JP3687849B2 - 高温熱処理用ウェーハボート支え治具 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体ウェーハの熱処理に使用するウェーハボートを支える治具に関する。
【0002】
【従来の技術】
炭化珪素は、その熱伝導が良く、高温強度に優れている。
【0003】
石英は、高純度であり、かつ、断熱性が高い。そのため、半導体ウェーハの熱処理用構造部材に石英が多用されている。
【0004】
縦型ウェーハボートを支持する治具においては、石英が使用されている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
石英と炭化珪素は熱膨張率が異なるため、ウェーハボート支持治具(高純度で断熱効果が大きい石英が使用されている)と、ウェーハボート(炭化珪素が使用されている)とは、温度変化のとき、結合部分で摩擦が生じ、それにより発塵し、ウェーハの処理に悪影響を与える。
【0006】
また、一般にウェーハに膜を形成する際に、処理ガスにより、治具にも膜が付着する。その膜の熱膨張率と石英の熱膨張率との差が大きいため、治具に付着した膜が剥離し、発塵する。
【0007】
他に、治具全体が石英で作られている場合、熱容量が大きいため、炉内温度が下がりにくいといった問題が生じる。
【0008】
本発明の目的は、断熱性を有し、熱膨張による発塵を解消できる高温熱処理用ウェーハボート支え治具を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明の解決手段を示すと、次のとおりである。
【0010】
(1)ウェーハボートを支持する上部と、その上部を支持する下部と、それらの上部と下部とを結合する結合部とを有し、上部が炭化珪素で作られており、下部が石英で作られており、結合部が、炭化珪素と石英の熱膨張係数の差を吸収する構成になっていることを特徴とする高温熱処理用ウェーハボート支え治具。
【0011】
(2)結合部が凹部と凸部との組合せからなり、温度の変化によって凸部が凹部内で変位し、しかも、常温の状態のときと高温の熱処理状態のときに凸部が凹部の別の部分に接触する構成にしたことを特徴とする前述の高温熱処理用ウェーハボート支え治具。
【0012】
(3)上部の下端が、円筒管の形状になっており、下部の上端が、円筒管の形状になっており、結合部が、それらの円筒管形状の上部下端と下部上端との組合せからなることを特徴とする前述の高温熱処理用ウェーハボート支え治具。
【0013】
(4)下部の上端が二重の円筒管で形成されていて、それらの二重の円筒管の間に上部下端の円筒管が挿入されることにより、結合部が構成されており、常温の状態のとき、上部下端の円筒管が下部上端の内側の円筒管に接触し、高温の熱処理状態のとき、上部下端の円筒管が下部上端の外側の円筒管に接触する構成にしたことを特徴とする前述の高温熱処理用ウェーハボート支え治具。
【0014】
(5)結合部が、外側に石英の円筒管を有し、内側に炭化珪素の円筒管を有し、石英の円筒管の内径をL1in、熱膨張率をcte1、炭化珪素の円筒管の外径をL2out、熱膨張率をcte2、熱処理温度をTとする場合に、次式
L1in≧L2out+(cte2×T×L2out)−(L2out+(cte2×T×L2out))×T×cte1
を満足することを特徴とする前述の高温熱処理用ウェーハボート支え治具。
【0015】
(6)結合部が、内側に石英の円筒管を有し、外側に炭化珪素の円筒管を有し、石英の円筒管の外径をL1out、炭化珪素の円筒管の内径をL2inとする場合に、L2in≧L1inの条件を満足することを特徴とする前述の高温熱処理用ウェーハボート支え治具。
【0016】
【発明の実施の形態】
本発明は、上部と、下部と、それらの結合部を有する高温熱処理用ウェーハボート支え治具に関する。材料は、炭化珪素と石英を組み合わせたものである。
【0017】
好ましくは、高温熱処理用ウェーハボート支え治具は、上部が炭化珪素で形成されており、下部が石英で形成されている。
【0018】
結合部は、熱膨張を吸収する構成になっている。例えば、凹部と凸部とを組合せて結合部を形成して、温度の変化に応じて凸部が凹部内を少しずつ移動するようにする。そして、常温のときと、高温の熱処理状態のときに、凸部と凹部の接触箇所を変える。このような構成の典型例が2重円管構造である。たとえば、石英で二重の円筒管を形成し、炭化珪素の一重の円筒管がそれらの間に配置される。
【0019】
