JP3683745B2 - サーマルヘッド - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はサーマルヘッドに係わり、特に、共通電極を保温層上に形成し、この共通電極上に層間絶縁層を介して発熱素子を積層形成してなるサーマルヘッドに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、熱転写プリンタ等に搭載される記録ヘッドとしての一般的なサーマルヘッドは、発熱抵抗体から成る複数個の発熱素子を基板上に1列もしくは複数列に整列配置し、記録情報に従って各発熱体素子を選択的に通電加熱させることにより、感熱記録紙に発色記録したり、あるいは、インクリボンのインクを溶融させて普通紙、OHP用紙等の記録媒体に転写記録するなどして、各種の記録媒体に印刷記録を行うようになっている。
【0003】
このようなサーマルヘッドの従来のものは、図11、12に示すように、セラミックスまたはシリコンなどからなる絶縁性を有する基板24を有しており、図12に示す基板24の上面の右端部近傍には、断面略台形状に突出する凸部24aが形成されている。
【0004】
また、前記基板24の上面には保温層25が形成され、前記凸部24a上の保温層25の上面には、Ta−SiO2などのサーメツト系からなる発熱抵抗体をスパッタリング等により被着した後に、フツ素系ガスと酸化ガスとの混合ガスによるプラズマエッチングを施して所望のパターン状に形成し、これにより、所望の分解能に対応するドットの数に応じて並列状に整列形成された複数の発熱素子26が設けられている。
【0005】
さらに、図12に示す各発熱素子26の右側には、共通電極27が形成され、この共通電極27は、図11に示すように、サーマルヘッド23の外周縁に沿うようにしてコ字状に形成されている。
そして、前記共通電極27の左右外周縁の2つの端部に共通電極端子27aが形成されている。この共通電極端子27aの上面には、端子メッキ層27bが施されている。
【0006】
一方、図12に示す発熱素子26の左側上面には、各発熱素子26に独立して通電を行う複数の個別電極28がパターン状に形成されている。また、個別電極28と発熱素子26との間には、個別電極28と発熱素子26とを電気的に接続する個別側接続電極29が形成されている。また、図12に示す個別電極28の左端部は、個別電極端子28aとなっており、この個別電極端子28aの上面には、端子メッキ層28bが施されている。
【0007】
前記共通電極27および個別電極28は、Al、またはCuなどを素材とし、スバッタリングなどにより発熱素子26および保温層25の上面に約2μm程度の厚さで被着した後、エッチングなどにより所定のパターン状に形成されており、各発熱素子26の共通電極27と個別電極28とに挟まれた部位が発熱部26aとされている。
【0008】
また、保温層25、発熱素子26、共通電極27および個別電極28の上面には、酸化や摩耗を防止するための保護層30が形成されている。この保護層30は、耐酸化性および耐摩耗性の良いサイアロン(Si−Al−O−N系化合物固溶体)等を素材とし、個別電極端子28aおよび共通電極端子27aを除いた、それ以外のすべての上面を被覆するようにして、スパッタリング等により積層されている。
【0009】
前述したような構成を有する従来のサーマルヘッド23においては、共通電極27および個別電極28の間に選択的に通電することによって発熱素子26を選択的に発熱させ、この部位に当接するインクリボンのインクを溶融させて記録紙上に転写するか、あるいは直接感熱記録紙を発色させて所望の記録を行なっていた。
【0010】
また、従来のサーマルヘッド23においては、前述のごとく、基板24の端部寄りに凸状の保温層25を片寄らせて設け、この凸状の保温層25上に発熱部26aを形成した、いわゆるリアルエッジ化が図られており、このリアルエッジ化されたサーマルヘッド23を用いることにより、記録品質の向上を達成していた。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、従来のサーマルヘッド23においては、図11に示すように、それぞれの発熱素子26を基板24の端部寄りに形成するリアルエッジ化のために、共通電極27が基板24の端部と発熱素子26とに挟まれた狭いところに極端に細長く形成していたので、共通電極27の素材として銅やアルミニウムを用いても電極抵抗値が大きくなり、共通電極27において、いわゆる電圧降下が生じて、発熱素子26の発熱温度にバラツキが発生する問題があった。
