JP3682154B2 - クリーンルーム - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造設備などで利用されるクリーンルームに関し、特に熱交換器により温度調節を実施するクリーンルームに関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、クリーンルームの温度調節方式には、次の2種類がある。
第1の方式では、実公平6−48256号公報に示されるように、循環空気の通気断面積いっぱいに配置される冷却器を設け、前記冷却器の表面温度を、循環空気との温度差が小さくなるように調節する。
【0003】
第2の方式では、還気流路にファンコイルユニットを設け、循環空気の一部をこれに通す。ファンコイルユニットは、冷却器及び送風機で構成されるユニットである。ファンコイルユニットにおいては、冷却器の表面温度と循環空気との温度差が比較的大きい。
クリーンルームの室の湿度の変動は小さく、かつ、湿度変動を抑制することが望ましい。また、材料の熱膨張回避などのために室内への給気の温度むらを除去することが不可欠である。従って、製品歩留まりの維持の観点から、前記第1の方式が、現在は主流になっている。
【0004】
しかしながら、熱交換器は、腐食の防止のために、材料として銅が用いられているので高価である。熱交換器の列数は、乾き冷却器(熱交換コイルの表面温度が通過空気の結露点よりも高く表面で結露しない熱交換器)を用いる場合には、入口と出口の温度差を大きくとらず、循環空気量を大きくすること、及び静圧の増大を防ぐ必要性から、一般的に2列、多くても4列とされている。従って、列数をそれより少なくすることには無理がある。
【0005】
一方、コイルの幅を小さくして、循環空気の一部をバイパスさせることが考えられる。しかし、その場合には、循環流路の断面において温度むらが生じるので、室内に給気したときには、平面的に温度分布が均一にならない、という問題が生じる。
また、特許第2627613号明細書では、熱交換器専用の送風機を空気循環用送風機とは別に設け、熱交換器の小型化と静圧増大の防止を図っている。しかしながら、精密加工に耐える気流の混合はなされていない。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、還気流路の途中で、例えば流路が直角に曲がっているような場合、曲がり部に乱流域が生じ、大きな圧力損失をきたす。本件技術には、熱交換手段をこの場所に設けることによって「熱交換器による圧力損失」を少しでも和らげる意図もある。
【0007】
また、流路中の圧力分布が均一でなくなり、高圧域と低圧域が形成される。即ち、図5に示すように、流路外側の入隅に高圧部が形成され、流路内側に傾斜した圧カ勾配が形成される。
但し、このような圧力勾配中を空気が通過するとき、特に内側を通過する空気は、曲がり部に到達する直前から、比較的きれいに方向を変え、外側を通過する空気と混合されずに、上向層流となる。これは、図5中に点線で示した熱交換手段を設置しても有効な改善にはならない。
【0008】
本発明は、熱交換器による圧力損失の増大を抑えること、熱交換器のコストダウンを可能にすること、室内空気の温度分布を均一にすること、及び省スペースを達成することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1のクリーンルームは、空調室と、前記空調室の排気口と給気口との間を連通する還気流路と、前記還気流路中に配置された熱交換器を備えるクリーンルームにおいて、熱交換手段を、前記還気流路中の流路の方向が変わる角部分の近傍に、傾斜した状態で配置するとともに、前記熱交換手段上に、バイパス流路と、前記バイパス流路に配置され、前記バイパス流路を流れる流体の進行方向を調節する、傾きが可変の偏向羽根部材とを備える少なくとも1つのバイパス手段と、熱交換器がほぽ同一面上に並んだ状態で、前記バイパス手段と前記熱交換器を一体に構成したことを特徴とする。
【0010】