結合部は、2重円管構造に限定されない。例えば、上部の下端と下部の上端にそれぞれフランジを設けて、一方のフランジに放射方向に凹部としてスリットや長い孔を形成し、他方のフランジに凹部として突起を形成し、突起がスリットや長い孔に入った状態にして、結合部を構成することも可能である。
【0020】
このように結合部が凹部と凸部との組合せからなり、温度の変化によって凸部が凹部内で変位し、しかも、常温の状態のときと高温の熱処理状態のときに、凸部が凹部の別の部分(たとえば、二重管の内側と外側、あるいは放射方向のスリットや長孔の外端と内端)に接触することが好ましい。
【0021】
上部の下端と、下部の上端が、ともに、円筒管の形状になっており、結合部が、それらの円筒管形状の上部下端と下部上端との組合せからなることが好ましい。とくに、下部の上端が二重の円筒管で形成されていて、それらの二重の円筒管の間に上部下端の円筒管が挿入されることにより、結合部が構成されており、常温の状態のとき、上部下端の円筒管が下部上端の内側の円筒管に接触し、高温の熱処理状態のとき、上部下端の円筒管が下部上端の外側の円筒管に接触するようにする。
【0022】
また、本発明の別の好ましい実施形態においては、石英と炭化珪素の円筒管をいずれも一重構造にして、結合部が、外側に石英の円筒管を有し、内側に炭化珪素の円筒管を有し、石英の円筒管の内径をL1in、熱膨張率をcte1、炭化珪素の円筒管の外径をL2out、熱膨張率をcte2、熱処理温度をTとする場合に、次式
L1in≧L2out+(cte2×T×L2out)−(L2out+(cte2×T×L2out))×T×cte1
を満足する。さらに好ましくは、結合部が、内側に石英の円筒管を有し、外側に炭化珪素の円筒管を有し、石英の円筒管の外径をL1out、炭化珪素の円筒管の内径をL2inとする場合に、L2in≧L1inの条件を満足する。
【0023】
【実施例】
以下、図面を参照して、本発明の実施例を説明する。
【0024】
図1は、本発明による高温熱処理用ウェーハボート支え治具の概略を示す。
【0025】
高温熱処理用ウェーハボート支え治具は、炭化珪素製の上部1と、石英製の下部3と、それらの結合部2を有する。
【0026】
上部1は、ウェーハボートを支持する。下部3は、その上部1を支持する。結合部2は、それらの上部1と下部3とを結合する。
【0027】
上部1が炭化珪素で作られており、下部3が石英で作られている。
【0028】
結合部2は、炭化珪素と石英の熱膨張係数の差を吸収する構成になっている。
【0029】
図2〜3に示す実施例においては、上部1の下端が、一重の円筒管の形状になっており、下部3の上端が、二重の円筒管の形状になっており、結合部2が、それらの円筒管形状の上部1の下端と下部3の上端との組合せからなっている。すなわち、下部3の上端が二重の円筒管で形成されていて、それらの二重の円筒管の間に上部1の下端に位置する一重の円筒管が挿入されることにより、結合部が構成されている。
【0030】
常温の状態のとき、上部1の下端の円筒管が下部3の上端の内側の円筒管に接触し、高温の熱処理状態のとき、上部1の下端の円筒管が下部3の上端の外側の円筒管に接触する。
【0031】
図1〜3の実施例における結合部2の最適例について説明する。
【0032】
外側に石英の円筒管3を有し、内側に炭化珪素の円筒管1を有し、石英の外側の円筒管3の内径をL1in、熱膨張率をcte1、炭化珪素の円筒管の外径をL2out、熱膨張率をcte2、熱処理温度をTとする場合に、次式
L1in≧L2out+(cte2×T×L2out)−(L2out+(cte2×T×L2out))×T×cte1
を満足する。さらに具体的にいえば、石英の外側の円筒管の外径をL1out、炭化珪素の円筒管1の内径をL2inとする場合に、L2in≧L1inの条件を満足する。
【0033】
図1に示すように、上部1、下部3、それらの結合部2は、いずれも、パイプ状の支柱で形成し、熱膨張係数の大きい炭化珪素のパイプ部分を内側に、熱膨張係数の小さい石英のパイプ部分を外側に配置し、常温で図3の状態にし、高温の使用温度(ウェーハ処理温度)で図2の状態にする。炭化珪素の膨張により隙間がいずれの状態でも生じないようにして、使用中にガタツキをなくす。石英のパイプ部分が内側と外側に存在し、炭化珪素のパイプ部分が中間に存在する場合、常温で石英の外径と炭化珪素の内径が同じであるように予め設定しておけば、常温状態でも高温状態でもガタツキをなくせる。結合部に凹部凸部をうまく組み合わせた場合、常温と高温、使用温度のいずれでも、ガタツキが無く、非常に安定した治具となる。
