JP3697161B2 - ワーク搬送機構 - Google Patents

ワーク搬送機構 Download PDF

Info

Publication number
JP3697161B2
JP3697161B2 JP2001014819A JP2001014819A JP3697161B2 JP 3697161 B2 JP3697161 B2 JP 3697161B2 JP 2001014819 A JP2001014819 A JP 2001014819A JP 2001014819 A JP2001014819 A JP 2001014819A JP 3697161 B2 JP3697161 B2 JP 3697161B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
workpiece
base
insulating material
turntable
measuring device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2001014819A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002220113A (ja
Inventor
島 智 幸 小
Original Assignee
株式会社 東京ウエルズ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社 東京ウエルズ filed Critical 株式会社 東京ウエルズ
Priority to JP2001014819A priority Critical patent/JP3697161B2/ja
Priority to TW091100973A priority patent/TW522767B/zh
Priority to US10/059,836 priority patent/US6727685B2/en
Publication of JP2002220113A publication Critical patent/JP2002220113A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3697161B2 publication Critical patent/JP3697161B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q7/00—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting
    • B23Q7/02—Arrangements for handling work specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools, e.g. for conveying, loading, positioning, discharging, sorting by means of drums or rotating tables or discs
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T82/00—Turning
    • Y10T82/25—Lathe
    • Y10T82/2514—Lathe with work feeder or remover
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T82/00—Turning
    • Y10T82/25—Lathe
    • Y10T82/2514—Lathe with work feeder or remover
    • Y10T82/2516—Magazine type

