JP3687167B2 - 部品装着装置及びその部品位置計測手段の校正使用方法 - Google Patents
部品装着装置及びその部品位置計測手段の校正使用方法 Download PDFInfo
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品を電子回路基板上に装着する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子回路基板は電子部品を正確に装着し実装品質を向上する事を要求されている。
【０００３】
以下、図８〜図１２を参照しながら、従来の電子部品装着装置の一例について説明する。図８は、従来の電子部品装着装置の全体概略図である。図８にて、４１は電子回路基板４０を搬入・搬出する搬送部、３４はＸＹロボットで供給部４２より電子部品３７を吸着・装着するノズル３５及び電子回路基板４０の位置を計測する基板認識カメラ３６を任意の位置に位置決めする。３８は電子部品３７の吸着姿勢を撮像計測する部品認識カメラである。４３は部品認識カメラ３８の分解能と傾きスケールを計測するスケール治具であり、４４は部品カメラ３８の中心位置を計測するオフセット治具である。
【０００４】
次に上記部品装着装置の部品認識カメラ３８の分解能と傾きスケール計測及び中心位置計測について説明する。図９にてスケール治具４３は小ノズル４５を用いて吸着される。図１１は認識カメラ３８のモニター画像で分解能と傾きスケール計測を示しており、図のように視野の外枠付近のＸ−Ｙに直角に移動し治具の認識カメラ３８上での移動量と実際のＸＹロボット３４の移動量からカメラ分解能を計算し、またカメラ傾きを計算する。次に図１０に示すように大ノズル４６にてオフセット治具４４を吸着する。図１２は認識カメラ３８のモニター画像であり、図１２の様にオフセット治具４４の中心位置の計測を９０°回転しながら４回求めその中心をノズルの中心としている。
【０００５】
次に上記部品装着装置の動作について説明する。
電子回路基板４０は搬送部４１により装着位置に搬入する。ＸＹロボット３４は基板認識カメラ３６を電子回路基板４０上に移動し基板マーク３９を計測し実装すべき位置を調べる。次に、ＸＹロボット３４は吸着ノズル３５を部品供給部４２上に移動し吸着ノズル３５は電子部品２５を吸着し、部品認識カメラ３８にて吸着姿勢を撮像し、この情報をもとに位置補正後、電子部品３７は電子回路基板４０上に装着される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記構成においては、以下の様な課題を有する。電子部品装着装置にて正確に装着するためには部品認識カメラ３８を分解能と傾きスケール管理及び中心位置即ちオフセット管理が重要である。スケール治具４３は部品認識カメラ３８の視野内をなるべく広く移動したほうが正確な計測を行えるのでスケール治具４３の大きさは比較的小さい方が良い。逆にオフセット治具４４は視野ぎりぎりいっぱいまでの大きさの方が正確な計測を行えるので比較的大きくなる。まずスケール校正を行うためにスケール治具４３冶具を吸着しするが、スケール治具４３は小さいため吸着位置が微妙で安定しない。またオフセット校正を行うためにオフセット治具４４を吸着する場合、オフセット治具４４は部品認識カメラ３８の視野範囲に対して余裕が少ないため大ノズル４６はオフセット治具４４の中心付近に吸着せねばならず非常に時間がかかる。またスケールと中心位置オフセット計測では治具とそれを吸着するノズルが異なるため、ノズル交換が必要になり計測が非常に面倒であった。また、スケール治具４３もオフセット治具４４も大変精密で小さい部品であり、計測終了後に外して別途保管しなければならなかった。
【０００７】
以上のようにスケール及びオフセットの計測校正は長時間の慎重な作業時間と治具の管理が必要であった。ところが実生産中では、温度湿度等の環境変化により部品認識カメラのオフセット値，スケール値は多少変化するため、装着位置の精密度維持のため実生産の途中にて随時再計測する必要にせまられている。
【０００８】
本発明は上記の課題に鑑み、電子部品装着装置の部品認識カメラのオフセット及びスケールを実生産の途中でも正確に計測し、電子部品装着装置の装着精度を安定せしめ、電子回路基板の実装品質を向上する方法を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、電子部品を吸着する吸着ノズルが対象とする電子部品に応じて交換可能であるヘッド部と、ヘッド部を任意の位置に位置決めする位置決め機構と、吸着ノズルに吸着された電子部品を下方向から撮像し位置を計測する計測手段とからなる部品装着装置において、前記計測手段の中心位置及び分解能と傾きを校正するための治具ノズルが、前記分解能と前記傾きを計測するためのスケール治具と、前記スケール治具の外側に設けられ前記中心位置を計測するためのオフセット治具と、前記スケール治具及び前記オフセット治具を一体的に保持し前記ヘッド部に取り付け可能なノズルシャンクとから構成されており、前記位置決め機構により前記治具ノズルを互いに直交する２方向に移動させたときにおける、前記治具ノズルの前記位置決め機構上の移動結果と前記スケール治具の前記計測手段による画像処理上の移動結果とに基づいて前記分解能と前記傾きとを求め、前記計測手段で前記治具ノズルを撮像しながら前記位置決め機構により前記治具ノズルを回転させたときにおける、前記オフセット治具の前記計測手段による画像処理上の移動結果に基づいて前記中心位置を求めることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１記載の部品装着装置は、電子部品を吸着する吸着ノズルが対象とする電子部品に応じて交換可能であるヘッド部と、ヘッド部を任意の位置に位置決めする位置決め機構と、吸着ノズルに吸着された電子部品を下方向から撮像し位置を計測する計測手段とからなる部品装着装置において、前記計測手段の中心位置及び分解能と傾きを校正するための治具ノズルが、前記分解能と前記傾きを計測するためのスケール治具と、前記スケール治具の外側に設けられ前記中心位置を計測するためのオフセット治具と、前記スケール治具及び前記オフセット治具を一体的に保持し前記ヘッド部に取り付け可能なノズルシャンクとから構成されており、前記位置決め機構により前記治具ノズルを互いに直交する２方向に移動させたときにおける、前記治具ノズルの前記位置決め機構上の移動結果と前記スケール治具の前記計測手段による画像処理上の移動結果とに基づいて前記分解能と前記傾きとを求め、前記計測手段で前記治具ノズルを撮像しながら前記位置決め機構により前記治具ノズルを回転させたときにおける、前記オフセット治具の前記計測手段による画像処理上の移動結果に基づいて前記中心位置を求めることを特徴とする。