請求項2は、請求項1記載のクリーンルームにおいて、前記熱交換器及び前記バイパス手段の底部及び頂部の壁が、前記温調手段の面に垂直な軸に対して、傾斜した状態で配置されたことを特徴とする。
【0011】
(作用)
(請求項1)
還気流路中の流路の方向が変わる角部分では、特別な工夫をしない限り、流路中の圧力分布が均一でなくなり、高圧域と低圧域が形成される傾向がある。
【0012】
本発明では、前記還気流路中の流路の方向が変わる角部分の近傍に、熱交換手段が傾斜した状態で配置される。また、熱交換手段のバイパス手段には、傾きが可変の偏向羽根部材が備わっている。
前記偏向羽根部材の傾きが可変なので、温調手段の熱交換器を通った空気流の進行方向と、温調手段のバイパス手段を通った空気流の進行方向とが異なるように調整できる。
【0013】
従って、互いに進行方向の異なる、熱交換器を通った空気流と、バイパス手段を通った空気流とにより、流路中に比較的大きな乱流域を形成できる。この乱流域の存在により、熱交換器を通った空気流と、バイパス手段を通った空気流との混合が促進される。
また特に、前記熱交換手段が、前記還気流路中の流路の方向が変わる角部分の近傍に存在するので、前記偏向羽根部材の働きで生ずる上昇流の誘引効果により、図5に示す高圧域に滞留する空気の流動が促進される。
【0014】
従って、流路中の圧力分布が均一化され、熱交換器を通った空気流と、バイパス手段を通った空気流との混合が促進され、温度分布が均一化される。しかも、熱交換手段の部分の空気抵抗が低減され、空気流の循環に必要な送風カが低減される。
また、空気流の一部分が熱交換器をバイパスするので、コイルの面積が縮小し、設備費用が低滅されるとともに、空気流の循環に必要な送風力が低減される。
【0015】
クリーンルームの空間において、一般に、床下などの空間は、ユーティリティ配管,防災機器などの設置空間と保守点検空間を兼ねるが、還気流路の角部はデッドスペースとされている。しかし、本発明では、還気流路の角部も有効に利用できる。
【0016】
前記偏向羽根部材の傾きに応じて、前記バイパス流路の開度が変わるので、前記バイパス流路を通過する空気の流量を調整できる。この調整により、前記熱交換器を通る空気と前記バイパス流路を通る空気との比率を変え、クリーンルームの温度調整能力を変更できる。
また、バイパス手段を複数備える場合には、熱交換器を通った空気流と、バイパス手段を通った空気流との、進行方向と分布状態を、上下方向により細かく調整できる。従って、熱交換器を通った空気流とバイパス手段を通った空気流との混合が促進され、空気流の温度分布が均一化される。
【0017】
特に、最も外側に配置されるバイパス手段の働きにより、流路の外側入隅に形成される滞留域が解消され、系の流路抵抗が更に低減される。
(請求項2)
熱交換器を通った空気流と、バイパス手段を通った空気流との、混合を促進するためには、バイパス手段を通った空気流の進行方向を、前記温調手段の面に垂直な軸に対して傾けるために、前記偏向羽根部材の向きも、前記軸に対して傾ける必要がある。
【0018】
前記熱交換器と前記バイパス手段との境界の壁面を、前記偏向羽根部材と同様に、前記温調手段の面に垂直な軸に対して傾けることにより、前記偏向羽根部材を傾けた標準状態での、前記バイパス手段の流路の開度を大きくできる。
従って、前記バイパス手段の開口面積が比較的小さい場合でも、前記バイパス手段を通る空気の流量を、比較的大きくできる。
【0019】
【発明の実施の形態】
(第1の実施の形態)
この形態の装置の構成と動作を、図1,図2,図3及び図4に示す。この形態は、請求項1に対応する。
図1は、クリーンルーム1とそれを通って循環する空気の流路を示す縦断面図、図2は、図1の一部分を拡大して示す縦断面図、図3は、図2に示す空調ユニット10の正面図である。図4は、空調ユニット10を通る空気と空調ユニット10から出た空気の、各位置での進行方向を示す模式図である。
【0020】
この形態では、請求項1における空調室,偏向羽根部材,バイパス手段,熱交換器及び熱交換手段は、それぞれ、図2に示すクリーンルーム1,羽根13a〜13c,ダンパ部13,熱交換部11,12及び空調ユニット10として具体化されている。