【0034】
シミュレーションによる伝熱解析では、従来の石英治具を全体的にすべて炭化珪素に置き換えた場合、底部で約600℃温度の温度上昇が推測される。それゆえ、材質を単純に置き換えることはできない。しかし、従来治具の上部(たとえば全高の上端から25%以下の部分を炭化珪素に置き換えた場合、下部とくに底部の温度はほぼ同じ結果が得られる。
【0035】
実施例1
図1〜3に示す高温熱処理用ウェーハボート支え治具を製造した。材質は、上部1がすべて炭化珪素、下部3がすべて石英で構成されている。熱膨張を吸収するように、石英で2重の円筒管3を形成し、炭化珪素の円筒管1がその間に入れられる。石英の内筒管の外径は42mm、外筒管の内径は48.2mmとした。炭化珪素の円筒管1の内径は42mm、外径は48mmであった。このような寸法の場合、常温で炭化珪素の円筒管1は石英の内筒管により支えられ、1000℃において石英の外径管により支えられる。
【0036】
一方、伝熱は、全高約340mmの支え治具においてシミュレーションによる解析の結果、従来の石英材質治具底部の温度は154℃、炭化珪素材質の場合、714℃となり、上端から25%の長さまでを炭化珪素に変更した場合、195℃となり、十分な断熱効果があることが確認された。
【0037】
なお、本発明は前述の実施例に限定されない。たとえば、二重の円筒管構造を上部下端に設け、下部上端を一重の円筒管としてもよい。その場合は、温度変化により接触部分が二重の内外の円筒管の逆の部分となる。
【0038】
【発明の効果】
本発明によれば、炭化珪素製の上部によって炭化珪素製ウェーハボートを支持するので、ウェーハボートと、それに接触する上部の熱膨張係数を同じにでき、その結果、膨張差の摩擦によるパーティクル発生を低減できる。さらに、炉内に露出している上部の面が炭化珪素であるため、その上部の面に成膜が生じたとしても、剥離が生じにくく、それゆえ、パーティクルが発生しにくい。また、高温熱処理用ウェーハボート支え治具の上部が炭化珪素であるため、熱容量が小さくなり、炉の昇降温が速くできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の好適な1つの実施例による高温熱処理用ウェーハボート支え治具を示す概略説明図。
【図2】図1に示されている高温熱処理用ウェーハボート支え治具における結合部の高温熱処理状態を示す概略説明図。
【図3】図1に示されている高温熱処理用ウェーハボート支え治具における結合部の常温状態を示す概略説明図。
【符号の説明】
1 炭化珪素製の上部
2 結合部
3 石英製の下部
Claims (6)
- ウェーハボートを支持する上部と、その上部を支持する下部と、それらの上部と下部とを結合する結合部とを有し、上部が炭化珪素で作られており、下部が石英で作られており、結合部が、炭化珪素と石英の熱膨張係数の差を吸収する構成になっていることを特徴とする高温熱処理用ウェーハボート支え治具。
- 結合部が凹部と凸部との組合せからなり、温度の変化によって凸部が凹部内で変位し、しかも、常温の状態のときと高温の熱処理状態のときに凸部が凹部の別の部分に接触する構成にしたことを特徴とする請求項1に記載の高温熱処理用ウェーハボート支え治具。
- 上部の下端が、円筒管の形状になっており、下部の上端が、円筒管の形状になっており、結合部が、それらの円筒管形状の上部下端と下部上端との組合せからなることを特徴とする請求項1または2に記載の高温熱処理用ウェーハボート支え治具。
- 下部の上端が二重の円筒管で形成されていて、それらの二重の円筒管の間に上部下端の円筒管が挿入されることにより、結合部が構成されており、常温の状態のとき、上部下端の円筒管が下部上端の内側の円筒管に接触し、高温の熱処理状態のとき、上部下端の円筒管が下部上端の外側の円筒管に接触する構成にしたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の高温熱処理用ウェーハボート支え治具。
- 結合部が、外側に石英の円筒管を有し、内側に炭化珪素の円筒管を有し、石英の円筒管の内径をL1in、熱膨張率をcte1、炭化珪素の円筒管の外径をL2out、熱膨張率をcte2、熱処理温度をTとする場合に、次式
L1in≧L2out+(cte2×T×L2out)−(L2out+(cte2×T×L2out))×T×cte1