このようにすると、オフセット治具とスケール治具の両方を設けた一つの治具ノズルで計測手段の中心位置、分解能及び傾きを正確に計測することができる。
請求項２に記載の発明は、吸着ノズルを交換し収納する交換収納手段を備え、前記吸着ノズル及び前記治具ノズルが前記交換収納手段内に保持されることを特徴とする。
このようにすると、随時校正が行える。
請求項３に記載の発明は、前記オフセット治具及び前記スケール治具は前記計測手段に撮像された際、前記計測手段の視野の範囲内の大きさであり、前記計測手段の視野内において前記オフセット治具及び前記スケール治具を移動又は回転させることを特徴とする。
このようにすると、視野内で計測手段の中心位置、分解能及び傾きを正確に計測することができる。
請求項４に記載の発明は、前記計測手段は前記スケール治具を認識してスケール治具の外形エッジ部分を結んだ四角形の中心をスケール治具中心１として求め、つぎに前記位置決め機構は前記計測手段の視野内において一定距離のＸ方向又はＹ方向にスケール治具を移動させてスケール治具中心２を求め、続いて、前記移動方向と直交方向且つ視野中心の周りを移動するように移動させスケール治具中心３を求め、スケール治具中心１とスケール治具中心２を結ぶ線と前記計測手段の水平又は垂直ラインの成す角度を前記計測手段の傾きとし、スケール治具中心１とスケール治具中心２の距離と前記位置決め機構のＸ又はＹ方向の移動距離との比率及びスケール治具中心２とスケール治具中心３の距離と前記位置決め機構のＸ又はＹ方向の移動距離との比率を前記計測手段のそれぞれＸ又はＹ方向の分解能とし、前記位置決め機構が治具ノズルを前記計測手段の中心部に移動させ、まずオフセット治具の外形エッジ部分を結んだ四角形の中心をオフセット治具中心１として求め、次に治具ノズルを９０度づつ回転させそれぞれの治具中心を計測して求め、得られた４点の平均中心位置をヘッド部の回転中心として求め、前記位置決め機構の座標と、オフセット治具中心の平均中心と前記計測手段の視野中心との差分との和の座標を前記計測手段の中心オフセットとして求めることを特徴とする。
このようにすると、角面のエッジを利用して、正確な計測手段の中心位置、分解能及び傾きを計測することができる。
請求項５に記載の発明は、スケール治具とオフセット治具はそれぞれ角錐台形状をなし、前記角錐台形状の側面が上方に向かって狭くなるように傾斜していることを特徴とする。
このようにすると、側面の影響を受けることなく角形状のエッジ部のコントラスト比を高く認識できるので、正確な測定ができる。
請求項６に記載の発明は、治具ノズルはスケール治具とオフセット治具の間に溝を設け、且つ前記オフセット治具より下がった位置にオフセット治具より大きな面を備えたシャンクを設け、スケール治具と溝、オフセット治具とシャンクとがそれぞれ明暗の対照的な 色をそれぞれに設けたことを特徴とする。
このようにすると、さらに一層角形状のエッジ部のコントラスト比を高く認識できるので、正確な測定ができる。
請求項７に記載の部品装着装置の部品位置計測手段の校正使用方法の発明は、 電子部品を吸着する吸着ノズルが対象とする電子部品に応じて交換可能であるヘッド部と、ヘッド部を任意の位置に位置決めする位置決め機構と、吸着ノズルを交換し収納する交換収納手段と、吸着ノズルに吸着された電子部品を下方向から撮像し位置を計測する計測手段とからなる部品装着装置の部品位置計測手段の校正使用方法であって、前記計測手段の中心位置及び分解能と傾きを校正するための治具ノズルが、前記分解能と前記傾きを計測するためのスケール治具と、前記スケール治具の外側に設けられ前記中心位置を計測するためのオフセット治具と、前記スケール治具及び前記オフセット治具を一体的に保持し前記ヘッド部に取り付け可能なノズルシャンクとから構成されており、前記位置決め機構により前記治具ノズルを互いに直交する２方向に移動させたときにおける、前記治具ノズルの前記位置決め機構上の移動結果と前記スケール治具の前記計測手段による画像処理上の移動結果とに基づいて前記分解能と前記傾きとを求め、前記計測手段で前記治具ノズルを撮像しながら前記位置決め機構により前記治具ノズルを回転させたときにおける、前記オフセット治具の前記計測手段による画像処理上の移動結果に基づいて前記中心位置を求めることを特徴とする。このようにすると、オフセット治具とスケール治具の両方を設けた一つの治具ノズルで 計測手段の中心位置、分解能及び傾きを正確に計測することができる。
【００１１】
以下、第一発明の実施例を図１〜図７を参照しながら説明する。
図１及び２にて本発明の電子部品装着装置の構成を述べる。
【００１２】
図１は、本発明の電子部品装着装置の全体概略図である。図１にて、２は電子回路基板１を搬入搬出する搬送部、５はＸＹロボットで供給部３・４より電子部品を吸着・装着する吸着ノズルを含むヘッド部６を任意の位置に位置決めする。７は電子部品の吸着姿勢を撮像計測する部品認識カメラで、８は吸着ノズル及び治具ノズルを備えたノズルステーションである。
【００１３】
図２は電子回路基板１及びヘッド部６及び部品認識カメラ７及びノズルステーション８の詳細図である。図２にて電子回路基板１には電子部品２１を実装されるランド９と、ランド９の位置を計測するためにランド９に対して正確に配置された基板マーク１０ａ及び１０ｂを有する。また図２にてヘッド部６にて吸着ノズル１１は上下に昇降し且つ回転方向に自由に位置決めでき、照明１４及びレンズ１３及びカメラ１２からなる基板認識カメラ１５を有している。また図２にて部品認識カメラ７は反射ミラーを備えた鏡筒２０に対し鏡筒１８及びレンズ１７及びカメラ１６が取り付けられ、ＬＥＤ照明２８を備えた照明部１９が取り付けられている。また図２にてノズルステーション８には装着する電子部品に応じて交換される吸着ノズル（２２ａ、２２ｂ ｅｔｃ．．．）及び治具ノズル２３を備えている。