【0012】
更に、発熱素子26から共通電極端子27aまでの通電経路の長さが、それぞれの発熱素子26毎に異なり、列方向の中央部付近の発熱素子26が共通電極端子27aから一番遠くなっていた。そのために、列方向の中央部付近の発熱素子26に接続される共通電極27における電圧降下量が大きくなり、列方向の中央部付近の発熱素子26の発熱温度が低下することがあった。
このようなサーマルヘッドに電圧降下が発生して、発熱素子26の発熱温度が低下すると、例えば熱転写印刷等を行う場合に、印刷濃度ムラが大きくなる等の印刷品質の低下が生じるという間題点があった。
【0013】
このような電圧降下の改善策として、共通電極27の厚さを厚くすることにより電圧降下の量を低減することが考えられるが、共通電極27の厚さを厚くすると、共通電極27上に位置する保護層25の積層が難しくなる上に、印刷時のサーマルヘッド23とプリンタ(図示せず)側のプラテンとの圧接力が発熱部26aとその発熱部26aに隣接する共通電極27とに集中し、共通電極27に大きなせん断応力が加わるようになっていた。
従って、Al、あるいはCuから成る軟質の金属素材により形成された共通電極27が材料疲労(金属疲労)を起こして、保護層25が早期に剥離破壊されて共通電極27に摩耗や腐食による断線が生じ、寿命が短いという欠点があった。
【0014】
また、各発熱素子26の列方向に隣接して複数個の隣接共通電極を有するいわゆる交互リードヘッドとよばれる公知のサーマルヘッドを用いることで、電圧降下を抑制して各発熱素子26の配列位置における発熱温度の差をなくすこともできるが、この場合も、隣り合う発熱素子間に隣接共通電極が形成されているため、各発熱素子間の寸法が大きくなり、印刷した画像のドット間の寸法が大きくなり、高精細な印刷が難しくなるという欠点があった。
【0015】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、サーマルヘッドの共通電極における電圧降下を補正することができ、発熱素子を均一な温度で発熱させて印刷濃度にムラのない良好な印刷画像を得ることができるサーマルヘッドを提供することを目的とするものである。
【0016】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するための第1の手段として本発明のサーマルヘッドは、基板の上面に形成した保温層と、この保温層の上方に並列状に形成した一群の複数の発熱素子と、この発熱素子の一方に電気的に接続される一群の複数の個別電極とを備え、前記個別電極の下部で前記保温層の上面には、前記個別電極と同方向に並列状に形成された一群の複数の導電層を有し、前記発熱素子の他方が前記基板の端部近傍に形成した導電部を介して前記導電層と電気的に接続され、前記個別電極及び前記発熱素子と前記導電層の間に、この導電層と前記個別電極及び前記発熱素子とを絶縁する層間絶縁層を有し、一群の前記導電層が端子接続電極層に接続され、一群の前記導電層の列方向両側には、一対の共通電極端子が形成され、前記個別電極と前記共通電極とに通電することで前記発熱素子を発熱させるサーマルヘッドであって、
前記導電層は、列方向の中央部付近に位置する前記導電層より、端部側に位置する前記導電層の抵抗値が大きくなるように形成した構成とした。
【0017】
また、前記課題を解決するための第2の手段として、前記導電層は、所定寸法の隙間部を挟んで互いに対向する一対の良導電部と、前記隙間部に形成された抵抗体とで構成され、前記隙間部の長さを異ならしめて前記中央部付近より前記端部側に位置する前記導電層の抵抗値を大きくした構成とした。
【0018】
また、前記課題を解決するための第3の手段として、前記中央部付近から前記端部側に位置するに従って前記隙間部を長くした構成とした。
【0019】
また、前記課題を解決するための第4の手段として、前記導電層は、前記中央部付近から前記端部側に位置して一群の複数の前記良導電部から成る複数の良導電部群を有し、前記端部側に位置する前記良導電部群内の複数の前記隣り合う良導電部同士が前記抵抗体で接続されている構成とした。
【0020】
また、前記課題を解決するための第5の手段として、前記良導電部群は、前記良導電部群内の前記隙間部の長さを等しくし、それぞれの前記良導電部群の前記隙間部は、前記中央部付近から前記端部側に位置する前記良導電部群に従って長くした構成とした。
【0021】
また、前記課題を解決するための第6の手段として、前記端部側に位置する導電層は、細幅部と広幅部で構成され、前記細幅部の長さを異ならしめて前記中央部付近より前記端部側の前記導電層の抵抗値を大きくした構成とした。
