JP3695398B2 - 光学式エンコーダ及びエンコーダ用スケール - Google Patents
光学式エンコーダ及びエンコーダ用スケール Download PDFInfo
- Publication number
- JP3695398B2 JP3695398B2 JP2002021536A JP2002021536A JP3695398B2 JP 3695398 B2 JP3695398 B2 JP 3695398B2 JP 2002021536 A JP2002021536 A JP 2002021536A JP 2002021536 A JP2002021536 A JP 2002021536A JP 3695398 B2 JP3695398 B2 JP 3695398B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- scale
- encoder
- polarization
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 54
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 96
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 38
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 15
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 11
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 8
- DMLAVOWQYNRWNQ-UHFFFAOYSA-N azobenzene Chemical group C1=CC=CC=C1N=NC1=CC=CC=C1 DMLAVOWQYNRWNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 125000002029 aromatic hydrocarbon group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 claims description 3
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 125000005647 linker group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 claims description 3
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims description 3
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 claims description 3
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 0 *c(cc1)ccc1N=Nc1ccc(*)cc1 Chemical compound *c(cc1)ccc1N=Nc1ccc(*)cc1 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000005264 High molar mass liquid crystal Substances 0.000 description 1
- ZVQOOHYFBIDMTQ-UHFFFAOYSA-N [methyl(oxido){1-[6-(trifluoromethyl)pyridin-3-yl]ethyl}-lambda(6)-sulfanylidene]cyanamide Chemical compound N#CN=S(C)(=O)C(C)C1=CC=C(C(F)(F)F)N=C1 ZVQOOHYFBIDMTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N argon Substances [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000007699 photoisomerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/38—Forming the light into pulses by diffraction gratings
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学式エンコーダ及びエンコーダ用スケールに関し、特に、スケールの移動に伴う回折干渉パターンの変化を利用してスケールの移動量を検出する光学式エンコーダと、光学式エンコーダに使用されるエンコーダ用スケールとに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体デバイスや光学デバイスの精密化に伴い、レーザ干渉測長器等の高分解能且つ高精度の変位検出システムが使用されるようになった。最近では、レーザ干渉測長器に匹敵する高性能の変位検出システムとして、ホログラムスケールを用いた超高精度の光学式リニアエンコーダ（以下、「ホログラムエンコーダ」という）が注目されている。
【０００３】
ホログラムスケールは、光の波面をホログラムの形で目盛面上に直接記録したものであり、その製法原理上、光の波長オーダの最も細かい目盛ピッチを実現することができる。ホログラムエンコーダは、このスケールに記録されたホログラムによる回折光の干渉現象を利用して変位を検出するものであり、様々な方式のリニアエンコーダの中でも最も高い分解能と精度とを備えている。
【０００４】
以下に説明するように、ホログラムエンコーダは、検出原理に回折光の干渉現象を利用しており、ホログラムスケールは回折格子として扱うことができる。図９に回折格子（ホログラムスケール）による回折の様子を示す。一般に、回折格子は０次回折光、±１次回折光等、複数の次数の回折光を生じるが、変位検出には±１次回折光の干渉を利用する。Ｐは回折格子のピッチ、即ち、ホログラムスケールの目盛ピッチである。
【０００５】
検出原理の理解のため、図１０を参照して回折格子にθ0で入射した光線の＋Ｍ次回折光と＋Ｎ次回折光との干渉を考える。θNは＋Ｎ次回折光の回折角であり、θMは＋Ｍ次回折光の回折角である。回折角と入射角θ0との関係は次式で与えられる。λは光源の波長である。
【０００６】
【数１】
【０００７】
また、干渉する各光波の振幅を同じとしたときのＱ点での光の強度Ｉは次式で与えられる。
【０００８】
【数２】
【０００９】
この式は、回折格子をＸ方向又は−Ｘ方向に移動させると、Ｑ点における光強度Ｉがｘ＝Ｐ／（Ｎ−Ｍ）の周期で正弦波状に変化することを示している。ホログラムエンコーダの検出光学系はこの現象を利用したものである。例えば、±１次回折光を干渉させる検出光学系においては、スケールを目盛１ピッチ分移動させると、光の強度は２周期分完全正弦波状に変化する。即ち、この場合は、スケールの目盛ピッチＰが光学的に２分割され、基本分解能が２倍になったことになる。また、この光の強度変化を光電変換して得られる電気信号を後段の内挿回路で電気的に分割することで、基本分解能以上の高分解能を得ることができる。
【００１０】
なお、ホログラムエンコーダの詳細に関しては、例えば「ホログラムスケールを用いた超高精度光電式リニアエンコーダ」、富谷雅樹、大崎基弘、光技術コンタクト、Vol. 38, No. 6 (2000) pp. 368-376に記載されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来のホログラムエンコーダには、検出信号のノイズが大きい、という重大な問題が有る。その原因は、ホログラムスケールにより干渉に寄与する±１次回折光の外に、望まれない回折光（例えば、０次回折光や２次以上の高次回折光）が発生することに起因する。検出器上には±１次回折光の干渉パターンを検出するための透過スリットが配置されているが、０次回折光や２次以上の高次回折光も透過スリットを透過して同時に光検出器に入射してしまう。これがノイズの原因となる。ノイズが大きくなると前記した正弦波信号の振幅変化の検出が困難となり、位置変位に対するシステムの感度が低下する。その結果、変位測定の分解能が低下する。
【００１２】
本発明は上記事情に鑑みなされたものであり、本発明の目的は、検出信号のノイズを低減して、高分解能でスケール移動量を検出することができる光学式エンコーダ及びエンコーダ用スケールを提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の光学式エンコーダは、入射されたレーザ光を回折すると共に所定次数の回折光の偏光方向を所定偏光方向に選択的に回転させる光学異方性部位が形成されたスケールと、該スケールにレーザ光を照射する光源、前記スケールを透過又は前記スケールで反射された回折光から前記所定偏光方向の偏光成分を分離する偏光分離手段、及び分離された偏光成分による干渉パターンの所定位置での光強度を検出する光強度検出手段を備えた検出光学系と、が相対移動又は相対回転可能に配置された光学センサ部と、該光学センサ部で検出された光強度の変化に基づいて前記スケールの移動量を演算する移動量演算手段と、を備えたことを特徴としている。
【００１４】
この光学式エンコーダでは、検出光学系において、光源からスケールに照射されたレーザ光は、スケールに形成された光学異方性部位により回折される。このとき、所定次数の回折光の偏光方向は所定偏光方向に選択的に回転される。偏光分離手段はスケールを透過又はスケールで反射された回折光から所定偏光方向の偏光成分、即ち所定次数の回折光を分離し、光強度検出手段は分離された回折光による干渉パターンの所定位置での光強度を検出する。