【００１４】
図３は計測手段である部品認識カメラ７と治具ノズル２３の断面図であり、治具ノズル２３は吸着ノズル１１や２２ａ、２２ｂのようにヘッド部６に交換取り付けできる同一コレットを持つノズルシャンク２４と、部品認識カメラの中心位置を校正するオフセット治具２５と、部品認識カメラの分解能と傾きを校正するスケール治具２６の両方の治具から構成される。オフセット治具２５は部品認識カメラ７の視野の大きさより若干小さい大きさであり、スケール治具２６はオフセット治具２５に比し小さい大きさである。
又、スケール治具２６とオフセット治具２５はそれぞれ角錐台形状をなし、前記角錐台形状の側面が上方に向かって狭くなるように傾斜している。
又、治具ノズル２３の部品認識カメラ７で認識する認識面は中心部から外に向かって角形状のスケール治具２６、スケール治具２６より凹んだ円錐溝２７、スケール治具２６と略同一高さ面の角形状のオフセット治具２５から成っている。
【００１５】
次に上記部品装着装置の動作について説明する。
まず図３〜７にて本発明の電子部品装着装置の部品認識カメラ７のカメラ中心位置オフセットと、位置決め機構であるＸＹロボットと成すカメラ回転角及びカメラの倍率を示すカメラ分解能のスケール計測方法について述べる。図３にてヘッド６は治具ノズル２３をドッキングし部品認識カメラ７上に移動する。治具ノズル２３は照明部１９内のＬＥＤ２８にて照射され、その光像は反射ミラー２９及びレンズ１７をへてカメラ１６にて撮像される。
【００１６】
一般に画像処理では入力した画像にて輪郭部分のコントラストの差が高いほうが明確に認識でき正確な計測が行える。ここで図４は治具ノズル２３を部品認識カメラ７から見ている画像であり、図５は図４の画像を３０−３０ラインで切った線上での画像の明るさを示す輝度レベルであり、暗い部分０から一番明るくて２５５までで表される。治具ノズル２３は計測撮像された時にオフセット治具２５及が認識されやすいように、シャンク部２４が黒色に塗装され図５の輝度レベルで約５０を示している。つぎにオフセット治具２５は白色に塗装され且つ外周部分が角錐状に形成されている。これは撮像画像にてオフセット治具２５のエッジ３１が明瞭なりオフセット治具２５の中心計測を正確に行うためである。図５にて背景であるシャンク２４とオフセット治具２５のエッジ３１の輝度レベル差は約１５０あり十分正確に認識処理できる。またオフセット治具２５の中心にスケール治具２６が固定されている。両者の間に円錐状に堀込んである部分はオフセット治具２５とスケール治具２６のフォーカス高さを統一するための溝２７であり、円錐状であるがゆえ図２７にあるような円形でやや低い輝度レベルの線が見える。ただし、図５にあるように輝度レベルの分布では円錐溝２７の輝度レベルは図５の３２の部分であり約１８０と差約２０で、前述のシャンク２４の背景とオフセット治具２５との差約１５０に比べ十分小さくこの部分を治具のエッジと誤認識することはない。一方スケール治具２６は黒色に塗装されており輝度レベルは図５にて約７０であり、オフセット治具２５の円錐溝２７輝度レベルは図５の３３にて約１９０でその差約１２０でありこれも十分認識され得る。
【００１７】
治具の位置計測方法は多数あるが本実施例では治具の外形エッジ部分を結んだ四角形の面積中心を治具中心と定義とする。図６は部品カメラ７の視野であり、ＸＹロボット５が治具ノズル２３を移動したときの撮像結果を示す。図６にて、最初のスケール治具２６の位置は視野の第３象元の２６ａにあり、元々の撮像画像の中ではオフセット治具２５の外形部分も現れているが、治具計測の認識画像処理を第３象元の範囲内だけで行い、部品認識カメラ７がスケール治具２６を認識してスケール治具２６の外形エッジ部分を結んだ四角形の面積中心を求め、その結果得られたスケール治具中心１がＯａである。
つぎにＸＹロボット５は部品認識カメラの視野内においてスケール治具２６をＸ方向に一定距離移動させ、これによりスケール治具２６の位置は視野の第４象元の２６ｂになる。第３象元の２６ａと同様に、スケール治具中心を求め、その結果得られたスケール治具中心２がＯｂである。
同様にＸＹロボット５は部品認識カメラの視野内においてスケール治具２６をＹ方向に一定距離移動させ、これによりスケール治具２６の位置は視野の第１象元の２６ｃになる。第３象元の２６ａと同様に、スケール治具中心を求め、その結果得られたスケール治具中心３がＯｃである。
いずれも視野の第４象元、第１象元で範囲指定で画像処理を行っている。スケール治具中心１のＯａとスケール治具中心２のＯｂを結ぶ線と部品認識カメラ７の水平ラインの成す角度θが部品認識カメラ７のカメラ回転角、つまりカメラの傾きとする。
スケール治具中心１のＯａとスケール治具中心２のＯｂとの距離ＬｘとＸＹロボット５のＸ方向の移動距離との比率を、部品認識カメラ７のＸ方向のカメラ分解能スケールとし、スケール治具中心２のＯｂとスケール治具中心３のＯｃとの距離ＬｙとＸＹロボット５のＹ方向の移動距離との比率を部品認識カメラ７のＹ方向のカメラ分解能スケールとする。
【００１８】
図７は部品認識カメラ７の視野であり、治具ノズル２３を部品認識カメラ７の中心に移動する。
まず治具ノズル２３の回転角度０度にてオフセット治具２５の外形エッジ部分を結んだ四角形の面積中心をオフセット治具中心１、Ｏｄとして求める。
ここでは元々治具ノズル２３の中心部分にスケール治具２６の画像が映っているが、視野の外周から治具のエッジを探しにいくため必ず外側であるオフセット治具の外形を捕らえる。次に治具ノズル２３を９０度づつ回転させそれぞれのオフセット治具中心Ｏｅ、Ｏｆ、Ｏｇを計測して求める。
以上４点のオフセット治具中心の平均中心Ｏｈがヘッド部６の回転中心である。本実施例に電子部品装着装置では、装置の座標系はヘッド部６の回転中心を基準としている。従って”計測した時点でのＸＹロボット５の座標”と、” オフセット治具中心の平均中心Ｏｈと部品認識カメラ７の視野中心０ｃａｍとの差分”との和の座標にＸＹロボット５が移動することにより部品認識カメラ７と治具ノズル２３の中心を一致させることができ、この際のＸＹロボット５の座標を部品認識カメラ７のカメラ中心オフセットとしている。以上で部品認識カメラ７のカメラ中心オフセットが計測される。