【0022】
また、前記課題を解決するための第7の手段として、前記細幅部は、前記中央部付近から前記端部側に位置する前記導電層に従って長くした構成とした。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の第1の実施の形態のサーマルヘッドを図1〜図8に基づいて説明する。図1〜図3は本発明の第1の実施の形態に係わる概略図であり、図4〜図8はその製造方法を説明する概略図であり、図9は本発明の第2の実施の形態に係わる図であり、図10は本発明の第3の実施の形態に係わる概略図である。なお、それぞれの図面は、説明の便宜上、実際のものと比して極端に数の少ないドット分の発熱素子を有するサーマルヘッドを例にして説明する。
【0024】
まず、本発明の第1の実施の形態のサーマルヘッド1は、図1、2に示すように、基板4の上面に形成した保温層5と、この保温層5の上方に並列状に整列して形成した複数の発熱素子10と、この発熱素子10の一方と他方にそれぞれ電気的に接続される複数の個別電極16、及び導電層6と接続する導電部15とを備え、個別電極16の下部で基板4の上面には、個別電極16と電気的に絶縁する層間絶縁層9を介して個別電極16と同方向に並列状に形成された複数の導電層6を有して概略構成されている。
【0025】
このような概略構成のサーマルヘッド1の詳細な構成は、図2に示すように、最下部に所定の厚さの基板4が配設されている。この基板4は、図2の右側端部近傍に断面略台形状に上方に突出する凸部4aが形成されている。
また、基板4の上面に形成された保温層5が形成されている。この保温層5は、従来と同様に、高融点ガラスを主成分として形成されている。
【0026】
前記保温層5の上面には、複数の発熱素子10の数に対応して並列状に整列されたパターン状の導電層6が複数形成されている。
前記導電層6は、図6に示すように、列方向である矢印X方向の端部側に位置する導電層6に、所定寸法A、Bの隙間部6aを挟んで互いに対向する一対の良導電部6b、6cが形成されている。
前記隙間部6aは、エッチング等により、導電層6の列方向の中央部付近から端部側に位置する導電層6に従って長く形成されている。即ち、隙間寸法A、Bの関係は、A<Bになって形成されている。
前記一対の良導電部6b、6cは、発熱素子10の発熱温度によって、溶融、あるいは破損が発生しない高融点金属、例えば融点1500℃以上のCr、Mo、Ti、Zr、Ta、Nb、W、Hf等から成り、厚さが、例えば0.15μm程度の均一な厚さで形成されている。
【0027】
前記一対の良導電部6b、6cに挟まれた隙間部6aには、例えば発熱素子10と同じ材料のTa−SiO2 等から成る抵抗体7が設けられており、この抵抗体7によって、一対の良導電部6b、6cが電気的に接続されて、列方向の端部側に位置する導電層6が構成されている。
また、列方向の中央部付近に位置する導電層6は、隙間部6aがなく、全体が一対の良導電部6b、6cと同じ材料で形成され、全体の長さが、隙間部6aを有する列方向の端部側に位置する導電層6と同じ長さに形成されている。
前記列方向の中央部付近に位置する導電層6、及び端部側に位置する導電層6に形成された抵抗体7は、前記一対の良導電部6b、6cと同じ厚さ、例えば0.15μm程度に形成されて、熱応答特性への影響を小さくするようになっている。
【0028】
即ち、列方向の端部側に位置するそれぞれの導電層6は、所定寸法の隙間部6aを挟んで互いに対向する一対の良導電部6b、6cと、隙間部6aに形成された抵抗体7とで構成され、隙間部6aの長さを異ならしめて、列方向の中央部付近の導電層6より、端部側に位置する導電層6の抵抗値を大きくしている。
そのために、発熱素子10に通電したときに、導電層6での電圧降下(コモンドロップ)補正して、導電層6での電圧降下がなくすることができる。
本発明のサーマルヘッド1においては、導電層6での電圧降下を補正して、発熱素子10を均一な温度で発熱させて、印刷濃度にムラのない高品質の印刷画像を得ることができる。
【0029】
また、図2に示すように、左側の導電層6の他端縁に接続される端子接続電極層8は、保温層5上に形成され、その位置は、図8に示すように、下方寄りに位置した、外形が矩形に形成され、直線状の前方端縁8aと後方端縁8bとを有し、前方端縁8aが導電層6の他端縁に積層形成されて、導電層6と端子接続電極層8とが電気的に接続されている。
