JP3697161B2 - ワーク搬送機構 - Google Patents

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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ベース上を近接回転するターンテーブルによりワークを搬送するワーク搬送機構に関する。
【0002】
【従来の技術】
図3および図4に従来のワーク搬送機構を示す。
【0003】
図3および図4に示すようにワーク搬送機構1は、外周にワークWを収納する複数のワーク収納凹部2が設けられたターンテーブル3と、ターンテーブル3に近接し、ワーク収納凹部2に収納したワークWを摺動可能に支持するベース4とを備えている。またベース4のうちワークWの電気的特性測定個所下方に、上方に向かって進退自在にプローブ測定装置6が設けられ、このプローブ測定装置6はワーク収納凹部2内のワークWに対して当接する。また、ベース4にはプローブ測定装置6が設けられ、ワークWが通過する部分にプローブ測定装置6をガイドする絶縁材5が設けられている。
【0004】
図3および図4に示すようなワーク搬送機構1において、電子部品等のワークWは、ワーク収納凹部2に収納され、ベース4上をターンテーブル3の回転に伴い摺動して、プローブ測定装置6近傍の測定個所に搬送される。ワークWがプローブ測定装置6近傍の測定個所に搬送されると、ベース4に設けられたプローブ測定装置6が上方に向かって進行し、ベース4上面より突出して、ワークWに当接する。このようにしてワークWの電気的特性がプローブ測定装置6により測定される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述のようにワーク収納凹部2に収納されたワークWの電気的特性をベース4に設けられたプローブ測定装置6により測定するためには、ワークWをベース4上で摺動させる必要がある。従って、ワークWがベース4上をスムーズに摺動するためには、ベース4のうちワークWに接触する部分において段差が無いことが望ましい。
【0006】
すなわちベース4のうちワークWに接触する部分において段差が生じると、ターンテーブル3により搬送されるワークWがこの段差に引っ掛かり、ワークWに傷や割れが発生するという問題がある。
【0007】
しかしながら、ベース4のうちワークWと接触する部分の電気的特性測定部において部分的に複数本のプローブを絶縁するための絶縁材5を設ける場合、この絶縁材5によってベース4に段差が生じることがある。このようなベース4の段差を無くすために、以下のような対応がなされている。すなわち、ベース4のうち絶縁材5と絶縁材5以外の部分との高さを均一にするために、スペーサーを用いたり、機械加工を施すということが行われている。
【0008】
しかしながら、機械加工を施す場合でも、絶縁材5と絶縁材5以外の部分の材料の硬度や粘度の相違から、絶縁材5と、絶縁材5以外の部分との間の段差を無くすことが困難となる。また、絶縁材5をベース4に埋め込む際に、段差を生じないように埋め込む必要があるので、高精度の埋め込み技術を必要とし、製作コストが高価なものになるという問題がある。さらに、ワーク搬送機構1の使用にともない、絶縁材5および絶縁材5以外の部分は摩耗するが、その摩耗程度の相違により、絶縁材5と絶縁材5以外の部分との間に段差が生じるという問題がある。
【0009】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、ベースのうちワークに接触する部分における段差を無くし、ワークの搬送中にワークがベースに引っ掛かることなく、ワークをプローブ測定装置近傍の測定個所にスムーズに搬送することができるワーク搬送機構を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明は、外周にワークを収納する複数のワーク収納凹部が設けられたターンテーブルと、ターンテーブルのワーク収納凹部に収納されたワークを摺動可能に支持するベースと、ベースに上方に向かって進退自在に設けられ、ワーク収納凹部内のワークに対して当接するプローブ測定装置とを備え、ベースのうちワークに接触する部分全域は、単一材料の絶縁材からなることを特徴とするワーク搬送機構である。
【0011】
本発明によれば、ベースのうちワークに接触する部分の全域が絶縁材からなるので、使用中に絶縁材部分が全体として均一に摩耗することになり、ベースのうちワークに接触する部分における段差を無くすことができる。
【0012】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は本発明によるワーク搬送機構の一実施形態を示す構成図であり、図2は本発明によるワーク搬送機構を上方から見た図である。
【0013】