【００１９】
次に上記部品装着装置の認識カメラのオフセット及びスケール計測後の実運用動作について図１を用いて説明する。電子回路基板１は搬送部２により装着位置に搬入される。ＸＹロボット５はヘッド部６を電子回路基板１上に移動し、基板認識カメラ２７が基板マーク１０ａ・１０ｂを計測し実装すべき位置を調べる。次に、ＸＹロボット５はヘッド部６を部品供給部４上に移動し、吸着ノズル１１は電子部品２１を吸着し、部品認識カメラ７に移動後吸着ノズル１１は電子部品２１を部品認識カメラ７のフォーカス面まで下降する。電子部品２１は照明部１９内のＬＥＤ２８に照射され、その光像は反射ミラー２９及びレンズ１７をへてカメラ１６にて撮像される。この情報をもとに位置補正後、電子部品２５は電子回路基板１上に装着される。
【００２０】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、スケール治具とオフセット治具を一体化した専用治具ノズルを用いて部品認識カメラ７のカメラ回転角とカメラ分解能スケールとカメラ中心オフセットを正確に且つ簡単に計測でき、電子部品の装着を正確に行える。また、治具の位置は治具ノズルに固定により治具とヘッド部との相対位置関係が決まっているため安定して計測できる。この治具ノズルはノズルステーションに常時収納されているので随時再計測でき、また治具の管理保管性も優れている。
【００２１】
尚、本発明の第一の実施例では背景となるノズルシャンク２４を黒色、サイズの大きいオフセット治具２５を白色、サイズの小さいスケール治具２６を黒色と組み合せとしたが、逆にノズルシャンク２４を白色、オフセット治具２５を黒色、スケール治具２６を白色の組み合わせとしても有効である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施例の電子部品装着装置の全体概略図
【図２】第一実施例の電子回路基板及びヘッド部及び部品認識カメラ及びノズルステーションの詳細図
【図３】第一実施例の部品認識カメラと治具ノズルの断面図
【図４】第一実施例の治具ノズルを部品認識カメラ７から見ている画像を示す図
【図５】第一実施例の部品認識カメラ撮像している画面を切った線上の明るさを示す輝度レベルの状態を示す図
【図６】第一実施例の部品認識カメラの視野を示す図
【図７】第一実施例の部品認識カメラの視野を示す図
【図８】従来の電子部品装着装置の全体概略図
【図９】従来の電子部品装着装置の治具とその吸着ノズルを示す図
【図１０】従来の電子部品装着装置の治具とその吸着ノズルを示す図
【図１１】従来の電子部品装着装置の部品認識カメラの視野を示す図
【図１２】従来の電子部品装着装置の部品認識カメラの視野を示す図
【符号の説明】
１ 電子回路基板
２ 搬送部
３，４ 部品供給部
５ ＸＹロボット
６ ヘッド部
７ 部品認識カメラ
８ ノズルステーション
９ ランド
１０ａ，１０ｂ 基板マーク
１１，２２ａ，２２ｂ 吸着ノズル
１２ カメラ
１３ レンズ
１４ 照明
１５ 基板認識カメラ
１６ カメラ
１７ レンズ
１８ 鏡筒
１９ カメラ中心計測事冶具
２０ 鏡筒
２１ 電子部品
２３ 治具ノズル
２４ ノズルシャンク
２５ オフセット治具
２６ スケール治具
２７ 円錐溝
２８ ＬＥＤ照明
２９ 反射ミラー
３０ ライン
３１，３２，３３ 輝度レベル位置指示
３２ 搬送部
３４ ＸＹロボット
３５ 吸着ノズル
３６ 基板認識カメラ
３７ 電子部品
３８ 部品認識カメラ
３９ ランド
４０ 電子回路基板
４２ 部品供給部
４３ スケール治具
４４ オフセット治具
【発明の属する技術分野】
本発明は、電子部品を電子回路基板上に装着する装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
近年、電子回路基板は電子部品を正確に装着し実装品質を向上する事を要求されている。
【０００３】
以下、図８〜図１２を参照しながら、従来の電子部品装着装置の一例について説明する。図８は、従来の電子部品装着装置の全体概略図である。図８にて、４１は電子回路基板４０を搬入・搬出する搬送部、３４はＸＹロボットで供給部４２より電子部品３７を吸着・装着するノズル３５及び電子回路基板４０の位置を計測する基板認識カメラ３６を任意の位置に位置決めする。３８は電子部品３７の吸着姿勢を撮像計測する部品認識カメラである。４３は部品認識カメラ３８の分解能と傾きスケールを計測するスケール治具であり、４４は部品カメラ３８の中心位置を計測するオフセット治具である。
【０００４】
次に上記部品装着装置の部品認識カメラ３８の分解能と傾きスケール計測及び中心位置計測について説明する。図９にてスケール治具４３は小ノズル４５を用いて吸着される。図１１は認識カメラ３８のモニター画像で分解能と傾きスケール計測を示しており、図のように視野の外枠付近のＸ−Ｙに直角に移動し治具の認識カメラ３８上での移動量と実際のＸＹロボット３４の移動量からカメラ分解能を計算し、またカメラ傾きを計算する。次に図１０に示すように大ノズル４６にてオフセット治具４４を吸着する。図１２は認識カメラ３８のモニター画像であり、図１２の様にオフセット治具４４の中心位置の計測を９０°回転しながら４回求めその中心をノズルの中心としている。
【０００５】
次に上記部品装着装置の動作について説明する。
電子回路基板４０は搬送部４１により装着位置に搬入する。ＸＹロボット３４は基板認識カメラ３６を電子回路基板４０上に移動し基板マーク３９を計測し実装すべき位置を調べる。次に、ＸＹロボット３４は吸着ノズル３５を部品供給部４２上に移動し吸着ノズル３５は電子部品２５を吸着し、部品認識カメラ３８にて吸着姿勢を撮像し、この情報をもとに位置補正後、電子部品３７は電子回路基板４０上に装着される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