また、端子接続電極層8は、直線状の端縁8aが、図8に示すように、層間絶縁層9を介して、複数の発熱素子10のそれぞれの端縁10aに、水平方向である基板面方向で互いに向かい合って設けられている。
【0030】
前記端子接続電極層8は、低抵抗率の金属によって形成されており、好ましくはAl、Cu、Au、Ni等の抵抗率1×10−7Ωm以下の金属によって厚さが1.0〜3.0μm程度で導電層6の厚さより厚く形成されている。
このような端子接続電極層8は、図8に示す横方向の幅寸法が、基板4の図示左右両側の端面寄りの層間絶縁層9に形成された共通電極端子側接続部12まで形成され、後述する端子接続電極13を介して共通電極端子14に接続されるようになっている。
【0031】
前記導電層6、および端子接続電極層8の上面には、層間絶縁層9が形成されている。この層間絶縁層9は下方の導電層6と、上方の発熱素子10、及び個別電極16との絶縁性を確実に確保できるように、Siの酸化物または窒素酸化物によって、厚さが1.5μm程度に形成されている。
【0032】
そして、層間絶縁層9の上面であって前記凸部4aの上方に対応する位置には、Ta−SiO2 等からなる発熱素子10が、図1に示すように、列方向である矢印X方向に整列されて積層形成されている。この発熱素子10は、サーマルヘッド1の所望の分解能に対応するドットの数、及び大きさに応じて、図2に示すように、一方が導電部15に接続され、他方が個別側接続電極17を介して個別電極16に、それぞれ電気的に接続されている。
【0033】
また、導電部15は、導電層6と同じ、または同等に材料から成り、図2に示すように、下方側が下層側の導電層6の一端縁に接続され、上方側が上層側の発熱素子10の一方に接続され、層間絶縁層9を挟んで導電層6と発熱素子10とが導電部15を介して電気的に接続されている。
なお、導電部15の図8に示す横方向の形成範囲は、列方向の両端部側の位置に形成された発熱素子10が接続可能な寸法になっている。
【0034】
更に、図8に示す端子接続電極層8の左右の端部側の層間絶縁層9には、端子接続電極層8に接続される後述する端子接続電極13を形成するための角孔状の共通電極端子側接続部12が形成されている。
この共通電極端子側接続部12は、層間絶縁層9の上に形成された並列状の複数の個別電極16の左右外側に設けられ、図3に示すように、共通電極端子側接続部12の内部で端子接続電極層8上には、Al等の導電性の良好な金属からなる端子接続電極13が形成されている。
この端子接続電極13は、図3において層間絶縁層9の上部の左端部側に引き出され、この部分が共通電極端子14となっている。
即ち、図1、及び図8に示すように、一群の導電層6上に層間絶縁層9を介して一群の個別電極16が形成され、共通電極端子14は、一群の導電層6の列方向両側に一対形成されている。
前記共通電極端子14の上部には、導電性のメッキが施されて端子メッキ層14aが形成され、この端子メッキ層14aが後述する上方の保護層19から露出した状態になっている。
したがって、端子接続電極13によって、端子接続電極層8と共通電極端子14とが電気的に接続されている。
【0035】
また、個別電極16は、層間絶縁層9の上面に形成され、図2に示す右側の発熱素子10の左端部近傍から、基板4の左端部にかかる範囲に、前記導電層6と同方向に並列状に整列されて形成されている。そして、個別電極16は、Al、Cu等の導電性の良好な金属で形成されている。
前記個別電極16は、発熱素子10の他方側に形成された、Mo、Cr、Ti等の高融点金属からなる個別側接続電極17により、発熱素子10と電気的に接続されている。
更に、個別電極16は、図2に示す左端部に引き出され、この左端部が個別電極端子18となっている。この個別電極端子18の上部には導電性のメッキが施されて、端子メッキ層18aが形成され、この端子メッキ層18aの表面が保護層19から露出している。
【0036】
前記発熱素子10、個別電極16、導電部15、個別側接続電極17、層間絶縁層9、端子接続電極13、導電層6、端子接続電極層8および保温層5の上部には、これらを酸化あるいは摩耗などから保護するための保護層19が、図2に示すように形成されている。この保護層19は、耐酸化性および耐摩耗性の良好なサイアロン(Si−Al−O−N系化合物固溶体)またはSi−O−N系化合物等から形成されて構成されている。
【0037】
次に本発明の第1の実施の形態に係るサーマルヘッド1の製造方法について図4〜図8に基づいて説明する。