まず、図1を参照して、空調システムの全体の概要を説明する。なお、図1に示す矢印は、空気の流通方向を示している。
【0021】
この例では、クリーンルーム1は、図示しない建物の2階に配置されている。クリーンルーム1の空間内には、その天井1aに設けられた送風機2,3及び4によって、空気が導入される。送風機2,3及び4の各々には、高性能フィルタ5が内蔵されているので、クリーンルーム1には、清浄化された空気が導入される。
【0022】
クリーンルーム1の空間内では、矢印で示すように、空気は上から下に向かって流れる。クリーンルーム1の床面は、格子状に形成されたグレーチング床1bで構成されているので、空気は、グレーチング床1bを通って、クリーンルーム1から1階のユーティリティ空間6に排出される。
排出された空気は、ユーティリティ空間6から、クリーンルーム1に隣接する位置に形成された還気流路7を通って上昇し、クリーンルーム1の上に形成された天井空間8に進入する。そして、空気は、送風機2,3及び4を通って再びクリーンルーム1に導入される。
【0023】
つまり、空気は、天井空間8−クリーンルーム1−ユーティリティ空間6−還気流路7−天井空間8−・・・の経路を通って循環する。
ユーティリティ空間6と還気流路7との境界の角部分には、傾斜した状態で、空調ユニット10が設置されている。空調ユニット10は、空気の温度制御に利用される。還気流路7の途中には、送風機9が設置されている。
【0024】
次に、図2及び図3を参照して、空調ユニット10について説明する。空調ユニット10は、熱交換部11,12とダンパ部13で構成されている。熱交換部11,12とダンパ部13は、空調ユニット10の両端部に配置されたフレーム部材10a,10bに固定され、一体化されている。
熱交換部11及び12は、各々、ドライコイルを構成する熱交換器である。つまり、熱交換部11及び12は、図3に示すパイプ11a及び12aに導入される流体の熱量によって、熱交換部11及び12を厚み方向に通過する空気の温度を調整する。
【0025】
ダンパ部13は、並べて配置された薄板状の羽根13a,13b及び13cを備えている。羽根13a,13b及び13cの幅方向の中央部に配置された回転軸13dは、両端がフレーム部材10a,10bによって回動自在に支持されている。
羽根13a,13b及び13cの、各々の回転軸13dの一端は、減速機14を介して、直流電気モータ15の駆動軸に連結されている。また、羽根13a,13b及び13cの傾きを検出するために、直流電気モータ15の駆動軸には、ロークリーエンコーダ16が接続されている。
【0026】
直流電気モータ15を駆動すると、羽根13a,13b及び13cが同時に同じ量だけ駆動され、傾きが変化する。3つの羽根13a,13b及び13cは、傾きが同一になるように予め調整されている。
羽根13a,13b及び13cの傾きを変えると、ダンパ部13の開口面積(開度)が変化し、ダンパ部13を通る空気の流量が変化する。直流電気モータ15を制御する電気回路については示してないが、必要に応じて、直流電気モータ15を駆動し、ダンパ部13の開度を変えることができる。
【0027】
この例では、羽根13a,13b及び13cの最も重要な機能は、ダンパ部13を通過する空気の、進行方向を変えることである。これについて、以下に詳細に説明する。
図2に示した空調ユニット10を用いる場合、クリーンルーム1から排気された空気の一部分が、ダンパ部13を通り、熱交換部11及び12をバイパスするので、空気の循環のために必要な送風力を、低減できる。
【0028】
但し、熱交換部11及び12を通った空気と、ダンパ部13を通った空気とは、互いに温度が違うので、両者の空気流を十分に混合しないと、空気中の温度分布が不均一になる。
空調ユニット10の面に対して垂直な方向に、羽根13a,13b及び13cの傾きを調整した場合には、各部の空気流の進行方向は、図5とあまり変わらないので、空気中の温度分布は不均一になる。
【0029】
図4は、空調ユニット10の面に垂直な軸に対して、羽根13a,13b及び13cの向きを傾斜させ、羽根13a,13b及び13cが、ダンパ部13を通る空気流の方向を、強制的に変えるように調整した場合の、各部の空気流の進行方向を示している。