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Specific Conveyance Elements (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ベース上を近接回転するターンテーブルによりワークを搬送するワーク搬送機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】
図３および図４に従来のワーク搬送機構を示す。
【０００３】
図３および図４に示すようにワーク搬送機構１は、外周にワークＷを収納する複数のワーク収納凹部２が設けられたターンテーブル３と、ターンテーブル３に近接し、ワーク収納凹部２に収納したワークＷを摺動可能に支持するベース４とを備えている。またベース４のうちワークＷの電気的特性測定個所下方に、上方に向かって進退自在にプローブ測定装置６が設けられ、このプローブ測定装置６はワーク収納凹部２内のワークＷに対して当接する。また、ベース４にはプローブ測定装置６が設けられ、ワークＷが通過する部分にプローブ測定装置６をガイドする絶縁材５が設けられている。
【０００４】
図３および図４に示すようなワーク搬送機構１において、電子部品等のワークＷは、ワーク収納凹部２に収納され、ベース４上をターンテーブル３の回転に伴い摺動して、プローブ測定装置６近傍の測定個所に搬送される。ワークＷがプローブ測定装置６近傍の測定個所に搬送されると、ベース４に設けられたプローブ測定装置６が上方に向かって進行し、ベース４上面より突出して、ワークＷに当接する。このようにしてワークＷの電気的特性がプローブ測定装置６により測定される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
上述のようにワーク収納凹部２に収納されたワークＷの電気的特性をベース４に設けられたプローブ測定装置６により測定するためには、ワークＷをベース４上で摺動させる必要がある。従って、ワークＷがベース４上をスムーズに摺動するためには、ベース４のうちワークＷに接触する部分において段差が無いことが望ましい。
【０００６】
すなわちベース４のうちワークＷに接触する部分において段差が生じると、ターンテーブル３により搬送されるワークＷがこの段差に引っ掛かり、ワークＷに傷や割れが発生するという問題がある。
【０００７】
しかしながら、ベース４のうちワークＷと接触する部分の電気的特性測定部において部分的に複数本のプローブを絶縁するための絶縁材５を設ける場合、この絶縁材５によってベース４に段差が生じることがある。このようなベース４の段差を無くすために、以下のような対応がなされている。すなわち、ベース４のうち絶縁材５と絶縁材５以外の部分との高さを均一にするために、スペーサーを用いたり、機械加工を施すということが行われている。
【０００８】
しかしながら、機械加工を施す場合でも、絶縁材５と絶縁材５以外の部分の材料の硬度や粘度の相違から、絶縁材５と、絶縁材５以外の部分との間の段差を無くすことが困難となる。また、絶縁材５をベース４に埋め込む際に、段差を生じないように埋め込む必要があるので、高精度の埋め込み技術を必要とし、製作コストが高価なものになるという問題がある。さらに、ワーク搬送機構１の使用にともない、絶縁材５および絶縁材５以外の部分は摩耗するが、その摩耗程度の相違により、絶縁材５と絶縁材５以外の部分との間に段差が生じるという問題がある。
【０００９】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、ベースのうちワークに接触する部分における段差を無くし、ワークの搬送中にワークがベースに引っ掛かることなく、ワークをプローブ測定装置近傍の測定個所にスムーズに搬送することができるワーク搬送機構を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
本発明は、外周にワークを収納する複数のワーク収納凹部が設けられたターンテーブルと、ターンテーブルのワーク収納凹部に収納されたワークを摺動可能に支持するベースと、ベースに上方に向かって進退自在に設けられ、ワーク収納凹部内のワークに対して当接するプローブ測定装置とを備え、ベースのうちワークに接触する部分全域は、単一材料の絶縁材からなることを特徴とするワーク搬送機構である。
【００１１】
本発明によれば、ベースのうちワークに接触する部分の全域が絶縁材からなるので、使用中に絶縁材部分が全体として均一に摩耗することになり、ベースのうちワークに接触する部分における段差を無くすことができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明によるワーク搬送機構の一実施形態を示す構成図であり、図２は本発明によるワーク搬送機構を上方から見た図である。
【００１３】
図１および図２に示すように、本発明によるワーク搬送機構１は、外周にワークＷを収納する複数のワーク収納凹部２が設けられたターンテーブル３と、ターンテーブル３に近接し、ワークＷを摺動可能に支持するベース４とを備えている。またベース４に上方に向かって進退自在にプローブ測定装置６が設けられ、このプローブ測定装置６は測定時にはワーク収納凹部２のワークＷに対して上昇して当接し、ワークＷの電気的特性を測定し、測定が終わるとベースのワーク摺動面より少し下降するようになっている。またターンテーブル３の中央部にはテーブル駆動軸１１が取り付けられており、このテーブル駆動軸１１は、カップリング１５を介して制御モータ１２に連結されている。
【００１４】
ベース４は、ターンテーブル３と近接して配置されるとともに、ベース４の上面を構成する絶縁材５により形成される絶縁材部分８と、絶縁材部分８を保持する保持部分９とから構成されている。この場合、絶縁材部分８は、ベース４のうちワークＷに接触する部分全周に延びており、このためワークＷはベース４のうち絶縁材部分８のみと接触するようになっている。またプローブ測定装置６は、ベース４のうちワーク収納凹部２内のワークＷの測定個所下方に設けられている。このプローブ測定装置６は、ベース４を構成する絶縁材部分８に設けられたガイド兼用の穴部７と、プローブ測定装置６に非接触に絶縁材保持部分９とを貫通して配置されている。また、インデックスガイド１３が、ターンテーブル３の外周側に沿って、ベース４上に設けられ、このインデックスガイド１３により、ターンテーブル３の回転によるワークＷの飛散を防止するようになっている。ところでベース４のうち絶縁材保持部分９には軸受１７を介して制御モータ１２が接続されている。さらにテーブル駆動軸１１は第１ベアリング１４ａおよび第２ベアリング１４ｂを介して軸受１７に取り付けられており、またテーブル駆動軸１１には第２ベアリング１４ｂを保持するためのナット１６が固定されている。
【００１５】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【００１６】
図１および図２に示すように、ターンテーブル３は制御モータ１２によりテーブル駆動軸１１を介して駆動され、絶縁材５上を近接回転する。ターンテーブル３が絶縁材５上を近接回転するのにともない、ターンテーブル３に設けられたワーク収納凹部２に収納されたワークＷはベース４上を摺動し、このワークＷはプローブ測定装置６近傍の測定個所に搬送される。
【００１７】
ワークＷがプローブ測定装置６近傍の測定個所まで搬送されると、絶縁材５上面から下方に引っ込んでいたプローブ測定装置６が、上方に進行して絶縁材５上面より上方に突出し、ワーク収納凹部２内のワークＷに対して当接する。このようにしてワークＷの電気的特性がプローブ測定装置６により測定される。
【００１８】
この間、ワークＷはベース４上、即ち絶縁材部分８と互いに接触するが、ベース４のうちワークＷに接触する絶縁材部分８全域は、絶縁材５の単一材料からなっているので、異なる材料を用いた場合の摩耗程度の相違を考慮する必要が無く、絶縁材部分８は均一に摩耗する。このためベース４のうちワークＷに接触する部分に段差が生じることはない。
【００１９】
またベース４はワークＷと接触する部分の全域に位置する絶縁材部分８と、この絶縁材部分８を保持する保持部分９とからなっており、組み立て作業が容易となる。
【００２０】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ベースにワークとの接触摩耗による段差を生じさせることはない。このため、ターンテーブルによりワークを搬送する際に、ワークがベースに引っ掛かることもなく、ワークをプローブ測定装置による測定個所にスムーズに搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるワーク搬送機構の一実施の形態を示した構成図。
【図２】本発明よるワーク搬送機構を上方から見た図。
【図３】従来のワーク搬送機構を示した構成図。
【図４】従来のワーク搬送機構を示した構成図。
【符号の説明】
１ ワーク搬送機構
２ ワーク収納凹部
３ ターンテーブル
４ ベース
５ 絶縁材
６ プローブ測定装置
７ 穴部
８ 絶縁材部分
９ 絶縁材保持部分
１１ テーブル駆動軸
１２ 制御モータ
１３ インデックスガイド
１４ａ 第１ベアリング
１４ｂ 第２ベアリング
１５ カップリング
１６ ナット
１７ 軸受
Ｗ ワーク