本発明のサーマルヘッド1の製造方法は、従来と同様にして一枚の大きな図示を省略した基板4上に、複数個のサーマルヘッド1を同時に形成し、その大きな基板4を所望の大きさに分割することにより複数個のサーマルヘッド1が同時に得られるようになっている。
【0038】
このようなサーマルヘッド1の製造方法は、まず基板形成工程において、従来と同様にして平板状に形成されたシリコンをエッチングして、凸部4aを有する基板4を形成し、ついで、保温層形成工程において、従来と同様にして基板4の上面にシリコンと遷移金属と酸素との酸化物からなる、図4に示す略一様の厚さの保温層5を形成する。
【0039】
次に、導電層形成工程により、保温層5の上面に、Cr、Mo、Ti、Zr、Ta、No、W、Hf等からなる、融点が1500℃以上の高融点金属を0.15μm程度の均一な厚さにスパックリングなどにより被着した後、エッチングにより、図5に示すような、並列状に整列された所望のパターンの複数の導電層6を形成する。
この時、列方向の端部側に位置する導電層6は、所定寸法A、Bの隙間部6aを挟んで互いに対向する一対の良導電部6b、6cを形成し、隙間部6aにスパッタリングとエッチングとによって、例えば発熱素子10と同材料のTa−SiO2 等から成る抵抗体7を形成する。また、隙間部6aは列方向の中央部付近から端部側に位置する導電層6に従って長く形成されている。
そして、それぞれの隙間部6aには、例えば発熱素子10と同じ材料のTa−SiO2 等から成る抵抗体7が、スパッタリング、およびエッチングとにより形成されて、互いに対向する一対の良導電部6b、6cが接続されている。
【0040】
次に、端子接続電極層形成工程により、図6に示すように、保温層5上、および導電層6の他端縁上に端子接続電極層8を形成する。この端子接続電極層8は、Al、Cu、Au、Ni等から成る抵抗率が1×10-7Ωm以下の導電性の良好な金属をスバッタリング等で、厚さが1〜3μm程度の均一に被着した後、エッチングにより、図示上部の前方端縁8aと、図示下方の後方端縁8bとを有する外形が矩形状に形成され、横方向の左右両端部が基板4の端部寄り近傍まで延長形成されている。
【0041】
次に、層間絶縁層形成工程において、保温層5、導電層6および端子接続電極層8の上面を覆うように、層間絶縁層9を形成する。
この層間絶縁層9は、導電層6および端子接続電極層8の上面に、SiO2 またはSi−O−N系化合物等から成る素材を、スパックリングまたはCVDなどにより1〜3μm程度の均一な厚さに全面成膜して形成する。
【0042】
次に、層間絶縁層形成工程でのエッチング工程において、層間絶縁層9の上面の全面にフォトレジストをスピンナーなどで塗布してレジスト膜を形成した後、バッファードフツ酸(BHF)等で図8に示す上部側の層間絶縁層9をエッチングして導電層6の一端縁を露出させて、共通側接続部15aを形成すると共に、端子接続電極層8の左右両端部側に角孔状の共通電極端子側接続部12を形成して、端子接続電極層8の一部を露出させる。
【0043】
次に、発熱素子形成工程において、従来と同様に、Ta2 NまたはTa−SiO2等から成る所望の発熱抵抗体をスバッタリングなどにより、0.3μm程度の均一な厚さで被着した後、フォトリソによるエッチングを施して分解能に対応するようにして、所望のドットの数に応じて並列状に整列配置された、所定形状の複数の発熱素子10を層間絶縁層9上に積層形成する。
このとき、各発熱素子10は、前記層間絶縁層9により、導電層6と絶縁された状態になっている。
【0044】
次に、共通電極形成工程において、図8に示す上方側に導電部15を形成する。この導電部15は、導電層6と同様の材料をスパッタリング等により被着し、エッチング等によって発熱素子10の一方側と、共通側接続部15aで露出された導電層6の一端縁側とを、電気的に接続する所望形状に形成している。
次に、個別側接続電極形成工程において、導電部15と同材質の高融点金属をスバッタリングなどにより発熱素子10の他方側、及びこの近傍の層間絶縁層9上に被着し、エッチング等によって発熱素子10と、後述する個別電極形成工程で形成する個別電極16とを電気的に接続するための所望のパターンの個別側接続電極17を形成する。
【0045】
次に、個別電極形成工程において並列状に整列された個別電極16を形成する。この個別電極16は、Al等をスバッタリングなどにより、例えば1〜3μm程度の厚さで層間絶縁層9上に被着し、個別側接続電極17を介して、各発熱素子10に接続され、発熱素子10に独立して通電を行うことができるようになっている。
【0046】