上記構成においては、以下の様な課題を有する。電子部品装着装置にて正確に装着するためには部品認識カメラ３８を分解能と傾きスケール管理及び中心位置即ちオフセット管理が重要である。スケール治具４３は部品認識カメラ３８の視野内をなるべく広く移動したほうが正確な計測を行えるのでスケール治具４３の大きさは比較的小さい方が良い。逆にオフセット治具４４は視野ぎりぎりいっぱいまでの大きさの方が正確な計測を行えるので比較的大きくなる。まずスケール校正を行うためにスケール治具４３冶具を吸着しするが、スケール治具４３は小さいため吸着位置が微妙で安定しない。またオフセット校正を行うためにオフセット治具４４を吸着する場合、オフセット治具４４は部品認識カメラ３８の視野範囲に対して余裕が少ないため大ノズル４６はオフセット治具４４の中心付近に吸着せねばならず非常に時間がかかる。またスケールと中心位置オフセット計測では治具とそれを吸着するノズルが異なるため、ノズル交換が必要になり計測が非常に面倒であった。また、スケール治具４３もオフセット治具４４も大変精密で小さい部品であり、計測終了後に外して別途保管しなければならなかった。
【０００７】
以上のようにスケール及びオフセットの計測校正は長時間の慎重な作業時間と治具の管理が必要であった。ところが実生産中では、温度湿度等の環境変化により部品認識カメラのオフセット値，スケール値は多少変化するため、装着位置の精密度維持のため実生産の途中にて随時再計測する必要にせまられている。
【０００８】
本発明は上記の課題に鑑み、電子部品装着装置の部品認識カメラのオフセット及びスケールを実生産の途中でも正確に計測し、電子部品装着装置の装着精度を安定せしめ、電子回路基板の実装品質を向上する方法を提供するものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、電子部品を吸着する吸着ノズルが対象とする電子部品に応じて交換可能であるヘッド部と、ヘッド部を任意の位置に位置決めする位置決め機構と、吸着ノズルに吸着された電子部品を下方向から撮像し位置を計測する計測手段とからなる部品装着装置において、前記計測手段の中心位置及び分解能と傾きを校正するための治具ノズルが、前記分解能と前記傾きを計測するためのスケール治具と、前記スケール治具の外側に設けられ前記中心位置を計測するためのオフセット治具と、前記スケール治具及び前記オフセット治具を一体的に保持し前記ヘッド部に取り付け可能なノズルシャンクとから構成されており、前記位置決め機構により前記治具ノズルを互いに直交する２方向に移動させたときにおける、前記治具ノズルの前記位置決め機構上の移動結果と前記スケール治具の前記計測手段による画像処理上の移動結果とに基づいて前記分解能と前記傾きとを求め、前記計測手段で前記治具ノズルを撮像しながら前記位置決め機構により前記治具ノズルを回転させたときにおける、前記オフセット治具の前記計測手段による画像処理上の移動結果に基づいて前記中心位置を求めることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項１記載の部品装着装置は、電子部品を吸着する吸着ノズルが対象とする電子部品に応じて交換可能であるヘッド部と、ヘッド部を任意の位置に位置決めする位置決め機構と、吸着ノズルに吸着された電子部品を下方向から撮像し位置を計測する計測手段とからなる部品装着装置において、前記計測手段の中心位置及び分解能と傾きを校正するための治具ノズルが、前記分解能と前記傾きを計測するためのスケール治具と、前記スケール治具の外側に設けられ前記中心位置を計測するためのオフセット治具と、前記スケール治具及び前記オフセット治具を一体的に保持し前記ヘッド部に取り付け可能なノズルシャンクとから構成されており、前記位置決め機構により前記治具ノズルを互いに直交する２方向に移動させたときにおける、前記治具ノズルの前記位置決め機構上の移動結果と前記スケール治具の前記計測手段による画像処理上の移動結果とに基づいて前記分解能と前記傾きとを求め、前記計測手段で前記治具ノズルを撮像しながら前記位置決め機構により前記治具ノズルを回転させたときにおける、前記オフセット治具の前記計測手段による画像処理上の移動結果に基づいて前記中心位置を求めることを特徴とする。
このようにすると、オフセット治具とスケール治具の両方を設けた一つの治具ノズルで計測手段の中心位置、分解能及び傾きを正確に計測することができる。
請求項２に記載の発明は、吸着ノズルを交換し収納する交換収納手段を備え、前記吸着ノズル及び前記治具ノズルが前記交換収納手段内に保持されることを特徴とする。
このようにすると、随時校正が行える。
請求項３に記載の発明は、前記オフセット治具及び前記スケール治具は前記計測手段に撮像された際、前記計測手段の視野の範囲内の大きさであり、前記計測手段の視野内において前記オフセット治具及び前記スケール治具を移動又は回転させることを特徴とする。
このようにすると、視野内で計測手段の中心位置、分解能及び傾きを正確に計測することができる。
請求項４に記載の発明は、前記計測手段は前記スケール治具を認識してスケール治具の外形エッジ部分を結んだ四角形の中心をスケール治具中心１として求め、つぎに前記位置決め機構は前記計測手段の視野内において一定距離のＸ方向又はＹ方向にスケール治具を移動させてスケール治具中心２を求め、続いて、前記移動方向と直交方向且つ視野中心の周りを移動するように移動させスケール治具中心３を求め、スケール治具中心１とスケール治具中心２を結ぶ線と前記計測手段の水平又は垂直ラインの成す角度を前記計測手段の傾きとし、スケール治具中心１とスケール治具中心２の距離と前記位置決め機構のＸ又はＹ方向の移動距離との比率及びスケール治具中心２とスケール治具中心３の距離と前記位置決め機構のＸ又はＹ方向の移動距離との比率を前記計測手段のそれぞれＸ又はＹ方向の分解能とし、前記位置決め機構が治具ノズルを前記計測手段の中心部に移動させ、まずオフセット治具の外形エッジ部分を結んだ四角形の中心をオフセット治具中心１として求め、次に治具ノズルを９０度づつ回転させそれぞれの治具中心を計測して求め、得られた４点の平均中心位置をヘッド部の回転中心として求め、前記位置決め機構の座標と、オフセット治具中心の平均中心と前記計測手段の視野中心との差分との和の座標を前記計測手段の中心オフセットとして求めることを特徴とする。