を満足することを特徴とする請求項1に記載の高温熱処理用ウェーハボート支え治具。 - 結合部が、内側に石英の円筒管を有し、外側に炭化珪素の円筒管を有し、石英の円筒管の外径をL1out、炭化珪素の円筒管の内径をL2inとする場合に、L2in≧L1inの条件を満足することを特徴とする請求項1又は5に記載の高温熱処理用ウェーハボート支え治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002040280A JP3687849B2 (ja) | 2002-02-18 | 2002-02-18 | 高温熱処理用ウェーハボート支え治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002040280A JP3687849B2 (ja) | 2002-02-18 | 2002-02-18 | 高温熱処理用ウェーハボート支え治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003243310A JP2003243310A (ja) | 2003-08-29 |
JP3687849B2 true JP3687849B2 (ja) | 2005-08-24 |
Family
ID=27781064
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002040280A Expired - Fee Related JP3687849B2 (ja) | 2002-02-18 | 2002-02-18 | 高温熱処理用ウェーハボート支え治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3687849B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW200711030A (en) * | 2005-02-23 | 2007-03-16 | Kyocera Corp | Joined article and member for holding wafer and structure for mounting the same, and method for treating wafer |
US7785418B2 (en) | 2005-12-28 | 2010-08-31 | Macronix International Co., Ltd. | Adjusting mechanism and adjusting method thereof |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3134250B2 (ja) * | 1995-03-01 | 2001-02-13 | 株式会社山形信越石英 | ウエハ保持装置 |
JP3471144B2 (ja) * | 1995-09-06 | 2003-11-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 縦型熱処理装置及びその断熱構造体並びに遮熱板 |
JP4331901B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2009-09-16 | 日本碍子株式会社 | セラミックサセプターの支持構造 |
-
2002
- 2002-02-18 JP JP2002040280A patent/JP3687849B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003243310A (ja) | 2003-08-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040902 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050531 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050602 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080617 Year of fee payment: 3 |
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R371 | Transfer withdrawn |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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