次に、端子接続電極形成工程において、Alなどの良好な導電性を有する金属をスバッタリングなどにより、例えば1〜3μm程度の均一な厚さに被着した後、エッチングにより、共通電極端子側接続部12内部において端子接続電極層8と電気的に接続された所望パターンの端子接続電極13を形成する。
【0047】
次に、保護層形成工程において、共通電極端子14および個別電極端子18を除く全面に、サイアロン(Si−Al−O−N系化合物固溶体)またはSi−O−N系化合物などから成る素材を、例えば5〜10μm程度の略一様な厚さにスバッタリング、CVDなどにより被着することにより保護層19が形成され、ついで、ダイシング工程により、大きな基板4を所望の位置にて分割してチップ化された複数個のサーマルヘッド1を同時に得ることにより本実施の形態のサーマルヘッド1の製造が完了する。
【0048】
なお、共通電極端子14および個別電極端子18には、保護層19を形成する際に耐熱性の粘着テープなどによるマスク層が貼り付けられ、保護層19を形成した後に、前記マスク層を剥離することにより共通電極端子14および個別電極端子18が露出されるようになっている。
そして、この共通電極端子14および個別電極端子18の上面には、Ni−Sn系化合物などの易ハンダ付け性の端子メッキ層14a、18aをそれぞれ施して形成している。
【0049】
なお、本発明の実施の形態の説明では、列方向の中央部付近の導電層6に、隙間部6aがなくて、抵抗体7のないもので説明したが、列方向の中央部付近の導電層6にも隙間部6aを設け、この隙間部6aに抵抗体7を形成したもの(図示せず)でも良い。
【0050】
次に、本発明の実施形態の作用について、熱転写プリンタを例に説明すると、図示しない熱転写プリンタのキヤリッジに、前述のような構成を有する本発明の第1の実施の形態のサーマルヘッド1を搭載する。
即ち、本発明のサーマルヘッド1は、キヤリッジに装着したリボンカセットのインクリボンを記録紙上に圧接させるとともに、キヤリッジを移動させながら記録情報に基づいて発熱素子10に選択的に通電することによって、発熱素子10上のインクリボンのインクを記録紙上に溶融転写あるいは昇華転写して所望の画像印刷を行うようになっている。
【0051】
更に具体的に説明すると、本発明の実施の形態のサーマルヘッド1の個別電極端子18と共通電極端子14には、図示しない通電用のケーブルの一端が接続されており、このケーブルの他端はプリンタ本体の図示しない通電制御部に接続されている。そして、この通電制御部から、ケーブルを介して記録情報に基づいて個別電極端子18に、従来よりやや高電圧の電流を通電する。
これによって、まず、個別電極端子18から、個別電極16にそれぞれ信号が伝達され、発熱素子10に通電されて、発熱素子10が前記記録情報に基づいて選択的に所定温度で発熱される。
そして、発熱素子10から、さらに電流が導電部15を経由して、発熱素子10の下層の導電層6にそれぞれ通電される。
【0052】
次に、導電層6から端子接続電極層8に電流が伝わる。この際、この導電層6は発熱素子10の直下に位置するが、0.15μm程度の薄い厚さとされているため、熱応答特性への影響は小さく、また、高融点金属によって形成されているため、発熱素子10の熱によって通電が妨げられることもない。
【0053】
次に、端子接続電極層8から、端子接続電極13を介して共通電極端子14に電流が伝わり、この共通電極端子14からサーマルヘッド1の外部のプリンタ側に電流が流れていく。
このようにして、プリンタ側の通電制御部からの命令による制御電流が、個別電極端子18から、発熱素子10を介して共通電極端子14に流れることにより、発熱素子10にジュール熱が発生して所定の温度まで発熱する。
【0054】
前述のように、本発明のサーマルヘッド1は、並列状に形成されて列方向の中央部付近に位置する導電層6より端部側に位置する導電層6の抵抗値が大きく形成されているので、左右2箇所の共通電極端子14から遠い位置の、列方向の中央部付近の発熱素子10に接続される導電層6に電圧降下が発生したとしても、列方向の端部側の導電層6の抵抗値が大きく形成されているので、端部側の導電層6に通電される電圧も中央部付近の導電層6の電圧と同じ程度に電圧降下させることができ、列方向の中央部付近と端部側とに位置する導電層6に通電される電圧を、ほぼ同じに補正することができる。
そのために、発熱素子10に均一な通電を行うことができ、従来より問題とされていた共通電極における電圧降下を抑制することができる。
【0055】