図1および図2に示すように、本発明によるワーク搬送機構1は、外周にワークWを収納する複数のワーク収納凹部2が設けられたターンテーブル3と、ターンテーブル3に近接し、ワークWを摺動可能に支持するベース4とを備えている。またベース4に上方に向かって進退自在にプローブ測定装置6が設けられ、このプローブ測定装置6は測定時にはワーク収納凹部2のワークWに対して上昇して当接し、ワークWの電気的特性を測定し、測定が終わるとベースのワーク摺動面より少し下降するようになっている。またターンテーブル3の中央部にはテーブル駆動軸11が取り付けられており、このテーブル駆動軸11は、カップリング15を介して制御モータ12に連結されている。
【0014】
ベース4は、ターンテーブル3と近接して配置されるとともに、ベース4の上面を構成する絶縁材5により形成される絶縁材部分8と、絶縁材部分8を保持する保持部分9とから構成されている。この場合、絶縁材部分8は、ベース4のうちワークWに接触する部分全周に延びており、このためワークWはベース4のうち絶縁材部分8のみと接触するようになっている。またプローブ測定装置6は、ベース4のうちワーク収納凹部2内のワークWの測定個所下方に設けられている。このプローブ測定装置6は、ベース4を構成する絶縁材部分8に設けられたガイド兼用の穴部7と、プローブ測定装置6に非接触に絶縁材保持部分9とを貫通して配置されている。また、インデックスガイド13が、ターンテーブル3の外周側に沿って、ベース4上に設けられ、このインデックスガイド13により、ターンテーブル3の回転によるワークWの飛散を防止するようになっている。ところでベース4のうち絶縁材保持部分9には軸受17を介して制御モータ12が接続されている。さらにテーブル駆動軸11は第1ベアリング14aおよび第2ベアリング14bを介して軸受17に取り付けられており、またテーブル駆動軸11には第2ベアリング14bを保持するためのナット16が固定されている。
【0015】
次にこのような構成からなる本実施の形態の作用について説明する。
【0016】
図1および図2に示すように、ターンテーブル3は制御モータ12によりテーブル駆動軸11を介して駆動され、絶縁材5上を近接回転する。ターンテーブル3が絶縁材5上を近接回転するのにともない、ターンテーブル3に設けられたワーク収納凹部2に収納されたワークWはベース4上を摺動し、このワークWはプローブ測定装置6近傍の測定個所に搬送される。
【0017】
ワークWがプローブ測定装置6近傍の測定個所まで搬送されると、絶縁材5上面から下方に引っ込んでいたプローブ測定装置6が、上方に進行して絶縁材5上面より上方に突出し、ワーク収納凹部2内のワークWに対して当接する。このようにしてワークWの電気的特性がプローブ測定装置6により測定される。
【0018】
この間、ワークWはベース4上、即ち絶縁材部分8と互いに接触するが、ベース4のうちワークWに接触する絶縁材部分8全域は、絶縁材5の単一材料からなっているので、異なる材料を用いた場合の摩耗程度の相違を考慮する必要が無く、絶縁材部分8は均一に摩耗する。このためベース4のうちワークWに接触する部分に段差が生じることはない。
【0019】
またベース4はワークWと接触する部分の全域に位置する絶縁材部分8と、この絶縁材部分8を保持する保持部分9とからなっており、組み立て作業が容易となる。
【0020】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、ベースにワークとの接触摩耗による段差を生じさせることはない。このため、ターンテーブルによりワークを搬送する際に、ワークがベースに引っ掛かることもなく、ワークをプローブ測定装置による測定個所にスムーズに搬送することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるワーク搬送機構の一実施の形態を示した構成図。
【図2】本発明よるワーク搬送機構を上方から見た図。
【図3】従来のワーク搬送機構を示した構成図。
【図4】従来のワーク搬送機構を示した構成図。
【符号の説明】
1 ワーク搬送機構
2 ワーク収納凹部
3 ターンテーブル
4 ベース
5 絶縁材
6 プローブ測定装置
7 穴部
8 絶縁材部分
9 絶縁材保持部分
11 テーブル駆動軸
12 制御モータ
13 インデックスガイド
14a 第1ベアリング
14b 第2ベアリング
15 カップリング
16 ナット
17 軸受
W ワーク

Claims (3)

  1. 外周にワークを収納する複数のワーク収納凹部が設けられたターンテーブルと、
    ターンテーブルのワーク収納凹部に収納されたワークを摺動可能に支持するベースと、
    ベースに上方に向かって進退自在に設けられ、ワーク収納凹部内のワークに対して当接するプローブ測定装置とを備え、
    ベースのうちワークに接触する部分全域は、単一材料の絶縁材からなることを特徴とするワーク搬送機構。
  2. プローブ測定装置は、ベースを構成する絶縁材に設けられた穴部に配置されることを特徴とする請求項1記載のワーク搬送機構。
  3. ベースは、ターンテーブル側の絶縁材部分と、絶縁材部分を保持する保持部分とからなることを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のワーク搬送機構。
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