特に、図4の例では、ユーティリティ空間6と還気流路7の境界部分の流路の向きの変化に合わせて、ダンパ部13を通る空気流の方向が、上側に向くように、羽根13a,13b及び13cの傾きを調整してある。
【0030】
図4を参照すると、羽根13a,13b及び13cによって、ダンパ部13を通る空気流の進行方向が、上側に強制的に曲げられているので、空気流の集中が生じにくく、高圧域も生じないことが分かる。
図4の状態では、空調ユニット10の下流の圧力分布が均一になるので、熱交換部11及び12を通った空気と、ダンパ部13を通った空気とが混合しやすい。 また、図4の状態では、ダンパ部13を通る空気流の進行方向を曲げているので、乱流域が比較的広く、この乱流域で、熱交換部11及び12を通った空気と、ダンパ部13を通った空気との混合が促進される。従って、循環する空気の温度分布も均一になる。
【0031】
なお、ダンパ開度を調整する場含には、ダンパを絞り、あるいはダンパ開度を大きくするのに対応して、熱交換器を流れる熱媒の流量を少なく、あるいは多くして、所定の給気温度を補償することができる。
(第2の実施の形態)
この形態では、図6に示す空調ユニット10Bが、空調ユニット10の代わりに用いられる。それ以外の構成は、第1の実施の形態と同一である。この形態は、請求項1及び請求項2に対応する。
【0032】
この形態では、請求項1における偏向羽根部材,バイパス手段,熱交換器及び熱交換手段は、それぞれ、図6に示す羽根21a〜21c,22a〜22c,ダンパ部21,22,熱交換部11B,12B及び空調ユニット10Bとして具体化されている。
図6を参照して説明する。空調ユニット10Bは、熱交換部11B,12Bとダンパ部21,22で構成されている。2つのダンパ部21,22を備え、これらが互いに難れた位置に配置されているのが、空調ユニット10Bの1つの特徴である。
【0033】
つまり、熱交換部11B,12Bとダンパ部21,22が交互に配置されているので、流路中の上下方向の2箇所で、それぞれ、空気流の進行方向を曲げることができる。このため、熱交換部11B,12Bを通った空気流と、ダンパ部21,22を通った空気流との混合が、より促進される。
ダンパ部21は、羽根21a,21b及び21cを備え、ダンパ部22は、羽根22a,22b及び22cを備えている。空調ユニット10と同様に、羽根21a,21b及び21cは、回転軸21dで支持され、傾きの調整が可能になっている。また、羽根22a,22b及び22cは、回転軸22dで支持され、傾きの調整が可能になっている。
【0034】
熱交換部11B,12Bの機能及び構成は、第1の実施の形態の、熱交換部11,12と同様である。但し、熱交換部11B,12Bとダンパ部21,22との、境界の壁面23a,23b及び23cは、空調ユニット10Bの面に垂直な方向(厚み方向)の軸Xに対して、傾斜している。
また、ダンパ部21の羽根21a,21bの境界部分、及び羽根21b,21cの境界部分には、それぞれ、隔壁21e及び21fが形成してある。これらの隔壁21e及び21fは、前記壁面23a,23b及び23cと平行に配置してある。
【0035】
同様に、ダンパ部22の羽根22a,22bの境界部分、及び羽根22b,22cの境界部分には、それぞれ、隔壁22e及び22fが形成してある。これらの隔壁22e及び22fは、前記壁面23a,23b及び23cと平行に配置してある。
壁面23a,23b及び23cが、軸Xに対して傾斜しているのは、通常の使用状態での、ダンパ部21,22の開度を大きくするためである。
【0036】
通常の使用状態では、ダンパ部21,22を通過する空気流の、進行方向を曲げるために、羽根21a,21b,21c,22a,22b及び22cの向きを、軸Xに対して傾斜させる必要がある。従って、もしも壁面23a,23b及び23cが軸Xと平行なら、ダンパ部21,22の開度をかなり小さくした状態で使用せざるを得ない。
【0037】
図6の空調ユニット10Bの場合、壁面23a,23b及び23cが、軸Xに対して傾斜しているので、ダンパ部21,22の開度が100%に近い状態で、これを使用できる。