このような本発明のサーマルヘッド1は、従来のような列方向の中央部付近の発熱素子10の発熱温度が低下することがなく、発熱素子10を均一な温度で発熱させることができ、例えば熱転写プリンタで印刷するときに、印刷濃度にムラのない良好な印刷画像を得ることができる。
【0056】
また、本発明の第2の実施の形態のサーマルヘッド31は、図9に示すように、列方向の端部側に位置する、スリット状の隣り合う複数の良導電部36b、36cから成る複数の良導電部群E、Fが形成されている。
前記列方向の中央部付近には、隙間部36aがなく、全てが良導電部36b、36cと同じ材料で形成されたスリット状の複数の導電層36から成る良導電部群Gが形成されている。
前記端部側に位置する良導電部群E、F内の隣り合う複数の良導電部36b、36c同志が抵抗体37で接続されている。
【0057】
また、良導電部群E、Fは、列方向の中央部付近から端部側に位置して複数形成され、それぞれの良導電部群E、F内の互いに対向する良導電部36b、36cの隙間部36aの長さを等しくし、それぞれの良導電部群E、Fの隙間部36aは、列方向の中央部付近から端部側に位置する良導電部群E、Fに従って長く形成されている。
即ち、隙間部36aの寸法C、Dの関係は、C<Bになって形成されている。そのために、寸法Cの隙間部36aを有する中央部付近の良導電部群Fよりも、寸法Dの隙間部36aを有する端部側の良導電部群Eの方が抵抗値が大きくなるようになっている。
また、本発明の第2の実施の形態の変形例として、良導電部群E、Fのスリット状の良導電部36b、36c、及び良導電部群Gのスリット状の導電層36は、それぞれがスリット状に離間してなくて、良導電部群E、F、G毎にそれぞれが一体化されたものでも良い。
このような第2の実施の形態のサーマルヘッド31は、それぞれの導電体36毎に抵抗体37を形成しなくて良いので、製造が容易になる。
【0058】
また、本発明の第3の実施の形態のサーマルヘッド41は、図10に示すように、列方向の端部側に位置する導電層46は、幅寸法の異なる細幅部46aと広幅部46bで構成されている。
そして、導電層46は、細幅部46aの長さを、寸法J、Kと異ならしめて、列方向の中央部付近の導電層46より端部側の導電層46に従って抵抗値を大きくしている。
【0059】
このような導電層46の細幅部46aは、列方向の中央部付近から端部側に位置する導電層46に従って長く形成されている。
このようなサーマルヘッド41は、第1、第2の実施の形態のように、導電層と異なる材料から成る抵抗体が不要になり、製造が容易である。
【0060】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明のサーマルヘッドは、個別電極の下部で保温層の上面には、前記個別電極と同方向に並列状に形成された複数の導電層を有し、前記個別電極と前記導電層の間に、この導電層と前記個別電極とを絶縁する層間絶縁層を有し、前記導電層は、列方向の中央部付近に位置する前記導電層より端部側に位置する前記導電層の抵抗値が大きくなるように形成し、前記導電層の一端縁を前記導電部に接続し、前記導電層の他端縁が前記保温層上に形成した端子接続電極層に接続して、発熱素子に通電を行うようにしたので、導電層での電圧降下を補正して、発熱素子への通電時の導電体に加わる電圧を一定にすることができ、発熱素子を均一な発熱をさせて印刷濃度のムラのない良好な印刷画像を得ることができるサーマルヘッドを提供できる。
【0061】
また、列方向の端部側に位置する導電層は、所定寸法の隙間部を挟んで互いに対向する一対の良導電部と、前記隙間部に形成された抵抗体とで構成され、前記隙間部の長さを異ならしめて前記中央部付近より前記端部側に位置する前記導電層の抵抗値を大きくしたので、導電層での電圧降下を補正して、列方向の中央部付近と端部側の発熱素子の発熱を均一にすることができる。
【0062】
また、前記隙間部は、列方向の中央部付近から端部側に位置する前記導電層に従って長くし、このそれぞれの隙間部に抵抗体を形成したので、列方向の中央部付近から端部側にいくに従って、導電層の抵抗値を順番に大きくすることができ、更に確実に導電層での電圧降下を補正することができる。
【0063】
また、前記導電層は、列方向の端部側に位置する隣り合う複数の良導電部から成る複数の良導電部群を有し、この良導電部群内の前記隣り合う複数の良導電部同志が前記抵抗体で接続されているので、隣り合う複数の良導電部をとりまとめてブロック化した良導電部群ごとに、抵抗体を形成すれば良く、製造が容易である。
【0064】