【００１５】
光学センサ部には上記検出光学系とスケールとが相対移動又は相対回転可能に配置されており、検出光学系とスケールとが相対移動又は相対回転すると回折干渉パターンが変化して、光強度検出手段で検出される光強度が変化する。そして、移動量演算手段は、光学センサ部で検出された光強度の変化に基づいてスケールの移動量を演算する。例えば、光強度検出手段で検出された光強度が周期的に変化する場合に、該光強度の変化の周期をスケールの回折ピッチに関連付けてスケールの移動量を演算することができる。
【００１６】
この通り、本発明の光学式エンコーダでは、レーザ光がスケールに形成された光学異方性部位により回折される際に、所定次数の回折光の偏光方向が回転され、偏光方向が回転された回折光の干渉光だけが光検出器で検出されるので、ノイズが低減された検出信号を得ることができ、スケール移動量を高分解能で検出することができる。
【００１７】
上記の光学式エンコーダの光源としては、面発光レーザが好適である。面発光レーザを光源に用いた場合には、ビーム径の広がりを比較的小さく抑えることができるので、コリメータレンズや集光レンズが不要で部品点数が少なくなり、更に装置の小型化を図ることができる。
【００１８】
偏光分離手段としては、入射光から所定偏光方向の直線偏光成分を通過させる偏光板や偏光フィルタ等の偏光子を用いることができる。
【００１９】
光学式エンコーダに使用されるエンコーダ用スケールは、入射されたレーザ光を回折すると共に所定次数の回折光の偏光方向を所定方向に選択的に回転させる光学異方性部位が形成されたことを特徴とするものである。
【００２０】
スケールに形成される光学異方性部位は、光照射により誘起された光誘起異方性を備えた部位とすることができる。光誘起異方性には光誘起複屈折と光誘起二色性とがある。この光学異方性部位は、例えば、側鎖に光異性化する基を有する高分子化合物（高分子液晶も含む）を含む記録材料、又は光異性化する分子を分散させた高分子化合物を含む記録材料に、光照射により複屈折を誘起して形成することができる。
【００２１】
高分子化合物としては、アゾベンゼン骨格を有するものが好ましく、主鎖に芳香族炭化水素基を有するものがより好ましく、前記一般式（１）で表されるポリエステルが特に好ましい。一般式（１）中、Ｘはシアノ基、メチル基、メトキシ基、又はニトロ基を表し、Ｙはエーテル結合、ケトン結合、又はスルホン結合による２価の連結基を表す。ｌおよびｍは２から１８の整数を表し、ｎは５から５００の整数を表す。
【００２２】
上記の光学異方性部位は、例えば、偏光ホログラム記録により形成することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
（第１の実施の形態）
［光学式エンコーダの構成］
本発明の第１の実施の形態に係る光学式エンコーダは、図１に示すように、所定の偏光方向の直線偏光を出力するレーザ光源１０を備えており、レーザ光源１０の光出射側には、偏光ホログラムが記録された長尺状の透過型スケール１２、所定偏光方向の直線偏光を選択的に透過する偏光板１４、所定間隔でスリットが形成されたスリット板１６、及びスリット板１６を通過したレーザ光の強度を検出する光検出器１８がこの順に配置されている。
【００２４】
透過型スケール１２は、後述する記録層側からレーザ光が略垂直に入射するように配置されると共に、駆動装置２２により制御される図示しない駆動機構を介してスケール長手方向に沿った矢印Ａ方向に移動可能に構成されている。また、光検出器１８は、その検出信号に基づいて移動量を演算する移動量演算装置２０に接続されている。移動量演算装置２０は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを備えたパーソナル・コンピュータで構成することができる。
【００２５】
レーザ光源１０は、基板表面からレーザ光を取り出すことができる面発光レーザで構成されている。面発光レーザは、開口形状の設計によりビーム径の広がりを比較的小さく抑えることができるので、コリメータレンズや集光レンズが不要で、装置の小型化、低コスト化に有利である。例えば、IEEE Photon. Technol. Lett., 11, 1539 (1999)に記載された面発光レーザ等を好適に用いることができる。
【００２６】
透過型スケール１２に記録された偏光ホログラムは、回折格子として作用する。ここで、偏光ホログラムの回折原理を、従来のホログラムの回折原理と比較して説明する。従来のホログラムは、図２に示すように、光感応媒体にコヒーレントな二光波の干渉縞を照射し、この光強度分布に対応した屈折率変化あるいは吸収率の変化を記録したものである。この場合、干渉縞のコントラストを高くするために、二光波の偏光は同じ方位の直線偏光に設定される。このホログラムでは、入射光はその偏光方向を変えることなく回折される。
【００２７】
一方、偏光ホログラムを記録する場合には、図３（Ａ）に示すように、光誘起異方性(Weigert's effect)を示す偏光感応媒体に互いに直交する偏光状態の二光波（例えば、紙面に平行なｐ偏光とこれに直交するｓ偏光）が照射される。このとき、媒体中には二光波による干渉縞は生じないが、二光波の電場ベクトルの合成による空間偏光分布が形成され、この空間偏光分布に対応して光誘起異方性が発現し、これが記録される。これが偏光ホログラムである。なお、偏光ホログラムの詳細については、T. Todorov, L. Nikilova, and N. Tomova, Appl. Opt. 23, 4309 (1984)等に記載されている。
【００２８】
この偏光ホログラムは、従来のホログラムと同様に回折格子として作用して入射光を回折すると共に、奇数次数の回折光の偏光方向だけを９０°回転させる。例えば、図３（Ｂ）に示すように、入射するレーザ光をｓ偏光とすると、偏光ホログラムによる±１次回折光は入射光の偏光方向と９０°直交するｐ偏光となり、０次回折光、±２次回折光はｓ偏光のままである。通常、３次以上の高次回折光は無視することができる。このように回折光の次数により作用が異なる理由は、F.Lagugne Labarthet, P.Rochon, A.Natansohn, Appl. Phys. Lett., Vol.75, No.10, 1377(1999)等に詳細に説明されている。
【００２９】
従って、図３（Ｃ）に示すように、±１次回折光の回折効率が各々約３０％となるように偏光ホログラムが記録された透過型スケール１２にｐ偏光を入射すると、ｐ偏光の０次回折光とｓ偏光の±１次回折光とが略均等に出力される。
【００３０】
偏光板１４は、レーザ光源１０から出力されるレーザ光の偏光方向と直交する透過軸方位を備えており、偏光ホログラムにより偏光方向が９０°回転された±１次回折光だけが偏光板１４を透過する。
【００３１】
スリット板１６には、偏光ホログラムによる±１次回折光の干渉により形成される光強度パターン（回折干渉パターン）に対応したピッチでスリットが形成されている。これにより、生成される回折干渉パターンの特定部分がスリットを通過して光検出器に入射され、検出強度が向上する。
【００３２】
光検出器１８には、上記のスリット板１６の各スリットに対応した複数の受光領域が形成されている。受光領域の形状をスリットに対応した形状とすることにより、光強度の検出効率が向上する。
【００３３】
［透過型スケールの作製］
透過型スケール１２は、図４（Ａ）に示す、ガラス基板等の透明基板２４の一方の表面に、光誘起異方性(複屈折又は二色性)を示すと共に誘起された異方性を記録、保持可能な偏光感応媒体からなる記録層２６が形成された記録媒体を用い、この記録媒体の記録層２６に偏光ホログラムを記録して作製することができる。
【００３４】
記録層２６を構成する偏光感応媒体としては、光誘起複屈折が大きく高い回折効率を得ることができ、記録安定性にも優れたアゾベンゼン骨格を有する高分子（以下、「アゾポリマー」と称する。）が好適である。アゾベンゼンに直線偏光が照射されると、この直線偏光の偏光方向に配列したアゾベンゼンは下記に示すようにトランス−シス−トランスの光異性化サイクルを示す。
【００３５】
【化２】
【００３６】
トランス体が偏光方向と直交する方向に緩和した場合には、もはや光により励起されずその方位に安定にとどまる。このように、アゾベンゼンは照射光の偏光方向と直交する方向にトランス体が配向する。この配向によって複屈折及び二色性が誘起される。アゾポリマーの中でも、下記式に示すような、主鎖に芳香族炭化水素基を有し且つ側鎖にアゾベンゼン骨格を有するポリエステルは、特に高い光誘起複屈折と安定性を有するため記録層の構成材料として好適である。
【００３７】
【化３】
【００３８】
上記の式中、Ｘはシアノ基、メチル基、メトキシ基、またはニトロ基を表し、Ｙはエーテル結合、ケトン結合、またはスルホン結合による２価の連結基を表す。また、ｌ及びｍは２から１８の整数、より好ましくは４から１０の整数を表し、ｎは５から５００の整数、より好ましくは１０から１００の整数を表す。
【００３９】
次に、図５に示す光学系を用いてスケールを作製した例を以下に示す。レーザ光源７０には発振線５１５ｎｍのアルゴンイオンレーザを用い、レーザ光源７０から出力されたレーザ光をコリメートレンズ７１、７２により広い口径の平行光にして、偏光ビームスプリッタ７４に入射させ、入射光を互いに直交する偏光状態の二光波（例えば、ｓ偏光とｐ偏光のように互いに直交方位を有する直線偏光）に分離した。厚さ１０μｍのアゾポリマー層を記録層２６として備えた記録媒体７８に、反射光（例えばｓ偏光）を反射鏡７６により反射させて照射すると共に、透過光（例えばｐ偏光）を照射して偏光ホログラムを記録した。なお、アゾポリマー層の厚さは、所望のホログラム回折効率に応じて適宜変更することができる。
