 洗浄ユニット
310 第1洗浄機構
311 洗浄ヘッド
311a 研磨面
311b 開口
312 ヘッド保持部材
312a,322a 中心軸
313,323 洗浄ノズル
314 ヘッド移動機構
315 吸引駆動機構
320 第2洗浄機構
321 洗浄ブラシ
321a 溝
322 ブラシ保持部材
324 ブラシ移動機構
330 補助ピン
331 外周面
332 下面
333 傾斜面
CP 冷却ユニット
EEW エッジ露光部
if 干渉領域
LC1,LC2 ローカルコントローラ
P1 荷重
p1 ヘッド待機位置
P2 反力
p2 ブラシ待機位置
PAHP 密着強化処理ユニット
PASS1〜PASS9 基板載置部
P−BF1,P−BF2 載置兼バッファ部
P−CP 載置兼冷却部
PE 周縁部
PHP 熱処理ユニット
R レジスト膜
R1,R2 外方領域
SD1,SD2 洗浄乾燥処理ユニット
W 基板
図3は、図2の洗浄乾燥処理ユニットSD1の構成を示す概略平面図である。図4は、図3の洗浄乾燥処理ユニットSD1の部分的なA−A線断面図である。図5は、図3の洗浄乾燥処理ユニットSD1の部分的なB−B線断面図である。図6(a),(b)は、基板Wの外周端部の拡大側面図である。図6(a)に示すように、基板Wの外周端部10は、被処理面側のベベル部1、裏面側のベベル部2および端面3を含む。基板Wの被処理面の周縁部PEを除く領域には、塗布膜としてレジスト膜Rが形成されている。
Claims (15)
- 基板の裏面を洗浄する基板洗浄装置であって、
基板を保持して回転させる回転保持ユニットと、
前記回転保持ユニットにより保持された基板の裏面を洗浄する洗浄ユニットとを備え、
前記回転保持ユニットは、
回転軸線の周りで回転可能に設けられた回転部材と、
基板の外周端部に当接して基板を保持可能に前記回転部材に設けられた複数の保持部材とを含み、
前記洗浄ユニットは、
研磨により基板の裏面の異物を除去可能に設けられた洗浄具と、
前記洗浄具を前記複数の保持部材により保持された基板の裏面に押圧しつつ移動させる移動装置と、
前記洗浄具により基板の裏面に加えられる荷重に抗する反力を基板に発生させる反力発生部とを含む、基板洗浄装置。 - 前記反力発生部は、基板の外周端部に当接するように前記回転部材に設けられた複数の当接部材を含み、
前記複数の当接部材は、前記洗浄具により基板の裏面に荷重が加えられたときに基板の外周端部に前記荷重に抗する反力を発生させる、請求項1記載の基板洗浄装置。 - 基板の外周端部は、被処理面側ベベル部、裏面側ベベル部および端面を有し、
前記複数の当接部材の各々は、基板の被処理面側ベベル部に当接する当接面を有する、請求項2記載の基板洗浄装置。 - 前記複数の保持部材は、基板の外周端部に当接して基板を保持する基板保持状態と基板の外周端部から離間する基板解放状態とに切替可能に設けられ、
前記回転保持ユニットは、前記複数の保持部材を前記基板保持状態と前記基板解放状態とに切り替える保持部材切替部をさらに含み、
前記複数の保持部材の各々は、前記回転部材の回転に伴い基板の外周端部に沿った第1の領域および第2の領域を通って前記回転軸線の周りで回転し、
基板の裏面における周縁部を除く中心領域の洗浄時には、前記保持部材切替部は、前記複数の保持部材を前記基板保持状態にするとともに、前記移動装置は、中心領域における基板の裏面上で前記洗浄具を移動させ、
基板の裏面における周縁部の洗浄時には、前記保持部材切替部は、前記回転部材の回転中に前記複数の保持部材のうち前記第1の領域に位置する保持部材を前記基板保持状態にし、前記複数の保持部材のうち前記第2の領域に位置する保持部材を前記基板解放状態にするとともに、前記移動装置は、周縁部における基板の裏面でかつ前記第2の領域上に前記洗浄具を移動させる、請求項2または3記載の基板洗浄装置。 - 各当接部材は、基板の外周端部に当接する状態において隣り合う各2つの保持部材の間に配置される、請求項4記載の基板洗浄装置。
- 前記反力発生部は、前記基板の裏面を吸引可能に構成された吸引部を含み、
前記吸引部は、前記洗浄具により基板の裏面に荷重が加えられたときに基板の裏面の吸引により前記荷重に抗する反力を発生させる、請求項1〜5のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。 - 前記洗浄具は、基板の裏面に向かう研磨面を有するとともに、前記研磨面に開口を有し、
前記吸引部は、前記洗浄具の前記開口を通して基板の裏面を吸引する、請求項6記載の基板洗浄装置。 - 前記吸引部は、前記洗浄具により除去された異物を吸引することにより排出可能に構成された、請求項6または7記載の基板洗浄装置。
- 前記洗浄ユニットは、前記洗浄具による洗浄後または洗浄中の基板の裏面をさらに洗浄する洗浄ブラシをさらに含む、請求項1〜8のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。
- 基板の裏面を洗浄する基板洗浄装置であって、
基板を保持して回転させる回転保持ユニットと、
前記回転保持ユニットにより保持された基板の裏面を洗浄する洗浄ユニットとを備え、
前記回転保持ユニットは、
回転軸線の周りで回転可能に設けられた回転部材と、
基板の外周端部に当接して基板を保持可能に前記回転部材に設けられた複数の保持部材とを含み、
前記洗浄ユニットは、
研磨により基板の裏面の異物を除去可能に設けられた洗浄具と、
前記洗浄具を前記複数の保持部材により保持された基板の裏面に押圧しつつ移動させる移動装置と、
前記洗浄具による洗浄後または洗浄中の基板の裏面をさらに洗浄する洗浄ブラシとを含む、基板洗浄装置。 - 前記洗浄ユニットは、前記洗浄具による洗浄後または洗浄中の基板の裏面に洗浄液を供給する洗浄液供給部をさらに含む、請求項1〜10のいずれか一項に記載の基板洗浄装置。
- 塗布液を基板の被処理面に供給することにより被処理面に塗布膜を形成する膜形成ユニットと、