このようにすると、角面のエッジを利用して、正確な計測手段の中心位置、分解能及び傾きを計測することができる。
請求項５に記載の発明は、スケール治具とオフセット治具はそれぞれ角錐台形状をなし、前記角錐台形状の側面が上方に向かって狭くなるように傾斜していることを特徴とする。
このようにすると、側面の影響を受けることなく角形状のエッジ部のコントラスト比を高く認識できるので、正確な測定ができる。
請求項６に記載の発明は、治具ノズルはスケール治具とオフセット治具の間に溝を設け、且つ前記オフセット治具より下がった位置にオフセット治具より大きな面を備えたシャンクを設け、スケール治具と溝、オフセット治具とシャンクとがそれぞれ明暗の対照的な 色をそれぞれに設けたことを特徴とする。
このようにすると、さらに一層角形状のエッジ部のコントラスト比を高く認識できるので、正確な測定ができる。
請求項７に記載の部品装着装置の部品位置計測手段の校正使用方法の発明は、 電子部品を吸着する吸着ノズルが対象とする電子部品に応じて交換可能であるヘッド部と、ヘッド部を任意の位置に位置決めする位置決め機構と、吸着ノズルを交換し収納する交換収納手段と、吸着ノズルに吸着された電子部品を下方向から撮像し位置を計測する計測手段とからなる部品装着装置の部品位置計測手段の校正使用方法であって、前記計測手段の中心位置及び分解能と傾きを校正するための治具ノズルが、前記分解能と前記傾きを計測するためのスケール治具と、前記スケール治具の外側に設けられ前記中心位置を計測するためのオフセット治具と、前記スケール治具及び前記オフセット治具を一体的に保持し前記ヘッド部に取り付け可能なノズルシャンクとから構成されており、前記位置決め機構により前記治具ノズルを互いに直交する２方向に移動させたときにおける、前記治具ノズルの前記位置決め機構上の移動結果と前記スケール治具の前記計測手段による画像処理上の移動結果とに基づいて前記分解能と前記傾きとを求め、前記計測手段で前記治具ノズルを撮像しながら前記位置決め機構により前記治具ノズルを回転させたときにおける、前記オフセット治具の前記計測手段による画像処理上の移動結果に基づいて前記中心位置を求めることを特徴とする。このようにすると、オフセット治具とスケール治具の両方を設けた一つの治具ノズルで 計測手段の中心位置、分解能及び傾きを正確に計測することができる。
【００１１】
以下、第一発明の実施例を図１〜図７を参照しながら説明する。
図１及び２にて本発明の電子部品装着装置の構成を述べる。
【００１２】
図１は、本発明の電子部品装着装置の全体概略図である。図１にて、２は電子回路基板１を搬入搬出する搬送部、５はＸＹロボットで供給部３・４より電子部品を吸着・装着する吸着ノズルを含むヘッド部６を任意の位置に位置決めする。７は電子部品の吸着姿勢を撮像計測する部品認識カメラで、８は吸着ノズル及び治具ノズルを備えたノズルステーションである。
【００１３】
図２は電子回路基板１及びヘッド部６及び部品認識カメラ７及びノズルステーション８の詳細図である。図２にて電子回路基板１には電子部品２１を実装されるランド９と、ランド９の位置を計測するためにランド９に対して正確に配置された基板マーク１０ａ及び１０ｂを有する。また図２にてヘッド部６にて吸着ノズル１１は上下に昇降し且つ回転方向に自由に位置決めでき、照明１４及びレンズ１３及びカメラ１２からなる基板認識カメラ１５を有している。また図２にて部品認識カメラ７は反射ミラーを備えた鏡筒２０に対し鏡筒１８及びレンズ１７及びカメラ１６が取り付けられ、ＬＥＤ照明２８を備えた照明部１９が取り付けられている。また図２にてノズルステーション８には装着する電子部品に応じて交換される吸着ノズル（２２ａ、２２ｂ ｅｔｃ．．．）及び治具ノズル２３を備えている。
【００１４】
図３は計測手段である部品認識カメラ７と治具ノズル２３の断面図であり、治具ノズル２３は吸着ノズル１１や２２ａ、２２ｂのようにヘッド部６に交換取り付けできる同一コレットを持つノズルシャンク２４と、部品認識カメラの中心位置を校正するオフセット治具２５と、部品認識カメラの分解能と傾きを校正するスケール治具２６の両方の治具から構成される。オフセット治具２５は部品認識カメラ７の視野の大きさより若干小さい大きさであり、スケール治具２６はオフセット治具２５に比し小さい大きさである。
又、スケール治具２６とオフセット治具２５はそれぞれ角錐台形状をなし、前記角錐台形状の側面が上方に向かって狭くなるように傾斜している。
又、治具ノズル２３の部品認識カメラ７で認識する認識面は中心部から外に向かって角形状のスケール治具２６、スケール治具２６より凹んだ円錐溝２７、スケール治具２６と略同一高さ面の角形状のオフセット治具２５から成っている。
【００１５】
次に上記部品装着装置の動作について説明する。
まず図３〜７にて本発明の電子部品装着装置の部品認識カメラ７のカメラ中心位置オフセットと、位置決め機構であるＸＹロボットと成すカメラ回転角及びカメラの倍率を示すカメラ分解能のスケール計測方法について述べる。図３にてヘッド６は治具ノズル２３をドッキングし部品認識カメラ７上に移動する。治具ノズル２３は照明部１９内のＬＥＤ２８にて照射され、その光像は反射ミラー２９及びレンズ１７をへてカメラ１６にて撮像される。
【００１６】
一般に画像処理では入力した画像にて輪郭部分のコントラストの差が高いほうが明確に認識でき正確な計測が行える。ここで図４は治具ノズル２３を部品認識カメラ７から見ている画像であり、図５は図４の画像を３０−３０ラインで切った線上での画像の明るさを示す輝度レベルであり、暗い部分０から一番明るくて２５５までで表される。治具ノズル２３は計測撮像された時にオフセット治具２５及が認識されやすいように、シャンク部２４が黒色に塗装され図５の輝度レベルで約５０を示している。つぎにオフセット治具２５は白色に塗装され且つ外周部分が角錐状に形成されている。これは撮像画像にてオフセット治具２５のエッジ３１が明瞭なりオフセット治具２５の中心計測を正確に行うためである。図５にて背景であるシャンク２４とオフセット治具２５のエッジ３１の輝度レベル差は約１５０あり十分正確に認識処理できる。またオフセット治具２５の中心にスケール治具２６が固定されている。両者の間に円錐状に堀込んである部分はオフセット治具２５とスケール治具２６のフォーカス高さを統一するための溝２７であり、円錐状であるがゆえ図２７にあるような円形でやや低い輝度レベルの線が見える。ただし、図５にあるように輝度レベルの分布では円錐溝２７の輝度レベルは図５の３２の部分であり約１８０と差約２０で、前述のシャンク２４の背景とオフセット治具２５との差約１５０に比べ十分小さくこの部分を治具のエッジと誤認識することはない。一方スケール治具２６は黒色に塗装されており輝度レベルは図５にて約７０であり、オフセット治具２５の円錐溝２７輝度レベルは図５の３３にて約１９０でその差約１２０でありこれも十分認識され得る。