【００４０】
偏光ホログラム記録時の露光エネルギーを１Ｊ／ｃｍ2としたとき、アゾポリマーに感度の無い波長６００ｎｍ以上のレーザ光での回折効率は約５０％であり、最も高い回折効率を得た。
【００４１】
［光学式エンコーダの動作］
次に、図１に示す光学式エンコーダの動作について説明する。レーザ光源１０から所定の偏光方向を有する直線偏光として出力されたレーザ光は、光出射側に配置された透過型スケール１２に照射され、透過型スケール１２に記録された偏光ホログラムにより回折される。回折光のうち±１次回折光の偏光方向だけが９０°回転される。これら±１次回折光は相互に干渉し、光検出器１８の受光表面上には干渉による光強度パターン（干渉縞）が形成される。
【００４２】
偏光方向が９０°回転された±１次回折光の干渉光は、レーザ光源１０から出力されるレーザ光の偏光方向と直交する透過軸方位を備えた偏光板１４を透過する。偏光板１４を透過した干渉光の一部は、スリット板１６の各スリットを通過し、各スリットに対応して形成された光検出器１８の受光領域の各々に照射され、照射光の強度が光検出器１８で検出される。一方、偏光方向が回転されなかった０次回折光、±２次回折光、及びそれらの干渉光は、偏光板１４を透過することができず、光検出器１８で検出される前に遮断される。
【００４３】
透過型スケール１２が駆動装置２２により図示しない駆動機構を介して矢印Ａ方向に移動されると、前記したホログラムエンコーダの検出原理に従い、光検出器１８の各受光領域で検出される光強度は透過型スケール１２の移動に伴い周期的に変化し、正弦波状の検出信号が移動量演算装置２０に出力される。透過型スケール１２が回折格子１ピッチ分移動すると２周期分の正弦波信号が検出され、移動量演算装置２０では、上記の検出信号に基づいて透過型スケール１２の移動量を演算する。例えば、検出信号の波数と回折格子１ピッチ分の長さとを用いて移動量を演算することができる。
【００４４】
以上説明した通り、本実施の形態に係る光学式エンコーダでは、透過型スケールに記録された偏光ホログラムにより±１次回折光の偏光方向を９０°回転させると共に、偏光板により不要なノイズ光を遮断して移動量（変位）測定に必要な回折干渉光だけを光検出器で検出するので、検出信号のＳ／Ｎが向上し、スケール移動量を高分解能で検出することができる。
【００４５】
また、光源にビーム径の広がりを比較的小さく抑えることができる面発光レーザを用いているので、コリメータレンズや集光レンズが不要で、装置の小型化、低コスト化を図ることができる。
【００４６】
更に、光検出器の光入射側に所定間隔でスリットが形成されたスリット板を配置し、生成される回折干渉パターンの特定部分がスリット通過して光検出器に入射するようにしたので、検出強度を向上させることができる。また、各スリットに対応した複数の受光領域が形成された光検出器を用いているので、効率良く光強度を検出することができる。
【００４７】
（第２の実施の形態）
［光学式エンコーダの構成］
本発明の第２の実施の形態に係る光学式エンコーダは、図６に示すように、所定の偏光方向の直線偏光を出力するレーザ光源３０を備えており、レーザ光源３０の光出射側には、偏光ホログラムが記録された長尺状の反射型スケール３２が配置されている。反射型スケール３２による反射光の光路上には、所定偏光方向の直線偏光を選択的に透過する偏光板３４、所定間隔でスリットが形成されたスリット板３６、及びスリット板３６を通過したレーザ光の強度を検出する光検出器３８がこの順に配置されている。
【００４８】
レーザ光源３０は、基板表面からレーザ光を取り出すことができる面発光レーザで構成されており、レーザ光源３０と光検出器３８とは共通基板２８上にモノリシックに形成されている。
【００４９】
反射型スケール３２は、入射光が入射方向とは異なる方向に反射されるように、レーザ光源３０上方に該光源の光出射方向に対し所定角度傾けて配置されると共に、駆動装置４２により制御される図示しない駆動機構を介してスケール長手方向に沿った矢印Ｂ方向に移動可能に構成されている。また、光検出器３８は、光検出器３８の検出信号に基づいて移動量を演算する移動量演算装置４０に接続されている。移動量演算装置４０は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを備えたパーソナル・コンピュータで構成することができる。
【００５０】
反射型スケール３２に記録された偏光ホログラムが、回折格子として作用して入射光を回折すると共に、奇数次数の回折光の偏光方向だけを９０°回転させる点は透過型スケールの場合と同様であり、入射するレーザ光をｐ偏光とすると、偏光ホログラムによる±１次回折光は入射光の偏光方向と９０°直交するｓ偏光となり、０次回折光、±２次回折光はｐ偏光のままである。例えば、図７に示すように、±１次回折光の回折効率が各々約３０％となるように偏光ホログラムが記録された反射型スケール３２にｐ偏光を入射すると、ｐ偏光の０次回折光とｓ偏光の±１次回折光とが略均等に出力される。
【００５１】
偏光板３４は、レーザ光源３０から出力されるレーザ光の偏光方向と直交する透過軸方位を備えている。また、スリット板３６には、偏光ホログラムによる±１次回折光の干渉により形成される光強度パターンに対応したピッチでスリットが形成されており、光検出器３８には、このスリット板３６の各スリットに対応した複数の受光領域が形成されている。
【００５２】
［反射型スケールの作製］
反射型スケール３２は、図４（Ｂ）に示す、金属等の反射部材４６の一方の表面に、光誘起異方性を示すと共に誘起された異方性を記録、保持可能な偏光感応媒体からなる記録層４８が形成された記録媒体を用い、この記録媒体の記録層４８に偏光ホログラムを記録して作製することができる。反射型スケール３２の記録層４８側から入射したレーザ光は、記録層４８を通過して反射部材４６の表面で反射され、再度、記録層４８を通過して射出される。記録層４８を構成する記録材料としては、透過型スケールと同様にアゾポリマーが好適である。また、透過型スケールの場合と同様の方法により、アゾポリマーで構成された記録層４８に偏光ホログラムを記録することができる。
【００５３】
［光学式エンコーダの動作］
次に、図６に示す光学式エンコーダの動作について説明する。レーザ光源３０から所定の偏光方向を有する直線偏光として出力されたレーザ光は、光出射側に配置された反射型スケール３２に照射され、反射型スケール３２に記録された偏光ホログラムにより回折される。回折光のうち±１次回折光の偏光方向だけが９０°回転される。これら±１次回折光は相互に干渉し、光検出器３８の受光表面上には干渉による光強度パターン（干渉縞）が形成される。
【００５４】
偏光方向が９０°回転された±１次回折光の干渉光は、レーザ光源３０から出力されるレーザ光の偏光方向と直交する透過軸方位を備えた偏光板３４を透過する。偏光板３４を透過した干渉光の一部は、スリット板３６の各スリットを通過し、各スリットに対応して形成された光検出器３８の受光領域の各々に照射され、照射光の強度が光検出器３８で検出される。一方、偏光方向が回転されなかった０次回折光、±２次回折光、及びそれらの干渉光は、偏光板３４を透過することができず、光検出器３８で検出される前に遮断される。
【００５５】
反射型スケール３２が駆動装置４２により図示しない駆動機構を介して矢印Ｂ方向に移動されると、光検出器３８の各受光領域で検出される光強度は反射型スケール３２の移動に伴い周期的に変化し、正弦波状の検出信号が移動量演算装置４０に出力される。移動量演算装置４０では、上記の検出信号に基づいて透過型スケール３２の移動量を演算する。
【００５６】
以上説明した通り、本実施の形態に係る光学式エンコーダでは、反射型スケールに記録された偏光ホログラムにより±１次回折光の偏光方向を９０°回転させると共に、偏光板により不要なノイズ光を遮断して移動量（変位）測定に必要な回折干渉光だけを光検出器で検出するので、検出信号のＳ／Ｎが向上し、スケール移動量を高分解能で検出することができる。
【００５７】
また、光源にビーム径の広がりを比較的小さく抑えることができる面発光レーザを用いているので、コリメータレンズや集光レンズが不要であると共に、面発光レーザと光検出器とを共通基板上にモノリシックに形成することができ、更に装置の小型化、低コスト化を図ることができる。
【００５８】
更に、光検出器の光入射側に所定間隔でスリットが形成されたスリット板を配置し、生成される回折干渉パターンの特定部分がスリット通過して光検出器に入射するようにしたので、検出強度を向上させることができる。また、各スリットに対応した複数の受光領域が形成された光検出器を用いているので、効率良く光強度を検出することができる。
【００５９】
以下に、本発明の好適な実施の態様や他の実施の態様等について説明する。
【００６０】
上記の実施の形態に係る光学式エンコーダにおいて、レーザ光源とスケールとの間に偏光子を配置することが好ましい。レーザ光源から出射される光の偏光状態が変動する場合に、偏光子によりこの変動による影響を低減して、ノイズを低減することができる。また、レーザ光源とスケールとの間にアパーチャを配置することが好ましい。ビーム径及びスケール周期に応じて検出信号の振幅が変動するので、光源から出射されるレーザ光のビーム径が変動する場合に、アパーチャにより所定ビーム径のレーザ光がスケールに照射されるようにして検出信号の振幅の変動を防止し、ノイズを低減することができる。
【００６１】
上記した通り、第１及び第２の実施の形態では、直線偏光であるレーザ光をスケールに照射する例について説明したが、円偏光・楕円偏光をスケールに照射してもよい。この場合には、１／４波長板を備えたスケールを用いて直線偏光に変換する。
【００６２】
また、第１及び第２の実施の形態では、偏光板、スリット板、及び光検出器を各々別々に構成する例について説明したが、光検出器の表面に偏光フィルム及びフィルム状のスリットを貼り付ける等して一体に構成してもよい。