前記膜形成ユニットにより基板の被処理面の周縁部に形成された塗布膜を除去する除去液を基板の周縁部に供給する除去ユニットと、
前記除去ユニットにより被処理面の周縁部の塗布膜が除去された基板の裏面を洗浄する請求項1〜11のいずれか一項に記載の基板洗浄装置とを備える、基板処理装置。 - 基板の裏面を洗浄する基板洗浄方法であって、
回転保持ユニットにより基板を保持して回転させるステップと、
前記回転保持ユニットにより保持された基板の裏面を洗浄ユニットにより洗浄するステップとを含み、
前記基板を保持して回転させるステップは、
回転部材に設けられた複数の保持部材により基板の外周端部を当接して保持することと、
回転軸線の周りで前記回転部材を回転させることとを含み、
前記洗浄するステップは、
前記複数の保持部材により保持された基板の裏面に移動装置により洗浄具を押圧しつつ移動させることと、
前記洗浄具による研磨により基板の裏面の異物を除去することと、
前記洗浄具により基板の裏面に加えられる荷重に抗する反力を反力発生部により基板に発生させることとを含む、基板洗浄方法。 - 基板の裏面を洗浄する基板洗浄方法であって、
回転保持ユニットにより基板を保持して回転させるステップと、
前記回転保持ユニットにより保持された基板の裏面を洗浄ユニットにより洗浄するステップとを含み、
前記基板を保持して回転させるステップは、
回転部材に設けられた複数の保持部材により基板の外周端部を当接して保持することと、
回転軸線の周りで前記回転部材を回転させることとを含み、
前記洗浄するステップは、
前記複数の保持部材により保持された基板の裏面に移動装置により洗浄具を押圧しつつ移動させることと、
前記洗浄具による研磨により基板の裏面の異物を除去することと、
前記洗浄具による洗浄後または洗浄中の基板の裏面を洗浄ブラシによりさらに洗浄することとを含む、基板洗浄方法。 - 塗布液を基板の被処理面に供給することにより被処理面に塗布膜を形成するステップと、
基板の被処理面の周縁部に形成された塗布膜を除去する除去液を基板の周縁部に供給するステップと、
被処理面の周縁部の塗布膜が除去された基板の裏面を請求項12または13記載の基板洗浄方法を用いて洗浄するステップとを含む、基板処理方法。
Priority Applications (11)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW105142687A TWI649801B (zh) | 2016-02-01 | 2016-12-22 | 基板洗淨裝置、基板處理裝置、基板洗淨方法及基板處理方法 |
TW107147499A TWI712081B (zh) | 2016-02-01 | 2016-12-22 | 基板洗淨裝置、基板處理裝置、基板洗淨方法及基板處理方法 |
TW109138696A TWI762017B (zh) | 2016-02-01 | 2016-12-22 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
US15/398,119 US10276365B2 (en) | 2016-02-01 | 2017-01-04 | Substrate cleaning device, substrate processing apparatus, substrate cleaning method and substrate processing method |
CN202010235415.2A CN111261561A (zh) | 2016-02-01 | 2017-01-25 | 基板清洗装置及方法、基板处理装置及方法 |
CN201710060632.0A CN107026109B (zh) | 2016-02-01 | 2017-01-25 | 基板清洗装置及方法、基板处理装置及方法 |
KR1020170012491A KR101988096B1 (ko) | 2016-02-01 | 2017-01-26 | 기판 세정 장치, 기판 처리 장치, 기판 세정 방법 및 기판 처리 방법 |
US16/351,846 US10985008B2 (en) | 2016-02-01 | 2019-03-13 | Substrate cleaning device, substrate processing apparatus, substrate cleaning method and substrate processing method |
KR1020190063852A KR102051261B1 (ko) | 2016-02-01 | 2019-05-30 | 기판 세정 장치, 기판 처리 장치, 기판 세정 방법 및 기판 처리 방법 |
US17/206,238 US11676811B2 (en) | 2016-02-01 | 2021-03-19 | Substrate cleaning device, substrate processing apparatus, substrate cleaning method and substrate processing method |
US18/308,368 US20230268174A1 (en) | 2016-02-01 | 2023-04-27 | Substrate cleaning method and substrate processing method |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016017464 | 2016-02-01 | ||
JP2016017464 | 2016-02-01 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020111912A Division JP6992131B2 (ja) | 2016-02-01 | 2020-06-29 | 基板洗浄装置、基板処理装置、基板洗浄方法および基板処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017139442A true JP2017139442A (ja) | 2017-08-10 |