従って、ダンパ部21,22の開口面積が比較的小さい場合でも、熱交換部11B,12Bをバイパスしてダンパ部21,22に流れる空気の流量を大きくできる。
【0038】
もちろん、羽根21a,21b,21c,22a,22b及び22cの傾斜角を更に大きくして、ダンパ部21,22の開度を小さくすれば、ダンパ部21,22の流量を制限できる。
なお、偏向羽根部材の角度は、必ずしも自動制御によって可変としなくても良い。外調機と室内循環用の熱交換器からなるシステムでは、試運転時に、手動で室内温度分布の均一化が達成されれば、あとは偏向羽根部材の角度を固定していても、クリーンルームの満足な稼働が得られる。
【0039】
【発明の効果】
(請求項1)
前記偏向羽根部材の働きにより、流路中の圧力分布が均一化され、熱交換器を通った空気流と、バイパス手段を通った空気流との混合が促進され、温度分布が均一化される。
【0040】
また、空気流の一部分が熱交換器をバイパスするので、空気流の循環に必要な送風力が低滅される。
前記偏向羽根部材の傾きに応じて、前記バイパス流路の開度が変わるので、前記バイパス流路を通過する空気の流量を調整できる。この調整により、前記熱交換器を通る空気と前記バイパス流路を通る空気との比率を変え、クリーンルームの温度調整能力を変更できる。
【0041】
(請求項2)
前記熱交換器と前記バイパス手段との境界の壁面を、前記偏向羽根部材と同様に、前記温調手段の面に垂直な軸に対して傾けることにより、前記偏向羽根部材を傾けた標準状態での、前記バイパス手段の流路の開度を大きくできる。
従って、前記バイパス手段の開口面積が比較的小さい場合でも、前記バイパス手段を通る空気の流量を、比較的大きくできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】クリーンルーム1とそれを通って循環する空気の流路を示す縦断面図である。
【図2】図1の一部分を拡大して示す縦断面図である。
【図3】図2に示す空調ユニット10の正面図である。
【図4】空調ユニット10を通る空気と空調ユニット10から出た空気の、各位置での進行方向を示す模式図である。
【図5】クリーンルームの還気流洛における各位置での空気流の進行方向を示す模式図である。
【図6】第2の実施の形態における空調ユニット10Bを、側面方向から見た縦断面図である。
【符号の説明】
1 クリーンルーム
1a 天井
1b グレーチング床
2,3,4 送風機
5 高性能フィルタ
6 ユーティリティ空間
7 還気流路
8 天井空間
9 送風機
10,10B 空調ユニット
10a,10b フレーム部材
11,12,11B,12B 熱交換部
11a,12a パイプ
13,21,22 ダンパ部
13a,13b,13c 羽根
13d 回転軸
14 減速機
15 直流電気モータ
16 ロータリーエンコーダ
21a,21b,21c,22a,22b,22c 羽根
21d,22d 回転軸
21e,21f,22e,22f 隔壁
23a,23b,23c 壁面

Claims (2)

  1. 空調室と、前記空調室の排気口と給気口との間を連通する還気流路と、前記還気流路中に配置された熱交換器を備えるクリーンルームにおいて、
    熱交換手段を、前記還気流路中の流路の方向が変わる角部分の近傍に、傾斜した状態で配置するとともに、
    前記熱交換手段上に、
    バイパス流路と、前記バイパス流路に配置され、前記バイパス流路を流れる流体の進行方向を調節する、傾きが可変の偏向羽根部材とを備える少なくとも1つのバイパス手段と、
    熱交換器
    がほぼ同一面上に並んだ状態で、前記バイパス手段と前記熱交換器を一体に構成したことを特徴とするクリーンルーム。
  2. 請求項1記載のクリーンルームにおいて、前記熱交換器及び前記バイパス手段の底部及び頂部の壁が、前記熱交換手段の面に垂直な軸に対して、傾斜した状態で配置されたことを特徴とするクリーンルーム。
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