【００１７】
治具の位置計測方法は多数あるが本実施例では治具の外形エッジ部分を結んだ四角形の面積中心を治具中心と定義とする。図６は部品カメラ７の視野であり、ＸＹロボット５が治具ノズル２３を移動したときの撮像結果を示す。図６にて、最初のスケール治具２６の位置は視野の第３象元の２６ａにあり、元々の撮像画像の中ではオフセット治具２５の外形部分も現れているが、治具計測の認識画像処理を第３象元の範囲内だけで行い、部品認識カメラ７がスケール治具２６を認識してスケール治具２６の外形エッジ部分を結んだ四角形の面積中心を求め、その結果得られたスケール治具中心１がＯａである。
つぎにＸＹロボット５は部品認識カメラの視野内においてスケール治具２６をＸ方向に一定距離移動させ、これによりスケール治具２６の位置は視野の第４象元の２６ｂになる。第３象元の２６ａと同様に、スケール治具中心を求め、その結果得られたスケール治具中心２がＯｂである。
同様にＸＹロボット５は部品認識カメラの視野内においてスケール治具２６をＹ方向に一定距離移動させ、これによりスケール治具２６の位置は視野の第１象元の２６ｃになる。第３象元の２６ａと同様に、スケール治具中心を求め、その結果得られたスケール治具中心３がＯｃである。
いずれも視野の第４象元、第１象元で範囲指定で画像処理を行っている。スケール治具中心１のＯａとスケール治具中心２のＯｂを結ぶ線と部品認識カメラ７の水平ラインの成す角度θが部品認識カメラ７のカメラ回転角、つまりカメラの傾きとする。
スケール治具中心１のＯａとスケール治具中心２のＯｂとの距離ＬｘとＸＹロボット５のＸ方向の移動距離との比率を、部品認識カメラ７のＸ方向のカメラ分解能スケールとし、スケール治具中心２のＯｂとスケール治具中心３のＯｃとの距離ＬｙとＸＹロボット５のＹ方向の移動距離との比率を部品認識カメラ７のＹ方向のカメラ分解能スケールとする。
【００１８】
図７は部品認識カメラ７の視野であり、治具ノズル２３を部品認識カメラ７の中心に移動する。
まず治具ノズル２３の回転角度０度にてオフセット治具２５の外形エッジ部分を結んだ四角形の面積中心をオフセット治具中心１、Ｏｄとして求める。
ここでは元々治具ノズル２３の中心部分にスケール治具２６の画像が映っているが、視野の外周から治具のエッジを探しにいくため必ず外側であるオフセット治具の外形を捕らえる。次に治具ノズル２３を９０度づつ回転させそれぞれのオフセット治具中心Ｏｅ、Ｏｆ、Ｏｇを計測して求める。
以上４点のオフセット治具中心の平均中心Ｏｈがヘッド部６の回転中心である。本実施例に電子部品装着装置では、装置の座標系はヘッド部６の回転中心を基準としている。従って”計測した時点でのＸＹロボット５の座標”と、” オフセット治具中心の平均中心Ｏｈと部品認識カメラ７の視野中心０ｃａｍとの差分”との和の座標にＸＹロボット５が移動することにより部品認識カメラ７と治具ノズル２３の中心を一致させることができ、この際のＸＹロボット５の座標を部品認識カメラ７のカメラ中心オフセットとしている。以上で部品認識カメラ７のカメラ中心オフセットが計測される。
【００１９】
次に上記部品装着装置の認識カメラのオフセット及びスケール計測後の実運用動作について図１を用いて説明する。電子回路基板１は搬送部２により装着位置に搬入される。ＸＹロボット５はヘッド部６を電子回路基板１上に移動し、基板認識カメラ２７が基板マーク１０ａ・１０ｂを計測し実装すべき位置を調べる。次に、ＸＹロボット５はヘッド部６を部品供給部４上に移動し、吸着ノズル１１は電子部品２１を吸着し、部品認識カメラ７に移動後吸着ノズル１１は電子部品２１を部品認識カメラ７のフォーカス面まで下降する。電子部品２１は照明部１９内のＬＥＤ２８に照射され、その光像は反射ミラー２９及びレンズ１７をへてカメラ１６にて撮像される。この情報をもとに位置補正後、電子部品２５は電子回路基板１上に装着される。
【００２０】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、スケール治具とオフセット治具を一体化した専用治具ノズルを用いて部品認識カメラ７のカメラ回転角とカメラ分解能スケールとカメラ中心オフセットを正確に且つ簡単に計測でき、電子部品の装着を正確に行える。また、治具の位置は治具ノズルに固定により治具とヘッド部との相対位置関係が決まっているため安定して計測できる。この治具ノズルはノズルステーションに常時収納されているので随時再計測でき、また治具の管理保管性も優れている。
【００２１】
尚、本発明の第一の実施例では背景となるノズルシャンク２４を黒色、サイズの大きいオフセット治具２５を白色、サイズの小さいスケール治具２６を黒色と組み合せとしたが、逆にノズルシャンク２４を白色、オフセット治具２５を黒色、スケール治具２６を白色の組み合わせとしても有効である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第一実施例の電子部品装着装置の全体概略図
【図２】第一実施例の電子回路基板及びヘッド部及び部品認識カメラ及びノズルステーションの詳細図
【図３】第一実施例の部品認識カメラと治具ノズルの断面図
【図４】第一実施例の治具ノズルを部品認識カメラ７から見ている画像を示す図
【図５】第一実施例の部品認識カメラ撮像している画面を切った線上の明るさを示す輝度レベルの状態を示す図
【図６】第一実施例の部品認識カメラの視野を示す図
【図７】第一実施例の部品認識カメラの視野を示す図
【図８】従来の電子部品装着装置の全体概略図
【図９】従来の電子部品装着装置の治具とその吸着ノズルを示す図
【図１０】従来の電子部品装着装置の治具とその吸着ノズルを示す図