JP6726575B2 JP6726575B2 (ja) | 2020-07-22 |
Family
ID=59565145
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016175300A Active JP6726575B2 (ja) | 2016-02-01 | 2016-09-08 | 基板洗浄装置、基板処理装置、基板洗浄方法および基板処理方法 |
JP2020111912A Active JP6992131B2 (ja) | 2016-02-01 | 2020-06-29 | 基板洗浄装置、基板処理装置、基板洗浄方法および基板処理方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020111912A Active JP6992131B2 (ja) | 2016-02-01 | 2020-06-29 | 基板洗浄装置、基板処理装置、基板洗浄方法および基板処理方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20230268174A1 (ja) |
JP (2) | JP6726575B2 (ja) |
KR (2) | KR101988096B1 (ja) |
TW (3) | TWI712081B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020027807A (ja) * | 2018-08-09 | 2020-02-20 | 株式会社荏原製作所 | 基板用洗浄具、基板洗浄装置、基板処理装置、基板処理方法および基板用洗浄具の製造方法 |
US12011743B2 (en) | 2020-11-26 | 2024-06-18 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Lower-surface brush, brush base and substrate cleaning device |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI759595B (zh) * | 2018-05-11 | 2022-04-01 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 基板處理系統及基板處理方法 |
JP2022188425A (ja) * | 2021-06-09 | 2022-12-21 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2023019211A (ja) * | 2021-07-28 | 2023-02-09 | 株式会社Screenホールディングス | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10335282A (ja) * | 1997-05-29 | 1998-12-18 | Fujitsu Ltd | ブラシスクラバ |
JP2009123800A (ja) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Sokudo:Kk | 基板処理装置 |
JP2010287686A (ja) * | 2009-06-10 | 2010-12-24 | Tokyo Electron Ltd | 塗布、現像装置及び基板の裏面洗浄方法。 |
JP2012028697A (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-09 | Toshiba Corp | 洗浄装置、方法 |
JP2013172019A (ja) * | 2012-02-21 | 2013-09-02 | Ebara Corp | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2015023248A (ja) * | 2013-07-23 | 2015-02-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び記憶媒体 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7743449B2 (en) * | 2002-06-28 | 2010-06-29 | Lam Research Corporation | System and method for a combined contact and non-contact wafer cleaning module |
JP4421611B2 (ja) * | 2003-08-07 | 2010-02-24 | 株式会社荏原製作所 | 基板処理装置 |
JP5012651B2 (ja) * | 2008-05-14 | 2012-08-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布装置、塗布方法、塗布、現像装置及び記憶媒体 |
KR20110072031A (ko) * | 2009-12-22 | 2011-06-29 | 세메스 주식회사 | 기판 세정 장치 |
US20130217228A1 (en) * | 2012-02-21 | 2013-08-22 | Masako Kodera | Method for fabricating semiconductor device |