【００６３】
また、第１及び第２の実施の形態では、レーザ光源に面発光レーザを用いる例について説明したが、従来の光学式エンコーダの光源に使用されている一般のレーザ光源を用いることもできる。
【００６４】
また、第１及び第２の実施の形態では、リニアスケールを用いた光学式リニアエンコーダについて説明したが、光源に対して相対的に回転するディスク状スケールを用いてスケールの回転量を測定するロータリーエンコーダにも本発明を適用することができる。
【００６５】
また、第１及び第２の実施の形態では、スケールが駆動装置により所定方向に移動する例について説明したが、スケールはレーザ光源に対して相対的に移動すればよく、スケールを固定配置してレーザ光源を移動させてもよい。この場合、スケールで偏光変調されたレーザ光が光検出器で検出されるように、光検出器等もレーザ光源に伴い移動させる必要がある。また、上記では、１個のスケールに対しレーザ光源及び光検出器を含む検出光学系を配置する例について説明したが、１個のスケールに対し複数の検出光学系を配置することもできる。
【００６６】
また、第２の実施の形態では、反射部材を備えた記録媒体の記録層に偏光ホログラムを記録して反射型スケールを作製する例について説明したが、図４（Ａ）に示す、透明基板２４の一方の表面に偏光感応媒体からなる記録層２６が形成された記録媒体を用い、図８に示すように、この記録媒体に互いに直交する偏光状態の二光波を異なる側から照射して偏光ホログラムを記録することにより、反射型スケールを作製することができる。
【００６７】
【発明の効果】
本発明の光学式エンコーダ及びエンコーダ用スケールは、検出信号のノイズを低減して、高分解能でスケール移動量を検出することができる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係る光学式エンコーダの構成を示す概略図である。
【図２】従来のホログラムの回折原理を説明する斜視図である。
【図３】（Ａ）は偏光ホログラムの記録方法を示す斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）で記録された偏光ホログラムによる回折原理を説明する斜視図であり、（Ｃ）は透過型スケールにｐ偏光を入射した場合の回折光の偏光分布の１例を示す概略図である。
【図４】（Ａ）は透過型スケール作製に使用する記録媒体の層構成を示す断面図であり、（Ｂ）は反射型スケール作製に使用する記録媒体の層構成を示す断面図である。
【図５】偏光ホログラム記録によりスケールを作製するための光学系の構成を示す光軸に沿った断面図である。
【図６】第２の実施の形態に係る光学式エンコーダの構成を示す概略図である。
【図７】反射型スケールにｐ偏光を入射した場合の回折光の偏光分布の１例を示す概略図である。
【図８】偏光ホログラムの他の記録方法を示す斜視図である。
【図９】回折格子（ホログラムスケール）による回折の様子を示す図である。
【図１０】従来のホログラムエンコーダの検出原理を説明する説明図である。
【符号の説明】
１０、３０ レーザ光源
１２ 透過型スケール
１４、３４ 偏光板
１６、３６ スリット板
１８、３８ 光検出器
２０、４０ 移動量演算装置
２２、４２ 駆動装置
２４ 透明基板
２６、４８ 記録層
２８ 共通基板
３２ 反射型スケール
４６ 反射部材
７０ レーザ光源
７１、７２ コリメートレンズ
７４ 偏光ビームスプリッタ
７６ 反射鏡
７８ 記録媒体
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学式エンコーダ及びエンコーダ用スケールに関し、特に、スケールの移動に伴う回折干渉パターンの変化を利用してスケールの移動量を検出する光学式エンコーダと、光学式エンコーダに使用されるエンコーダ用スケールとに関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、半導体デバイスや光学デバイスの精密化に伴い、レーザ干渉測長器等の高分解能且つ高精度の変位検出システムが使用されるようになった。最近では、レーザ干渉測長器に匹敵する高性能の変位検出システムとして、ホログラムスケールを用いた超高精度の光学式リニアエンコーダ（以下、「ホログラムエンコーダ」という）が注目されている。
【０００３】
ホログラムスケールは、光の波面をホログラムの形で目盛面上に直接記録したものであり、その製法原理上、光の波長オーダの最も細かい目盛ピッチを実現することができる。ホログラムエンコーダは、このスケールに記録されたホログラムによる回折光の干渉現象を利用して変位を検出するものであり、様々な方式のリニアエンコーダの中でも最も高い分解能と精度とを備えている。
【０００４】
以下に説明するように、ホログラムエンコーダは、検出原理に回折光の干渉現象を利用しており、ホログラムスケールは回折格子として扱うことができる。図９に回折格子（ホログラムスケール）による回折の様子を示す。一般に、回折格子は０次回折光、±１次回折光等、複数の次数の回折光を生じるが、変位検出には±１次回折光の干渉を利用する。Ｐは回折格子のピッチ、即ち、ホログラムスケールの目盛ピッチである。
【０００５】
検出原理の理解のため、図１０を参照して回折格子にθ0で入射した光線の＋Ｍ次回折光と＋Ｎ次回折光との干渉を考える。θNは＋Ｎ次回折光の回折角であり、θMは＋Ｍ次回折光の回折角である。回折角と入射角θ0との関係は次式で与えられる。λは光源の波長である。
【０００６】
【数１】
また、干渉する各光波の振幅を同じとしたときのＱ点での光の強度Ｉは次式で与えられる。
【０００８】
【数２】
この式は、回折格子をＸ方向又は−Ｘ方向に移動させると、Ｑ点における光強度Ｉがｘ＝Ｐ／（Ｎ−Ｍ）の周期で正弦波状に変化することを示している。ホログラムエンコーダの検出光学系はこの現象を利用したものである。例えば、±１次回折光を干渉させる検出光学系においては、スケールを目盛１ピッチ分移動させると、光の強度は２周期分完全正弦波状に変化する。即ち、この場合は、スケールの目盛ピッチＰが光学的に２分割され、基本分解能が２倍になったことになる。また、この光の強度変化を光電変換して得られる電気信号を後段の内挿回路で電気的に分割することで、基本分解能以上の高分解能を得ることができる。
【００１０】
なお、ホログラムエンコーダの詳細に関しては、例えば「ホログラムスケールを用いた超高精度光電式リニアエンコーダ」、富谷雅樹、大崎基弘、光技術コンタクト、Vol. 38, No. 6 (2000) pp. 368-376に記載されている。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来のホログラムエンコーダには、検出信号のノイズが大きい、という重大な問題が有る。その原因は、ホログラムスケールにより干渉に寄与する±１次回折光の外に、望まれない回折光（例えば、０次回折光や２次以上の高次回折光）が発生することに起因する。検出器上には±１次回折光の干渉パターンを検出するための透過スリットが配置されているが、０次回折光や２次以上の高次回折光も透過スリットを透過して同時に光検出器に入射してしまう。これがノイズの原因となる。ノイズが大きくなると前記した正弦波信号の振幅変化の検出が困難となり、位置変位に対するシステムの感度が低下する。その結果、変位測定の分解能が低下する。
【００１２】
本発明は上記事情に鑑みなされたものであり、本発明の目的は、検出信号のノイズを低減して、高分解能でスケール移動量を検出することができる光学式エンコーダ及びエンコーダ用スケールを提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の光学式エンコーダは、入射されたレーザ光を回折すると共に所定次数の回折光の偏光方向を所定偏光方向に選択的に回転させる光学異方性部位が形成されたスケールと、該スケールにレーザ光を照射する光源、前記スケールを透過又は前記スケールで反射された回折光から前記所定偏光方向の偏光成分を分離する偏光分離手段、及び分離された偏光成分による干渉パターンの所定位置での光強度を検出する光強度検出手段を備えた検出光学系と、が相対移動又は相対回転可能に配置された光学センサ部と、該光学センサ部で検出された光強度の変化に基づいて前記スケールの移動量を演算する移動量演算手段と、を備えたことを特徴としている。
【００１４】
この光学式エンコーダでは、検出光学系において、光源からスケールに照射されたレーザ光は、スケールに形成された光学異方性部位により回折される。このとき、所定次数の回折光の偏光方向は所定偏光方向に選択的に回転される。偏光分離手段はスケールを透過又はスケールで反射された回折光から所定偏光方向の偏光成分、即ち所定次数の回折光を分離し、光強度検出手段は分離された回折光による干渉パターンの所定位置での光強度を検出する。
【００１５】
光学センサ部には上記検出光学系とスケールとが相対移動又は相対回転可能に配置されており、検出光学系とスケールとが相対移動又は相対回転すると回折干渉パターンが変化して、光強度検出手段で検出される光強度が変化する。そして、移動量演算手段は、光学センサ部で検出された光強度の変化に基づいてスケールの移動量を演算する。例えば、光強度検出手段で検出された光強度が周期的に変化する場合に、該光強度の変化の周期をスケールの回折ピッチに関連付けてスケールの移動量を演算することができる。
【００１６】
この通り、本発明の光学式エンコーダでは、レーザ光がスケールに形成された光学異方性部位により回折される際に、所定次数の回折光の偏光方向が回転され、偏光方向が回転された回折光の干渉光だけが光検出器で検出されるので、ノイズが低減された検出信号を得ることができ、スケール移動量を高分解能で検出することができる。
【００１７】