【図１１】従来の電子部品装着装置の部品認識カメラの視野を示す図
【図１２】従来の電子部品装着装置の部品認識カメラの視野を示す図
【符号の説明】
１ 電子回路基板
２ 搬送部
３，４ 部品供給部
５ ＸＹロボット
６ ヘッド部
７ 部品認識カメラ
８ ノズルステーション
９ ランド
１０ａ，１０ｂ 基板マーク
１１，２２ａ，２２ｂ 吸着ノズル
１２ カメラ
１３ レンズ
１４ 照明
１５ 基板認識カメラ
１６ カメラ
１７ レンズ
１８ 鏡筒
１９ カメラ中心計測事冶具
２０ 鏡筒
２１ 電子部品
２３ 治具ノズル
２４ ノズルシャンク
２５ オフセット治具
２６ スケール治具
２７ 円錐溝
２８ ＬＥＤ照明
２９ 反射ミラー
３０ ライン
３１，３２，３３ 輝度レベル位置指示
３２ 搬送部
３４ ＸＹロボット
３５ 吸着ノズル
３６ 基板認識カメラ
３７ 電子部品
３８ 部品認識カメラ
３９ ランド
４０ 電子回路基板
４２ 部品供給部
４３ スケール治具
４４ オフセット治具
Claims (7)
- 電子部品を吸着する吸着ノズルが対象とする電子部品に応じて交換可能であるヘッド部と、ヘッド部を任意の位置に位置決めする位置決め機構と、吸着ノズルに吸着された電子部品を下方向から撮像し位置を計測する計測手段とからなる部品装着装置において、前記計測手段の中心位置及び分解能と傾きを校正するための治具ノズルが、前記分解能と前記傾きを計測するためのスケール治具と、前記スケール治具の外側に設けられ前記中心位置を計測するためのオフセット治具と、前記スケール治具及び前記オフセット治具を一体的に保持し前記ヘッド部に取り付け可能なノズルシャンクとから構成されており、前記位置決め機構により前記治具ノズルを互いに直交する２方向に移動させたときにおける、前記治具ノズルの前記位置決め機構上の移動結果と前記スケール治具の前記計測手段による画像処理上の移動結果とに基づいて前記分解能と前記傾きとを求め、前記計測手段で前記治具ノズルを撮像しながら前記位置決め機構により前記治具ノズルを回転させたときにおける、前記オフセット治具の前記計測手段による画像処理上の移動結果に基づいて前記中心位置を求めることを特徴とする部品装着装置。
- 吸着ノズルを交換し収納する交換収納手段を備え、前記吸着ノズル及び前記治具ノズルが前記交換収納手段内に保持されることを特徴とする請求項１記載の部品装着装置。
- 前記オフセット治具及び前記スケール治具は前記計測手段に撮像された際、前記計測手段の視野の範囲内の大きさであり、前記計測手段の視野内において前記オフセット治具及び前記スケール治具を移動又は回転させる請求項１又は請求項２に記載の部品装着装置。
- 前記計測手段は前記スケール治具を認識してスケール治具の外形エッジ部分を結んだ四角形の中心をスケール治具中心１として求め、つぎに前記位置決め機構は前記計測手段の視野内において一定距離のＸ方向又はＹ方向にスケール治具を移動させてスケール治具中心２を求め、続いて、前記移動方向と直交方向且つ視野中心の周りを移動するように移動させスケール治具中心３を求め、スケール治具中心１とスケール治具中心２を結ぶ線と前記計測手段の水平又は垂直ラインの成す角度を前記計測手段の傾きとし、
スケール治具中心１とスケール治具中心２の距離と前記位置決め機構のＸ又はＹ方向の移動距離との比率及びスケール治具中心２とスケール治具中心３の距離と前記位置決め機構のＸ又はＹ方向の移動距離との比率を前記計測手段のそれぞれＸ又はＹ方向の分解能とし、
前記位置決め機構が治具ノズルを前記計測手段の中心部に移動させ、まずオフセット治具の外形エッジ部分を結んだ四角形の中心をオフセット治具中心１として求め、次に治具ノズルを９０度づつ回転させそれぞれの治具中心を計測して求め、得られた４点の平均中心位置をヘッド部の回転中心として求め、前記位置決め機構の座標と、オフセット治具中心の平均中心と前記計測手段の視野中心との差分との和の座標を前記計測手段の中心オフセットとして求める請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の部品装着装置。 - スケール治具とオフセット治具はそれぞれ角錐台形状をなし、前記角錐台形状の側面が上方に向かって狭くなるように傾斜している請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の部品装着装置。
- 治具ノズルはスケール治具とオフセット治具の間に溝を設け、且つ前記オフセット治具より下がった位置にオフセット治具より大きな面を備えたシャンクを設け、スケール治具と溝、オフセット治具とシャンクとがそれぞれ明暗の対照的な色をそれぞれに設けた請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の部品装着装置。
- 電子部品を吸着する吸着ノズルが対象とする電子部品に応じて交換可能であるヘッド部と、ヘッド部を任意の位置に位置決めする位置決め機構と、吸着ノズルを交換し収納する交換収納手段と、吸着ノズルに吸着された電子部品を下方向から撮像し位置を計測する計測手段とからなる部品装着装置の部品位置計測手段の校正使用方法であって、前記計測手段の中心位置及び分解能と傾きを校正するための治具ノズルが、前記分解 能と前記傾きを計測するためのスケール治具と、前記スケール治具の外側に設けられ前記中心位置を計測するためのオフセット治具と、前記スケール治具及び前記オフセット治具を一体的に保持し前記ヘッド部に取り付け可能なノズルシャンクとから構成されており、前記位置決め機構により前記治具ノズルを互いに直交する２方向に移動させたときにおける、前記治具ノズルの前記位置決め機構上の移動結果と前記スケール治具の前記計測手段による画像処理上の移動結果とに基づいて前記分解能と前記傾きとを求め、前記計測手段で前記治具ノズルを撮像しながら前記位置決め機構により前記治具ノズルを回転させたときにおける、前記オフセット治具の前記計測手段による画像処理上の移動結果に基づいて前記中心位置を求めることを特徴とする部品装着装置の部品位置計測手段の校正使用方法。
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