Claims (3)

  1. 外周にワークを収納する複数のワーク収納凹部が設けられたターンテーブルと、
    ターンテーブルのワーク収納凹部に収納されたワークを摺動可能に支持するベースと、
    ベースに上方に向かって進退自在に設けられ、ワーク収納凹部内のワークに対して当接するプローブ測定装置とを備え、
    ベースのうちワークに接触する部分全域は、単一材料の絶縁材からなることを特徴とするワーク搬送機構。
  2. プローブ測定装置は、ベースを構成する絶縁材に設けられた穴部に配置されることを特徴とする請求項１記載のワーク搬送機構。
  3. ベースは、ターンテーブル側の絶縁材部分と、絶縁材部分を保持する保持部分とからなることを特徴とする請求項１または請求項２のいずれかに記載のワーク搬送機構。
JP2001014819A 2001-01-23 2001-01-23 ワーク搬送機構 Expired - Lifetime JP3697161B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001014819A JP3697161B2 (ja) 2001-01-23 2001-01-23 ワーク搬送機構
TW091100973A TW522767B (en) 2001-01-23 2002-01-22 Work transfer apparatus
US10/059,836 US6727685B2 (en) 2001-01-23 2002-01-23 Work transfer apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001014819A JP3697161B2 (ja) 2001-01-23 2001-01-23 ワーク搬送機構

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002220113A JP2002220113A (ja) 2002-08-06
JP3697161B2 true JP3697161B2 (ja) 2005-09-21

Family

ID=18881458

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001014819A Expired - Lifetime JP3697161B2 (ja) 2001-01-23 2001-01-23 ワーク搬送機構

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6727685B2 (ja)
JP (1) JP3697161B2 (ja)
TW (1) TW522767B (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7960992B2 (en) * 2009-02-25 2011-06-14 Kingston Technology Corp. Conveyor-based memory-module tester with elevators distributing moving test motherboards among parallel conveyors for testing
US8598888B2 (en) 2010-05-04 2013-12-03 Electro Scientific Industries, Inc. System and method for improved testing of electronic devices

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4978913A (en) * 1989-01-24 1990-12-18 Murata Manufacturing Co., Ltd. Apparatus for measuring characteristics of chip electronic components
US4940935A (en) * 1989-08-28 1990-07-10 Ried Ashman Manufacturing Automatic SMD tester
US5673799A (en) * 1995-06-05 1997-10-07 Chip Star Inc. Machine for testing and sorting capacitor chips and method of operating same
JP3339390B2 (ja) * 1997-11-12 2002-10-28 株式会社村田製作所 電子部品の搬送装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20020096026A1 (en) 2002-07-25
JP2002220113A (ja) 2002-08-06
TW522767B (en) 2003-03-01
US6727685B2 (en) 2004-04-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102067434B1 (ko) 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
TWI453846B (zh) Detection device and detection method
KR101374529B1 (ko) 프로브 장치 및 프로브 장치의 프로브 카드 장착 방법
FR2518253A1 (fr) Dispositif de mesure de coordonnees multiples
JP2019033189A (ja) 切削装置及びウェーハの加工方法
JP3697161B2 (ja) ワーク搬送機構
JP2008016676A (ja) プローブカード自動交換機構及び検査装置
JPS62169341A (ja) プロ−ブカ−ド自動交換プロ−バ
JP2000006018A (ja) 研削装置
TW202320207A (zh) 晶圓檢測裝置、搬送裝置、方法、程式及非暫時性的記錄媒體
JP6262547B2 (ja) プローバ及びプローブカードの針先研磨装置
JP2008006536A (ja) ウェーハの研削方法
KR20100034944A (ko) 드릴비트의 재연마 방법 및 시스템
JP2011235388A (ja) 研削された被加工物の厚み計測方法および研削装置
CN114623742A (zh) 测量设备
JP2554432B2 (ja) 半導体ウエーハの外周面加工装置
CN109382762B (zh) 高度测量用治具
JP2006284273A (ja) ウェーハ厚さ測定装置
TWI838595B (zh) 磨削裝置
JP4748643B2 (ja) 切削ブレードの基準位置検出方法
JP2575073B2 (ja) ウエハプローバ
JP4338286B2 (ja) トランスファー型切削加工機
KR101532925B1 (ko) 전자 부품 실장용 피씨비 절단 장치
KR100275212B1 (ko) 로터리 트랜스용 코어 측정장치
JP7330032B2 (ja) チャックテーブルの検査方法、及び、被加工物の加工方法

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050117

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050218

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20050406

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050610

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050701

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3697161

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090708

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090708

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100708

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110708

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120708

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130708

Year of fee payment: 8

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term