上記の光学式エンコーダの光源としては、面発光レーザが好適である。面発光レーザを光源に用いた場合には、ビーム径の広がりを比較的小さく抑えることができるので、コリメータレンズや集光レンズが不要で部品点数が少なくなり、更に装置の小型化を図ることができる。
【００１８】
偏光分離手段としては、入射光から所定偏光方向の直線偏光成分を通過させる偏光板や偏光フィルタ等の偏光子を用いることができる。
【００１９】
光学式エンコーダに使用されるエンコーダ用スケールは、入射されたレーザ光を回折すると共に所定次数の回折光の偏光方向を所定方向に選択的に回転させる光学異方性部位が形成されたことを特徴とするものである。
【００２０】
スケールに形成される光学異方性部位は、光照射により誘起された光誘起異方性を備えた部位とすることができる。光誘起異方性には光誘起複屈折と光誘起二色性とがある。この光学異方性部位は、例えば、側鎖に光異性化する基を有する高分子化合物（高分子液晶も含む）を含む記録材料、又は光異性化する分子を分散させた高分子化合物を含む記録材料に、光照射により複屈折を誘起して形成することができる。
【００２１】
高分子化合物としては、アゾベンゼン骨格を有するものが好ましく、主鎖に芳香族炭化水素基を有するものがより好ましく、前記一般式（１）で表されるポリエステルが特に好ましい。一般式（１）中、Ｘはシアノ基、メチル基、メトキシ基、又はニトロ基を表し、Ｙはエーテル結合、ケトン結合、又はスルホン結合による２価の連結基を表す。ｌおよびｍは２から１８の整数を表し、ｎは５から５００の整数を表す。
【００２２】
上記の光学異方性部位は、例えば、偏光ホログラム記録により形成することができる。
【００２３】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。
（第１の実施の形態）
［光学式エンコーダの構成］
本発明の第１の実施の形態に係る光学式エンコーダは、図１に示すように、所定の偏光方向の直線偏光を出力するレーザ光源１０を備えており、レーザ光源１０の光出射側には、偏光ホログラムが記録された長尺状の透過型スケール１２、所定偏光方向の直線偏光を選択的に透過する偏光板１４、所定間隔でスリットが形成されたスリット板１６、及びスリット板１６を通過したレーザ光の強度を検出する光検出器１８がこの順に配置されている。
【００２４】
透過型スケール１２は、後述する記録層側からレーザ光が略垂直に入射するように配置されると共に、駆動装置２２により制御される図示しない駆動機構を介してスケール長手方向に沿った矢印Ａ方向に移動可能に構成されている。また、光検出器１８は、その検出信号に基づいて移動量を演算する移動量演算装置２０に接続されている。移動量演算装置２０は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを備えたパーソナル・コンピュータで構成することができる。
【００２５】
レーザ光源１０は、基板表面からレーザ光を取り出すことができる面発光レーザで構成されている。面発光レーザは、開口形状の設計によりビーム径の広がりを比較的小さく抑えることができるので、コリメータレンズや集光レンズが不要で、装置の小型化、低コスト化に有利である。例えば、IEEE Photon. Technol. Lett., 11, 1539 (1999)に記載された面発光レーザ等を好適に用いることができる。
【００２６】
透過型スケール１２に記録された偏光ホログラムは、回折格子として作用する。ここで、偏光ホログラムの回折原理を、従来のホログラムの回折原理と比較して説明する。従来のホログラムは、図２に示すように、光感応媒体にコヒーレントな二光波の干渉縞を照射し、この光強度分布に対応した屈折率変化あるいは吸収率の変化を記録したものである。この場合、干渉縞のコントラストを高くするために、二光波の偏光は同じ方位の直線偏光に設定される。このホログラムでは、入射光はその偏光方向を変えることなく回折される。
【００２７】
一方、偏光ホログラムを記録する場合には、図３（Ａ）に示すように、光誘起異方性(Weigert's effect)を示す偏光感応媒体に互いに直交する偏光状態の二光波（例えば、紙面に平行なｐ偏光とこれに直交するｓ偏光）が照射される。このとき、媒体中には二光波による干渉縞は生じないが、二光波の電場ベクトルの合成による空間偏光分布が形成され、この空間偏光分布に対応して光誘起異方性が発現し、これが記録される。これが偏光ホログラムである。なお、偏光ホログラムの詳細については、T. Todorov, L. Nikilova, and N. Tomova, Appl. Opt. 23, 4309 (1984)等に記載されている。
【００２８】
この偏光ホログラムは、従来のホログラムと同様に回折格子として作用して入射光を回折すると共に、奇数次数の回折光の偏光方向だけを９０°回転させる。例えば、図３（Ｂ）に示すように、入射するレーザ光をｓ偏光とすると、偏光ホログラムによる±１次回折光は入射光の偏光方向と９０°直交するｐ偏光となり、０次回折光、±２次回折光はｓ偏光のままである。通常、３次以上の高次回折光は無視することができる。このように回折光の次数により作用が異なる理由は、F.Lagugne Labarthet, P.Rochon, A.Natansohn, Appl. Phys. Lett., Vol.75, No.10, 1377(1999)等に詳細に説明されている。
【００２９】
従って、図３（Ｃ）に示すように、±１次回折光の回折効率が各々約３０％となるように偏光ホログラムが記録された透過型スケール１２にｐ偏光を入射すると、ｐ偏光の０次回折光とｓ偏光の±１次回折光とが略均等に出力される。
【００３０】
偏光板１４は、レーザ光源１０から出力されるレーザ光の偏光方向と直交する透過軸方位を備えており、偏光ホログラムにより偏光方向が９０°回転された±１次回折光だけが偏光板１４を透過する。
【００３１】
スリット板１６には、偏光ホログラムによる±１次回折光の干渉により形成される光強度パターン（回折干渉パターン）に対応したピッチでスリットが形成されている。これにより、生成される回折干渉パターンの特定部分がスリットを通過して光検出器に入射され、検出強度が向上する。
【００３２】
光検出器１８には、上記のスリット板１６の各スリットに対応した複数の受光領域が形成されている。受光領域の形状をスリットに対応した形状とすることにより、光強度の検出効率が向上する。
【００３３】
［透過型スケールの作製］
透過型スケール１２は、図４（Ａ）に示す、ガラス基板等の透明基板２４の一方の表面に、光誘起異方性(複屈折又は二色性)を示すと共に誘起された異方性を記録、保持可能な偏光感応媒体からなる記録層２６が形成された記録媒体を用い、この記録媒体の記録層２６に偏光ホログラムを記録して作製することができる。
【００３４】
記録層２６を構成する偏光感応媒体としては、光誘起複屈折が大きく高い回折効率を得ることができ、記録安定性にも優れたアゾベンゼン骨格を有する高分子（以下、「アゾポリマー」と称する。）が好適である。アゾベンゼンに直線偏光が照射されると、この直線偏光の偏光方向に配列したアゾベンゼンは下記に示すようにトランス−シス−トランスの光異性化サイクルを示す。
【００３５】
【化２】
トランス体が偏光方向と直交する方向に緩和した場合には、もはや光により励起されずその方位に安定にとどまる。このように、アゾベンゼンは照射光の偏光方向と直交する方向にトランス体が配向する。この配向によって複屈折及び二色性が誘起される。アゾポリマーの中でも、下記式に示すような、主鎖に芳香族炭化水素基を有し且つ側鎖にアゾベンゼン骨格を有するポリエステルは、特に高い光誘起複屈折と安定性を有するため記録層の構成材料として好適である。
【００３７】
【化３】
上記の式中、Ｘはシアノ基、メチル基、メトキシ基、またはニトロ基を表し、Ｙはエーテル結合、ケトン結合、またはスルホン結合による２価の連結基を表す。また、ｌ及びｍは２から１８の整数、より好ましくは４から１０の整数を表し、ｎは５から５００の整数、より好ましくは１０から１００の整数を表す。
【００３９】
次に、図５に示す光学系を用いてスケールを作製した例を以下に示す。レーザ光源７０には発振線５１５ｎｍのアルゴンイオンレーザを用い、レーザ光源７０から出力されたレーザ光をコリメートレンズ７１、７２により広い口径の平行光にして、偏光ビームスプリッタ７４に入射させ、入射光を互いに直交する偏光状態の二光波（例えば、ｓ偏光とｐ偏光のように互いに直交方位を有する直線偏光）に分離した。厚さ１０μｍのアゾポリマー層を記録層２６として備えた記録媒体７８に、反射光（例えばｓ偏光）を反射鏡７６により反射させて照射すると共に、透過光（例えばｐ偏光）を照射して偏光ホログラムを記録した。なお、アゾポリマー層の厚さは、所望のホログラム回折効率に応じて適宜変更することができる。
【００４０】
偏光ホログラム記録時の露光エネルギーを１Ｊ／ｃｍ2としたとき、アゾポリマーに感度の無い波長６００ｎｍ以上のレーザ光での回折効率は約５０％であり、最も高い回折効率を得た。
【００４１】
［光学式エンコーダの動作］
次に、図１に示す光学式エンコーダの動作について説明する。レーザ光源１０から所定の偏光方向を有する直線偏光として出力されたレーザ光は、光出射側に配置された透過型スケール１２に照射され、透過型スケール１２に記録された偏光ホログラムにより回折される。回折光のうち±１次回折光の偏光方向だけが９０°回転される。これら±１次回折光は相互に干渉し、光検出器１８の受光表面上には干渉による光強度パターン（干渉縞）が形成される。
【００４２】
偏光方向が９０°回転された±１次回折光の干渉光は、レーザ光源１０から出力されるレーザ光の偏光方向と直交する透過軸方位を備えた偏光板１４を透過する。偏光板１４を透過した干渉光の一部は、スリット板１６の各スリットを通過し、各スリットに対応して形成された光検出器１８の受光領域の各々に照射され、照射光の強度が光検出器１８で検出される。一方、偏光方向が回転されなかった０次回折光、±２次回折光、及びそれらの干渉光は、偏光板１４を透過することができず、光検出器１８で検出される前に遮断される。