また、前記良導電部群は、前記中央部付近から前記端部側に位置して複数形成され、前記良導電部群内の前記良導電部の前記隙間部の長さを等しくし、前記それぞれの前記良導電部群の前記隙間部は、前記中央部付近から前記端部側に位置する前記良導電部群に従って長くしたので、導電層毎にそれぞれ抵抗体を形成することがなく、製造が容易である。
【0065】
また、列方向の端部側に位置する導電層は、細幅部と広幅部で構成され、前記細幅部の長さを異ならしめて前記中央部付近より前記端部側の前記導電層の抵抗値を大きくしたので、導電層に抵抗体を形成しなくても良く、製造が容易なサーマルヘッドを提供できる。
【0066】
また、前記細幅部は、前記中央部付近から前記端部側に位置する前記導電層に従って長くしたので、列方向の中央部付近から端部側にいくに従って、導電層の抵抗値を順番に大きくすることができ、更に確実に導電層での電圧降下を補正することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る平面図である。
【図2】図1の2−2線に沿った断面図である。
【図3】図1の3−3線に沿った断面図である。
【図4】本発明に係る製造方法を説明する概略図である。
【図5】本発明に係る製造方法を説明する概略図である。
【図6】本発明に係る製造方法を説明する概略図である。
【図7】本発明に係る製造方法を説明する概略図である。
【図8】本発明に係る製造方法を説明する概略図である。
【図9】本発明の第2の実施の形態に係わる概略図である。
【図10】本発明の第3の実施の形態に係わる概略図である
【図11】従来のサーマルヘッドを示す平面図である。
【図12】図11の12−12線に沿った断面図である。
【符号の説明】
4 基板
4a 凸部
5 保温層
6 導電層
6a 隙間部
6b、6c 良導電部
7 抵抗体
8 端子接続電極層
8a 前方端縁
8b 後方端縁
9 層間絶縁層
10 発熱素子
10a 端縁
12 共通電極端子側接続部
13 端子接続電極
14 共通電極端子
15 導電部
16 個別電極
17 個別側接続電極
18 個別電極端子
18a 端子メッキ層
19 保護層
Claims (7)
- 基板の上面に形成した保温層と、この保温層の上方に並列状に形成した一群の複数の発熱素子と、この発熱素子の一方に電気的に接続される一群の複数の個別電極とを備え、前記個別電極の下部で前記保温層の上面には、前記個別電極と同方向に並列状に形成された一群の複数の導電層を有し、前記発熱素子の他方が前記基板の端部近傍に形成した導電部を介して前記導電層と電気的に接続され、前記個別電極及び前記発熱素子と前記導電層の間に、この導電層と前記個別電極及び前記発熱素子とを絶縁する層間絶縁層を有し、一群の前記導電層が端子接続電極層に接続され、一群の前記導電層の列方向両側には、一対の共通電極端子が形成され、
前記個別電極と前記共通電極とに通電することで前記発熱素子を発熱させるサーマルヘッドであって、
前記導電層は、列方向の中央部付近に位置する前記導電層より、端部側に位置する前記導電層の抵抗値が大きくなるように形成したことを特徴とするサーマルヘッド。 - 前記導電層は、所定寸法の隙間部を挟んで互いに対向する一対の良導電部と、前記隙間部に形成された抵抗体とで構成され、前記隙間部の長さを異ならしめて前記中央部付近より前記端部側に位置する前記導電層の抵抗値を大きくしたことを特徴とする請求項1記載のサーマルヘッド。
- 前記中央部付近から前記端部側に位置するに従って前記隙間部を長くしたことを特徴とする請求項2記載のサーマルヘッド。
- 前記導電層は、前記中央部付近から前記端部側に位置して一群の複数の前記良導電部から成る複数の良導電部群を有し、前記端部側に位置する前記良導電部群内の複数の前記隣り合う良導電部同士が前記抵抗体で接続されていることを特徴とする請求項2記載のサーマルヘッド。
- 前記良導電部群は、前記良導電部群内の前記隙間部の長さを等しくし、それぞれの前記良導電部群の前記隙間部は、前記中央部付近から前記端部側に位置する前記良導電部群に従って長くしたことを特徴とする請求項4記載のサーマルヘッド。
- 前記端部側に位置する導電層は、細幅部と広幅部で構成され、前記細幅部の長さを異ならしめて前記中央部付近より前記端部側の前記導電層の抵抗値を大きくしたことを特徴とする請求項1記載のサーマルヘッド。
- 前記細幅部は、前記中央部付近から前記端部側に位置する前記導電層に従って長くしたことを特徴とする請求項6記載のサーマルヘッド。
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