JP6061484B2 (ja) * | 2012-03-27 | 2017-01-18 | 株式会社Screenセミコンダクターソリューションズ | 基板洗浄装置およびそれを備えた基板処理装置 |
JP6100487B2 (ja) * | 2012-08-20 | 2017-03-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置 |
JP6210935B2 (ja) * | 2013-11-13 | 2017-10-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 研磨洗浄機構、基板処理装置及び基板処理方法 |
-
2016
- 2016-09-08 JP JP2016175300A patent/JP6726575B2/ja active Active
- 2016-12-22 TW TW107147499A patent/TWI712081B/zh active
- 2016-12-22 TW TW109138696A patent/TWI762017B/zh active
- 2016-12-22 TW TW105142687A patent/TWI649801B/zh active
-
2017
- 2017-01-26 KR KR1020170012491A patent/KR101988096B1/ko active IP Right Grant
-
2019
- 2019-05-30 KR KR1020190063852A patent/KR102051261B1/ko active IP Right Grant
-
2020
- 2020-06-29 JP JP2020111912A patent/JP6992131B2/ja active Active
-
2023
- 2023-04-27 US US18/308,368 patent/US20230268174A1/en active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10335282A (ja) * | 1997-05-29 | 1998-12-18 | Fujitsu Ltd | ブラシスクラバ |
JP2009123800A (ja) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Sokudo:Kk | 基板処理装置 |
JP2010287686A (ja) * | 2009-06-10 | 2010-12-24 | Tokyo Electron Ltd | 塗布、現像装置及び基板の裏面洗浄方法。 |
JP2012028697A (ja) * | 2010-07-27 | 2012-02-09 | Toshiba Corp | 洗浄装置、方法 |
JP2013172019A (ja) * | 2012-02-21 | 2013-09-02 | Ebara Corp | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2015023248A (ja) * | 2013-07-23 | 2015-02-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板洗浄装置、基板洗浄方法及び記憶媒体 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020027807A (ja) * | 2018-08-09 | 2020-02-20 | 株式会社荏原製作所 | 基板用洗浄具、基板洗浄装置、基板処理装置、基板処理方法および基板用洗浄具の製造方法 |
JP7224128B2 (ja) | 2018-08-09 | 2023-02-17 | 株式会社荏原製作所 | 基板用洗浄具、基板洗浄装置、基板処理装置、基板処理方法および基板用洗浄具の製造方法 |
US12011743B2 (en) | 2020-11-26 | 2024-06-18 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Lower-surface brush, brush base and substrate cleaning device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101988096B1 (ko) | 2019-06-11 |
KR20190062366A (ko) | 2019-06-05 |
TW202111800A (zh) | 2021-03-16 |
TWI762017B (zh) | 2022-04-21 |
KR102051261B1 (ko) | 2019-12-02 |
KR20170091519A (ko) | 2017-08-09 |
JP2020167438A (ja) | 2020-10-08 |
JP6726575B2 (ja) | 2020-07-22 |
TWI649801B (zh) | 2019-02-01 |
TWI712081B (zh) | 2020-12-01 |
TW201740450A (zh) | 2017-11-16 |
US20230268174A1 (en) | 2023-08-24 |
JP6992131B2 (ja) | 2022-01-13 |
TW201921477A (zh) | 2019-06-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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|
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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