【００４３】
透過型スケール１２が駆動装置２２により図示しない駆動機構を介して矢印Ａ方向に移動されると、前記したホログラムエンコーダの検出原理に従い、光検出器１８の各受光領域で検出される光強度は透過型スケール１２の移動に伴い周期的に変化し、正弦波状の検出信号が移動量演算装置２０に出力される。透過型スケール１２が回折格子１ピッチ分移動すると２周期分の正弦波信号が検出され、移動量演算装置２０では、上記の検出信号に基づいて透過型スケール１２の移動量を演算する。例えば、検出信号の波数と回折格子１ピッチ分の長さとを用いて移動量を演算することができる。
【００４４】
以上説明した通り、本実施の形態に係る光学式エンコーダでは、透過型スケールに記録された偏光ホログラムにより±１次回折光の偏光方向を９０°回転させると共に、偏光板により不要なノイズ光を遮断して移動量（変位）測定に必要な回折干渉光だけを光検出器で検出するので、検出信号のＳ／Ｎが向上し、スケール移動量を高分解能で検出することができる。
【００４５】
また、光源にビーム径の広がりを比較的小さく抑えることができる面発光レーザを用いているので、コリメータレンズや集光レンズが不要で、装置の小型化、低コスト化を図ることができる。
【００４６】
更に、光検出器の光入射側に所定間隔でスリットが形成されたスリット板を配置し、生成される回折干渉パターンの特定部分がスリット通過して光検出器に入射するようにしたので、検出強度を向上させることができる。また、各スリットに対応した複数の受光領域が形成された光検出器を用いているので、効率良く光強度を検出することができる。
【００４７】
（第２の実施の形態）
［光学式エンコーダの構成］
本発明の第２の実施の形態に係る光学式エンコーダは、図６に示すように、所定の偏光方向の直線偏光を出力するレーザ光源３０を備えており、レーザ光源３０の光出射側には、偏光ホログラムが記録された長尺状の反射型スケール３２が配置されている。反射型スケール３２による反射光の光路上には、所定偏光方向の直線偏光を選択的に透過する偏光板３４、所定間隔でスリットが形成されたスリット板３６、及びスリット板３６を通過したレーザ光の強度を検出する光検出器３８がこの順に配置されている。
【００４８】
レーザ光源３０は、基板表面からレーザ光を取り出すことができる面発光レーザで構成されており、レーザ光源３０と光検出器３８とは共通基板２８上にモノリシックに形成されている。
【００４９】
反射型スケール３２は、入射光が入射方向とは異なる方向に反射されるように、レーザ光源３０上方に該光源の光出射方向に対し所定角度傾けて配置されると共に、駆動装置４２により制御される図示しない駆動機構を介してスケール長手方向に沿った矢印Ｂ方向に移動可能に構成されている。また、光検出器３８は、光検出器３８の検出信号に基づいて移動量を演算する移動量演算装置４０に接続されている。移動量演算装置４０は、例えば、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを備えたパーソナル・コンピュータで構成することができる。
【００５０】
反射型スケール３２に記録された偏光ホログラムが、回折格子として作用して入射光を回折すると共に、奇数次数の回折光の偏光方向だけを９０°回転させる点は透過型スケールの場合と同様であり、入射するレーザ光をｐ偏光とすると、偏光ホログラムによる±１次回折光は入射光の偏光方向と９０°直交するｓ偏光となり、０次回折光、±２次回折光はｐ偏光のままである。例えば、図７に示すように、±１次回折光の回折効率が各々約３０％となるように偏光ホログラムが記録された反射型スケール３２にｐ偏光を入射すると、ｐ偏光の０次回折光とｓ偏光の±１次回折光とが略均等に出力される。
【００５１】
偏光板３４は、レーザ光源３０から出力されるレーザ光の偏光方向と直交する透過軸方位を備えている。また、スリット板３６には、偏光ホログラムによる±１次回折光の干渉により形成される光強度パターンに対応したピッチでスリットが形成されており、光検出器３８には、このスリット板３６の各スリットに対応した複数の受光領域が形成されている。
【００５２】
［反射型スケールの作製］
反射型スケール３２は、図４（Ｂ）に示す、金属等の反射部材４６の一方の表面に、光誘起異方性を示すと共に誘起された異方性を記録、保持可能な偏光感応媒体からなる記録層４８が形成された記録媒体を用い、この記録媒体の記録層４８に偏光ホログラムを記録して作製することができる。反射型スケール３２の記録層４８側から入射したレーザ光は、記録層４８を通過して反射部材４６の表面で反射され、再度、記録層４８を通過して射出される。記録層４８を構成する記録材料としては、透過型スケールと同様にアゾポリマーが好適である。また、透過型スケールの場合と同様の方法により、アゾポリマーで構成された記録層４８に偏光ホログラムを記録することができる。
【００５３】
［光学式エンコーダの動作］
次に、図６に示す光学式エンコーダの動作について説明する。レーザ光源３０から所定の偏光方向を有する直線偏光として出力されたレーザ光は、光出射側に配置された反射型スケール３２に照射され、反射型スケール３２に記録された偏光ホログラムにより回折される。回折光のうち±１次回折光の偏光方向だけが９０°回転される。これら±１次回折光は相互に干渉し、光検出器３８の受光表面上には干渉による光強度パターン（干渉縞）が形成される。
【００５４】
偏光方向が９０°回転された±１次回折光の干渉光は、レーザ光源３０から出力されるレーザ光の偏光方向と直交する透過軸方位を備えた偏光板３４を透過する。偏光板３４を透過した干渉光の一部は、スリット板３６の各スリットを通過し、各スリットに対応して形成された光検出器３８の受光領域の各々に照射され、照射光の強度が光検出器３８で検出される。一方、偏光方向が回転されなかった０次回折光、±２次回折光、及びそれらの干渉光は、偏光板３４を透過することができず、光検出器３８で検出される前に遮断される。
【００５５】
反射型スケール３２が駆動装置４２により図示しない駆動機構を介して矢印Ｂ方向に移動されると、光検出器３８の各受光領域で検出される光強度は反射型スケール３２の移動に伴い周期的に変化し、正弦波状の検出信号が移動量演算装置４０に出力される。移動量演算装置４０では、上記の検出信号に基づいて透過型スケール３２の移動量を演算する。
【００５６】
以上説明した通り、本実施の形態に係る光学式エンコーダでは、反射型スケールに記録された偏光ホログラムにより±１次回折光の偏光方向を９０°回転させると共に、偏光板により不要なノイズ光を遮断して移動量（変位）測定に必要な回折干渉光だけを光検出器で検出するので、検出信号のＳ／Ｎが向上し、スケール移動量を高分解能で検出することができる。
【００５７】
また、光源にビーム径の広がりを比較的小さく抑えることができる面発光レーザを用いているので、コリメータレンズや集光レンズが不要であると共に、面発光レーザと光検出器とを共通基板上にモノリシックに形成することができ、更に装置の小型化、低コスト化を図ることができる。
【００５８】
更に、光検出器の光入射側に所定間隔でスリットが形成されたスリット板を配置し、生成される回折干渉パターンの特定部分がスリット通過して光検出器に入射するようにしたので、検出強度を向上させることができる。また、各スリットに対応した複数の受光領域が形成された光検出器を用いているので、効率良く光強度を検出することができる。
【００５９】
以下に、本発明の好適な実施の態様や他の実施の態様等について説明する。
【００６０】
上記の実施の形態に係る光学式エンコーダにおいて、レーザ光源とスケールとの間に偏光子を配置することが好ましい。レーザ光源から出射される光の偏光状態が変動する場合に、偏光子によりこの変動による影響を低減して、ノイズを低減することができる。また、レーザ光源とスケールとの間にアパーチャを配置することが好ましい。ビーム径及びスケール周期に応じて検出信号の振幅が変動するので、光源から出射されるレーザ光のビーム径が変動する場合に、アパーチャにより所定ビーム径のレーザ光がスケールに照射されるようにして検出信号の振幅の変動を防止し、ノイズを低減することができる。
【００６１】
上記した通り、第１及び第２の実施の形態では、直線偏光であるレーザ光をスケールに照射する例について説明したが、円偏光・楕円偏光をスケールに照射してもよい。この場合には、１／４波長板を備えたスケールを用いて直線偏光に変換する。
【００６２】
また、第１及び第２の実施の形態では、偏光板、スリット板、及び光検出器を各々別々に構成する例について説明したが、光検出器の表面に偏光フィルム及びフィルム状のスリットを貼り付ける等して一体に構成してもよい。
【００６３】
また、第１及び第２の実施の形態では、レーザ光源に面発光レーザを用いる例について説明したが、従来の光学式エンコーダの光源に使用されている一般のレーザ光源を用いることもできる。
【００６４】
また、第１及び第２の実施の形態では、リニアスケールを用いた光学式リニアエンコーダについて説明したが、光源に対して相対的に回転するディスク状スケールを用いてスケールの回転量を測定するロータリーエンコーダにも本発明を適用することができる。
【００６５】
また、第１及び第２の実施の形態では、スケールが駆動装置により所定方向に移動する例について説明したが、スケールはレーザ光源に対して相対的に移動すればよく、スケールを固定配置してレーザ光源を移動させてもよい。この場合、スケールで偏光変調されたレーザ光が光検出器で検出されるように、光検出器等もレーザ光源に伴い移動させる必要がある。また、上記では、１個のスケールに対しレーザ光源及び光検出器を含む検出光学系を配置する例について説明したが、１個のスケールに対し複数の検出光学系を配置することもできる。
【００６６】
また、第２の実施の形態では、反射部材を備えた記録媒体の記録層に偏光ホログラムを記録して反射型スケールを作製する例について説明したが、図４（Ａ）に示す、透明基板２４の一方の表面に偏光感応媒体からなる記録層２６が形成された記録媒体を用い、図８に示すように、この記録媒体に互いに直交する偏光状態の二光波を異なる側から照射して偏光ホログラムを記録することにより、反射型スケールを作製することができる。
【００６７】
【発明の効果】
本発明の光学式エンコーダ及びエンコーダ用スケールは、検出信号のノイズを低減して、高分解能でスケール移動量を検出することができる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１の実施の形態に係る光学式エンコーダの構成を示す概略図である。
【図２】従来のホログラムの回折原理を説明する斜視図である。
【図３】（Ａ）は偏光ホログラムの記録方法を示す斜視図であり、（Ｂ）は（Ａ）で記録された偏光ホログラムによる回折原理を説明する斜視図であり、（Ｃ）は透過型スケールにｐ偏光を入射した場合の回折光の偏光分布の１例を示す概略図である。
【図４】（Ａ）は透過型スケール作製に使用する記録媒体の層構成を示す断面図であり、（Ｂ）は反射型スケール作製に使用する記録媒体の層構成を示す断面図である。
【図５】偏光ホログラム記録によりスケールを作製するための光学系の構成を示す光軸に沿った断面図である。
【図６】第２の実施の形態に係る光学式エンコーダの構成を示す概略図である。
【図７】反射型スケールにｐ偏光を入射した場合の回折光の偏光分布の１例を示す概略図である。
【図８】偏光ホログラムの他の記録方法を示す斜視図である。
【図９】回折格子（ホログラムスケール）による回折の様子を示す図である。
【図１０】従来のホログラムエンコーダの検出原理を説明する説明図である。
【符号の説明】
１０、３０ レーザ光源
１２ 透過型スケール
１４、３４ 偏光板
１６、３６ スリット板
１８、３８ 光検出器
２０、４０ 移動量演算装置
２２、４２ 駆動装置
２４ 透明基板
２６、４８ 記録層
２８ 共通基板
３２ 反射型スケール
４６ 反射部材
７０ レーザ光源
７１、７２ コリメートレンズ
７４ 偏光ビームスプリッタ
７６ 反射鏡
７８ 記録媒体
Claims (12)
- 入射されたレーザ光を回折すると共に所定次数の回折光の偏光方向を所定方向に選択的に回転させる光学異方性部位が形成されたスケールと、該スケールにレーザ光を照射する光源、前記スケールを透過又は前記スケールで反射された回折光から前記所定偏光方向の偏光成分を分離する偏光分離手段、及び分離された偏光成分による干渉パターンの所定位置での光強度を検出する光強度検出手段を備えた検出光学系と、が相対移動又は相対回転可能に配置された光学センサ部と、
該光学センサ部で検出された光強度の変化に基づいて前記スケールの移動量を演算する移動量演算手段と、
を備えた光学式エンコーダ。 - 前記光源に面発光レーザを用いた請求項１に記載の光学式エンコーダ。
- 前記移動量演算手段は、光強度検出手段で検出された光強度が周期的に変化する場合に、該光強度の変化の周期をスケールの回折ピッチに関連付けて、前記スケールの移動量を演算する請求項１又は２に記載の光学式エンコーダ。
- 前記偏光分離手段は、入射光から所定偏光方向の直線偏光成分を通過させる偏光子である請求項１乃至３のいずれか１項に記載の光学式エンコーダ。
- 光学式エンコーダに使用されるエンコーダ用スケールであって、入射されたレーザ光を回折すると共に所定次数の回折光の偏光方向を所定方向に選択的に回転させる光学異方性部位が形成されたエンコーダ用スケール。
- 前記光学異方性部位は、光照射により誘起された光誘起異方性を備えた部位である請求項５に記載のエンコーダ用スケール。
- 前記光誘起異方性は光誘起複屈折である請求項６に記載のエンコーダ用スケール。
- 前記光学異方性部位が、側鎖に光異性化する基を有する高分子化合物を含む記録材料、又は光異性化する分子を分散させた高分子化合物を含む記録材料に光照射により複屈折を誘起して形成された請求項５乃至７のいずれか１項に記載のエンコーダ用スケール。
- 前記高分子化合物が側鎖にアゾベンゼン骨格を有する請求項８に記載のエンコーダ用スケール。
- 前記高分子化合物が主鎖に芳香族炭化水素基を有する請求項８又は９に記載のエンコーダ用スケール。
- 前記高分子化合物が下記一般式（１）で表されるポリエステルである請求項８乃至１０のいずれか１項に記載のエンコーダ用スケール。
【化１】
一般式（１）
上記式中、Ｘはシアノ基、メチル基、メトキシ基、又はニトロ基を表し、Ｙはエーテル結合、ケトン結合、又はスルホン結合による２価の連結基を表す。ｌ及びｍは２から１８の整数を表し、ｎは５から５００の整数を表す。 - 前記光学異方性部位が偏光ホログラム記録により形成された請求項５乃至１１のいずれか１項に記載のエンコーダ用スケール。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002021536A JP3695398B2 (ja) | 2002-01-30 | 2002-01-30 | 光学式エンコーダ及びエンコーダ用スケール |
| US10/229,040 US6835924B2 (en) | 2002-01-30 | 2002-08-28 | Optical encoder for detecting changes in diffraction interference patterns |
| CNB021421986A CN100395513C (zh) | 2002-01-30 | 2002-08-30 | 光学式编码器和编码器用标尺 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002021536A JP3695398B2 (ja) | 2002-01-30 | 2002-01-30 | 光学式エンコーダ及びエンコーダ用スケール |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003222536A JP2003222536A (ja) | 2003-08-08 |
| JP3695398B2 true JP3695398B2 (ja) | 2005-09-14 |
Family
ID=27606318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002021536A Expired - Fee Related JP3695398B2 (ja) | 2002-01-30 | 2002-01-30 | 光学式エンコーダ及びエンコーダ用スケール |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6835924B2 (ja) |
| JP (1) | JP3695398B2 (ja) |
| CN (1) | CN100395513C (ja) |
Families Citing this family (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4649821B2 (ja) * | 2002-06-07 | 2011-03-16 | 富士ゼロックス株式会社 | ポリエステル、光記録媒体、及び光記録再生装置 |
| JP4139892B2 (ja) * | 2002-08-02 | 2008-08-27 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 光誘起表面レリーフに基づく情報記録方法 |
| US6905258B2 (en) * | 2003-08-27 | 2005-06-14 | Mitutoyo Corporation | Miniature imaging encoder readhead using fiber optic receiver channels |
| TW200619235A (en) * | 2004-09-03 | 2006-06-16 | Fraunhofer Ges Forschung | Film forming material and preparation of surface relief and optically anisotropic structures by irradiating a film of the said material |
| EP1632520A1 (en) * | 2004-09-03 | 2006-03-08 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Film forming material and preparation of surface relief and optically anisotropic structures by irradiating a film of the said material |
| US7619820B2 (en) * | 2005-02-09 | 2009-11-17 | I Win Technology Co., Ltd. | Dot matrix holograms with spatially varying period |
| US7304294B2 (en) * | 2006-02-09 | 2007-12-04 | Avago Technologis General Ip (Singapore) Pte Ltd | Reflective encoder with reduced background noise |
| JP5714780B2 (ja) | 2011-11-09 | 2015-05-07 | ザイゴ コーポレーションＺｙｇｏ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | ダブルパス干渉方式エンコーダシステム |
| JP5890531B2 (ja) | 2011-11-09 | 2016-03-22 | ザイゴ コーポレーションＺｙｇｏ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 干渉方式エンコーダシステムのための小型エンコーダヘッド |
| EP2600112B1 (de) * | 2011-11-29 | 2014-03-05 | SICK STEGMANN GmbH | Vorrichtung zur Messung des Drehwinkels zweier relativ zueinander um eine Drehachse rotierender Objekte |
| EP2650655B1 (de) * | 2012-04-12 | 2014-09-03 | Siemens Aktiengesellschaft | Messwertgeber zum Erhalt einer Positionsinformation |
| JP6602755B2 (ja) * | 2013-06-27 | 2019-11-06 | ケーエルエー コーポレイション | 計測標的の偏光測定及び対応する標的設計 |
| JP6369042B2 (ja) * | 2013-11-05 | 2018-08-08 | 日本精工株式会社 | 光学式エンコーダユニット及び光学式エンコーダ |
| CN106104214B (zh) * | 2014-12-09 | 2017-12-12 | 株式会社安川电机 | 编码器和带编码器的电机 |
| WO2016092639A1 (ja) * | 2014-12-09 | 2016-06-16 | 株式会社安川電機 | エンコーダ及びエンコーダ付きモータ |
| US10094685B2 (en) * | 2016-12-27 | 2018-10-09 | Mitutoyo Corporation | Displacement encoder |
| JP6957088B2 (ja) * | 2017-04-19 | 2021-11-02 | 株式会社ミツトヨ | 光学式エンコーダ |
| JP2018185210A (ja) * | 2017-04-25 | 2018-11-22 | セイコーエプソン株式会社 | エンコーダー、プリンターおよびロボット |
| GB2579991B (en) | 2017-09-19 | 2023-03-08 | Analog Devices Inc | Fiber bragg grating interrogation and sensing system and methods |
| JP2019066235A (ja) * | 2017-09-29 | 2019-04-25 | セイコーエプソン株式会社 | エンコーダー、プリンターおよびロボット |
| GB201802661D0 (en) * | 2018-02-19 | 2018-04-04 | Univ Oxford Innovation Ltd | Labelling scheme and apparatus |
| CN108806442A (zh) * | 2018-07-04 | 2018-11-13 | 广西大学 | 一种有轨多轴协同通用光学实验平台 |
| TWI710795B (zh) * | 2019-12-04 | 2020-11-21 | 國立中興大學 | 光學旋轉編碼器 |
| TWI721719B (zh) * | 2019-12-19 | 2021-03-11 | 財團法人工業技術研究院 | 量測裝置 |
| CN113237498A (zh) * | 2021-05-13 | 2021-08-10 | 华北水利水电大学 | 一种基于平面变周期透射光栅的光学位移传感系统 |
| CN113984095B (zh) * | 2021-10-25 | 2024-04-16 | 南开大学 | 基于偶氮苯集成的光控回音壁模式微腔奇异点调控系统 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0823605B2 (ja) * | 1989-06-09 | 1996-03-06 | シャープ株式会社 | 偏光回折素子並びにそれを含む光ピックアップ装置 |
| JP3544573B2 (ja) * | 1994-03-15 | 2004-07-21 | オリンパス株式会社 | 光学式エンコーダ |
| JP3521666B2 (ja) * | 1997-01-10 | 2004-04-19 | 松下電器産業株式会社 | 偏光分離素子およびこれを用いた投写型表示装置 |
| JP4048674B2 (ja) * | 2000-01-20 | 2008-02-20 | 富士ゼロックス株式会社 | 高分子膜に光学異方性を付与する方法、そのための装置および光学異方性媒体 |
| JP2002015448A (ja) * | 2000-06-29 | 2002-01-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学素子、光源装置、光ヘッド装置および光情報処理装置 |
-
2002
- 2002-01-30 JP JP2002021536A patent/JP3695398B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-08-28 US US10/229,040 patent/US6835924B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-08-30 CN CNB021421986A patent/CN100395513C/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2003222536A (ja) | 2003-08-08 |
| CN100395513C (zh) | 2008-06-18 |
| US6835924B2 (en) | 2004-12-28 |
| US20030141441A1 (en) | 2003-07-31 |
| CN1435675A (zh) | 2003-08-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3695398B2 (ja) | 光学式エンコーダ及びエンコーダ用スケール | |
| JP4250894B2 (ja) | 光学式エンコーダ及びエンコーダ用スケール | |
| JP4037903B2 (ja) | 相対移動検出装置 | |
| JP2603305B2 (ja) | 変位測定装置 | |
| JP3158878B2 (ja) | 光学式エンコーダ | |
| US20120287441A1 (en) | Displacement Detecting Device | |
| JP2004212243A (ja) | 格子干渉型光学式エンコーダ | |
| Deng et al. | Eightfold optical encoder with high-density grating | |
| KR100531458B1 (ko) | 광학식 변위측정장치 | |
| JP4023923B2 (ja) | 光学式変位測定装置 | |
| JPH074993A (ja) | エンコーダ装置 | |
| JPH0231111A (ja) | ロータリーエンコーダ | |
| JP2683117B2 (ja) | エンコーダー | |
| JPH02206745A (ja) | 屈折率測定用高安定性干渉計 | |
| JPH046884B2 (ja) | ||
| JP2007315919A (ja) | エンコーダ | |
| KR100531693B1 (ko) | 광학식 변위측정장치 | |
| JP3038860B2 (ja) | エンコーダ | |
| JP2008249456A (ja) | 光エンコーダ | |
| JP2675317B2 (ja) | 移動量測定方法及び移動量測定装置 | |
| JPH05126603A (ja) | 格子干渉測定装置 | |
| JP2003035570A (ja) | 回折干渉式リニアスケール | |
| JP2603338B2 (ja) | 変位測定装置 | |
| JP2683098B2 (ja) | エンコーダー | |
| JP4154038B2 (ja) | 光学式変位測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040916 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050530 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050607 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050620 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080708 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090708 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100708 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110708 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |